WO2021095341A1 - 保管装置 - Google Patents

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WO2021095341A1
WO2021095341A1 PCT/JP2020/034269 JP2020034269W WO2021095341A1 WO 2021095341 A1 WO2021095341 A1 WO 2021095341A1 JP 2020034269 W JP2020034269 W JP 2020034269W WO 2021095341 A1 WO2021095341 A1 WO 2021095341A1
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extending
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興会 徐
真司 大西
稲田　研
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • This disclosure relates to a storage device.
  • the storage shelf described in Patent Document 1 includes a pair of struts in which a concave groove portion is formed, and a mounting portion fixed to the struts on which an object to be stored is placed.
  • the mounting portion includes a mounting main body portion that supports the stored object and a pair of mounting plate portions that are fixed to the columns. Each of the pair of mounting plate portions is inserted and fixed in the concave groove portion of the column. That is, in the storage shelf described in Patent Document 1, the mounting portion is positioned with respect to a pair of columns by the concave groove portion.
  • an object of the present disclosure is to provide a storage device capable of easily adjusting the flatness of the mounting portion on which the article is placed.
  • the storage device is a pair of support portions extending in the vertical direction and arranged apart from each other in the first direction, and a pair of support portions facing each first direction.
  • a pair of mounting portions are provided on the side surface, each of which is mounted via a fixing member having a shaft portion, and a mounting portion that is supported by the pair of mounting portions and on which an article is mounted.
  • Each of the holes has a hole through which the shaft is inserted, and the area of the hole is such that the pair of mounting parts can rotate along the side surface of the pair of support parts in the axial direction of the shaft. It is larger than the cross-sectional area orthogonal to.
  • the mounting part is supported by a pair of mounting parts.
  • the pair of attachments are attached to the pair of supports via a fixing member that is inserted into the hole. Since the area of the hole portion is larger than the cross-sectional area orthogonal to the axial direction of the shaft portion, each of the pair of mounting portions can rotate along the side surface of the support portion. By rotating the pair of mounting portions in this way, the flatness of the mounting portions supported by the pair of mounting portions can be corrected. Therefore, according to this storage device, the flatness of the mounting portion on which the article is placed can be easily adjusted.
  • Each of the pair of mounting portions is a surface along the first direction and the vertical direction of the pair of support portions, and is in contact with the front surface, which is the surface in the direction in which the mounting portion is located with respect to the support portion. It may have a tangent. According to this, each of the pair of mounting portions can rotate stably with the contact portion as a fulcrum. Therefore, according to this storage device, the flatness of the mounting portion can be easily adjusted in a more stable state.
  • a plurality of holes are provided in each of the pair of mounting portions, and the width of each pair of the mounting portions in the plurality of holes along the rotation direction increases as the distance from the contact portion increases. It may be formed to be large. According to this, the width of the pair of mounting portions in the hole portion along the rotation direction increases as the distance from the abutting portion increases. Therefore, even when a plurality of holes are provided, the abutting portion can be provided.
  • Each of the pair of mounting portions can be rotated as a fulcrum. Further, since the width of the pair of mounting portions in the hole along the rotation direction becomes smaller as it is closer to the abutting portion, the position of the fixing member in the hole is less likely to shift, and the pair of mounting portions is suitable. It can be installed stably at the position.
  • the storage devices include a pair of support portions extending in the vertical direction and arranged in the first direction, a pair of attachment portions attached to each of the pair of support portions, and one.
  • a mounting portion that is supported by a pair of mounting portions and on which an article is placed is provided, and each of the pair of mounting portions is connected to a support mounting surface that is mounted on the pair of support portions and a support mounting surface.
  • the force required to change the angle of the mounting mounting surface with respect to the extending mounting surface is smaller than the force required to deform the mounting portion.
  • the mounting part is supported by a pair of mounting parts.
  • a pair of attachments are attached to the support via a support attachment surface.
  • the mounting mounting surface extends from the upper end portion of the extending surface along the bottom surface of the mounting portion.
  • the force required to change the angle of the mounting mounting surface with respect to the extending surface is smaller than the force required to deform the mounting portion. For this reason, for example, when the pair of mounting mounting surfaces are not parallel to each other before mounting the mounting portion (that is, when there is a gap between the pair of mounting mounting surfaces), the mounting portion can be used. Before the mounting portion is deformed due to the displacement due to the mounting, the pair of mounting mounting surfaces change the angle in the direction of reducing the displacement. As a result, the flatness of the mounting portion is kept small. Therefore, according to this storage device, the flatness of the mounting portion on which the article is placed can be easily adjusted.
  • the mounting mounting surface may extend from a part of the total length of the upper end of the extending surface along the bottom surface of the mounting portion. According to this, the force required to change the angle of the mounting mounting surface with respect to the extending surface is applied by a simple configuration in which the mounting mounting surface is provided only on a part of the upper end of the extending surface. It can be less than the force required to deform the part.
  • Each of the pair of mounting portions may be composed of a member thinner than the mounting portion. According to this, the force required to change the angle of the mounting mounting surface with respect to the extending surface is applied by a simple configuration in which the thickness of each of the pair of mounting portions is made thinner than that of the mounting portion. It can be less than the force required to deform the part.
  • the article is a container capable of supplying gas to the inside through a supply hole provided at the bottom, and the mounting portion may have a gas supply unit for supplying gas into the container through the supply hole. .. According to this, by adjusting the flatness of the mounting portion, the close contact between the supply hole of the container and the gas supply portion is maintained, so that the gas can be appropriately supplied into the container.
  • FIG. 1 is a perspective view of the storage device of one embodiment.
  • FIG. 2 is a side view of the storage device of one embodiment.
  • FIG. 3 is a perspective view of the mounting portion of the storage device shown in FIG.
  • FIG. 4 is an enlarged side view of a part of the storage device shown in FIG.
  • each axial direction in the Cartesian coordinate system of the three-dimensional space is referred to as an X direction, a Y direction, and a Z direction.
  • the X direction and the Y direction are directions along the horizontal plane, and the Z direction is the vertical direction (vertical direction).
  • the storage device 1 of one embodiment stores a container 5 which is an example of an article.
  • the container 5 is, for example, a box-shaped housing (for example, FOUP (Front Opening Unified Pod)) in which one or a plurality of semiconductor wafers and the like are housed.
  • the container 5 holds the semiconductor wafer inside and protects the semiconductor wafer.
  • the bottom 5a of the container 5 is provided with a supply hole 5b that communicates the inside of the container 5 with the outside of the container 5.
  • Purge gas for example, nitrogen gas
  • the storage device 1 includes a pair of columns 10 extending in the Z direction (an example of a support portion), a pair of brackets 30 attached to the pair of columns 10 (an example of an attachment portion), and a pair of brackets. It is provided with a shelf plate 20 (an example of a mounting portion) supported by a 30 and on which a container 5 is mounted, and a plurality of bolts 40 (an example of a fixing member) for fixing each bracket 30 to each support column 10.
  • the shelf board 20 is located on one side in the X direction with respect to the pair of columns 10.
  • one side in the X direction (that is, the side on which the shelf board 20 is arranged with respect to the pair of columns 10) is defined as the front, and the other side in the X direction is defined as the rear.
  • the inside of the pair of columns 10 is simply referred to as the inside, and the outside of the pair of columns 10 is simply defined as the outside.
  • each support column 10 is an L-shaped member when viewed from above. Specifically, each support column 10 has a front surface 10a which is a surface facing the front side (a surface along the Y direction and the Z direction) and a side surface 10b which is a surface intersecting the front surface 10a (a surface facing the outside). Have.
  • the front surface 10a is a surface in the direction in which the shelf board 20 described later is located with respect to the support column 10. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the side surface 10b of each support column 10 extends rearward from the outer end portion of the front surface 10a in the Y direction.
  • An insertion hole 12 through which the bolt 40 is inserted is provided on the side surface 10b of each support column 10.
  • the insertion hole 12 penetrates in the Y direction.
  • the insertion holes 12 are provided according to the number and positions of the holes 34 described later.
  • a bolt 40 inserted into the hole 34 is inserted into the insertion hole 12 and fixed by a nut (not shown).
  • the shelf board 20 is a member that supports the container 5. That is, the container 5 is placed on the shelf board 20.
  • the shelf board 20 is attached to a pair of columns 10 via a pair of brackets 30.
  • the shelf board 20 has a plate shape, for example.
  • the bottom portion 5a of the container 5 is supported by the top surface 20a of the shelf plate 20.
  • a pair of brackets 30 are attached to the bottom surface 20b of the shelf board 20.
  • the shelf board 20 has a recess 20c recessed from the front end to the rear in the central portion in the Y direction, and is formed in a substantially U shape in the top view.
  • the recess 20c forms an opening region S that penetrates in the Z direction and opens to the front side.
  • a plurality of shelf boards 20 may be provided for a pair of columns 10.
