JP7363066B2 - ロードポート装置および容器の載置方法 - Google Patents

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Description

本発明は、基板を収容する容器を載置するロードポート装置及び容器の載置方法に関する。
半導体工場などでは、シリコンウエハなどの基板が収容された容器を用いることにより、工場内において基板の搬送・保管を行う。容器内は密閉されているが、収容した基板から発生するアウトガスや、密閉部分からのリークやガス透過により、容器内の清浄度が低下する場合がある。
そこで、近年、半導体工場内において容器を受け渡すロードポート装置として、容器の底部からガスパージを行うパージノズルを備えるものが提案されている。パージノズルを備えるロードポート装置は、容器の底部に備えられるパージポートにパージノズルを接続し、パージノズルを介して容器内に清浄化ガスを導入することができる。
特開２０１１－１８７５３９号公報
しかしながら、従来のロードポート装置では、容器を載置部に固定した後、パージノズルを上昇させることにより、容器のパージポートにパージノズルを接続させる。このようなロードポート装置では、パージノズルを上下動させる必要があるため、容器内に導入する清浄化ガスの流路に、可動部分で発生したパーティクルが流入するという問題が生じ得る。また、パージノズルをパージポートに接続する際、パージノズルがパージポートに対して過度に強く衝突すると、容器の摩耗が進行することにより耐久寿命が短くなったり、清浄化ガスの流路周辺にパーティクルを発生させてしまうなどの問題が発生する。
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、清浄化ガスの流路周辺でのパーティクルの発生を防止できるパージノズルを備えるロードポート装置を提供する。
上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
基板を収容する容器を載置する載置部と、
前記載置部に載置された前記容器の内部に、前記容器の底部に設けられるパージポートを介して清浄化ガスを導入するパージノズルと、
前記容器の前記底部の所定位置に接触して前記容器を下方から支持する複数のピンと、を有し、
前記ピンは、第１の位置と、前記第１の位置より前記ピンの上先端が低い位置にある第２の位置と、の間で、前記載置部に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記第１の位置にある前記ピンの前記上先端は、前記載置部に固定された前記パージノズルに対して前記パージポートが上方に離間した状態で、前記容器の前記所定位置に接触し、
前記第２の位置にある前記ピンの前記上先端は、前記パージノズルに対して前記パージポートが接触した状態で、前記容器の前記所定位置に接触する。
本発明に係るロードポート装置は、容器を支えるピンが第１の位置と第２の位置の間で可動することにより、パージノズルが載置部に対して固定されているにもかかわらず、パージノズルとパージポートとを適切に接続することができる。また、ＯＨＴ等によってロードポート装置に搬送される容器は、最初に第１の位置にあるピンに接触するため、パージノズルがパージポートに対して過度に強く衝突する問題を防止できる。また、本発明に係るロードポート装置は、パージノズルが載置部に対して固定されているため、パージノズルの流路周辺に可動により摩耗する部分を無くすことができるので、容器内に導入する清浄化ガスの流路にパーティクルが流入する問題を防止できる。
また、たとえば、前記載置部と前記パージノズルと前記第２の位置にある前記ピンとを、前記載置部、前記パージノズル及び前記ピンの位置関係を維持した状態で、水平方向に移動させる水平駆動部を有してもよい。
このような水平駆動部を有するロードポート装置は、パージノズルから容器への清浄化ガスの導入を続けながら、容器をＥＦＥＭなどにドックしたり、容器から基板を搬出したりすることが可能である。
