KR100329582B1

KR100329582B1 - 유체공급튜브 체결용 피팅

Info

Publication number: KR100329582B1
Application number: KR1020000002685A
Authority: KR
Inventors: 박수오
Original assignee: 박수오
Priority date: 2000-01-20
Filing date: 2000-01-20
Publication date: 2002-03-23
Also published as: KR20000018202A

Abstract

본 발명은 불소계수지인 PFA재질로 되고 내부 유통구의 일단에 안치홈을 형성하고 안치홈 전방에 결착돌기를 형성하고 이 전방에 끼움설치홈을 형성한 본체와, 연질의 유체공급튜브의 선단 개구부에 끼움설치되어 피팅본체의 유통구내에 유체공급튜브의 끼움설치가 가능하게하고 유체공급튜브의 체결하기 위한 체결수단과, 체결수단 외측에 체결되어 유체공급튜브의 개구부를 피팅본체의 유통구 내주벽과 체결수단사이에 견고히 삽착고정시켜 체결하기 위한 탄성와샤부재와, 이 외측에 끼움설치되어 유체공급튜브를 지지하기 위한 원통형 지지구를 구비하여 정밀기기에 유체공급튜브를 견고하고 확실하게 체결시켜 유체의 누출 현상이나 유체의 변질을 방지하여 정밀기기의 작업을 안정되게 수행할 수 있게 함과 동시에, 피팅으로 연질의 유체공급급튜브를 체결함에 있어서도 피팅본체 내부의 유통구내에 탄성체결와샤와 원통형 지지구를 순차적으로미리 끼움설치하여 체결시킨 다음, 유체공급튜브의 선단 개구부내에 체결수단을 끼움설치한 후 이를 별도의 공구를 사용하지 않고 피팅본체 내에 끼움설치하여 결착되게 하여 별도의 공구를 사용하지 않고 자체 조립하는 작업만으로 유체공급튜브를 견고하고 확실하게 정밀기기에 체결시켜 줄 수 있게 함으로서 복잡한 배관상태의 튜브설치작업이나 보수 또는 교체작업을 신속하고 능률적으로 수행하여 튜브의 배관작업을 용이하게 수행할 수 있으며, 또한 피팅본체를 공급, 유통튜브의 재질과 동일한 불소계수지인 PFA재질로 성형하여 형성함으로서 내산, 내알카리성등의 내약품성이 강하고 내열성이 우수하여 PFA재질의 튜브를 통하여 공급,유통되는 유체의 특성이나 물성변화를 방지하여 반도체 가공기등과 같이 세심한 주의를 요하는 정밀기기의 유체공급라인에 효과적으로 적용할 수 있는 유체공급튜브 체결용 피팅에 관한 것이다.

Description

유체공급튜브 체결용 피팅{A fittings for tube to provide with liquid or compressed air}

본 발명은 각종 공작기기나 반도체 가공기 분야에 있어 정수된 물이나 기름 또는 처리용 화학약품등을 사용하는 정밀기기에 상기와 같은 유체를 공급, 또는 배출하기 위한 유체공급튜브를 정밀기기에 연결 설치하기 위한 유체공급튜브 체결용 피팅에 관한 것으로, 특히 본 발명은 정밀기기에 유체공급튜브를 견고하고 확실하게 체결시켜 유체의 누출 현상이나 유체의 변질을 방지하여 정밀기기의 작업을 안정되게 수행할 수 있게 함과 동시에, 피팅으로 연질의 유체공급급튜브를 체결함에 있어서도 피팅본체 내부의 유통구내에 탄성체결와샤와 원통형 지지구를 순차적으로 미리 끼움설치하여 체결시킨 다음, 유체공급튜브의 선단 개구부내에 체결수단을 끼움설치한 후 이를 별도의 공구를 사용하지 않고 피팅본체 내에 끼움설치하여 결착하는 간단한 조립작업만으로 유체공급튜브를 견고하고 확실하게 정밀기기에 체결시켜 줄 수 있게 함으로서 복잡한 배관상태의 튜브설치작업이나 보수 또는 교체작업을 신속하고 능률적으로 수행하여 튜브의 배관작업을 용이하게 수행할 수 있으며, 또한 피팅본체를 유체공급튜브의 재질과 동일한 불소계수지인 PFA재질로 성형하여 형성함으로서 내산, 내알카리성등의 내약품성이 강하고 내열성이 우수하여 PFA재질의 튜브를 통하여 공급,유통되는 유체의 특성이나 물성변화를 방지하여 반도체 가공기등과 같이 세심한 주의를 요하는 정밀기기의 유체공급라인에 효과적으로 적용할 수 있는 유체공급튜브 체결용 피팅에 관한 것이다.

