KR102625309B1 - 노즐 유닛 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 노즐 유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 노즐 유닛을 구성하는 부재 사이의 결합 과정에서 발생한 이물질이 뉴즐 유닛의 유로 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며 풉 유닛에 순도 높은 가스를 제공할 수 있는 노즐 유닛에 관한 것이다.
Description
본 발명은 노즐 유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 노즐 유닛을 구성하는 부재 사이의 결합 과정에서 발생한 이물질이 뉴즐 유닛의 유로 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며 풉 유닛에 순도 높은 가스를 제공할 수 있는 노즐 유닛에 관한 것이다.
반도체 제조 과정에서, 다수의 웨이퍼가 풉(FOUP) 유닛에 로딩된 상태로 처리, 가공된다. 이러한 처리, 가공 과정에서 풉 유닛에는 공정을 위한 가스가 노즐 유닛을 통해서 전달되는데 이러한 가스 전달 과정에서 이물질이 풉 유닛 내에 유입되는 것을 효과적으로 방지할 필요가 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 노즐 유닛을 구성하는 부재 사이의 결합 과정에서 발생한 이물질이 뉴즐 유닛의 유로 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며 풉 유닛에 순도 높은 가스를 제공할 수 있는 노즐 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 노즐 유닛은, 풉 스테이지에 설치되며 풉 내부로 가스를 전달하는 노즐 유닛으로서, 상하 관통된 바디 중공을 갖는 노즐 바디; 상기 노즐 바디의 상기 바디 중공 내에 탑재되고 상하로 위치 가변하며 상하로 관통된 유로를 갖는 실린더 로드; 및 상기 실린더 로드의 일 단에 결합되며 튜브와 상기 실린더 로드 사이를 매개하는 튜브 결합 부재;를 포함하며, 상기 튜브 결합 부재는, 실린더 로드와 결합되는 실린더 결합 세그먼트, 상기 실린더 결합 세그먼트와 결합되며 튜브가 결합되는 튜브 결합 세그먼트, 및 상기 실린더 결합 세그먼트에 결합되는 O-ring 을 포함하고, 상기 실린더 로드는 상기 유로의 내면 일 단부에 형성되는 암나사부를 갖고, 상기 실린더 결합 세그먼트는 상기 실린더 로드의 유로 내에 내삽되는 상부 결합관을 포함하고, 상기 상부 결합관은, 외측 둘레면의 적어도 일 위치에 구비되는 수나사부, 및 상기 상부 결합관의 상단부와 상기 수나사부 사이에 위치하며 상기 O-ring 이 끼워질 수 있는 끼움 홈을 구비하며, 상기 실린더 로드와 상기 튜브 결합 부재가 결합될 때, 상기 실린더 로드의 상기 유로에 형성된 암나사부와 상기 실린더 결합 세그먼트의 상기 상부 결합관에 형성된 수나사부가 나사 결합되며, 상기 O-ring 은 상기 실린더 로드의 상기 유로의 내면과 밀착하며, 상기 O-ring 은 상기 상부 결합관의 외측 둘레면과 상기 유로의 내면 사이를 밀폐한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 실린더 결합 세그먼트는, 상기 상부 결합관의 하단에 구비되는 블록 바디, 및 상기 블록 바디의 측부로 연장되는 측부 결합관을 포함하며, 상기 튜브 결합 세그먼트는 상기 측부 결합관과 연결되며, 상기 측부 결합관 내에는 암나사부가 형성되고, 상기 튜브 결합 세그먼트는 수나사부를 가지며, 상기 측부 결합관의 암나사부와 상기 튜브 결합 세그먼트의 수나사부가 서로 나사 결합된다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 노즐 바디는, 측부에 가스 주입공이 형성되며, 상기 가스 주입공을 통해 작동 가스가 주입됨으로서 상기 실린더 로드가 상하 변위 가능하다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 노즐 바디의 상기 중공은, 상부 중공, 하부 중공, 및 상기 상부 중공과 하부 중공 사이의 중간 중공을 갖고, 상기 중간 중공의 내경은 상기 상부 중공 및 하부 중공의 내경보다 크며, 상기 실린더 로드는, 외측 둘레면의 적어도 일 측에 구비되며 외측 둘레를 따라서 반경 방향 외측으로 돌출되는 구획 돌부를 포함하며, 상기 실린더 로드가 상기 중공 내에 탑재되면 상기 구획 돌부는 상기 중간 중공 내에 위치하며, 상기 가스 주입공은 상기 구획 돌부 상부에 위치하는 제1 주입구와 상기 구획 돌부 하부에 위치하는 제2 주입구를 포함하고, 상기 제1 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 위에 주입되면 상기 실린더 로드가 하강하고, 상기 제2 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 아래에 주입되면 상기 실린더 로드가 승강한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛은, 튜브 결합 부재의 상부 결합관에 끼워진 O-ring 이 실린더 로드의 유로의 내면과 밀착할 수 있다. O-ring 은 상부 결합관의 외측 둘레면과 상기 유로의 내면 사이를 밀폐한다. 이에 따라서, 실린더 로드의 유로에 형성된 암나사부와 실린더 결합 세그먼트의 상부 결합관에 형성된 수나사부가 나사 결합할 때, 마찰에 의해서 발생할 수 있는 각종 이물질이 상기 유로 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 노즐 유닛은, 튜브 결합 부재를 포함하며, 튜브 결합 부재는 실린더 결합 세그먼트와 튜브 결합 세그먼트를 포함한다. 이때, 실린더 결합 세그먼트는 상부 유로, 연통 공간, 및 측부 유로로 구성되는 전체적으로 'ㄴ' 자형 유로를 가질 수 있다. 