KR20080000984A - 스토커 시스템 - Google Patents

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KR20080000984A
KR20080000984A KR1020060058950A KR20060058950A KR20080000984A KR 20080000984 A KR20080000984 A KR 20080000984A KR 1020060058950 A KR1020060058950 A KR 1020060058950A KR 20060058950 A KR20060058950 A KR 20060058950A KR 20080000984 A KR20080000984 A KR 20080000984A
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양영오
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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    • B65G60/00—Simultaneously or alternatively stacking and de-stacking of articles
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Abstract

본 발명은 기판을 저장하고 이송하는 장치에 있어서, 장애물 감지 센서를 이용하여 스토커 내부로 진입된 장애물 및 사람에 대한 감지 기능을 구현하여 스토커 출입 인원과 장치의 안전을 확보하기 위한 것이다.
센서(sensor), 스토커(stocker), 랙 마스터(Rack Master), 충돌

Description

스토커 시스템{STOCKER SYSTEM}
도 1은 기존의 스토커를 상부에서 본 모습을 도시한 평면도.
도 2는 기존의 스토커를 측면에서 본 모습을 도시한 단면도.
도 3는 본 발명에 따른 스토커 시스템을 설명하기 위한 개요도.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 제 1 장애물 감지 센서의 위치와 감지 범위를 상부에서 본 모습을 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 제 2 장애물 감지 센서의 위치와 감지 범위를 상부에서 본 모습을 나타낸 단면도.
도 6는 본 발명의 실시예에 의한 제 2 장애물 감지 센서의 위치를 측면에서 본 모습을 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 스토커 시스템을 나타낸 순서도.
도 8는 본 발명의 실시예에 따른 수동 모드 스토커 시스템을 나타낸 순서도.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
101 : 스토커 102 : 랙 마스터
103 : 쉘프 104a, 104b : AGV 포트
105 : MGV 포트 106 : 인 라인 로더
S100, S200 : 장애물 감지용 센서
본 발명은 기판을 저장하고 이송하는 장치에 있어서, 장애물 감지 센서를 이용하여 스토커 내부로 진입한 장애물 및 사람에 대한 감지 기능을 구현함으로써 스토커 출입 인원에 대한 안전을 확보하기 위한 스토커 시스템(stocker system)에 관한 것이다.
근래 정보 통신 분야의 급속한 발전으로 각종 정보를 표시해 주는 디스플레이 장치의 중요도가 갈수록 높아지고 있는 가운데, 기존의 표시 장치 중의 하나인 음극선관(Cathode Ray Tube)은 일정한 한계가 있어 최신의 추세인 경량화, 박형화에 부응할 수 없었다. 이에, 평판 디스플레이로서 액정 표시 소자(LCD : Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 장치(PDP : Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescence Display) 등이 개발되어 이에 대한 연구와 개발이 활발히 진행되고 있다. 상기 표시 장치 중 액정 표시 소자는 경량화, 박형화, 저전력 등의 장점을 가진 표시 장치로서, 노트북 컴퓨터 등의 디스플레이 장치뿐만 아니라 데스크탑 컴퓨터 및 대형 TV 등에 적용되어 광범위하게 사용되고 있으며 이에 대한 수요는 계속하여 증가하고 있는 추세이다.
이러한 액정 표시 소자는 화상을 구현하기 위한 액정 패널을 포함하고 있으며, 액정 패널은 유리 기판을 포함하여 구성된다. 그런데 액정 표시 소자를 만들기 위한 과정 중에는 일시적으로 유리 기판을 수납, 저장하는 공간이 필요하며 이러한 공간을 스토커(stocker)라고 한다. 유리 기판은 카세트(casette)에 수납된 뒤 다음 공정이 진행되기 전까지 상기 스토커에서 저장되게 된다.
도 1은 기존의 스토커를 위에서 상부에서 본 모습을 도시한 평면도이고 도 2는 스토커를 측면에서 본 모습을 도시한 단면도이다.
