KR20190085299A

KR20190085299A - 피팅 연결구

Info

Publication number: KR20190085299A
Application number: KR1020180003244A
Authority: KR
Inventors: 이병호
Original assignee: 이병호
Priority date: 2018-01-10
Filing date: 2018-01-10
Publication date: 2019-07-18

Abstract

이하 개시된 내용은 반도체 분야 등에서 사용되는 정밀기기에 유체 공급용 튜브를 연결 설치하기 위한 피팅 연결구에 관한 것이다.
일 실시예에 따른 피팅 연결구는, 중공의 원통형상으로 이루어진 피팅몸체에 튜브를 끼운 후 너트에 의해 상기 튜브를 고정시키는 피팅 연결구로서, 피팅몸체는 숫나사부와 튜브 끼움부를 포함하고, 너트는 암나사부, 가압부 및 유입구를 포함하되, 가압부는, 암나사부와 경계부분에 암나사부측으로 상향지도록 형성되는 경사부와, 유입구측으로 수직 절곡되어 형성되는 절곡부와, 경사부와 절곡부 사이에 수평으로 형성되는 수평부를 포함할 수 있다.

Description

피팅 연결구{A TUBE CONNECTOR}

이하 개시된 내용은 반도체 분야 등에서 사용되는 정밀기기에 유체 공급용 튜브를 연결 설치하기 위한 피팅 연결구에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정은 전공정으로 웨이퍼 가공공정으로 거치게 된다. 웨이퍼 가공공정은 산화공정, 감광액 도포공정, 노광 및 현상공정, 식각공정 및 화학기상증착공정 등을 거치게 된다.

이러한 공정을 수행하는 과정에서 '가스나 화약약품'(이하, '유체'라고 약칭함)을 사용하게 되는데, 이때 유체를 반도체의 정밀기기에 공급하기 위해 공급용 튜브를 정밀기기에 연결하는 장치를 피팅 또는 피팅 연결구라 한다.

이와관련, 대한민국 등특허 제10-0329582호에 종래 피팅 연결구가 개시되어 있다.

도 1은 종래기술에 따른 피팅 연결구의 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 피팅 연결구는 중앙에는 유체통로(20a)가 형성되고 일측에는 정밀기기의 기기본체(1)와 연결을 위해 나사부(21)가 형성되고, 타측에는 유체 공급용 튜브(10)를 끼움 고정하기 위한 경사부(22)와, 조임너트(26)와의 나사 체결을 위한 숫나사부(22)가 형성되며, 중간 부분에는 피팅 연결구를 기기본체(1)에 나사결합되도록 조이기 위한 육각머리부(23)가 형성되는 피팅몸체(20)와, 피팅몸체(20)에 유체 공급용 튜브(10)를 끼운채 너트 조임에 의해 이를 고정시키는 너트(26)를 포함하여 이루어진다.

상기 종래기술에 의하면, 유체 공급용 튜브(10)를 안으로 갈수록 외경이 커지는 경사부(22)에 끼워 넣기 때문에 피팅작업이 원할하지 못하고 강한 유체의 압력이 작용할 경우 튜브(10)가 유압을 견디지 못하고 찢겨지거나 그 위치가 변형되어 유체가 누출되는 문제점이 있다.

KR

10-0329582

B1

상술한 문제점을 해결하기 위하여, 피팅작업을 개선할 수 있는 피팅 연결구를 제공함에 있다.

또한, 피팅몸체로부터 공급용 튜브의 이탈을 방지할 수 있고 강한 유압에도 불구하고 기밀성이 보장될 수 있는 피팅 연결구를 제공함에 있다.

일 실시예에 따른 피팅 연결구는, 중공의 원통형상으로 이루어진 피팅몸체에 튜브를 끼운 후 너트에 의해 상기 튜브를 고정시키는 피팅 연결구로서, 피팅몸체는 숫나사부와 튜브 끼움부를 포함하고, 너트는 암나사부, 가압부 및 유입구를 포함하되, 가압부는, 암나사부와 경계부분에 암나사부측으로 상향지도록 형성되는 경사부와, 유입구측으로 수직 절곡되어 형성되는 절곡부와, 경사부와 절곡부 사이에 수평으로 형성되는 수평부를 포함할 수 있다.