  • a plurality of shelves 20 may be provided between the pair of columns 10 in the Z direction.
  • the installation interval of the shelf boards 20 adjacent to each other in the Z direction is set to be larger than the height of the container 5 (the length in the Z direction).
  • the depth (length in the X direction) and width (length in the Y direction) of the opening region S are appropriately set according to the structure of the container 5, the structure of the device for taking out the container 5, and the like. Further, the opening region S (that is, the recess 20c) does not necessarily have to be provided.
  • the shelf board 20 further has a gas supply unit 21.
  • the gas supply unit 21 communicates with a gas pipe (not shown) and a gas cylinder (not shown) to ventilate the purge gas.
  • the gas supply unit 21 is, for example, a nozzle having a columnar shape protruding from the upper surface 20a of the shelf board 20.
  • the gas pipe is a pipe that connects the gas supply unit 21 and the gas cylinder.
  • the container 5 is purged by supplying the purge gas to the inside of the container 5 through the supply hole 5b of the container 5, the gas supply unit 21, and the gas pipe.
  • the gas supply unit 21 is appropriately provided according to the number, size, and shape of the supply holes 5b of the container 5.
  • each bracket 30 is members that support the shelf board 20.
  • Each bracket 30 is attached to the side surface 10b of each support column 10.
  • each bracket 30 extends with a support mounting portion 31 facing the side surface 10b of each support column 10 and an extending portion 32 connected to the support mounting portion 31. It has a contact portion 33 connected to the existing portion 32 and a mounting mounting portion 35 connected to the upper end portion 32b of the extending portion 32.
  • the support mounting portion 31, the extending portion 32, the contact portion 33, and the mounting mounting portion 35 each have a plate shape, for example.
  • the support mounting portion 31 is mounted on the side surface 10b of each support column 10 via a bolt 40.
  • the support mounting portion 31 extends in the X direction and the Z direction.
  • the length and shape of the support mounting portion 31 in the X direction and the Z direction are appropriately set according to the size of the side surface 10b of each support column 10.
  • the support mounting portion 31 is provided on the outer side surface 10b of each column 10 (that is, the surface facing the opposite side in the Y direction).
  • the support mounting portion 31 has a support mounting surface 31a which is an outer surface.
  • the support mounting surface 31a is a surface that is mounted on the side surface 10b of each support column 10 and is along the side surface 10b.
  • the support mounting portion 31 is provided with a hole portion 34. Details of the hole 34 will be described later.
  • the extending portion 32 is connected to the front end portion of the support mounting portion 31, and extends along the side surface 10b of each supporting column 10 in the direction in which the shelf plate 20 is located (front side) with respect to each supporting column 10. To do.
  • the extending portion 32 is appropriately set according to the size and shape of the container 5 housed below.
  • the extending portion 32 extends from the front surface 10a of the support column 10 to a position behind the front end portion of the shelf board 20. That is, when viewed from the Y direction, the front end of the shelf board 20 projects forward from the front end of the extending portion 32.
  • the extending portion 32 extends to the position of the gas supply portion 21 provided on the most front side in the X direction.
  • the extending portion 32 has an extending surface 32a which is an outer surface.
  • the extending surface 32a is a surface extending along the side surface 10b of each support column 10 and is connected to the support mounting surface 31a.
  • the support mounting surface 31a and the extending surface 32a are continuous and form the same plane.
  • the extending portion 32 (extending surface 32a) has an upper end portion 32b along the X direction. Further, the extending portion 32 has a lower end portion 32c that moves upward toward the front side.
  • the extending portion 32 has a shape in which the length in the Z direction (that is, the distance between the upper end portion 32b and the lower end portion 32c) decreases toward the front side.
  • the contact portion 33 has a hook shape, for example.
  • the contact portion 33 is connected to, for example, a portion on the rear side of the lower end portion 32c (a portion in the vicinity of each support column 10).
  • the contact portion 33 is a portion extending downward from the lower end portion 32c, the first extending portion 33a, and the lower end portion of the first extending portion 33a toward the inside along the bottom surface 20b of the shelf board 20. It has a second extending portion 33b that extends.
  • the first extending portion 33a and the second extending portion 33b are formed in a substantially L shape when viewed from the X direction. At least a part of the second extending portion 33b projects to the rear side, that is, toward the front surface 10a of each support column 10. As shown in FIG.
  • the tip portion 33c on the front surface 10a side of each support column 10 in the second extending portion 33b hits the front surface 10a of each support column 10 in a state where each bracket 30 is attached to each support column 10. It is formed to touch.
  • the first extending portion 33a may be omitted. That is, the second extending portion 33b may be directly connected to the lower end portion 32c of the extending portion 32.
  • the hole portion 34 penetrates the support mounting portion 31 in the Y direction.
  • the support mounting portion 31 is mounted on the side surface 10b of each support column 10 via a bolt 40 inserted through the hole portion 34.
  • the bolt 40 inserted through the hole 34 is inserted into the insertion hole 12 provided on the side surface 10b of each support column 10.
  • the bolt 40 inserted into the insertion hole 12 is fixed to each support column 10 by a nut (not shown) inside.
  • the bolt 40 has a shaft shape.
  • the bolts 40 are provided according to the number and positions of the holes 34.
  • the bolt 40 has a head portion 40a that is close to or in contact with the support mounting surface 31a of the support mounting portion 31, and a shaft portion 40b that is inserted into the hole portion 34 and the insertion hole 12.
  • the head portion 40a and the shaft portion 40b exhibit, for example, a columnar shape.
  • the head 40a has a cross-sectional area orthogonal to the axial direction (Y direction) of the shaft portion 40b and a cross-sectional area larger than the area of the hole portion 34.
  • the area of the hole 34 refers to the area of the hole 34 as seen from the Y direction.
  • each hole 34 is, for example, circular when viewed from the Y direction.
  • the area of the hole portion 34 is larger than the cross-sectional area of the shaft portion 40b of the bolt 40 orthogonal to the Y direction so that the pair of brackets 30 can rotate along the side surface 10b of each support column 10. That is, the diameter of the hole portion 34 is larger than the diameter of the shaft portion 40b. Therefore, the support mounting portion 31 is attached to the side surface 10b of each support column 10 by bolts 40, and the support mounting portion 31 is released (or loosened) by the bolts 40 and nuts on the side surface 10b of each support column 10.
  • each bracket 30 can rotate about the tip end portion 33c of the contact portion 33 along the rotation direction R.
  • the degree of fixation of the support mounting portion 31 to the side surface 10b of each support column 10 can be adjusted by adjusting the degree of tightening of the nut.
  • the rotation direction R is the circumferential direction of a circle centered on the tip 33c of the contact portion 33 in a plane along the side surface 10b of each support column 10. That is, the contact position between the tip end portion 33c of the contact portion 33 and the front surface 10a of each support column 10 when viewed from the Y direction constitutes the rotation center position P of each bracket 30. Therefore, the rotation center position P and the rotation direction R of each bracket 30 can be adjusted by appropriately designing the length of the first extending portion 33a in the Z direction and setting the contact position.
  • each hole portion 34 the width w along the rotation direction R is formed so as to increase as the distance from the tip portion 33c of the contact portion 33 increases.
  • the above configuration is realized by forming the hole portion 34 in a circular shape and appropriately designing the diameter of the hole portion 34. That is, the diameter of each hole portion 34 is designed to increase as the distance d from the rotation center position P to the hole portion 34 increases.
  • the mounting mounting portion 35 is, for example, along the third extending portion 35a, which is a portion extending upward from the upper end portion 32b of the extending portion 32, and the bottom surface 20b of the shelf board 20 from the third extending portion 35a.
  • the fourth extending portion 35b is joined so as to support at least a part of the bottom surface 20b of the shelf board 20 from below.
  • the shelf board 20 and the mounting mounting portion 35 are joined by, for example, pins and nuts.
  • the third extending portion 35a may be omitted. That is, the fourth extending portion 35b may be directly connected to the upper end portion 32b of the extending portion 32.
  • the mounting mounting portion 35 is provided on a part of the entire length of the upper end portion 32b of the extending portion 32. Further, the mounting mounting portion 35 is provided at a plurality of (two in the present embodiment) upper end portions 32b of the extending portion 32 separated from each other.
  • the mounting mounting portion 35 located on the front side in the X direction is referred to as the first mounting mounting portion 35A, and the mounting mounting portion 35 is located on the rear side in the X direction.
  • the portion 35 be the second mounting mounting portion 35B.
  • the length of the first mounting portion 35A in the X direction is made longer than the length of the second mounting mounting portion 35B in the X direction, so that the moment bias in the extending portion 32 is increased. It is suppressed.
  • the mounting mounting portion 35 (first mounting mounting portion 35A and second mounting mounting portion 35B) is connected to the upper end portion 32b of the extending portion 32, and the bottom surface 20b of the shelf board 20 is supported from below. It has a mounting mounting surface 35c that extends along 20b.
