KR102605209B1 - 카세트 로딩 방법 - Google Patents

카세트 로딩 방법 Download PDF

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Abstract

카세트 로딩 방법은 스토커 장치에서 로봇에 파지된 카세트를 선반에 로딩하기 위한 로딩 위치로 이동시키는 단계와, 상기 로봇에 구비된 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계와, 상기 카세트가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 상기 로봇에 파지된 카세트를 상기 선반으로부터 언로딩하기 위한 언로딩 위치로 이동시키는 단계와, 상기 센서로 상기 카세트가 언로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계 및 상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 카세트가 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

카세트 로딩 방법{Method of loading a cassette}
본 발명은 카세트 로딩 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스토커 장치에서 카세트를 선반에 로딩하기 위한 카세트 로딩 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 기판 또는 유리 기판 등의 기판에 증착, 식각 등의 단위 공정을 반복적으로 수행하여 반도체 장치 또는 액정 표시 장치 등을 제조한다. 상기 각 공정은 순차적으로 수행되며, 각 공정을 수행하기 위해 상기 기판이 각 공정이 이루어지는 공정 장치로 이송된다.
이때, 상기 기판들은 미세 먼지나 입자에 의해서도 쉽게 불량이 발생하기 때문에 상기 각 공정간을 이동하는 상기 기판들은 매우 청정한 상태로 유지되어야 한다. 또한, 상기 기판들을 하나씩 이송하는 것을 효율이 떨어진다. 그러므로, 상기 기판들은 카세트에 수납된 상태로 이동하게 된다.
상기 공정 장치들은 각각 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르다. 이로 인해, 발생하는 문제를 해결하기 위해 상기 카세트를 임시로 보관하는 스토커 시스템이 사용된다.
스토커 시스템은 상기 기판들이 수납된 카세트들을 수용하기 위한 다수의 선반들, 상기 선반과 일정 거리 이격되어 형성된 레일을 따라 이동하면서 상기 카세트를 상기 선반에 로딩하거나, 상기 선반으로부터 상기 카세트를 언로딩하기 위한 로봇을 포함한다.
상기 로봇은 상기 카세트를 선반에 정확하고 안정적으로 로딩 및 언로딩하기 위해 정위치 센서와 이중 반입 센서를 구비한다. 상기 정위치 센서는 상기 로봇이 파지한 상기 카세트가 상기 선반을 기준으로 상기 선반에 로딩되기 위한 정위치에 위치하는지를 감지한다. 상기 이중 반입 센서는 상기 로봇이 파지한 상기 카세트가 로딩될 선반에 다른 카세트가 존재하는지를 감지한다.
상기 로봇에 상기 정위치 센서와 상기 이중 반입 센서가 각각 구비되므로, 상기 센서들을 구비하는데 많은 비용이 소요되고, 상기 센서들의 설정과 유지 보수에 많은 시간이 소요된다. 또한, 상기 센서들과 연결되는 케이블의 개수도 증가하므로, 상기 케이블을 구비하기 위한 공간을 확보하기가 어렵다.
본 발명은 하나의 센서를 이용하여 정위치 및 이중 반입을 감지하면서 스토커 장치에서 카세트를 선반에 로딩하기 위한 카세트 로딩 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 카세트 로딩 방법은 스토커 장치에서 로봇에 파지된 카세트를 선반에 로딩하기 위한 로딩 위치로 이동시키는 단계와, 상기 로봇에 구비된 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계와, 상기 카세트가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 상기 로봇에 파지된 카세트를 상기 선반으로부터 언로딩하기 위한 언로딩 위치로 이동시키는 단계와, 상기 센서로 상기 카세트가 언로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계 및 상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 카세트가 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 로딩 방법은 상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우 상기 선반에 다른 카세트가 이미 로딩된 이중 반입 에러로 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 로딩 방법은 상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우 상기 로봇에 파지된 카세트를 상기 선반의 로딩 위치에 다시 이동시키는 단계와, 상기 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 재확인하는 단계 및 상기 카세트가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 선반에 다른 카세트가 이미 로딩된 이중 반입 에러로 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 재확인하는 단계는 상기 로봇을 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동하면서 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반의 내측 후면에 상기 카세트가 로딩되는 바닥판을 기준으로 상기 로딩 정위치를 확인하기 위한 제1 반사판과 상기 언로딩 정위치를 확인하기 위한 제2 반사판이 상하로 구비되고, 상기 센서는 상기 제1 반사판 및 상기 제2 반사판으로 광을 조사하고, 상기 제1 반사판 및 상기 제2 반사판으로부터 반사되는 광을 수신하여 상기 로딩 정위치 및 상기 언로딩 정위치를 확인할 수 있다.
