KR102434385B1

KR102434385B1 - 수납 선반

Info

Publication number: KR102434385B1
Application number: KR1020180035764A
Authority: KR
Inventors: 다케시 아베; 다다히로 요시모토; 나오유키 요시카와
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2017-03-29
Filing date: 2018-03-28
Publication date: 2022-08-18
Also published as: CN108689066A; US20180282060A1; TW201840456A; US10836575B2; TWI748073B; JP2018167941A; CN108689066B; KR20180110625A; JP6794898B2

Abstract

수납 선반은, 각각 용기를 수납하는 복수의 수납부를 구비하고, 용기는, 그 바닥면에, 피지지부와 용기의 내부에 기체를 공급하기 위한 급기부를 구비하고, 또한 연직 방향에서 볼 때 피지지부와 급기부와의 사이에 용기의 중심이 위치하고, 복수의 수납부 각각은, 용기의 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지면을 형성하는 용기 지지체와, 급기부에 아래쪽으로부터 접촉하여 기체를 급기부로부터 용기의 내부에 공급하는 노즐과, 수납부에 수납된 용기의 측면에 접촉하여 용기의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 규제체를 구비하고, 용기가, 지지면과 노즐만으로 지지된다.

Description

수납 선반{STORAGE RACK}

본 발명은, 용기를 수납하는 수납부를 복수 구비한 수납 선반에 관한 것이다.

이러한 수납 선반의 일례가, 일본 공개특허 제2013―133193호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 수납 선반에서의 수납부의 각각에는, 용기를 지지하는 3개의 위치 결정 돌기(10b)를 가지는 탑재 지지부(10a)와, 용기의 내부에 기체(氣體)를 공급하기 위한 토출(吐出) 노즐(10i)을 구비하고 있다. 또한, 3개의 위치 결정 돌기(10b)는, 용기의 바닥부에 형성된 피걸어맞춤부에 걸어맞추어짐으로써, 용기를 지지하고, 또한 용기의 수평 방향으로의 이동을 규제하고 있다. 또한, 수납부에 수납된 용기의 급기구(給氣口)(51i)에 토출 노즐이 접촉되어 있고, 토출 노즐로부터 분출된 기체가 급기구(51i)로부터 용기의 내부에 공급되도록 되어 있다.

일본 공개특허 제2013―133193호 공보

그러나, 특허문헌 1의 수납 선반에서는, 탑재 지지부(10a)의 변형 등에 의해, 3개의 위치 결정 돌기(10b)의 높이에 오차가 생겼기 때문에, 수납부에 수납된 용기가 급기구(51i)에 대하여 경사지고, 용기의 급기구(51i)가 토출 노즐(10i)에 적절히 접촉하지 않게 됨으로써, 토출 노즐(10i)로부터 분출된 기체가 급기구(51i)로부터 용기의 내부에 적절히 공급되지 않을 가능성이 있다.

그래서, 용기의 내부에 기체를 적절히 공급하기 쉬운 수납 선반의 실현이 요구된다.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 수납 선반의 특징적 구성은, 각각 용기를 수납하는 복수의 수납부를 구비하고,

상기 용기는, 그 바닥면에, 피(被)지지부와 상기 용기의 내부에 기체를 공급하기 위한 급기부(給氣部)를 구비하고, 또한 상하 방향에서 볼 때 상기 피지지부와 상기 급기부와의 사이에 상기 용기의 중심(重心)이 위치하고, 복수의 상기 수납부 각각은, 상기 용기의 상기 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지면을 형성하는 용기 지지체와, 상기 급기부에 아래쪽으로부터 접촉하여 기체를 상기 급기부로부터 상기 용기의 내부에 공급하는 노즐과, 상기 수납부에 수납된 상기 용기의 측면에 접촉하여 상기 용기의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 규제체를 구비하고, 상기 용기가, 상기 지지면과 상기 노즐만으로 지지되는 점에 있다.

이들 특징적 구성에 의하면, 수납부에 수납된 용기의 급기부에는 노즐이 접촉하므로, 노즐로부터 분출된 기체를 급기부로부터 용기의 내부에 공급할 수 있다. 또한, 수납부에 수납된 용기는, 규제체에 접촉함으로써 수평 방향으로의 이동이 규제되어 있다.

그리고, 수납부에 수납된 용기는, 용기 지지체의 지지면과 노즐만으로 지지되어 있고, 용기의 중심은, 피지지부와 급기부와의 사이에 위치하고 있다. 그러므로, 용기의 하중(荷重; load)에 의해 용기의 급기부가 노즐에 가압되어, 급기부가 노즐에 밀착되므로, 노즐로부터 분출되는 기체를 급기부로부터 용기의 내부에 적절히 공급하기 쉬워지고 있다.

