CN108689066A - 收纳架 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种收纳架，该收纳架具备分别收纳容器的多个收纳部，容器在其底面具备被支承部、以及用于向容器的内部供给气体的供气部，并且在沿铅垂方向观察时，容器的重心位于被支承部与供气部之间，多个收纳部分别具备：容器支承体，形成从下方支承容器的被支承部的支承面；喷嘴，从下方接触供气部而从供气部向容器的内部供给气体；以及限制体，与收纳于收纳部的容器的侧面接触而限制容器向水平方向的移动，容器仅由支承面与喷嘴支承。

Description

收纳架
技术领域
本发明涉及具备收纳容器的多个收纳部的收纳架。
背景技术
在日本特开2013－133193号公报（专利文献1）中记载了该收纳架的一个例子。在专利文献1的收纳架中的收纳部中分别具备：载置支承部10a，具有支承容器的三个定位突起10b；以及排出喷嘴10i，用于向容器的内部供给气体。另外，三个定位突起10b通过卡合于在容器的底部形成的被卡合部，从而支承容器并且限制了容器向水平方向的移动。另外，排出喷嘴接触收纳于收纳部的容器的供气口51i，从排出喷嘴喷出的气体从供气口51i供给到容器的内部。
但是，在专利文献1的收纳架中，由于载置支承部10a的变形等，使得三个定位突起10b的高度产生了误差，因此有可能使收纳于收纳部的容器相对于供气口51i倾斜，容器的供气口51i不再适当地接触排出喷嘴10i，从而从排出喷嘴10i喷出的气体不会从供气口51i向容器的内部适当地供给。
因此，期望实现易于向容器的内部适当地供给气体的收纳架。
发明内容
鉴于上述内容，收纳架的特征结构在于，具备分别收纳容器的多个收纳部，
上述容器在其底面具备被支承部、以及用于向上述容器的内部供给气体的供气部，并且在沿上下方向观察时，上述容器的重心位于上述被支承部与上述供气部之间，多个上述收纳部分别具备：容器支承体，形成从下方支承上述容器的上述被支承部的支承面；喷嘴，从下方接触上述供气部而从上述供气部向上述容器的内部供给气体；以及限制体，与收纳于上述收纳部的上述容器的侧面接触而限制上述容器向水平方向的移动，上述容器仅由上述支承面与上述喷嘴支承。
根据这些特征结构，由于喷嘴接触收纳于收纳部的容器的供气部，因此能够将从喷嘴喷出的气体从供气部向容器的内部供给。另外，收纳于收纳部的容器通过接触限制体而被限制了向水平方向的移动。
而且，收纳于收纳部的容器仅由容器支承体的支承面与喷嘴支承，容器的重心位于被支承部与供气部之间。因此，利用容器的负载将容器的供气部按压于喷嘴，供气部紧贴于喷嘴，因此易于将从喷嘴喷出的气体从供气部向容器的内部适当地供给。
附图说明
图1是物品收纳设备的侧视图。
图2是收纳部的俯视图。
图3是收纳部的侧视图。
图4是容器支承体以及喷嘴的侧视图。
图5是表示自然状态的喷嘴的图。
图6是表示支承了容器的状态的喷嘴的图。
具体实施方式
1．实施方式
基于附图，对具备收纳架的容器收纳设备的实施方式进行说明。
如图1所示，容器收纳设备具备：收纳架1，具备多个收纳容器W的收纳部1A；堆垛起重机2，输送容器W；以及壁体K，覆盖设置有收纳架1、堆垛起重机2的空间的侧周围。
另外，如图2以及图3所示，在容器收纳设备中具备气体供给装置3。气体供给装置3构成为向收纳于收纳部1A的容器W的内部供给作为气体的清洁干燥空气（以下，简称为干燥空气）。换句话说，利用气体供给装置3向容器W的内部供给的气体成为与收纳部1A的气体相比湿度更低的气体。
容器W构成为能够收纳1张基板。在本实施方式中，将基板设为中间掩模，将容器W设为收纳中间掩模的容器W。
如图1所示，物品收纳设备设置于气体从顶棚部C朝向地板部F流动的下降气流式的洁净室S内。
