KR102484098B1 - 노즐의 선단 구조, 퍼지 장치 및 로드 포트 - Google Patents

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Abstract

그로멧 타입의 수용 용기와 립 타입의 수용 용기의 양쪽에 대응 가능한 노즐을 제공한다.
피수용물을 수용하는 수용 용기(100)의 저면에 형성된 개구(104)와 연통 가능한 가스 유통로(13)를 갖고, 가스 유통로(13) 및 개구(104)를 통해 수용 용기(100)에 가스를 주입 또는 배출하는 노즐(11)의 선단 구조이며, 노즐(11)의 상단부에는, 개구(104)의 주위에 설치된 피접촉부(103)에 접촉 가능한 접촉부(19)가, 가스 유통로(13)의 주위에 설치되어 있고, 접촉부(19)는, 평탄부(19b)와, 평탄부(19b)보다도 상방으로 돌출된 돌출부(19a, 19c)를 갖고, 평탄부(19b)는 돌출부(19a, 19c)보다도 부드러운 재료로 구성되어 있다.

Description

노즐의 선단 구조, 퍼지 장치 및 로드 포트{NOZZLE END STRUCTURE, PURGE APPARATUS AND LOAD PORT}
본 발명은 피수용물이 수용된 수용 용기에 가스를 주입 또는 배출하는 노즐의 선단 구조, 및 당해 노즐의 선단 구조를 갖는 노즐 유닛을 구비한 퍼지 장치 및 로드 포트에 관한 것이다.
반도체 소자의 재료가 되는 웨이퍼를 수용하는 FOUP(Front-Opening Unified Pod) 등의 수용 용기에 있어서는, 웨이퍼의 오염을 방지하기 위해, 그 내부 공간이 질소 등의 불활성 가스에 의해 퍼지된다. 예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 장치에서는, 가스 유통로가 형성된 노즐을 FOUP의 저면에 접촉시키고, 가스 유통로가 FOUP의 저면에 형성된 개구에 연통한 상태에서 퍼지가 행해진다.
퍼지 시에, 노즐과 FOUP 사이에 간극이 발생하면, 가스 누설이 발생되어 버리므로, 노즐과 FOUP를 밀접시킬 필요가 있다. 따라서, 특허문헌 1에 있어서는, FOUP의 개구에 고무제의 그로멧이 장착됨과 함께, 노즐의 상단부에는, 상방으로 돌출되는 립 형상의 돌출부가 가스 유통로의 주위에 설치되어 있다. 그리고, 노즐을 상방으로 이동시킴으로써, 돌출부가 그로멧에 접촉되도록 구성되어 있다. 이때, 그로멧이 고무제이고 부드러우므로, 돌출부와 그로멧이 양호하게 밀접하여, 퍼지 시의 가스 누설을 방지할 수 있다.
일본 특허 출원 공개 제2011-187539호 공보
그런데, FOUP 등의 수용 용기에는 복수의 종류가 존재한다. 예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 FOUP는, 개구의 주위에 고무제의 그로멧이 설치된, 소위 「그로멧 타입」의 FOUP이다. 한편, 개구의 주위에 립부가 설치된, 소위 「립 타입」의 FOUP도 존재한다. 이 립부는, FOUP의 개구를 둘러싸도록 립 형상으로 형성된 돌출부이고, 일반적으로 플라스틱 등으로 이루어지는 밸브와 일체적으로 구성되어 있다.
퍼지 시에 있어서의 가스 누설 방지를 위해, FOUP가 그로멧 타입인 경우에는, 그로멧과의 밀접을 양호하게 하기 위해, 특허문헌 1과 같이, 노즐의 상단부에 립 형상의 돌출부가 설치된다. 반대로, FOUP가 립 타입인 경우에는, FOUP의 립부와의 밀접을 양호하게 하기 위해, 상단부에 비교적 부드러운 재료로 이루어지는 부위를 설치한 노즐이 사용된다.