기존의 스토커(1)는 유리 기판이 다음 공정으로 진행되기 이전에 보관이 되는 장소로, 여러 개의 쉘프(3)와 공정 중 적재기(인 라인 로더, in line loader : 6) 및 여러 가지 포트(4a, 4b, 5)로 구성되어 있다. 쉘프(3)에는 각각 카세트(미도시)가 입고되어 있다. 즉, 유리 기판은 카세트에 수납되고, 카세트는 다수의 쉘프(3) 중 하나에 입고되거나 취출(이하, 이를 이재라고 한다.)된다. 스토커를 출입하는 인원은 출입문(6)을 통해 스토커 내외부로 이동할 수 있다.
공정이 진행되는 도중 카세트에 수납된 유리 기판은 자동 반송 장치(AGV : Automatic Guided Vehicle) 또는 인 라인 로더(6)에 의해 스토커(1)까지 운반된다. AGV는 스토커의 일부분인 AGV 포트(AGV Port : 4a, 4b)를 통해 스토커 내로 카세트를 입고하거나 스토커 밖으로 출고하게 된다. 인 라인 로더(6)는 카세트를 이송할 수 있는 장비로, 다른 공정 라인과 연결되어 있어 AGV가 없어도 자동으로 카세트를 스토커로 이송시키는 것이 가능하다. AGV 포트(4a, 4b)와 인 라인 로더(6)에는 스토커 내부 쪽 방향과 스토커 바깥쪽 방향으로 개구부가 있어 스토커 안과 밖으로 카세트의 입고 및 출고가 가능하다. 상기 각 포트에는 컨베이어(미도시)가 구비되어, 포트 내에서 한쪽 개구부에서 다른 쪽 개구부로 카세트를 이동시킨다. 랙 마스터(Rack Master : 2)는 스토커 내에서 카세트를 이재하는 장치로, 지정된 경로(7) 를 따라 쉘프(3)와 상기 포트(4a, 4b, 5) 또는 인 라인 로더(6) 사이를 왕래하며 카세트를 이재한다.
여기서 스토커의 이재에 관련된 각종 부분들의 구동과 정지 등의 제어 여부는 스토커 컨트롤러(미도시)를 통해 행해진다. 따라서 상기 스토커와 AGV는 스토커 컨트롤러에 의하여 통제된다.
스토커 내에는 자동화 장치뿐만 아니라 고장이나 기타 비상 상황에 대비하여 수동 장치도 존재한다. 즉, AGV 포트나 인 라인 로더를 통해 자동으로 카세트를 스토커 내로 운반하기도 하나 MGV 포트(Manual Guide Vehicle Port : 5)를 이용해 수동으로 스토커 내로 이재하는 것도 가능하다. 상기 MGV 포트(5)를 이용하여 상기 카세트를 입고하거나 출고하는 경우는 주로 AGV가 고장 또는 사용 불능이 되거나, 상기 스토커의 제어가 불가능할 경우 등 수동에 의한 카세트의 이동이 필요할 때이다.
AGV나 인 라인 로더(6) 또는 수동 방식에 의해 스토커 내로 카세트가 입고되면, 랙 마스터(2)는 상기 카세트를 출고하여 목적하는 쉘프(3)로 옮기게 된다.
상기 랙 마스터(2)는 쉘프(3)들 사이에 배치되며 상기 AGV 포트(4a, 4b)와 쉘프(3), 인 라인 로더(6) 사이를 왕래하면서 카세트를 운반하게 되는데(도 1, 도 2 참조), 쉘프(3)들 사이에 배치된 레일(7)을 따라서 왕복 이동하게 되며 카세트를 하역하는 암(arm) 및 상기 암을 상하로 움직이는 크레인을 포함하여 이루어진다. 랙 마스터(2)의 암은 길이가 신축되면서 쉘프 쪽으로 전진하거나 후진하는 운동이 가능하며 수평 위치에서 회전도 가능하다. 또한 크레인을 통해 상하 방향으로 수직 으로 움직일 수도 있다. 따라서 쉘프가 다단으로 구성되어 있는 경우에도 카세트를 이재하는 것이 가능하게 된다. 랙 마스터의 하단에는 모터가 달린 바퀴가 있어 레일(7)을 따라 이동이 가능하게 되어 있다. 이러한 랙 마스터(2)의 이동과 이재 동작은 스토커 컨트롤러(미도시)의 명령에 의해 이루어지게 된다.