도 1은 물품 수납 설비의 측면도
도 2는 수납부의 평면도
도 3은 수납부의 측면도
도 4는 용기 지지체 및 노즐의 측면도
도 5는 자연 상태의 노즐을 나타낸 도면
도 6은 용기를 지지한 상태의 노즐을 나타낸 도면

1. 실시형태

수납 선반을 구비한 용기 수납 설비의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 수납 설비는, 용기(W)를 수납하는 수납부(1A)를 복수 구비한 수납 선반(1)과, 용기(W)를 반송(搬送; transport)하는 스태커 크레인(stacker crane)(2)과, 수납 선반(1)이나 스태커 크레인(2)이 설치되는 공간의 측 주위를 덮는 벽체(K)를 구비하고 있다.

또한, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 용기 수납 설비에는, 기체 공급 장치(3)가 구비되어 있다. 기체 공급 장치(3)는, 수납부(1A)에 수납되어 있는 용기(W)의 내부에, 기체로서의 클린 드라이 에어(이하, 드라이 에어라고 약칭함)를 공급하도록 구성되어 있다. 즉, 기체 공급 장치(3)에 의해 용기(W)의 내부에 공급되는 기체는, 수납부(1A)의 기체에 비해 습도가 낮은 기체로 되어 있다.

용기(W)는, 1개의 기판을 수납 가능하게 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 기판을 레티클(reticle)로 하고, 용기(W)를, 레티클을 수납하는 용기(W)로 하고 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 수납 설비는, 천정부(C)로부터 바닥부(F)를 향해 기체가 유동(流動)하는 다운플로우식(downflow type)의 청정실(S) 내에 설치되어 있다.

청정실(S)의 바닥부(F)는, 하부 바닥부(F1)와, 하부 바닥부(F1)보다 위쪽에 설치된 상부 바닥부(F2)를 구비하고 있다. 하부 바닥부(F1)는, 통기공을 가지지 않는 통기 불가능한 바닥이며, 상부 바닥부(F2)는, 통기공을 가지는 연직(沿直) 방향 Z로 통기 가능한 바닥이다.

청정실(S)의 천정부(C)는, 상부 천정부(C1)와, 상부 천정부(C1)보다 아래쪽에 설치된 하부 천정부(C2)에 의해 구성되어 있다. 상부 천정부(C1)는, 통기공을 가지지 않는 통기 불가능한 천정이며, 하부 천정부(C2)는, 연직 방향 Z로 통기 가능한 천정이다.

그리고, 도시하지 않은 송풍 장치의 작동에 의해, 상부 천정부(C1)와 하부 천정부(C2)와의 사이로 공기를 분출함으로써, 하부 천정부(C2)의 필터에 의해 정화된 공기(청정 공기)가, 청정실(S)로 배출되어, 청정실(S)을 천정부(C)로부터 바닥부(F)를 향해 아래쪽으로 유동하고, 그 후, 상부 바닥부(F2)를 통하여 하부 바닥부(F1)와 상부 바닥부(F2)와의 사이의 공간으로 유동한다.

이하, 용기(W), 및 물품 수납 설비의 각각의 구성에 대하여 설명하지만, 연직 방향 Z에서 볼 때, 수납 선반(1)과 스태커 크레인(2)이 배열되는 방향을 전후 방향 X로 하고, 전후 방향 X에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향 Y로 하여 설명한다. 또한, 전후 방향 X에 있어서, 수납 선반(1)에 대하여 스태커 크레인(2)이 존재하는 측을 전방 X1으로 하고, 그 반대측을 후방 X2로 하여 설명한다. 또한, 용기(W)에 대해서는, 용기(W)를 수납부(1A)에 수납한 상태에 기초하여 전후 방향 X 및 폭 방향 Y를 정의하여 설명한다.

그리고, 전후 방향 X가, 수평 방향에서의 지지부(25B)와 노즐(16)이 배열되는 방향인 배열 방향에 상당한다. 또한, 전방 X1가, 전후 방향 X에서의, 지지부(25B)에 대하여 노즐(16)이 존재하는 측인 제1 측에 상당하고, 후방 X2가, 제1 측의 반대측인 제2 측에 상당한다.

[용기]

도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(W)의 바닥면에는, 급기부(6)와 배기부(7)와 피지지부(8)가 구비되어 있다.