일반적으로 정밀공작기기, 엔진 등의 기계요소 또는 반도체가공장치 등 정밀기기(이하 기기라 함)에 있어서는 대체로 제한된 협소한 공간에 복잡한 연결상태의 유체 공급라인의 배치가 요구되고 있으며, 더우기 장치의 설계상 여유공간이나 크기 또는 부피에 많은 제약을 받는 복잡한 반도체가공기 등과 같은 정밀기기 등에 있어서는 배관의 레이 아웃이 복잡한 금속관상의 유체공급라인의 설치가 거의 불가능하여 수지 또는 합성고무등의 재질로 되는 후렉시블한 유체공급튜브를 사용하고 있음도 통상적이다.

따라서 상기와 같은 각종 기기에 복잡한 배선상태의 유체공급라인을 배설하기 위한 수단으로 정밀공작기기 ,기계요소 또는 반도체가공장치 등의 각종 기기에 설치된 유체 공급관이나 배출관상에 1자형, L자형, T자형등의 형태를 갖는 여러가지 형태의 피팅(Fitting)을 이용하여 요구되는 정밀기기의 유체 공급 및 배출관과 후렉시블한 유체공급튜브를 체결하여 주는 방법을 사용하고 있음도 일반적이며, 현금에 이르러서는 반도체 가공장치와 같은 정밀기기에 있어서는 가공되는 제품의 특성상 고도의 정밀도와 기밀성, 내약품성이 우수한 피팅이 요구되고 있는 실정이며, 기기의 콤팩트화에 의하여 장치의 여유 공간이나 부피가 적어지는 추세에도 불구하고 복잡한 유체공급라인의 배치가 요구됨으로 인하여 유체라인의 설치나 교체 또는 보수작업이 간편하여 작업성이 우수한 피팅이 요구되고 있다.

그러나 일반적으로 사용되고 있는 종래의 피팅에 있어서는 대체로 도 6의 (가)(나)도에 도시된 바와 같이, 중앙에 유체통로(100)를 형성한 피팅(101)일측에는 연결하기 위한 기기본체(102)에 형성된 연결관(103)과 나사 결합하여 체결되는 나사부(104)를 일측에 형성하고, 타측에는 연결되는 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)에 끼움설치되는 경사면(107)을 형성하고 선단의 경사면(107)내측에 나사부 (108)를 형성한 연결구(109)를 형성시킨 다음, 중앙에 유체공급튜브(105)가 관통하여 끼움설치되는 관통공(110)을 중앙에 형성한 체결캡너트(111)를 나사부(108)에 나착하여 유체공급튜브(105)를 체결하는 구조의 피팅을 사용하고 있었다.