이와 같이, FOUP 등의 수용 용기에는 그로멧 타입과 립 타입이 존재하고, 각각에 대응하여 노즐도 복수 종류 존재한다. 따라서, 사용하는 수용 용기의 타입이 바뀌면, 그것에 수반하여 노즐도 변경해야만 한다는 번거로움이 있었다. 또한, 종래의 노즐에서는, 그로멧 타입 대응의 것과 립 타입 대응의 것으로 별도로 되어 있으므로, 그로멧 타입의 수용 용기와 립 타입의 수용 용기가 혼재되는 상황에 대응할 수 없다는 문제도 있었다.
따라서, 본 발명에서는, 그로멧 타입의 수용 용기와 립 타입의 수용 용기의 양쪽에 대응 가능한 노즐을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 노즐의 선단 구조는, 피수용물을 수용하는 수용 용기의 저면에 형성된 개구와 연통 가능한 가스 유통로를 갖고, 상기 가스 유통로 및 상기 개구를 통해 상기 수용 용기에 가스를 주입 또는 배출하는 노즐의 선단 구조이며, 상기 노즐의 상단부에는, 상기 개구의 주위에 설치된 피접촉부에 접촉 가능한 접촉부가, 상기 가스 유통로의 주위에 설치되어 있고, 상기 접촉부는, 평탄부와, 상기 평탄부보다도 상방으로 돌출된 돌출부를 갖고, 상기 평탄부는 상기 돌출부보다도 부드러운 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 수용 용기의 피접촉부와 접촉 가능한 노즐의 접촉부에, 평탄부와, 평탄부보다도 상방으로 돌출된 돌출부를 설치하고, 또한, 평탄부를 돌출부보다도 부드러운 재료로 구성하고 있다. 이로 인해, 수용 용기가 그로멧 타입인 경우에는, 노즐의 돌출부가 수용 용기의 그로멧(피접촉부)에 접촉함으로써, 노즐과 수용 용기를 양호하게 밀접시킬 수 있다. 한편, 수용 용기가 립 타입인 경우에는, 돌출부보다도 부드러운 평탄부가 수용 용기의 립부(피접촉부)에 접촉함으로써, 노즐과 수용 용기를 양호하게 밀접시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 그로멧 타입의 수용 용기와 립 타입의 수용 용기의 양쪽에 대응 가능한 노즐을 제공하는 것이 가능해진다.
여기서, 상기 돌출부가, 상기 가스 유통로와 상기 평탄부 사이에 설치되어 있으면 적합하다.
돌출부는, 일반적으로 금속제의 노즐 본체와 일체적으로 구성된다. 이에 비해, 평탄부는, 노즐 본체보다도 부드러운 고무 부재 등을, 노즐 본체의 상면에 적재함으로써 구성된다. 이로 인해, 평탄부의 하면과 노즐 본체의 상면 사이에 간극이 생길 가능성이 있고, 이 간극이 가스 누설의 경로로 될 우려가 있다. 따라서, 상술한 바와 같이, 가스 유통로와 평탄부 사이에 돌출부를 설치함으로써, 가스가 상기 간극에 이르는 것을 돌출부에 의해 방지하고, 가스 누설을 확실하게 억제할 수 있다.
또한, 상기 돌출부가, 상기 평탄부보다도 외측에 설치되어 있으면 적합하다.
상술한 바와 같이, 평탄부에는 고무 등의 비교적 부드러운 재료가 사용되므로, 다른 부재와의 접촉 등에 의해 손상을 받기 쉽다. 따라서, 평탄부보다도 외측에 돌출부를 설치함으로써, 부드러운 평탄부를 돌출부에서 보호할 수 있어, 평탄부의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 퍼지 장치는, 상기 수용 용기를 적재하기 위한 적재대를 갖고, 상기 적재대에 탑재된 노즐 유닛에 의해 상기 수용 용기에 상기 가스를 주입 또는 배출하는 퍼지 장치이며, 상기 노즐 유닛이, 상기 중 어느 하나에 기재된 노즐의 선단 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 관한 로드 포트는, 반도체 제조 장치에 인접하여 설치되고, 상기 적재대에 적재된 상기 수용 용기의 덮개를 개폐하는 로드 포트이며, 상기에 기재된 퍼지 장치가 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
이와 같은 퍼지 장치나 로드 포트에 의하면, 노즐을 교환하지 않고, 그로멧 타입의 수용 용기와 립 타입의 수용 용기의 양쪽에 대해, 적절하게 퍼지를 행하는 것이 가능해진다.