급기부(6)는, 기체 공급 장치(3)의 노즐(16)로부터 분출된 드라이 에어를 용기(W)의 내부에 공급하기 위한 부분이다. 급기부(6)에는, 급기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 급기부(6)는, 폭 방향 Y로 배열되는 상태로 한 쌍 구비되어 있고, 한 쌍의 급기부(6)는, 전후 방향 X와 같은 위치에 구비되어 있다.

배기부(7)는, 용기(W)의 내부의 기체를 용기(W)의 외부로 배기하기 위한 부분이다. 배기부(7)에는, 배기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 배기부(7)는, 폭 방향 Y로 배열되는 상태로 한 쌍 구비되어 있고, 한 쌍의 배기부(7)는, 전후 방향 X와 같은 위치에 구비되어 있다.

전후 방향 X에 있어서, 한 쌍의 급기부(6)의 양쪽은 용기(W)의 중심보다 전방 X1에 위치하고, 한 쌍의 배기부(7)의 양쪽은 용기(W)의 중심보다 후방 X2에 위치하고 있고, 급기부(6)와 배기부(7)와의 사이에 용기(W)의 중심이 위치하고 있다. 또한, 폭 방향 Y에 있어서, 한 쌍의 급기부(6)의 사이에 용기(W)의 중심이 위치하고, 한 쌍의 배기부(7)의 사이에 용기(W)의 중심이 위치하고 있다. 그리고, 용기(W)의 중심은, 용기(W)에 기판을 수납하고 있는지의 여부에 관계없이, 급기부(6)와 배기부(7)와의 사이에 위치하고 있다.

급기부(6)의 급기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 폐쇄 상태로 가압되고 있고, 급기부(6)에 기체 공급 장치(3)의 노즐(16)이 아래쪽으로부터 접촉된 상태에서, 그 노즐(16)로부터 드라이 에어가 분출되면, 그 분출된 드라이 에어의 압력에 의해 급기용 개폐 밸브가 개방되고, 드라이 에어가 급기부(6)로부터 용기(W)의 내부에 공급된다. 또한, 배기부(7)의 배기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 폐쇄 상태로 가압되어 있고, 기체 공급 장치(3)에 의한 드라이 에어의 공급에 의해 용기(W)의 내부의 압력이 높아지면 그 압력에 의해 배기용 개폐 밸브가 개방되고, 용기(W)의 내부의 기체가 배기부(7)로부터 배기된다.

피지지부(8)는, 용기(W)가 수납부(1A)에 수납된 경우에, 수납부(1A)의 용기 지지체(25)의 지지면(25A)에 의해 아래쪽으로부터 지지되는 부분이다. 그리고, 피지지부(8)는, 용기(W)의 바닥면에서의 후단(後端)에 위치하고 있고, 전후 방향 X에 있어서, 피지지부(8)는 용기(W)의 중심보다 후방 X2에 위치하고 있다. 또한, 폭 방향 Y에 있어서, 피지지부(8)는 용기(W)의 중심과 같은 위치에 위치하고 있다.

그러므로, 전후 방향 X에 있어서, 한 쌍의 급기부(6)와 피지지부(8)와의 사이에 용기(W)의 중심이 위치하고 있고, 폭 방향 Y에 있어서, 피지지부(8) 중 적어도 일부가, 한 쌍의 급기부(6)의 사이에 위치하고 있다.

[스태커 크레인]

도 1에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(2)은, 수납 선반(1)의 전방 X1을 주행 방향(폭 방향 Y)으로 주행하는 주행 캐리지(travel carriage)(9)와, 주행 캐리지(9)에 세워 설치된 마스트(mast)(10)와, 마스트(10)를 따라 승강하는 승강체(11)와, 승강체(11)에 지지되어 있는 이송탑재 장치(transfer device)(12)를 구비하고 있다.

이송탑재 장치(12)는, 주행 캐리지(9)가 주행함으로써 폭 방향 Y를 따라 이동하고, 승강체(11)가 승강함으로써 마스트(10)를 따라 연직 방향 Z로 이동한다. 또한, 상세한 설명은 생략하지만, 이송탑재 장치(12)에는, 용기(W)를 지지하는 지지대와, 상기 지지대를 전후 방향 X를 따라 이동시키는 링크 기구를 구비하고 있고, 이송탑재 장치(12)는, 자기(自己)와 수납부(1A)와의 사이에서 용기(W)를 이송탑재 가능하게 구성되어 있다.

[기체 공급 장치]

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 기체 공급 장치(3)는, 기체 공급원(도시하지 않음)에 접속된 기간(基幹) 배관(도시하지 않음)과, 이 기간 배관으로부터 분기되는 복수의 세로 배관(14)과, 각각의 세로 배관(14)으로부터 분기되는 복수의 분기(branching) 배관(15)을 구비하고 있다. 기체 공급원으로부터의 드라이 에어는, 기간 배관, 세로 배관(14), 분기 배관(15)의 순으로 유통(流通)하여, 각각의 수납부(1A)에 구비된 노즐(16)로부터 분출한다.

