JPH04505234A - ラッチ機構を備えたシール可能且つ輸送可能な容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ランチ機構を備えたシール可能且つ輸送可能な容器゛　につい　の　昭 本願は、本願の譲受人に譲渡されている次の全ての出願／特許に関連している。

・　ｒシール形標準インターフェース装置（ＳＥＡＬＥＤ　５ＴＡＮＤＡＲＤ　 Ｉ−ＮＴＥＲＦＡＣＩＩ！　ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ）　Ｊ　、発明者：　Ｇｅｏｒ ｇｅ＾ｌ１ｅｎ　Ｍａｎｅｙ＋　ＡｎｄｒｅｗＷｉｌｌｉａｍ　Ｏ°５ｕｌｌｉ ｖａｎ、　Ｉｌ、　Ｇｅｏｒｇｅ　Ｆａｒａｃｏ　％出願番号第６３５．３８４ 号、出願口１９８４年７月３０日、現在米国特許第４．６７４．９３９号。

・［知能’）　ｓ　−ハ＋　＋　’）　ヤ（ＩＮ置ＩｊＧＥＮＴ　ＷＡＦＥＲＣ ＡＲＲＩＥＲ）　Ｊ、発明者：　Ｇｅｏｒｇｅ　Ａ１１ｅｎ　Ｍａｎｅｙ、　Ａ ｎｔｈｏｎｙ　Ｃｈａｒｌｅｓ　Ｂｏｎｏｒａ＋　ＭｉｈｉｒＰａｒｉｋｈ、出 願番号第６８６．４４４号、出願臼１９８４年１２月２４日、現在米国特許第４ ．６７４，９３９号。

・「ドア作動形すｆ−ｔ　（ＤＯＯＲＡＣＴＩＶＡＴＥＤ　ＲＥＴＡＩＮＥＲ） Ｊ　、発明者：Ｇｅｏｒｇｅ＾１ｌｅｎ　Ｍａｎｅｙ、　Ｈ，Ｇｅｏｒｇｅ　Ｆ ａｒａｃｏ、　Ｍｉｈｉｒ　Ｐａｒｉｋｈ　ｓ出願番号第６８６．４４３号、出 願臼１９８４年１２月２４日、現在米国特許第４，８１５．９１２号。

・「標準機械式インターフェース装置用の長アームマニピュレータ　（ＬＯＮＧ 　ＡＲＭ　？ＩＡＮＩＰＵＬＡＴＯＲＦＯＲ５ＴＡＮＤＡＲＤ　ＭＥＣＨＡＮＩ ＣＡＬ　ＩＮＴＥＲＦ−ＡＣＥ　ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ）Ｊ　、発明者：　Ａｎｔ ｈｏｎｙ　Ｃｈａｒｌｅｓ　Ｂｏｎｏｒａ＋　Ａｎｄｒｅｗ１＋ｌｉｌｌｉａｍ 　Ｏ’５ｕ１１ｉｖａｒ、出願番号第７６９．７０９号、出願臼１９８５年８月 ２６日、現在米国特許第４，６７６．７０９号。

・「標準機械式インターフェース装置用の短アームマニピュレータ（ＳＨＯＲＴ 　ＡＲ？ｌ　ＭＡＮＩＰＵＬＡＴＯＲＦＯＲ５ＴＡＮＤＡＲＤ　ＭＥＣＨＡＮＩ ＣＡＬ　ＩＮＴＥＲ−ＦＡＣＥ　ＡＰＰＡＲＡＴｔｌＳ）　Ｊ　、発明者：　Ａ ｎｔｈｏｎｙ　Ｃｈａｒｌｅｓ　Ｂｏｎｏｒａ、出願番号第７６９，８５０号、 出願臼１９８５年８月２６日、現在米国特許第４，６７４．９３６号。

・「ディスポーザブルライナを備えた容器（ＣＯＮＴＡＩＮＥＲＨＡνＩＮＧＤ Ｉ５ＰＯ５ＡＢＬＥ　ＬＩＮＥＲ５）　Ｊ　、発明者：　Ｍｉｈｉｒ　Ｐａｒｉ ｋｈ、　Ａｎｔｈｏｎｙ　Ｃｈａ−ｒｌｅｓ　８ｏｎｏｒａ、　Ｌ　Ｇｅｏｒｇ ｅ　Ｆａｒａｃｏ＋　Ｂａｒｎｅｙ　Ｈ，Ｈｕａｎｇ、出願番号第８２９．４４ ７号、出願臼１９８６年２月１３日、現在米国特許第４，７３９，８８２号。

・「粒子濾過システムを備えたシール可能且つ輸送可能な容器（ＳＥＡＬＡＢＬ Ｅ　ＴＲＡＮＳＰＯＲＴＡＢＬＥ　Ｃ０ＮＴＡＩＮＥＩ？　）ＩＡＶＩＮＧ　Ａ 　ＰＡＲＴＩＣＬＥ　ＦＩＬＴ−ＥＲＩＮＧ　ＳＹＳＴＥＭ）コ、発明者：　Ｆ Ｉｉｈｊｒ　Ｐａｒｉｋｈ、　Ａｎｔｈｏｎｙ　Ｃ，Ｂｏｎｏｒａ　ｓ出願番号 第８４０．３８０号、出願口１９８６年５月１日、現在米国特許第４．７２４． ８７４号。

又里亘宵員 光■皇立団 本発明は、粒子汚染を低減させる標準機械式インターフェース（ｓｔａｎｄａｒ ｌｚｅｄ　＋ｗｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｊｎｔｅｒｆａｃｅ　ｓ　Ｓ　Ｍ　Ｉ　Ｆ 　）システムに関し、より詳しくは、輸送可能な容器であって該容器の内容物に 外部ファクタの影響が及ばないようにシール可能な容器に関する。