그러나 종래 이러한 구조의 피팅(101)에 있어서는 공급되는 유체의 압력을 감안하여 압력에 충분히 견딜 수 있도록 그 재질을 보통 알루미늄 다이케스팅에 의하여 성형한 후 선반 등으로 후가공 작업을 수행하여 제작하거나 또는 황동 등의 금속재를 일일이 선반가공하여 제작하는 복잡한 작업공정으로 이루어지게 되므로서 균일하고 정교한 양질의 피팅(101)의 생산하기 위하여서는 고도의 숙련된 기술을 요구하게되어 정밀한 피팅(101)제작이 상당히 까다롭고 생산성이 낮아 이에 따른 제조비가 많이 요구되는 결함이 있었을 뿐만 아니라, 유체공급튜브 (105)를 기기본체(102)에 피팅(101)을 사용하여 체결하여 줌에 있어서도, 먼저 피팅 (101)의 나사부(104)를 기기본체(102)의 연결관(103)에 피팅(101)을 기기본체(102)에 나착하여 고정시킨 후, 연결하기 위한 유체공급튜브(105)를 체결캡너트(111) 중앙의 관통공(110)에 끼움설치한 후 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)를 외측으로 확장시켜 피팅(101)의 연결구(109)의 선단 경사면(107)외측에 강제로 밀어 끼움설치하여 준 다음, 다시 체결캡너트(111)를 연결구(109)의 나사부(108)에 나착하여 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)가 체결캡너트(111)에 의하여 선단 경사면(107)사이에 협착되게 하는 형태로 체결하고 있었다.

그러나 이와 같은 체결방법의 종래 피팅에 있어서는 먼저 피팅(101)을 기기본체(102)에 나착, 고정한 후에 기기본체(102)의 제한된 협소한 작업공간에서 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)을 확장시켜 피팅(101)의 연결구(109)의 선단 경사면(107)에 강제로 끼워 준다음, 체결캡너트(111)를 연결구(109)의 나사부(108)에 나합하여 공구 등을 사용하여 체결하는 복잡한 작업으로 연결하는 되므로서 유체공급튜브(105)의 피팅작업이 상당히 까다롭고 어려워 작업에 많은 인력과 노고가 요구되는 한편, 유체공급튜브(105)를 피팅(101)의 연결구(109)의 선단 경사면(107)에 끼움설치하는 작업 공간의 확보가 어려운 경우 체결작업에 상당한 불편과 어려움이 뒤따라 유체공급튜브(105)가 불안정하게 체결될 위험이 있고, 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(107)를 강제로 확관하여 끼움설치할 때 연질의 유체공급튜브(105)의 선단 확관부가 쉽게 찢어지는 현상이 발생하는 부담이 있어 유체공급튜브(105)의 끼움설치작업이 번다하고 까다로운 결함이 있었으며, 이와 같이 불안한 결합상태에서 체결캡너트(110)로 체결한 경우 기기나 주변의 진동이나 유체압에 견디지 못하고 유체공급튜브(105)의 위치가 변형되거나 찢어진 부위의 훼손이 더욱 진행되어 결국 연결부위의 기밀성을 상실하게 되고, 이에 따라 유체가 외부로 누출되는 현상이 나타나게 되어 이를 빈번하게 점검,보수하여 주어야 하는 불편이 있고, 심한 경우 피팅 (101)으로 부터 유체공급튜브(105)가 이탈되어 분리되는 현상이 야기되어 공급 유체가 화학약품인 경우 기기본체의 주변이나 제품에 심각한 악영향을 초래하게 되는등의 여러가지 문제점이 있었다.

또한, 상기와 같이 피팅(101)을 금속재로 사용하여 제조하는 경우 피팅(101)의 유체 유통로가 약품에 의하여 산화되거나 표면 부식이 일어나 유체의 물성이나 특성 변화를 야기하여 반도체 등과 같은 정밀을 요하는 가공기의 피팅으로는 그다지 바람직한 것이 되지 못하는 문제점도 나타나고 있었다

따라서 본 발명은 상기와 같은 이와 같은 제반 결함을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명은 정밀기기에 연결되는 유체공급튜브가 일단 체결되면 피팅으로 부터 이탈하는 현상을 베제하여 보다 견고하고 확실하게 체결시켜 유체의 누출 현상이나 유체의 변질을 방지하여 정밀기기에의 유체의 공급을 원활하고 안정되게 유지되게 하여 기기의 작업성을 안정시키고 생산성을 향상시켜 줄 수 있는 피팅을 제공함에 그 목적이 있는 것이다.

