JP2018167941A - 収納棚 - Google Patents
収納棚 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018167941A JP2018167941A JP2017065323A JP2017065323A JP2018167941A JP 2018167941 A JP2018167941 A JP 2018167941A JP 2017065323 A JP2017065323 A JP 2017065323A JP 2017065323 A JP2017065323 A JP 2017065323A JP 2018167941 A JP2018167941 A JP 2018167941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- nozzle
- support
- distance
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 aluminum Chemical class 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0492—Storage devices mechanical with cars adapted to travel in storage aisles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67359—Closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D83/00—Containers or packages with special means for dispensing contents
- B65D83/14—Containers or packages with special means for dispensing contents for delivery of liquid or semi-liquid contents by internal gaseous pressure, i.e. aerosol containers comprising propellant for a product delivered by a propellant
- B65D83/28—Nozzles, nozzle fittings or accessories specially adapted therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/06—Storage devices mechanical with means for presenting articles for removal at predetermined position or level
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
- H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】容器Wを収納する収納部1Aを複数備え、容器Wは、その底面に被支持部8と容器Wの内部に気体を供給するための給気部6とを備えると共に、鉛直方向Zに見て被支持部8と給気部6との間に容器Wの重心が位置し、複数の収納部1Aの夫々は、容器Wの被支持部8を下方から支持する支持面25Aを形成する容器支持体25と、給気部6に下方から接触して気体を給気部6から容器Wの内部に供給するノズル16と、収納部1Aに収納された容器Wの側面に接触して容器Wの水平方向への移動を規制する規制体28と、を備え、容器Wを、支持面25Aとノズル6とのみで支持する。
【選択図】図4
Description
前記容器は、その底面に被支持部と前記容器の内部に気体を供給するための給気部とを備えると共に、上下方向に見て前記被支持部と前記給気部との間に前記容器の重心が位置し、複数の前記収納部の夫々は、前記容器の前記被支持部を下方から支持する支持面を形成する容器支持体と、前記給気部に下方から接触して気体を前記給気部から前記容器の内部に供給するノズルと、前記収納部に収納された前記容器の側面に接触して前記容器の水平方向への移動を規制する規制体と、を備え、前記容器が、前記支持面と前記ノズルとのみで支持される点にある。
そして、収納部に収納された容器は、容器支持体の支持面とノズルとのみで支持されており、容器の重心は、容器支持体の支持面とノズルとの間に位置している。そのため、容器の荷重により容器の給気部がノズルに押し付けられ、給気部がノズルに密着するため、ノズルから噴出される気体を給気部から容器の内部に適切に供給し易くなっている。
収納棚を備えた容器収納設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図1に示すように、容器収納設備は、容器Wを収納する収納部1Aを複数備えた収納棚1と、容器Wを搬送するスタッカークレーン2と、収納棚1やスタッカークレーン2が設置される空間の側周囲を覆う壁体Kと、を備えている。
容器Wは、1枚の基板を収容可能に構成されている。本実施形態では、基板をレチクルとし、容器Wを、レチクルを収納する容器Wとしている。
クリーンルームSの床部Fは、下床部F1と、下床部F1よりも上方に設置された上床部F2とを備えている。下床部F1は、通気孔を有さない通気不能な床であり、上床部F2は、通気孔を有する鉛直方向Zに通気可能な床である。
クリーンルームSの天井部Cは、上天井部C1と、上天井部C1よりも下方に設置された下天井部C2とにより構成されている。上天井部C1は、通気孔を有さない通気不能な天井であり、下天井部C2は、鉛直方向Zに通気可能な天井である。
そして、図外の送風装置の作動により、下床部F1と上床部F2との間に空気を噴出することで、下天井部C2のフィルタにより浄化された空気(清浄空気)が、クリーンルームSに排出されて、クリーンルームSを天井部Cから床部Fに向けて下方に流動し、その後、上床部F2を通って下床部F1と上床部F2との間の空間に流動する。