Ｍ浬肢五■脱皿 標準機械式インターフェース（ＳＭＩＦ）システムは、米国特許第４．５３２． ９７０号及び第４　、５３４　、３８９号に記載されているように、ヒユーレッ トパンカード社（ＨｅｗＩｅｔｔ−Ｐａｃｋａｒｄ　Ｃｏｍｐａｎｙ）により提 案されたものである。ＳＭＩＦシステムの目的は、ウェーハに作用する粒子束（ ｐａｒｔｉｃｌｅ　ｆｌｕｘｅｓ＞を低減させることにある。こ・の目的は１． 輸送時及び保管時に、ウェーハを包囲するガス状媒体（空気又は窒素）がウェー ハに対し本質的に静止した状態を機械的に達成すること、及び周囲の環境からの 粒子が直接的なウェーハの環境に入らないようにすることにより、部分的には達 成される。ＳＭＩＦの概念は、運動、空気の流れ方向及び外部汚染物質に関して 制御された、粒子の存在しない少量の空気が、ウェーハにとって清浄な環境を与 えるという認識に基づいている。提案されたーシステムについての更に詳細な説 明が、ｒｓＭＩＦ：ＶＬＳｌの製造におけるウェーバカセントトランスファ技術 （ＳＭＩＦ：Ａ　丁ＥＣＨＮＯＬＯＧＹ　ＦＯ！？　ＷＡＦＥＩＩ　ＣＡＳＳＨ ＴＴＥ　ＴＲＡＮＳＦＥＲＩＮ　ＶＬＳＩ　ＭＡ）ｉＵＦＡＣＴ−１１ＲＩＮＧ ）　Ｊという表題の論文（Ｍｉｈｉｒ　Ｐａｒｉｋｈ及び旧ｒｉｃｈ　Ｋａｅｓ ｐ著、雑誌ｒｓｏｌｉｄ　５ｔａｔｅ　ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＪ　、１９８４年 ７月、第１１１〜１１５頁）に記載されている。

上記形式のシステムは、０．１　μ−以下から２００μ樽以上の範囲の粒度に関 係している。これらの粒度をもつ粒子は、半導体の加工に大きな障害となる。な ぜならば、半導体デバイスの製造には微小の幾何学的形状が用いられるからであ る。今日、進歩した半導体加工には、１μ−以下の幾何学的形状が用いられてい る。

０．０５μ浬以上の幾何学的寸法をもつ好ましくない汚染粒子は、実質的に、１ μ−の幾何学的寸法をもつ半導体デバイスに悪影響を及ぼす、もちろん、最近の 傾向では半導体加工の幾何学的寸法がより小さくなりつつあり、研究開発過程で は今日、０．５μ−以下のものもある。将来においては半導体の幾何学的寸法は 一層小さくなるであろうし、従ってより小さな汚染粒子が灯数となる。

ＳＭＩＦシステムは３つの主要構成部品を有している。すなわち、（１）ウェー ハカセットの保管及び輸送に使用する最小体積のシール形ボッド（容器）と、（ ２）ウェーハカセットのボート及びウェーハ加工装置の加工領域上に配置される キャノピ−であって、ボンド及びキャノピ−内部の環境（清浄空気源以降の環境 ）が小さな清浄空間になっているキャノピ−と、（３）ウェーハカセット内のウ ェーハが外部環境による汚染を受けないようにして、シール形ボンドからウェー ハカセットをローディング及びアンローディングする移送機構とである。

ウェーハは、ボンドに入れられて保管され且つ輸送され、またボンドから加工装 置の一位置まで次のようにして移送される。最初に、ボンドは、キャノピ−の頂 部に設けられたインターフェースボートに置かれる。各ボンドは、ボックスと、 加工装置のキャノピ−のインターフェースポートの扉と関連するように設計され たボックス扉とを有している０次に、ホックス扉及びキャノピ−のインターフェ ースポートの扉のラッチが同時に開けられ、ボックス扉とインターフェースポー トの扉とが同時に開放される。これにより、扉の外面上に存在することがある粒 子が、ボックスとインターフェースポートの扉との間に捕捉（「サンドインチ」 ）される、カセットがキャノピ−の頂部に置かれた状態で、両扉が、機械的エレ ベータにより、キャノピ−で覆われた空間内に下降される。カセットは、マニピ ュレータによりピックアンプされて、加工装置のカセットボート／エレベータ上 に置かれる。加工後は上記とは逆の作業が行われる。

ＳＭＩＦシステムは、クリーンルームの内部及び外部の両方にプロトタイプのＳ ＭＩＦ部品を用いた実験により、その有効性が実証されている。ＳＭＩＦシステ ムによれば、クリーンルームの内部で開放カセットを取り扱う従来の方法に比べ 少なくとも】０倍の改善が得られる。

従来のＳＭＩＦボンドは、ランチ表面に対するラッチ機構の物理的な「こすれ」 による粒子を発生する潜在性がある。各ラッチ作業時には殆ど粒子は発生しない けれども、ウェーハの数百回に及ぶ加工工程の間には、ＳＭＩＦポンドのランチ 及び／又はアンラッチの度毎に発生する粒子が多量に蓄積することになる。

従来のランチシステムを用いたＳＭＩＦボンドでは、ランチ部材及びラッチ面（ ランチ面の一方又は両方は傾斜面である）が、非係合位置から完全に係合した位 置に移動するときにこずれが生じる。ボックス及びボックス扉のシール面は、こ れらのシール面を互いに押しつける圧力が加えられるとシールするように設計さ れている。従って、ラッチシステムは、（ａ）ボックスに対するボックス扉の移 動を防止し、且つ（ｂ）シール面を互いに押しつけるクランプ力を発生するもの でなくてはならない、クランプ力は、傾斜したラッチ部材に沿ってラッチ面を摺 動させること（又はこの逆）により発生される。

従来のＳＭＩＦボフドのラッチ機構は、通常ボックス上に設けられていて、ラフ チｉ構を、ボックスに対するボックス扉のクランプ又は加工ステージョンのボー トプレートに対するボックスのクランプに交互に使用できるようになっている。

この両機能を達成するには、ボックスの底部の周囲にノツチ又は開口を設けて、 ラッチ機構がボックス扉又はボートプレートのいずれかと係合すべく移動できる ようにする必要がある。ところが、これらの開口は、汚染粒子が清浄な環境に入 ることを許容するアクセスポイントとなっている。

従来のＳＭＩＦポフドにおいては、ラッチ機構がボックス扉の縁部を支持してお り、このため、ボックス扉は、シール力に加えてボックス扉上に載置されるウェ ーハの重蓋を受け、変形（撓みすなわち曲がり）する可能性があり、従ってボッ クスとボックス扉との間のシールに漏洩を生しさせる潜在性を育している。また 、ＳＭＩＦボンド用の従来のランチ機構はいたずらが可能であるため、権限のな い者が容器の内容物にアクセスすることができる。

主皿立！立 従って本発明の目的は、ランチ機構を備えたシール可能且つ輸送可能な容器であ って、ラッチ機構が全くこすれ接触すなわち摩擦接触することがなく且つ容器の いかなる部分もラッチ機構と接触しないように構成された容器を提供することに ある。