  • the mounting mounting surface 35c is, for example, the upper surface of the fourth extending portion 35b.
  • the mounting mounting surface 35c is, for example, substantially parallel to the second extending portion 33b of the contact portion 33. At least a part of the mounting mounting surface 35c is joined to the bottom surface 20b of the shelf board 20.
  • the mounting mounting portion 35 (mounting mounting surface 35c) is provided, for example, at a position close to the gas supply portion 21 provided on the shelf plate 20 in the X direction.
  • the gas supply unit 21 may be deformed due to the load of the container 5 placed on the shelf board 20 or the impact at the time of placing the container 5.
  • the mounting mounting portion 35 can take charge of the force applied to the shelf plate 20.
  • the force applied to the shelf plate 20 when the container 5 is placed can be dispersed to the extending portion 32, the support mounting portion 31, and each support column 10 via the mounting mounting portion 35.
  • the force applied to the portion of the shelf board 20 to which the mounting mounting portion 35 is not mounted can be suppressed in the X direction, and the amount of deformation of the shelf board 20 can be reduced.
  • the force required to change the angle of the mounting mounting surface 35c with respect to the extending surface 32a is smaller than the force required to deform the shelf board 20. That is, the strengths of the shelf board 20 and the pair of brackets 30 are adjusted so that the above relationship is established. That is, at least one of the pair of brackets 30 is deformed first before the shelf board 20 mounted on the pair of brackets 30 bends or bends. For example, the fourth extending portion 35b of the mounting mounting portion 35 is downward with respect to the third extending portion 35a from the force required to bend a part of the shelf board 20 downward to increase the flatness. The force required to bend is less.
  • changing the angle of the mounting mounting surface 35c with respect to the extending surface 32a includes changing the angle of the fourth extending portion 35b with respect to the third extending portion 35a.
  • the entire fourth extending portion 35b is bent with respect to the third extending portion 35a, or a part of the fourth extending portion 35b is the first.
  • the angle of the 4th extending portion 35b with respect to the 3rd extending portion 35a changes.
  • the third extending portion 35a may be bent in the Z direction.
  • each bracket 30 may be made of a member thinner than the shelf board 20. It is not necessary that the overall strength of each bracket 30 is uniformly weakened, and at least the mounting mounting portion 35 may be made of a member having a strength weaker than that of the shelf board 20.
  • the shelf The plate 20 may not be supported by the mounting mounting portion 35 in a well-balanced manner, and the load (force received from the mounting mounting portion 35 or the container 5) may be concentrated on a part of the shelf plate 20 to deform the shelf plate 20. is there.
  • the mounting mounting portion 35 extends from a part of the upper end portion 32b of the extending portion 32, and is formed so as to be weaker in strength than the shelf board 20.
  • the mounting mounting portion 35 is deformed before the shelf plate 20.
  • the flatness of the shelf board 20 can be kept small. For example, even if a machining error occurs in the mounting mounting portion 35 or each bracket 30, the mounting mounting portion 35 converges the machining error before the shelf plate 20 is deformed due to the machining error. Transforms first. Therefore, the influence of the processing error of the mounting mounting portion 35 or the bracket 30 on the flatness of the shelf plate 20 is reduced. As described above, since the mounting mounting portion 35 is deformed before the shelf board 20, the shelf board 20 is suppressed from being deformed by the force acting on the shelf board 20 from the mounting mounting portion 35 or the container 5. Flatness becomes smaller.
  • the pair of brackets 30 are connected to the side surfaces 10b of the pair of columns 10 via bolts 40.
  • the bolt 40 is inserted into each hole 34 provided in the support mounting portion 31 of each bracket 30 and is inserted into each insertion hole 12 of each support column 10, and is fixed by tightening a nut (not shown).
  • the support mounting portion 31 is fixed so as to be sandwiched between the head portion 40a of the bolt 40 and the side surface 10b of each support column 10. At this time, the rotation angle ⁇ of each bracket 30 with respect to each support column 10 is adjusted.
  • the rotation angle ⁇ is the angle of the mounting mounting surface 35c (second extending portion 33b) with respect to the front surface 10a of each support column 10 in the rotation direction R.
  • the rotation angle ⁇ is adjusted so that, for example, the mounting mounting surface 35c is horizontal to the ground plane (not shown) of the pair of columns 10 (so that the parallelism is reduced).
  • the shelf board 20 is installed on the mounting mounting surface 35c.
  • the horizontal displacement from the pair of brackets 30 is suppressed.
  • the shelf board 20 and the pair of brackets 30 the above-described configuration and function can be obtained.
  • the container 5 is transferred from the front side to the storage device 1, the operation of each part of the storage device 1 will be described.
  • the container 5 is placed on the upper surface 20a of the shelf board 20 toward the rear (direction from the shelf board 20 to the front surface 10a of each support column 10).
  • the supply hole 5b of the container 5 and the gas supply unit 21 are engaged with each other. Since the mounting mounting portion 35 is provided at a position close to the gas supply portion 21 in the X direction, the loading by the container 5 is received by the mounting mounting surface 35c of the mounting mounting portion 35 via the shelf plate 20.
  • the load of the container 5 can be applied to the extending portion 32, the support mounting portion 31, and each support column 10 via the mounting mounting portion 35, so that the shelf to which the mounting mounting portion 35 is not mounted in the X direction.
  • the force applied to the portion of the plate 20 can be suppressed, and the amount of deformation of the shelf plate 20 can be reduced.
  • an impact may be applied to the shelf board 20 and the pair of brackets 30.
  • the shelf board 20 and An impact may be applied to the pair of brackets 30.
  • a load is applied to the shelf board 20 and the pair of brackets 30.
  • the flatness of the shelf board 20 may increase.
  • the rotation angles ⁇ of the pair of brackets 30 may be different from each other.
  • the flatness of the shelf plate 20 can be adjusted by rotating the support mounting portion 31 of each bracket 30 with the tip portion 33c (rotation center position P) of the contact portion 33 as a fulcrum.
  • each bracket 30 By loosening each nut (not shown) in each bolt 40, the fixing of each bracket 30 to each support column 10 is released (or loosened). Since the area of the hole portion 34 is larger than the cross-sectional area of the shaft portion 40b of the bolt 40 orthogonal to the Y direction to the extent that each bracket 30 can rotate, the support mounting portion 31 has the shape of the plurality of hole portions 34. It can be moved together. For example, when it is desired to adjust the mounting mounting surface 35c so as to be located below the state before the adjustment, the position of each hole 34 viewed from the Y direction (from the Y direction) with the tip 33c of the contact portion 33 as the center. The seen center position) may be rotated so as to be shifted forward in the rotation direction R.
  • each hole 34 viewed from the Y direction is rotated around the tip 33c of the contact portion 33. It may be rotated so as to be displaced rearward in the direction R.
  • the flatness of the shelf board 20 can be adjusted to be small. .. Further, by adjusting the position of the mounting mounting surface 35c, that is, the rotation angle on at least one of the pair of brackets 30, the shelf plate 20 is parallel to the ground plane of the storage device 1 (parallel). It can be adjusted (to reduce the degree).
  • the shelf board 20 is supported by a pair of brackets 30.
  • the pair of brackets 30 are attached to the pair of columns 10 via bolts 40 that are inserted into the holes 34. Since the area of the hole 34 is larger than the cross-sectional area of the bolt 40 (shaft 40b) orthogonal to the axial direction (Y direction), each bracket 30 rotates along the side surface 10b of each support column 10. Can be done. That is, the diameter of the hole portion 34 is formed to be larger than the size corresponding to the diameter of the shaft portion 40b (that is, the size substantially matching the diameter of the shaft portion 40b).
  • the position of the hole 34 can be moved along the XZ plane while the shaft 40b is inserted into the hole 34, and each bracket 30 is rotated as the hole 34 moves. Can be done.
  • the flatness of the shelf board 20 supported by the pair of brackets 30 can be corrected. Therefore, according to the storage device 1, the flatness of the shelf board 20 on which the container 5 (article) is placed can be easily adjusted.
  • each bracket 30 has an abutting portion 33 that abuts on the front surface 10a of each strut 10, each bracket 30 can rotate stably with the abutting portion 33 as a fulcrum. Thereby, the flatness of the shelf board 20 can be easily adjusted in a more stable state. Further, by providing the contact portion 33, the rotation center position P of each bracket 30 can be adjusted flexibly and easily.
  • the contact portion 33 since the width w of the hole portion 34 along the rotation direction R increases as the distance d from the contact portion 33 increases, even when a plurality of hole portions 34 are provided, the contact portion 33 The rotation angle ⁇ can be adjusted by rotating each bracket 30 with the tip portion 33c of the above as a fulcrum. Further, since the width w of the hole portion 34 along the rotation direction R becomes smaller as it is closer to the contact portion 33, the position of the bolt 40 in the hole portion 34 is less likely to shift. Therefore, a pair of brackets 30 is suitable. It can be installed stably in any position.