본 발명에 따르면, 수용 용기의 피접촉부와 접촉 가능한 노즐의 접촉부에, 평탄부와, 평탄부보다도 상방으로 돌출된 돌출부를 설치하고, 또한, 평탄부를 돌출부보다도 부드러운 재료로 구성함으로써, 그로멧 타입의 수용 용기와 립 타입의 수용 용기의 양쪽에 대응 가능한 노즐을 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 실시 형태에 관한 로드 포트의 사시도.
도 2는 로드 포트의 적재대의 상면도.
도 3은 노즐 유닛의 종단면도.
도 4는 노즐 유닛의 종단면도.
도 5는 노즐의 접촉부를 도시하는 확대 단면도.
도 6은 노즐과 FOUP의 접촉 상태를 도시하는 확대 단면도.
이하, 도면에 기초하여, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태에 관한 로드 포트의 사시도이고, 도 2는, 로드 포트의 적재대의 상면도이다. 이하에서는, 각 도면에 도시하는 방향을 적절히 참조하면서 설명을 행한다.
본 실시 형태의 로드 포트(1)는, 피수용물로서의 웨이퍼(도시하지 않음)를 복수 수용하는, 수용 용기로서의 FOUP(100)에 대해 퍼지를 행하는 것이다. 로드 포트(1)는, 반도체 제조 장치(300)에 인접하여 설치되고, FOUP(100)가 적재되는 적재대(2)를 갖고 있다. 적재대(2)는, 베이스 하우징(3)과, 베이스 하우징(3) 상에 설치된 플레이트 형상의 캐리어 베이스(4)를 갖고 있고, 캐리어 베이스(4)에 FOUP(100)가 적재되도록 되어 있다.
캐리어 베이스(4)에 적재된 FOUP(100)의 후방측에는, 웨이퍼가 통과 가능한 통과구(5)가 형성되어 있다. 통과구(5)를 사이에 두고 FOUP(100)의 반대측에는, FOUP(100)의 덮개(101)를 개폐하는 도시하지 않은 개폐 기구가 설치되어 있다. 이 개폐 기구가, 덮개(101)를 FOUP(100)로부터 제거함으로써, 통과구(5)가 개방되고, 통과구(5)를 통해 반도체 제조 장치(300)에 FOUP(100) 내의 웨이퍼를 수수하는 것이 가능해진다. 또한, 캐리어 베이스(4)는, 도시하지 않은 슬라이더 기구에 의해 전후 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
도 1에서는 도시를 생략하고 있지만, 도 2에 도시한 바와 같이, 캐리어 베이스(4)의 주연부에는, 4개의 노즐 유닛(10)이 배치되어 있다. 4개의 노즐 유닛(10) 중 3개는, FOUP(100) 내에 불활성 가스를 주입하기 위한 주입 노즐(11A)을 구비하고 있고, 남은 1개는, FOUP(100) 내의 에어를 배출하기 위한 배출 노즐(11B)을 구비하고 있다. 이와 같이, 4개의 노즐 유닛(10)은, 가스를 주입하는 것인지 배출하는 것인지라는 점에서 상이하지만, 기본 구성은 대략 동일하다. 또한, 이후의 설명에 있어서, 주입 노즐(11A)과 배출 노즐(11B)을 특별히 구별하지 않는 경우에는, 간단히 노즐(11)로 표기한다.
