TWI660903B - 物品搬送設備 - Google Patents

物品搬送設備 Download PDF

Info

Publication number
TWI660903B
TWI660903B TW104135447A TW104135447A TWI660903B TW I660903 B TWI660903 B TW I660903B TW 104135447 A TW104135447 A TW 104135447A TW 104135447 A TW104135447 A TW 104135447A TW I660903 B TWI660903 B TW I660903B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
article
container
support
transfer
lifting
Prior art date
Application number
TW104135447A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201623133A (zh
Inventor
Takeshi Abe
安部健史
Atsushi Fujiwara
藤原淳史
Original Assignee
Daifuku Co., Ltd.
日商大福股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co., Ltd., 日商大福股份有限公司 filed Critical Daifuku Co., Ltd.
Publication of TW201623133A publication Critical patent/TW201623133A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI660903B publication Critical patent/TWI660903B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)

Abstract

本發明之課題是提供防止物品從移載裝置掉落並且可易順暢地進行移載裝置所作之物品移載的物品搬送設備。物品搬送裝置包含有沿著上下方向升降移動之升降體、及支撐於升降體且在自身與移載對象處之間移載物品之移載裝置；移載裝置具有載置支撐物品且突出退離移動至突出位置與退離位置之支撐體、支撐體構造成具有於上下方向彈性變形自如之支撐構件而可以該支撐構件載置支撐物品，緩衝體以對載置支撐於支撐構件之物品往上方拉開設定距離之狀態具備於升降體。