洁净室S的地板部F具备下地板部F1和设置于比下地板部F1靠上方的位置的上地板部F2。下地板部F1是不具有通气孔且不能通气的地板，上地板部F2是具有通气孔且能够在铅垂方向Z上通气的地板。
洁净室S的顶棚部C由上顶棚部C1和设置于比上顶棚部C1靠下方的位置的下顶棚部C2构成。上顶棚部C1是不具有通气孔且不能通气的顶棚，下顶棚部C2是能够在铅垂方向Z上通气的顶棚。
而且，通过图外的送风装置的工作，向上顶棚部C1与下顶棚部C2之间喷出空气，从而使得由下顶棚部C2的过滤器净化后的空气（清洁空气）向洁净室S排出，在洁净室S中从顶棚部C朝向地板部F向下方流动，之后，通过上地板部F2而向下地板部F1与上地板部F2之间的空间流动。
以下，对容器W以及物品收纳设备的各结构进行说明，但以沿铅垂方向Z观察时收纳架1与堆垛起重机2排列的方向为前后方向X、以与前后方向X正交的方向为宽度方向Y来进行说明。另外，在前后方向X上，以堆垛起重机2相对于收纳架1存在的一侧为前方X1、以其相反的一侧为后方X2来进行说明。另外，关于容器W，基于将容器W收纳于收纳部1A的状态定义前后方向X以及宽度方向Y来进行说明。
另外，前后方向X相当于水平方向上的支承部25B与喷嘴16排列的方向，即排列方向。另外，前方X1相当于前后方向X上的、喷嘴16相对于支承部25B存在的一侧，即第一侧，而后方X2相当于与第一侧相反的一侧，即第二侧。
〔容器〕
如图4所示，在容器W的底面配备有供气部6、排气部7、以及被支承部8。
供气部6是用于将从气体供给装置3的喷嘴16喷出的干燥空气向容器W的内部供给的部分。在供气部6中配备有供气用开闭阀（未图示）。供气部6以沿宽度方向Y排列的状态配备有一对，一对供气部6在前后方向X上配备于相同的位置。
排气部7是用于将容器W的内部的气体向容器W的外部排气的部分。在排气部7中配备有排气用开闭阀（未图示）。排气部7以沿宽度方向Y排列的状态配备有一对，一对排气部7在前后方向X上配备于相同的位置。
在前后方向X上，一对供气部6这两方位于比容器W的重心靠前方X1的位置，一对排气部7这两方位于比容器W的重心靠后方X2的位置，容器W的重心位于供气部6与排气部7之间。另外，在宽度方向Y上，容器W的重心位于一对供气部6之间，容器W的重心位于一对排气部7之间。另外，容器W的重心无论容器W中是否收纳了基板，都位于供气部6与排气部7之间。
供气部6的供气用开闭阀被弹簧等施力体施力成关闭的状态，在气体供给装置3的喷嘴16从下方接触供气部6的状态下，若从该喷嘴16喷出干燥空气，则在该喷出的干燥空气的压力的作用下，供气用开闭阀打开，干燥空气从供气部6向容器W的内部供给。另外，排气部7的排气用开闭阀被弹簧等施力体施力成关闭的状态，若由于气体供给装置3所进行的干燥空气的供给而使得容器W的内部的压力较高，则在该压力的作用下，排气用开闭阀打开，容器W的内部的气体从排气部7被排气。
被支承部8是在容器W收纳于收纳部1A的情况下被收纳部1A的容器支承体25的支承面25A从下方支承的部分。而且，被支承部8位于容器W的底面中的后端，在前后方向X上，被支承部8位于比容器W的重心靠后方X2的位置。另外，在宽度方向Y上，被支承部8位于与容器W的重心相同的位置。
因此，在前后方向X上，容器W的重心位于一对供气部6与被支承部8之间，在宽度方向Y上，被支承部8的至少一部分位于一对供气部6之间。
〔堆垛起重机〕
如图1所示，堆垛起重机2具备在收纳架1的前方X1沿行驶方向（宽度方向Y）行驶的行驶台车9、立设于行驶台车9的柱10、沿柱10升降的升降体11、以及被支承于升降体11的移载装置12。
