TW201903838A - 用於晶圓容器的氣體供應裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及對收容並運送晶圓的晶圓容器注入吹掃氣體之用於晶圓容器的氣體供應裝置。該用於晶圓容器的氣體供應裝置包括：載置台部，安裝有晶圓容器；氣體出入部，對應於形成在晶圓容器的氣體入口和氣體出口的位置，並包括外殼與噴嘴，其中外殼結合於載置台部，噴嘴可升降地插入於外殼內並且內部形成有吹掃氣體出入的流路；第一驅動部，在與噴嘴連接的狀態下升降，並且提供上升驅動力，以使噴嘴上升；第二驅動部，彈性支撐第一驅動部，進而向第一驅動部上升的方向提供彈力。據此，具有第一、第二驅動部來提供能使噴嘴上升的充分的驅動力，進而在從噴嘴上部移除晶圓容器時，使噴嘴順利上升，進而可防止吹掃氣體的浪費。

Description

用於晶圓容器的氣體供應裝置
本發明涉及用於晶圓容器的氣體供應裝置，更詳細地說涉及對收容並運送晶圓的晶圓容器注入吹掃氣體之晶圓容器的氣體供應裝置。
一般而言，半導體元件是通過多種晶圓製程製造而形成的，包括如下的製程：用於在晶圓上形成膜的沉積製程；用於將所述膜平面化的化學/機械性研磨製程；用於在所述膜上形成光刻膠圖案的光刻製程；利用所述光刻膠圖案將所述膜形成具有電氣性特性的圖案蝕刻製程；用於在晶圓的固定區域注入特定離子的離子注入製程；用於去除晶圓上的雜質的清洗製程；用於檢查形成有所述膜或者圖案的晶圓表面的檢查製程等。另外，包括晶圓的熱處理製程。
如上所述，半導體元件是在晶圓上選擇性地反復執行沉積製程、研磨製程、光刻製程、蝕刻製程、離子注入製程、清洗製程、檢查製程、熱處理製程等製造而形成，為了形成這種半導體元件，晶圓被運送至在各製程中所要求的特定位置上。
在半導體製程中，被加工的晶圓是高精度物品，所以在保管和搬運時必須注意不要被外部污染物和衝擊污染或損壞。特別是，在製程進行時，在保管和搬運過程中必須注意確保晶圓表面不受諸如灰塵、水分和各種有機物質之類的雜質的污染。因此，在保管和運送晶圓時，晶圓必須儲存在獨立的晶圓容器中，以保護它們免受外部衝擊和污染物的污染。
為此，廣泛使用收容固定單位個數的複數個晶圓的晶圓容器，諸如前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod；FOUP)。前開式晶圓盒(FOUP)內的晶圓通過晶圓運送裝置的運送機器人運送至晶圓製程處理裝置。
此時，在晶圓出入於晶圓容器內時流入的空氣是經過過濾的，但是在密封的前開式晶圓盒(FOUP)內還存在未過濾的一部分空氣，而在這種空氣中含有諸如氧氣、水分、臭氧等的分子污染物。
從而，收容於晶圓容器內的晶圓表面通過從處理過的晶圓中產生煙霧氣體(Fume Gas)而產生化學反應，形成導致半導體晶圓的生產率降低的原因。
如上所述，為了降低由收容於晶圓容器內的晶圓的污染物質或者內部濕度啟動的化學反應，在晶圓容器的氣體供應裝置將收容晶圓的晶圓容器以預定時間來供應吹掃氣體，以調節污染物質或者內部濕度。
在習知的氣體供應裝置中，當放置晶圓容器時，噴嘴通過晶圓容器的負荷下降向容器內部供應吹掃氣體；當移除晶圓容器時，施加於噴嘴的負荷消失，噴嘴重新上升，停止供應吹掃氣體。
此時，用於使噴嘴重新上升之習知的韓國公開專利公報第10-2016-0128806號記載了一種氣體供應裝置，包括載置台部與氣體出入部，在氣體出入部內安裝彈力片，對噴嘴賦予上下方向的彈力。
在韓國註冊專利公報第10-1655437號記載了如下的吹掃噴嘴：在固定器內側插入彈簧，通過相當於FOUP壓迫噴嘴的彈力噴嘴向下側移動的同時保持預定的壓縮，以防止洩漏和破損。
在韓國註冊專利公報第10-1703854號揭露了如下的螺線管分離型N2清洗噴嘴，結合螺線管來一體式運作吹掃噴嘴，進而在FOUP安裝在LPM(Load Port Module，裝載埠模組)時，使LPM的噴嘴通過螺線管向下側方向移動，之後若FOUP已安裝在LPM，則該噴嘴通過彈簧的彈性重新向上側方向移動，噴嘴密封地緊貼於FOUP，以防止洩漏。