  • the force required to change the angle of the mounting mounting surface 35c with respect to the extending surface 32a is smaller than the force required to deform the shelf board 20. Therefore, for example, when the pair of mounting mounting surfaces 35c are not parallel to each other before mounting the shelf board 20 (that is, when there is a gap between the pair of mounting mounting surfaces 35c), the shelf boards Before the shelf board 20 is deformed due to the deviation due to the attachment of 20, the pair of mounting mounting surfaces 35c changes the angle in the direction of reducing the deviation. As a result, the flatness of the shelf board 20 is kept small.
  • the mounting mounting surface 35c extends from a part of the total length of the upper end portion 32b of the extending portion 32 (in the present embodiment, two separated regions) along the bottom surface 20b of the shelf board 20.
  • each bracket 30 is made of a member thinner than the shelf board 20. With a simple configuration such that the thickness of each bracket 30 is thinner than that of the shelf board 20, the force required to change the angle of the mounting mounting surface 35c with respect to the extending surface 32a is required to deform the shelf board 20. It can be made smaller than the force.
  • the flatness of the shelf plate 20 is adjusted so that the supply hole 5b of the container 5 and the gas supply unit 21 are connected to each other. Since the adhesion is maintained, the gas can be appropriately supplied into the container 5. Further, in particular, since the mounting mounting surface 35c is provided at a position close to the gas supply section 21 in the X direction, the mounting mounting section 35 can take charge of the force applied to the shelf plate 20 (gas supply section 21). it can. The force applied to the shelf plate 20 when the container 5 is placed is distributed to the extending portion 32, the support mounting portion 31, and each support column 10 via the mounting mounting portion 35. As a result, the force applied to the portion of the shelf board 20 to which the mounting mounting portion 35 is not mounted can be suppressed in the X direction, and the amount of deformation of the shelf board 20 can be reduced.
  • the present disclosure is not limited to the present embodiment described above.
  • the material and shape of each configuration not only the above-mentioned material and shape but also various materials and shapes can be adopted.
  • the pair of brackets 30 may be attached to one support member having two side surfaces 10b facing each other in the Y direction instead of the pair of struts 10.
  • the support mounting surface may be the inner surface of the support mounting portion 31.
  • each strut may have, for example, a configuration in which the side surface of each strut extends rearward from the inner end portion of the front surface of each strut in the Y direction. That is, the side surfaces of the respective columns may be configured to face inward and face each other.
  • the outer surface of the support mounting portion 31 is in contact with the side surface of each column.
  • the extending surface (that is, the surface continuous with the support mounting surface) is the inner surface of the extending portion 32.
  • the extending portion 32 may extend to the front end of the shelf board 20. Further, the extending surface 32a does not have to be a surface extending in the X direction and the Z direction. In this case, the extending portion 32 is, for example, a portion extending at least in the X direction, and one surface of the extending portion 32 at this time may be the extending surface 32a.
  • the extending surface 32a may include an outer surface of the third extending portion 35a.
  • Each bracket 30 does not have to have the contact portion 33.
  • the pair of brackets 30 cannot be rotated in the rotation direction R about the tip portion 33c of the contact portion 33, but the hole portion 34 is relatively moved with respect to the shaft portion 40b of the bolt 40. By doing so, the rotation angle of the pair of brackets 30 can be adjusted.
  • each bracket 30 only one hole 34 may be provided. Further, one bolt 40 inserted into one of the plurality of hole portions 34 may function as a central axis of rotation of each bracket 30. In this case, the one hole portion 34 has a size that allows the shaft portion 40b of the bolt 40 to be inserted, that is, has substantially the same diameter as the shaft portion 40b.
  • each hole 34 is not limited to a circular shape.
  • each hole 34 may be formed in an arch shape extending widely along the rotation direction R.
  • the shapes of the plurality of hole portions 34 may all be the same, or may be different for each hole portion 34.