また、たとえば、本発明に係るロードポート装置は、前記ピンを、前記第２の位置から前記第１の位置へ向かう方向へ付勢する付勢部材を有してもよい。
このような付勢部材を有するロードポート装置は、容器が載置部に載置されていない状態では、自動的にピンを第１の位置に位置させることができる。また、付勢部材は、パージノズルとパージポートが強く衝突する問題を防止したり、パージノズルとパージポートとの接触強度を調整したりすることができる。また、付勢部材は、ピンと容器とが接触した際に収縮することにより、ピンと容器とが強く衝突する問題も防止できる。
また、たとえば、本発明にかかるロードポート装置は、前記ピンを前記第１の位置と前記第２の位置との間で移動させるピン駆動部を有してもよい。
このようなピン駆動部を有するロードポート装置は、ピンの上下動を制御することにより、パージノズルとパージポートが強く衝突する問題を防止したり、パージノズルとパージポートとの接触強度を調整したりすることができる。また、載置される容器の重量に応じてピンの上下動を制御することなどにより、パージノズルとパージポートとの接触強度をより適切な状態に調整することができる。
また、たとえば、前記載置部は、前記載置部に載置された前記容器の前記底部に対向する載置部上面を有してもよく、
前記ピンと前記パージノズルとは、前記載置部上面から上方に突出しており、前記第１の位置にある前記ピンの前記上先端は、前記パージノズルの上端より高い位置にあってもよい。
ピンの上先端、パージノズルの状態および載置部上面がこのような位置関係にあるロードポート装置は、容器を適切な姿勢で容易に載置部に載置させることができ、パージノズルとパージポートとを好適に接続できる。
また、たとえば、前記第１の位置にある前記ピンは、前記容器の前記底部が前記パージノズルの上端に対して上方に離間して位置するように、前記容器を下方から支持してもよい。
このようなロードポート装置は、容器がピンに接触した直後などにおいて、パージノズルとパージポートが予期しない強さで接触することを防止し、容器のパージポートや載置部のパージノズルが損傷する問題を確実に防止できる。
また、たとえば、前記載置部は、前記載置部に載置された前記容器の前記底部に対向する載置部上面を有してもよく、
前記パージノズルは、前記パージノズルの上端が前記載置部上面から所定長さ上方に突出するように、前記載置部に固定されていてもよい。
このようなロードポート装置は、ピンの可動に連動して容器の底部の位置が変わる動きにより、パージノズルとパージポートとを好適に接続できる。
また、たとえば、前記載置部は、前記ピンの下方向への移動を、前記第２の位置で停止させるストッパを有してもよい。
このようなストッパを有することにより、パージノズルとパージポートとが接続している状態における容器の位置（高さ）を、容易に一定とすることができる。そのため、このようなロードポート装置では、パージノズルによる清浄化ガスの導入を行いながら、容器内の基板の搬出動作を行う動作などを、容易に行うことができる。
また、たとえば、前記パージノズルは、前記パージノズルと前記パージポートとの接触を検出する第１検出部を有してもよい。
このようなロードポート装置は、第１検出部によってパージノズルとパージポートとの確実な接続を検出することができるので、パージノズルとパージポートとの接続が不完全な状態で清浄化ガスの導入を開始することによって清浄化ガスが流路外へ漏出する問題を防止できる。
また、たとえば、前記ピンは、前記ピンと前記容器の前記所定位置との接触を検出する第２検出部を有してもよい。
第２検出部がピンと容器との接触を検出することにより、容器が正しくピンに支持されているか否かを確認することができ、容器の載置不良などを防止することができる。
また、たとえば、前記載置部は、前記ピンの水平方向への移動を制限して前記ピンの上下方向の相対移動をガイドするガイド部を有してもよい。
載置部がこのようなガイド部を有するロードポート装置では、ピンの上下方向の動きをより円滑に行うことができるため、容器の載置およびパージノズルとパージポートの接続を、より確実に行うことができる。