如上所述的習知技術是在外殼與噴嘴之間設置彈簧，利用彈簧的彈力使噴嘴上升。另一方面，另一習知技術是連接噴嘴與液壓或者氣壓缸，隨著液壓或者氣壓缸的升降來使噴嘴上升。
但是，彈簧或者液壓或者氣壓缸提供的上升驅動力有限，即使在驅動初始階段產生的附加負荷導致晶圓容器被分離，由於對噴嘴沒有被充分地提供向上的驅動力，所以噴嘴不能被充分地升高。
如果噴嘴無法充分地升高，則在未安裝晶圓容器的狀態下也連續供應吹掃氣體，因此浪費吹掃氣體；由於氣體供應裝置未順利驅動，因此降低晶圓處理製程的生產率；若在未充分升高的狀態下安裝晶圓容器，則降低晶圓容器與噴嘴之間的氣密性，因此存在吹掃氣體洩漏的問題。
本發明是為了解決如上所述的問題而提出的，目的在於提供如下的用於晶圓容器的氣體供應裝置：在從噴嘴上部分離晶圓容器時，使噴嘴順利上升，以防止吹掃氣體的浪費。
另外，本發明的目的在於提供使噴嘴順利地升降驅動進而能夠提高晶圓處理製程的生產率之用於晶圓容器的氣體供應裝置。
用於達到上述目的之本發明作為對收容並運送晶圓的晶圓容器注入吹掃氣體之用於晶圓容器的氣體供應裝置，包括：載置台部，安裝有所述晶圓容器；氣體出入部，對應於形成在所述晶圓容器的氣體入口和氣體出口的位置，並包括外殼與噴嘴，其中所述外殼結合於所述載置台部，所述噴嘴升降地插入於所述外殼內並且內部形成有吹掃氣體出入的流路；第一驅動部，在與所述噴嘴連接的狀態下升降，並且提供上升驅動力，以使所述噴嘴上升；第二驅動部，彈性支撐所述第一驅動部，進而向所述第一驅動部上升的方向提供彈力。
較佳為，所述第一驅動部包括：缸體，固定在所述載置台部下部；活塞，在所述缸體內部中進行升降；連接部，連接所述活塞與所述噴嘴，以使所述活塞與所述噴嘴同時升降；以及流體出入部，使流體出入於所述缸體與所述活塞之間的內部空間，以使所述活塞通過所述缸體內部壓力上升。
較佳為，所述第二驅動部包括：固定部件，固定在所述載置台部下部；移動部件，滑動地插入於所述固定部件內，並傳遞彈力以使所述活塞上升；以及彈性部件，設置在所述固定部件內，並彈力支撐所述移動部件，以對所述活塞提供彈力。
較佳為，所述第二驅動部包括彈性部件，所述彈性部件配置在所述缸體與所述活塞之間的內部空間，並且彈性支撐所述活塞，以對所述活塞提供彈力。
較佳為，述第一驅動部具有複數個所述缸體，並且具有複數個所述活塞，複數個所述活塞分別插入於複數個所述缸體，以形成複數個所述內部空間的同時進行升降。
較佳為，複數個所述缸體由排成一列的第一缸體、第二缸體、第三缸體構成；複數個所述活塞由第一活塞、第二活塞、第三活塞構成，所述第一活塞、第二活塞、第三活塞分別插入於所述第一缸體、第二缸體、第三缸體以形成第一內部空間、第二內部空間、第三內部空間；所述第一內部空間、第三內部空間或者所述第二內部空間具有所述彈性部件，並且高度高於其他的內部空間。
如上所述，本發明具有第一驅動部、第二驅動部以提供能夠使噴嘴上升的充分的驅動力，進而在從噴嘴上部移除晶圓容器時，使噴嘴順利上升，進而可以防止吹掃氣體的浪費。
另外，本發明使噴嘴順利升降驅動，進而可以提高晶圓處理製程的生產率。
另外，本發明具有複數個活塞，進而可以增加提供給噴嘴的上升驅動力。
另外，本發明在載置台部設置感測晶圓容器是否安裝的安裝感測部，進而只有在載置台放置晶圓容器時供應吹掃氣體，在防止吹掃氣體損失的同時可以提高吹掃氣體處理效率。
另外，本發明的安裝感應部接觸式或者非接觸式地感應晶圓容器的安裝與否，進而安裝感應部可以容易感應晶圓容器安裝與否。
另外，本發明將作為氣體出入部的氣體注入部與氣體排出部分別配置在相互不同的位置，進而可以使吹掃氣體容易出入的同時提高吹掃氣體的流動性。
10‧‧‧載置台部
11‧‧‧結合孔