Description

物品搬送設備 發明領域
本發明是有關於一種包含有在上下方向排列之複數個移載對象處之間搬送物品之物品搬送裝置的物品搬送設備。
發明背景
於日本專利公開公報平6-156628號(專利文獻1)記載有包含有在上下方向排列之複數個移載對象處之間搬送物品之物品搬送裝置的物品搬送設備之一例。此物品搬送裝置包含有沿著上下方向升降移動之升降體、支撐於此升降體而在自身與移載對象處之間移載物品之移載裝置。移載裝置具有載置支撐物品之支撐體、可使前述支撐體突出退離移動至朝前述移載對象處突出之突出位置及朝前述升降體退離之退離位置的突出退離用驅動裝置。
在專利文獻1之物品搬送設備中，於升降體具備有於上下方向彈性變形自如之緩衝體。該緩衝體位於載置支撐於叉裝置(9)之支撐構件之物品的上方。具體而言，該緩衝體於負載穩定器(11)與按壓板(15)之間具有彈簧(16a) 而構造成於上下方向彈性變形自如。又，緩衝體構造成可升降移動至對載置支撐於叉裝置(9)之支撐構件之物品從上方按壓的按壓位置、對載置支撐於叉裝置(9)之支撐構件之物品往上方拉開間隔之拉開間隔位置。
舉例而言，升降體升降移動之際，藉使緩衝體下降移動而位於按壓位置，可實現以緩衝體按壓物品之狀態。藉此，物品可不致從支撐構件浮起，而可減低物品從移載裝置落下之可能性。特別是升降體上升移動之途中緊急停止時，物品因朝上之慣性力而會從支撐構件浮起。然而，若以緩衝體從上方按壓物品時，可抑制該品之浮起。因而，使升降體緊急停止時，亦可減低物品從移載裝置掉落之可能性。又，使移載裝置之支撐構件突出退離移動而在與移載對象處之間移載物品時，可使緩衝體上升移動，位於退避位置，而使移載之物品不致與緩衝體干擾。
然而，在專利文獻1之物品搬送設備中，以移載裝置移載(交遞)物品前，為了解除緩衝體對物品之按壓，需使緩衝體上升移動至退避位置。又，藉移載裝置移載(收取)物品結束後，為了以緩衝體按壓物品，需使緩衝體下降移動至按壓位置。如此，由於在以移載裝置移載物品之前後，需使緩衝體升降移動，而有略為繁雜之操作。
發明概要
是故，要求防止物品從移載裝置掉落並且可易順 暢地進行移載裝置所作之物品移載的物品搬送設備。
1個態樣是有鑑於上述之物品搬送設備包含有在上下方向排列之複數個移載對象處之間搬送物品的物品搬送裝置，前述物品搬送裝置包含有沿著上下方向升降移動之升降體、及支撐於前述升降體且在自身與前述移載對象處之間移載物品之移載裝置；前述移載裝置具有載置支撐物品之支撐體、可使前述支撐體突出退離移動至朝前述移載對象處突出之突出位置及朝前述升降體退離之退離位置的突出退離用驅動裝置；前述支撐體構造成具有於上下方向彈性變形自如之支撐構件，而可以該支撐構件載置支撐物品，於上下方向彈性變形自如之緩衝體以對載置支撐於前述支撐構件之物品往上方拉開設定距離之狀態具備於前述升降體。
根據此結構，由於即使物品從支撐構件浮起時，該浮起之物品亦可被緩衝體擋住，故可防止物品浮起設定距離以上。如此，藉抑制物品從支撐構件浮起，可防止物品從支撐構件掉落。又，由於緩衝體構造成於上下方向彈性變形自如，故可抑制物品被緩衝體擋住時之衝擊。又，被緩衝體擋住之物品因重力而落下至支撐構件上，但由於擋住該物品之支撐構件構造成於上下方向彈性變形自如，故可抑制物品被支撐構件擋住時之衝擊。
又，緩衝體對載置支撐於支撐構件之物品往上方拉開設定距離。亦即，由於確保空間而使物品不致接觸緩 衝體，故以移載裝置移載物品時，即使不使緩衝體退避至上方，亦可一面避免物品與緩衝體之接觸，一面移載物品。如此，由於可防止物品浮起設定距離以上，而抑制物品從支撐構件掉落，且可在不使緩衝體升降移動下，以移載裝置移載物品，故可易順暢地進行移載裝置所作之物品之移載。
物品搬送設備之進一步之特徵及優點從參照圖式說明之實施形態之以下記載可清楚明白。
1‧‧‧收納部(移載對象處)
2‧‧‧物品收納架
3‧‧‧堆高式起重機(物品搬送裝置)
4‧‧‧入庫出庫輸送機
4a‧‧‧外部移載處
4b‧‧‧內部移載處(移載對象處)
5‧‧‧載置體
6‧‧‧容器本體部
7‧‧‧凸緣部
8‧‧‧底面凹部(凹陷部)
9‧‧‧定位構件(支撐構件)
10‧‧‧上表面凹部
12‧‧‧行走台車
12a‧‧‧行走用馬達
13‧‧‧柱
14‧‧‧升降體
14a‧‧‧升降用馬達
15‧‧‧移載裝置
16‧‧‧氮氣供給裝置
17‧‧‧支撐體
18‧‧‧連桿機構
19‧‧‧旋轉台
20‧‧‧突出退離用馬達(突出退 離用驅動裝置)
21‧‧‧旋繞用馬達
24‧‧‧基部構件
24a‧‧‧貫穿孔
25‧‧‧卡合部
25a‧‧‧插通孔
25b‧‧‧卡合支撐部
25c‧‧‧卡止部
26‧‧‧彈性部
27‧‧‧緩衝部
29‧‧‧緩衝體
30‧‧‧框體
B‧‧‧天花板搬送車
L1‧‧‧設定距離
L2‧‧‧插入長度
b‧‧‧支撐機構
H‧‧‧控制裝置
K‧‧‧壁體
S‧‧‧開關感測器
W‧‧‧容器(物品)
圖1是物品搬送設備之正面圖。
圖2是移載裝置之支撐體之部份切開立體圖。
圖3是顯示載置支撐有容器之定位構件之側視圖。
圖4是顯示從載置支撐有容器之狀態更縮短之定位構件的側視圖。
圖5是顯示停止在卸載用升降停止位置之升降體的正面圖。
圖6是顯示停止在撈取用升降停止位置之升降體的正面圖。
圖7是顯示上升中之升降體緊急停止時之容器的動作之圖(平常時)。
圖8是顯示上升中之升降體緊急停止時之容器的動作之圖(浮起時)。
圖9是顯示上升中之升降體緊急停止時之容器的動作之圖(反作用時)。
圖10是控制方塊圖。
用以實施發明之形態
以下，就物品搬送設備之實施形態，依據圖式說明。如圖1所示，物品搬送設備包含有具有複數個收納作為物品之容器W的收納部1之物品收納架2、搬送容器W之堆高式起重機3、包覆設置物品收納架2及堆高式起重機3之設置空間的壁體K、以貫穿壁體K之狀態配設而載置搬送容器W之入庫出庫輸送機4。
以隔著堆高式起重機3之柱13對向之狀態具備有1對物品收納架2。複數個收納部1以於上下方向及架寬度方向(垂直相交於圖1之紙面之方向)排列之狀態分別具備於1對物品收納架2。複數個收納部1分別具備有載置支撐所收納之容器W之載置體5。此外，於1對物品收納架2之其中一者(在圖1中位於右側之物品收納架2)具備有用以將作為惰性氣體之氮氣供至收納於收納部1之容器W的氮氣供給裝置16。
入庫出庫輸送機4構造成在位於壁體K之外側之外部移載處4a與壁體K之內側的內部移載處4b之間載置搬送容器W。對設置於高處之入庫出庫輸送機4之外部移載處4a，由天花板搬送車B進行容器W之裝卸，對設於低處之入庫出庫輸送機4之外部移載處4a，則由作業員進行容器W之裝卸。
