JP2016192495A - ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
パージポートを有するパージ対象容器の内部に清浄化ガスを前記パージポートを通して吹き込むことが可能になっているガスパージ装置であって、
前記清浄化ガスを吹き出すノズル口を持つパージノズルと、
前記パージ対象容器が着脱自在に設置されるテーブルと、
前記テーブル上で前記パージ対象容器が相対移動しないように固定する固定機構と、
前記テーブルに対して前記パージ対象容器が固定されているか否かを検出する固定検出センサと、
前記パージノズルを、前記パージポートに向けて移動させることが可能なノズル駆動機構と、
前記固定検出センサにより、前記テーブルに対して前記パージ対象容器が固定されていることを検出された固定検出信号に基づき、前記ノズル駆動機構を駆動し、前記パージノズルを、前記パージポートに向けて移動させる制御手段と、を有する。
パージポートを有するパージ対象容器の内部に清浄化ガスを前記パージポートを通して吹き込むガスパージ方法であって、
テーブルに対して前記パージ対象容器が固定されていることを検出した後に、パージノズルを、前記パージポートに向けて移動させることを特徴とする。
前記パージ対象容器が前記テーブルの所定位置に載置されていることを検出する位置検出センサをさらに有し、
前記位置検出センサにより、前記パージ対象容器が、前記テーブルの所定位置に載置されていることを検出した正規位置検出信号に基づき、前記制御手段は、前記固定機構を駆動して、前記パージ対象容器を前記テーブルに固定する。
前記パージ対象容器が前記テーブルの上に存在するか否かを検出する在荷センサをさらに有し、
前記在荷センサにより、前記パージ対象容器が前記テーブルの上に存在することを検出した在荷信号に基づき、前記制御手段は、前記位置検出センサからの検出信号を確認する。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10は、半導体処理装置60に連結してある。ロードポート装置10は、設置台12と、その設置台12に対して、X軸方向に移動可能な可動テーブル14とを有する。なお、図面において、X軸が可動テーブル14の移動方向を示し、Z軸が鉛直方向の上下方向を示し、Y軸がこれらのX軸およびZ軸に垂直な方向を示す。
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 開口
2c… 開口縁部
3… 位置決め部
4… 蓋
5… パージポート
5a… パージ口
10… ロードポート装置
11… 壁部材
12… 設置台
13… 受渡口
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
18… ドア
20… ガスパージユニット(ノズル駆動機構付き)
22… 給気流路
24… 給気部材
26… ノズル口
28… パージノズル
30… シリンダ
32… ピストン室
34… ピストン流路
36… シール部材
40… 位置検出センサ
42… 固定検出センサ
44a,44b… 在荷センサ
50… クランプ機構
52… フック
52a… 係合凸部
54… Z軸駆動機構
56… X軸駆動機構
60… 半導体処理装置
70… 底面板
72… 係合用端縁
80… 制御手段
Claims (8)
- パージポートを有するパージ対象容器の内部に清浄化ガスを前記パージポートを通して吹き込むことが可能になっているガスパージ装置であって、
前記清浄化ガスを吹き出すノズル口を持つパージノズルと、
前記パージ対象容器が着脱自在に設置されるテーブルと、
前記テーブル上で前記パージ対象容器が相対移動しないように固定する固定機構と、
前記テーブルに対して前記パージ対象容器が固定されているか否かを検出する固定検出センサと、
前記パージノズルを、前記パージポートに向けて移動させることが可能なノズル駆動機構と、
前記固定検出センサにより、前記テーブルに対して前記パージ対象容器が固定されていることを検出された固定検出信号に基づき、前記ノズル駆動機構を駆動し、前記パージノズルを、前記パージポートに向けて移動させる制御手段と、を有するガスパージ装置。 - 前記固定機構は、前記パージ対象容器に対して着脱自在に係合するクランプ機構である請求項1に記載のガスパージ装置。
- 前記クランプ機構は、前記テーブルに対して相対移動自在に設けられ、前記パージ対象容器の底面に対して着脱自在に係合する請求項2に記載のガスパージ装置。
- 前記パージ対象容器が前記テーブルの所定位置に載置されていることを検出する位置検出センサをさらに有し、
前記位置検出センサにより、前記パージ対象容器が、前記テーブルの所定位置に載置されていることを検出した正規位置検出信号に基づき、前記制御手段は、前記固定機構を駆動して、前記パージ対象容器を前記テーブルに固定する請求項1〜3のいずれかに記載のガスパージ装置。 - 前記パージ対象容器が前記テーブルの上に存在するか否かを検出する在荷センサをさらに有し、
前記在荷センサにより、前記パージ対象容器が前記テーブルの上に存在することを検出した在荷信号に基づき、前記制御手段は、前記位置検出センサからの検出信号を確認する請求項4に記載のガスパージ装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載のガスパージ装置を有するロードポート装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のガスパージ装置を有するパージ対象容器の設置台。
- パージポートを有するパージ対象容器の内部に清浄化ガスを前記パージポートを通して吹き込むガスパージ方法であって、
テーブルに対して前記パージ対象容器が固定されていることを検出した後に、パージノズルを、前記パージポートに向けて移動させることを特徴とするガスパージ方法。
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