또한 본 발명은 피팅구조로 유체공급튜브를 체결함에 있어서도 유체공급튜브의 선단 개구부를 확장하는 별도의 작업과 공구를 사용하지 않고서도 작업장에서 피팅본체를 자체 조립하는 간편한 작업만으로도 유체공급튜브를 견고하고 확실하게 정밀기기에 체결시켜 줄 수 있게 함으로서 복잡한 배관상태의 유체공급튜브의 설치작업이나 보수 또는 교체작업을 신속하고 능률적으로 수행하여 튜브의 배관작업을 용이하게 수행할 수 있는 피팅을 제공함에 또 다른 목적이 있는 것이다.

또한 본 발명은 피팅본체를 유체공급튜브의 재질과 동일한 불소계수지인 PFA재질로 성형하여 형성함으로서 내산, 내알카리 등의 내약품성이 강하여 부식되는 현상이 방지하여 이로 인해 PFA재질의 튜브를 통하여 공급,유통되는 유체의 특성이나 물성의 변화를 방지하여 안정된 상태로 유체를 공급할 수 있게 되어 기기를 요구되는 최적의 안정된 상태로 동작시켜 기기의 효능을 향상시킬 수 있으며, 내열성이 비교적 커서 기기주변의 온도나 열에 충분히 견뎌 열변형에 의한 기밀성의 파괴 우려가 전혀 발생하지 않으므로서 반도체 가공기등과 같이 세심한 주의를 요하는 정밀기기의 유체공급라인에도 효과적으로 적용할 수 있는 내구성이 우수한 유체공급튜브 체결용 피팅을 제공 함에 또 다른 목적이 있으며, 또한 본 발명은 불소계수지인 PFA재질로 사출성형하여 후가공이 필요없는 하여 유지 보수가 매우 편리한피팅을 양산할 수 있게하여 균일한 양질의 피팅을 염가로 대량 제공할 수 있게 함에 또 다른 목적이 있는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 불소계수지인 PFA재질로 되고 내부 유통구의 대경의 유통구 일단에 안치홈을 형성하고 안치홈 전방에 결착돌기를 설하며 이 전방에 끼움설치홈을 형성한 본체와, 연질의 유체공급튜브의 선단 개구부에 끼움설치되어 피팅본체의 유통구내에 유체공급튜브의 끼움설치가 가능하게하고 유체공급튜브의 체결하기 위한 원통상의 체결수단과, 원통사의 체결수단 외측에 체결되어 유체공급튜브의 개구부를 피팅본체의 유통구 내주벽과 원통상의 체결수단사이에 견고히 삽착고정시켜 체결하기 위한 탄성와샤부재와, 이 외측에 끼움설치되어 유체공급튜브를 지지하기 위한 원통형 지지구를 구비하여서 되는 것으로, 이를 첨부한 도면에 의하여 그 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일부 절개 분해 사시도

도 2는 본 발명의 설치 조립상태의 단면도

도 3내지 도5는 본 발명의 체결상태를 나타낸 조립순서.

도 6의 (가)(나)도는 종래 피팅의 조립 상태 단면도

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1: 피팅본체 2: 나사부 3: 유통구 3a: 대경의 유통구

3b: 소경의 유통구 4: 안치홈 5: 체결돌기 6: 끼움설치홈

7: 체결수단 8: 제1체결지지부 8a: 경사부 8b: 체결돌기 안내홈

9: 제2체결지지부 9a: 경사면 10 탄성면 11:탄성와샤부재

11a: 탄성면 12: 원통형 지지구 12a: 걸림턱 12b: 경사면

12c: 탄성홈

즉 도 1은 본 발명의 일부 절개 사시도이고, 도 2는 본 발명의 설치상태 단면도이며, 도 3내지 도 5는 본 발명의 조립 순서를 나타낸 단면도이다.