尚、前後方向Xが、水平方向における支持部25Bとノズル16とが並ぶ方向である並び方向に相当する。また、前方X1が、支持部25Bに対してノズル16が存在する方向である第一方向に相当し、後方X2が、第一方向の反対方向である第二方向に相当する。
図4に示すように、容器Wの底面には、給気部6と排気部7と被支持部8とが備えられている。
給気部6は、気体供給装置3のノズル16から噴出されたドライエアーを容器Wの内部に供給するための部分である。給気部6には、給気用開閉弁(図示せず)が備えられている。給気部6は、幅方向Yに並ぶ状態で一対備えられており、一対の給気部6は、前後方向Xで同じ位置に備えられている。
排気部7は、容器Wの内部の気体を容器Wの外部に排気するための部分である。排気部7には、排気用開閉弁(図示せず)が備えられている。給気部6は、幅方向Yに並ぶ状態で一対備えられており、一対の給気部6は、前後方向Xで同じ位置に備えられている。
そのため、前後方向Xにおいて、一対の給気部6と被支持部8との間に容器Wの重心が位置しており、幅方向Yにおいて、被支持部8の少なくとも一部が、一対の給気部6の間に位置している。
図1に示すように、スタッカークレーン2は、収納棚1の前方を走行方向(幅方向Y)に走行する走行台車9と、走行台車9に立設されたマスト10と、マスト10に沿って昇降する昇降体11と、昇降体11に支持されている移載装置12と、を備えている。
移載装置12は、走行台車9が走行することで幅方向Yに沿って移動し、昇降体11が昇降することでマスト10に沿って鉛直方向Zに移動する。また、詳細な説明は省略するが、移載装置12には、容器Wを支持する支持台と、当該支持台を前後方向Xに沿って移動させるリンク機構と、を備えており、移載装置12は、自己と収納部1Aとの間で容器Wを移載可能に構成されている。
図2及び図3に示すように、気体供給装置3は、気体供給源(図示せず)に接続された基幹配管(図示せず)と、この基幹配管から分岐する複数の縦配管14と、それぞれの縦配管14から分岐する複数の分岐配管15と、を備えている。気体供給源からのドライエアーは、基幹配管、縦配管14、分岐配管15の順に流通して、各収納部1Aに備えられたノズル16から噴出する。
基幹配管は、例えば最下段の収納部1Aよりも下方において、幅方向Yに沿って配設されている。複数の縦配管14のそれぞれは、基幹配管から上方に向かって延びるように配設されている。複数の分岐配管15のそれぞれは、縦配管14から幅方向Y及び前後方向Xに延びるように配設されている。分岐配管15の先端には、ノズル16が接続されている。
基部19は、先端部18に連なる第一基部20と、最も下方に位置する第二基部21と、で構成されている。
先端部18と基部19とは、弾性変形可能な材質(例えば合成ゴム)により構成されており、先端部18と基部19との夫々は、弾性変形可能に構成されている。また、先端部18と基部19とは一体形成されており、先端部18と基部19とは同じ材質で構成されている。
図1に示すように、収納棚1は、互いに対向する状態で一対設置されている。一対の収納棚1の夫々には、鉛直方向Z及び幅方向Yに並ぶ状態で収納部1Aが配置されている。一対の収納棚1は、設置されている向きが異なる以外は同様に構成されている。
棚板23は、鉛直方向Z及び幅方向Yに並ぶ状態で収納棚1に複数備えられている。棚板23は、幅方向Yに隣接する2つの収納部1Aに対して1つ設置されており、棚板23の幅方向Yの大きさは、幅方向Yに並ぶ2つの容器Wを支持可能な大きさに形成されており、1つの棚板23により、2つの容器支持体25が形成されている。
複数の規制体28は、容器支持体25の支持面25Aから上方に突出する状態で容器支持体25に固定されている。また、複数の規制体28は、収納された容器Wに対して前後方向Xの両側及び幅方向Yの両側に位置するように、鉛直方向Zにみて収納部1Aに収納された容器Wと重ならないように設置されている。収納された容器Wは、その側面が規制体28に接触することで前後方向Xや幅方向Yに移動することが規制されている。
図5に示すように、先端部18における容器Wに接触している接触領域の前方X1側の端部を第一端部18Aとし、接触領域の後方X2側の端部を第二端部18Bとして、ノズル16が自然状態では、第一端部18Aと第二端部18Bとは同じ高さに位置している。
そして、収納部1Aに収納された容器Wは、被支持部8のみが支持面25Aに接触している。つまり、収納部1Aに収納された容器Wは、被支持部8が支持面25Aの支持部25Bに接触し、給気部6がノズル16に接触することで支持されており、当該容器Wは、支持面25Aとノズル16とのみで支持されている。
また、容器Wは、上述の如く傾斜姿勢となるため、ノズル16は、第一端部18A側に比べて第二端部18B側が大きく下方に圧縮される。そのため、鉛直方向Zにおける、支持面25Aから、支持状態のノズル16における第二端部18Bまでの距離を、第五鉛直距離H5とした場合、第五鉛直距離H5は、第二鉛直距離H2より短くなる。
この場合は、第三鉛直距離H3は、H4=(L2/L1)×H2+(H1−H2)で表される第四鉛直距離H4より大きくなるように、ノズル16の形状やノズルを構成する材質の弾性係数が設定されている。そのため、第三鉛直距離H3が、ノズル16における容器Wを支持したときの第二端部18Bの下降量より大きく、容器Wを支持したときのノズル16の弾性変形を先端部18のみで吸収できるようになっている。
次に、収納棚のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した収納棚の概要について説明する。
前記容器は、その底面に被支持部と前記容器の内部に気体を供給するための給気部とを備えると共に、上下方向に見て前記被支持部と前記給気部との間に前記容器の重心が位置し、複数の前記収納部の夫々は、前記容器の前記被支持部を下方から支持する支持面を形成する容器支持体と、前記給気部に下方から接触して気体を前記給気部から前記容器の内部に供給するノズルと、前記収納部に収納された前記容器の側面に接触して前記容器の水平方向への移動を規制する規制体と、を備え、前記容器が、前記支持面と前記ノズルとのみで支持される。
そして、収納部に収納された容器は、容器支持体の支持面とノズルとのみで支持されており、容器の重心は、容器支持体の支持面とノズルとの間に位置している。そのため、容器の荷重により容器の給気部がノズルに押し付けられ、給気部がノズルに密着するため、ノズルから噴出される気体を給気部から容器の内部に適切に供給し易くなっている。