아울러, 튜브 결합 세그먼트는 측부 유로와 연통하는 유로를 포함한다. 따라서, 실린더 결합 세그먼트와 튜브 결합 세그먼트 사이를 결합하는 나사의 가공 공차가 발생할 경우에도 튜브 결합 세그먼트와 실린더 결합 세그먼트 사이의 연통이 100% 확보될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛은, 실린더 로드가 작동 가스에 의해서 신속하게 상하로 변위할 수 있다. 따라서, 풉 유닛 내에 가스를 전달하는 매커니즘이 신속하게 ON/OFF 될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛은 배관과 연결되는 측부 유로의 방향을 사용자가 선택할 수 있으므로, 배관의 길이가 단축되며, 균일한 가스 공급을 달성할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 외관을 도시한 도면이다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디의 구조를 도시한 도면이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드의 구조를 도시한 도면이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 부재의 외관을 도시한 도면이다.
도 5, 6 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 결합 세그먼트의 구조를 도시한 도면이다.
도 7, 8 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 세그먼트의 구조를 도시한 도면이다.
도 9 및 도 10 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디와 실린더 로드 사이의 결합 및 O-ring 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
도 11 및 도 12 는 본 발명의 실시예에 의한 실린더 결합 세그먼트와 튜브 결합 세그먼트 사이의 결합 및 O-ring 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
도 13 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 기체 유통을 나타낸 도면이다.
도 14 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드의 작동을 도시한 도면이다.
도 15 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛이 설치된 반도체 웨이퍼 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 16 은 로드포트의 풉 스테이지 하부의 형태를 도시한 것으로서, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛과 배관 사이의 연결을 도시한 것이다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디의 구조를 도시한 도면이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드의 구조를 도시한 도면이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 부재의 외관을 도시한 도면이다.
도 5, 6 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 결합 세그먼트의 구조를 도시한 도면이다.
도 7, 8 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 세그먼트의 구조를 도시한 도면이다.
도 9 및 도 10 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디와 실린더 로드 사이의 결합 및 O-ring 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
도 11 및 도 12 는 본 발명의 실시예에 의한 실린더 결합 세그먼트와 튜브 결합 세그먼트 사이의 결합 및 O-ring 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
도 13 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 기체 유통을 나타낸 도면이다.
도 14 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드의 작동을 도시한 도면이다.
도 15 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛이 설치된 반도체 웨이퍼 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 16 은 로드포트의 풉 스테이지 하부의 형태를 도시한 것으로서, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛과 배관 사이의 연결을 도시한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 외관을 도시한 도면이다. 도 2 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디(100)의 구조를 도시한 도면이다. 도 3 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드(200)의 구조를 도시한 도면이다. 도 4 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 부재(300)의 외관을 도시한 도면이다. 도 5, 6 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 결합 세그먼트(400)의 구조를 도시한 도면이다. 도 7, 8 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 튜브 결합 세그먼트(500)의 구조를 도시한 도면이다.