노즐(11)은, 베이스 하우징(3)의 상면에 형성된 개구(3a)로부터 상방으로 노출되는 형태이고, 노즐 홀더(12)에 의해 유지되어 있다. 노즐 홀더(12)에는 브래킷(7)이 연결되어 있고, 노즐 홀더(12)는 브래킷(7)을 통해 캐리어 베이스(4)의 주연부의 소정 위치에 설치되어 있다. 이로 인해, 노즐 유닛(10)은, 상술한 슬라이더 기구에 의해, 캐리어 베이스(4)와 일체적으로 전후 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
캐리어 베이스(4)에는, FOUP(100)를 위치 결정하기 위한 키네마틱 핀(8)이, 캐리어 베이스(4)로부터 상방으로 돌출되도록 복수 설치되어 있다. 이 키네마틱 핀(8)이, FOUP(100)의 저면에 복수 형성된 위치 결정 홈(도시하지 않음)에 결합함으로써, FOUP(100)가 캐리어 베이스(4) 상에서 위치 결정된다. 캐리어 베이스(4)의 상면에는, FOUP(100)가 캐리어 베이스(4) 상에서 적절하게 위치 결정된 상태로 적재되어 있는지 여부를 검출하는 착석 센서(9)가 설치되어 있다.
도 3은, 노즐 유닛의 종단면도이다. 상술한 바와 같이, 노즐 유닛(10)은, 노즐(11)이 노즐 홀더(12)에 유지되는 구성으로 되어 있다. 노즐(11)에는, 그 내부를 상하 방향으로 관통하는 가스 유통로(13)가 형성되어 있다. 노즐(11)이 주입 노즐(11A)인 경우에는, 가스 유통로(13)의 하단부에, 불활성 가스의 공급원(도시하지 않음)으로부터의 배관이 접속된다. 불활성 가스로서는, 질소, 헬륨, 아르곤 등이 사용된다. 노즐(11)이 배출 노즐(11B)인 경우에는, 가스 유통로(13)의 하단부에, 가스를 흡인하는 진공 펌프 등의 흡인기(도시하지 않음)로부터의 배관이 접속된다.
노즐(11)은, 승강 기구(21)에 의해 승강 가능하게 구성되어 있다. 승강 기구(21)로서는, 예를 들어 특허문헌 1의 도 4에 도시한 바와 같이, 에어 실린더를 사용한 기구나, 특허문헌 1의 도 7에 도시한 바와 같이, 2개의 압력실의 압력차를 이용하는 기구를 채용할 수 있다. 물론, 이것 이외의 기구를 채용하는 것도 가능하다. 승강 기구(21)가 작동하면, 노즐(11)은, 노즐 홀더(12)에 대해 상하 방향으로 이동한다. 노즐(11)은, 노즐 하부체(14)와 노즐 상부체(15)로 분할되어 있고, 노즐 하부체(14)와 노즐 상부체(15)가 연결됨으로써 노즐(11)이 구성된다. 노즐 하부체(14)는 금속제이고, 그 중앙부에 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(14a)이 형성됨과 함께, 관통 구멍(14a)의 상단부에 암나사부(14b)가 형성되어 있다. 또한, 노즐 상부체(15)는, 금속제의 본체(16)에 고무 부재(17)가 장착된 구성으로 되어 있고, 본체(16)의 중앙부에 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(16a)이 형성됨과 함께, 본체(16)의 하단부에 수나사부(16b)가 형성되어 있다.
노즐 상부체(15)의 수나사부(16b)를, 노즐 하부체(14)의 암나사부(14b)에 나사 결합시킴으로써, 노즐(11)이 조립된다. 이때, 노즐 하부체(14)의 관통 구멍(14a)과 노즐 상부체(15)의 관통 구멍(16a)이 연결되어, 가스 유통로(13)로 된다. 노즐 하부체(14)와 노즐 상부체(15) 사이로부터 가스가 누설되는 것을 방지하기 위해, O링(18)이 노즐 하부체(14)와 노즐 상부체(15) 사이에 배치되어 있다.