移载装置12通过行驶台车9行驶而沿宽度方向Y移动，通过升降体11升降而沿柱10在铅垂方向Z上移动。另外，虽然省略详细的说明，但在移载装置12中具备支承容器W的支承台、以及使该支承台沿前后方向X移动的连杆机构，移载装置12构成为能够在自身与收纳部1A之间移载容器W。
〔气体供给装置〕
如图2以及图3所示，气体供给装置3具备连接于气体供给源（未图示）的主干配管（未图示）、从该主干配管分支的多个纵配管14、以及从各个纵配管14分支的多个分支配管15。来自气体供给源的干燥空气按照主干配管、纵配管14、分支配管15的顺序流通，从各收纳部1A所具备的喷嘴16喷出。
主干配管例如在比最下级的收纳部1A靠下方的位置沿宽度方向Y配设。多个纵配管14分别从主干配管朝向上方延伸地配设。多个分支配管15分别从纵配管14沿宽度方向Y以及前后方向X延伸地配设。在分支配管15的前端连接有喷嘴16。
如图5所示，喷嘴16具备筒状的前端部18、位于比前端部18靠下方的位置的筒状的基部19。基部19固定于收纳部1A的容器支承体25，前端部18从下方接触在收纳部1A中收纳的容器W的供气部6。
基部19由与前端部18相连的第一基部20、以及位于最下方的位置的第二基部21构成。
前端部18与基部19分别由能够弹性变形的材质（例如合成橡胶）构成。另外，前端部18与基部19一体地形成，前端部18与基部19由相同的材质构成。
前端部18与第一基部20的外径相同，第二基部21的外径大于前端部18以及第一基部20的外径。另外，第一基部20与第二基部21的内径相同，前端部18的内径比第一基部20以及第二基部21的内径大。因此，前端部18的径向厚度比基部19（第一基部20以及第二基部21）的径向厚度小。而且，由于前端部18的径向厚度比基部19的径向厚度小，因此前端部18构成为与基部19相比更易于弹性变形。另外，前端部18形成为越向上方侧、径向厚度越小的形状。
〔收纳架〕
如图1所示，收纳架1以相互对置的状态设置有一对。在一对收纳架1中分别以沿铅垂方向Z以及宽度方向Y排列的状态配置有收纳部1A。一对收纳架1除了设置的朝向不同以外构成为相同。
如图2以及图3所示，收纳架1具备从下方支承收纳于收纳部1A的容器W的多个架板23、以及将多个架板23以悬臂状支承的架框24。
架板23以沿铅垂方向Z以及宽度方向Y排列的状态在收纳架1中配备有多个。架板23相对于沿宽度方向Y邻接的两个收纳部1A设置有一个，架板23的宽度方向Y的大小形成为能够将沿宽度方向Y排列的两个容器W支承的大小，利用一个架板23形成了两个容器支承体25。
容器支承体25具备从下方支承收纳于收纳部1A的容器W的支承板26、以及连结于架框24的连结部27。支承板26形成为沿前后方向X以及宽度方向Y延伸的平板状，利用支承板26中的朝向上方的面，形成了从下方支承容器W的被支承部8的支承面25A。
在容器支承体25中支承有多个限制体28与一对喷嘴16。
多个限制体28以从容器支承体25的支承面25A向上方突出的状态固定于容器支承体25。另外，多个限制体28以相对于收纳的容器W位于前后方向X的两侧以及宽度方向Y的两侧的位置的方式，从铅垂方向Z观察时设置为不与收纳于收纳部1A的容器W重叠。收纳的容器W通过其侧面接触限制体28而被限制了向前后方向X、宽度方向Y移动。
一对喷嘴16以从容器支承体25的支承面25A向上方突出的状态固定于容器支承体25。喷嘴16沿铅垂方向Z观察时相对于收纳于收纳部1A的容器W中的供气部6设置于重叠的位置。换句话说，若容器W被收纳于收纳部1A，则喷嘴16从下方接触该容器W的供气部6，喷嘴16与供气部6被连接。而且，通过以喷嘴16接触供气部6的状态从喷嘴16喷出干燥空气，从而从供气部6向容器W的内部供给干燥空气，并且容器W的内部的气体从排气部7排气。
