JP6347301B2 - ロードポート及びノズル駆動ユニット - Google Patents
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前記ロードポートは、前記基板収容容器の底部に設けられる気体排出部を介して、前記基板収容容器内の気体を排出する排出機構と、前記底部に設けられる注入部を介して不活性ガスを前記基板収容容器内に供給する供給機構とを備え、前記排出機構と前記供給機構とを動作させることにより、前記基板収容容器内の前記不活性ガスの濃度を高めるものであり、
前記供給機構は、前記載置台から昇降可能に設けられる注入ノズルと、前記注入ノズルを前記基板収容容器の前記注入部に接触させるように前記注入ノズルを昇降可能に収容する筐体とを有し、
前記注入ノズルが前記筐体をシリンダとするピストンとなることで前記注入ノズルの昇降駆動を可能とし、前記注入ノズルの一部が前記筐体外に露出して前記注入部に接触する
ことを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るガス注入装置としてのロードポートを示す斜視図である。図2は、そのロードポート100を示す平面図である。
図7は、上記と同様にロードポートに適用される、本発明の第2の実施形態に係る昇降駆動ユニットを示す断面図である。この第2の実施形態の説明では、上記第1の実施形態に係るロードポート100が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。
2…載置台
4、54…昇降駆動ユニット(駆動部に相当)
5(5a、5b及び5c)、55…注入ノズル(ノズルに相当)
5'…排出ノズル(ノズルに相当)
7…キネマティックピン(位置決めピンに相当)
10…キャリア(容器に相当)
41…エアシリンダ
100…ロードポート(ガス注入装置を搭載する装置に相当)
101…位置決め溝
102…注入部
102'…排出部
103…底部
Claims (6)
- 基板収容容器が載置される載置台を備えるロードポートにおいて、
前記ロードポートは、前記基板収容容器の底部に設けられる排出部を介して、前記基板収容容器内の気体を排出する排出機構と、前記底部に設けられる注入部を介して不活性ガスを前記基板収容容器内に供給する供給機構とを備え、前記排出機構と前記供給機構とを動作させることにより、前記基板収容容器内の前記不活性ガスの濃度を高めるものであり、
前記供給機構は、前記載置台から昇降可能に設けられる注入ノズルと、前記注入ノズルを前記基板収容容器の前記注入部に接触させるように前記注入ノズルを昇降可能に収容する筐体とを有し、
前記筐体は、第1の室と、第2の室と、前記第1の室へ前記不活性ガスを導入する導入部と、前記第2の室内のガスを排出する排気部と、前記注入ノズルが貫通する開口部とを有し、
前記注入ノズルは、前記開口部を介して前記筐体から突出し前記注入部に接触可能な第1の端部と、前記第1の端部とは反対側に設けられ前記第1の室に導入された前記不活性ガスを受圧可能な第2の端部と、前記第1の端部と前記第2の端部との間に形成されたガス流路とを有し、前記第1の室の圧力が前記第2の室の圧力よりも高いときに、前記第1の端部が前記注入部に接触し前記不活性ガスを前記基板収容容器内に供給する
ことを特徴とするロードポート。 - 請求項1に記載のロードポートにおいて、
前記供給機構による前記不活性ガスの注入と同じタイミングで、前記排出機構による前
記基板収容容器内の前記気体の排出を行う
ことを特徴とするロードポート。 - 請求項1または2に記載のロードポートにおいて、
前記載置台から突出するように設けられる位置決めピンを備え、
前記基板収容容器の底部には、前記位置決めピンと係合可能に設けられる位置決め溝が
設けられ、
前記注入ノズルと前記注入部との間の摩擦係数は、前記位置決めピンと前記位置決め溝
との間の摩擦係数より大きい
ことを特徴とするロードポート。 - 請求項1から3のうちいずれか1項に記載のロードポートにおいて、
前記載置台に前記基板収容容器が載置されて位置決めされたことを検出して前記注入ノ
ズルの上昇動作を行う
ことを特徴とするロードポート。 - 請求項1から4のうちいずれか1項に記載のロードポートにおいて、
前記載置台は、スライダ機構により水平方向に移動するキャリアベースを有し、
前記排出機構及び前記供給機構は、前記スライダ機構により前記キャリアベースと一体
的に移動可能に設けられる
ことを特徴とするロードポート。 - 注入部を有する容器が載置される載置台を備えたガス注入装置に搭載されるノズル駆動ユニットであって、
前記注入部を介して不活性ガスを前記容器内に注入するための供給機構を備え、
前記供給機構は、前記載置台から昇降可能に設けられる注入ノズルと、前記注入ノズルが前記注入部に接触するように、前記注入ノズルを昇降可能に収容する筐体と、を備え、
前記筐体は、第1の室と、第2の室と、前記第1の室へ前記不活性ガスを導入する導入部と、前記第2の室内のガスを排出する排気部と、前記注入ノズルが貫通する開口部とを有し、
前記注入ノズルは、前記開口部を介して前記筐体から突出し前記注入部に接触可能な第1の端部と、前記第1の端部とは反対側に設けられ前記第1の室に導入された前記不活性ガスを受圧可能な第2の端部と、前記第1の端部と前記第2の端部との間に形成されたガス流路とを有し、前記第1の室の圧力が前記第2の室の圧力よりも高いときに、前記第1の端部が前記注入部に接触し前記不活性ガスを前記基板収容容器内に供給する
ことを特徴とするノズル駆動ユニット。
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017075655A JP6347301B2 (ja) | 2017-04-06 | 2017-04-06 | ロードポート及びノズル駆動ユニット |
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JP2003092345A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-03-28 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板収納容器、基板搬送システム、保管装置及びガス置換方法 |
JP3697478B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2005-09-21 | ソニー株式会社 | 基板の移送方法及びロードポート装置並びに基板移送システム |
WO2005101484A1 (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Right Mfg Co. Ltd. | 基板収納容器の雰囲気置換ポート接続装置 |
JP2006228808A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 基板搬送装置、基板搬送方法及び半導体製造装置 |
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