여기서, 도 3에 도시하는 FOUP(100)는, 소위 「그로멧 타입」이고, 그 저면에 형성된 설치 구멍(102)에, 원환 형상을 갖는 고무제의 그로멧(103)이 설치되어 있다. 그리고, 노즐(11)의 상단부가 그로멧(103)에 접촉함으로써, 그로멧(103)의 중앙 개구(104)가, 노즐(11)에 형성된 가스 유통로(13)와 연통하고, 노즐(11)로부터 FOUP(100)로 가스를 주입 또는 배출하는 것이 가능하게 되어 있다. 도 4는, 도 3과 동일한 노즐 유닛의 종단면도이지만, 도 4에 도시하는 FOUP(200)는, 소위 「립 타입」이고, 그 저면에 형성된 설치 구멍(202)에, 밸브(203)가 설치되어 있다. 밸브(203)는, 대략 원통 형상을 갖는 플라스틱제이고, 하방으로 돌출되도록 R 가공된 원환 형상의 립부(203a)를 갖는다. 그리고, 노즐(11)의 상단부가 립부(203a)에 접촉함으로써, 밸브(203)의 중앙의 개구(204)가, 노즐(11)에 형성된 가스 유통로(13)와 연통하고, 노즐(11)로부터 FOUP(200)로 가스를 주입 또는 배출하는 것이 가능하게 되어 있다.
즉, FOUP(100, 200)에 있어서, 그로멧(103) 및 립부(203a)가, 개구(104, 204)의 주위에 설치된 「피접촉부」로서 기능한다. 그리고, 노즐(10)[노즐 상부체(15)]의 상단부에, 그로멧(103)이나 립부(203a)에 접촉 가능한 접촉부(19)가 설치되어 있다. 접촉부(19)의 상세에 대해서는, 후술한다.
이상과 같이 구성된 로드 포트(1)에 있어서는, OHT(OverHead Transportation) 등의 도시하지 않은 반송 기구에 의해 반송된 FOUP(100, 200)가 적재대(2)의 캐리어 베이스(4) 상에 적재된다. 착석 센서(9)에 의해, FOUP(100, 200)가 적절하게 위치 결정된 상태로 적재된 것이 검출되면, 승강 기구(21)에 의해 노즐(11)이 상방으로 이동된다. 그 결과, 노즐(11)의 접촉부(19)가, FOUP(100)의 그로멧(103)이나 FOUP(200)의 립부(203a)에 접촉하고, 가스 유통로(13)와 개구(104, 204)가 기밀 상태에서 연통한다.
이 상태에서, 불활성 가스의 공급원으로부터 주입 노즐(11A)을 통해 FOUP(100, 200)에 불활성 가스가 주입됨과 함께, 흡인기에 의해 배출 노즐(11B)을 통해 FOUP(100, 200) 내의 에어가 배출됨으로써, 불활성 가스에 의한 퍼지를 행할 수 있다. 또한, 적재대(2)에 적재된 FOUP(100, 200)에 대해 퍼지를 실행하는 퍼지 장치(20)는, 적재대(2), 적재대(2)에 탑재된 노즐 유닛(10)이나 승강 기구(21), 불활성 가스의 공급원, 흡인기 등을 구비하여 구성된다.
도 5는, 노즐의 접촉부를 도시하는 확대 단면도이고, 도 6은, 노즐과 FOUP의 접촉 상태를 도시하는 확대 단면도이다. 노즐(11)의 접촉부(19)는, 도 6의 (a)에 도시하는 그로멧 타입의 FOUP(100A), 도 6의 (b)에 도시하는 그로멧 타입의 FOUP(100B), 및 도 6의 (c)에 도시하는 립 타입의 FOUP(200)에 각각 대응할 수 있도록, 도 5에 도시하는 형상 및 치수를 갖고 있다.
접촉부(19)는, 가스 유통로(13)측(내측)으로부터 외측을 향해 순서대로, 내측 돌출부(19a), 평탄부(19b), 외측 돌출부(19c)를 갖고 구성된다. 이들 각 부(19a, 19b, 19c)는, 모두 원환 형상을 갖고 있고, 서로 동심원 형상이 되도록 배치되어 있다. 내측 돌출부(19a) 및 외측 돌출부(19c)는, 금속제의 본체(16)의 일부가, 평탄부(19b)보다도 상방으로 돌출되도록 가공되어 구성되어 있다. 내측 돌출부(19a) 및 외측 돌출부(19c)의 선단부는, 모두 R 가공되어 있고, 이들의 선단 위치는 동일 위치로 되어 있다. 내측 돌출부(19a)와 외측 돌출부(19c) 사이의 오목 형상 공간에는, 평탄한 원환 형상을 갖는 고무 부재(17)가 적재되어 있고, 이 고무 부재(17)가 평탄부(19b)로 되어 있다.