본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛은, 풉 스테이지에 설치되는 노즐 유닛으로서, 풉 스테이지 상에 배치된 풉 유닛 내부로 가스를 전달하는 노즐 유닛이다.
실시예에 의한 노즐 유닛은, 노즐 바디(100), 실린더 로드(200), 및 튜브 결합 부재(300)를 포함할 수 있다.
노즐 바디(100)는 육면체 형태의 구조물로 구성될 수 있다. 실시예에 의하면, 노즐 바디(100)는 상하로 분리, 결합되는 2 개의 파트(상부 바디(102), 하부 바디(104))를 포함할 수 있으며, 이에 한정하지 않는다.
노즐 바디(100)는 바디 중공(110), 및 가스 주입구(120)를 가질 수 있다.
바디 중공(110)은 노즐 바디(100)를 상하 방향으로 관통한다.
상기 바디 중공(110)은, 상부 중공, 하부 중공, 및 상기 상부 중공과 하부 중공 사이의 중간 중공을 가질 수 있다. 여기서, 상기 중간 중공의 내경은 상기 상부 중공 및 하부 중공의 내경보다 클 수 있다.
가스 주입구(120)는 노즐 바디(100)의 측면과 상기 바디 중공(110) 사이를 관통할 수 있다.
가스 주입구(120)는 상부에 위치하는 제1 주입구(122)와 하부에 위치하는 제2 주입구(124)를 포함할 수 있다.
제1 주입구(122)는 상기 중간 중공의 상부에 위치하며, 제2 주입구(124)는 상기 중간 중공의 하부에 위치할 수 있다.
실린더 로드(200)는 상하로 관통된 실린더 유로(210)를 갖는 파이프 형태의 부재일 수 있다.
상기 실린더 유로(210)의 하단 내면에는 암나사부(212)가 형성될 수 있다.
실린더 로드(200)는 구획 돌부(220)를 포함할 수 있다.
상기 구획 돌부(220)는, 실린더 로드(200)의 외측 둘레면의 중간 부분에 구비된다. 구획 돌부(220)는 실린더 로드(200)의 외측 둘레를 따라서 반경 방향 외측으로 돌출되는 돌출부일 수 있다.
상기 구획 돌부(220)의 적어도 일 부분에는 소정의 O-ring(미도시) 이 끼워질 수 있는 끼움 요홈(222)이 형성될 수 있다.
튜브 결합 부재(300)는 상기 실린더 로드(200)의 하단에 결합될 수 있다. 튜브 결합 부재(300)는 튜브와 실린더 로드(200) 사이의 결합을 매개할 수 있다.
상기 튜브 결합 부재(300)는, 실린더 로드(200)와 결합되는 실린더 결합 세그먼트(400), 튜브가 결합되는 튜브 결합 세그먼트(500), 및 O-ring(600) 을 포함할 수 있다. 한편, 상기 튜브 결합 부재(300)에는 O-ring(600) 이 끼워지는 끼움 홈(426)이 구비될 수 있다.
상기 실린더 결합 세그먼트(400)는 블록 바디(410), 상부 결합관(420), 및 측부 결합관(430)을 포함할 수 있다.
블록 바디(410)는 블록 형태의 부분으로서, 상부 및 측부가 오픈된 연통 공간(412)을 갖는다.
상부 결합관(420)은 블록 바디(410)의 상부에 구비되는 소정의 파이프 형태의 부분이다. 상부 결합관(420)은 상기 연통 공간(412)과 상방향으로 연통되는 상부 유로(422)를 갖는다.
상기 상부 결합관(420)은, 외측 둘레면의 적어도 일 위치에 구비되는 수나사부(424), 및 상기 상부 결합관(420)의 상단부와 상기 수나사부(424) 사이에 위치하며 O-ring(600) 이 끼워질 수 있는 끼움 홈(426)을 구비한다.
측부 결합관(430)은 블록 바디(410)의 측부에 구비되는 소정의 파이프 형태의 부분이다. 측부 결합관(430)은 상기 연통 공간(412)과 측방향으로 연통되는 측부 유로(432)를 갖는다. 측부 유로(432)의 내면에는 암나사부(434)가 구비될 수 있다.
