TWM480159U - 儲存匣置放平台之供氣設備 - Google Patents

Description

儲存匣置放平台之供氣設備

本創作主要關於儲存匣置放平台之供氣設備，其係應用於晶圓儲存技術領域，特別是指能夠防止供氣設備在輸送與汲取氣體至儲存匣內的過程中有漏氣的情況發生。

隨著高科技產業蓬勃的發展，晶圓為常用的半導體材料，其係生產積體電路所用的載體，一般晶圓在儲存及運送的過程中，若裝載晶圓盒內存在有微小微粒及氧化物存在時，晶圓內部會被污染，而降低製成良率。為了要排除空氣中存在對晶圓造成傷害的微小粒子，相關的業者將製造線經微小化，在晶圓之傳送盒及儲存盒中填充惰性氣體，以排除氧氣及水氣避免晶圓在儲存及傳輸的過程中氧化。

習知的儲存盒會放於置放平台上，以透過置放平台上由供氣設備輸入及汲取儲存盒中的惰性氣體。然而，當置放平台上方未放置儲存盒時，使平台上用來提供氣體傳輸及吸取之氣嘴呈現外露狀態而易堆積灰塵及雜質，使氣嘴遭受污染導致灰塵及雜質從氣嘴輸入至儲存盒的氣體儲存盒內，如此造成晶圓有高度污染的風險。

請參閱第十四、十五圖所示，其係習知技術之氣嘴10，該氣嘴10具有一頭部101及一與頭部101連接身部102，頭部101 呈漏斗形且貫設有導氣孔103，並於導氣孔103之孔端內壁延伸複數防塵片104，藉由防塵片104阻擋灰塵。

然而，習知技術氣嘴頭端頂面，從導氣孔103至氣嘴 10外緣間為平整支撐面，然而平整支撐面與導氣孔103的孔端齊平，容易時氣嘴10頭端從外緣受外力彎曲變形而無法與儲存合達到氣密的狀態而產生縫隙，造成氣體縫隙外漏出去，使氣體無法確實的輸送至儲存匣中而影響晶圓的保存。

有鑑於上述所述之缺失，本創作人投入許多時間進行 相關研究，並加以比較各項優劣，且進行相關產品的研究與開發，並歷經多次實驗與測試，而終於推出一種『儲存匣置放平台之供氣設備』，即為改善上述所說明之缺失，以符合大眾所需之使用。

本創作主要目的係提供儲存匣放置於置放平台上時，設置於置放平台上的氣嘴能與儲存匣形成氣密狀態，讓氣體在傳送的過程中不會外漏，且外部的氣體也不會滲入儲存匣內；其次要目第在於，置放平台上的氣嘴於儲存匣未放至於上的狀態下，氣嘴仍維持乾淨度，使氣嘴能傳輸乾淨的氣體至儲存匣內；其再一目的在於提供儲存匣穩固的放置於置放平台上可穩定氣流之出氣與汲氣。

為了達到上述目的及功效，本創作『儲存匣置放平台之供氣設備』，其包括：一置放平台；至少二防塵出氣組，各防塵出氣組對應儲存匣之進氣孔，其包括一防塵座及一彈性出氣嘴，該防塵座設於儲存匣置放平台，且防塵座對應儲存匣之端面與置放平台 之端面齊平，彈性出氣嘴設有一漏斗狀頭段及一身段，而彈性出氣嘴以身段嵌設於防塵座，且漏斗狀頭段頂緣凸設一止密環；至少二第一汲氣體，各第一汲氣體對應儲存匣之排氣孔，各第一汲氣體包括一第一基座及一第一彈性汲氣嘴，各第一基座設於儲存匣置放平台，且第一基座對應儲存匣之端面與置放平台齊平，而第一彈性汲氣嘴設有一頭段及一身段，該頭段頂緣凸設一止密環與儲存匣密合；至少二第二汲氣體，各第二汲氣體對應儲存匣之排氣孔，各第二汲氣體包括一第二基座及一第二彈性汲氣嘴，各第二基座設於儲存匣置放平台，且第二基座對應儲存匣之端面與置放平台齊平，而第二彈性汲氣嘴設有一頭段及一身段，該頭段頂緣凸設一止密環與儲存匣密合；各防塵出氣組與第一汲氣體間隔設置，且第二汲氣體與第一汲氣體相鄰設置；及複數定位嵌柱，其係分別設置於各防塵出氣組、第一汲氣體及第二汲氣體之相鄰處；據此，當儲存匣放置於置放平台時，其重量會迫壓彈性出氣嘴、第一彈性汲氣嘴及第二彈性汲氣嘴彈性變形，以擠出兩者之間的氣體，讓止密環緊密的與儲存匣貼合，藉以在輸送氣體時，氣體不會外漏，而能確實的輸送至儲存匣內，維持氣體在輸送過程中的穩定循環。