若对喷嘴16向容器支承体25的固定加以说明，则在容器支承体25中配备有用于将分支配管15的前端固定于容器支承体25的固定体29，该固定体29连结于支承板26的下表面。而且，喷嘴16以第二基部21在铅垂方向Z上被夹在容器支承体25与固定体29之间的状态固定于容器支承体25。喷嘴16的前端部18的整体以及第一基部20的一部分位于比支承面25A靠上方的位置。
如图5所示，将前端部18中的接触容器W的接触区域的前方X1侧的端部设为第一端部18A，将接触区域的后方X2侧的端部设为第二端部18B，喷嘴16在自然状态下，第一端部18A与第二端部18B位于相同的高度。
这样，通过在多个容器支承体25的每一个中支承喷嘴16以及限制体28，而使得在多个收纳部1A中分别具备：容器支承体25，形成从下方支承容器W的被支承部8的支承面25A；喷嘴16，从下方接触供气部6而从供气部6向容器W的内部供给干燥空气；以及限制体28，与收纳于收纳部1A的容器W的侧面接触而限制容器W向水平方向的移动。
而且，收纳于收纳部1A的容器W仅以被支承部8与支承面25A接触。换句话说，收纳于收纳部1A的容器W通过被支承部8接触支承面25A的支承部25B、供气部6接触喷嘴16而被支承，该容器W仅由支承面25A与喷嘴16支承。
如图5以及图6所示，在将容器W收纳于收纳部1A而仅由支承面25A与喷嘴16支承该容器W的状态下，由于容器W的负载，喷嘴16被向下方压缩而铅垂方向的长度变短。因此，在将铅垂方向Z上的、从支承面25A至自然状态的前端部18的上端的距离设为第一铅垂距离H1，将铅垂方向Z上的、从支承面25A至支承了容器W的支承状态的喷嘴16的上端的距离设为第二铅垂距离H2的情况下，第二铅垂距离H2比第一铅垂距离H1短。
而且，容器W在以支承于水平的面上时的姿势为基准姿势的情况下，仅由支承面25A与喷嘴16支承的容器W与基准姿势相比成为前方X1侧的部分被上提的倾斜姿势。而且，喷嘴16的第一端部18A成为支承了容器W的支承状态的喷嘴16的上端。换句话说，第二铅垂距离H2成为铅垂方向Z上的、从支承面25A至支承状态的喷嘴16中的第一端部18A的距离。
另外，容器W由于如上述那样成为倾斜姿势，因此对于喷嘴16来说，与第一端部18A侧相比，第二端部18B侧大幅度向下方被压缩。因此，在将铅垂方向Z上的、从支承面25A至支承状态的喷嘴16中的第二端部18B的距离设为第五铅垂距离H5的情况下，第五铅垂距离H5比第二铅垂距离H2短。
将前后方向X上的、从支承部25B至第一端部18A的距离设为第一水平距离L1，将前后方向X上的、从第一端部18A至第二端部18B的距离设为第二水平距离L2，将铅垂方向Z上的、自然状态的前端部18的从上端至下端的距离设为第三铅垂距离H3。
在该情况下，设定喷嘴16的形状、构成喷嘴16的材质的弹性系数，使得第三铅垂距离H3比由H4＝（L2／L1）×H2＋（H1－H2）表示的第四铅垂距离H4大。因此，第三铅垂距离H3比喷嘴16中的支承了容器W时的第二端部18B的下降量大，能够仅由前端部18吸收支承了容器W时的喷嘴16的弹性变形。
2．其它实施方式
接下来，对收纳架的其它实施方式进行说明。
（1）在上述实施方式中，将喷嘴16的前端部18与基部19构成为一体，但也可以独立地构成喷嘴16的前端部18与基部19。而且，在独立地构成喷嘴16的前端部18与基部19的情况下，也可以利用铝等金属构成基部19，仅将喷嘴16的前端部18与基部19中的前端部18构成为能够弹性变形。
（2）在上述实施方式中，将喷嘴16的前端部18以及基部19的双方形成为筒状，使前端部18的径向厚度比基部19的径向厚度小，但也可以适当地变更喷嘴16的形状，例如，可以使前端部18的径向厚度与基部19的径向厚度相同。