따라서, 실린더 결합 세그먼트(400)는, 상기 상부 유로(422), 연통 공간(412), 및 측부 유로(432)에 의해서 전체적으로 'ㄴ' 자형 유로를 가질 수 있다.
튜브 결합 세그먼트(500)는 유로(510)를 갖는 파이프 형태의 부재이다.
실시예에 의하면, 튜브 결합 세그먼트(500)는 일 단부의 외측에 수나사부(520)를 가질 수 있다.
따라서, 튜브 결합 세그먼트(500)에 구비된 수나부(520)와 상기 실린더 결합 세그먼트(400)의 측부 결합관(430)에 구비된 암나사부(434)가 서로 나사 결합될 수 있다.
또한, 튜브 결합 세그먼트(500)는 단부와 상기 수나사부(520) 사이에 위치하며 O-ring(530) 이 끼워질 수 있는 끼움 홈(532)을 구비할 수 있다.
도 9 및 도 10 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 노즐 바디(100)와 실린더 로드(200) 사이의 결합 및 O-ring(600) 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
이하에서는 상기 실린더 로드(200)와 튜브 결합 부재(300) 사이의 결합 구조 및 효과에 대해서 설명한다.
상기 실린더 로드(200)의 실린더 유로(210)에 형성된 암나사부(212)와 상기 실린더 결합 세그먼트(400)의 상부 결합관(420)에 형성된 수나사부(424)가 나사 결합된다. 이때, 상기 튜브 결합 부재(300)의 상부 결합관(420)에 끼워진 상기 O-ring(600) 은 상기 실린더 로드(200)의 상기 실린더 유로(210)의 내면과 밀착할 수 있다. 따라서, 상기 O-ring(600) 은 상기 상부 결합관(420)의 외측 둘레면과 상기 실린더 유로(210)의 내면 사이를 밀폐한다.
이에 따라서, 상기 실린더 로드(200)의 유로에 형성된 암나사부(212)와 상기 실린더 결합 세그먼트(400)의 상부 결합관(420)에 형성된 수나사부(424)가 나사 결합할 때, 마찰에 의해서 발생할 수 있는 각종 이물질이 상기 실린더 유로(210) 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
도 11 및 도 12 는 본 발명의 실시예에 의한 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이의 결합 및 O-ring(530) 에 의한 이물질 유입 방지 효과를 도시한 도면이다.
도 11 및 도 12 에 도시된 바와 같이, 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이의 결합을 달성하는 수나사부(520) 및 암나사부(434)에서 발생할 수 있는 이물질은, O-ring(530) 에 의해서 차단될 수 있다.
도 13 은 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 기체 유통을 나타낸 도면이다.
이하에서는 튜브 결합 부재(300)의 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이의 결합 및 효과에 대해서 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 노즐 유닛은, 튜브 결합 부재(300)를 포함하며, 튜브 결합 부재(300)는 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500)를 포함한다. 이때, 실린더 결합 세그먼트(400)는 상부 유로(422), 연통 공간(412), 및 측부 유로(432)로 구성되는 전체적으로 'ㄴ' 자형 유로를 가질 수 있다. 따라서, 화살표 L1 과 같이 노즐 유닛의 하부에서 측방향으로 유입된 가스가 화살표 L2 와 같이 상방향으로 배출될 수 있다.
아울러, 튜브 결합 세그먼트(500)는 측부 유로(432)와 연통하는 유로(510)를 포함한다. 따라서, 실린더 결합 세그먼트(400)와 튜브 결합 세그먼트(500) 사이를 결합하는 나사의 가공 공차가 발생할 경우에도 튜브 결합 세그먼트(500)와 실린더 결합 세그먼트(400) 사이의 연통이 100% 확보될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택적으로 설정할 수 있으므로, 튜브와 노즐 유닛 사이의 결합이 간편하고, 가스의 전달이 원활할 수 있다. 즉, 가스가 공급되는 공급원 방향으로 튜브 결합 세그먼트(500)의 방향(즉, 유로(510)가 오픈되는 방향)을 설정할 수 있다. 따라서, 가스가 직선 방향으로 전달될 수 있으며, 가스 전달 과정에서 발생할 수 있는 저항, 및 진동 등이 저감되고 안정적인 가스 공급이 가능해질 수 있다.