본 발명의 카세트 로딩 방법에 따르면, 로봇에 구비된 하나의 센서를 이용하여 상기 로봇이 파지한 상기 카세트가 상기 선반에 로딩되기 위한 정위치에 위치하는지를 감지하고, 상기 로봇이 파지한 상기 카세트가 로딩될 선반에 다른 카세트가 존재하는지를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 카세트를 이중 반입 없이 상기 선반에 정확하고 안정적으로 로딩할 수 있다.
또한, 상기 로봇에 하나의 센서만 구비되므로, 상기 센서를 구비하는데 소요되는 비용을 줄일 수 있고, 상기 센서의 설정과 유지 보수에 소요되는 시간도 줄일 수 있다. 그리고, 상기 센서와 연결되는 케이블의 개수를 줄일 수 있으므로, 상기 케이블을 구비하기 위한 공간을 용이하게 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커 장치를 이용한 일 실시예에 따른 카세트 로딩 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커 장치를 이용한 다른 실시예에 따른 카세트 로딩 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 로딩 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 1을 참고하면, 스토커 장치(1)는 로봇(10) 및 선반(30)을 포함한다.
로봇(10)은 다수의 기판들이 수납된 카세트(20)를 지지하며, 카세트(20)를 선반(30)으로 로딩하거나, 선반(30)으로부터 카세트(20)를 언로딩할 수 있다. 로봇(10)은 전단부 또는 상부면에 센서(12)를 구비한다.
선반(30)은 내측 후면(32)에 카세트(20)가 로딩되는 바닥판(34)을 기준으로 제1 반사판(40)과 제2 반사판(42)이 상하로 구비된다. 즉, 제1 반사판(40)은 바닥판(34)의 상방에 위치하고, 제2 반사판(42)은 바닥판(34)의 하방에 위치한다. 다른 예로, 제1 반사판(40)은 바닥판(34)의 상부면에 구비되고, 제2 반사판(42)은 바닥판(34)의 하부면에 구비될 수도 있다. 이때, 제1 반사판(40)과 제2 반사판(42)은 상하로 동일 선상에 위치할 수 있다.
제1 반사판(40)은 카세트(20)의 로딩 정위치를 확인하는데 사용되고, 제2 반사판(42)은 카세트(20)의 언로딩 정위치를 확인하는데 사용될 수 있다.
또한, 제1 반사판(40)과 제2 반사판(42)은 선반(30)에 카세트(20)가 이중 반입되는 것을 검출하는데 사용될 수도 있다.
센서(12)는 선반(30)에 구비된 제1 반사판(40) 및 제2 반사판(42)으로 광을 조사하고 제1 반사판(40) 및 제2 반사판(42)으로부터 반사되는 반사광을 수신하여 상기 로딩 정위치 및 상기 언로딩 정위치를 확인할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커 장치를 이용한 일 실시예에 따른 카세트 로딩 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2를 참고하면, 스토커 장치(1)에서 로봇(10)에 카세트(20)를 안착시킨 다음, 로봇(10)을 이용하여 카세트(20)를 선반(30)에 로딩하기 위한 로딩 위치로 이동시킨다. (S110)
카세트(20)가 상기 로딩 위치로 이동하면, 로봇(10)에 구비된 센서(12)로 카세트(20)가 로딩 정위치에 위치하는지 확인한다. (S120)
구체적으로, 센서(12)가 선반(30)에 구비된 제1 반사판(40)으로 광을 조사하고 제1 반사판(40)으로부터 반사되는 반사광을 수신하는 경우, 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는 것으로 판단한다.