여기서, 튜브 끼움부는 숫나사부와 경계부분에 수직으로 형성되는 단차벽 포함하고, 경사부는 너트조임에 의한 경사면의 법선방향 힘에 의하여 튜브의 끝단을 단차벽에 밀착 고정시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 튜브 끼움부는 끝단에 라운드지게 형성되는 라운드부를 포함하고, 절곡부는 너트조임에 의한 수평방향 힘에 의하여 튜브 끼움부의 라운드부에 접하는 튜브 부분을 찍어 눌러 고정시키는 것을 특징으로 한다.

한편, 튜브 끼움부는 단차벽과 라운드부 사이에 형성되는 수평부를 더 포함하고, 단차벽의 높이는 튜브의 두께와 일치하고, 튜브 끼움부의 수평부와 가압부의 수평부 사이의 갭은 단차벽의 높이보다 작게 이루어지는 것을 특징으로 한다.

개시된 내용에 따르면, 피팅작업을 개선할 수 있고, 피팅몸체로부터 공급용 튜브의 이탈을 방지할 수 있으며, 강한 유압에도 불구하고 기밀성이 보장될 수 있는 효과가 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 종래기술에 따른 피팅 연결구의 단면도.
도 2는 일 실시예에 따른 피팅 연결구의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 피팅 연결구의 분리 사시도.
도 4는 도 2에 도시된 피팅 연결구의 단면도.
도 5는 도 2에 도시된 피팅 연결구의 사용 상태를 보여주는 단면도.
도 6a는 도 5에 도시된 가압부의 경사부 부분의 확대도.
도 6b는 도 5에 도시된 튜브끼움부의 라운드부 부분의 확대도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 피팅 연결구에 대하여 설명한다. 참고로 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 일 실시예에 따른 피팅 연결구의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 피팅 연결구의 분리 사시도이며, 도 4는 도 2에 도시된 피팅 연결구의 단면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 피팅 연결구의 사용 상태를 보여주는 단면도이며, 도 6a 및 6b는 각각 도 5에 도시된 경사부와 라운드부 부분의 확대도이다.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 일 실시예에 따른 피팅 연결구는, 피팅몸체(100)에 튜브(10)를 끼운 후 너트(200)에 의해 튜브(10)를 고정시키는 피팅 연결구로서, 주로 반도체 분야 등에서 사용되는 정밀기기에 유체를 공급용 튜브(10)를 연결하는 역할을 한다.

피팅몸체(100)는 정밀기기의 기기본체에 결합되는 부분으로 유체 공급용 튜브(10)를 고정시켜 유체가 기기본체에 안정적으로 유입되도록 하는 역할을 한다.

피팅몸체(100)는 대략 원통형으로 이루어지며 그 일측에는 기기본체와 결합을 위해 나사부(120) 등의 결합부가 구비된다. 이때 결합부에는 피팅몸체(100)를 기기본체에 나사 결합할 때 나사조임을 용이하도록 하기 위해 육각볼트 형상의 육각머리부(140)가 형성되며 내부에는 유체가 유동될 수 있도록 중공홀(100a)이 형성된다.

피팅몸체(100)의 일측에서 반대측으로 연장되는 부분에는 튜브(10)를 고정하기 위한 구성이 설치될 수 있다. 이를 위해 이를 위해 피팅몸체(100)는 바람직하게는 숫나사부(160)와, 튜브끼움부(180)를 포함할 수 있다.

숫나사부(160)는 피팅몸체(100)의 외주면에 형성된 나사산으로 이루어진 구성으로 너트(200)가 결합되는 부분이다.

튜브끼움부(180)는 유체 공급용 튜브(10)가 끼워지도록 숫나사부(160)에서 연장되어 형성되며 그 외경은 숫나사부의 외경보다 작게 형성된다. 구체적으로 튜브끼움부(180)는 단차벽(184), 라운드부(186) 및 수평부(182)를 포함할 수 있다.