도 14 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛의 실린더 로드(200)의 작동을 도시한 도면이다.
이하에서는 노즐 바디(100)와 실린더 로드(200) 사이의 결합 및 실린더 로드(200)의 변위 및 효과에 대해서 설명한다.
상기 실린더 로드(200)가 상기 바디 중공(110) 내에 탑재되면, 상기 구획 돌부(220)는 상기 중간 중공 내에 위치한다.
상기 제1 주입구(122)를 통해서 작동 가스(F1)가 상기 구획 돌부(220) 위의 공간(V1)에 주입되면 상기 구획 돌부(220) 위쪽 공간(V1)에 주입된 작동 가스(F1)는 상기 구획 돌부(220)를 하방향으로 미는 힘을 가한다. 따라서, 실린더 로드(200)가 하강한다.
상기 제2 주입구(124)을 통해서 작동 가스(F2)가 상기 구획 돌부(220) 아래 공간(V2)에 주입되면 상기 구획 돌부(220) 아래 공간(V2)에 주입된 작동 가스(F2)는 상기 구획 돌부(220)를 상방향으로 미는 힘을 가한다. 따라서, 상기 실린더 로드(200)가 승강한다.
상기 구성에 의해서, 상기 실린더 로드(200)가 신속하게 상하로 변위할 수 있다. 따라서, 풉 유닛 내에 가스를 전달하는 매커니즘이 신속하게 ON/OFF 될 수 있다.
도 15 는 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)이 설치된 반도체 웨이퍼 처리 장치를 나타낸 도면이다. 아울러, 도 16 은 로드포트(20)의 풉 스테이지(22) 하부의 형태를 도시한 것으로서, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)과 배관(42) 사이의 연결을 도시한 것이다.
본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)이 설치된 반도체 웨이퍼 처리 장치는, 로드포트(20), 및 웨이퍼 운반용기(30)(FOUP)를 포함할 수 있다.
로드포트(20)는 웨이퍼 운반용기(30)가 탑재될 수 있는 풉 스테이지(22), 상기 풉 스테이지(22)의 전방에 위치하는 벽면(24), 및 상기 벽면(24)에 설치되며 개폐 가능한 프론트 도어(26)를 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 노즐 유닛(10)은 상기 풉 스테이지(22) 내에 설치될 수 있다. 노즐 유닛(10)은 상기 풉 스테이지(22)의 일정 위치에 설치될 수 있으며, 예컨대 사각형의 모서리 위치에 각각 배치되는 배치를 가질 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 제1 주입구(122), 또는 제2 주입구(124)에 작동 가스가 주입됨으로서, 실린더 로드(200)가 승강 및 하강할 수 있다. 이때, 실린더 로드(200)가 승강하면, 풉 스테이지(22) 상에 설치되는 웨이퍼 운반용기(30)와 노즐 유닛(10)이 연결되며, 웨이퍼 운반용기(30)에 불활성 가스가 공급될 수 있다. 반대로, 실린더 로드(200)가 하강하면, 웨이퍼 운반용기(30)와 노즐 유닛(10) 사이의 연결이 차단되고, 웨이퍼 운반용기(30)에 대한 불활성 가스의 공급이 차단될 수 있다.
또한, 앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)은 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택적으로 설정할 수 있다. 따라서, 배관(42)의 연결 배치 또한 사용자가 선택할 수 있으며, 배관(42)과 노즐 유닛(10) 사이의 경로를 최소화할 수 있다.
도 16 은 로드포트(20)의 풉 스테이지(22) 하부의 형태를 도시한 것으로서, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)과 배관(42) 사이의 연결을 도시한 것이다. 즉, 풉 스테이지(22) 하부에는 도 16 에 도시된 바와 같이, 외부의 가스 공급원과 각각의 노즐 유닛(10)을 연결하는 공급 모듈(40)가 구비될 수 있다. 상기 공급 모듈(40)는, 배관(42), 및 배관(42)을 연결하는 소정의 커넥터를 포함할 수 있다.