當將容器W裝載於入庫出庫輸送機4之外部移載 處4a時，該容器W以入庫出庫輸送機4從外部移載處4a載置搬送至內部移載處4b，以堆高式起重機3從內部移載處4b搬送至收納部1(入庫)。反之，在物品搬送設備，當以堆高式起重機3將容器W從收納部1搬送至入庫出庫輸送機4之內部移載處4b時，該容器W以入庫出庫輸送機4從內部移載處4b載置搬送至外部移載處4a，以天花板搬送車B或作業員從外部移載處4a卸載(出庫)。如此，堆高式起重機3在內部移載處4b與收納部1之間搬送容器W。此外，內部移載處4b及收納部1相當於移載對象處，堆高式起重機3相當於在上下方向排列之複數個移載對象處之間搬送物品的物品搬送裝置。
如圖5及圖6所示，於容器W具備有收容複數片半導體基板之容器本體部6、位於此容器本體部6之上方且具備於容器W之上端部的凸緣部7、封閉形成於容器本體部6之前面的基板取出放入用基板出入口之裝卸自如的蓋體(圖中未示)。如圖5及圖6所示，堆高式起重機3構造成在載置支撐容器本體部6之底部的狀態下搬送容器W，如圖1所示，天花板搬送車B構造成在吊掛支撐凸緣部7之狀態下，搬送容器W。此外，在本實施形態中，將收容半導體基板之FOUP(Front Opening Unified Pod：前開式晶圓傳送盒)作為容器W(物品)。
如圖2、圖5及圖6所示，往上方凹陷之3個底面凹部8以放射狀具備於容器本體部6之底面(容器W之底面)。此底面凹部8形成越上方越細之尖細形狀，底面凹部8之內面 形成為傾斜面。此底面凹部8具備成將內部移載處4b或收納部1之容器W以堆高式起重機3之移載裝置15的支撐體17撈起時，具備於支撐體17之定位構件9從下方卡合。以移載裝置15之支撐體17撈起容器W時，當容器W對支撐體17往水平方向偏移時，具備於支撐體17之定位構件9以底面凹部8之內面引導。藉此，可將容器W對支撐體17之在水平方向的位置修正為適當之位置。此外，底面凹部8相當於在物品之下表面形成往上方凹陷之形狀的凹陷部。
如圖5及圖6所示，於凸緣部7之上表面(容器W之上表面)形成有往下方凹陷之上表面凹部10。此上表面凹部10形成為越下方越細之尖細形狀，上表面凹部10之內面形成為傾斜面。此上表面凹部10構造成在容器W載置於外部移載處4a之狀態下天花板搬送車B使支撐機構b下降移動時，卡合具備於支撐機構b之按壓部。又，如圖1所示，天花板搬送車B使支撐機構b下降移動時，當支撐機構b對載置支撐於載置台1a之容器W往水平方向偏移時，按壓部以上表面凹部10之內面引導。藉此，支撐機構b對容器W之在水平方向之位置可修正為適當之位置。此外，凸緣部7之上表面之上表面凹部10以外的部份形成為平坦之面。凸緣部7之上表面之上表面凹部10以外的部份相當於容器W之頂面。
如圖1所示，堆高式起重機3具有沿著架寬度方向在形成於一對物品收納架2之間之行走路徑行走的行走台車12、沿著直立設置於該行走台車12之柱13升降移動之升降體14、支撐於升降體14而在自身與收納部1及內部移載處 4b之間移載容器W之移載裝置15。堆高式起重機3構造成藉行走用馬達12a(參照圖10)之驅動，使行走台車12行走，藉升降用馬達14a(參照圖10)之驅動，使升降體14升降，及藉移載裝置15之作動，在內部移載處4b與收納部1之間搬送容器W。
如圖5及圖6所示，移載裝置15具有載置支撐容器W之支撐體17、使支撐體17沿著水平方向移動之連桿機構18、連結了連桿機構18之基部之旋轉台19、使連桿機構18伸縮而使支撐體17突出退離移動之突出退離用馬達20(參照圖10)、使旋轉台19繞縱軸心旋轉之旋繞用馬達21(參照圖10)。
藉突出退離用馬達20之驅動，使連桿機構18伸縮，藉此，支撐體17沿著突出退離方向移動。支撐體17藉如此沿著突出退離方向移動，可突出退離移動至朝升降體14退離之退離位置(在圖5及圖6中以實線顯示之位置)及朝收納部1突出之突出位置(在圖5及圖6中以假想線顯示之位置)。此外，突出退離用馬達20相當於使支撐體17突出退離移動至突出位置與退離位置之突出退離用驅動裝置。
又，藉旋繞用馬達21之驅動，使旋轉台19旋轉，而使支撐體17及連桿機構18繞縱軸心旋繞，藉此，可將移載裝置15之姿態切換為與一對物品收納架2中之一者對向之姿態及與另一者對向之姿態。藉如此切換移載裝置15之姿態，可將支撐體17突出之方向切換為一對物品收納架2中其中一物品收納架2所在之方向及另一物品收納架2所在之 方向。
接著，就控制堆高式起重機3之作動的控制裝置H作說明。堆高式起重機3支撐於在設置於地上之軌道上行走之行走台車12，而可於架寬度方向移動。對堆高式起重機3(行走台車12)就複數個收納部1及複數個內部移載處4b，分別預先設定訂定了在架寬度方向之位置的行走停止位置。又，對堆高式起重機3(移載裝置15)就複數個收納部1各個及複數個內部移載處4b分別預先設定訂定了在上下方向之位置的撈起用升降停止位置(參照圖6)。又，亦預先設定了設定量高於該撈起用升降停止位置之卸載用升降停止位置(參照圖5)。該等行走停止位置之資訊、撈起用升降停止位置之資訊及卸載用升降停止位置之資訊記憶於控制裝置H。
如圖6所示，在升降體14位於撈起用停止位置之高度的狀態下，支撐體17比載置體5低。如圖5所示，在升降體14位於卸載用停止位置之高度的狀態下，支撐體17比載置體5高。
控制裝置H以收納部1及內部移載處4b作為搬送端及搬送標的，當從上位之管理手段(圖中未示)下達將容器W從搬送端搬送至搬送標的之搬送指令時，便執行物品搬送控制。此物品搬送控制依撈起用移動控制、撈起用移載控制、卸載用移動控制、卸載用移載控制之順序執行。
在撈起用移動控制中，控制裝置H為了使行走台車12行走至對應搬送端之行走停止位置，而控制行走用馬 達12a之作動，為了使升降體14升降移動至對應搬送端之撈起用升降停止位置，而控制升降用馬達14a之作動。又，當移載裝置15之姿態不是與搬送端對向之姿態時，在撈起用移動控制中，控制裝置H為了使旋轉台19旋轉180°，而控制旋繞用馬達21之作動。
在撈起用移載控制中，控制裝置H使支撐體17突出至突出位置(在圖6以假想線顯示之狀態)後，使升降體14上升移動至對應搬送端之卸載用升降停止位置(在圖5以假想線顯示之狀態)，之後，為了使支撐體17退離至退離位置(在圖5以實線顯示之狀態)，而控制升降用馬達14a及突出退離用馬達20之作動。控制裝置H藉執行該等撈起用移動控制及撈起用移載控制，而將位於搬送端之容器W移載至支撐體17上。