센서(12)가 선반(30)에 구비된 제1 반사판(40)으로 광을 조사하고 제1 반사판(40)으로부터 반사되는 반사광을 수신하지 못하는 경우, 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 것으로 판단한다.
센서(12)가 제1 반사판(40)의 반사광을 수신하지 못하는 경우의 예로는 선반(30)에 카세트(20)가 이미 로딩되어 카세트(20)가 제1 반사판(40)을 차단하고 있는 경우와, 선반(30)에 카세트(20)가 로딩되어 있지 않지만 센서(12)와 제1 반사판(40)의 정렬이 수평 방향이나 수직 방향으로 어긋난 경우를 들 수 있다.
상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는 경우, 로봇(10)이 카세트(20)를 선반(30)으로 로딩한다. (S130)
카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치한 상태에서 카세트(20)가 로딩되므로, 카세트(20)가 선반(30)에 정확하게 로딩될 수 있다.
카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 로봇(10)을 이용하여 카세트(20)를 선반(30)으로부터 언로딩하기 위한 언로딩 위치로 이동시킨다. (S140)
상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 것으로 확인되는 경우로는 선반(30)에 카세트(20)가 이미 로딩되어 카세트(20)가 제1 반사판(40)을 차단하고 있는 경우와 선반(30)에 카세트(20)가 로딩되어 있지 않지만 센서(12)와 제1 반사판(40)의 정렬이 수평 방향이나 수직 방향으로 어긋나는 경우를 들 수 있다. 따라서, 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 것으로 확인되는 경우가 상기 중 어느 경우인지를 확인하기 위해 카세트(20)를 상기 언로딩 위치로 이동시킨다
카세트(20)가 상기 언로딩 위치로 이동하면, 로봇(10)에 구비된 센서(12)로 카세트(20)가 언로딩 정위치에 위치하는지 확인한다. (S150)
구체적으로, 센서(12)가 선반(30)에 구비된 제2 반사판(42)으로 광을 조사하고 제2 반사판(42)으로부터 반사되는 반사광을 수신하는 경우, 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 것으로 판단한다.
센서(12)가 선반(30)에 구비된 제2 반사판(42)으로 광을 조사하고 제2 반사판(42)으로부터 반사되는 반사광을 수신하지 못하는 경우, 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 것으로 판단한다.
센서(12)가 제2 반사판(42)의 반사광을 수신하지 못하는 경우의 예는 센서(12)와 제2 반사판(42)의 정렬이 수평 방향이나 수직 방향으로 어긋난 경우일 수 있다.
한편, 제1 반사판(40)과 제2 반사판(42)이 상하로 동일 선상에 위치하는 경우, 로봇(10)은 상기 로딩 위치에서 수직 방향을 따라 하강하여 카세트(20)를 상기 언로딩 위치로 이동시킬 수 있다.
카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 카세트(20)가 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단한다. (S160)
구체적으로, 로봇(10)은 상기 로딩 위치에서 수직 방향을 따라 하강하여 카세트(20)를 상기 언로딩 위치로 이동시킬 수 있으므로, 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는 것으로 확인되지 않고, 상기 언로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 것으로도 확인되지 않는 경우, 센서(12)와 제1 반사판(42)의 정렬 및 센서(12)와 제2 반사판(42)의 정렬이 수평 방향이나 수직 방향으로 어긋나 카세트(20)가 정위치에서 벗어나 있는 것으로 판단한다. 따라서, 카세트(20)가 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단한다.