도 16 에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)은 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택적으로 설정할 수 있으므로, 배관(42)과 노즐 유닛(10) 사이의 경로를 최소화할 수 있다. 예컨대, 가스 공급원이 풉 스테이지(22)의 중심에 위치할 경우, 각각의 노즐 유닛(10)에 연결되는 배관(42) 길이를 각각 균일하게 함으로서, 각각의 노즐 유닛(10)에 균일한 가스를 적시에 제공할 수 있다.
만일, 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택할 수 없고, 임의의 방향을 가질 경우, 측부 유로(432)와 배관(42) 사이의 연결 시, 배관(42)이 불필요하게 길어질 수 있다. 예컨대, 측부 유로(432)의 방향이 풉 스테이지(22)의 외측으로 관통될 경우, 배관(42)의 길이가 상대적으로 길어질 수 있다. 뿐만 아니라, 각각의 노즐 유닛(10)을 연결하는 배관(42)의 길이가 서로 상이할 수 있다. 이 경우, 각각의 노즐 유닛(10)에서 공급되는 불활성 가스의 공급량, 공급 시기가 서로 상이할 수 있으며, 이는 웨이퍼 운반용기(30) 내의 웨이퍼의 품질 불량으로 이어질 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시예에 의한 노즐 유닛(10)은 배관(42)과 연결되는 측부 유로(432)의 방향을 사용자가 선택할 수 있으므로, 배관(42)의 길이가 단축되며, 균일한 가스 공급을 달성할 수 있다.
이상에서는 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
10: 노즐 유닛
20: 로드포트
22: 풉 스테이지
24: 벽면
26: 프론트 도어
30: 웨이퍼 운반용기
100: 노즐 바디
102: 상부 바디
104: 하부 바지
110: 바디 중공
120: 가스 주입구
122: 제1 주입구
124: 제2 주입구
200: 실린더 로드
210: 실린더 유로
212: 암나사부
220: 구획 돌부
222: 끼움 요홈
300: 튜브 결합 부재
400: 실린더 결합 세그먼트
410: 블록 바디
412: 연통 공간
420: 상부 결합관
422: 상부 유로
424: 수나사부
426: 끼움 홈
430: 측부 결합관
432: 측부 유로
434: 암나사부
500: 튜브 결합 세그먼트
510: 유로
520: 수나사부
530: O-ring
532: 끼움 홈
600: O-ring
20: 로드포트
22: 풉 스테이지
24: 벽면
26: 프론트 도어
30: 웨이퍼 운반용기
100: 노즐 바디
102: 상부 바디
104: 하부 바지
110: 바디 중공
120: 가스 주입구
122: 제1 주입구
124: 제2 주입구
200: 실린더 로드
210: 실린더 유로
212: 암나사부
220: 구획 돌부
222: 끼움 요홈
300: 튜브 결합 부재
400: 실린더 결합 세그먼트
410: 블록 바디
412: 연통 공간
420: 상부 결합관
422: 상부 유로
424: 수나사부
426: 끼움 홈
430: 측부 결합관
432: 측부 유로
434: 암나사부
500: 튜브 결합 세그먼트
510: 유로
520: 수나사부
530: O-ring
532: 끼움 홈
600: O-ring
Claims (4)
- 풉 스테이지에 설치되며 풉 내부로 가스를 전달하는 노즐 유닛으로서,
상하 관통된 바디 중공을 갖는 노즐 바디;
상기 노즐 바디의 상기 바디 중공 내에 탑재되고 상하로 위치 가변하며 상하로 관통된 유로를 갖는 실린더 로드; 및
상기 실린더 로드의 일 단에 결합되며 튜브와 상기 실린더 로드 사이를 매개하는 튜브 결합 부재;를 포함하며,
상기 튜브 결합 부재는,
실린더 로드와 결합되는 실린더 결합 세그먼트,
상기 실린더 결합 세그먼트와 결합되며 튜브가 결합되는 튜브 결합 세그먼트, 및
상기 실린더 결합 세그먼트에 결합되는 O-ring 을 포함하고,
상기 실린더 로드는 상기 유로의 내면 일 단부에 형성되는 암나사부를 갖고,
상기 실린더 결합 세그먼트는 상기 실린더 로드의 유로 내에 내삽되는 상부 결합관을 포함하고,
상기 상부 결합관은, 외측 둘레면의 적어도 일 위치에 구비되는 수나사부, 및
상기 상부 결합관의 상단부와 상기 수나사부 사이에 위치하며 상기 O-ring 이 끼워질 수 있는 끼움 홈을 구비하며,
상기 실린더 로드와 상기 튜브 결합 부재가 결합될 때,
상기 실린더 로드의 상기 유로에 형성된 암나사부와 상기 실린더 결합 세그먼트의 상기 상부 결합관에 형성된 수나사부가 나사 결합되며, 상기 O-ring 은 상기 실린더 로드의 상기 유로의 내면과 밀착하며,
상기 O-ring 은 상기 상부 결합관의 외측 둘레면과 상기 유로의 내면 사이를 밀폐하고,
상기 노즐 바디는,
측부에 가스 주입공이 형성되며,
상기 가스 주입공을 통해 작동 가스가 주입됨으로서 상기 실린더 로드가 상하 변위 가능하며,