また、たとえば、少なくとも３本の前記ピンを有してもよく、前記載置部に対する前記容器の水平方向の相対位置は、前記第１の位置にある前記ピンに前記容器が接触する状態と、前記第２の位置にある前記ピンに前記容器が接触する状態とで、変化しなくてもよい。
このようなピンは、容器を載置部に対して位置決めするキネマティックピンとして好適に機能する。
また、本発明に係る容器の載置方法は、容器を載置する載置部と、前記容器の底部に設けられるパージポートを介して前記容器の内部に清浄化ガスを導入するパージノズルと、前記容器の前記底部の所定位置に接触して前記容器を下方から支持する複数のピンと、を有するロードポート装置に、基板を収容する前記容器を載置する容器の載置方法であって、
第１の位置にある前記ピンの上先端が、前記載置部に固定されたパージノズルに対して前記容器の前記パージポートが上方に離間した状態で、前記容器の前記所定位置に接触するステップと、
前記ピンの前記上先端が前記容器の前記所定位置に接触した状態で、前記ピンが、前記第１の位置から下方へ移動するステップと、
前記第１の位置より下方である第２の位置にある前記ピンの前記上先端が前記容器の前記所定位置に接触した状態で、前記パージノズルに対して前記パージポートが接触するステップと、を有する。
このような容器の載置方法によれば、パージノズルが載置部に対して固定されていても、パージノズルがパージポートに対して過度に強く衝突する問題を防止し、パージノズルとパージポートとを適切に接続することができる。パージノズルが載置部に対して固定されているため、容器内に導入する清浄化ガスの流路にパーティクルが流入する問題を防止できる。
図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置を備えるＥＦＥＭ及びロードポート装置に載置される容器の概略図である。 図２は、図１に示すロードポート装置の部分斜視図である。 図３は、図１に示すロードポート装置におけるピンの第１の位置を示す要部断面図である。 図４は、図１に示すロードポート装置におけるピンの第２の位置を示す要部断面図である。 図５は、図１に示すロードポート装置で行われる容器の載置方法の第１及び第２のステップを表す概念図である。 図６は、図１に示すロードポート装置で行われる容器の載置方法の第３～第５のステップを表す概念図である。 図７は、図１に示すロードポート装置で行われる容器の載置方法の第７のステップを表す概念図である。 図８は、第１変形例に係るロードポート装置における載置部周辺を示す要部断面図である。 図９は、第２変形例に係るロードポート装置における載置部周辺を示す要部断面図である。 図１０は、図１に示すロードポート装置で行われる容器の載置方法の一例を示すフローチャートである。
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０を備えるＥＦＥＭ７４及びロードポート装置１０に載置される容器８０の概略図である。
図１に示すロードポート装置１０は、ＥＦＥＭ（イーフェム）７４の一部を構成する。ＥＦＥＭ７４は、基板９０を搬送する搬送ロボット７６などが設けられるミニエンバイロメントを形成し、搬送ロボット７６は、ロードポート装置１０によってミニエンバイロメントに接続された容器８０内から、容器８０内に収容されるシリコンウエハなどの基板９０を取り出し、半導体処理装置へ搬送する。
ＥＦＥＭ７４には、ファン７７やフィルタ７８が備えられており、ＥＦＥＭ７４内に形成されるミニエンバイロメントは、清浄な環境に維持される。
容器８０は、半導体工場内の各装置に、処理対象である基板９０を搬送する際に用いられる容器であり、一例としてＦＯＵＰ（フープ）などが挙げられる。容器８０は、複数の基板９０を収容することができ、基板９０を整列して収容するための棚（付図示）や、基板９０の主開口８６を開閉する蓋８１を有する。
また、図１に示すように、容器８０の底部８２には、パージポート８４が設けられている。ロードポート装置１０のパージノズル３０は、容器８０のパージポート８４を介して、容器８０の内部８８に、清浄化ガスを導入することができる。