도 5에 도시한 바와 같이, 내측 돌출부(19a) 및 외측 돌출부(19c)는, 평탄부(19b)의 상면보다도 0.5㎜만큼 상방으로 돌출되어 있다. 또한, 내측 돌출부(19a)의 단면 폭은 2㎜, 평탄부(19b)의 단면 폭은 10㎜, 외측 돌출부(19c)의 단면 폭은 3㎜로 되어 있다. 즉, 평탄부(19b)의 폭은, 내측 돌출부(19a) 및 외측 돌출부(19c)보다도 넓게 되어 있다. 또한, 외측 돌출부(19c)의 폭은, 내측 돌출부(19a)보다도 넓게 되어 있다.
도 6의 (a)에 도시한 바와 같이, 내경이 6.35㎜, 외경이 22.9㎜인 그로멧(103)이 장착된 FOUP(100A)를 사용한 경우에는, 노즐(11)의 내측 돌출부(19a) 및 외측 돌출부(19c)가 각각 그로멧(103)의 하면에 접촉한다. 또한, 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이, 내경이 14.5㎜, 외경이 23.5㎜인 그로멧(103)이 장착된 FOUP(100B)를 사용한 경우에는, 노즐(11)의 외측 돌출부(19c)만이 그로멧(103)의 하면에 접촉한다. 또한, 도 6의 (c)에 도시한 바와 같이, 내경이 14.7㎜, 외경이 17.7㎜인 립부(203a)를 갖는 FOUP(200)를 사용한 경우에는, 노즐(11)의 평탄부(19b)의 상면이 립부(203a)에 접촉한다.
(효과)
이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 노즐(11)의 접촉부(19)에, 평탄부(19b)와, 평탄부(19b)보다도 상방으로 돌출된 돌출부(19a, 19c)를 설치하고, 또한, 평탄부(19b)를 돌출부(19a, 19c)보다도 부드러운 재료로 구성하고 있다. 이로 인해, 그로멧 타입의 FOUP(100)를 사용하는 경우에는, 노즐(11)의 돌출부(19a, 19c) 중 적어도 어느 한쪽이 FOUP(100)의 그로멧(103)에 접촉함으로써, 노즐(11)과 FOUP(100)를 양호하게 밀접시킬 수 있다. 한편, 립 타입의 FOUP(200)를 사용하는 경우에는, 돌출부(19a, 19c)보다도 부드러운 평탄부(19b)가 FOUP(200)의 립부(203a)에 접촉함으로써, 노즐(11)과 FOUP(200)를 양호하게 밀접시킬 수 있다. 따라서, 본 실시 형태의 노즐(11)에 의하면, 그로멧 타입의 FOUP(100)와 립 타입의 FOUP(200)의 양쪽에 대응할 수 있다.
특히 본 실시 형태에서는, 접촉부(19)에 복수의 돌출부(19a, 19c)를 설치하고 있으므로, 보다 많은 종류의 그로멧 타입의 FOUP(100)에 대응할 수 있다. 또한, 평탄부(19b)를 돌출부(19a, 19c)보다도 폭 넓게 하고 있으므로, 보다 많은 종류의 립 타입의 FOUP(200)에 대응할 수 있다. 또한, 돌출부(19a, 19c)의 선단부가 R 가공되어 있으므로, 그로멧(103)에 대한 돌출부(19a, 19c)의 접촉 형태가 대략 선접촉이 되고, 면 접촉의 경우와 비교하여, 보다 양호하게 돌출부(19a, 19c)를 그로멧(103)에 밀접시킬 수 있다.
또한, 노즐(11)에서는, 고무 부재(17)로 이루어지는 평탄부(19b)의 하면과, 고무 부재(17)가 적재되는 본체(16)의 상면 사이에 간극이 발생할 가능성이 있고, 이 간극이 가스 누설의 경로가 될 우려가 있다. 따라서, 본 실시 형태와 같이, 가스 유통로(13)와 평탄부(19b) 사이에 내측 돌출부(19a)를 설치함으로써, 가스가 상기 간극에 이르는 것을 방지하고, 가스 누설을 확실하게 억제할 수 있다.