단차벽(184)은 튜브(10)가 끼워졌을 때 튜브(10)의 끝단이 밀착되는 부분으로 숫나사부(160)와 경계부분으로 수직으로 형성되고, 라운드부(186)는 튜브끼움부(180)의 끝단에 내측으로 라운드지게 형성되며, 수평부(182)는 단차벽(184)과 라운드부(186)의 사이에 형성된다.

라운드부(186)는 끝단, 즉 단차벽(184)과 반대측 부분에 위치하여 튜브(10)가 튜브끼움부(180)에 용이하게 끼워지도록 한다.

한편, 라운드부(186)로 인하여 가압부(240)와 튜브끼움부(180) 사이의 간격은 구간별로 차이가 발생한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 튜브끼움부(180)의 라운드부(186)와 가압부(240)의 수평부(242) 사이의 수직방향 간격(g1)은 튜브끼움부(180)의 수평부(182)와 가압부(240)의 수평부(242) 사이의 수직방향 간격(g2)보다 더 넓게 형성됨을 알 수 있다

이에 따라, 튜브(10)가 끼워졌을 때 튜브끼움부(180)의 끝단과 접하는 튜브(10) 부분이 튜브끼움부(180)의 수평부(182)와 가압부(240)의 수평부(242) 사이에 위치한 튜브(10) 부분보다 더 두껍게 형성될 수 있다.

너트(200)는 암나사부(220), 가압부(240) 및 유입구(260)를 포함한다.

암나사부(220)는 피팅몸체(100)의 숫나사부(160)와 결합되는 부분으로 너트(100)가 피팅몸체(100)에 결합되도록 한다.

가압부(240)는 유체 공급용 튜브(10)를 튜브끼움부(180)에 끼운 상태에서 너트조임에 따라 튜브끼움부(180)에 끼워진 튜브(10)를 가압하는 구성이다.

구체적으로 가압부(240)는, 암나사부(220)와 경계부분에 암나사부(220)측으로 상향지도록 형성되는 경사부(244)와, 유입구(260)측으로 수직 절곡되어 형성되는 절곡부(246)와, 경사부(244)와 절곡부(246) 사이에 수평으로 형성되는 수평부(242)를 포함한다.

경사부(244)는 너트조임에 의한 경사면의 법선방향 힘에 의하여 튜브(10)의 끝단을 단차벽(184)에 밀착 고정시키는 역할을 한다.

구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 경사부(244)로 인하여 가압부(240)와 튜브끼움부(180) 사이의 간격이 g3 > g2 로 차이가 발생되고 그 결과 튜브(10) 끝단부분이 가압부(240)의 수평부(242)와 튜브끼움부(280)의 수평부(182) 사이에 위치한 튜브(10) 부분보다 더 두껍게 형성된다. 따라서, 경사부(244)가 하방 사선방향으로 튜브를 가압할 때 넓은 면적의 튜브(10) 끝단부분과 접하게 되고 이에 따라 튜브(10) 끝단을 단차벽(184)에 강하게 밀착시킬 수 있다.

절곡부(246)는 수평부(242)에서 절곡되어 이루어진 부분으로, 도 6a에 도시된 바와 같이, 튜브끼움부(180)의 끝단과 접하는 튜브(10) 부분을 수평방향으로 고정한다. 이때 튜브끼움부(180)의 끝단과 접하는 튜브(10) 부분이 튜브끼움부(180)의 수평부(182)와 가압부(240)의 수평부(242) 사이에 위치한 튜브(10) 부분보다 상대적으로 더 두껍게 형성되므로 절곡부(246)와 접촉되는 면적이 그 만큼 증가되어 찍어 누르는 힘이 증가하게 된다.

도 5 내지 도 6b를 참조하면 튜브(10)의 고정과정에 대해 살펴보면, 먼저 너트(200)의 유입구를 통하여 튜브(10)를 너트(200)의 내부로 유입시킨 후 피팅몸체(100)의 튜브끼움부(180)에 끼운다.