도 1 및 도 3내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 피팅본체(1)는 내산성, 내알카리성 및 내열성이 강한 불소계수지인 PFA재질로 사출성형되며, 일측에 기기본체 (102)의 연결관(103)의 나사부와 결합되어 체결되기 위한 나사부(2)를 구비하고 있고, 내부에는 전,후방에 각각 대경의 유통구(3a)와 소경의 유통구(3b)로 분할 형성한 유통구(3)가 관통되어 구비되고, 대경의 유통구(3a)의 내측단에는 경사진 안치홈(4)이 형성되고, 안치홈(4)의 전방에는 체결돌기(5)가 내주면을 따라 돌출되어 형성되어 있으며 체결돌기(5)의 전방에는 끼움설치홈(6)이 형성되어 있다.

상기한 피팅본체(1)의 유통구(3)의 전방 대경의 유통구(3a)에는 유체공급튜브(105)의 선단 개구부에 끼움설치되는 PFA재질의 원통상의 체결수단(7)이 끼움설치된다.

원통상의 체결수단(7)은 피팅본체(1)의 대경의 유통구(3a)에 형성된 안치홈(4)과 결합되는 경사부(8a)를 후단에 형성하고 상기한 피팅본체(1)의 체결돌기(5)와 일치하는 부위에 체결돌기안내홈(8b)을 형성한 제1체결지지부(8)가 돌설되어 형성되고, 이 전방에는 선단에 경사면(9a)을 갖는 삼각돌기상의 제2체결지지부(9)를 형성하고 있다.

원통상의 체결수단(7)의 제1 및 제2체결지지부(8)(9)의 외경(R1)은 각각 피팅본체(1)의 대경의 유통구(3a) 내경(R2)보다 작게 형성되고 이간격은 바람직하게는 유체공급튜브(105)의 두께와 거의 동일하거나 약간 작은 상태로 하고 원통상의 체결수단 (7)의 체결돌기안내홈(8b)와 일치하는 피팅본체(1)의 체결돌기(5)는 이들의 간격만큼 돌출되게 하며, 원통상의 체결수단(7)의 제1, 제2체결지지부(8)(9)사이에는 이들 보다 얇은 두께를 갖는 탄성면(10)을 원주 길이 방향으로 형성하여 탄성을 갖고 신축자재하게 끼움설치되게 한다.

원통형 체결수단(7)의 제2체결지지부(9)에 형성된 선단 경사면(9a)의 직외방에 위치하는 피팅본체(1)의 끼움설치홈(6)에는 상기한 제2체결지지부(9)의 선단 경사면 (9a)과 동일한 기울기의 경사면(11a)과 탄성절결홈(11b)을 갖는 탄성와샤부재(11)가 끼움설치되고, 이 탄성와샤부재(11)의 외측에는 상기한 피팅본체(1)의 끼움설치홈(6)에 끼워져 설치되는 걸림턱(12a)을 선단부에 형성하고 내주면 선단에 피팅본체(1)의 선단 경사면(9a)과 같은 기울기를 갖는 경사면(12b)을 형성하고 외주연에 탄성홈(12c)을 복수개 형성한 원통형지지구(12)가 끼워져 설치된다.

상기한 피팅본체(1), 원통형 체결수단(7), 탄성와샤부재(11) 및 원통형지지 구(12)는 모두 내산,내알카리성 등 내약품성이 강하고 내열성이 우수한 불소계수지인 PFA재질로 사출성형하고 있어, 이들을 통해 유통되는 유체의 물성이나 특성에 의하여 피팅본체(1)의 내부유통구(3)가 산화, 부식되거나 용해되어 불순물이 용출되어 기기에 공급되는 유체의 오염이나 변성을 방지하게 된다.

이와 같이 구성의 본 발명을 도 3내지 도 5에 의거 그 조립상태를 설명한다.

먼저 연결하고져 하는 도 3에서와 같이 미리 피팅본체(1)의 대경의 유통구(3a)에 형성된 끼움설치홈(6)내에 탄성와샤부재(11)와 원통형 지지구(12)를 순차적으로 외부에서 강제로 밀어 끼움설치하면, 탄성와샤부재(11)와 원통형 지지구 (12)는 각각 형성된 탄성홈(11b),(12c)의 간격만큼 대경의 유통구(3a)에 의하여 탄력을 받아 압축되면서 진입하게 되고, 이와 같이 진입하여 탄성와샤부재(11)와 원통형 지지구(12)의 선단 걸림턱(12a)가 끼움설치홈(6)상에 위치하게 되면 압축되였던 탄성와샤부재(11)와 원통형 지지구(12)의 선단 걸림턱(12a)이 원상 복귀되어 외부로 이탈하는 사례없이 안치되게 된다(도 3 참조).