本創作進一步技術特徵在於，各防塵座包括一座體及 一蓋體，該座體穿組蓋體內，且座體側向延伸一旁側部，該旁側部貫設一側流道，而座體對應儲存匣設有一導流緣，而蓋體對應導流緣設有一傾斜緣，該導流緣與傾斜緣的傾斜角度不同，並於導流緣與蓋體之間形成一縫隙，該側流道與縫隙導通，而蓋體周側延伸一固合部，該固合部組固於置放平台對應儲存匣的相反端面。

本創作進一步技術特徵在於，該防塵座軸心穿設一容 孔，該容孔設有一寬徑段及一窄徑段，該寬徑段較窄徑段靠近儲存匣，進一步包括一第一緩衝組，該第一緩衝組包括一螺柱、一彈簧、一扣環，該螺柱滑設於容孔，且螺柱設有一螺頭段及一螺身段，並貫設一氣流道連通螺頭段及螺身段，該螺頭段之直徑大於窄徑段之直徑，而螺身段穿出窄徑段並以扣環套扣螺身段，而扣環抵於容孔之外孔緣，彈簧套設螺身段並兩端分別彈抵螺頭段及容孔底端，該彈性出氣嘴之身段嵌設於螺柱的螺頭段內，且彈性出氣嘴貫設一與氣流道導通之導氣孔。該彈性出氣嘴之導氣孔設有一上徑段及一下徑段，該上徑段較下徑段靠近儲存匣，且導氣孔之小徑段內壁往軸心位置延伸複數間距設置之濾片，該上徑段及下徑段皆為直式通道，且上徑段的直徑尺寸小於下徑段之直徑尺寸。

本創作進一步技術特徵在於，各第一汲氣體及第二汲 氣體分別設有一緩衝孔及一往外延伸之側固部，該側固部組固於置放平台對應儲存匣之相反端，進一步包括一第二緩衝組，該第二緩衝組包括一螺柱、一彈簧、一扣環，該螺柱滑設於緩衝孔且緩衝孔設有一小徑段及一大徑段，而螺柱設有一出氣道、一螺頭段及一螺身段，該螺頭段之直徑大於小徑段之直徑，而螺身段穿出緩衝孔外，該扣環套扣螺身段並限位於緩衝孔的外孔緣，而彈簧套設螺身段並兩端分別彈抵螺頭段及緩衝孔底端，該第一、二彈性汲氣嘴之身段嵌設於螺柱的螺頭段內，且第一、二彈性汲氣嘴貫設一與出氣道導通之汲氣孔。該第一彈性汲氣嘴之汲氣孔設有一上徑段及一下徑段，且上徑段較下徑段靠近儲存匣，而上徑段為直通狀，並於上徑段內壁往軸心延伸複數間距設置之濾片。該第二彈性汲氣嘴之汲氣 孔設有一上徑段及一下徑段，且上徑段較下徑段靠近儲存匣，而上徑段呈漏斗狀，並於上徑段內壁往軸心延伸複數間距設置之濾片。