기간 배관은, 예를 들면, 최하단의 수납부(1A)보다 아래쪽에서, 폭 방향 Y를 따라 설치되어 있다. 복수의 세로 배관(14) 각각은, 기간 배관으로부터 위쪽을 향해 연장되도록 설치되어 있다. 복수의 분기 배관(15) 각각은, 세로 배관(14)으로부터 폭 방향 Y 및 전후 방향 X로 연장되도록 설치되어 있다. 분기 배관(15)의 선단에는, 노즐(16)이 접속되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 노즐(16)은, 통형(筒形)의 선단부(18)와, 선단부(18)보다 아래쪽에 위치하는 통형의 베이스부(19)를 구비하고 있다. 베이스부(19)는, 수납부(1A)의 용기 지지체(25)에 고정되어 있고, 선단부(18)는, 수납부(1A)에 수납된 용기(W)의 급기부(6)에 아래쪽으로부터 접촉한다.

베이스부(19)는, 선단부(18)에 이어지는 제1 베이스부(20)와, 가장 아래쪽에 위치하는 제2 베이스부(21)로 구성되어 있다.

선단부(18)와 베이스부(19)와의 각각은, 탄성 변형 가능한 재질(예를 들면, 합성 고무)에 의해 구성되어 있다. 또한, 선단부(18)와 베이스부(19)는 일체로 형성되어 있고, 선단부(18)와 베이스부(19)는 같은 재질로 구성되어 있다.

선단부(18)와 제1 베이스부(20)는, 외경(外徑)이 같으며, 제2 베이스부(21)는, 선단부(18) 및 제1 베이스부(20)보다 외경이 크다. 또한, 제1 베이스부(20)와 제2 베이스부(21)는, 내경(內徑)이 같으며, 선단부(18)는, 제1 베이스부(20) 및 제2 베이스부(21)보다 내경이 크다. 그러므로, 선단부(18)의 직경 방향 두께는, 베이스부(19)[제1 베이스부(20) 및 제2 베이스부(21)]의 직경 방향 두께보다 작아지게 되어 있다. 그리고, 선단부(18)의 직경 방향 두께가, 베이스부(19)의 직경 방향 두께보다 작으므로, 선단부(18)는, 베이스부(19)에 비해 탄성변형되기 쉽게 구성되어 있다. 또한, 선단부(18)는, 상방측으로 갈수록 직경 방향 두께가 작아지도록 되는 형상으로 형성되어 있다.

[수납 선반]

도 1에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(1)은, 서로 대향하는 상태로 한 쌍 설치되어 있다. 한 쌍의 수납 선반(1)의 각각에는, 연직 방향 Z 및 폭 방향 Y로 배열되는 상태로 수납부(1A)가 배치되어 있다. 한 쌍의 수납 선반(1)은, 설치되어 있는 방향이 상이한 것 이외에는 동일하게 구성되어 있다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(1)은, 수납부(1A)에 수납한 용기(W)를 아래쪽으로부터 지지하는 복수의 선반판(23)과, 복수의 선반판(23)을 캔틸레버형(cantilever fashion)으로 지지하는 선반 프레임(24)을 구비하고 있다.

선반판(23)은, 연직 방향 Z 및 폭 방향 Y로 배열되는 상태로 수납 선반(1)에 복수 구비되어 있다. 선반판(23)은, 폭 방향 Y에 인접하는 2개의 수납부(1A)에 대하여 2개 설치되어 있고, 선반판(23)의 폭 방향 Y의 크기는, 폭 방향 Y로 배열되는 2개의 용기(W)를 지지 가능한 크기로 형성되어 있고, 1개의 선반판(23)에 의해, 2개의 용기 지지체(25)가 형성되어 있다.

용기 지지체(25)는, 수납부(1A)에 수납되어 있는 용기(W)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지판(26)과, 선반 프레임(24)에 연결되는 연결부(27)를 구비하고 있다. 지지판(26)은, 전후 방향 X 및 폭 방향 Y로 연장되는 평판형으로 형성되어 있고, 지지판(26)에서의 위쪽을 향하는 면에 의해, 용기(W)의 피지지부(8)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지면(25A)이 형성되어 있다.

용기 지지체(25)에는, 복수의 규제체(28)와 한 쌍의 노즐(16)이 지지되어 있다.