本発明の他の目的は、ボックス扉の変形（すなわち撓み）が最小になる位置でボ ックス扉を支持するラッチ機構を提供することにある。

本発明の他の目的は、無用な操作が困難で、権限のない者が容器の内容物にアク セスできないように構成されたラッチ機構を備えた輸送可能な容器を提供するこ とにある。

本発明の他の目的は、中央操作可能なラッチ機構を備えたＳＭＩＦポンドを提供 することにある。

本発明の上記及び他の目的は、２方向の運動をなし且つボックスの清浄な内部領 域中でボックス又はボックス扉とこすれ接触すなわち摩擦接触することなく両方 向に移動できるラッチ機構により達成される。第１の運動方向では、ラッチ機構 は、ボックス及びボックス扉が互いに自由に移動してボッドを開閉できる第１引 っ込み位置（すなわちバイパス位置）から、ラッチ機構がボックスに対するボッ クス扉の移動を防止する第２位置（すなわち突出位置）まで移動される。ボック ス及びボックス扉のシール面は、ボックス扉がシール方向に移動して、ボックス 扉のシール面がボックスのシール面の方向に移動し且つ該シール面と接触すると き互いにシール接触する。ラッチ機構の第２移動方向は、ラッチ機構が、ボック ス扉をボックスに対してシール方向に移動させる方向である。また、ラッチ機構 は、ボックス扉の周囲から間隔を隔てた位置でボックス扉を支持する。

本発明によるシール可能且つ輸送可能な容器は、第１シール面を備えたボックス と、第２シール面を備えたボックス扉とを有しており、第２シール面は、ボック ス扉がシール方向に移動されると第１シール面と係合するようになっており、ラ ッチ手段を有しており、該ラッチ手段が、内部領域内のラッチ手段とボックス又 はボックス扉との間にこすれ接触を生じさせることなく、ボックスに対してボッ クス扉が移動できるようにする第１位置とボックスに対するボックス扉の移動を 制限する第２位置との間で第１方向に移動でき、且つ第２位置と第３位置との間 で第２方向に移動してボックス扉をシール方向に移動させ、内部領域内のランチ 手段とボックス又はボックス扉との間にこすれ接触を生じさセることなく第１及 び第２シール面を接触させるように構成されている。

本発明による標準機械式インターフェース（ＳＭＩＦ）ボッドは、内部領域、第 １シール面、及び少なくとも２つのラッチ保合面を備えたボックスと、第２シー ル面を備えたボックス扉とを有しており、第２シール面は、内部領域を周囲の圧 力条件から隔絶すべくボックス扉がボックスに対してシール方向に移動するとき 第１シール面とシール係合し、ボックス扉に設けられたランチ部材を存しており 、各ランチ部材が少なくとも２つのボックス係台部分を備えており且つ非保合位 置（ｄｉｓｅｎｇａｇｅｄ　ｐｏｓｉｔｉｏｎ）と、係合する位置（ｅｎｇａｇ ｉｎｇ　ｐｏｓｉｔｉｏｎ）と、係合した位置（ｅｎｇａｇｅｄ　ｐ−ｏｓｉｔ ｉｏｎ）との間で移動でき、ラッチ部材が、ボックスと接触することなく前記非 保合位置から前記係合した位１へと移動でき、前記係合する位置から前記係合し た位置への前記ラッチ部材の移動により、該ラッチ部材がラッチ保合面に対して こすれることなくランチ部材のボックス係合部分とラッチ保合面とが接触され且 つボックス扉がシール方向に移動され、２段カム手段を更に有しており、該２段 カム手段が、第１独立作動段において前記ラッチ部材を前記非保合位置から前記 係合する位置に移動させ、且つ第２独立作動段において前記ランチプレート（ラ ンチ部材）を前記係合する位置から前記係合した位置に移動させるように構成さ れている。

本発明の上記及び他の目的及び利点は、添付図面に関連して本発明の好ましい実 施例を詳細に説明する以下の記載により一層明瞭になるであろう。

型皿■呈単星脱皿 第１Ａ図は、ＳＭＩＦポンドを受け入れるキャノピ−を備えた加工ステージョン を示す斜視図である。

第１Ｂ図は、第１Ａ図の加工ステージョンを断面した側面図である。

第２Ａ図は、ＳＭＩＦボンドと、該ＳＭＩＦボンドを受け入れるボート組立体の 部分とを示す斜視図である。

第２Ｂ図は、第２Ａ図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

第３図は、本発明によるＳＭＩＦボンドの分解斜視図である。

第４図及び第５図は、本発明によるラッチ機構がそれぞれ第１位置及び第２位置 にあるところを示す平面図である。

第６図及び第７図は、本発明によるラッチ機構の２段ロータリカムがそれぞれ第 １位置及び第２位置にあるところを示す平面図である。

第８Ａ図は、本発明のラッチ機構と協働するＳＭＩＦボンドのボックスのインタ ーフェース部分を示す平面図である。

第８Ｂ図は、第８Ａ図の８Ｂ−８Ｂ線に沿う断面図である。

第８Ｃ図は、第８Ａ図の８Ｇ−８Ｃ線に沿う断面図である。

第９図は、第８Ａ図に示したインターフェース部分の一部を断面した側面図であ る。

第１Ｏ図及び第１１図は、本発明のランチ機構がそれぞれ第２位置及び第３位置 にあるところを示す側面図である。

第１２図は、２段ロータリカムの平面図である。

第１３図は、２段ロータリカムの側面図である。

第１４Ａ図及び第１４Ｂ図は、ボックス扉の異なる撓みパターンを示す概略的斜 視図である。

第１５Ａ図及び第１５Ｂ図は、ボックス扉の異なる撓みパターンを示す概略的側 面図である。

ましい　の゛ 以下、本発明を、ウェーハ及び／又はレチクルの保管及び輸送を行うＳＭＩＦシ ステムに関連して説明するけれども、本発明によるシール可能且つ輸送可能な容 器は、他の非生物並びに実験動物のような生物の保管及び輸送にも使用できるこ とを理解すべきである。

ＳＭＩＦボフド及び該ｓＭｒＦボッドと加工装置との組合せの全体的構成は、本 願が参考とした米国特許第４，７２４．８７４号に記載されている。しかしなが ら、説明の完全性を期して、該米国特許明細書の概略的説明をここに記載する。

第１図（第１Ａ図、第１Ｂ図）及び第２図（第２Ａ図、第２Ｂ図）には加工ステ ージョン８が示されており、該加工ステーション８は、加工装置１２のウェーハ 取扱い機構を覆う容易に取外し可能な遮蔽体であるキャノピ−ＩＯを有している 。加工装置１２は、例えば、ホトレジストアプリケータ、マスクアライナ、検査 ステーション又は任意の同様な加工装置である。キャノピ−１０は、この内部の 視覚検査及び／又はメインテナンスを容易に行い得るようにアクリル又はレキサ ン（Ｌｅｘａｎ）等の透明プラスチックで作られており、加工装置１２の取扱い 機構及びウェーハ１６を保持するウェーバカセントのようなホルダ１４を包囲し ている。