（3）在上述实施方式中，使第三铅垂距离H3比第四铅垂距离H4大，但也可以例如使基部19易于弹性变形等，从而使第三铅垂距离H3与第四铅垂距离H4相同或者更小。
（4）在上述实施方式中，将容器W设为收纳中间掩模的容器，但容器W也可以设为收纳半导体晶圆的FOUP等其它容器。另外，虽然将向容器W的内部供给的气体设为干燥空气，但向容器W的内部供给的气体除了干燥空气以外，例如也可以是氮气、氩气等惰性气体。
（5）此外，在上述各实施方式中公开的结构只要不产生矛盾，也可以与其它实施方式中公开的结构组合来应用。关于其它结构，在本说明书中公开的实施方式在全部方面也仅是例示而已。因此，能够在不脱离本公开的主旨的范围内适当地进行各种改变。
3．上述实施方式的概要
以下，对在上述中说明的收纳架的概要进行说明。
一种收纳架，上述收纳架具备分别收纳容器的多个收纳部，
上述容器在其底面具备被支承部、以及用于向上述容器的内部供给气体的供气部，并且在沿上下方向观察时，上述容器的重心位于上述被支承部与上述供气部之间，多个上述收纳部分别具备：容器支承体，形成从下方支承上述容器的上述被支承部的支承面；喷嘴，从下方接触上述供气部而从上述供气部向上述容器的内部供给气体；以及限制体，与收纳于上述收纳部的上述容器的侧面接触而限制上述容器向水平方向的移动，上述容器仅由上述支承面与上述喷嘴支承。
根据该结构，由于喷嘴接触收纳于收纳部的容器的供气部，因此能够将从喷嘴喷出的气体从供气部向容器的内部供给。另外，收纳于收纳部的容器通过接触限制体而被限制了向水平方向的移动。
而且，收纳于收纳部的容器仅由容器支承体的支承面与喷嘴支承，容器的重心位于容器支承体的支承面与喷嘴之间。因此，利用容器的负载将容器的供气部按压于喷嘴，供气部紧贴于喷嘴，因此易于将从喷嘴喷出的气体从供气部向容器的内部适当地供给。
这里，上述喷嘴中的接触上述供气部的前端部优选构成为能够弹性变形。
根据该结构，利用容器的负载将容器的供气部按压于喷嘴，从而使喷嘴的前端部弹性变形。因此，喷嘴的前端部的形状容易成为紧贴供气部的形状，易于将从喷嘴喷出的气体从供气部向容器的内部适当地供给。
另外，优选的是，上述喷嘴具备筒状的上述前端部和位于比上述前端部靠下方的位置的筒状的基部，上述前端部的径向厚度比上述基部的径向厚度小。
根据该结构，由于前端部的径向厚度比基部的径向厚度小，因此在以相同的材质构成了前端部与基部的情况下，能够使前端部与基部相比更易于弹性变形。换句话说，由于前端部相对易于弹性变形，因此喷嘴的前端部的形状易于成为紧贴供气部的形状。
另外，优选的是，上述喷嘴具备筒状的上述前端部和位于比上述前端部靠下方的位置的筒状的基部，上述喷嘴以从上述支承面向上方突出的状态固定于上述容器支承体，将上述支承面中的与上述容器的上述被支承部接触的部分设为支承部，将水平方向上的上述支承部与上述喷嘴排列的方向设为排列方向，将该排列方向上的、上述喷嘴相对于上述支承部而存在的一侧设为第一侧，将与第一侧相反的一侧设为第二侧，将铅垂方向上的、从上述支承面至自然状态的上述喷嘴的上端的距离设为第一铅垂距离H1，将铅垂方向上的、从上述支承面至支承了上述容器的支承状态的上述喷嘴的上端的距离设为第二铅垂距离H2，将上述排列方向上的、从上述支承部至第一端部的距离设为第一水平距离L1，上述第一端部是上述前端部中的与上述容器接触的接触区域的上述第一侧的端部，将上述排列方向上的、从上述第一端部至第二端部的距离设为第二水平距离L2，上述第二端部是上述接触区域的第二侧的端部，将铅垂方向上的、自然状态的上述前端部的从上端至下端的距离设为第三铅垂距离H3，上述第三铅垂距离H3比由H4＝（L2／L1）×H2＋（H1－H2）表示的第四铅垂距离H4大。