図２は、ロードポート装置１０の要部斜視図である。図２に示すように、ロードポート装置１０は、基板９０を収容する容器８０を載置する載置部６０と、載置部６０に載置された容器８０の内部８８に清浄化ガスを導入するパージノズル３０と、容器８０の底部８２の所定位置に形成されたピン接触部８３（図３参照）に接続して容器８０を下方から支持する複数のピン４０とを有する。
ロードポート装置１０は、３つのピン４０と４つのパージノズル３０を有しているが、ピン４０及びパージノズル３０の数はこれに限定されない。また、パージノズル３０の一部は、容器８０の内部８８の気体を、パージポート８４を介して排出する排出部として機能することができる。
図１に示すように、ロードポート装置１０は、載置部６０、パージノズル３０、ピン４０等の他に、容器８０の主開口８６が接続するフレーム開口１６ａが形成されたフレーム１６や、容器８０の蓋８１を開閉するドア１４等を有する。
図１及び図２に示すパージノズル３０は、載置部６０に固定されている。載置部６０は、載置部６０に載置された容器８０の底部８２に対向する載置部上面６２を有する。また、図３に示すように、パージノズル３０は、パージノズル３０の上端３１が、載置部上面６２から所定長さＬ１上方に突出するように、載置部６０に固定されている。これにより、固定されたパージノズル３０が、容器８０の底部８２に備えられるパージポート８４に対して、容易に接続することができる。
図１及び図３に示すように、パージノズル３０の内部には、清浄化ガスの流路３２が形成されている。図１に示すように、パージノズル３０の流路３２には、ガス供給部７２へと続く接続経路７３が接続されている。パージノズル３０の流路３２には、接続経路７３を介して、ガス供給部７２から清浄化ガスが供給される。ガス供給部７２としては、たとえばガスタンクなどが挙げられる。
パージノズル３０の流路３２に供給される清浄化ガスとしては特に限定されないが、例えば乾燥空気（ＣＤＡ）や不活性ガスなどが挙げられ、窒素ガスが好ましい。パージノズル３０へのガスの供給は、たとえば接続経路７３に設けられる電磁弁（不図示）などを制御する制御部７０によって制御される。
図２に示すように、ロードポート装置１０は、３つのピン４０を有しており、それぞれのピン４０の上先端４２は、載置部上面６２から上方に突出している。図３及び図４に示すように、ロードポート装置１０では、パージノズル３０が載置部６０に固定されているのに対して、ピン４０は、載置部６０に対して上下方向に相対移動可能である。
図３及び図４は、ピン４０、パージノズル３０及び容器８０の底部８２の位置関係を表す要部断面図であり、図３はピン４０が第１の位置（Ｐ１）にある状態を表しており、図４はピン４０が第２の位置（Ｐ２）にある状態を表している。図３及び図４に示すように、各ピン４０は、図３に示す第１の位置（Ｐ１）と、図４に示すように第１の位置（Ｐ１）よりピン４０の上先端４１が低い位置にある第２の位置（Ｐ２）との間で、上下方向に移動することができる。
図３に示すように、第１の位置（Ｐ１）にあるピン４０の上先端４２は、パージノズル３０の上端３１より高い位置にある。したがって、第１の位置（Ｐ１）にあるピン４０の上先端４２は、パージノズル３０に対してパージポート８４が上方に離間した状態で、容器８０の所定位置であるピン接触部８３に接触する。なお、ピン接触部８３は、パージポート８４と同様に容器８０の底部８２に形成されている。
図３に示すように、ロードポート装置１０は、ピン４０を第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１へ向かう方向である情報へ付勢する付勢部材５０を有する。付勢部材５０がピン４０を上方へ付勢することにより、容器８０が載置部６０に載置されておらず、容器８０の底部８２がピン４０に接触しない状態では、ピン４０は第１の位置Ｐ１に位置する。付勢部材５０としては特に限定されないが、たとえばコイルばねや板ばね、空気ばねのようなばねで構成される。