本創作進一步技術特徵在於，該彈性出氣嘴、第一彈性汲氣嘴及第二彈性汲氣嘴係矽膠材質一體成型。

<先前技術>

10‧‧‧氣嘴

101‧‧‧頭部

102‧‧‧身部

103‧‧‧導氣孔

104‧‧‧防塵片

<本創作>

a‧‧‧儲存匣

1‧‧‧置放平台

11‧‧‧缺口

2‧‧‧防塵出氣組

21‧‧‧防塵座

211‧‧‧座體

2111‧‧‧旁側部

2112‧‧‧側流道

2113‧‧‧導流緣

2114‧‧‧縫隙

2115‧‧‧容孔

2116‧‧‧寬徑段

2117‧‧‧窄徑段

212‧‧‧蓋體

2121‧‧‧傾斜緣

2122‧‧‧固合部

22‧‧‧彈性出氣嘴

221‧‧‧漏斗狀頭段

2211‧‧‧止密環

222‧‧‧身段

223‧‧‧導氣孔

2231‧‧‧上徑段

2232‧‧‧下徑段

2233‧‧‧濾片

3‧‧‧第一汲氣體

31‧‧‧第一基座

32‧‧‧第一彈性汲氣嘴

321‧‧‧頭段

3211‧‧‧止密環

322‧‧‧身段

33‧‧‧緩衝孔

331‧‧‧小徑段

332‧‧‧大徑段

34‧‧‧側固部

35‧‧‧汲氣孔

351‧‧‧上徑段

352‧‧‧下徑段

353‧‧‧濾片

4‧‧‧第二汲氣體

41‧‧‧第二基座

42‧‧‧第二彈性汲氣嘴

421‧‧‧頭段

422‧‧‧身段

4211‧‧‧止密環

43‧‧‧緩衝孔

431‧‧‧小徑段

432‧‧‧大徑段

44‧‧‧側固部

45‧‧‧汲氣孔

451‧‧‧上徑段

452‧‧‧下徑段

453‧‧‧濾片

5‧‧‧定位嵌柱

6‧‧‧第一緩衝組

61‧‧‧螺柱

611‧‧‧螺頭段

612‧‧‧螺身段

613‧‧‧氣流道

62‧‧‧彈簧

63‧‧‧扣環

7‧‧‧第二緩衝組

71‧‧‧螺柱

711‧‧‧出氣道

72‧‧‧彈簧

73‧‧‧扣環

第一圖係本創作立體示意圖。

第二圖係本創作防塵出氣組之立體圖。

第三圖係本創作防塵出組之立體分解圖。

第四圖係本創作第一汲氣體立體圖。

第五圖係本創作第一汲氣體立體分解圖。

第六圖係本創作第二汲氣體立體分解圖。

第七圖係本創作彈性出氣嘴立體示意圖。

第八圖係第六圖A-A剖面圖。

第九、十圖係第一圖B-B剖面作動圖。

第十一、十二圖係第一圖C-C剖面作動圖。

第十三圖係第一圖D-D剖面作動圖。

第十四圖係習知技術立體圖。

第十五圖係第十四圖E-E剖面圖。

本創作為達成上述的目的與功效，以及所採用之技術手段與構造，茲搭配圖示就本創作的實施例加以詳細說明其特徵與功效。

請參閱第一圖至第十三圖所示，本創作一種『儲存匣 置放平台之供氣設備』，其包括一置放平台1，本創作之置放平台1用以放置儲存匣a於上，該儲存匣a可儲存半導體晶圓或光罩，而置放平台1中央開設缺口11，藉以供機械手臂夾取時的空間運用，本實施例中的缺略呈方形狀，然而本創作並不限制缺口的形狀。