根据该结构，支承了容器的喷嘴的前端部以沿铅垂方向被压缩的方式弹性变形。而且，通过喷嘴弹性变形，与喷嘴不弹性变形的情况相比，容器以第一侧的端部下降的方式成为倾斜的姿势。因此，关于支承了容器的喷嘴，其第一端部与第二端部相比大幅度下降。该喷嘴的第一端部的下降量与喷嘴的第二端部的下降量之差即下降量差利用（L2／L1）×H2求出。另外，第一端部的下降量由H1－H2表示，通过将该第一端部的下降量加上上述的下降量差，从而求出第二端部从喷嘴的自然状态起的下降量。
而且，自然状态的前端部的从上端至下端的距离即第三铅垂距离H3比成为喷嘴的下降最多的部分的第二端部的下降量大。这样，虽然在支承了容器时喷嘴以沿铅垂方向被压缩的方式进行弹性变形，但能够仅利用前端部来吸收该喷嘴的弹性变形，能够不使喷嘴的基部变形地支承容器，因此易于使喷嘴的前端部紧贴供气部。
工业上的可利用性
本公开所涉及的技术能够应用于具备收纳容器的多个收纳部的收纳架。
附图标记说明
1：收纳架
1A：收纳部
6：供气部
8：被支承部
16：喷嘴
18：前端部
18A：第一端部
18B：第二端部
19：基部
25：容器支承体
25A：支承面
25B：支承部
28：限制体
H1：第一铅垂距离
H2：第二铅垂距离
H3：第三铅垂距离
H4：第四铅垂距离
L1：第一水平距离
L2：第二水平距离
W：容器。

Claims (4)

1.一种收纳架，上述收纳架具备分别收纳容器的多个收纳部，上述收纳架的特征在于，
上述容器在其底面具备被支承部、以及用于向上述容器的内部供给气体的供气部，并且在沿上下方向观察时，上述容器的重心位于上述被支承部与上述供气部之间，
多个上述收纳部分别具备：容器支承体，形成从下方支承上述容器的上述被支承部的支承面；喷嘴，从下方接触上述供气部而从上述供气部向上述容器的内部供给气体；以及限制体，与收纳于上述收纳部的上述容器的侧面接触而限制上述容器向水平方向的移动，
上述容器仅由上述支承面与上述喷嘴支承。
2.如权利要求1所述的收纳架，其特征在于，
上述喷嘴中的接触上述供气部的前端部构成为能够弹性变形。
3.如权利要求2所述的收纳架，其特征在于，
上述喷嘴具备筒状的上述前端部和位于比上述前端部靠下方的位置的筒状的基部，
上述前端部的径向厚度比上述基部的径向厚度小。
4.如权利要求2或3所述的收纳架，其特征在于，
上述喷嘴具备筒状的上述前端部和位于比上述前端部靠下方的位置的筒状的基部，
上述喷嘴以从上述支承面向上方突出的状态固定于上述容器支承体，
将上述支承面中的与上述容器的上述被支承部接触的部分设为支承部，
将水平方向上的上述支承部与上述喷嘴排列的方向设为排列方向，将该排列方向上的、上述喷嘴相对于上述支承部而存在的一侧设为第一侧，将与第一侧相反的一侧设为第二侧，
将铅垂方向上的、从上述支承面至自然状态的上述喷嘴的上端的距离设为第一铅垂距离H1，
将铅垂方向上的、从上述支承面至支承了上述容器的支承状态的上述喷嘴的上端的距离设为第二铅垂距离H2，
将上述排列方向上的、从上述支承部至第一端部的距离设为第一水平距离L1，上述第一端部是上述前端部中的与上述容器接触的接触区域的上述第一侧的端部，
将上述排列方向上的、从上述第一端部至第二端部的距离设为第二水平距离L2，上述第二端部是上述接触区域的上述第二侧的端部，
将铅垂方向上的、自然状态的上述前端部的从上端至下端的距离设为第三铅垂距离H3，
上述第三铅垂距离H3比由H4＝（L2／L1）×H2＋（H1－H2）表示的第四铅垂距离H4大。
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