付勢部材５０は、ピン４０の上先端４２が容器８０のピン接触部８３に接触し、ピン４０が容器８０から下方向の力（容器８０に作用する重力）を受けることにより収縮し、ピン４０は上方の位置である第１の位置Ｐ１から、下方の位置である第２の位置Ｐ２に移動する。
ロードポート装置１０は、ピン４０の下方向への移動を第２の位置（Ｐ２）で停止させるストッパ６４を有しており、容器８０が載置されたことによるピン４０の下降は、図４に示す第２の位置（Ｐ２）で停止する。ストッパ６４は、たとえばピン４０を下方から支えてピン４０の下方向への移動を制限する面などで構成されるが、ピン４０の移動を停止させる構造であれば特に限定されない。
図４に示すように、第２の位置Ｐ２にあるピン４０の上先端４２は、パージノズル３０に対してパージポート８４が接触した状態で、容器８０のピン接触部８３に接触する。言い換えると、パージノズル３０がパージポート８４に接触する位置で容器８０の下降が停止するように、ピン４０の第２の位置Ｐ２が設計されている。
図４に示すように、容器８０に作用する重力によって容器８０のパージポート８４がパージノズル３０に押し付けられることにより、パージポート８４とパージノズル３０との確実な接続が実現される。また、付勢部材５０の弾性力により、ピン４０及び容器８０の下方への移動速度は減速されるため、パージノズル３０とパージポート８４とが強く衝突する問題を防止できる。
図３及び図４に示すように、ピン４０は、ピン４０と容器８０におけるピン接触部８３との接触を検出する第２検出部４６を有していてもよい。たとえば、第２検出部４６は、ピン４０の上端付近に備えられておりピン接触部８３による接触を検出する接触センサや、ピン４０に作用する圧力を検出する圧力センサ等で構成される。第２検出部４６の検出信号は、ロードポート装置１０の制御部７０に入力される。
第２検出部４６を有することにより、ロードポート装置１０は、ピン４０に対して容器８０が正しく載置されたか否かを確認することができる。また、第２検出部４６が圧力センサである場合は、容器８０のピン４０に対する載置を検出するだけでなく、容器８０に作用する重力と、ピン４０に作用する圧力との差分から、パージノズル３０とパージポート８４との接触圧力を検出することも可能である。
また、図３及び図４に示すように、パージノズル３０は、パージノズル３０とパージポート８４との接触を検出する第１検出部３６を有していてもよい。たとえば、第１検出部３６は、パージノズル３０の上端付近に備えられておりパージポート８４との接触を検出する接触センサや、パージノズル３０に作用する圧力を検出する圧力センサ等で構成される。第１検出部３６の検出信号は、第２検出部４６の検出信号と同様に、ロードポート装置１０の制御部７０に入力される。
第１検出部３６を有することにより、ロードポート装置１０は、パージノズル３０に対して容器８０のパージポート８４が適正な強さで接続されたか否かを確認することができる。また、第１検出部３６が、接触面の複数の位置に対応する複数の測定点を有する圧力センサ又は面圧力センサである場合は、パージノズル３０がパージポート８４に対して斜めに接触するような不完全な接続を、正常な接続とは区別して検出することができる。
図２に示すように、ロードポート装置１０は、載置部６０等を水平方向に移動させる水平駆動部６８を有する。水平駆動部６８は、載置部６０と、パージノズル３０と、容器８０が載置されて第２の位置Ｐ２にあるピン４０（図３参照）とを、載置部６０、パージノズル３０、ピン４０及び容器８０の位置関係を維持した状態で、水平方向に移動させる。水平駆動部６８は、例えば載置部６０を移動させるモータやエアシリンダ等で構成されるが、特に限定されない。このようなロードポート装置１０は、パージノズル３０とパージポート８４とが接続された状態で、容器８０の主開口８６をフレーム開口１６ａに接続することができる。