至少二防塵出氣組2，各防塵出氣組2對應儲存匣a之進氣孔(圖未示，儲存匣a係屬於習知技術，而本創作主要技術特徵在於置放平台1上的供氣設備，故儲存匣a的細部結構諒不再此多加說明)，各防塵出氣組2包括一防塵座21及一彈性出氣嘴22，該防塵座21設於置放平台1，且防塵座21對應儲存匣a之端面與置放平台1之端面齊平，進而可使置放平台1與儲存匣a貼合，藉以降低每一儲存匣a所需的儲位高度，可提升整體儲位框架的使用效率，彈性出氣嘴22設有一漏斗狀頭段221及一身段222，而彈性出氣嘴22以身段222嵌設於防塵座21，且漏斗狀頭段221頂緣凸設一止密環2211，請參閱第二、三圖所示；至少二第一汲氣體3，各第一汲氣體3對應儲存匣a之排氣孔(圖未示，儲存匣a係屬於習知技術，而本創作主要技術特徵在於置放平台1上的供氣設備，故儲存匣a的細部結構諒不再此多加說明)，各第一汲氣體3包括一第一基座31及一第一彈性汲氣嘴32，各第一基座31設於置放平台1，且第一基座31對應儲存匣a之端面與置放平台1齊平，進而可使置放平台1與儲存匣a貼合，而第一彈性汲氣嘴32設有一頭段321及一身段322，該頭段321頂緣凸設一止密環3211與儲存匣a密合，請參閱第四、五圖所示；至少二第二汲氣體4，各第二汲氣體4對應儲存匣a之排氣孔，各第二汲氣體4包括一第二基座41及一第二彈性汲氣嘴42，各第二基座41設於置放平台1，且第二基座41對應儲存匣a之端面與置放平台1齊平，進而可使置放平 台1與儲存匣a貼合，而第二彈性汲氣嘴42設有一頭段421及一身段422，該頭段421頂緣凸設一止密環4211與儲存匣a密合，請參閱第六圖所示(第二汲氣體4與第一汲氣體3的結構幾乎一樣，因此立體組合圖係相同，故不再額外加出一張第二汲氣體4的立體組合圖)；各防塵出氣組2與第一汲氣體3間隔設置，如第一圖所示該二防塵出氣組2設置於缺口11之上側，而第二汲氣體4與第一汲氣體3設置於缺口11的兩側，且第一汲氣體3與第二汲氣體4相鄰設置；複數定位嵌柱5，其係分別設置於各防塵出氣組2、第一汲氣體3及第二汲氣體4之相鄰處，且定位嵌柱5係嵌固儲存匣a讓儲存匣a無法水平位移(儲存匣a會有開孔供定位嵌柱5嵌設，而此技術係習知技術故不以圖式贅示)，而防塵出氣組2、第一汲氣體3及第二汲氣體4分開二邊的配置係為了提升儲存匣a中氣體的進氣及排氣間的穩定度；藉此，透過防塵出氣組2之防塵座21結構設計，以在彈性出氣嘴22上方形成氣流罩，進而可阻擋堆積於彈性出氣嘴22內的外來物(如灰塵、微粒等)，並在儲存匣a放置於置放平台1上時，該儲存匣a的重量迫壓防塵出氣組2之彈性出氣嘴22、第一汲氣體3之第一彈性汲氣嘴32及第二汲氣體4之第二彈性汲氣嘴42變形而排出氣體形成負壓狀態，藉以彈性出氣嘴22、第一汲氣體3及第二汲氣體4能緊固的與儲存匣a密合，再透過止密環2211、3211、4211的設計使變形量變大，排出的氣體量增加，呈現高負壓的狀態，故彈性出氣嘴22、第一彈性汲氣嘴32及第二彈性汲氣嘴42能更加緊密貼合儲存匣a，使氣體能夠穩固的輸送，維持儲存匣a內的氣體量，防止輸送氣體的過程，氣體從彈性出氣嘴22、第一彈性汲氣嘴32及第二彈性汲氣嘴42與儲存匣a之間的縫隙外漏而出。

其中，該彈性出氣嘴22、第一彈性汲氣嘴32及第二彈 性汲氣嘴42係矽膠材質一體成型，矽膠材質提供適當的變形量，讓彈性出氣嘴22、第一彈性汲氣嘴32及第二彈性汲氣嘴42能與儲存匣a緊密的貼合。