이와 같이 대경의 유통구(3a) 내에 탄성와샤부재(11)와 원통형 지지구(13)을 끼움설치하여 결합시킨 피팅본체(1)를 요구되는 소정의 기기본체(102)의 연결관(103)의 나사부에 나착하여 체결하고, 연결하기 위한 유체유통튜브(105)의 선단 개구부 (106)에 원통형 체결수단(7)를 끼움설치시켜 주는데, 이때 원통형 체결수단(7)을 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)에 끼움설치시킴에 있어 원통형 체결수단(7)의 선단 경사면(9a)이 형성된 제2체결지지부(9)를 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)측을 향하게 하여 삽입하여 밀어주면 유체공급튜브(105)의 내경과 거의 동일한 선단의 경사면(9a)에 의하여 원통형 체결수단(7)을 유체공급튜브(106)의 개구부(106)내에 완벽하고 확실하게 끼움설치시켜 주는데, 이때 원통형 체결수단(7)는 제2체결지지부 (9)선단의 경사면(9a)에 의하여 용이하게 끼워 설치할 수 있어 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)를 강제로 확관하지 않고서도 완벽하고 견고하게 끼워 결합하게 된다(도 4 참조).

이와 같이 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106) 내에 원통형 체결수단(7)의 제1 , 제2체결지지부(8)(9)에 감합되어 서로 결합되게 한 다음, 이를 피팅본체 (1)의 대경의 유통구(3a)에 삽입하여 밀어주면 원통형 체결수단(7)이 끼움설치된 유체공급튜브(105)의 선단 개구부(106)가 끼워져 설치되게 되는데, 이때 원통형 체결수단(7)의 제1 및 제2체결지지부 (8),(9)의 외경(R1)은 유체공급튜브(105)의 내경과 거의 동일하거나 약간 큰 상태로 되어 있고 대경의 유통구(3a)의 전방에 끼워져 있는 탄성와샤부재(11) 및 원통형 지지구(12)의 내경보다 약간 크게 형성되어 있으므로서 원통형 체결수단(7)의 외부에 감합된 유체공급튜브(105)가 피팅본체(1)의 대경의 유통구(3a)내에 끼워질 때 원통형 체결수단(7)의 선단 제1체결지지부(8)와 제2체결지지부(9)가 원통형 지지구(12) 및 탄성와샤부재(11)의 내주벽을 외측으로 압압하면서 진입하게 되어 원통형 지지구(12)의 선단 및 탄성와샤부재(11)를 탄성홈(12c) 과 (11b)에 의하여 끼움설치홈(6)으로 벌어지게 되면서 끼워지고 원통형 체결수단(7)의 제1체결지지부(8)의 체결돌기안내홈(8b)가 피팅본체(1)의 대경의 유통구(3a)에 서로 일치하여 결합되면 원통형 체결수단(7)의 제2체결지지부(9)의 경사면(9a)이 원통형 지지구(12)와 탄성와샤부재(11)의 경사면(12b) 및 (11a)의 전방에 위치하면, 탄성와샤부재(11)와 원통형 지지구(12)의 선단 걸림턱(12c)이 원상 복귀되어 원통형 체결수단(7)의 제2체결지지부(9)의 선단 경사면(9a)과 밀착되는 상태로 결합되어 탄성와샤부재(11)와 원통형 지지구(12)가 이탈되는 사례없이 견고하게 체결되어 유체공급튜브(105)를 압착 지지하게 되는데, 이때 체결수단(7)의 제2체결지지부(9)의 선단 경사면(9a)과 일치하는 탄성와샤부재(11) 및 원통형 지지구(12)에 형성된 경사면(11a)(12b)의 기울기가 동일하여 이 사이에 끼워져 설치되는 유체공급튜브(105)가 각각의 경사면(9a),(11b),(12b)사이에서 안정되게 밀착되어 유체공급튜브(105) 역시 외력이나 충격에 의하여 피팅본체(1)로 부터 이탈되는 현상없이 안정되고 견고히 체결되게 되며, 또한 유체공급튜브(105)가 비교적 넓은 원통형의 체결수단(7)의 제1체결지지부(8)와 제2체결지지부(8(9)의 선단 경사면(9a)과 탄성와샤부재(11) 및 원통형 지지구(12)의 경사면(11b)(12b)과 원통형 지지구(12)내주면에 의하여 보다 길게 삽착고정되어 압착되어 있으므로서 유체공급튜브(105)의 선단이 외부의 충격이나 외력에 의하여 피팅본체(1)로 부터 이탈하는 현상없이 견고하게 체결되어 체결 불안정으로 인한 유체의 누출 등의 현상을 완벽하게 방지하게 되는 것이다(도 5 참조).