図２に示すように、載置部６０は、少なくとも３本のピン４０を有していることが好ましく、また、各ピン４０の高さは、容器８０を水平に支持することができるように調整されていることが好ましい。また、ピン４０は上下方向のみに移動し、水平方向には移動しないことが好ましい。すなわち、載置部６０に対する容器８０の水平方向の相対位置は、図３に示すように第１の位置（Ｐ１）にあるピン４０が容器８０に接触する状態と、図４に示すように第２の位置（Ｐ２）にあるピン４０が容器８０に接触する状態とで、変化しないことが好ましい。このようなピン４０は、載置部６０に対して位置決めし、キネマティックピンとして好適に機能する。
以下、ロードポート装置１０を用いて行われる容器８０の載置方法について、図面を参照しながら説明する。図５～図７は、図１に示すロードポート装置１０で行われる容器８０の載置方法の一例におけるいくつかのステップを示す概念図であり、図１０は、容器８０の載置方法の一例を表すフローチャートである。
図１０に示すように、ロードポート装置１０における容器８０の載置方法では、ロードポート装置１０における載置部６０に容器８０が搬送され、容器８０の底部８２に備えられるピン接触部８３に、第１の位置Ｐ１にあるピン４０の上先端４２が接触する（ステップＳ００１）。図５に示すように、ピン４０が第１の位置Ｐ１にあるステップＳ００１では、容器８０の底部８２に備えられるパージポート８４は、載置部６０に固定されたパージノズル３０に対して離間している。
図１０に示すステップＳ００２では、ピン４０と容器８０のピン接触部８３との接触を、第２検出部４６が検出する。これにより、ロードポート装置１０の制御部７０（図１）は、容器８０がピン４０に対して正しく載置されたことを認識することができる。なお、容器８０は、半導体工場内に設けられたＯＨＴなどによってロードポート装置１０の載置部６０に搬送される。また、ロードポート装置１０のピン４０は、少なくともステップＳ００１が開始されるときには、第１の位置Ｐ１に位置している。
図１０に示すステップＳ００３では、ピン４０の上先端４２が容器８０のピン接触部８３に接触した状態で、ピン４０が、図３及び図５に示す第１の位置（Ｐ１）から、図４及び図６に示す第２の位置（Ｐ２）へ向けて下方へ移動する。すなわち、ピン４０は、容器８０に作用する重力がピン接触部８３を介してピン４０に伝わることにより、付勢部材５０を変形させながら下方に押し下げられる。
図１０に示すステップＳ００４では、図６に示すように、ピン４０が第２の位置（Ｐ２）まで移動し、容器８０のパージポート８４が、パージノズル３０に対して接触する。ステップＳ００４でも、図４及び図６に示すように、ピン４０の上先端４２と容器８０のピン接触部８３との接触は維持されている。ステップＳ００４により、容器８０が載置部６０に対して位置決めされるとともに、パージポート８４とパージノズル３０とが接続する。
図１０に示すステップＳ００５では、パージノズル３０と容器８０のパージポート８４との接触を、第１検出部３６（図４）が検出する。これにより、ロードポート装置１０の制御部７０（図１）は、パージポート８４とパージノズル３０とが正しく接続されたことを認識することができる。
図１０に示すステップＳ００６では、ロードポート装置１０の制御部７０がパージノズル３０に清浄化ガスを供給し、容器８０の内部に、パージポート８４を介して清浄化ガスを供給する。ステップＳ００７では、図７に示すように、水平駆動部６８が載置部６０、パージノズル３０、ピン４０及び容器８０を水平方向へ移動させ、容器８０の主開口８６をフレーム１６に形成されたフレーム開口１６ａに接続する。
図１～図７及び図１０を用いて説明したように、ロードポート装置１０及びロードポート装置１０を用いた容器８０の載置方法により、パージノズル３０が載置部６０に対して固定されているにもかかわらず、パージノズル３０とパージポート８４とを適切に接続し、容器８０の清浄化を行うことができる。したがって、ロードポート装置１０では、清浄化ガスの流路３２にパーティクルが流入する問題を防止できるとともに、容器８０の載置時及びパージノズル３０の接続時において、パージノズル３０がパージポート８４に対して過度に強く衝突する問題を防止できる。また、ロードポート装置１０は、パージノズルがロードポート装置１０を突き上げて容器８０が傾くという問題を生じないため、パージノズルが上昇してパージポートに接続する従来のロードポート装置において発生していた問題を、好適に防止できる。また、ロードポート装置１０は、容器８０の底部８２の形状に寸法バラツキがあるような場合にでも、パージノズル３０とパージポート８４とを、適切に接続することが可能である。