카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우, 선반(30)에 다른 카세트(20)가 이미 로딩된 이중 반입 에러로 판단한다. (S170)
로봇(10)은 상기 로딩 위치에서 수직 방향을 따라 하강하여 카세트(20)를 상기 언로딩 위치로 이동시킬 수 있으므로, 상기 로딩 위치에서 센서(12)와 제1 반사판(40)의 정렬이 어긋나 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 상기 언로딩 위치에서도 센서(12)와 제2 반사판(42)의 정렬이 어긋나 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않아야 한다.
그러나, 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는 것으로 확인되지 않지만, 상기 언로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 것으로 확인된다.
따라서, 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는 것으로 확인되지 않는 이유가 상기 로딩 위치에서 센서(12)와 제1 반사판(40)의 정렬이 어긋났기 때문이 아니라 선반(30)에 카세트(20)가 이미 로딩되어 카세트(20)가 제1 반사판(40)을 차단하고 있기 때문으로 판단한다.
그러므로, 상기 언로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우는 상기 이중 반입 에러로 판단한다.
상기 카세트 로딩 방법에 따르면, 로봇(10)에 구비된 하나의 센서(12)를 이용하여 카세트(20)의 정위치 에러 및 이중 반입 에러를 감지함으로써 카세트(20)를 로딩 불량이나 이중 반입 없이 선반(30)에 정확하고 안정적으로 로딩할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커 장치를 이용한 다른 실시예에 따른 카세트 로딩 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3을 참조하면, 로봇(10)을 이용하여 카세트(20)를 선반(30)에 로딩하기 위한 로딩 위치로 이동시키고(S110), 로봇(10)에 구비된 센서(12)로 카세트(20)가 로딩 정위치에 위치하는지 확인하고(S120), 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는 경우, 로봇(10)이 카세트(20)를 선반(30)으로 로딩하고(S130), 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 로봇(10)을 이용하여 카세트(20)를 선반(30)으로부터 언로딩하기 위한 언로딩 위치로 이동시키고(S140), 카세트(20)가 상기 언로딩 위치로 이동하면, 로봇(10)에 구비된 센서(12)로 카세트(20)가 언로딩 정위치에 위치하는지 확인하고(S150), 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 카세트(20)가 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단한다(S160).
상기에 대한 구체적인 설명은 도 2를 참조한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다.
상기 언로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우, 로봇(10)에 파지된 카세트(20)를 선반(30)의 상기 로딩 위치로 다시 이동시킨다. (S210)
카세트(20)를 상기 로딩 위치로 다시 이동시키는 이유는 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는지를 재확인하기 위해서이다.
카세트(20)가 상기 로딩 위치로 다시 이동하면, 로봇(10)에 구비된 센서(12)로 카세트(20)가 로딩 정위치에 위치하는지 재확인한다. (S220)
구체적으로, 상기 카세트(20)의 로딩 정위치 확인은 센서(12)가 선반(30)에 구비된 제1 반사판(40)으로 광을 조사하고 제1 반사판(40)으로부터 반사되는 반사광을 수신하여 이루어진다. 이때, 로봇(10)을 기 설정된 범위에서 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동하면서 카세트(20)의 로딩 정위치를 확인할 수 있다. 따라서, 센서(12)와 제1 반사판(40)의 정렬이 어긋난 경우에도 카세트(20)의 로딩 정위치를 확인할 수 있다.
카세트(20)의 로딩 정위치 재확인 결과, 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 선반(30)에 다른 카세트(20)가 이미 로딩된 이중 반입 에러로 판단한다. (S230)
로봇(10)을 상기 기 설정된 범위에서 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동하면서 카세트(20)의 로딩 정위치를 재확인하더라도 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 것으로 확인되는 것은 센서(12)와 제1 반사판(40)의 정렬이 어긋났기 때문이 아니라 선반(30)에 카세트(20)가 이미 로딩되어 카세트(20)가 제1 반사판(40)을 차단하고 있기 때문으로 판단한다. 따라서, 카세트(20)의 로딩 정위치를 재확인 결과, 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우는 상기 이중 반입 에러로 판단한다.