そして、自然状態の先端部の上端から下端までの距離である第三鉛直距離H3が、ノズルの最も下降する部分となる第二端部の下降量より大きい。このようにすることで、容器を支持したときにノズルが鉛直方向に圧縮されるように弾性変形するが、このノズルの弾性変形を先端部のみで吸収でき、ノズルの基部を変形させることなく容器を支持できるため、ノズルの先端部を給気部に密着させ易い。
1A:収納部
6:給気部
8:被支持部
16:ノズル
18:先端部
18A:第一端部
18B:第二端部
19:基部
25:容器支持体
25A:支持面
25B:支持部
28:規制体
H1:第一鉛直距離
H2:第二鉛直距離
H3:第三鉛直距離
H4:第四鉛直距離
L1:第一水平距離
L2:第二水平距離
W:容器
Claims (4)
- 容器を収納する収納部を複数備えた収納棚であって、
前記容器は、その底面に被支持部と前記容器の内部に気体を供給するための給気部とを備えると共に、上下方向に見て前記被支持部と前記給気部との間に前記容器の重心が位置し、
複数の前記収納部の夫々は、前記容器の前記被支持部を下方から支持する支持面を形成する容器支持体と、前記給気部に下方から接触して気体を前記給気部から前記容器の内部に供給するノズルと、前記収納部に収納された前記容器の側面に接触して前記容器の水平方向への移動を規制する規制体と、を備え、
前記容器が、前記支持面と前記ノズルとのみで支持される収納棚。 - 前記ノズルにおける前記給気部に接触する先端部が、弾性変形可能に構成されている請求項1に記載の収納棚。
- 前記ノズルが、筒状の前記先端部と、前記先端部より下方に位置する筒状の基部と、を備え、
前記先端部の径方向厚さが、前記基部の径方向厚さよりも小さい請求項2に記載の収納棚。 - 前記ノズルは、筒状の前記先端部と、前記先端部より下方に位置する筒状の基部と、を備え、
前記ノズルが前記支持面から上方に突出する状態で前記容器支持体に固定され、
前記支持面における前記容器の前記被支持部に接触する部分を支持部とし、
水平方向における前記支持部と前記ノズルとが並ぶ方向を並び方向とし、前記支持部に対して前記ノズルが存在する方向を第一方向、その反対方向を第二方向とし、
鉛直方向における、前記支持面から、自然状態の前記ノズルの上端までの距離を、第一鉛直距離H1とし、
鉛直方向における、前記支持面から、前記容器を支持した支持状態の前記ノズルの上端までの距離を、第二鉛直距離H2とし、
前記並び方向における、前記支持部から、前記先端部における前記容器に接触している接触領域の前記第一方向側の端部である第一端部までの距離を、第一水平距離L1とし、
前記並び方向における、前記第一端部から、前記接触領域の第二方向側の端部である第二端部までの距離を、第二水平距離L2とし、
鉛直方向における、自然状態の前記先端部の上端から下端までの距離を、第三鉛直距離H3とし、
前記第三鉛直距離H3は、
H4=(L2/L1)×H2+(H1−H2)
で表される第四鉛直距離H4より大きい請求項2又は3に記載の収納棚。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017065323A JP6794898B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 収納棚 |
CN201810258171.2A CN108689066B (zh) | 2017-03-29 | 2018-03-27 | 收纳架 |
TW107110675A TWI748073B (zh) | 2017-03-29 | 2018-03-28 | 收納架 |
KR1020180035764A KR102434385B1 (ko) | 2017-03-29 | 2018-03-28 | 수납 선반 |
US15/938,390 US10836575B2 (en) | 2017-03-29 | 2018-03-28 | Storage rack |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017065323A JP6794898B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 収納棚 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018167941A true JP2018167941A (ja) | 2018-11-01 |
JP6794898B2 JP6794898B2 (ja) | 2020-12-02 |
Family
ID=63672143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017065323A Active JP6794898B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 収納棚 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10836575B2 (ja) |
JP (1) | JP6794898B2 (ja) |
KR (1) | KR102434385B1 (ja) |
CN (1) | CN108689066B (ja) |
TW (1) | TWI748073B (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140360531A1 (en) * | 2013-06-05 | 2014-12-11 | Global Foundries, Inc. | Wafer carrier purge apparatuses, automated mechanical handling systems including the same, and methods of handling a wafer carrier during integrated circuit fabrication |