복수의 규제체(28)는, 용기 지지체(25)의 지지면(25A)으로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 용기 지지체(25)에 고정되어 있다. 또한, 복수의 규제체(28)는, 수납된 용기(W)에 대하여 전후 방향 X의 양측 및 폭 방향 Y의 양측에 위치하도록, 연직 방향 Z에서 볼 때 수납부(1A)에 수납된 용기(W)와 중첩되지 않도록 설치되어 있다. 수납된 용기(W)는, 그 측면이 규제체(28)에 접촉함으로써 전후 방향 X나 폭 방향 Y로 이동하는 것이 규제되어 있다.

한 쌍의 노즐(16)은, 용기 지지체(25)의 지지면(25A)으로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 용기 지지체(25)에 고정되어 있다. 노즐(16)은, 수납부(1A)에 수납된 용기(W)에서의 급기부(6)에 대하여 연직 방향 Z에서 볼 때 중첩되는 위치에 설치되어 있다. 즉, 용기(W)가 수납부(1A)에 수납되면, 상기 용기(W)는, 급기부(6)에 노즐(16)이 아래쪽으로부터 접촉하고, 노즐(16)과 급기부(6)가 접속된다. 그리고, 급기부(6)에 노즐(16)이 접촉된 상태에서 노즐(16)로부터 드라이 에어가 분출되는 것에 의해, 급기부(6)로부터 용기(W)의 내부에 드라이 에어가 공급되고, 또한 용기(W)의 내부의 기체가 배기부(7)로부터 배기된다.

노즐(16)의 용기 지지체(25)에 대한 고정에 대하여 설명을 추가하면, 용기 지지체(25)에는, 분기 배관(15)의 선단을 용기 지지체(25)에 고정시키기 위한 고정체(29)가 구비되어 있고, 이 고정체(29)는, 지지판(26)의 하면에 연결된다. 그리고, 노즐(16)은, 용기 지지체(25)와 고정체(29)와의 사이에 제2 베이스부(21)가 연직 방향 Z로 끼워지는 상태로, 용기 지지체(25)에 고정되어 있다. 노즐(16)은, 선단부(18)의 전체 및 제1 베이스부(20)의 일부가 지지면(25A)보다 위쪽에 위치하고 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 선단부(18)에서의 용기(W)에 접촉되고 있는 접촉 영역의 전방 X1 측의 단부(端部)를 제1 단부(18A)로 하고, 접촉 영역의 후방 X2 측의 단부를 제2 단부(18B)로 하여, 노즐(16)이 자연 상태에서는, 제1 단부(18A)와 제2 단부(18B)는 같은 높이에 위치하고 있다.

이와 같이, 복수의 용기 지지체(25)의 각각에 노즐(16) 및 규제체(28)가 지지됨으로써, 복수의 수납부(1A)의 각각에는, 용기(W)의 피지지부(8)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지면(25A)을 형성하는 용기 지지체(25)와, 급기부(6)에 아래쪽으로부터 접촉하여 드라이 에어를 급기부(6)로부터 용기(W)의 내부에 공급하는 노즐(16)과, 수납부(1A)에 수납된 용기(W)의 측면에 접촉하여 용기(W)의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 규제체(28)가 구비되어 있다.

그리고, 수납부(1A)에 수납된 용기(W)는, 피지지부(8)만이 지지면(25A)에 접촉되고 있다. 즉, 수납부(1A)에 수납된 용기(W)는, 피지지부(8)가 지지면(25A)의 지지부(25B)에 접촉하고, 급기부(6)가 노즐(16)에 접촉함으로써 지지되어 있고, 상기 용기(W)는, 지지면(25A)과 노즐(16)만으로 지지되어 있다.

도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 수납부(1A)에 용기(W)를 수납하여 상기 용기(W)를 지지면(25A)과 노즐(16)만으로 지지한 상태에서는, 용기(W)의 하중에 의해, 노즐(16)은 아래쪽으로 압축되어 연직 방향의 길이가 짧아진다. 그러므로, 연직 방향 Z에서의, 지지면(25A)으로부터, 자연 상태의 선단부(18)의 상단(上端)까지의 거리를, 제1 연직 거리 H1로 하고, 연직 방향 Z에서의, 지지면(25A)으로부터, 용기(W)를 지지한 지지 상태의 노즐(16)의 상단까지의 거리를, 제2 연직 거리 H2로 한 경우, 제2 연직 거리 H2는, 제1 연직 거리 H1보다 짧아진다.