加工装置１２内の環境は別々に維持され且つ別々に浄化されるため、加工装置Ｆ １２をクリーンルーム内に配置する必要はない。

シール可能且つ輸送可能な容器（ボンド）１８は、ポート組立体２４によりキャ ノピ−１０の水平表面２２上に取り付けられている。また、容器１Ｂは、ボック ス（又はボックストップ）２０を育しており、該ボックス２０は内部領域２１及 びボックス扉３２を備えている。ボート組立体２４は、ポートプレート２６と、 ポート扉２８と、エレベータ機構３０とを有している。エレベータ機構３０は、 集積回路のウェーハ１６を入れるカセットホルダ１４を、ボックス２０の内部Ｗ ！域２１からキャノピ−１Ｏの下の領域内に移送する。第１Ｂ図において、ポー ト扉２８及びボックス！３２は、それらの閉鎖位置が破線で示されている。ムー バ組立体３４は、プラットホーム３６と、軸係合装置３８と、駆動モータ４０と を存している。プラントホーム３６はエレベータ機構３０から延びており、ボー ト扉２８と、ボックス扉３２とホルダ１４とを垂直方向に支持する。プラントホ ーム３６は、軸係合装置３８を介して、エレベータ機構３０の垂直ガイド４２に 取り付けられている。

−ａに、ガイド（垂直ガイド）４２は親ねしく図示せず）を有するギア（図示せ ず）を駆動モータ４０が駆動する。プラットホーム３６が閉鎖位置に駆動される と、ポート扉２８がキャノピ−１０のポート開口を閉鎖する。

同様に、垂直ガイド４２と係合する係合手段４８を備えたプラントホーム４６に は、全体を番号４４で示すマニピュレータ組立体が固定されている。マニピュレ ータ組立体４４は、マニピュレータアーム５０と、ホルダ１４と係合できる係合 ヘッド５２とを備えている０両プラットホーム３６．４６の垂直方向操作及びマ ニピュレータ組立体４４の操作により、ホルダ１４は、そのボックス５ｔ３２上 の位置から、破線で示すような準備ステーション１３上の位置に移動される。

第２Ａ図は、容器１８及びボート組立体２４の分解図である。

容器１８は、ボックス２０とボックス扉３２とを一体にシールしてボックス２０ の内部領域２１を周囲の条件から隔絶するときに、交互に加圧又は減圧される。

ボートプレート２６は、ガス供給弁５２　（第２Ｂ図）の同心状のインジェクタ ／エクストラクタ５０に連結できるようになっている。

第２Ｂ図には、加工装置１２のボート組立体２４に連結された容器１８が示され ている。容器１８はシール関係をなしてボート組立体２４に連結できるように設 計されており、このため、ボックス２０は、それぞれ第１ボックストップシール 面５４及び第２ボンクストフブシール面５６を存している。ボックス扉３２は、 第１ボックストップシール面５４とシール係合する第１ボックス扉シール面５８ を有しており、両シール面５４．５８の間のガスケット５５によりシールが形成 される。ボートプレート２６は、それぞれ第１ボートプレートシール面６０及び 第２ボートプレートシール面６２を有している。第１ボートプレートシール面６ ０は第２ボックストップシール面５６とシール係合し、両面５６．６０の間で第 ２シールとしてのガスケット５７が圧縮される。

ボート［２８は、第２ボートプレートシール面６２とシール係合する第１ボート 扉シール面６４を有しており、これらの両面の間にはガスケット５９が設けられ ている。ボックストップ（ボックス）２０には、弁５２とボックス２０の内部空 間（内部領域）２１との間のチャンネルを形成する導管６３を設けることができ る。チャンネル（導管）６３の一端には、該チャンネルを通る流体（例えばガス ）用のフィルタ６９が設けられている。

第１、第２及び第３のシールが形成されたならば、ボックス２０の内部空間２１ を交互に減圧／加圧することにより、内部空間２１が浄化される。内部空間２１ を減圧するため、インジェクタ／エクストラクタ５０が付勢され、内部空間２１ から流体が排出される。流体が排出されるとき、流体は、フィルタ６９、チャン 矛ル６３及びインジェクタ／エクストラクタ５０の同心状の弁（図示せず）を通 る。

ポート扉２８はラッチ作動機構６６を有しており、該ラッチ作動機構６６は、ボ ックス扉ラッチ機構８０を作動させ、これによりボックス２０からボックスｇ３ ２を解放させるビン７０を備えている。ウェーハ１６はエレベータ機構３０及び ムーバ組立体３４により加工装置１２内の適正位置に移動され、人手を要するこ となく加工される。

次に、第３図〜第１３図に関連して、本発明によるＳＭＩＦボンド用のラッチ機 構を説明する。好ましい実施例においては、ラッチ機構はボックスＩｆｉ３２に 設けられていて、中央操作により、単一ラッチ作動機構が、ボックス２０からボ ックス扉３２を解放することを可能にしている。別の構成として、本発明のラッ チ機構をボックス２０に設けることもできる。

第３図に示すように、ボックス２０はドーム形ハウジング９０及びリング状の保 合部分９２を有している。ハウジング９０及び係合部分９２は、例えば射出成形 により一体成形することができ、或いはボックス２０を形成すべく組み立てられ る別個の部品として形成することもできる。ボックス扉３２のガスゲット保持ス ロット１２２内にはガスケット１２０が配置されて、ボックス２０とボックスｒ Ｒ３２との間のシールを形成する。好ましい実施例においては、ボックス扉３２ にライナ（図示せず）が設けられ、ガスケット１２０が該ライナに接触するよう になっている。このライナは、本願が参考とした米国特許第４．７３９，８８２ 号において説明されているように、例えばガス抜けがなく又は粒子を導入しない プラスチック材料で作られた取り外し可能なエレメントである。

また、このライナは、静電気を放電させるかその帯電を防止できる材料で作るこ ともできる。ラッチ機構８０は、ベース（ボックス扉）３２内に収容されており 且つボックスＦｆｉ３２の窓９４から突出していて、ボックス２０のランチ係合 面１１２＋−＊（第８図、第９図）と保合できるようになっている。

本発明の２段ロータリカムラッチ機構８０は、第１及び第２のラッチプレート１ ０１＋−ｚ−ボックス扉３２に枢着されたカム機構１０３、及びランチプレート 支持体１０５１−６を有している。

