JP5939080B2 - パージノズルユニット、パージ装置、ロードポート - Google Patents
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Description
2…ノズル本体
21…胴部
22…鍔部
23…パージ用気体流路
26…通気孔
27…導入路
28…優先導入手段
281…弁体
282…弁座
28A…オリフィス
3…ホルダ
31…側壁
33…底壁
4…付勢手段
100…パージ対象容器(FOUP)
101…ポート
P…パージ装置
S2…圧力調整空間
X…ロードポート
Claims (5)
- パージ対象容器の底面に設けたポートを通じて当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
下方から上方に向かうパージ用気体供給方向に沿って延伸するパージ用気体流路を内部に形成した胴部、及び前記胴部よりも側方に張り出した鍔部を有するノズル本体と、
前記鍔部の外向き面に添接する側壁、及び前記胴部の外向き面を添接させ且つ挿通させた貫通孔を形成した底壁を有するホルダと、
ノズル本体を下方へ付勢する付勢手段とを備え、
前記胴部は、
前記パージ用気体流路のうち前記パージ用気体供給方向下流側に形成され且つパージ用気体供給源に直接的又は間接的に接続した通気孔と、
前記パージ用気体流路に連通し且つ前記ノズル本体と前記ホルダとの間に形成された圧力調整空間にパージ用気体を導入可能な導入路と、
前記パージ用気体流路のうち前記導入路よりも前記パージ用気体供給方向下流側に設けられ、且つ前記通気孔から前記パージ用気体流路に供給されたパージ用気体を前記導入路に優先して導入する導入路優先状態になり得る優先導入手段とを備えたものであり、
前記導入路優先状態にある前記優先導入手段により前記導入路を通じてパージ用気体を前記圧力調整空間に導入して前記圧力調整空間の圧力を上げることで、前記付勢手段の付勢力に抗して前記ノズル本体を前記ホルダに対して上昇移動させるように構成し、少なくとも前記パージ用気体流路のうち前記導入優先手段よりも前記パージ用気体供給方向上流側領域の圧力が所定値以上になった時点以降に前記導入路優先状態が解除されて前記通気孔から前記パージ用気体流路に供給されるパージ用気体の全部または略全部を前記導入優先手段よりも前記パージ用気体供給方向下流側に導入可能に構成していることを特徴とするパージノズルユニット。 - 前記優先導入手段が、弁体と、前記導入路優先状態において前記弁体を気密状態で支持する弁座とを少なくとも備え、前記弁体に対して下方から作用するパージ用気体の圧力が前記所定値以上になった時点で前記弁体が弁座から離間するように構成したものである請求項1に記載のパージノズルユニット。
- 前記優先導入手段を前記導入路の径よりも小さい径に設定したオリフィスによって構成している請求項1に記載のパージノズルユニット。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のパージノズルユニットを複数備え、パージ対象容器の底面に設けた複数のポートにそれぞれ前記パージノズルユニットの前記ノズル本体を連通させた状態で、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能に構成していることを特徴とするパージ装置。
- クリーンルーム内において半導体製造装置に隣接して設けられ、搬送されてきたパージ対象容器であるFOUPを受け取り当該FOUP内に格納されているウェーハを前記半導体製造装置内と当該FOUP内との間でFOUPの前面に形成した搬出入口を介して出し入れするロードポートであって、
請求項4に記載のパージ装置を備えていることを特徴とするロードポート。
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