그리고, 용기(W)는, 수평인 면 상에 지지시켰을 때의 자세를 기준 자세로 한 경우, 지지면(25A)과 노즐(16)만으로 지지되어 있는 용기(W)는, 기준 자세와 비교하여 전방 X1 측의 부분이 들어올려진 경사 자세로 되어 있다. 그리고, 노즐(16)의 제1 단부(18A)가, 용기(W)를 지지한 지지 상태의 노즐(16)의 상단으로 되어 있다. 즉, 제2 연직 거리 H2는, 연직 방향 Z에서의, 지지면(25A)으로부터, 지지 상태의 노즐(16)에서의 제1 단부(18A)까지의 거리로 된다.

또한, 용기(W)는, 전술한 바와 같이 경사 자세로 되므로, 노즐(16)은, 제1 단부(18A) 측에 비해 제2 단부(18B) 측이 크게 아래쪽으로 압축된다. 그러므로, 연직 방향 Z에서의, 지지면(25A)으로부터, 지지 상태의 노즐(16)에서의 제2 단부(18B)까지의 거리를, 제5 연직 거리 H5로 한 경우, 제5 연직 거리 H5는, 제2 연직 거리 H2보다 짧아진다.

전후 방향 X에서의, 지지부(25B)로부터 제1 단부(18A)까지의 거리를, 제1 수평 거리 L1으로 하고, 전후 방향 X에서의, 제1 단부(18A)로부터 제2 단부(18B)까지의 거리를, 제2 수평 거리 L2로 하고, 연직 방향 Z에서의, 자연 상태의 선단부(18)의 상단으로부터 하단(下端)까지의 거리를, 제3 연직 거리 H3로 한다.

이 경우에는, 제3 연직 거리 H3는, H4=(L2/L1)×H2＋(H1―H2)로 표현되는 제4 연직 거리 H4보다 커지도록, 노즐(16)의 형상이나 노즐(16)을 구성하는 재질의 탄성 계수(係數)가 설정되어 있다. 그러므로, 제3 연직 거리 H3가, 노즐(16)에서의 용기(W)를 지지했을 때의 제2 단부(18B)의 하강량보다 크고, 용기(W)를 지지했을 때의 노즐(16)의 탄성 변형을 선단부(18)만으로 흡수 가능하게 되어 있다.

2. 그 외의 실시형태

다음에, 수납 선반의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.

(1) 상기 실시형태에서는, 노즐(16)의 선단부(18)와 베이스부(19)를 일체로 구성하였지만, 노즐(16)의 선단부(18)와 베이스부(19)를 별체로 구성해도 된다. 그리고, 노즐(16)의 선단부(18)와 베이스부(19)를 별체로 구성한 경우에는, 베이스부(19)를 알루미늄 등의 금속에 의해 구성하여, 노즐(16)의 선단부(18)와 베이스부(19) 중 선단부(18)만을 탄성 변형 가능하게 구성해도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 노즐(16)의 선단부(18) 및 베이스부(19)의 양쪽을 통형으로 형성하고, 선단부(18)의 직경 방향 두께를 베이스부(19)의 직경 방향 두께보다 작게 하였으나, 노즐(16)의 형상은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 선단부(18)의 직경 방향 두께와 베이스부(19)의 직경 방향 두께를 동일하게 해도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 제3 연직 거리 H3를, 제4 연직 거리 H4보다 크게 했지만, 예를 들면, 베이스부(19)를 탄성 변형되기 쉽게 하는 등에 의해, 제3 연직 거리 H3를, 제4 연직 거리 H4와 같거나, 또는 작게 해도 된다.

(4) 상기 실시형태에서는, 용기(W)를, 레티클을 수납하는 용기로 하였으나, 용기(W)는, 반도체 웨이퍼를 수납하는 FOUP 등의 다른 용기라도 된다. 또한, 용기(W)의 내부에 공급하는 기체를, 드라이 에어로 하였으나, 용기(W)의 내부에 공급하는 기체는, 드라이 에어 이외에, 예를 들면, 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성 기체라도 된다.

(5) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.

3. 상기 실시형태의 개요

이하, 상기에 있어서 설명한 수납 선반의 개요에 대하여 설명한다.

수납 선반은, 용기를 수납하는 수납부를 복수 구비하고,

상기 용기는, 그 바닥면에 피지지부와 상기 용기의 내부에 기체를 공급하기 위한 급기부를 구비하고, 또한 상하 방향에서 볼 때 상기 피지지부와 상기 급기부와의 사이에 상기 용기의 중심이 위치하고, 복수의 상기 수납부 각각은, 상기 용기의 상기 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지면을 형성하는 용기 지지체와, 상기 급기부에 아래쪽으로부터 접촉하여 기체를 상기 급기부로부터 상기 용기의 내부에 공급하는 노즐과, 상기 수납부에 수납된 상기 용기의 측면에 접촉하여 상기 용기의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 규제체를 구비하고, 상기 용기가, 상기 지지면과 상기 노즐만으로 지지된다.