또한, 상기 카세트의 이재는 작업자가 입력하는 대로 스토커 컨트롤러에 의해 자동으로 이루어진다. 따라서 작업자가 카세트를 스토커 내에서 이재할 때에는 스토커 컨트롤러를 통해 명령을 입력하게 되며, 랙 마스터(2)가 쉘프(3)와 AGV 포트(4a, 4b) 또는 인 라인 로더(6)를 왕복하며 자동으로 카세트를 운반하게 된다.
이러한 종래의 스토커는 랙 마스터(2)가 정상적으로 가동 중인 상태이거나, 장비 이상 작동에 대한 조치 시 출입 인원에 대한 안전을 확보하기가 어려웠다. 즉, AGV 포트(4a, 4b)나 MGV 포트(5) 또는 인 라인 로더(6)의 개구부를 통해 인원이 이동하거나 장애물이 있는 경우, 별도의 안전 장치가 없어 랙 마스터(2)와 출입 인원이 충돌하는 안전 사고가 날 위험이 있었다. 또한 장애물이 존재시 랙 마스터와 충돌하여 랙 마스터가 파손될 위험이 있었다.
본 발명은 스토커 내에 소정의 센서를 장착하여 스토커 내에 출입하는 인원이나 장애물과 랙 마스터와의 충돌을 방지함으로써, 출입 인원과 랙 마스터의 안전을 확보할 수 있는 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 의한 스토커 시스템은 카세트를 보관할 수 있는 스토커와; 상기 스토커 내부에서 카세트를 이재하는 랙 마스터와; 상기 스토커의 소정의 위치에 형성되는 적어도 하나 이상의 장애물 감지용 센서; 및 상기 랙 마스터와 상기 장애물 감지용 센서를 제어하는 스토커 컨트롤러를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 센서는 상기 포트의 개구부쪽의 장애물을 감지하기 위해서 스토커 내 소정의 위치에 구비될 수 있다. 그리고 장애물이 아닌 카세트가 이재되는 경우에는 상기 감지 센서가 작동되지 않도록 스토커 컨트롤러가 제어할 수 있다.
상기와 같은 본 발명은 스토커 시스템과 그 운전 방법을 제공하되 특히 스토커 내에 장애물이 존재할 때의 감지와 랙 마스터의 비상 정지 방법에 대한 시스템을 제공한다.
이하 도면을 참조하여 실시예를 들어 본 발명에 대해 설명한다.
먼저 도 3를 참조하여 본 발명에 따른 스토커 시스템을 설명한다.
상기 스토커 시스템에는 스토커 컨트롤러(C1)인 PLC(Programmable Logic Controller)와 이에 따른 전기 배선(미도시)이 있어 스토커(ST)의 각 부분을 제어하게 된다. 스토커 컨트롤러(C1)는 AGV 포트 및 인 라인 로더(PT)와 랙 마스터(RM) 및 스토커에 구비된 각 센서(SS)를 구동하고 정지시키는 등 스토커 시스템을 제어하는 제어부에 해당한다. 스토커 컨트롤러에는 작업자가 스토커의 상태를 확인하고 명령을 입력할 수 있는 장비인 모니터와 입력기(C2)가 연결되어 있으며 작업자가 입력한 내용에 따라 스토커 컨트롤러(C1)가 랙 마스터(RM)와 센서(SS) 등에 명령을 내리는 방식으로 운행하게 된다.
상기 센서는 랙 마스터 상에 장착되어 랙 마스터의 운행 방향 앞뒤에 존재하는 장애물을 감지하는 제 1 장애물 감지 센서와 스토커 내 소정의 위치에 장애물을 감지할 수 있는 적어도 한 개 이상의 제 2 장애물 감지 센서 및 출입문의 개폐 여부를 감지할 수 있는 출입문 감지 센서를 포함한다.
제 1 장애물 감지 센서는 랙 마스터의 주행 방향 앞뒤의 장애물을 감지하기 위한 것으로 랙 마스터 상에 형성하는 것이 바람직하다. 도 4는 제 1 장애물 감지 센서를 부착한 스토커의 일 실시예를 나타낸 단면도이다.
랙 마스터(102)는 스토커 내를 소정의 경로(107)를 따라 주행하는데, 주행 방향의 앞, 뒤로 이러한 센서(S1)를 장착하는 경우 랙 마스터(102)와 주행 방향의 앞뒤 영역(S100)에서의 장애물의 존재를 감지할 수 있다. 필요에 따라 랙 마스터 주행 방향의 앞뒤(S100)로 장애물을 감지할 수 있는 위치라면 랙 마스터(102)의 어느 곳에도 상기 센서(S1)를 부착할 수 있겠으나 크레인과 암에 의해 카세트 등의 이동이 잦으므로 랙 마스터(102)의 하부에 장착하는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 센서(S1)의 감지 방향은 랙 마스터가 이동하는 방향의 앞쪽과 뒤쪽(S100)이 되도록 설치한다.
제 2 장애물 감지 센서는 AGV 포트(104a, 104b)와 MGV 포트(105) 또는 인 라인 로더(106)부터 랙 마스터(102)가 움직이는 통로 사이의 장애물을 감지하는 것을 특징으로 한다. 도 5은 제 2 장애물 감지 센서를 부착한 스토커의 일 실시예를 나타낸 단면도이다. 제 1 장애물 감지 센서는 랙 마스터의 주행 방향으로는 장애물을 감지할 수 있으나(도 4 참조) 랙 마스터(102)의 주행 방향과 수직인 방향, 즉, 쉘 프와 각 포트 및 인 라인 로더의 랙 마스터쪽으로 형성된 개구부 방향(S200)으로는 장애물 감지가 불가능하다. 상기 랙 마스터(102)와 상기 개구부쪽 사이(S200)의 장애물을 감지하는 센서가 필요하게 되며 제 2 센서(S2)는 상기 장애물을 감지하기 위한 것이다. 실제로 공정상 스토커(101) 내에는 여러 가지 이유로 인원이나 장애물의 출입이 가능하며, 특히 AGV 포트(104a, 104b)나 MGV 포트(105) 또는 인 라인 로더(106)의 경우 랙 마스터(102) 쪽으로 개구부가 있으므로 이를 이용해 인원이 출입할 수 있다. 이때 인원이나 장애물을 감지하는 별도의 센서와 제동 장치가 없어 랙 마스터(102)와 인원의 충돌의 위험이 있다. 상기 센서(S200)는 이러한 장애물을 감지하여 스토커 컨트롤러에 감지 신호를 보내기 위한 것이다.
도 5에 도시한 바와 같이 상기 제 2 장애물 감지 센서(S200)는 쉘프(103)와 AGV 포트(104a, 104b)와 MGV 포트(105) 또는 인 라인 로더(106)의 랙 마스터(102) 방향 개구부 쪽(S200)을 감지할 수 있도록 스토커의 양끝에 장착이 가능하다. 제 2 장애물 감지 센서의 감지 방향은 랙 마스터의 주행 방향과 수평한 방향이며 상기 랙 마스터(102)와 개구부 사이의 이물질을 감지할 수 있도록 스토커 양끝에 장착한다. 이때, 센서의 개수나 위치는 출입 인원이나 장애물을 감지하기 위해서 다양하게 변화시킬 수 있을 것이다. 쉘프(103)가 랙 마스터(102)의 좌, 우에 존재한다면 상기 센서(S200)도 랙 마스터(102)의 좌, 우의 쉘프의 개구부에 적어도 한 개 이상 설치가 가능하다.
상기 센서(201a)의 위치는 다양하게 변화시킬 수 있다. 도 6은 제 2 장애물 감지 센서를 장착한 랙 마스터의 일실시례를 나타낸 단면도인데, 장애물과 출입 인 원을 좀더 쉽게 감지하기 위하여 바닥으로부터 일정 높이(h) 이상에 장착되는 것이 바람직하다. 하나의 실시예로 1미터 이상의 위치에 상기 센서를 장착하는 것도 가능할 것이다.
작업자나 기타 장애물이 스토커에 출입할 수 있는 출입문 센서의 경우는 출입문의 개폐 여부를 알 수 있게 출입문에 장착한다. 상기 센서는 출입문의 개폐 여부를 알 수 있으면 되므로 여러 가지 위치가 가능할 것이다.
상기 제 1, 제 2 센서 및/또는 출입문 센서는 장애물을 감지할 수 있는 것이면 되나 투광기와 수광기로 이루어진 것을 포함한다. 상기 센서는 투광기에서 빛을 발사하여 수광기로 그 빛을 받아 장애물의 존재 유무를 파악할 수 있다. 만약 투광기와 수광기 사이에 장애물이 있는 경우, 투광기에서 나온 빛은 수광기에 도달하지 못하게 되므로 장애물의 존재 여부를 판단할 수 있는 것이다.
도 7는 본 발명에 의한 스토커 시스템의 일 실시예를 순서대로 나타낸 순서도이며 이를 참조로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 순서를 설명해 본다.
본 발명에 의한 스토커 시스템은 AGV 포트나 인 라인 로더를 통해 자동으로 카세트를 이재하는 과정을 포함하는 자동 모드(F1)와 MGV 포트를 통해 수동으로 카세트를 이재하는 과정을 포함하는 수동 모드(F2)가 있다. 도 8에 도시된 순서도는 인 라인 로더나 AGV로 AGV 포트를 통해 자동으로 카세트가 입고 또는 출고되고 랙 마스터에 의한 이재가 있을 때, 즉 자동 모드를 나타낸 것이다. 자동 모드(F1)와 수동 모드(F2, 도 8)는 작업자가 작업자용 입력기를 통해 선택이 가능하며 스토커 컨트롤러에 이에 해당하는 명령을 보내게 된다.
우선 스토커 시스템은 카세트를 이재하여 보관하기 위한 장소이므로 기본적으로 랙 마스터가 구동 상태(on 상태)로 유지되며 장애물을 감지하기 위한 장애물 센서 및 출입문 센서도 모두 구동 상태를 유지한다.
그런데 출입문을 통해 사람 등이 들어가게 되는 경우는 스토커 내부를 관리하기 위해서거나 스토커에 문제가 생긴 비정상적인 상황에서의 유지 보수를 위한 것이기 때문에 이 경우 랙 마스터 등의 이동을 제한할 필요가 있다. 만약 장애물(사람 포함)이 본 스토커 내에 들어가게 되면 우선 출입문에 설치한 출입문 센서가 출입문의 열린 상태 신호를 스토커 컨트롤러로 보내게 된다. 상기 신호가 스토커 컨트롤러에 들어오게 되면 스토커 컨트롤러는 랙 마스터에 신호를 보내어 랙 마스터를 멈추게 한다. 이때 랙 마스터가 멈추게 되면 장애물 감지 센서가 계속해서 작용하는 것은 의미가 없으므로 스토커 컨트롤러는 랙 마스터의 멈춤 신호와 함께 장애물 감지 센서에 정지 명령을 하게 된다.(F3) 이후 출입문이 닫히면 출입문 센서는 닫힘 신호를 스토커 컨트롤러에 전송하고 스토커 컨트롤러는 랙 마스터와 장애물 감지 센서를 다시 구동하게 된다.
출입문이 열리거나 닫히지 않는 때에는 스토커 컨트롤러는 카세트의 이재가 있는지 없는지를 판단한다.(F4) 작업자에 의해 카세트의 이재 명령이 있는 경우에는 스토커 내의 AGV 포트나 인 라인 로더를 통해 카세트 입고되거나 출고되고 랙 마스터에 의해 상기 카세트가 이재된다. 이러한 정상적인 이재 과정에서 카세트를 장애물 감지 센서가 장애물로 판단한다면 카세트의 이재가 불가능하므로 스토커 컨트롤러는 우선 작업자의 명령으로 인한 카세트의 이재가 있는지부터 확인하는 것이 다. 카세트의 이재가 있는 경우 카세트를 장애물로 감지하면 안 되므로 스토커 컨트롤러는 카세트의 이재가 있는 방향의 장애물 감지용 센서의 작동을 중단하는 명령을 센서에 보낸다.(F5) 이때 카세트가 이재되고 있음을 작업자에게 상기하는 의미에서 작업자용 모니터 상에 이재 여부를 표시하는 신호를 출력하는 것이 바람직하다.
한편 카세트의 이재가 없는 쪽의 센서는 여전히 작동되고 있으므로 카세트의 이재가 없는 쪽에 장애물이 나타난 경우 이를 감지할 수가 있게 된다. 장애물을 감지하는 경우 장애물 감지 센서는 스토커 컨트롤러에 장애물 감지 신호를 보내게 되며 스토커 컨트롤러는 랙 마스터를 멈추게 한다. 그러나 카세트의 이재가 계속되는 중에 장애물이 감지되었으므로 이재하던 카세트는 이재를 완료하고 랙 마스터를 멈추게 하는 것이 바람직하다.(F6) 이는 랙 마스터가 갑자기 멈추게 되면 카세트에 충격이 가는 등의 문제가 생기는 것을 방지하기 위해서이다.
카세트의 이재가 어느 쪽에서도 없는 경우에는 장애물 센서와 랙 마스터는 계속해서 구동 상태이다. 이때 장애물 감지 센서가 장애물을 감지한 경우 랙 마스터를 곧바로 멈추는 것이 바람직하다. 따라서 장애물 감지 센서가 장애물 감지 신호를 스토커 컨트롤러에 보내면 스토커 컨트롤러는 랙 마스터에 곧바로 정지 명령을 보내 랙 마스터를 정지시키게 된다.(F7)
도 9는 본 발명에 의한 스토커 시스템의 수동 모드의 일 실시예를 순서대로 나타낸 순서도이다. 본 실시예는 MGV 포트를 통해 수동으로 카세트를 입고 및 출고되고 랙 마스터에 의한 이재가 있을 때의 스토커 시스템을 나타낸 것이다.
수동 모드에서는 작업자가 수동으로 MGV를 통해 카세트를 입고 또는 출고시키는 경우가 있어 자동으로 포트의 개폐 여부와 카세트의 이재 여부를 알기가 어렵다. 따라서 스토커의 양 끝에 설치된 제 2 장애물 감지 센서가 작동된다면 정상적인 수동 카세트 이재인데도 장애물로 감지할 수 있어 상기 장애물 감지 센서는 모두 정지시키는 것이 바람직하다.(F11) 따라서 스토커 컨트롤러는 작업자의 입력에 의해 수동 모드가 선택되어질 경우 제 2 장애물 감지 센서를 모두 정지시키는 명령을 센서에 하게 되고 센서는 정지되게 된다.
작업자가 수동 모드로 전환하여 입력한 경우 랙 마스터의 운행을 명령하기 이전에 스토커 컨트롤러는 우선 테스트 모드(Test Mode)인지 비테스트 모드인지 확인하는 절차를 거친다.(F12) 작업자는 입력기에 테스트 모드 여부를 선택하여 입력할 수 있다. 수동으로 전환하는 경우 시험적으로 카세트를 이재하는 과정을 실행해 볼 수 있도록 테스트하는 단계가 있을 수 있기 때문이다.
수동 모드 중 테스트 모드로 작업자가 선택을 하는 경우 스토커 컨트롤러는 랙 마스터에 설치된 제 1 장애물 감지 센서를 구동시키므로 랙 마스터에 설치된 제1 장애물 감지 센서는 계속 작동되고 장애물을 발견하게 되면 스토커 컨트롤러에 감지 신호를 보내게 되다. 스토커 컨트롤러는 장애물 감지 신호를 받고 나면 랙 마스터를 정지시키는 명령을 랙 마스터에 보내게 된다. 이때 테스트 모드이기 때문에 랙 마스터는 천천히 정지시키는 것이 바람직하다.(F13)
수동 모드에서 테스트 모드가 아닐 때, 즉 비테스트 모드에서는 랙 마스터가 움직이는 속도에 따라 랙 마스터에 장착된 센서의 구동 여부가 달라진다. 랙 마스 터가 미리 입력한 소정의 속도 이상으로 움직이게 되면 랙 마스터의 이동 방향 전후의 센서를 모두 구동하게 된다. 소정 속도 이상으로 랙 마스터가 이동하게 될 때에는 장애물, 특히 사람의 경우 충돌을 피하기가 쉽지 않으므로 랙 마스터의 진행 방향 양쪽의 센서는 모두 구동시키는 것이 바람직하다. 이때 상기 센서가 장애물을 감지하는 경우 스토커 컨트롤러는 랙 마스터를 곧바로 정지시키는 것이 바람직하다.(F14)
소정 속도 이하로 랙 마스터가 이동하는 경우에는 랙 마스터의 이동 속도가 충분히 작아 랙 마스터가 이동하는 방향과 반대쪽의 장애물은 랙 마스터와 충돌을 피할 수 있게 되므로 랙 마스터가 이동하는 방향만 센서를 구동시키고 랙 마스터가 이동하는 방향과 다른 방향은 센서를 정지시킨다. 랙 마스터는 스토커 컨트롤러가 명령한 대로 움직이게 되므로 랙 마스터가 이동하는 방향에 따라 스토커 컨트롤러가 장애물 센서에 명령을 보내 정지시키거나 구동하거나 하게 된다. 이때 장애물이 감지되어 감지 신호가 스토커 컨트롤러에 보고되면 스토커 컨트롤러는 랙 마스터를 곧바로 정지시키는 것이 바람직하다.(F15)
랙 마스터의 속도는 양산 시 적용하는 최고 속도를 기준으로 하여 정할 수 있다. 랙 마스터의 속도가 양산 시 적용하는 최고 속도의 20% 정도의 이상인 경우와 20% 미만인 경우로 나누어 랙 마스터 전후의 장애물 감지 센터를 구동하는 것이 바람직하겠으나, 랙 마스터의 속도가 다르게 변용이 가능하다면 소정의 속도로 리셋하여 적용이 가능할 것이다.
도시한 순서도에서는 피드백이 되는 부분은 제외하고 한 방향으로만 진행되 는 과정만을 도시하였다. 즉, 판단의 조건이 되는 상황이 해결되면 다시 본래의 기능으로 돌아가는 것에 대해서는 생략하였다. 랙 마스터가 장애물을 감지하여 멈추고 난 이후에는 작업자가 본 시스템을 리셋을 하는 방법으로 다시 실행시키는 것이 하나의 방법이 될 수 있으며, 센서가 계속하여 구동하고 있는 상태에서 랙 마스터가 정지된 경우는 장애물이 없어진 것을 감지하는 순간 자동으로 다시 랙 마스터를 구동하는 방법 등 여러 가지 실행 방법이 가능하다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 실시예에 한정되는 것이 아니라 본 발명의 사상의 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 가능함은 당연하다.
따라서, 본 발명의 기술 범위는 상세한 설명에 기재된 내용이 아니라 청구 범위에 기재된 범위에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명은 기판을 저장하고 이송하는 장치에 있어서, 장애물 감지 센서를 이용하여 스토커 내부로 진입된 장애물 및 사람에 대한 감지 기능을 구현하여 스토커 내부로 출입하는 인원과 랙 마스터의 충돌에 의한 안전 사고를 미연에 방지하는 효과가 있다.