이와 같이 상태에서 피팅본체(1) 내부에 흐르는 유체의 압이 과다히 상승하여 원통형 체결수단(7)의 내부가 팽창되는 경우에는 원통형 체결수단(7)의 제1 및 제2체결지지구(8)(9) 사이에 형성된 탄성면(10)에 의하여 외측으로 팽창하게 되는데 이때, 원통형 체결수단(7)의 제2체결지지구(9)의 경사면(9a)가 밀리더라도 이전방에 위치하는 탄성와샤부재(11) 및 원통형 지지구(12)의 경사면(11a) 및 선단 걸림턱(12a)와 경사면(12b)에 의하여 압압되면서 지지되게 되어 원통형 체결수단(7) 및 유체공급튜브(105)가 피팅본체(1)로 부터 이탈하는 현상이 방지되어 유체의 누출없이 견고한 상태를 유지하게 되는 것이다.

한편 상기의 설명에서는 유통구(3)가 1개 형성된 1자형의 피팅을 주로 설명하였으나 이에 국한되는 것이 아니고, 상기와 같은 유통구(3)가 1개의 피팅에 2개이상 복수로 형성된 L자형 T자형, 여러개의 분배관이 형성된 다양한 형태로 구성하여도 같은 기술의 범주임은 자명한 것이다.

이와 같은 본 발명은 미리 기기본체에 피팅본체에 탄성체결와샤를 끼움설치하여 고 외측에 다시 원통형 지지구를 끼움설치하여 준 다음 유체공급튜브의 선단 개구부내에 미리 체결수단을 끼움설치한 후 이를 피팅본체 내부의 유통구내에 끼움설치하여 결착시킬 수 있게 하여 별도의 공구를 사용하지 않고 자체 조립하는 작업만으로 유체공급튜브를 견고하고 확실하게 정밀기기에 체결시켜 줄 수 있게 함으로서 복잡한 배관상태의 튜브설치작업이나 보수 또는 교체작업을 신속하고 능률적으로 수행하여 튜브의 배관작업을 용이하게 수행하여 주는 간단한 작업으로 유체공급튜브를 기기에 연결시켜 줄 수 있게 되므로서 일반 기기는 물론 배관 설치 조건이 까다롭고 작업공간이 좁은 반도체 가공장치 등의 정밀기기에도 유체공급튜브의 배관 설치 작업을 간편하고 능률적으로 수행하여 줄 수 있으며, 일단 배관 작업 상태를 견고하고 확실하게 체결시켜 일단 작업이 완료된 후에는 유체공급튜브의 이탈이나 찢어지는 현상을 완벽하게 배제하여 유체의 누출 현상이나 유체의 변질을 방지하여 정밀기기의 작업을 안정되게 수행하여 정밀기기 등의 성능을 향상시켜 양품의 제품을 양산할 수 있어 생산성을 향상 시킬 수 있으며,, 또한 피팅본체를 공급, 유통튜브의 재질과 동일한 불소계수지인 PFA재질로 성형하여 형성함으로서 내산, 내알카리성등의 내약품성이 강하고 내열성이 우수하여 PFA재질의 튜브를 통하여 공급,유통되는 유체의 특성이나 물성변화를 방지하여 반도체 가공기등과 같이 세심한 주의를 요하는 정밀기기는 물론 다양한 분야의 유체공급라인에 효과적으로 적용할 수 있는 등의 여러가지 특징을 지닌 것이다.