実施形態に係るロードポート装置１０を挙げて本発明について説明したが、本発明は上述の実施形態のみに限定されるものではなく、他の実施形態や変形例などを含むことは言うまでもない。図８は、第１変形例に係るロードポート装置１１０の載置部１６０を表している。
第１変形例に係るロードポート装置１１０の載置部１６０は、ガイド部６６を有する点で図４に示す載置部６０とは異なるが、その他の点では載置部６０と同様である。ガイド部６６は、ピン４０の水平方向の移動を制限し、ピン４０の上下方向の相対移動をガイドする。ガイド部６６としては特に限定されないが、図８に示すように、ピン４０の動きをガイドする複数の転動ボールを有しているものが挙げられる。
第１変形例に係るロードポート装置１１０の載置部１６０は、ピン４０がガイド部６６に沿って滑らかに上下することができるため、パージノズル３０とパージポート８４との接続を含む容器８０の載置動作を、より円滑に行うことができる。また、ピン４０の移動によりパーティクルが生じる問題も防止できる。
図９は、第２変形例に係るロードポート装置２１０の載置部２６０を表している。第２変形例に係るロードポート装置２１０は、ピン１４０を駆動するピン駆動部４８を有しており、ピン１４０がピン駆動部４８によって駆動されるピストンを構成している点で図４に示すロードポート装置１０とは異なるが、その他の点では第１実施形態に係るロードポート装置１０と同様である。
図９に示すピン駆動部４８は、ピン１４０の周辺に形成される圧力室１４９ａと圧力源とを接続する圧力経路１４９ｂや、圧力経路１４９ｂに設けられる電磁弁１４９ｃなどを有する。ピン１４０は、ピン１４０の周りに形成された圧力室１４９ａの変化に応じて、上下方向に移動するようになっている。
ピン駆動部４８は、ピン１４０を第１の位置（Ｐ１）と第２の位置（Ｐ２）との間で移動させることができる。したがって、ピン駆動部４８を有するロードポート装置２１０は、容器８０がピン１４０に接触する際、ピン１４０を第１の位置（Ｐ１）から動かないように停止させておくことが可能である。この場合、第１の位置（Ｐ１）にあるピン１４０が、容器８０の底部８２がパージノズル３０の上端３１に対して上方に離間して位置するように、容器８０を下方から支持する。
このようなピン駆動部４８を有するロードポート装置２１０は、ピン１４０の上下動を制御することにより、パージノズル３０とパージポート８４が強く衝突する問題を防止したり、パージノズル３０とパージポート８４との接触強度を調整したりすることができる。また、載置される容器８０の重量に応じてピン１４０の上下動を制御することなどにより、パージノズル３０とパージポート８４との接触強度を、より適切な状態に調整することができる。
１０…ロードポート装置
１４…ドア
１６…フレーム
１６ａ…フレーム開口
３０…パージノズル
３１…上端
３２…流路
３６…第１検出部
４０…ピン
４２…上先端
４６…第２検出部
５０…付勢部材
４８…ピン駆動部
６０…載置部
６２…載置部上面
６４…ストッパ
６６…ガイド部
６８…水平駆動部
Ｐ１…第１の位置
Ｐ２…第２の位置
Ｌ１…所定長さ
７２…ガス供給部
７３…接続経路
７０…制御部
７４…ＥＦＥＭ
７６…搬送ロボット
７７…ファン
７８…フィルタ
８０…容器
８１…蓋
８２…底部
８３…ピン接触部
８４…パージポート
８６…主開口
８８…内部
９０…基板

Claims (12)

  1. 基板を収容する容器を載置する載置部と、
    前記載置部に載置された前記容器の内部に、前記容器の底部に設けられるパージポートを介して清浄化ガスを導入するパージノズルと、
    前記容器の前記底部の所定位置に接触して前記容器を下方から支持する複数のピンと、を有し、
