JP2017050518A - ノズルユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】収容物を収容する容器7に連通するガス供給口72と、ガス供給口72に連通するガス流路77とを有するノズル本体71と、ガス流路77に接続され、ガス供給口72を介して容器7にガスを供給する供給ノズル78と、ガス流路77に接続され、ガス流路77を排気する排気ノズル83と、を備えた。
【選択図】図6
Description
収容物を収容する容器に連通するガス供給口と、前記ガス供給口に連通するガス流路とを有するノズル本体と、
前記ガス流路に接続され、前記ガス供給口を介して前記容器にガスを供給する供給ノズルと、
前記ガス流路に接続され、前記ガス流路内を排気する排気ノズルと、
を備えた。
前記ノズル本体は、
前記ガス供給口を形成する胴部と、
前記胴部の上端面から立ち上がる第1周壁と、
前記胴部の上端面と前記第1周壁とにより形成された上方空間とを有し、
前記ガス流路が、前記ガス供給口を介して前記上方空間と連通する。
前記供給ノズルと前記排気ノズルとが一体である。
前記ノズル本体内の圧力を調整する圧力調整手段を備え、
前記ノズル本体内をガスに置換する際に、前記圧力調整手段が、前記ノズル本体内の圧力を所定値以下に制御する。
前記ノズル本体と、
前記ガス供給口を閉止する開閉機構と、
前記開閉機構により閉止された前記ガス供給口を開放する開放手段と、
を備え。
前記開閉機構は、前記上方空間に位置して外周縁部で前記ガス供給口の周縁を閉止する弾性閉止部材と、前記弾性閉止部材を前記胴部に固定する固定部とを有し、
前記開放手段は、前記弾性閉止部材を押圧して弾性変形させることで前記閉止を解除する不活性ガスである。
図6に示すように、第1実施形態に係るノズルユニット70は、窒素ガスをFOUP7に供給するガス供給口72を有するノズル本体71と、ノズル本体71を上下動させる駆動手段96とを備えている。
本実施形態のノズルユニット70には以下の特徴がある。
以下、第2実施形態に係るノズルユニット70について説明する、なお、第1実施形態と同じ要素には同じ符号を付して説明を省略する。
本実施形態のノズルユニット70には以下の特徴がある。
71 ノズル本体
72 ガス供給口
73 胴部
76 流量コントローラ(圧力調整手段)
77 ガス流路
78 供給ノズル
81 第1排気ノズル
87 上方空間
89 下方空間
92 開閉機構
93 蓋部
94 延伸部
96 開放手段
97 支持部材(支持部)
102 ばね(付勢部材)
111 弾性閉止部材
112 固定部
Claims (6)
- 収容物を収容する容器に連通するガス供給口と、前記ガス供給口に連通するガス流路とを有するノズル本体と、
前記ガス流路に接続され、前記ガス供給口を介して前記容器にガスを供給する供給ノズルと、
前記ガス流路に接続され、前記ガス流路内を排気する排気ノズルと、
を備えたことを特徴とするノズルユニット。 - 前記ノズル本体は、
前記ガス供給口を形成する胴部と、
前記胴部の上端面から立ち上がる第1周壁と、
前記胴部の上端面と前記第1周壁とにより形成された上方空間とを有し、
前記ガス流路が、前記ガス供給口を介して前記上方空間と連通することを特徴とする請求項1に記載のノズルユニット。 - 前記供給ノズルと前記排気ノズルとが一体であることを特徴とする請求項1又は2に記載のノズルユニット。
- 前記ノズル本体内の圧力を調整する圧力調整手段を備え、
前記ノズル本体内をガスに置換する際に、前記圧力調整手段が、前記ノズル本体内の圧力を所定値以下に制御することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のノズルユニット。 - 前記ノズル本体と、
前記ガス供給口を閉止する開閉機構と、
前記開閉機構により閉止された前記ガス供給口を開放する開放手段と、
を備えことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のノズルユニット。 - 前記開閉機構は、前記上方空間に位置して外周縁部で前記ガス供給口の周縁を閉止する弾性閉止部材と、前記弾性閉止部材を前記胴部に固定する固定部とを有し、
前記開放手段は、前記弾性閉止部材を押圧して弾性変形させることで前記閉止を解除する不活性ガスであることを特徴とする請求項5に記載のノズルユニット。
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