JP2016219537A - パージ装置及びパージストッカ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パージ装置10Aは、容器20が載置されるベース部11と、容器20の底面20aに設けられた第1溝21の外側領域に嵌まり、容器20を位置決めすると共に、容器20を支持する第1位置決めピン12と、底面20aに設けられた注入口24に接触し、注入口24を介して容器20の内部にパージガスを供給すると共に、容器20を支持するパージノズル14と、を備える。第1位置決めピン12は、底面20aに対応する領域Rのうち、領域Rの中心Cを通る第1ラインL1に対して一方の側において、ベース部11から上側に突出している。パージノズル14は、領域Rのうち、第1ラインL1に対して他方の側において、ベース部11から上側に突出している。
【選択図】図3
Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
Claims (3)
- 容器が載置されるベース部と、
前記容器の底面に設けられた第1凹部に嵌まり、前記容器を位置決めすると共に、前記容器を支持する第1凸部と、
前記底面に設けられた注入口に接触し、前記注入口を介して前記容器の内部にパージガスを供給すると共に、前記容器を支持するパージノズルと、を備え、
前記第1凸部は、前記底面に対応する領域のうち、前記領域の中心を通る第1ラインに対して一方の側において、前記ベース部から上側に突出しており、
前記パージノズルは、前記領域のうち、前記第1ラインに対して他方の側において、前記ベース部から上側に突出している、パージ装置。 - 前記底面に設けられた第2凹部に嵌まり、前記容器を位置決めすると共に、前記容器を支持する第2凸部を更に備え、
前記第2凸部は、前記領域のうち、前記第1ラインに対して前記パージノズルの反対側、且つ前記中心を通ると共に前記第1ラインに直交する第2ラインに対して前記第1凸部の反対側において、前記ベース部から上側に突出している、請求項1記載のパージ装置。 - 請求項1又は2記載のパージ装置が保管棚として複数設けられたラックと、
前記保管棚に対して前記容器を移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置には、前記底面に設けられた移載用凹部に嵌まり、前記容器を位置決めする移載用凸部が、少なくとも3つ設けられている、パージストッカ。
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