    前記ピンは、第１の位置と、前記第１の位置より前記ピンの上先端が低い位置にある第２の位置と、の間で、前記載置部に対して上下方向に相対移動可能であり、
    前記第１の位置にある前記ピンの前記上先端は、前記載置部に固定された前記パージノズルに対して前記パージポートが上方に離間した状態で、前記容器の前記所定位置に接触し、
    前記第２の位置にある前記ピンの前記上先端は、前記パージノズルに対して前記パージポートが接触した状態で、前記容器の前記所定位置に接触し、
    前記ピンを前記第１の位置と前記第２の位置との間で移動させるピン駆動部をさらに有するロードポート装置。
  2. 前記載置部と前記パージノズルと前記第２の位置にある前記ピンとを、前記載置部、前記パージノズル及び前記ピンの位置関係を維持した状態で、水平方向に移動させる水平駆動部を有する請求項１に記載のロードポート装置。
  3. 前記ピンを、前記第２の位置から前記第１の位置へ向かう方向へ付勢する付勢部材を有する請求項１または請求項２に記載のロードポート装置。
  4. 前記載置部は、前記載置部に載置された前記容器の前記底部に対向する載置部上面を有し、
    前記ピンと前記パージノズルとは、前記載置部上面から上方に突出しており、前記第１の位置にある前記ピンの前記上先端は、前記パージノズルの上端より高い位置にある請求項１から請求項３のいずれかに記載のロードポート装置。
  5. 前記第１の位置にある前記ピンは、前記容器の前記底部が前記パージノズルの上端に対して上方に離間して位置するように、前記容器を下方から支持する請求項１から請求項４のいずれかに記載のロードポート装置。
  6. 前記載置部は、前記載置部に載置された前記容器の前記底部に対向する載置部上面を有し、
    前記パージノズルは、前記パージノズルの上端が前記載置部上面から所定長さ上方に突出するように、前記載置部に固定されている請求項１から請求項５までのいずれかに記載のロードポート装置。
  7. 前記載置部は、前記ピンの下方向への移動を、前記第２の位置で停止させるストッパを有する請求項１から請求項６のいずれかに記載のロードポート装置。
  8. 前記パージノズルは、前記パージノズルと前記パージポートとの接触を検出する第１検出部を有する請求項１から請求項７のいずれかに記載のロードポート装置。
  9. 前記ピンは、前記ピンと前記容器の前記所定位置との接触を検出する第２検出部を有する請求項１に記載のロードポート装置。
  10. 前記載置部は、前記ピンの水平方向への移動を制限して前記ピンの上下方向の相対移動をガイドするガイド部を有する請求項１に記載のロードポート装置。
  11. 少なくとも３本の前記ピンを有し、
    前記載置部に対する前記容器の水平方向の相対位置は、前記第１の位置にある前記ピンに前記容器が接触する状態と、前記第２の位置にある前記ピンに前記容器が接触する状態とで、変化しない請求項１に記載のロードポート装置。
  12. 容器を載置する載置部と、前記容器の底部に設けられるパージポートを介して前記容器の内部に清浄化ガスを導入するパージノズルと、前記容器の前記底部の所定位置に接触して前記容器を下方から支持する複数のピンと、を有するロードポート装置に、基板を収容する前記容器を載置する容器の載置方法であって、
    第１の位置にある前記ピンの上先端が、前記載置部に固定されたパージノズルに対して前記容器の前記パージポートが上方に離間した状態で、前記容器の前記所定位置に接触するステップと、
    前記ピンの前記上先端が前記容器の前記所定位置に接触した状態で、前記ピンが、前記第１の位置から下方へ移動するステップと、
    前記第１の位置より下方である第２の位置にある前記ピンの前記上先端が前記容器の前記所定位置に接触した状態で、前記パージノズルに対して前記パージポートが接触するステップと、を有し、
    前記ピンは、ピン駆動部により前記第１の位置と前記第２の位置との間で移動される容器の載置方法。
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