請參閱第二、三、九及十圖所示，各防塵座21包括一 座體211及一蓋體212，該座體211穿組蓋體212內，且座體211側向延伸一旁側部2111，該旁側部2111貫設一側流道2112，而座體211對應儲存匣a設有一導流緣2113，而蓋體212對應導流緣2113設有一傾斜緣2121，該導流緣2113與傾斜緣2121的傾斜角度不同，並於導流緣2113與蓋體212之間形成一縫隙2114，該側流道2112與縫隙2114導通，側流道2112用以供外部氣體貫注入座體211與蓋體212間形成的空間，並透過環形設置的縫隙2114，讓氣體由導流緣2113及傾斜緣2121的引導而形成斜向上的氣流y，進而可於彈性出氣嘴22的上方及周圍形成氣流罩，以阻擋堆積於彈性出氣嘴22內的外來物，如灰塵、粉塵、微粒等。

而蓋體212周側延伸一固合部2122，該固合部2122組 固於置放平台1對應儲存匣a的相反端面，可以螺合件穿設蓋體212之固合部2122及置放平台1令兩者結合，此外也可以接合、黏固、迫固等方式來實施。

請參閱第一、二、九及十圖，該座體211軸心穿設一 容孔2115，該容孔2115設有一寬徑段2116及一窄徑段2117，該寬徑段2116較窄徑段2117靠近儲存匣，進一步包括一第一緩衝組6，該第一緩衝組6包括一螺柱61、一彈簧62、一扣環63，該螺柱61滑設於容孔2115，且螺柱61設有一螺頭段611及一螺身段612，並貫設一氣流 道613連通螺頭段611及螺身段622，該螺頭段611之直徑大於窄徑段2117之直徑，而螺身段612穿出窄徑段2117並以扣環63套扣螺身段612，該螺頭段611可抵於容孔2115之內孔緣，用以限制螺柱61向下位移的量，而扣環63抵於容孔2115之外孔緣，用以限制螺柱61向上位移的量，而第一緩衝組6能緩衝儲存匣a置放過程的下壓力，讓儲存匣a能夠平穩的放置於置放平台1上，而緩衝過程中，該螺柱61的螺頭段611壓抵彈簧62壓縮蓄力，以吸收儲存匣a下壓的力量達到緩衝效果。

該彈簧62套設螺身段612並兩端分別彈抵螺頭段611 及容孔2115底端，該彈性出氣嘴22之身段222嵌設於螺柱61的螺頭段611內，且彈性出氣嘴22貫設一與氣流道613導通之導氣孔223，該彈性出氣嘴22之導氣孔223設有一上徑段2231及一下徑段2232，該上徑段2231較下徑段2232靠近儲存匣a，且導氣孔223之小徑段2232內壁往軸心位置延伸複數間距設置之濾片2233，該上徑段2231及下徑段2232皆為直式通道，且上徑段2231的直徑尺寸小於下徑段2232之直徑尺寸。藉此，氣體能夠順暢且集中地從氣流道613流入導氣孔223，並透過濾片2233將氣流平均分散傳導入儲存匣a內，避免氣體導入的氣流力道過大。

請參閱第四至六及十一至十三圖所示，各第一汲氣體 3及第二汲氣體4分別設有一緩衝孔33、43及一往外延伸之側固部34、44，該側固部34、44組固於置放平台1對應儲存匣a之相反端，進一步包括一第二緩衝組7(安裝於第一汲氣體3及第二汲氣體4之第二緩衝組7結構皆相同，故以相同的元件名稱及元件符號標示，且第二緩衝組7裝設於第一汲氣體3及第二汲氣體4的位置係相同，故以下 僅以第二緩衝組7安裝於第一汲氣體3作為說明)，請參閱第十一、十二圖所示，該第二緩衝組7包括一螺柱71、一彈簧72、一扣環73，該螺柱71滑設於緩衝孔33且緩衝孔33設有一小徑段331及一大徑段332，而螺柱71設有一出氣道711、一螺頭段712及一螺身段713，該螺頭段712之直徑大於小徑段331之直徑，而螺身段713穿出緩衝孔33外，該扣環73套扣螺身段713並限位於緩衝孔33的外孔緣，而彈簧72套設螺身段713並兩端分別彈抵螺頭段712及緩衝孔33底端，該第一彈性汲氣嘴32之身段322嵌設於螺柱71的螺頭段712內，且第一彈性汲氣嘴33貫設一與出氣道711導通之汲氣孔35。其中，第二緩衝組7與第一緩衝組6所欲達到的功能皆為緩衝儲存匣a放置於置放平台1上的下壓力，而其作動過程係相同，故不在此加以贅述(其中第二汲氣體4的細部結構請參閱第十三圖所示，且於上揭的第一汲氣體3結構皆可對應到相同的第二汲氣體4結構，而第二汲氣體4元件名稱所對應的元件符號請參閱第十三圖及符號說明)。