ラッチ機構８０は、第４図〜第７図及び第１０図〜第１１図に示す２膜作動を行 う、第１作動段においては、カム機構１０３がランチプレート１０１１．、ｔを 直線的に摺動させ、第２作動段においては、カム機構１０３が、ラッチプレート 支持体１０５１−６上でラッチプレート１０１＋−ｚを枢動させる。

各ラッチプレート１０１．．□２は少なくとも１つのボックス係合部分を有して おり、好ましい実施例においては、ボックス係合部分は、ボンド内に使用されて ２００１ウエーハの保管及び輸送が行えるように設計されている。各ランチプレ ート１０１　＋−ｚは、それぞれ２つのラッチアーム１０８１−ｚ及び１０８ｓ −４を備えている。各ラッチアーム１０８　ｌ−４は２つのラッチフィンガ１１ ０１寥を有しており、該ランチフィンガ１１０．〜．はボックス２０のランチ保 合面１１２．−ｓ（第８Ａ図）の各１つと係合する。

ランチの第１作動段は、ラッチプレート１０１、−　を、ランチプレートｌ０１ １−＊がボックス扉３２内に完全に収容される引っ込み位置（すなわち非保合位 置）から、ランチフィンガ１１０＋−、がボックス扉３２から突出してボックス ２０のランチ保合面１１２．４に隣接する突出位置（保合位置）まで移動させる 作動である。

第１作動段において、ランチプレート１０１＋−ｚがボックス扉３２の平面に平 行な平面内で引っ込み位置から突出位置まで移動するとき、ランチフィンガ１１ ０＋−ｓがランチ係合面１１２Ｉ−ｓと接触することはない、従って、ラッチ係 合面１１２、ｓに対するラッチフィンガ１１０、＊のこすれすなわち摩擦により 粒子が形成されることは全くない。

ランチの第２作動段は、ラッチフィンガ１１０１−ａの実質的な垂直運動である 。ここで、「垂直運動」とは、ラッチの第１作動段中における、ボックス！Ｒ３ ２の平面及びランチプレート１０１１−１の運動平面に対して垂直な方向をいう 、第２作動殿中のランチフィンガ１１０１−＊の運動により、ランチフィンガ１ １０＋−ｓがラッチ係合面１１２、ｓの各１つと係合して、ボックス２０の第１ シール面と第２シール面とをシール係合させるラッチ力及び／ヌはクランプ力を 発生する。第１シール面はボックス２０のナイフェツジ１１８を備えており、第 ２シール面はボックス扉３２のガスゲット保持スロット１２２を備えている。ガ スケツ目２０はガスゲット保持スロット１２２内に配置されて、ボックス２０と ボックス扉３２との間のシールを形成する。ガスケ−／　ト１２０は、ナイフェ ツジ１１８が接触して該ナイフェツジ１１８により押さえつけられたときに粒子 を放散することがない弾力性のある圧縮性材料で作るのが好ましい、第８Ａ図は ボックス２０の保合部分９２を示す平面図であり、第８Ｂ図及び第８Ｃ図はナイ フエッジ１１８を示す断面図である。前述のように、ボックス扉３２とガスケッ ト１２０との間にライナを設けることができる。

ランチ機構８０は、ボックス扉３２のキャビティ１２４（第１１図）内に配置さ れる。カム機構１０３とランチプレート１０１ト富との相互作用及び／又はラッ チブレー）　１０１１−＊とランチプレート支持体１０５＋−ｉとの相互作用に より発生するあらゆる粒子は、キャビティ１２４内に収容される。また、キャビ ティ１２４から空気を抜き取るためのボートをボックス８３２に設け、キャビテ ィ１２４内で形成されたあらゆる粒子を除去できるようにしてもよい。

次に、第６図、第７図、第１１図、第１２図及び第１３図に関連して、カム機構 １０３の構造及び作動を詳細に説明する。カム機構１０３は、枢軸１３０（第１ ０図、第１１図）に取り付けられた２段カムであり、枢軸１３０はボックス８３ ２の上面３２ａに取り付けられている。カム機構１０３の第１及び第２の孔１３ ２＋−ｚが、ラッチ作動機構６６のピン７０と係合する。ボックス扉３２の底壁 ３２ｂには第１及び第２のスロン）１３４１−ｚが設けられていて、ビン７０が カム孔１３２１−ｘと係合できるようにしている。

カム機構２０３及びランチプレー）　１０１　＋−ｚの２つの作動段は、次のよ うにして行われる。ランチ作動の第１フエーズにおいては、カムローブ１３６． １が、ランチプレート１０１＋−ｚのそれぞれのカム面ｔ３８．−ｚと係合する （第６図、第７図）、カム機構１０３がアンラッチ位置から中間位置まで約４０ ”の角度にわたって回転すると、カムローブ１３６Ｉ−１は、ランチプレート１ ０１　、ｚを引っ込み位置から突出位置に移動させる。ラッチの第１作動段の摺 動作動中に、ラッチプレート１０１＋−ｚをボックス扉３２の平面に平行な平面 内に維持するため、ラッチプレート１０１１−１の各１つにはランチプレートば ね１４０．−、（第１０図、第１１図）が取り付けられており、該ばね１４０＋ −ｘは、それぞれのランチブレー）　１０１　＋−ｘのカムアーム１０９、−１ をカム機構１０３の方向に押圧している。ばね１４０１−１により付与される押 圧力により、それぞれのラッチブレー）　１０１　＋−ｔのローラ１４２　＋− ｔが、カム機構１０３のローラ面１４４に接触させられる。

カム機構１０３のローラ面１４４にはライザ（押上げ面）１４６、−＝（第１０ 図〜第１３図）が設けられている。カム機構１０３が、中間位置からランチ位置 までの運動の最初の４０°を超えて回転すると、ランチプレー）１０１＋−＊の ライナの運動が停止し、ローラ１４２１−ｔがそれぞれのライザｌ　４６　＋− ｔに載り始める。