상기 노즐 바디의 상기 바디 중공은,
상부 중공, 하부 중공, 및 상기 상부 중공과 하부 중공 사이의 중간 중공을 갖고,
상기 중간 중공의 내경은 상기 상부 중공 및 하부 중공의 내경보다 크며,
상기 실린더 로드는,
외측 둘레면의 적어도 일 측에 구비되며 외측 둘레를 따라서 반경 방향 외측으로 돌출되는 구획 돌부를 포함하며,
상기 실린더 로드가 상기 중공 내에 탑재되면 상기 구획 돌부는 상기 중간 중공 내에 위치하며,
상기 가스 주입공은 상기 구획 돌부 상부에 위치하는 제1 주입구와 상기 구획 돌부 하부에 위치하는 제2 주입구를 포함하고,
상기 제1 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 위에 주입되면 상기 실린더 로드가 하강하고,
상기 제2 주입구를 통해서 작동 가스가 상기 구획 돌부 아래에 주입되면 상기 실린더 로드가 승강하는 노즐 유닛. - 제1항에 있어서,
상기 실린더 결합 세그먼트는,
상기 상부 결합관의 하단에 구비되는 블록 바디, 및
상기 블록 바디의 측부로 연장되는 측부 결합관을 포함하며,
상기 튜브 결합 세그먼트는 상기 측부 결합관과 연결되며,
상기 측부 결합관 내에는 암나사부가 형성되고
상기 튜브 결합 세그먼트는 수나사부를 가지며,
상기 측부 결합관의 암나사부와 상기 튜브 결합 세그먼트의 수나사부가 서로 나사 결합되는 노즐 유닛. - 삭제
- 삭제
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210151617A KR102625309B1 (ko) | 2021-11-05 | 2021-11-05 | 노즐 유닛 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210151617A KR102625309B1 (ko) | 2021-11-05 | 2021-11-05 | 노즐 유닛 |
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|---|---|
| KR20230065741A KR20230065741A (ko) | 2023-05-12 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210151617A KR102625309B1 (ko) | 2021-11-05 | 2021-11-05 | 노즐 유닛 |
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| JP2014036184A (ja) | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Sinfonia Technology Co Ltd | パージ装置、ロードポート |
| KR102222364B1 (ko) * | 2012-06-11 | 2021-03-03 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | 퍼지 노즐 유닛, 적재대, 로드 포트 및 스토커 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101608832B1 (ko) | 2014-07-28 | 2016-04-05 | 우범제 | 풉 스테이지 노즐 유닛 및 이를 구비한 로드 포트 |
| KR20180067427A (ko) * | 2016-12-12 | 2018-06-20 | 주식회사 기가레인 | 로드 포트용 노즐 조립체 |
| KR20190085299A (ko) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 이병호 | 피팅 연결구 |
| KR20210009276A (ko) * | 2019-07-16 | 2021-01-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 처리액 토출 노즐, 노즐 아암, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법 |
-
2021
- 2021-11-05 KR KR1020210151617A patent/KR102625309B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102222364B1 (ko) * | 2012-06-11 | 2021-03-03 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | 퍼지 노즐 유닛, 적재대, 로드 포트 및 스토커 |
| JP2014036184A (ja) | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Sinfonia Technology Co Ltd | パージ装置、ロードポート |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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