WO2015045583A1 (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | 村田機械株式会社 | 物品の支持装置及び支持装置への2種類の物品の載置方法 |
JP2016219537A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | 村田機械株式会社 | パージ装置及びパージストッカ |
WO2017022330A1 (ja) * | 2015-08-04 | 2017-02-09 | 村田機械株式会社 | パージ装置、パージストッカ、及びパージガスの供給方法 |
JP2017050518A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ノズルユニット |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5160541B2 (ja) * | 2006-06-19 | 2013-03-13 | インテグリス・インコーポレーテッド | レチクル保管庫をパージするためのシステム |
JP5815959B2 (ja) * | 2011-02-08 | 2015-11-17 | 近藤工業株式会社 | N2ガスパージ装置におけるノズルユニット |
JP5887719B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2016-03-16 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | パージ装置、ロードポート、ボトムパージノズル本体、ボトムパージユニット |
JP5598728B2 (ja) * | 2011-12-22 | 2014-10-01 | 株式会社ダイフク | 不活性ガス注入装置 |
JP5598729B2 (ja) * | 2011-12-26 | 2014-10-01 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5709011B2 (ja) | 2011-12-26 | 2015-04-30 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5557061B2 (ja) * | 2012-01-04 | 2014-07-23 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5716968B2 (ja) * | 2012-01-04 | 2015-05-13 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP5527624B2 (ja) * | 2012-01-05 | 2014-06-18 | 株式会社ダイフク | 保管棚用の不活性ガス注入装置 |
JP5598734B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2014-10-01 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP6131534B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2017-05-24 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | パージノズルユニット、ロードポート、載置台、ストッカー |
US9878353B2 (en) | 2012-08-21 | 2018-01-30 | Murata Machinery, Ltd | Stocker provided with purging functionality, stocker unit, and method for supplying cleaning gas |
JP5884780B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-03-15 | 株式会社ダイフク | 保管設備 |
JP5892113B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-03-23 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
JP6044467B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-12-14 | 株式会社ダイフク | 保管システム |
JP5888288B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-03-16 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備の検査装置 |
KR101802418B1 (ko) * | 2013-08-20 | 2017-11-28 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 가스 퍼지 장치와 가스 퍼지 방법 |
TWM482844U (zh) * | 2013-08-23 | 2014-07-21 | Gudeng Prec Ind Co Ltd | 氣壓閥件結構及應用彼之充氣座以及充氣櫃 |
TWM480159U (zh) * | 2013-12-20 | 2014-06-11 | Jun-Long Wu | 儲存匣置放平台之供氣設備 |
WO2015118775A1 (ja) | 2014-02-07 | 2015-08-13 | 村田機械株式会社 | ガス注入装置及び補助部材 |
JP6217598B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2017-10-25 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
JP6579067B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2019-09-25 | 株式会社ダイフク | 流量測定装置及び流量測定システム |
-
2017