이 구성에 의하면, 수납부에 수납된 용기의 급기부에는 노즐이 접촉하므로, 노즐로부터 분출된 기체를 급기부로부터 용기의 내부에 공급할 수 있다. 또한, 수납부에 수납된 용기는, 규제체에 접촉함으로써 수평 방향으로의 이동이 규제되고 있다.

그리고, 수납부에 수납된 용기는, 용기 지지체의 지지면과 노즐만으로 지지되어 있고, 용기의 중심은, 용기 지지체의 지지면과 노즐과의 사이에 위치하고 있다. 그러므로, 용기의 하중에 의해 용기의 급기부가 노즐에 가압되어, 급기부가 노즐에 밀착되므로, 노즐로부터 분출되는 기체를 급기부로부터 용기의 내부에 적절히 공급하기 쉬워지고 있다.

여기서, 상기 노즐에서의 상기 급기부에 접촉하는 선단부가, 탄성 변형 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 용기의 하중에 의해 용기의 급기부가 노즐에 가압되는 것에 의해, 노즐의 선단부가 탄성 변형된다. 그러므로, 노즐의 선단부의 형상이 급기부에 밀착되는 형상으로 되기 쉽고, 노즐로부터 분출되는 기체를 급기부로부터 용기의 내부에 적절히 공급하기 쉽다.

또한, 상기 노즐이, 통형의 상기 선단부와, 상기 선단부보다 아래쪽에 위치하는 통형의 베이스부를 구비하고, 상기 선단부의 직경 방향 두께가, 상기 베이스부의 직경 방향 두께보다 작은 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 선단부의 직경 방향 두께가, 베이스부의 직경 방향 두께보다 작으므로, 선단부와 베이스부를 같은 재질로 구성한 경우에 선단부를 베이스부에 비해 탄성변형되기 쉽게 할 수 있다. 즉, 선단부는, 비교적 탄성변형되기 쉽기 때문에, 노즐의 선단부의 형상이 급기부에 밀착되는 형상으로 되기 쉽다.

또한, 상기 노즐은, 통형의 상기 선단부와, 상기 선단부보다 아래쪽에 위치하는 통형의 베이스부를 구비하고, 상기 노즐이 상기 지지면으로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 상기 용기 지지체에 고정되고, 상기 지지면에서의 상기 용기의 상기 피지지부에 접촉하는 부분을 지지부로 하고, 수평 방향에서의 상기 지지부와 상기 노즐이 배열되는 방향을 배열 방향으로 하고, 상기 배열 방향에서의, 상기 지지부에 대하여 상기 노즐이 존재하는 측을 제1 측, 그 반대측을 제2 측으로 하고, 연직 방향에서의, 상기 지지면으로부터, 자연 상태의 상기 노즐의 상단까지의 거리를, 제1 연직 거리 H1로 하고, 연직 방향에서의, 상기 지지면으로부터, 상기 용기를 지지한 지지 상태의 상기 노즐의 상단까지의 거리를, 제2 연직 거리 H2로 하고, 상기 배열 방향에서의, 상기 지지부로부터, 상기 선단부에서의 상기 용기에 접촉되고 있는 접촉 영역의 상기 제1 측의 단부인 제1 단부까지의 거리를, 제1 수평 거리 L1으로 하고, 상기 배열 방향에서의, 상기 제1 단부로부터, 상기 접촉 영역의 제2 측의 단부인 제2 단부까지의 거리를, 제2 수평 거리 L2로 하고, 연직 방향에서의, 자연 상태의 상기 선단부의 상단으로부터 하단까지의 거리를, 제3 연직 거리 H3로 하고, 상기 제3 연직 거리 H3는, H4=(L2/L1)×H2＋(H1―H2)로 표현되는 제4 연직 거리 H4보다 큰 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 용기를 지지한 노즐의 선단부는, 연직 방향으로 압축되도록 탄성 변형된다. 그리고, 노즐이 탄성 변형됨으로써, 노즐이 탄성 변형되어 있지 않은 경우와 비교하여, 용기는, 제1 측의 단부가 하강하도록 경사진 자세로 된다. 그러므로, 용기를 지지한 노즐은, 그 제1 단부가, 제2 단부에 비해 크게 하강한다. 이 노즐의 제1 단부의 하강량과 노즐의 제2 단부의 하강량과의 차이인 하강량의 차이는, (L2/L1)×H2에 의해 구해진다. 또한, 제1 단부의 하강량은, H1―H2로 표현되고, 이 제1 단부의 하강량에, 전술한 하강량의 차이를 더함으로써, 노즐의 자연 상태로부터의 제2 단부의 하강량이 구해진다.