  • the plurality of hole portions 34 do not necessarily have to be formed so that the width w along the rotation direction R becomes larger as the width w is farther from the abutting portion 33.
  • the mounting mounting portion 35 is provided on a part of the upper end portion 32b of the extending portion 32, but the mounting mounting portion 35 is provided over the entire upper end portion 32b of the extending portion 32. May be done. Further, the strength of the bracket 30 may be equal to or higher than the strength of the shelf board 20.
  • the mounting mounting portion 35 (mounting mounting surface 35c) may be provided on all of the upper end portions 32b of the extending portion 32 (extending surface 32a) (that is, over the entire upper end portion 32b).
  • the storage device 1 has a configuration in which the area of the hole 34 is larger than the cross-sectional area orthogonal to the Y direction of the bolt 40 (that is, a configuration in which each bracket 30 is rotatable along the rotation direction R), and It suffices to have at least one of the configurations in which the force required to change the angle of the mounting mounting surface 35c with respect to the extending surface 32a is smaller than the force required to deform the shelf board 20.
  • each bracket does not necessarily have to be attached to the side surface of each support column 10.
  • each bracket may be attached to each support column 10 by providing a face portion facing the front surface 10a of each support column 10 and joining the face portion and the front surface 10a.
  • the insertion hole 12 may be formed with a groove portion to be screwed with the shaft portion 40b of the bolt 40.
  • the nut may be omitted.
  • the bolt 40 releases (looses) the fixing of the support mounting portion 31 to each strut 10 by adjusting the length of the portion of the shaft portion 40b that protrudes outward from the side surface 10b of each strut 10. be able to.

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Abstract

保管装置は、それぞれ上下方向に延在し、第１方向に離間して並ぶ１対の支持部と、１対の支持部のそれぞれの第１方向を向く面である側面に、軸部を有する固定部材を介してそれぞれ取り付けられる１対の取付部と、１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、を備え、１対の取付部のそれぞれは、軸部が挿通される穴部を有し、穴部の面積は、１対の支持部の側面に沿って１対の取付部が回動可能な程度に、軸部の軸方向に直交する断面積よりも大きい。

Description

保管装置
　本開示は、保管装置に関する。
　従来、半導体基板を収容する容器を被保管物として保管する保管棚が知られている。例えば、特許文献１に記載の保管棚は、凹溝部が形成される１対の支柱と、支柱に固定され被保管物を載置する載置部を備える。載置部は、被保管物を支持する載置本体部と、支柱に固定される１対の取付板部と、を有する。１対の取付板部のそれぞれは、支柱の凹溝部に挿入されて固定されている。すなわち、特許文献１に記載の保管棚では、載置部は、凹溝部により、１対の支柱に対して位置決めされている。
特開２０１９－０３８６４７号公報
　上記特許文献１に記載の保管棚では、載置部が支柱に対してしっかりと位置決めされるため、載置部に物品（被保管物）が載置されることによる取付板部の変位、又は支柱の凹溝部及び載置部の加工精度によって、載置本体部の平面度（平面形体の幾何学的に正しい平面からの狂いの大きさ）が大きくなる可能性があり、物品を安定して載置することができないおそれがある。また、特許文献１に記載の保管棚を利用する場合には、支柱の凹溝部及び載置部を精度良く加工する必要があるため、製造時に高い技量が要求される。
　そこで、本開示は、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる保管装置を提供することを目的とする。
　本開示の一側面に係る保管装置は、それぞれ上下方向に延在し、第１方向に離間して並ぶ１対の支持部と、１対の支持部のそれぞれの第１方向を向く面である側面に、軸部を有する固定部材を介してそれぞれ取り付けられる１対の取付部と、１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、を備え、１対の取付部のそれぞれは、軸部が挿通される穴部を有し、穴部の面積は、１対の支持部の側面に沿って１対の取付部が回動可能な程度に、軸部の軸方向に直交する断面積よりも大きい。
　この保管装置では、載置部が１対の取付部により支持される。１対の取付部は、穴部に挿通される固定部材を介して、１対の支持部に取り付けられている。そして、穴部の面積は、軸部の軸方向に直交する断面積より大きいため、１対の取付部のそれぞれは、支持部の側面に沿って回動することができる。このような１対の取付部の回動により、１対の取付部に支持された載置部の平面度を修正することができる。よって、この保管装置によれば、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる。
　１対の取付部のそれぞれは、１対の支持部の第１方向及び上下方向に沿った面であって、支持部に対して載置部が位置する向きの面である前面に当接する当接部を有してもよい。これによれば、１対の取付部のそれぞれは、当接部を支点として安定して回動することができる。よって、この保管装置によれば、より安定した状態で載置部の平面度を容易に調整することができる。
　複数の穴部が、１対の取付部のそれぞれに設けられており、複数の穴部のそれぞれの１対の取付部の回動方向に沿った幅は、当接部からの距離が遠いほど大きくなるように形成されていてもよい。これによれば、穴部における１対の取付部の回動方向に沿った幅が当接部から遠いほど大きくなるため、複数の穴部が設けられた場合であっても、当接部を支点として１対の取付部のそれぞれを回動させることができる。また、穴部における１対の取付部の回動方向に沿った幅が当接部から近いほど小さくなるため、穴部内における固定部材の位置ずれが生じにくくなり、１対の取付部を適切な位置で安定して取り付けることができる。
　本開示の他の側面に係る保管装置は、それぞれ上下方向に延在し、第１方向に並ぶ１対の支持部と、１対の支持部のそれぞれに取り付けられる１対の取付部と、１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、を備え、１対の取付部のそれぞれは、１対の支持部に取り付けられる支持取付面と、支持取付面に接続され、１対の支持部に対して載置部が位置する向きに延在する延在面と、延在面の上端部に接続され、載置部の底面を下から支持するように底面に沿って延在する載置取付面と、を有し、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力は、載置部を変形させるために必要な力より小さい。
　この保管装置では、載置部が１対の取付部により支持される。１対の取付部は、支持取付面を介して支持部に取り付けられている。また、載置取付面は、延在面の上端部から載置部の底面に沿って延在している。そして、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力は、載置部を変形させるために必要な力より小さい。このため、例えば一対の載置取付面同士が載置部の取付前において互いに平行となっていない場合（すなわち、一対の載置取付面の間にずれがある場合）等において、載置部が取り付けられることで当該ずれに起因して載置部が変形してしまう前に、一対の載置取付面が当該ずれを小さくする方向に角度を変化させることになる。これにより、載置部の平面度が小さく維持される。よって、この保管装置によれば、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる。
　載置取付面は、延在面の上端部全長の一部分から載置部の底面に沿って延在してもよい。これによれば、載置取付面を延在面の上端部の一部にのみ設けるといった簡易な構成により、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力を、載置部を変形させるために必要な力より小さくすることができる。
　１対の取付部のそれぞれは、載置部よりも薄い部材で構成されてもよい。これによれば、１対の取付部のそれぞれの厚みを載置部よりも薄くするといった簡易な構成により、延在面に対する載置取付面の角度を変化させるために必要な力を、載置部を変形させるために必要な力より小さくすることができる。