Claims

불소계수지인 PFA재질로 되고 내부 유통구(3)의 일단에 안치홈(4)을 형성하고 안치홈 전방에 결착돌기(5)를 형성하며 이 전방에끼움설치홈(6)을 형성한피팅 본체(1)와, 연질의 유체공급튜브(105)의 선단 개구부에 끼움설치되어 피팅본체(1)의 유통구(3)내에 유체공급튜브(105) 끼워져 설치되게하여 유체공급튜브(105)의 체결하기 위한 체결수단(7)과, 체결수단(7) 외측에 체결되어 유체공급튜브(105)의 개구부(106)를 피팅본체(1)의 유통구(3)의 대경유통구(3a) 내주벽과 체결수단(7)사이에 견고히 삽착고정시켜 체결하기 위한 탄성와샤부재(11)와, 이 외측에 끼움설치되어 유체공급튜브(105)를 지지하기 위한 원통형 지지구(12)를 구비하여서 됨을 특징으로 하는 유체공급튜부 체결용 피팅.
제 1 항에 있어서,

일측에 나사부(2)를 구비하고 있고 내부에는 전후 방에 각각 대경의 유통구(3a)와 소경의 유통구(3b)로 분할 형성한 유통구(3)가 관통되어 구비되고 대경의 유통구(3a)의 내측단에는 경사진 안치홈(4)이 형성되고 이 전방에는 체결돌기(5)가 내주면을 따라 돌출되어 형성되고 체결돌기(5)의 전방에는 끼움설치홈(6)이 형성된 피팅본체(1)를 구비함을 특징으로 하는 유체공급튜부 체결용 피팅.
제 1 항에 있어서,

체결수단(7)은 일단에 피팅본체(1)의 대경의 유통구(3a)에 형성된 안치홈(4)와 결합되는 경사부(8a)를 후단에 형성하고 상기한 피팅본체(1)의 체결돌기(5)와 일치하는 부위에 체결돌기안내홈(8b)을 형성한 제1체결지지부(8)가 돌설되어 형성되고 이 전방에는 선단에 경사면(9a)을 갖는 삼각돌기상의 제2체결지지부(9)가 형성됨을 특징으로 유체공급튜부 체결용 피팅.
제 1 항에 있어서,

탄성와샤부재(11)는 체결수단(7)의 제2체결지지부(9)에 형성된 선단 경사면(9a)의 직외방에 위치하는 피팅본체(1)의 끼움설치홈(6)에 끼움설치되고, 상기한 제2체결지지부(9)의 선단 경사면(9a)과 동일한 기울기의 경사면(11a)과 탄성홈(11b)을 가짐을 특징으로 유체공급튜부 체결용 피팅.
제 1 항에 있어서,

원통형 지지구(12)는 상기한 피팅본체(1)의 끼움설치홈(6)에 끼움설치되는 걸림턱(12a)을 선단부에 형성하고 내주면 선단에는 피팅본체(1)의 선단 경사면(9a)과 같은 기울기를 갖는 경사면(12b)을 형성하고 외주연에 탄성홈(12c)을 복수개 형성함을 특징으로 하는 유체공급튜부 체결용 피팅.
제 1 항에 있어서,

피팅본체(1), 체결수단(7), 탄성와샤부재(11) 및 원통형지지구(12)는 모두 내산,내알카리성 내약품성이 강하고 내열성이 양호한 불소계수지인 PFA재질로 사출성형됨을 특징으로 하는 유체공급튜부 체결용 피팅.