如圖5所示，在卸載用移動控制中，為了使行走台車12行走至對應搬送標的之行走停止位置，而控制行走用馬達12a之作動，為了使升降體14升降移動至對應搬送標的之卸載用升降停止位置，而控制升降用馬達14a之作動。又，移載裝置15之姿態不是與搬送標的對向之姿態時，在卸載用移動控制中，為了使旋轉台19旋轉180°，而控制旋繞用馬達21之作動。
在卸載用移載控制中，使支撐體17突出至突出位置(在圖5以假想線顯示之狀態)後，使升降體14下降移動至對應搬送端之撈起用升降停止位置(在圖6以假想線顯示之狀態)，之後，為了使支撐體17退離至退離位置(在圖6以實 線顯示之狀態)，而控制升降用馬達14a及突出退離用馬達20之作動。控制裝置H藉執行該等卸載用移動控制及卸載用移載控制，而將位於移載裝置15之支撐體17上之容器W移載至搬送標的。
於壁體K具備有供作業員從外部進入堆高式起重機3行走之行走路徑的開關門(圖中未示)、及檢測該開關門之開關狀態的開關感測器S。控制裝置H構造成在執行物品搬送控制當中以開關感測器S檢測出開關門之開啟狀態時，依據該開關感測器S之檢測資訊，執行中斷物品搬送控制而使堆高式起重機3緊急停止之緊急停止控制。
又，堆高式起重機3如此緊急停止時，特別是在執行撈起用移動控制及卸載移動控制當中升降台在升降移動時，當堆高式起重機3緊急停止時，有容器W從移載裝置15掉落之可能性。為了防止此種掉落、緩和施加於容器W之衝擊，而對移載裝置15之定位構件9之構造下工夫，並且於移載裝置15具備有緩衝體29。具體而言，如圖3及圖4所示，在堆高式起重機3之移載裝置15中載置支撐容器W之定位構件9構造成於上下方向彈性變形自如。在本說明書中說明為「某物可於上下方向彈性變形」時，此是指該物之至少一部份在壓力下其形狀或尺寸可彈性地於上下方向變化。又，如圖5至圖9所示，緩衝體29具備成位於載置支撐於定位構件9之容器W的上方。以下，就該等定位構件9及緩衝體29作說明。
移載裝置15之支撐體17具有於上下方向彈性變 形自如之定位構件9，而構造成以該定位構件9載置支撐容器W。具體而言，如圖2所示，支撐體17具有連結於連桿機構18之前端部且藉突出退離用馬達20沿著突出退離方向突出退離移動之基部構件24、以從基部構件24朝上方突出之狀態支撐於基部構件24之作為支撐構件的定位構件9。定位構件9對應容器W之底面凹部8而具備於支撐體17之3處。
如圖3及圖4所示，定位構件9具有從下方卡合於容器W之底面凹部8之卡合部25、以於上下方向伸縮自如之狀態介於卡合部25與基部構件24之間的彈性部26、以於上下方向伸縮自如之狀態介於定位構件9與基部構件24之間的緩衝部27。卡合部25具有插通基部構件24之貫穿孔24a之插通部25a、位於基部構件24之上表面之上方且徑大於貫穿孔24a的卡合支撐部25b、位於基部構件24之下表面之下方且徑大於貫穿孔24a之卡止部25c。
又，彈性部26以在上下方向被壓縮之狀態具備於基部構件24之上表面與卡合支撐部25b的下表面之間，且以賦與卡合部25朝上方之勢能的狀態具備。此彈性部26以於上下方向層疊之複數片圓形簧構成。又，緩衝部27具備於基部構件24之下表面與卡止部25c的上表面之間，俾緩和彈性部26以賦與勢能力對基部構件24上升移動時之衝擊。此緩衝部27以環狀彈性構件(例如胺甲酸乙酯橡膠)構成。
如圖5至圖9所示，緩衝體29支撐於直立設置於升降體14之框體30，以對載置支撐於定位構件9之容器W往上方拉開設定距離L1之狀態具備於升降體14。如此具備之緩 衝體29與升降體14一體移動地具備於升降體14。緩衝體29形成薄板狀且以沿著水平方向之姿態具備。緩衝體29之下表面形成平坦面，且形成沿著容器W之頂面的形狀。此緩衝體29以比重較小之多孔質狀彈性構件(例如矽氧海綿)構成。
設定距離L1(參照圖7)設定成短於在定位構件9載置支撐容器W之狀態下卡合於底面凹部8之定位構件9中插入至底面凹部8之部分的上下方向之長度亦即插入長度L2(參照圖3)。此外，設定距離L1以容器W為最重之條件訂定，為FOUP時，以滿載半導體基板之狀態訂定。當容器W為最重之條件時，定位構件9最退離。因而，載置支撐於定位構件9之容器W之上端與緩衝體29的距離(對應設定距離L1)此時最長。在此狀態下，亦將設定距離L1訂定成滿足“L1<L2”。
此外，容器W為最輕之條件時，定位構件9比容器W為最重之條件時伸長。因而，載置支撐於定位構件9之容器W之上端與緩衝體29的距離(對應設定距離L1)此時最短。設定距離L1在此條件中亦訂定成容器W與緩衝體29拉開間隔。即，設定距離L1訂定成容器W為最輕之條件時，載置支撐於定位構件9之容器W的上端與緩衝體29拉開間隔，且容器W為最重之條件時，仍滿足““L1<L2”。
如上述，在定位構件9載置支撐於容器W之狀態下，容器W與緩衝體29距離設定距離L1。因而，移載裝置15使支撐體17突出退離移動至退離位置及突出位置時，載 置支撐於該支撐體17之容器W不接觸緩衝體29。
如此，在移載裝置15，載置支撐容器W之定位構件9構造成於上下方向彈性變形自如，且緩衝體29具備成位於載置支撐於此定位構件9之容器W之上方。因此，例如在升降體14上升移動之途中緊急停止時，便有以下之動作。
首先，藉撈起用移動控制及卸載用移動控制，升降台以一般之加減速度及一般之升降速度上升移動時，如圖7所示，容器W載置支撐於3個定位構件9。此時，於容器W與緩衝體29之間至少確保有設定距離L1之空間。此時，如圖3所示，3個定位構件9從伸最長之狀態形成為稍微縮短之狀態。
在此，執行緊急停止控制，以一般之減速度以上之減速度減速時，如圖8所示，容器W有因慣性而從定位構件9(支撐構件)浮起之可能性。此時，此浮起之容器W以緩衝體29擋住。因而，可抑制擋住容器W之衝擊，並且防止容器W從定位構件9掉落。此時，維持在3個定位構件9插入容器W之底面凹部8之狀態，而該等定位構件9形成為伸最長之狀態。如上述，設定距離L1訂定成滿足“L1<L2”。因而，即使浮起之容器W為以緩衝體29擋住之狀態，定位構件9仍可維持在插入底面凹部8之狀態。
之後，如圖9所示，藉緩衝體29之彈性力及重力，容器W從對定位構件9浮起之狀態形成為接觸定位構件9之狀態。亦即，浮起之反動是對定位構件9落下。此時，容器W由於以具有彈性力之定位構件9擋住，故可抑制反作用力 之衝擊。如此即使堆高式起重機3緊急停止，亦可抑制容器W從升降體14落下或浮起及回復之際對容器W施加強烈衝擊。