ローラ１４２１−ｔがライザ１４６Ｉ−□に載り上がると、ラッチブレー）１０ １１−ｔが、ランチプレート支持体１０５．−３及びランチプレート１０１．と からなる第１群と、ラッチブレート支持体１０５４−．からなる第２群との接触 点により形成される軸線の回りで枢動する。ランチプレート１０１　＋−ｚのこ の枢動により、ラッチフィンガ１１０＋−ｓが、これらのラッチフィンガ１１０ とランチ保合面１１２とのこすり運動を行うことなく、はぼ垂直に移動される０ 本発明のラッチ機構８０の場合、ラッチプレート１０１１−１が中間位置にある とき、ラッチブレート支持体１０５１−．はフィンガ１１０から約２−１／４イ ンチ（約５７．２＋ｕａ）の距離にあり、且つ中間位置からランチ位置まで約０ ．０５４インチ（約１．３７５ｍ＋）だけ垂直方向に移動する。ランチフィンガ １１０は僅かに約０．００１インチ（約０．０２５　ｇｍ）の水平方向移動を受 けるに過ぎないことが経験的な結果により実証されている。この最小量の水平方 向移動により、こすりによる粒子の発生が防止される。

アンラッチ作動においては、カム機構１０３が反対方向に回転すると、ローラ１ ４２１−ｘがライザ１４６、−、を下り降りる。ばね１４０＋−ｚの押圧力によ り、ローラ１４２、−２はライザ１４６、−７と接触した状態に維持される。ロ ーラ１４２がローラ面１４４と接触するようになった後は、カムローブ１３６＋ −ｚが、ランチプレート１０１、−ｚのカム面１３８．−□上係合し、ランチプ レート１０１１−ｚを突出位置から引っ込み位置に移動させる。

ラッチブレー）１０１、−！及びカム機構１０３がラッチ位置にあるとき、カム ローブ１３６１−！はカム機構１０３の回転軸線と整合した状態にある。従って 、ラッチプレート１０１１−ｚを突出位置から引っ込み位置に移動させようとす るあらゆる力は、カム機構１０３をラッチ位置から回転させようとするトルクを 何ら発生させることなく、カム機構１０３の回転軸線を介してカムローブ１３６ ＋−ｚに沿って伝達される。従って、カムローブ１３６＋−ｇは、ラッチの第２ 作動段の間及びラッチ機構がラッチ位置にあるときの雨期間において、ラッチプ レート１０１を物理的に突出位置に維持して、ランチが直線的衝撃を受けたとき に解放されないようにする。

ランチの第２作動段により、ナイフェツジ１１８とガスケット１２０とを係合さ せる強力なりランプ力が発生され、これにより、ボンド１８の内部領域２１が外 部条件の影響を受けないように防止するシールが形成される０例えば、このシー ルにより、微粒状物質や水分が内部領域２】内に入ることが防止される。また、 このシールにより、内部領域２１を真空引きして不活性ガスの埋め戻しくバック フィル）を行うことが可能になる。クランプ力は、１インチ当たり約１ボンド（ 約０．１８ｋｇ／ｃｏ＋）である、このクランプ力は、ランチプレート１０１　 ＋−ｚを僅かに曲げることにより調節することができる。この曲げは、厚さ０． １２５インチ（約３．１８ｍｍ）のアルミニウム合金（例えば７０７５−Ｔ６） で形成されるラッチプレート１０１１−１について設計可能である。

クランプ力の付与によりボックス扉３２に局部的な曲がりすなわち変形が生じな いようにするため、クランプ荷重が分散される。

クランプ力を分散させる１つの手法は、各ランチプレート１０１１−２に多数の ラッチアーム１０８Ｉ−４を使用することである。ラッチアーム１０８　＋−ａ は、ボックス８ｔ３２の中央から縁部の端に至る距離の１／２の位置に配置され ている。第５図に示すように、輻Ｗをもつホックス扉の場合には、両ランチアー ムは互いに約Ｗ／２の距離を隔てて、且つボックス扉の縁部から約Ｗ／４の距離 を隔てて配置される。

ボックス２０（該ボックス２０は通常プラスチックで形成される）のう、チ係合 領域を強化するため、ラッチ係合面１１２＋−ｓの多対の間に支柱１１３が設け られている。この支柱１１３を収容するため、各ラッチアーム１０８１−ａは、 ラッチにより分離されたランチフィンガ１１０１−＊を有している。支柱１１３ は、ラッチ保合面１１２＋−ｓの非支持長さを約１／３のファクタだけ減少させ 、且つ２のファクタだけ剪断領域を増大させる機能を有している。

第１４Ａ図及び第１５Ａ図には、縁部（すなわち、支点２００、−４）において のみ支持されており且つボンド内に保管されたウェーハの荷重であってボックス 扉の面積全体にわたって均一に分布する荷重（Ｆ　Ｗ＋−）が作用しているボッ クス扉の撓みＤＡを図式的に示すものである。ボックス扉の周囲にはシール力Ｆ Ｓも作用している。ボックス扉の長さしに沿う任意のセフシランは梁として取り 扱うことができ、梁の中央における最大撓みＤＡはＬ３に従って変化する。荷重 が作用する粱の撓み及び応力は、例えばＱｂｅｒｙ及びＪｏｎｅｓ著「機械工学 ハンドブック＜１４ＡＣ１（ＩＮＥＲＹ’ｓ　ｔｌＡＮ［１−ＢＯＯＫ）　Ｊ　 （１９６３年、Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ｐｒｅｓｓ社発行）に記載されている既 知の現象である。撓みＤＡの量があまりにも大きいと、ボックス扉とボックスと の間のシールが壊れてしまうであろう。

第１４Ｂ図及び第１５Ｂ図には、本発明によるボックス扉の最大撓みり、が、縁 部のみにおいて支持されたボックス扉の撓みＤＡに比べ大幅に減少していること が図式的に示されている。本発明のボックス扉においては、ウェーハの荷重（Ｆ Ｗ）及びボックス扉に作用するシール力（ＦＳ）は、ラッチプレート支持体１０ ５、−１の位置で支持される。長さしに沿うボックス扉の各セクションを梁とし て取り扱えば、中央での最大撓みり、はＢ２　（Ｂ”−Ａ２＞／Ｌに従って変化 する。ボックス扉の片持ち部分にシール力ＦＳを付与すると、ウェーハの重量に より生じるボックス扉の撓みを生じさせる方向とは逆向きに作用する。本発明の ボックス扉の最大撓みり、は撓みＤＡのほぼ１／１０になるように決定されてい る。ボックス扉３２の幅に沿ってラッチプレート支持体］、０５が分散配置され ているため、幅方向に沿う撓みが防止される。