- 2017-03-29 JP JP2017065323A patent/JP6794898B2/ja active Active
-
2018
- 2018-03-27 CN CN201810258171.2A patent/CN108689066B/zh active Active
- 2018-03-28 TW TW107110675A patent/TWI748073B/zh active
- 2018-03-28 KR KR1020180035764A patent/KR102434385B1/ko active IP Right Grant
- 2018-03-28 US US15/938,390 patent/US10836575B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140360531A1 (en) * | 2013-06-05 | 2014-12-11 | Global Foundries, Inc. | Wafer carrier purge apparatuses, automated mechanical handling systems including the same, and methods of handling a wafer carrier during integrated circuit fabrication |
WO2015045583A1 (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | 村田機械株式会社 | 物品の支持装置及び支持装置への2種類の物品の載置方法 |
JP2016219537A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | 村田機械株式会社 | パージ装置及びパージストッカ |
WO2017022330A1 (ja) * | 2015-08-04 | 2017-02-09 | 村田機械株式会社 | パージ装置、パージストッカ、及びパージガスの供給方法 |
JP2017050518A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ノズルユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180282060A1 (en) | 2018-10-04 |
KR102434385B1 (ko) | 2022-08-18 |
US10836575B2 (en) | 2020-11-17 |
JP6794898B2 (ja) | 2020-12-02 |
TW201840456A (zh) | 2018-11-16 |
TWI748073B (zh) | 2021-12-01 |
KR20180110625A (ko) | 2018-10-10 |
CN108689066A (zh) | 2018-10-23 |
CN108689066B (zh) | 2021-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6021046B2 (ja) | パージ機能を備えたストッカと、ストッカユニット | |
TWI660903B (zh) | 物品搬送設備 | |
JP4754885B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP6460015B2 (ja) | 容器搬送設備 | |
JP6693356B2 (ja) | 物品搬送装置 | |
US10453724B2 (en) | Apparatus for storing and handling article at ceiling | |
JP2007335556A (ja) | 搬送システム | |
JP2017095183A (ja) | 搬送設備 | |
WO2016035480A1 (ja) | 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置 | |
JP6540221B2 (ja) | パージ装置及びパージストッカ | |
JP2018167941A (ja) | 収納棚 | |
KR102247041B1 (ko) | 크레인 어셈블리 및 이를 포함하는 스토커 | |
JP2005145713A (ja) | 基板の搬送装置 | |
KR20220022617A (ko) | 캐리어 저장 장치 | |
JP2020132367A (ja) | 物品搬送設備 | |
JP2009012965A (ja) | ストッカ装置 | |
JP2017193409A (ja) | 容器支持棚 | |
JP2017186161A (ja) | 容器収納設備 | |
JP2017195279A (ja) | 容器支持棚 | |
JP2012084715A (ja) | 基板の撓み補正装置および基板の取り出し方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200117 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200707 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200914 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20200914 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20200923 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20200929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201013 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201026 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6794898 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |