JP2015065259A - ガス供給装置、自動倉庫、及びガス供給方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】収納容器50の注入口51に接続するノズル10と、ノズル10に所定のガスGを供給するガス供給系20とを備えるガス供給装置1であって、ノズル10内の圧力が所定圧力から外れたことを検出する圧力検出部30を備える。
【選択図】図1
Description
第1実施形態に係るガス供給装置1について、図1〜図5を参照しながら説明する。図1は、収納容器50及びガス供給装置1を示した要部概略図である。ガス供給装置1は、図1に示すように、収納容器50内に所定のガスGを供給するための装置である。なお、ガスGとしては、窒素ガスなどのウェハ等にとって不活性なガスや、清浄乾燥空気(クリーンドライエア)が用いられる。
第2実施形態に係るガス供給装置について、図6を参照しながら説明する。図6は、ガス供給装置1aを示した要部概略図である。ガス供給装置1aは、図1に示すガス供給装置と同様、収納容器50内にガスGを供給するための装置である。なお、本実施形態においては、第1実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略または簡略化する。
自動倉庫の実施形態について、図7及び図8を参照しながら説明する。図7は、収納容器50を保管する自動倉庫100の要部斜視図である。図8は、自動倉庫100を側面側から見た概略側面図である。この自動倉庫100は、複数の収納容器50を保管するとともに、保管中に収納容器50内に所定のガスGを供給するパージストッカである。なお、本実施形態においては、第1実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略または簡略化する。
1、1a・・・ガス供給装置
10・・・ノズル
20・・・ガス供給系
21・・・ガス供給源
22、22a・・・配管
23・・・流量制御部
30、30a・・・圧力検出部
40・・・制御部
50・・・収納容器
51・・・注入口
52・・・排出口
60・・・載置台
100・・・自動倉庫
Claims (8)
- 収納容器の注入口に接続するノズルと、前記ノズルに所定のガスを供給するガス供給系とを備えるガス供給装置であって、
前記ノズル内の圧力が所定圧力から外れたことを検出する圧力検出部を備えることを特徴とするガス供給装置。 - 前記ガス供給系は、ガス流量を制御する流量制御部を有することを特徴とする請求項1記載のガス供給装置。
- 前記圧力検出部は、前記流量制御部によるガス流量に応じて設定された圧力の範囲から外れたことを検出することを特徴とする請求項1記載のガス供給装置。
- 前記収納容器の複数の注入口に接続する複数の前記ノズルを備え、
前記圧力検出部は、複数の前記ノズル内の圧力を比較してその差または比が所定値を超えたときに前記ノズルのいずれかが所定圧力から外れたと判断することを特徴とする請求項1または請求項2記載のガス供給装置。 - 前記圧力検出部は、前記ノズル内の圧力が所定圧力から外れたことを検出したときに、前記ガス供給系からのガスの供給を停止させることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のガス供給装置。
- 前記ノズルは、前記収納容器が載置台に載置された際に前記注入口と接続するように前記載置台に形成されることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のガス供給装置。
- 収納容器を載置する複数の載置台を備える自動倉庫であって、
前記載置台の少なくとも1つは、載置した前記収納容器に対して所定のガスを供給するガス供給装置を有し、
前記ガス供給装置としては、請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のガス共供給装置が用いられることを特徴とする自動倉庫。 - 収納容器の注入口に接続するノズルから所定のガスを供給するガス供給方法であって、
前記ノズル内の圧力が所定圧力から外れたことを検出することを特徴とするガス供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013197806A JP6217281B2 (ja) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 自動倉庫、及びガス供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013197806A JP6217281B2 (ja) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 自動倉庫、及びガス供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015065259A true JP2015065259A (ja) | 2015-04-09 |
JP6217281B2 JP6217281B2 (ja) | 2017-10-25 |
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Family Applications (1)
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Country | Link |
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JP (1) | JP6217281B2 (ja) |
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JP7087357B2 (ja) | 2017-11-28 | 2022-06-21 | Tdk株式会社 | ポッド及びパージ装置 |
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JP6217281B2 (ja) | 2017-10-25 |
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