또한, 평탄부(19b)를 구성하는 고무 부재(17)는, 다른 부재와의 접촉 등에 의해 손상을 받기 쉽다. 따라서, 본 실시 형태와 같이, 평탄부(19b)보다도 외측에 외측 돌출부(19c)를 설치함으로써, 부드러운 평탄부(19b)를 외측 돌출부(19c)로 보호할 수 있어, 평탄부(19b)의 손상을 방지할 수 있다. 특히, 본 실시 형태에서는, 외측 돌출부(19c)가 내측 돌출부(19a)보다도 두껍게 되어 있으므로, 외측 돌출부(19c)의 강도가 높아져, 상술한 효과를 높일 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 노즐 유닛(10)을 구비하는 로드 포트(1)나 퍼지 장치(20)에 의하면, 노즐(11)[혹은 노즐 상부체(15)]을 교환하지 않고, 그로멧 타입의 FOUP(100)와 립 타입의 FOUP(200)의 양쪽에 대해, 적절하게 퍼지를 행하는 것이 가능해진다.
(다른 실시 형태)
본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상기 실시 형태의 요소를 적절히 조합 또는 다양한 변경을 추가하는 것이 가능하다.
예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 퍼지 장치(20)를 구비한 로드 포트(1)에 대해 설명을 행하였지만, 퍼지 장치(20)의 탑재처는 로드 포트(1)로 한정되지 않는다. 예를 들어, 퍼지 장치(20)를, OHT 등의 반송 기구에 의해 반송된 FOUP(100, 200)를 가설하기 위한 가설 장치나, 복수의 FOUP(100, 200)를 저장해 두는 스토커 등에 탑재하는 것도 가능하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 수용 용기로서 FOUP(100, 200)를 사용하는 경우에 대해 설명하였지만, 그 내부 공간에 대해 퍼지가 행해지는 것이면, FOUP(100, 200) 이외의 수용 용기를 대상으로 해도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 돌출부(19a, 19c)를 금속제, 평탄부(19b)를 고무제로 했지만, 각 부의 재료는 이에 한정되지 않는다. 즉, 평탄부(19b)가 돌출부(19a, 19c)보다도 부드럽다는 관계가 성립되어 있으면, 돌출부(19a, 19c) 및 평탄부(19b)의 재료는 적절히 변경이 가능하다. 예를 들어, 돌출부(19a, 19c)가 플라스틱제여도 된다. 부드러움의 지표가 되는 물성값으로서는, 예를 들어 탄성 계수(영률), 비커스 경도, 듀로 미터 경도 등 중에서 적당한 것을 채용할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 노즐(11)이, 노즐 하부체(14)와 노즐 상부체(15)가 연결되어 구성되어 있는 것으로 하였다. 그러나, 노즐(11)이 노즐 하부체(14)와 노즐 상부체(15)로 분할되어 있지 않고, 1개의 부재로서 구성되어 있어도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 노즐(11)의 접촉부(19)에, 2개의 돌출부(19a, 19c)를 설치하는 것으로 하였지만, 돌출부의 수는 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다. 또한, 평탄부(19b)의 수도 1개로 한정되지 않고, 2개 이상 설치해도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 평탄부(19b)의 내측에 내측 돌출부(19a)가 설치되고, 평탄부(19b)의 외측에 외측 돌출부(19c)가 설치되는 것으로 하였다. 그러나, 내측 돌출부(19a)나 외측 돌출부(19c)를 설치하는 것은 필수는 아니고, 본 발명은 적어도 1개의 돌출부와, 적어도 1개의 평탄부가 있으면 성립하는 것이고, 돌출부와 평탄부의 위치 관계도 대상으로 하는 FOUP(100, 200)에 따라 적절히 변경이 가능하다. 또한, 상기 실시 형태에서는, 노즐(11)이 승강 기능(21)에 의해 승강할 수 있도록 구성하였다. 그러나, 승강 기구(21)를 설치하는 것은 필수는 아니고, 노즐(11)이 노즐 홀더(12)에 대해 상하 방향으로 이동할 수 없는 것이어도 된다.
