JP6044169B2 - パージ装置、ロードポート - Google Patents
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Description
23…パージ用気体流路
6…カバー
7…駆動機構
100…パージ対象容器(FOUP)
101…ポート
P…パージ装置
X…ロードポート
Claims (4)
- 窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を供給可能なパージノズルを備え、パージ対象容器の底面に設けたポートに前記パージノズルの先端部を接触させた状態で、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能に構成したパージ装置であって、
上方に開口するパージ用気体流路を内部に形成した前記パージノズルのうち上向き面を少なくとも上方から被覆し得るカバーと、
前記カバーを、前記パージノズルの上向き面を上方から被覆する被覆位置と、前記パージノズルの上向き面を上方に露出させる非被覆位置との間で移動させる駆動機構とを備え、
前記駆動機構によって、パージ処理を行う場合に前記カバーを前記非被覆位置に位置付け、パージ処理を行わない場合に前記カバーを前記被覆位置に位置付けるように構成していることを特徴とするパージ装置。 - 窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を供給可能なパージノズルを備え、パージ対象容器の底面に設けたポートに前記パージノズルの先端部を接触させた状態で、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能に構成したパージ装置であって、
上方に開口するパージ用気体流路を内部に形成した前記パージノズルのうち上向き面を少なくとも上方から被覆し得るカバーと、
前記カバーを、前記パージノズルの上向き面を上方から被覆する被覆位置と、前記パージノズルの上向き面を上方に露出させる非被覆位置との間で移動させる駆動機構とを備え、
前記駆動機構によって、パージ処理を行う場合に前記カバーを前記非被覆位置に位置付け、パージ処理を行わない場合に前記カバーを前記被覆位置に位置付けるように構成し、
前記パージノズルが、前記パージノズルの上向き面の全部又は一部が前記パージ対象容器の底面に設けたポートに接触可能なパージ位置と、前記パージノズルの上向き面が前記ポートに接触し得ない待機位置との間で昇降移動可能なものであり、
前記パージノズルと前記カバーの高さ方向における相対位置で相対高さ位置が、前記待機位置にある前記パージノズルと前記カバーの相対高さ位置よりも近接することをきっかけとして、前記駆動機構が前記カバーを前記被覆位置から前記非被覆位置へ移動させるように構成していることを特徴とするパージ装置。 - 窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を供給可能なパージノズルを備え、パージ対象容器の底面に設けたポートに前記パージノズルの先端部を接触させた状態で、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能に構成したパージ装置であって、
上方に開口するパージ用気体流路を内部に形成した前記パージノズルのうち上向き面を少なくとも上方から被覆し得るカバーと、
前記カバーを、前記パージノズルの上向き面を上方から被覆する被覆位置と、前記パージノズルの上向き面を上方に露出させる非被覆位置との間で移動させる駆動機構とを備え、
前記駆動機構によって、パージ処理を行う場合に前記カバーを前記非被覆位置に位置付け、パージ処理を行わない場合に前記カバーを前記被覆位置に位置付けるように構成し、
前記パージ対象容器と前記パージノズルの距離を直接または間接的に検知可能な検知部を備え、前記検知部の検知情報に基づいて前記パージ対象容器と前記パージノズルの距離が所定値よりも近くなったことをきっかけとして前記駆動機構が前記カバーを前記被覆位置から前記非被覆位置へ移動させるように構成していることを特徴とするパージ装置。 - クリーンルーム内において半導体製造装置に隣接して設けられ、搬送されてきたパージ対象容器であるFOUPを受け取り当該FOUP内に格納されているウェーハを前記半導体製造装置内と当該FOUP内との間でFOUPの前面に形成した搬出入口を介して出し入れするロードポートであって、
請求項1乃至3の何れかに記載のパージ装置を備えていることを特徴とするロードポート。
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