Claims (19)

  1. 카세트를 보관할 수 있는 스토커와;
    상기 스토커 내부를 왕래하며 카세트를 이재하는 랙 마스터와;
    상기 스토커의 소정 위치에 형성되는 적어도 하나 이상의 장애물 감지용 센서; 및
    상기 랙 마스터와 상기 장애물 감지용 센서를 제어하는 스토커 컨트롤러를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서는
    랙 마스터 상에 장착되어 랙 마스터의 운행 방향의 앞뒤의 장애물을 감지하는 적어도 1개 이상의 제 1 장애물 감지 센서와;
    스토커 내 소정의 위치에 장착되어 랙 마스터의 운행 방향의 좌우의 장애물을 감지하는 적어도 1개 이상의 제 2 장애물 감지 센서;
    스토커 내 소정의 위치에 장착되어 출입문의 개폐 여부를 감지하는 출입문 센서로 이루어지며,
    상기 센서가 장애물을 감지하였을 때 스토커 컨트롤러가 랙 마스터를 정지시키는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서
    상기 제 1 장애물 감지용 센서는 스토커 양끝에 형성되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 장애물 감지용 센서는 바닥에서 일정 높이 이상의 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 투광기와 수광기로 이루어진 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러는 자동 모드와 수동 모드 중 하나로 선택되어지는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러가 자동 모드로 선택되어지면
    상기 출입문 센서가 문이 열린 것을 감지했을 때, 상기 랙 마스터와 상기 장애물 감지용 센서를 정지하는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러가 자동 모드로 선택되어지면 랙 마스터가 카세트를 이재하는 쪽의 상기 제 2 장애물 감지 센서가 정지되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 센서 중 정지되지 않은 센서가 장애물을 감지했을 때 상기 이재를 완료한 후 상기 랙 마스터가 정지되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러가 수동 모드로 선택되어지면
    제 2 장애물 감지 센서는 정지되는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러는 테스트 모드와 비테스트 모드로 선택되어지는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러가 테스트 모드로 선택되어지면 스토커 컨트롤러가 랙 마스터를 천천히 정지시키는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러가 비테스트 모드로 선택되어지고 랙 마스터가 소정 속도 이상이면 스토커 컨트롤러가 랙 마스터를 곧바로 정지시키는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 스토커 컨트롤러가 비테스트 모드로 선택되어지고 랙 마스터가 소정 속도 미만이면 스토커 컨트롤러가 랙 마스터를 천천히 정지시키는 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  15. 제 13항 또는 제 14 항에 있어서,
    상기 소정 속도는 액정 표시 소자 양산시 적용하는 랙 마스터의 최고 속도의 20%인 것을 특징으로 하는 스토커 시스템.
  16. (a) 자동 모드와 수동 모드 중 하나로 선택되어지는 단계와;
    (b) 스토커 내의 장애물 감지 센서가 스토커 내의 장애물을 감지하는 단계; 및
    (c) 장애물 감지시 랙 마스터를 정지시키는 단계를 포함하여 이루어진 랙 마 스터 비상 정지 방법.
  17. 제 16 항에서,
    상기 (a) 단계는 자동 모드로 선택되어질 때 랙 마스터가 카세트를 이재하는 쪽의 상기 장애물 감지 센서를 정지시키는 단계를 추가로 포함하는 랙 마스터 비상 정지 방법.
  18. 제 16 항에서,
    상기 (a) 단계는 수동 모드로 선택되어질 때 제 2 장애물 감지 센서를 정지시키는 단계를 추가로 포함하는 랙 마스터 비상 정지 방법.
  19. 제 18 항에서,
    상기 (c) 단계는 랙 마스터가 소정 속도 이상일 때 곧바로 정지시키는 단계와 랙 마스터가 소정 속도 미만일 때 천천히 정지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 랙 마스터 비상 정지 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20180073985A (ko) * 2016-12-23 2018-07-03 세메스 주식회사 카세트 로딩 방법
KR20200093284A (ko) * 2019-01-28 2020-08-05 현대무벡스 주식회사 스태커 크레인 시스템
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