本発明のラッチ機構８０は、ボックス２０のベースの周囲を遮蔽する必要（従っ てボックス２０内の「清浄な」環境へのアクセス領域を無くす必要）は全くない 。また、ラッチ機構８０の全体がボックス５￥３２内に収容されているため、ボ ックス２０の浄化を容易に行うことができる。また、ラッチ機構８０に対する無 用な操作は事実上なくなる。これは、ラッチプレート１０１を突出位置から引っ 込み位置に移動させようとする力ではカム機構１０３を回転できないという事実 、及びカム機構１０３がボックス扉３２のキャビティ１２４内に収容されている ため、正当な権限のない者はカム孔１３２内に道具を挿入してカム機構１０３を 回転させる必要があるという事実による。従って、カム機構１０３が回転される 前に作動させなくてはならないインターロックシステム及び／又はカム機構１０ ３が回転される前に挿入しなければならない機械的キーを使用してのアクセスが 開眼される。

好ましい実施例及び図面に関連して述べた上記説明から、当業者には本発明の多 くの特徴及び利点が明らかになったであろう。

従って、本発明の範囲内に含まれるあらゆる変更及び均等物は、本願の特許請求 の範囲の記載によりカバーされる。

ＦＩＧ、−旧 ＦＩＧ、−６ ＦＩＧ、−７ ＦＩＧ、−１４Ａ ＦＩＧ、−１５Ａ 平成　年　月　日 ■

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. １．シール可能且つ輸送可能な容器において、内部領域及び第１シール面を備え たボックスと、第２シール面を備えたボックス扉とを有しており、第２シール面 は、ボックス扉がシール方向に移動されると第１シール面と係合するようになっ ており、 ラッチ手段を更に有しており、該ラッチ手段が、ボックスに対するボックス扉の 運動を許容する第１位置とボックスに対するボックス扉の運動を制限する第２位 置との間で第１方向の非こすり運動を行い、且つ前記第２位置と第３位置との間 で第２方向の非こすり運動を行なって、ボックス扉をシール方向に移動させ且つ 第１シール面と第２シール面とを接触させることを特徴とするシール可能且つ輸 送可能な容器。
2. ２．シール可能且つ輸送可能な容器において、内部領域及び第１シール面を備え たボックスと、第２シール面を備えたボックス扉とを有しており、第２シール面 は、ボックス扉がシール方向に移動されると第１シール面と係合するようになっ ており、 ラッチ手段を更に有しており、該ラッチ手段が、前記内部領域内でラッチ手段と ボックス又はボックス扉とがこすれ接触することなく、ボックスに対するボック ス扉の運動を許容する第１位置とボックスに対するボックス扉の運動を制限する 第２位置との間で第１方向に運動でき、且つ、前記内部領域内でラッチ手段とボ ックス又はボックス扉とがこすれ接触することなく、前記第２位置と第３位置と の間で第２方向に運動して、ボックス扉をシール方向に移動させ且つ第１シール 面と第２シール面とを接触させることを特徴とするシール可能且つ輸送可能な容 器。
3. ３．シール可能且つ輸送可能な容器において、第１シール面を備えたボックスと 、 第２シール面を備えたボックス扉とを有しており、第２シール面は、ボックス扉 がシール方向に移動されると第１シール面と係合するようになっており、 ラッチ手段を有しており、該ラッチ手段が、ボックスに対してボックス扉が移動 されるときにラッチ手段がボックスをバイパスする第１位置と、ラッチ手段がボ ックスに対するボックス扉の運動を制限する第２位置と、第３位置との間で第１ 方向に移動できるようにボックス扉に取り付けられていて、前記第１位置から第 ２位置へのうッチ手段の運動が該ラッチ手段とボックスとの間の滑り接触なくし て行われ、ラッチ手段が更に、前記第２位置から第３位置に向かう第２方面に移 動できるようにボックス扉に取り付けられていて、ラッチ手段とボックスとの間 の滑り接触なくしてボックス扉をシール方向に移動させ、ラッチ手段を前記第１ 位置から第２位置に移動させ且つラッチ手段を第２位置から第３位置に移動させ るラッチ作動手段を更に有していることを特徴とするシール可能且つ輸送可能な 容器。
4. ４．前記ラッチ手段が第３位置にあるとき、ラッチ手段がボックスに接触し、 前記ラッチ手段が第３位置にあるとき、ラッチ手段が、ボックス扉の周囲から間 隔を隔てた位置においてボックス扉を支持してボックス扉の撓みを防止すること を特徴とする請求の範囲第３項に記載の容器。
5. ５．前記ラッチ手段が第１ラッチ部材及び第２ラッチ部材を備えており、 前記ラッチ作動手段がボックス扉内で中央に配置されており且つ前記第１及び第 ２ラッチ部材の両方を移動させることを特徴とする請求の範囲第４項に記載の容 器。
6. ６．標準機械式インターフェース（ＳＭＩＦ）ポッドにおいて、内部領域、第１ シール面、及び少なくとも２つのラッチ係合面を備えたボックスと、 第２シール面を備えたボックス扉と、 ボックス扉がボックスに対してシール方向に移動されるときに、前記内部領域を 周囲の圧力条件から隔絶するシールを形成すべく前記第１及び第２シール面と係 合する手段と、ボックス扉に設けられた第１及び第２ラッチ部材とを有しており 、各ラッチ部材が、少なくとも２つのボックス係合部分を備えており且つ非係合 位置と、係合する位置と、係合した位置との間で移動でき、ラッチ部材が、ボッ クスと接触することなく、前記非係合位置から前記係合した位置へと移動でき、 前記係合する位置から前記係合した位置への前記ラッチ部材の移動により、該ラ ッチ部材がラッチ係合面に対してこすれることなく、ラッチ部材のボックス係合 部分とラッチ係合面とが接触され且つボックス扉がシール方向に移動され、ボッ クス扉の中央に配置された２段カム手段を更に有しており、該２段カム手段が、 第１独立作動段において前記ラッチ部材を前記非係合位置から前記係合する位置 に移動させ、且つ第２独立作動段において前記ラッチ部材を前記係合する位置か ら前記係合した位置に移動させることを特徴とする標準機械式インターフェース ポッド。
7. ７．前記ラッチ部材が前記係合した位置にあるとき、ラッチ部材がボックスと接 触し、 前記ラッチ部材が前記係合した位置にあるとき、ラッチ部材が、ボックス扉の周 囲から間隔を隔てた位置にボックス扉を支持してボックス扉の撓みを防止するこ とを特徴とする請求の範囲第６項に記載のシール可能つ輸送可能な容器。