　物品は、底部に設けられた供給孔を介して内部にガスを供給可能な容器であり、載置部は、供給孔を介して容器内にガスを供給するガス供給部を有してもよい。これによれば、載置部の平面度が調整されることにより、容器の供給孔とガス供給部との密着性が保たれるため、容器内に適切にガスを供給させることができる。
　本開示によれば、物品を載置する載置部の平面度を容易に調整することができる保管装置を提供することが可能となる。
図１は、一実施形態の保管装置の斜視図である。 図２は、一実施形態の保管装置の側面図である。 図３は、図１に示される保管装置の取付部の斜視図である。 図４は、図２に示される保管装置の一部を拡大した側面図である。
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。以下の説明では、説明の便宜上、３次元空間の直交座標系における各軸方向をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向という。Ｘ方向及びＹ方向（第１方向の一例）は水平面に沿った方向であり、Ｚ方向は上下方向（鉛直方向）である。
　図１及び図２に示されるように、一実施形態の保管装置１は、物品の一例である容器５を保管する。容器５は、例えば、１又は複数の半導体ウェハ等が収容される箱状の筐体（例えば、ＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod））である。容器５は、半導体ウェハを内部に保持し、半導体ウェハを保護する。容器５の底部５ａには、容器５の内部と容器５の外部とを連通する供給孔５ｂが設けられている。容器５の内部には、底部５ａに形成された供給孔５ｂを通じてパージガス（例えば、窒素ガス）が供給される。
　保管装置１は、それぞれＺ方向に延在する１対の支柱１０（支持部の一例）と、１対の支柱１０に取り付けられる１対のブラケット３０（取付部の一例）と、１対のブラケット３０に支持され、容器５が載置される棚板２０（載置部の一例）と、各ブラケット３０を各支柱１０に固定する複数のボルト４０（固定部材の一例）とを備えている。棚板２０は、１対の支柱１０に対してＸ方向の一方側に位置している。以下、Ｘ方向の一方側（すなわち、１対の支柱１０に対して棚板２０が配置される側）を前方と定義し、Ｘ方向の他方側を後方と定義する。また、以下、Ｙ方向において、１対の支柱１０の内側を単に内側といい、１対の支柱１０の外側を単に外側と定義する。
　１対の支柱１０は、例えば、Ｙ方向に沿って所定間隔だけ離間して並ぶように設けられる。各支柱１０は、上面視においてＬ字状の部材である。具体的には、各支柱１０は、前方側を向いた面（Ｙ方向及びＺ方向に沿った面）である前面１０ａ、及び前面１０ａに交差する面（外側を向く面）である側面１０ｂを有する。前面１０ａは、支柱１０に対して後述の棚板２０が位置する方向の面である。図１に示されるように、本実施形態では、各支柱１０の側面１０ｂは、前面１０ａのＹ方向における外側の端部から後方へと延在している。各支柱１０の側面１０ｂには、ボルト４０が挿通される挿通穴１２が設けられる。挿通穴１２は、Ｙ方向において貫通している。挿通穴１２は、後述の穴部３４の個数及び位置に応じて設けられる。挿通穴１２には、穴部３４に挿通されたボルト４０が挿通されてナット（図示省略）により固定される。
　棚板２０は、容器５を支持する部材である。すなわち、棚板２０には、容器５が載置される。棚板２０は、１対のブラケット３０を介して１対の支柱１０に取り付けられる。棚板２０は、例えば板状を呈する。棚板２０の上面２０ａによって、容器５の底部５ａが支持される。棚板２０の底面２０ｂには、１対のブラケット３０が取り付けられる。
　本実施形態では一例として、棚板２０は、Ｙ方向の中央部において前方側の端部から後方側に窪んだ凹部２０ｃを有しており、上面視において略Ｕ字状に形成されている。凹部２０ｃによって、Ｚ方向に貫通すると共に前方側に開口する開口領域Ｓが形成されている。棚板２０は、１対の支柱１０に対して複数設けられてもよい。例えば、１対の支柱１０の間には、Ｚ方向に複数段の棚板２０が設けられてもよい。この場合、Ｚ方向に隣り合う棚板２０の設置間隔は、容器５の高さ（Ｚ方向の長さ）よりも大きく設定される。
　なお、開口領域Ｓの奥行（Ｘ方向における長さ）及び幅（Ｙ方向における長さ）は、容器５の構造、容器５を取り出す装置の構造等に合わせて適宜設定される。また、開口領域Ｓ（すなわち、凹部２０ｃ）は、必ずしも設けられなくてもよい。
　棚板２０は、ガス供給部２１をさらに有する。ガス供給部２１は、ガス管（図示省略）及びガスボンベ（図示省略）に連通し、パージガスを通気する。ガス供給部２１は、例えば、棚板２０の上面２０ａから突出した円柱状を呈するノズルである。ガス管は、ガス供給部２１とガスボンベとを連通する管路である。棚板２０の上面２０ａ上に容器５が載置されるとき、容器５は、底部５ａに設けられた供給孔５ｂとガス供給部２１とが係合可能なように位置決めされる。パージガスが、容器５の供給孔５ｂ、ガス供給部２１及びガス管を介して容器５の内部に供給されることにより、容器５は、パージ処理される。ガス供給部２１は、容器５の供給孔５ｂの数、大きさ及び形状に合わせて適宜設けられる。
　図１及び図２に示されるように、１対のブラケット３０は、棚板２０を支持する部材である。各ブラケット３０は、各支柱１０の側面１０ｂに取り付けられる。図１、図２及び図３に示されるように、各ブラケット３０は、各支柱１０の側面１０ｂに対向する支持取付部３１と、支持取付部３１に接続されている延在部３２と、延在部３２に接続されている当接部３３と、延在部３２の上端部３２ｂに接続されている載置取付部３５とを有する。支持取付部３１、延在部３２、当接部３３及び載置取付部３５は、例えば、それぞれ板状を呈する。
　支持取付部３１は、各支柱１０の側面１０ｂに、ボルト４０を介して取り付けられる。支持取付部３１は、Ｘ方向及びＺ方向に延在している。支持取付部３１のＸ方向及びＺ方向の長さ及び形状は、各支柱１０の側面１０ｂの大きさに合わせて適宜設定される。本実施形態では一例として、支持取付部３１は、各支柱１０の外側の側面１０ｂ（すなわち、Ｙ方向において互いに反対側を向く面）に設けられる。
　支持取付部３１は、外側の面である支持取付面３１ａを有する。支持取付面３１ａは、各支柱１０の側面１０ｂに取り付けられ、側面１０ｂに沿っている面である。支持取付部３１には、穴部３４が設けられている。穴部３４の詳細は後述する。
　延在部３２は、支持取付部３１の前方側の端部に接続され、各支柱１０に対して棚板２０が位置する向き（前方側）に、各支柱１０の側面１０ｂに沿って延在する。延在部３２は、下方に収納される容器５の大きさ及び形状に合わせて適宜設定される。本実施形態では一例として、延在部３２は、支柱１０の前面１０ａから、棚板２０の前方側の端部よりも後方の位置まで延在している。すなわち、Ｙ方向から見て、棚板２０の前端は、延在部３２の前端よりも前方に突出している。例えば、延在部３２は、Ｘ方向において最も前方側に設けられたガス供給部２１の位置まで延在する。延在部３２は、外側の面である延在面３２ａを有する。延在面３２ａは、各支柱１０の側面１０ｂに沿って延在している面であり、支持取付面３１ａに接続されている。本実施形態では、支持取付面３１ａと延在面３２ａとは、連続しており、同一平面を形成している。延在部３２（延在面３２ａ）は、Ｘ方向に沿った上端部３２ｂを有する。また、延在部３２は、前方側に向かうにつれて上方へと移動する下端部３２ｃを有する。これにより、延在部３２は、前方側に向かうにつれてＺ方向の長さ（すなわち、上端部３２ｂと下端部３２ｃとの距離）が小さくなる形状を有している。
　当接部３３は、例えば鉤状を呈する。当接部３３は、例えば、下端部３２ｃの後方側の部分（各支柱１０の近傍部分）に接続されている。当接部３３は、下端部３２ｃから下方に延在する部分である第１延在部３３ａと、第１延在部３３ａの下端部から棚板２０の底面２０ｂに沿うように内側に向かって延在する第２延在部３３ｂとを有する。第１延在部３３ａ及び第２延在部３３ｂは、Ｘ方向から見て略Ｌ字状に形成されている。第２延在部３３ｂの少なくとも一部は、後方側に、すなわち各支柱１０の前面１０ａに向かって突出する。図２に示されるように、第２延在部３３ｂにおける各支柱１０の前面１０ａ側の先端部３３ｃは、各ブラケット３０が各支柱１０に取り付けられた状態において、各支柱１０の前面１０ａに当接するように形成されている。なお、第１延在部３３ａは、省略されてもよい。すなわち、第２延在部３３ｂは、延在部３２の下端部３２ｃに直接接続されてもよい。
　穴部３４は、Ｙ方向において支持取付部３１を貫通している。支持取付部３１は、穴部３４に挿通されたボルト４０を介して各支柱１０の側面１０ｂに取り付けられる。まず、ボルト４０の詳細を説明する。穴部３４に挿通されたボルト４０は、各支柱１０の側面１０ｂに設けられた挿通穴１２に挿通する。挿通穴１２に挿通されたボルト４０は、内側においてナット（図示省略）により各支柱１０に固定される。ボルト４０は、軸状を呈する。ボルト４０は、穴部３４の個数及び位置に応じて設けられる。ボルト４０は、支持取付部３１の支持取付面３１ａに近接又は接触する頭部４０ａ、及び、穴部３４及び挿通穴１２に挿通される軸部４０ｂを有する。頭部４０ａ及び軸部４０ｂは、例えば円柱状を呈する。
　頭部４０ａは、軸部４０ｂの軸方向（Ｙ方向）に直交する断面積、及び穴部３４の面積よりも大きい断面積を有する。穴部３４の面積とは、Ｙ方向から見た穴部３４の面積を指す。ボルト４０が１対のブラケット３０を各支柱１０の側面１０ｂに取り付けた状態において、頭部４０ａにおける内側の面と支持取付部３１の支持取付面３１ａとが当接することにより、支持取付部３１の外側への移動が規制される。軸部４０ｂは、支持取付部３１の厚み（Ｙ方向における長さ）より長く、Ｙ方向に延在する。
　図４に示されるように、穴部３４は、支持取付部３１に複数設けられる。各穴部３４の形状は、例えば、Ｙ方向から見て円形である。穴部３４の面積は、各支柱１０の側面１０ｂに沿って１対のブラケット３０が回動可能な程度に、ボルト４０の軸部４０ｂのＹ方向に直交する断面積よりも大きい。すなわち、穴部３４の径は、軸部４０ｂの径よりも大きい。このため、支持取付部３１が各支柱１０の側面１０ｂにボルト４０により取り付けられ、且つ、各支柱１０の側面１０ｂにおいてボルト４０及びナットによる支持取付部３１の固定が解除されている（或いは緩められている）場合、各ブラケット３０は当接部３３の先端部３３ｃを中心に回動方向Ｒに沿って回動することができる。各支柱１０の側面１０ｂに対する支持取付部３１の固定度合いは、ナットの締め付け度合いを調整することによって調整することができる。なお、回動方向Ｒとは、各支柱１０の側面１０ｂに沿った平面において、当接部３３の先端部３３ｃを中心とする円の円周方向である。すなわち、Ｙ方向から見て当接部３３の先端部３３ｃと各支柱１０の前面１０ａとの接触位置は、各ブラケット３０の回動中心位置Ｐを構成する。したがって、第１延在部３３ａのＺ方向の長さを適切に設計し、当該接触位置を設定することで、各ブラケット３０の回動中心位置Ｐ及び回動方向Ｒを調整することができる。