다음 너트(200)의 암나사부(220)를 피팅몸체(100)의 숫나사부(160)에 맞물리게 하고 튜브끼움부(180)에 끼워진 튜브(10)를 너트조임에 의해 가압하면, 가압부(240)의 경사부(244)는 경사면의 법선방향 힘에 의하여 튜브(10)의 끝단을 단차벽에 밀착 고정시키고, 수평부(242)는 튜브끼움부(180)의 수평부(182) 사이에 위치한 튜브(10) 부분을 하방으로 가압 고정시키며, 절곡부(246)는 너트조임에 의한 수평방향 힘에 의하여 튜브끼움부(180)의 라운드부(180)에 접하는 튜브(10) 부분을 찍어 눌러 고정시키게 된다.

본 실시예에 따른 피팅 연결구는 튜브끼움부(180)에 끼워진 튜브(10)를 가압부(240)의 경사부(244), 수평부(242) 및 절곡부(246)에 의해 동시에 세 부분을 가압, 고정시키므로 종래의 피팅 연결구보다 기밀성이 현저히 강화되는 효과가 있다. 또한 이에 따라 별도의 가스켓 등의 밀폐부재가 요구되지 않는 이점이 있다.

한편, 도 6a에 도시된 바와 같이, 단차벽(184)의 높이(h)는 튜브(10)의 두께(t)와 일치하도록 하고, 튜브끼움부(180)의 수평부(182)와 가압부(240)의 수평부(242) 사이의 간격(g2)은 단차벽(184)의 높이(h1)보다 작게 이루어지도록 제작함으로써 최적의 유효접촉면적을 만들어 기밀성을 더욱 강화시킬 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

10: 튜브 100: 피팅몸체
140: 육각머리부 160: 숫나사부
180: 튜브끼움부 182, 242: 수평부
184: 단차벽 186: 라운드부
200: 너트 220: 암나사부
240: 가압부 242: 수평부
244: 경사부 246: 절곡부
260: 유입구

Claims

중공의 원통형상으로 이루어진 피팅몸체에 튜브를 끼운 후 너트에 의해 상기 튜브를 고정시키는 피팅 연결구로서,
상기 피팅몸체는 상기 너트가 나사 결합되는 숫나사부와, 상기 튜브가 끼워지도록 상기 나사산부에서 연장되어 형성되고 외경이 상기 숫나사부의 외경보다 작게 형성되는 튜브끼움부를 포함하고,
상기 너트는 상기 피팅몸체의 숫나사부와 결합되는 암나사부와, 너트조임시 상기 튜브끼움부에 끼워진 튜브를 가압하는 가압부와, 상기 튜브가 상기 너트 내부로 유입되는 유입구를 포함하되,
상기 가압부는, 상기 암나사부와 경계부분에 상기 암나사부측으로 상향지도록 형성되는 경사부와, 상기 유입구측으로 수직 절곡되어 형성되는 절곡부와, 상기 경사부와 상기 절곡부 사이에 수평으로 형성되는 수평부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 피팅 연결구.
제1항에 있어서,
상기 튜브끼움부는 상기 숫나사부와 경계부분에 수직으로 형성되는 단차벽 포함하고,
상기 경사부는 너트조임에 의한 경사면의 법선방향 힘에 의하여 상기 튜브의 끝단을 상기 단차벽에 밀착 고정시키는 것을 특징으로 하는, 피팅 연결구.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 튜브끼움부는 끝단에 내측으로 라운드지게 형성되는 라운드부를 포함하고,
상기 절곡부는 너트조임에 의한 수평방향 힘에 의하여 상기 튜브끼움부의 라운드부에 접하는 튜브 부분을 찍어 눌러 고정시키는 것을 특징으로 하는, 피팅 연결구.
제1항 내지 제3중 어느 한 항에 있어서,
상기 튜브끼움부는, 상기 단차벽과 상기 라운드부 사이에 형성되는 수평부를 더 포함하고,
상기 단차벽의 높이는 상기 튜브의 두께와 일치하고, 상기 튜브끼움부의 수평부와 상기 가압부의 수평부 사이의 갭은 상기 단차벽의 높이보다 작게 이루어지는 것을 특징으로 하는, 피팅 연결구.