또한, FOUP(100, 200)의 개구(104, 204)의 주위에 설치되는 피접촉부를, 노즐(11)의 접촉부(19)를 상하 반대로 한 것으로서 구성하는 것도 가능하다. 즉, FOUP(100, 200)의 피접촉부에, 평탄부와, 평탄부보다도 하방으로 돌출된 돌출부를 설치하고, 평탄부가 돌출부보다도 부드러운 재료로 구성되도록 해도 된다.
1 : 로드 포트
2 : 적재대
10 : 노즐 유닛
11 : 노즐
13 : 가스 유통로
19 : 접촉부
19a, 19c : 돌출부
19b : 평탄부
20 : 퍼지 장치
100 : 그로멧 타입의 FOUP(수용 용기)
103 : 그로멧(피접촉부)
104 : 개구
200 : 립 타입의 FOUP(수용 용기)
203a : 립부(피접촉부)
204 : 개구

Claims (6)

  1. 피수용물을 수용하는 수용 용기의 저면에 형성된 개구와 연통 가능한 가스 유통로를 갖고,
    상기 가스 유통로 및 상기 개구를 통해 상기 수용 용기에 가스를 주입 또는 배출하는 노즐의 선단 구조이며,
    상기 노즐의 상단부에는, 상기 개구의 주위에 설치된 피접촉부에 접촉 가능한 접촉부가, 상기 가스 유통로의 주위에 설치되어 있고,
    상기 접촉부는, 평탄부와, 상기 평탄부보다도 상방으로 돌출된 복수의 돌출부를 갖고, 상기 평탄부는 상기 돌출부보다도 부드러운 재료로 구성되어 있고,
    상기 돌출부는, 상기 가스 유통로와 상기 평탄부 사이에 구비되는 내측 돌출부와, 상기 평탄부의 외측에 구비되는 외측 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 노즐의 선단 구조.
  2. 피수용물을 수용하는 그로멧 타입 또는 립 타입의 수용 용기의 저면에 형성된 개구와 연통 가능한 가스 유통로를 갖고,
    상기 가스 유통로 및 상기 개구를 통해 상기 수용 용기에 가스를 주입 또는 배출하는 노즐의 선단 구조이며,
    상기 노즐의 상단부에는, 상기 개구의 주위에 설치된 피접촉부에 접촉 가능한 접촉부가, 상기 가스 유통로의 주위에 설치되어 있고,
    상기 접촉부는, 평탄부와, 상기 평탄부보다도 상방으로 돌출된 돌출부를 갖고, 상기 평탄부는 상기 돌출부보다도 부드러운 재료로 구성되어 있고,
    가스 주입 또는 배출시, 상기 그로멧 타입의 수용 용기의 피접촉부는 상기 돌출부에 접촉 가능하고, 상기 립 타입의 수용 용기의 피접촉부는 상기 평탄부에 접촉 가능한 것을 특징으로 하는, 노즐의 선단 구조.
  3. 제2항에 있어서, 상기 돌출부가, 상기 가스 유통로와 상기 평탄부 사이에 설치되어 있는, 노즐의 선단 구조.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 돌출부가, 상기 평탄부보다도 외측에 설치되어 있는, 노즐의 선단 구조.
  5. 수용 용기를 적재하기 위한 적재대를 갖고, 상기 적재대에 탑재된 노즐 유닛에 의해 상기 수용 용기에 가스를 주입 또는 배출하는 퍼지 장치이며,
    상기 노즐 유닛이, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 노즐의 선단 구조를 갖는 것을 특징으로 하는, 퍼지 장치.
  6. 반도체 제조 장치에 인접하여 설치되고, 적재대에 적재된 상기 수용 용기의 덮개를 개폐하는 로드 포트이며,
    제5항에 기재된 퍼지 장치가 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는, 로드 포트.
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