8. ８．加工すべき物品の清浄度を維持する輸送可能な容器において、物品を収容す る内部空間を形成するボックスを有しており、該ボックスがボックスシール面と 少なくとも２つのラッチ面とを備えており、 ボックス扉シール面を備えたボックス扉と、ボックス扉がボックスに対してシー ル方向に移動するとき、周囲の圧力条件から内部領域を隔絶するシールを形成す べく、ボックスシール面及びボックス扉シール面と係合する手段と、各々がボッ クス係合部分を備えている少なくとも２つのラッチアームとを有しており、各ラ ッチアームが、ボックスに接触することなく、ラッチアームがボックス扉内に完 全に収容される引っ込み位置と、ラッチアームのボックス係合部分が前記ラッチ 面のそれぞれに隣接して配置される突出位置との間で移動でき、且つラッチ面に 対してラッチアームがこすれることなく前記突出位置とラッチ位置との間で移動 できるようにボックス扉に取り付けられており、 直線運動及び枢動運動できるようにラッチアームをボックス扉に支持する第１手 段と、 ボックス扉シール面にほぼ平行な第１平面内の運動により、ラッチアームを引っ 込み位置から突出位置に移動させ、且つラッチアームを突出位置からラッチ位置 まで枢動させる第２手段とを更に有しており、前記第１平面にほぼ垂直な方向に ラッチアームのボックス係合部分が移動して、ボックス扉をシール方向に移動さ せることを特徴とする加工すべき物品の清浄度を維持する輸送可能な容器。
9. ９．前記第１手段が、ボックス扉の周囲から間隔を隔てた位置においてボックス 扉に設けられた第１群及び第２群のラッチアーム支持部材を備えており、 前記第１群のラッチアーム支持部材が前記第１ラッチアームを支持しており、 前記第２群のラッチアーム支持部材が前記第２ラッチアームを支持していること を特徴とする請求の範囲第８項に記載の輸送可能な容器。
10. １０．前記第２手段が２段ロータリカムを有しており、該２段ロータリカムが少 なくとも２つの第１段カム面及び少なくとも２つの第２段カム面とを備えており 、前記２段ロータリカムがボックス扉の中央において回転可能に取り付けられて いて、該２段ロータリカムの第１位置から第２位置への回転により、前記第１段 カム面がそれぞれのラッチアームと係合され且つそれぞれのラッチアームを引っ 込み位置から突出位置へと移動させ、且つ、前記第２位置から第３位置への前記 ２段ロータリカムの回転により、第２段カム面がそれぞれのラッチアームと係合 され且つそれぞれのラッチアームを突出位置からラッチ位置へと枢動させること を特徴とする請求の範囲第８項に記載の輸送可能な容器。
11. １１．加工すべき物品の清浄度を維持するＳＭＩＦシステムにおいて、 物品を収容する内部空間を形成するＳＭＩＦポッドを有しており、該ＳＭＩＦポ ッドが、 第１及び第２のボックストップシール面を備えたボックスと、ボックス扉シール 面を備えたボックス扉と、ボックス扉がボックスに対してシール方向に移動され るときに、前記内部空間を周囲の圧力条件から隔絶するシールを形成すべく、前 記第１ボックストップシール面及びボックス扉シール面と係合するガスケットと 、 各々がボックス係合部分を備えている少なくとも２つのラッチアームとを有して おり、各ラッチアームは、ラッチアームがボックス扉内に完全に収容される引っ 込み位置とラッチアームのボックス係合部分が前記ラッチ面のそれぞれに隣接し て配置される突出位置との間でボックスに接触することなく移動できるように、 且つ前記突出位置とラッチ位置との間で移動できるようにボックス扉に取り付け られており、直線運動及び枢動運動できるようにラッチアームをボックス扉に支 持する第１手段と、 ラッチアームを引っ込み位置から突出位置まで直線的に移動させ、且つラッチア ームを突出位置からラッチ位置まで枢動させる第２手段とを更に有しており、ラ ッチアームのボックス係合部分がボックス扉をシール方向に移動させて第１シー ルを形成し、 第１及び第２のポートプレートシール面を備えたポートプレートを有しており、 第１ポートプレートシール面が第２ボックストップシール面とシール係合して第 ２シールを形成し、第２ポートプレートシール面とシール係合して第３シールを 形成する第１ポート扉シール面を備えたポート扉を更に有しており、前記ポート 扉が前記第２手段を作動させる手段を備えていることを特徴とする加工すべき物 品の清浄度を維持するＳＭＩＦシステム。
12. １２．前記内部空間と周囲の外部との間でボックスに連通している導管手段と、 該導管手段を通る流体を濾過する濾過手段とを更に有していることを特徴とする 請求の範囲第１１項に記載のＳＭＩＦシステム。
13. １３．加工すべき物品の清浄度を維持するＳＭＩＦシステムにおいて、 物品を収容する内部空間を形成するボックスを有しており、該ボックスが第１及 び第２のボックストップシール面を備えており、 第１ボックストップシール面とシール係合して第１シールを形成する第１ボック ス扉シール面を備えたボックス扉と、ボックス扉をボックストップにラッチする ボックス扉ラッチ手段とを有しており、該ボックス扉ラッチ手段の操作により前 記第１シールの形成及び解除が行われ、ボックス扉ラッチ手段が、 ボックス扉に設けられたラッチプレートを有しており、該ラッチプレートが少な くとも２つのボックス係合部分を備えており且つ非係合位置と、係合する位置と 、係合した位置との間で移動でき、前記係合する位置から前記係合した位置への ラッチプレートの移動により、ラッチプレートのボックス係合部分がラッチ係合 面に接触して、ボックスの内部領域に向けてボックス扉を移動させ、且つ前記第 １及び第２シール面を一体に押圧して、前記内部領域を周囲の圧力条件から隔絶 するシールを形成し、 ２段カム手段を有しており、該２段カム手段が、第１独立作動段において、ラッ チプレートをボックスに接触させることなく、前記ラッチプレートを前記非係合 位置から前記係合する位置に移動させ、且つ第２独立作動段において、前記ラッ チプレートを前記係合する位置から前記係合した位置に移動させ、前記内部空間 と周囲の外部との間でボックスに連通している導管手段と、 該導管手段を通る流体を濾過する濾過手段と、加工ステーションとを有しており 、該加工ステーションが、第１及び第２のポートプレートシール面を備えたポー トプレートを有しており、第１ポートプレートシール面が第２ボックストップシ ール面とシール係合して第２シールを形成し、第２ポートプレートシール面とシ ール係合して第３シールを形成する第１ポート扉シール面を備えたポート扉を有 しており、前記ポート扉が前記ボックス扉ラッチ手段を付勢する手段を備えてお り、 前記濾過手段を通して流体をボックスから出入りさせる流体移動手段を更に有し ており、該流体移動手段は、これが付勢されたときに、前記導管手段と連通して いる流体を移動させて前記内部空間を交互に減圧又は加圧することを特徴とする 加工すべき物品の清浄度を維持するＳＭＩＦシステム。