카세트(20)의 로딩 정위치 재확인 결과, 상기 로딩 위치에서 카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치하는 경우, 로봇(10)이 카세트(20)를 선반(30)으로 로딩한다. (S130)
카세트(20)가 상기 로딩 정위치에 위치한 상태에서 카세트(20)가 로딩되므로, 카세트(20)가 선반(30)에 정확하게 로딩될 수 있다.
상기 카세트 로딩 방법에 따르면, 로봇(10)에 구비된 하나의 센서(12)를 이용하여 카세트(20)의 정위치 에러 및 이중 반입 에러를 감지함으로써 카세트(20)를 로딩 불량이나 이중 반입 없이 선반(30)에 정확하고 안정적으로 로딩할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1 : 스토커 장치 10 : 로봇
12 : 센서 20 : 카세트
30 : 선반 32 : 내측 후면
34 : 바닥판 40 : 제1 반사판
42 : 제2 반사판

Claims (7)

  1. 스토커 장치에서 로봇에 파지된 카세트를 선반에 로딩하기 위한 로딩 위치로 이동시키는 단계;
    상기 로봇에 구비된 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계;
    상기 카세트가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 상기 로봇에 파지된 카세트를 상기 선반으로부터 언로딩하기 위한 언로딩 위치로 이동시키는 단계;
    상기 센서로 상기 카세트가 언로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계;
    상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 카세트가 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단하는 단계; 및
    상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우 상기 선반에 다른 카세트가 이미 로딩된 이중 반입 에러로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.
  2. 삭제
  3. 스토커 장치에서 로봇에 파지된 카세트를 선반에 로딩하기 위한 로딩 위치로 이동시키는 단계;
    상기 로봇에 구비된 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계;
    상기 카세트가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우, 상기 로봇에 파지된 카세트를 상기 선반으로부터 언로딩하기 위한 언로딩 위치로 이동시키는 단계;
    상기 센서로 상기 카세트가 언로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계;
    상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 카세트가 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단하는 단계;
    상기 카세트가 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우 상기 로봇에 파지된 카세트를 상기 선반의 로딩 위치에 다시 이동시키는 단계;
    상기 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 재확인하는 단계; 및
    상기 카세트가 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 선반에 다른 카세트가 이미 로딩된 이중 반입 에러로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 센서로 상기 카세트가 로딩 정위치에 위치하는지 재확인하는 단계는 상기 로봇을 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동하면서 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 선반의 내측 후면에 상기 카세트가 로딩되는 바닥판을 기준으로 상기 로딩 정위치를 확인하기 위한 제1 반사판과 상기 언로딩 정위치를 확인하기 위한 제2 반사판이 상하로 구비되고,
    상기 센서는 상기 제1 반사판 및 상기 제2 반사판으로 광을 조사하고, 상기 제1 반사판 및 상기 제2 반사판으로부터 반사되는 광을 수신하여 상기 로딩 정위치 및 상기 언로딩 정위치를 확인하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.
  6. 스토커 장치에서 로봇에 적재된 카세트를 선반에 로딩하기 위하여 상기 로봇을 로딩 위치로 이동시키는 단계;
    상기 로봇에 구비된 센서로 상기 로봇이 로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계;
    상기 로봇이 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 선반으로부터 카세트를 언로딩하기 위한 언로딩 위치로 상기 로봇을 이동시키는 단계;
    상기 센서로 상기 로봇이 언로딩 정위치에 위치하는지 확인하는 단계;
    상기 로봇이 상기 언로딩 정위치에 위치하지 않는 경우 상기 로봇이 상기 로딩 정위치에 위치하지 않는 정위치 에러로 판단하는 단계; 및
    상기 로봇이 상기 언로딩 정위치에 위치하는 경우 상기 선반에 이미 다른 카세트가 로딩되어 있는 이중 반입 에러로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 로딩 방법.
  7. 삭제
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