此外，容器W從定位構件9浮起是指比起從在容器W以定位構件9載置支撐之狀態下之定位構件9的下端(彈性部26之下端)至容器W之下端的上下方向之距離，從此定位構件9之下端(彈性部26之下端)至容器W之下端的上下方向之距離較長。因此，隨著容器W從定位構件9浮起，定位構件9往上方伸長，藉此，即使為容器W從定位構件9浮起之狀態，亦有定位構件9之卡合部25的上端部接觸容器W之底面凹部8之情形。
其他實施形態
(1)在上述實施形態中，顯示了以形成銷狀之定位構件9構成支撐構件之例子。然而，只要支撐構件具有載置支撐容器W之底面整面之板狀支撐板等等，以支撐構件載置支撐容器W之形態於上下方向彈性變形自如，亦可為其他形態。
(2)在上述實施形態中，例示了將設定距離L1設定成短於插入長度L2之形態。然而，設定長度L1可與插入長度L2相同或較長。
(3)又，設定距離L1依插入長度L2與定位構件9之上下方向之伸縮量設定。亦即，容器W從定件構件9浮起時，隨著容器W之浮起，定位構件9往上方伸長，亦可將設定距離L1設定成在浮起之容器W以緩衝體29擋住之狀態下， 浮起之容器W之底面凹部8之下端位於往上方伸長之定位構件9的上端之下方之距離。總之，設定距離L1為浮起之容器W接觸緩衝體29之距離即可，為了更適當地防止容器W之掉落，宜將設定距離L1設定為在浮起之容器W以緩衝體29擋住之狀態下定位構件9插入至底面凹部8之距離。
(4)又，在上述實施形態中，例示了下述形態，前述形態是將定位構件9之復原力設定為在以定位構件9載置支撐容器W時在定位構件9伸最長之狀態與縮最短之狀態之中間的狀態之力。然而，定位構件9之復原力亦可設定為以定位構件9載置支撐容器W時定位構件9伸取長之狀態或縮最短之狀態的力。
(5)在上述實施形態，將緩衝體29之形狀形成為沿著容器W之頂面的形狀，亦可將緩衝體29之形狀形成為具有嵌合於上表面凹部10之部份且沿著容器W之凸緣部7之上表面的形狀，或將緩衝體29之形狀形成為沿著容器W之容器本體部6之上表面之形狀等等，形成沿著物品之頂面以外之上表面的形狀。
(6)在上述實施形態中，以複數片圓形簧構成彈性部26，亦可以螺旋彈簧或矽氧海綿等其他彈性構件構成彈性體26。又，以矽氧海綿構成了緩衝體29，亦可以橡膠片或螺旋彈簧等其他彈性構件構成緩衝體29。又，在上述實施形態中，定位構件9具有基部構件24、卡合部25、彈性部26而將定位構件9構造成於上下方向伸縮自如，亦可以橡膠等彈性構件構成定位構件9全體而將定位構件9構造成於 上下方向伸縮自如。
(7)在上述實施形態中，物品為FOUP，物品亦可為貨櫃、紙箱等其他容器或容器以外之物。
以下，就在上述所說明之物品搬送設備之概要，簡單地說明。
1個態樣是包含有在上下方向排列之複數個移載對象處之間搬送物品的物品搬送裝置之物品搬送設備中，前述物品搬送裝置包含有沿著上下方向升降移動之升降體、及支撐於前述升降體且在自身與前述移載對象處之間移載物品之移載裝置；前述移載裝置具有載置支撐物品之支撐體、可使前述支撐體突出退離移動至朝前述移載對象處突出之突出位置及朝前述升降體退離之退離位置的突出退離用驅動裝置；前述支撐體構造成具有於上下方向彈性變形自如之支撐構件，而可以該支撐構件載置支撐物品，於上下方向彈性變形自如之緩衝體以對載置支撐於前述支撐構件之物品往上方拉開設定距離之狀態具備於前述升降體。
根據此結構，即使物品從支撐構件浮起時，亦可以緩衝體擋住該浮起之物品，故可防止物品浮起設定距離以上。如此藉抑制物品從支撐構件浮起，可防止物品從支撐構件掉落。又，由於緩衝體構造成於上下方向彈性變形自如，故可抑制物品以緩衝體擋住時之衝擊。又，雖然以緩衝體擋住之物品因重力而掉落至支撐構件上，但因擋住該物品之支撐構件構造成於上下方向彈性變形自如，故可抑制以支撐構件擋住物品時之衝擊。
又，緩衝體對載置支撐於支撐構件之物品往上方拉開設定距離。亦即，由於確保空間而使物品不致接觸緩衝體，故以移載裝置移載物品時，即使不使緩衝體退避至上方，亦可一面避免物品與緩衝體之接觸，一面移載物品。如此，可防止物品浮起設定距離以上，而抑制物品從支撐構件掉落，並且可在不使緩衝體升降移動下，以移載裝置移載物品，故可易順暢地進行移載裝置所作之物品的移載。
在此，前述支撐體宜具有藉前述突出退離用驅動裝置突出退離移動之基部構件，前述支撐構件以從前述基部構件朝上方突出之狀態具備於前述支撐體，該支撐構件具有從下方卡合於在物品之下表面形成往上方凹陷之形狀的凹陷部之卡合部、及以於上下方向伸縮自如之狀態介於該卡合部與前述基部構件之間而賦與前述卡合部往上方之勢能的彈性部。
根據此結構，介於卡合部與基部構件之間的彈性部於上下方向伸縮，藉此，支撐構件於上下方向彈性變形。因此，支撐構件之卡合部不需為於上下方向彈性變形之結構，藉將卡合部構成硬質而將該硬質之卡合部卡合於凹陷部來載置支撐物品，可易以支撐構件穩定地載置支撐物品。又，藉支撐構件之卡合部從下方卡合於凹陷部，可以支撐構件限制物品往水平方向之位置偏移，故此點也是可以支撐構件穩定地載置支撐物品。
又，前述設定距離宜設定成短於插入長度之長度， 前述插入長度是在前述支撐構件載置支撐物品之狀態下，卡合於前述凹陷部之前述卡合部中插入至前述凹陷部之部分的上下方向之長度。
根據此結構，由於設定距離設定成短於插入長度之長度，故物品從支撐構件浮起而該物品接觸緩衝體時，可維持包含上端之卡合部之一部分插入至凹陷部之狀態。因此，即使為物品從支撐構件浮起之狀態，藉包含上端之卡合部的一部份接觸凹陷部，可以支撐構件限制物品往水平方向之位置偏移，而可適當地防止物品從支撐構件掉落。
又，前述設定距離宜設定為當前述物品為最輕之條件時，載置支撐於前述支撐構件之前述物品之上端與前述緩衝體之下端拉開間隔，且即使前述物品為最重之條件時，也短於前述插入長度的長度。
物品為最輕之條件時，支撐構件(卡合部)比物品為最重之條件時伸長。因而，載置支撐於支撐構件之物品的上端與緩衝體之距離(對應設定距離)此時最短。設定距離在此條件也訂定成物品與緩衝體拉開間隔，藉此，即使物品輕，仍可於物品之上端與緩衝體之間確保間隙。又，如上述，由於設定距離設定成短於插入長度之長度，故物品從支撐構件浮起而該物品接觸緩衝體時，亦可維持卡合部之一部份插入至凹陷部之狀態。
又，前述緩衝體之下表面宜形成為沿著物品之上表面的形狀。
根據此結構，由於物品從支撐構件浮起時，物品之上表面以面接觸緩衝體之下表面而以緩衝體擋住物品之浮起，故可極力抑制以緩衝體擋住物品時之物品姿態的變化。
又，物品之頂面宜形成為平坦面，前述緩衝體形成板狀且以沿著載置支撐於前述支撐體之物品的頂面之姿態具備於前述升降體。
根據此結構，由於僅將形成板狀之緩衝體以載置支撐於支撐構件之物品之頂面的姿態具備於升降體即可，故可易形成緩衝體且可易設置緩衝體。