請參閱第十一、十二圖所示，該第一彈性汲氣嘴32之汲 氣孔35設有一上徑段351及一下徑段352，且上徑段351較下徑段352靠近儲存匣a，而上徑段351為直通狀，並於上徑段351內壁往軸心延伸複數間距設置之濾片353，該複數濾片353能夠分散吸取儲存匣a中的氣流量，讓氣流穩定的導入汲氣孔35至出氣道711。

請參閱第十三圖所示，該第二彈性汲氣嘴42之汲氣孔 45設有一上徑段451及一下徑段452，且上徑段451較下徑段452靠近儲存匣(圖未式，儲存匣的位置與其他實施例相同)，而上徑段451呈漏斗狀，並於上徑段451內壁往軸心延伸複數間距設置之濾片453，藉以漏斗狀之上徑段451能承接較多的氣流，並透過濾片453 形成許多流道達到分散氣流的作用。透過第一彈性汲氣嘴32及第二彈性汲氣嘴42分別為直通式及漏斗狀的設計，讓第一汲氣體3及第二汲氣體4吸收儲存匣a內氣體的流量有差異，而達到不同的壓力差穩固氣流的循環。

由上所述者僅為用以解釋本創作之較佳實施例，並非 企圖據以對本創作做任何形式上之限制，是以，凡有在相同之創作精神下所做有關本創作之任何修飾或變更者，為其他可據以實施之型態且具有相同效果者，皆仍應包括在本創作意圖保護之範疇內。

綜上所述，本創作「儲存匣置放平台之供氣設備」， 其實用性及成本效益上，確實是完全符合產業上發展所需，且所揭露之結構創作亦是具有前所未有的創新構造，所以其具有「新穎性」應無疑慮，又本創作可較習用之結構更具功效之增進，因此亦具有「進步性」，其完全符合我國專利法有關新型專利之申請要件的規定，乃依法提起專利申請，並敬請 鈞局早日審查，並給予肯定。

1‧‧‧置放平台

11‧‧‧缺口

3‧‧‧第一汲氣體

4‧‧‧第二汲氣體

2‧‧‧防塵出氣組

Claims (9)