그리고, 자연 상태의 선단부의 상단으로부터 하단까지의 거리인 제3 연직 거리 H3가, 노즐의 가장 하강하는 부분으로 되는 제2 단부의 하강량보다 크다. 이와 같이 함으로써, 용기를 지지했을 때 노즐이 연직 방향으로 압축되도록 탄성 변형되지만, 이 노즐의 탄성 변형을 선단부만으로 흡수할 수 있고, 노즐의 베이스부를 변형시키지 않도록 용기를 지지할 수 있으므로, 노즐의 선단부를 급기부에 밀착시키기 쉽다.

[산업 상의 이용 가능성]

본 개시에 관한 기술은, 용기를 수납하는 수납부를 복수 구비한 수납 선반에 이용할 수 있다.

1: 수납 선반
1A: 수납부
6: 급기부
8: 피지지부
16: 노즐
18: 선단부
18A: 제1 단부
18B: 제2 단부
19: 베이스부
25: 용기 지지체
25A: 지지면
25B: 지지부
28: 규제체
H1: 제1 연직 거리
H2: 제2 연직 거리
H3: 제3 연직 거리
H4: 제4 연직 거리
L1: 제1 수평 거리
L2: 제2 수평 거리
W: 용기

Claims

각각 용기를 수납하는 복수의 수납부를 포함하고,
상기 용기는, 상기 용기의 바닥면에, 피(被)지지부와 상기 용기의 내부에 기체(氣體)를 공급하기 위한 급기부(給氣部)를 구비하고, 또한 상하 방향에서 볼 때 상기 피지지부와 상기 급기부 사이에 상기 용기의 중심(重心)이 위치하고,
복수의 상기 수납부 각각은, 상기 용기의 상기 피지지부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지면을 형성하는 용기 지지체와, 상기 급기부에 아래쪽으로부터 접촉하여 기체를 상기 급기부로부터 상기 용기의 내부에 공급하는 노즐과, 상기 수납부에 수납된 상기 용기의 측면에 접촉하여 상기 용기의 수평 방향으로의 이동을 규제하는 규제체를 구비하고,
상기 용기가, 상기 지지면과 상기 노즐만으로 지지되고,
상기 노즐에서의 상기 급기부에 접촉하는 선단부가, 탄성 변형 가능하게 구성되고,
상기 노즐이, 통형(筒形)의 상기 선단부와, 상기 선단부보다 아래쪽에 위치하는 통형의 베이스부를 구비하고,
상기 노즐이 상기 지지면으로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 상기 용기 지지체에 고정되고,
상기 지지면에서의 상기 용기의 상기 피지지부에 접촉하는 부분을 지지부로 하고,
수평 방향에서의 상기 지지부와 상기 노즐이 배열되는 방향을 배열 방향으로 하고, 상기 배열 방향에서의, 상기 지지부에 대하여 상기 노즐이 존재하는 측을 제1 측으로 하고, 그 반대측을 제2 측으로 하고,
연직(沿直) 방향에서의, 상기 지지면으로부터, 자연 상태의 상기 노즐의 상단(上端)까지의 거리를, 제1 연직 거리 H1로 하고,
연직 방향에서의, 상기 지지면으로부터, 상기 용기를 지지한 지지 상태의 상기 노즐의 상단까지의 거리를, 제2 연직 거리 H2로 하고,
상기 배열 방향에서의, 상기 지지부로부터, 상기 선단부에서의 상기 용기에 접촉되고 있는 접촉 영역의 상기 제1 측의 단부(端部)인 제1 단부까지의 거리를, 제1 수평 거리 L1으로 하고,
상기 배열 방향에서의, 상기 제1 단부로부터, 상기 접촉 영역의 상기 제2 측의 단부인 제2 단부까지의 거리를, 제2 수평 거리 L2로 하고,
연직 방향에서의, 자연 상태의 상기 선단부의 상단으로부터 하단(下端)까지의 거리를, 제3 연직 거리 H3로 하고,
상기 제3 연직 거리 H3는,
H4=(L2/L1)×H2＋(H1―H2)
로 표현되는 제4 연직 거리 H4보다 큰,
수납 선반.
제1항에 있어서,
상기 선단부의 직경 방향 두께가, 상기 베이스부의 직경 방향 두께보다 작은, 수납 선반.
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