Claims (6)

  1. 一種物品搬送設備，包含有在上下方向排列之複數個移載對象處之間搬送物品的物品搬送裝置，在此，前述物品搬送裝置包含有沿著上下方向升降移動之升降體、及支撐於前述升降體且在自身與前述移載對象處之間移載物品之移載裝置；前述移載裝置具有載置支撐物品之支撐體、可使前述支撐體突出退離移動至朝前述移載對象處突出之突出位置及朝前述升降體退離之退離位置的突出退離用驅動裝置；前述物品搬送設備具有以下特徵：前述支撐體構造成具有於上下方向彈性變形自如之支撐構件，而可以該支撐構件載置支撐物品，於上下方向彈性變形自如之緩衝體，是以相對載置支撐於前述支撐構件之物品，往上方拉開設定距離之狀態而具備於前述升降體。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中前述支撐體具有藉前述突出退離用驅動裝置突出退離移動之基部構件，前述支撐構件以從前述基部構件朝上方突出之狀態具備於前述支撐體，該支撐構件具有從下方卡合於在物品之下表面形成往上方凹陷之形狀的凹陷部之卡合部、及以於上下方向伸縮自如之狀態介於該卡合部與前述基部構件之間而賦與前述卡合部往上方之勢能的彈性部。
  3. 如請求項2之物品搬送設備，其中前述設定距離設定成短於插入長度之長度，前述插入長度是在前述支撐構件載置支撐物品之狀態下，卡合於前述凹陷部之前述卡合部中插入至前述凹陷部之部分的上下方向之長度。
  4. 如請求項3之物品搬送設備，其中前述設定距離設定為當前述物品為最輕之條件時，載置支撐於前述支撐構件之前述物品之上端與前述緩衝體之下端拉開間隔，且即使前述物品為最重之條件時，也短於前述插入長度的長度。
  5. 如請求項1至4中任一項之物品搬送設備，其中前述緩衝體之下表面形成為沿著物品之上表面的形狀。
  6. 如請求項5之物品搬送設備，其中物品之頂面形成為平坦面，前述緩衝體形成板狀且以沿著載置支撐於前述支撐體之物品的頂面之姿態具備於前述升降體。
TW104135447A 2014-11-12 2015-10-28 物品搬送設備 TWI660903B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-230061 2014-11-12
JP2014230061A JP6435795B2 (ja) 2014-11-12 2014-11-12 物品搬送設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201623133A TW201623133A (zh) 2016-07-01
TWI660903B true TWI660903B (zh) 2019-06-01