1. 一種儲存匣置放平台之供氣設備，其包括：一置放平台；至少二防塵出氣組，各防塵出氣組對應儲存匣之進氣孔，其包括一防塵座及一彈性出氣嘴，該防塵座設於儲存匣置放平台，且防塵座對應儲存匣之端面與置放平台之端面齊平，彈性出氣嘴設有一漏斗狀頭段及一身段，而彈性出氣嘴以身段嵌設於防塵座，且漏斗狀頭段頂緣凸設一止密環；至少二第一汲氣體，各第一汲氣體對應儲存匣之排氣孔，各第一汲氣體包括一第一基座及一第一彈性汲氣嘴，各第一基座設於儲存匣置放平台，且第一基座對應儲存匣之端面與置放平台齊平，而第一彈性汲氣嘴設有一頭段及一身段，該頭段頂緣凸設一止密環與儲存匣密合；至少二第二汲氣體，各第二汲氣體對應儲存匣之排氣孔，各第二汲氣體包括一第二基座及一第二彈性汲氣嘴，各第二基座設於儲存匣置放平台，且第二基座對應儲存匣之端面與置放平台齊平，而第二彈性汲氣嘴設有一頭段及一身段，該頭段頂緣凸設一止密環與儲存匣密合；各防塵出氣組與第一汲氣體間隔設置，且第二汲氣體與第一汲氣體相鄰設置；及複數定位嵌柱，其係分別設置於各防塵出氣組、第一汲氣體及第二汲氣體之相鄰處。
2. 根據申請專利範圍第1項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，各防塵座包括一座體及一蓋體，該座體穿組蓋體內，且 座體側向延伸一旁側部，該旁側部貫設一側流道，而座體對應儲存匣設有一導流緣，而蓋體對應導流緣設有一傾斜緣，該導流緣與傾斜緣的傾斜角度不同，並於導流緣與蓋體之間形成一縫隙，該側流道與縫隙導通，而蓋體周側延伸一固合部，該固合部組固於置放平台對應儲存匣的相反端面。
3. 根據申請專利範圍第2項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，該座體軸心穿設一容孔，該容孔設有一寬徑段及一窄徑段，該寬徑段較窄徑段靠近儲存匣，進一步包括一第一緩衝組，該第一緩衝組包括一螺柱、一彈簧、一扣環，該螺柱滑設於容孔，且螺柱設有一螺頭段及一螺身段，並貫設一氣流道連通螺頭段及螺身段，該螺頭段之直徑大於窄徑段之直徑，而螺身段穿出窄徑段並以扣環套扣螺身段，而扣環抵於容孔之外孔緣，彈簧套設螺身段並兩端分別彈抵螺頭段及容孔底端，該彈性出氣嘴之身段嵌設於螺柱的螺頭段內，且彈性出氣嘴貫設一與氣流道導通之導氣孔。
4. 根據申請專利範圍第3項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，該彈性出氣嘴之導氣孔設有一上徑段及一下徑段，該上徑段較下徑段靠近儲存匣，且導氣孔之小徑段內壁往軸心位置延伸複數間距設置之濾片，該上徑段及下徑段皆為直式通道，且上徑段的直徑尺寸小於下徑段之直徑尺寸。
5. 根據申請專利範圍第1項至第4項任一項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，各第一汲氣體及第二汲氣體分別設有一緩衝孔及一往外延伸之側固部，該側固部組固於置放平台對應儲存匣之相反端，進一步包括一第二緩衝組，該第二緩衝組包括一螺柱、一彈簧、一扣環，該螺柱滑設於緩衝孔且緩衝孔設有一小徑段及一 大徑段，而螺柱設有一出氣道、一螺頭段及一螺身段，該螺頭段之直徑大於小徑段之直徑，而螺身段穿出緩衝孔外，該扣環套扣螺身段並限位於緩衝孔的外孔緣，而彈簧套設螺身段並兩端分別彈抵螺頭段及緩衝孔底端，該第一、二彈性汲氣嘴之身段嵌設於螺柱的螺頭段內，且第一、二彈性汲氣嘴貫設一與出氣道導通之汲氣孔。
6. 根據申請專利範圍第5項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，該第一彈性汲氣嘴之汲氣孔設有一上徑段及一下徑段，且上徑段較下徑段靠近儲存匣，而上徑段為直通狀，並於上徑段內壁往軸心延伸複數間距設置之濾片。
7. 根據申請專利範圍第6項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，該第二彈性汲氣嘴之汲氣孔設有一上徑段及一下徑段，且上徑段較下徑段靠近儲存匣，而上徑段呈漏斗狀，並於上徑段內壁往軸心延伸複數間距設置之濾片。
8. 根據申請專利範圍第1項至第4項任一項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，該彈性出氣嘴、第一彈性汲氣嘴及第二彈性汲氣嘴係矽膠材質一體成型。
9. 根據申請專利範圍第7項所述之儲存匣置放平台之供氣設備，其中，該彈性出氣嘴、第一彈性汲氣嘴及第二彈性汲氣嘴係矽膠材質一體成型。