　各穴部３４において、回動方向Ｒに沿った幅ｗは、当接部３３の先端部３３ｃからの距離が遠いほど大きくなるように形成されている。本実施形態では一例として、穴部３４を円形に形成し、穴部３４の径を適切に設計することにより、上記構成が実現されている。すなわち、各穴部３４の径は、回動中心位置Ｐから当該穴部３４までの距離ｄが遠いほど大きくなるように設計されている。
　載置取付部３５は、例えば、延在部３２の上端部３２ｂから上方に延在する部分である第３延在部３５ａと、第３延在部３５ａから棚板２０の底面２０ｂに沿うように内側に向かって延在する第４延在部３５ｂとを有する。第４延在部３５ｂは、棚板２０の底面２０ｂの少なくとも一部を下から支持するように接合する。棚板２０及び載置取付部３５は、例えばピン及びナットにより接合されている。なお、第３延在部３５ａは、省略されてもよい。すなわち、第４延在部３５ｂは、延在部３２の上端部３２ｂに直接接続されてもよい。
　載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂ全長の一部分に設けられている。また、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの複数（本実施形態では２つ）の互いに分離された部分に設けられている。以下、本実施形態において、載置取付部３５の一例として、Ｘ方向の前方側に位置する載置取付部３５を第１載置取付部３５Ａとし、Ｘ方向の後方側に位置する載置取付部３５を第２載置取付部３５Ｂとする。第１載置取付部３５Ａは、第２載置取付部３５Ｂより、当接部３３の先端部３３ｃからのＸ方向の距離が大きいため、当接部３３の先端部３３ｃを中心としたモーメントが大きい。このため、本実施形態では、第１載置取付部３５ＡのＸ方向の長さを第２載置取付部３５ＢのＸ方向の長さよりも長くすることにより、延在部３２におけるモーメントの偏りが抑制されている。
　載置取付部３５（第１載置取付部３５Ａ及び第２載置取付部３５Ｂ）は、延在部３２の上端部３２ｂに接続され、棚板２０の底面２０ｂを下から支持するように底面２０ｂに沿って延在する載置取付面３５ｃを有する。載置取付面３５ｃは、例えば第４延在部３５ｂの上面である。載置取付面３５ｃは、例えば、当接部３３の第２延在部３３ｂに略平行である。載置取付面３５ｃの少なくとも一部は、棚板２０の底面２０ｂと接合する。載置取付部３５（載置取付面３５ｃ）は、例えば、Ｘ方向において棚板２０に設けられたガス供給部２１に近接した位置に設けられる。ガス供給部２１には、棚板２０に載置される容器５の荷重又は容器５の載置時における衝撃が加わり、棚板２０が変形するおそれがある。載置取付部３５がガス供給部２１に近接した位置に設けられることで、載置取付部３５は、棚板２０に加わる力を受け持つことができる。容器５の載置に伴い棚板２０に加わる力は、載置取付部３５を介して延在部３２、支持取付部３１及び各支柱１０に分散できる。これにより、Ｘ方向において載置取付部３５が取り付けられていない棚板２０の部位にかかる力を抑えられ、棚板２０が変形する量を小さくすることができる。
　延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力は、棚板２０を変形させるために必要な力より小さい。すなわち、棚板２０及び１対のブラケット３０の強度は、上記関係が成立するように調整されている。つまり、１対のブラケット３０上に載置された棚板２０が撓んだり折れ曲がったりする前に、１対のブラケット３０の少なくとも一方が先に変形するようになっている。例えば、棚板２０の一部を下方に湾曲させて平面度を大きくするために必要な力より、載置取付部３５の第４延在部３５ｂが第３延在部３５ａに対して下方に折れ曲がるために必要な力の方が小さい。ここで、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させることは、第３延在部３５ａに対する第４延在部３５ｂの角度を変化させることを含む。例えば、第３延在部３５ａと第４延在部３５ｂとの境界において、第４延在部３５ｂ全体が第３延在部３５ａに対して折れ曲がる、又は第４延在部３５ｂの一部分が第３延在部３５ａに対して折れ曲がることで、第３延在部３５ａに対する第４延在部３５ｂの角度が変化する。このとき、第３延在部３５ａがＺ方向に対して屈曲してもよい。
　延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を棚板２０に比べて変形させ易くするため、載置取付部３５は、例えば、棚板２０に比べて強度が弱くなるように形成されている。例えば、各ブラケット３０は、棚板２０よりも薄い部材で構成されていてもよい。なお、各ブラケット３０の全体の強度が一様に弱くされる必要はなく、少なくとも載置取付部３５が棚板２０よりも強度の弱い部材で構成されていてもよい。
　ここで、仮に、１対のブラケット３０の各々の載置取付面３５ｃが互いに平行になっておらず、且つ、載置取付部３５の強度が棚板２０の強度よりも大きい場合には、棚板２０が載置取付部３５によってバランス良く支持されず、棚板２０の一部に荷重（載置取付部３５又は容器５から受ける力）が集中して棚板２０が変形してしまうおそれがある。一方、本実施形態では、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの一部分から延在し、棚板２０よりも強度が弱くなるように形成されている。これにより、上述したように１対のブラケット３０の各々の載置取付面３５ｃが互いに平行になっていない場合であっても、載置取付部３５が棚板２０より先に変形することにより、棚板２０の平面度を小さく抑えることができる。例えば、載置取付部３５又は各ブラケット３０全体に加工誤差が生じていた場合であっても、棚板２０が当該加工誤差により変形する前に、載置取付部３５が加工誤差を収束させるように先に変形する。したがって、棚板２０の平面度に対する載置取付部３５又はブラケット３０の加工誤差による影響が小さくなる。以上のように、載置取付部３５が棚板２０より先に変形することにより、載置取付部３５又は容器５から棚板２０に作用する力によって棚板２０が変形することが抑えられ、平面度が小さくなる。
　次に、１対の支柱１０に棚板２０及び１対のブラケット３０を取り付ける方法を説明する。まず、１対のブラケット３０は、１対の支柱１０の側面１０ｂにボルト４０を介して接続される。ボルト４０は、各ブラケット３０における支持取付部３１に設けられた各穴部３４に挿通されると共に各支柱１０の各挿通穴１２に挿通され、図示しないナットが締められることによって固定される。支持取付部３１は、ボルト４０の頭部４０ａと各支柱１０の側面１０ｂとの間に挟まれるようにして固定される。このとき、各ブラケット３０の各支柱１０に対する回動角度θを調整する。回動角度θは、回動方向Ｒにおける各支柱１０の前面１０ａに対する載置取付面３５ｃ（第２延在部３３ｂ）の角度である。回動角度θは、例えば、載置取付面３５ｃが１対の支柱１０の接地面（図示省略）に水平になるように（平行度が小さくなるように）調整される。
　続いて、棚板２０を載置取付面３５ｃ上に設置する。棚板２０が図示しないピンとナットにより載置取付部３５と接合することによって、１対のブラケット３０からの水平方向への位置ずれが抑制される。棚板２０と１対のブラケット３０とが取り付けられることにより、上述した構成及び機能が得られる。
　次に、保管装置１に対して前方側から容器５を移載する場合において、保管装置１の各部位の作用を説明する。容器５は、後方（棚板２０から各支柱１０の前面１０ａへの方向）に向けて棚板２０の上面２０ａ上に載置される。このとき、容器５の供給孔５ｂとガス供給部２１とが係合する。Ｘ方向において、載置取付部３５はガス供給部２１に近接した位置に設けられるため、容器５による荷重を棚板２０を介して載置取付部３５の載置取付面３５ｃが受ける。これにより、容器５の荷重を載置取付部３５を介して延在部３２、支持取付部３１及び各支柱１０にかけることができるため、Ｘ方向において載置取付部３５が取り付けられていない棚板２０の部位にかかる力を抑えられ、棚板２０が変形する量を小さくすることができる。
　また、容器５を棚板２０の上面２０ａ上に載置する場合、棚板２０及び１対のブラケット３０に対して衝撃が加わる可能性がある。例えば、容器５がガス供給部２１と係合するときに容器５がガス供給部２１に衝突した場合、又は、勢いよく容器５が上面２０ａ上に載置された場合などに、棚板２０及び１対のブラケット３０に対して衝撃が加わる可能性がある。また、容器５を棚板２０の上面２０ａ上に載置する場合、棚板２０及び１対のブラケット３０に対して荷重がかかる。
　棚板２０及び１対のブラケット３０に対して、上記のような容器５の載置時の衝撃、又は容器５の荷重が加わった場合、棚板２０の平面度が大きくなる可能性がある。例えば、棚板２０の平面度が大きくなった場合、１対のブラケット３０において、回動角度θがそれぞれ異なる可能性がある。このとき、各ブラケット３０における支持取付部３１を、当接部３３の先端部３３ｃ（回動中心位置Ｐ）を支点として回動させることで、棚板２０の平面度を調整することができる。以下、詳細に説明する。
　各ボルト４０において図示しない各ナットを緩めることで、各支柱１０に対する各ブラケット３０の固定が解除される（或いは緩められる）。穴部３４の面積は、各ブラケット３０が回動可能な程度に、ボルト４０の軸部４０ｂのＹ方向に直交する断面積より大きいため、支持取付部３１は、複数の穴部３４の形状に合わせて移動することができる。例えば、載置取付面３５ｃが調整前の状態より下方に位置するように調整したい場合、当接部３３の先端部３３ｃを中心として、Ｙ方向から見た各穴部３４の位置（Ｙ方向から見た中心位置）を回動方向Ｒにおける前方にずらすように回動させればよい。逆に、載置取付面３５ｃが調整前の状態より上方に位置するように調整したい場合、当接部３３の先端部３３ｃを中心として、Ｙ方向から見た各穴部３４の位置を回動方向Ｒにおける後方にずらすように回動させればよい。
　上記のように、１対のブラケット３０の少なくとも一方において載置取付面３５ｃの位置、すなわち、回動角度θを調整することで、棚板２０の平面度が小さくなるように調整することができる。また、１対のブラケット３０の少なくとも一方において載置取付面３５ｃの位置、すなわち、回動角度を調整することで、保管装置１の接地面に対して棚板２０が平行となるように（平行度が小さくなるように）調整することができる。