Family

ID=55911659

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104135447A TWI660903B (zh) 2014-11-12 2015-10-28 物品搬送設備

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9969551B2 (zh)
JP (1) JP6435795B2 (zh)
KR (1) KR102463265B1 (zh)
CN (1) CN105584767B (zh)
TW (1) TWI660903B (zh)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6693356B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6766878B2 (ja) * 2016-10-18 2020-10-14 村田機械株式会社 スタッカクレーン
KR102247038B1 (ko) * 2017-10-30 2021-04-30 세메스 주식회사 호이스트 모듈의 위치 보정 방법
JP6819565B2 (ja) * 2017-12-21 2021-01-27 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP6879258B2 (ja) * 2018-04-03 2021-06-02 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6825604B2 (ja) * 2018-04-27 2021-02-03 株式会社ダイフク 物品搬送装置及び物品搬送設備
JP6835031B2 (ja) * 2018-04-27 2021-02-24 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6784277B2 (ja) * 2018-06-11 2020-11-11 村田機械株式会社 ストッカ及び搬送車システム
JP7003945B2 (ja) * 2019-02-22 2022-02-10 村田機械株式会社 移載装置及びスタッカクレーン
CN113727918B (zh) * 2019-05-13 2023-04-07 村田机械株式会社 高架输送车
JP2021035685A (ja) * 2019-08-30 2021-03-04 株式会社三井ハイテック 金属製品の払出装置及び金属製品の製造方法
JP2021046273A (ja) * 2019-09-17 2021-03-25 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP2023018160A (ja) * 2019-11-22 2023-02-08 村田機械株式会社 スタッカクレーン
JP2022101200A (ja) * 2020-12-24 2022-07-06 株式会社ダイフク 物品搬送車

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05301611A (ja) * 1992-04-27 1993-11-16 Nkk Corp シート材用立体自動倉庫
JPH06156628A (ja) * 1992-11-17 1994-06-03 Toyota Autom Loom Works Ltd スタッカクレーン
JPH0724813U (ja) * 1993-10-13 1995-05-12 村田機械株式会社 スライドフォークの荷ズレ防止装置
JP2001348104A (ja) * 2000-06-07 2001-12-18 Nippon Steel Corp 自動倉庫の出し入れ装置
JP2003128209A (ja) * 2001-10-30 2003-05-08 Murata Mach Ltd 搬送装置
JP2006049454A (ja) * 2004-08-03 2006-02-16 Asyst Shinko Inc ストッカ
JP2009137368A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Denso Corp 搬送台車
US20120315113A1 (en) * 2010-02-05 2012-12-13 Tokyo Electron Limited Substrate holder, substrate transfer apparatus, and substrate processing apparatus

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB651714A (en) * 1946-02-02 1951-04-11 Zach Lamar Cobb Material handling equipment
JPH0661330A (ja) * 1992-08-05 1994-03-04 Tokyo Electron Tohoku Ltd ウエハ処理装置のロードロック室構造
JPH0779098A (ja) * 1993-09-07 1995-03-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd プリント基板支持装置
JP3247616B2 (ja) * 1996-08-07 2002-01-21 鹿島建設株式会社 倉庫の床構造
JP3105831B2 (ja) * 1997-06-26 2000-11-06 日本電産リード株式会社 プリント基板検査装置のガイドピン部およびプリント基板検査装置のガイドピン固定方法
JP2004103924A (ja) * 2002-09-11 2004-04-02 Fuji Mach Mfg Co Ltd 回路基板保持装置および対回路基板作業機
JP2008195471A (ja) * 2007-02-09 2008-08-28 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
JP6156628B2 (ja) 2013-04-17 2017-07-05 株式会社Ihi 排煙脱硝装置及び排煙脱硝方法
KR102127113B1 (ko) * 2013-10-29 2020-06-29 삼성전자 주식회사 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법
JP6102759B2 (ja) * 2014-01-16 2017-03-29 株式会社ダイフク 物品搬送台車
JP6327124B2 (ja) * 2014-11-12 2018-05-23 株式会社ダイフク 物品搬送車

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05301611A (ja) * 1992-04-27 1993-11-16 Nkk Corp シート材用立体自動倉庫
JPH06156628A (ja) * 1992-11-17 1994-06-03 Toyota Autom Loom Works Ltd スタッカクレーン
JPH0724813U (ja) * 1993-10-13 1995-05-12 村田機械株式会社 スライドフォークの荷ズレ防止装置
JP2001348104A (ja) * 2000-06-07 2001-12-18 Nippon Steel Corp 自動倉庫の出し入れ装置
JP2003128209A (ja) * 2001-10-30 2003-05-08 Murata Mach Ltd 搬送装置
JP2006049454A (ja) * 2004-08-03 2006-02-16 Asyst Shinko Inc ストッカ
JP2009137368A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Denso Corp 搬送台車
US20120315113A1 (en) * 2010-02-05 2012-12-13 Tokyo Electron Limited Substrate holder, substrate transfer apparatus, and substrate processing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US9969551B2 (en) 2018-05-15
KR102463265B9 (ko) 2023-02-21
US20160130083A1 (en) 2016-05-12
KR102463265B1 (ko) 2022-11-03
KR20160056826A (ko) 2016-05-20
TW201623133A (zh) 2016-07-01
JP6435795B2 (ja) 2018-12-12
CN105584767A (zh) 2016-05-18
CN105584767B (zh) 2019-09-24
JP2016094264A (ja) 2016-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI660903B (zh) 物品搬送設備
US9536766B2 (en) Article transport carriage
KR20200050973A (ko) 반송차, 및 반송 설비
TWI670223B (zh) 物品搬送車
JP6171984B2 (ja) 物品支持装置
CN107804641B (zh) 物品输送装置
JP4378656B2 (ja) 物品搬送設備
JP2019018982A (ja) 搬送車及び搬送設備
WO2019017294A1 (ja) 搬送車及び搬送設備（ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｖｅｈｉｃｌｅ ａｎｄ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ｆａｃｉｌｉｔｙ）
CN107161703B (zh) 容器搬运设备
CN109230307B (zh) 物品搬运车
JP6477439B2 (ja) 物品搬送設備
KR102583574B1 (ko) 캐리지 로봇 및 이를 포함하는 타워 리프트
JP5267668B2 (ja) 移載装置
JP7527888B2 (ja) 制御装置、及び荷役システム
KR20220060485A (ko) 반송차
TW202430456A (zh) 保管棚架
JP2022102037A (ja) 昇降装置及び自動設備
JP2024088230A (ja) ピッキング装置、自動倉庫システム
JP2015202920A (ja) 物品搬送装置
JP2019085257A (ja) 搬送装置
JP2017193409A (ja) 容器支持棚