　以上のように、保管装置１では、棚板２０が１対のブラケット３０により支持される。１対のブラケット３０は、穴部３４に挿通されるボルト４０を介して、１対の支柱１０に取り付けられている。そして、穴部３４の面積は、ボルト４０（軸部４０ｂ）の軸方向（Ｙ方向）に直交する断面積より大きいため、各ブラケット３０は、各支柱１０の側面１０ｂに沿って回動することができる。つまり、穴部３４の径は、軸部４０ｂの径と対応する大きさ（すなわち、軸部４０ｂの径と略一致する大きさ）よりも大きく形成されている。これにより、軸部４０ｂが穴部３４に挿通された状態において、穴部３４の位置をＸＺ平面に沿って移動させることができ、穴部３４の移動に伴って各ブラケット３０を回動させることができる。このような１対のブラケット３０の回動により、１対のブラケット３０に支持された棚板２０の平面度を修正することができる。よって、保管装置１によれば、容器５（物品）を載置する棚板２０の平面度を容易に調整することができる。
　また、各ブラケット３０は、各支柱１０の前面１０ａに当接する当接部３３を有しているため、各ブラケット３０は、当接部３３を支点として安定して回動することができる。これにより、より安定した状態で棚板２０の平面度を容易に調整することができる。また、当接部３３を設けることによって、各ブラケット３０の回動中心位置Ｐを柔軟且つ容易に調整することができる。
　また、穴部３４における回動方向Ｒに沿った幅ｗが当接部３３からの距離ｄが遠いほど大きくなるため、複数の穴部３４が設けられた場合であっても、当接部３３の先端部３３ｃを支点として各ブラケット３０を回動させ、回動角度θを調整することができる。また、穴部３４における回動方向Ｒに沿った幅ｗが当接部３３から近いほど小さくなるため、穴部３４内におけるボルト４０の位置ずれが生じにくくなるため、１対のブラケット３０を適切な位置で安定して取り付けることができる。
　また、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力は、棚板２０を変形させるために必要な力より小さい。このため、例えば一対の載置取付面３５ｃ同士が棚板２０の取付前において互いに平行となっていない場合（すなわち、一対の載置取付面３５ｃの間にずれがある場合）等において、棚板２０が取り付けられることで当該ずれに起因して棚板２０が変形してしまう前に、一対の載置取付面３５ｃが当該ずれを小さくする方向に角度を変化させることになる。これにより、棚板２０の平面度が小さく維持される。
　また、載置取付面３５ｃは、延在部３２の上端部３２ｂ全長の一部分（本実施形態では、２つの分離された領域）から棚板２０の底面２０ｂに沿って延在している。載置取付面３５ｃを上端部３２ｂの一部にのみ設けるといった簡易な構成により、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力（つまり、曲げ変形に対する各ブラケット３０の強度）を、棚板２０を変形させるために必要な力より小さくすることができる。
　また、各ブラケット３０は、棚板２０よりも薄い部材で構成されている。各ブラケット３０の厚みを棚板２０よりも薄くするといった簡易な構成により、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるために必要な力を、棚板２０を変形させるために必要な力より適切に小さくすることができる。
　また、容器５に供給孔５ｂが設けられ、棚板２０がガス供給部２１を有する場合、棚板２０の平面度が調整されることにより、容器５の供給孔５ｂとガス供給部２１との密着性が保たれるため、容器５内に適切にガスを供給させることができる。また、特に、載置取付面３５ｃがＸ方向においてガス供給部２１に近接した位置に設けられることで、載置取付部３５は、棚板２０（ガス供給部２１）に加わる力を受け持つことができる。容器５の載置に伴い棚板２０に加わる力は、載置取付部３５を介して延在部３２、支持取付部３１及び各支柱１０に分散する。これにより、Ｘ方向において載置取付部３５が取り付けられていない棚板２０の部位にかかる力を抑え、棚板２０が変形する量を小さくすることができる。
　本開示は、上述した本実施形態に限定されない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。例えば、１対のブラケット３０は、１対の支柱１０の代わりに、Ｙ方向において対向する２つの側面１０ｂを有する１つの支持部材に取り付けられてもよい。
　支持取付面は、支持取付部３１の内側の面であってもよい。この場合、各支柱は、例えば、各支柱の側面が各支柱の前面のＹ方向における内側の端部から後方へと延在する構成を備えていればよい。すなわち、各支柱の側面は、内側を向き、互いに対向するように構成されればよい。このとき、支持取付部３１の外側の面が各支柱の側面に当接している。なお、このとき、延在面（すなわち、支持取付面と連続する面）は、延在部３２の内側の面となる。
　延在部３２は、棚板２０の前方側の端部まで延在していてもよい。また、延在面３２ａは、Ｘ方向及びＺ方向に延在する面でなくてもよい。この場合、延在部３２は、例えば、少なくともＸ方向に延在する部位であり、このときの延在部３２の一面が延在面３２ａであってもよい。延在面３２ａは、第３延在部３５ａの外側の面を含んでいてもよい。
　各ブラケット３０は、当接部３３を有さなくてもよい。この場合、１対のブラケット３０を当接部３３の先端部３３ｃを中心に回動方向Ｒに回動させることはできないが、ボルト４０の軸部４０ｂに対して穴部３４を相対的に移動させることで、１対のブラケット３０の回動角度を調整することができる。
　各ブラケット３０において、穴部３４は１つだけ設けられてもよい。また、複数の穴部３４のうちの１つの穴部３４に挿通される１つのボルト４０は、各ブラケット３０の回動の中心軸として機能してもよい。この場合、当該１つの穴部３４は、ボルト４０の軸部４０ｂが挿通可能な程度の大きさ、すなわち軸部４０ｂと略同径である。
　各穴部３４の形状は円形に限定されない。例えば、各穴部３４は、回動方向Ｒに沿って幅広に延在するアーチ状に形成されていてもよい。また、複数の穴部３４の形状は、すべて同一あってもよく、穴部３４毎に異なっていてもよい。また、複数の穴部３４は、必ずしも、回動方向Ｒに沿った幅ｗが当接部３３から遠いほど大きくなるように形成されていなくてもよい。
　上記実施形態では、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの一部に設けられたが、載置取付部３５は、延在部３２の上端部３２ｂの全域に亘って設けられてもよい。また、ブラケット３０の強度は、棚板２０の強度と同等又は棚板２０の強度よりも高くてもよい。載置取付部３５（載置取付面３５ｃ）は、延在部３２（延在面３２ａ）の上端部３２ｂの全部に（すなわち、上端部３２ｂの全域に亘って）設けられてもよい。また、保管装置１は、穴部３４の面積がボルト４０のＹ方向に直交する断面積より大きい構成（すなわち、各ブラケット３０を回動方向Ｒに沿って回動可能にする構成）、及び、延在面３２ａに対する載置取付面３５ｃの角度を変化させるのに必要な力が棚板２０を変形させるのに必要な力より小さい構成の少なくともいずれか一方を有していればよい。また、各ブラケット３０を回動方向Ｒに沿って回動させる構成を採用しない場合には、各ブラケットは、必ずしも各支柱１０の側面に取り付けられなくてもよい。例えば、各ブラケットに各支柱１０の前面１０ａに対向する面部を設け、当該面部と前面１０ａとを接合することにより、各ブラケットを各支柱１０に取り付けてもよい。
　挿通穴１２は、ボルト４０の軸部４０ｂと螺合する溝部が形成されていてもよい。この場合、ナットは省略され得る。なお、この場合、ボルト４０は、軸部４０ｂにおける各支柱１０の側面１０ｂから外側に突出した部分の長さを調整することにより、各支柱１０に対する支持取付部３１の固定を解除する（緩める）ことができる。
　１…保管装置、５…容器（物品）、５ａ…底部、５ｂ…供給孔、１０…支柱（支持部）、１０ａ…前面、１０ｂ…側面、１２…挿通穴、２０…棚板（載置部）、２０ａ…上面、２０ｂ…底面、２０ｃ…凹部、２１…ガス供給部、３０…ブラケット（取付部）、３１…支持取付部、３１ａ…支持取付面、３２…延在部、３２ａ…延在面、３２ｂ…上端部、３２ｃ…下端部、３３…当接部、３３ａ…第１延在部、３３ｂ…第２延在部、３３ｃ…先端部、３４…穴部、３５…載置取付部、３５ａ…第３延在部、３５ｂ…第４延在部、３５ｃ…載置取付面、４０…ボルト（固定部材）、４０ａ…頭部、４０ｂ…軸部。

Claims (7)

  1. 　それぞれ上下方向に延在し、第１方向に離間して並ぶ１対の支持部と、
    　前記１対の支持部のそれぞれの前記第１方向を向く面である側面に、軸部を有する固定部材を介してそれぞれ取り付けられる１対の取付部と、
    　前記１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、
    を備え、
    　前記１対の取付部のそれぞれは、前記軸部が挿通される穴部を有し、
    　前記穴部の面積は、前記１対の支持部の前記側面に沿って前記１対の取付部が回動可能な程度に、前記軸部の軸方向に直交する断面積よりも大きい、
    保管装置。
  2. 　前記１対の取付部は、前記１対の支持部の前記第１方向及び前記上下方向に沿った面であって、前記支持部に対して前記載置部が位置する向きの面である前面に当接する当接部を有する、請求項１に記載の保管装置。
  3. 　複数の前記穴部が、前記１対の取付部のそれぞれに設けられており、
    　前記複数の前記穴部のそれぞれの前記１対の取付部の回動方向に沿った幅は、前記当接部からの距離が遠いほど大きくなるように形成されている、請求項２に記載の保管装置。
  4. 　それぞれ上下方向に延在し、第１方向に並ぶ１対の支持部と、
    　前記１対の支持部のそれぞれに取り付けられる１対の取付部と、
    　前記１対の取付部に支持され、物品が載置される載置部と、
    を備え、
    　前記１対の取付部のそれぞれは、
    　　前記１対の支持部に取り付けられる支持取付面と、
    　　前記支持取付面に接続され、前記１対の支持部に対して前記載置部が位置する向きに延在する延在面と、
    　　前記延在面の上端部に接続され、前記載置部の底面を下から支持するように前記底面に沿って延在する載置取付面と、を有し、
    　前記延在面に対する前記載置取付面の角度を変化させるために必要な力は、前記載置部を変形させるために必要な力より小さい、
    保管装置。
  5. 　前記載置取付面は、前記延在面の前記上端部全長の一部分から前記載置部の前記底面に沿って延在する、請求項４に記載の保管装置。
  6. 　前記１対の取付部のそれぞれは、前記載置部よりも薄い部材で構成される、請求項４又は５に記載の保管装置。
  7. 　前記物品は、底部に設けられた供給孔を介して内部にガスを供給可能な容器であり、
    　前記載置部は、前記供給孔を介して内前記容器内に前記ガスを供給するガス供給部を有する、請求項１～６の何れか一項に記載の保管装置。
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