20‧‧‧氣體出入部
21‧‧‧外殼
22‧‧‧噴嘴
22a‧‧‧凸出部
22b‧‧‧凹槽部
23‧‧‧密封部件
23a‧‧‧套管
23b‧‧‧密封墊
24‧‧‧彎管
30‧‧‧第一驅動部
31‧‧‧缺體
31a‧‧‧第一缸體
31b‧‧‧第二缸體
31c‧‧‧第三缸體
32‧‧‧活塞
32a‧‧‧第一活塞
32b‧‧‧第二活塞
32c‧‧‧第三活塞
33‧‧‧連接部
34‧‧‧流體出入部
35‧‧‧內部空間
35a‧‧‧第一內部空間
35b‧‧‧第二內部空間
35c‧‧‧第三內部空間
40‧‧‧第二驅動部
41‧‧‧固定部件
42‧‧‧移動部件
43‧‧‧彈性部件
44‧‧‧彈性部件
45‧‧‧支撐部件
50‧‧‧安裝感應部
51‧‧‧推進器
52‧‧‧支架
53‧‧‧感應工具
100‧‧‧晶圓容器
圖1是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的結構圖；圖2是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的立體分解圖；圖3是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴上升狀態的正面剖面圖；圖4是圖3的A-A剖面圖；圖5是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴下降狀態的正面剖面圖；圖6是圖5的B-B剖面圖；圖7是顯示本發明第二實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的立體分解圖；圖8是顯示本發明第二實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴上升狀態的正面剖面圖；圖9是圖8的C-C剖面圖；圖10是圖9的D-D剖面圖；圖11是顯示本發明第二實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴下降狀態的正面剖面圖；圖12是圖11的E-E剖面圖；以及圖13是圖12的F-F剖面圖。
以下，參照附圖詳細說明本發明的實施例。
圖1是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的結構圖；圖2是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的立體分解圖；圖3是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴上升狀態的正面剖面圖；圖4是圖3的A-A剖面圖；圖5是顯示本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴下降狀態的正面剖面圖；圖6是圖5的B-B剖面圖；圖7是顯示本發明第二實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的立體分解圖；圖8是顯示本發明第二實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴上升狀 態的正面剖面圖；圖9是圖8的C-C剖面圖；圖10是圖9的D-D剖面圖；圖11是顯示本發明第二實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置的噴嘴下降狀態的正面剖面圖；圖12是圖11的E-E剖面圖；以及圖13是圖12的F-F剖面圖。
本發明之用於晶圓容器的氣體供應裝置可分為第一實施例、第二實施例，各個實施例的構成要素基本相同，但是在部分結構上存在差異。另外，在本發明的各種實施例中，對於產生相同作用的構成要素將使用相同的元件符號。
如圖1所示，本發明第一實施例之用於晶圓容器的氣體供應裝置是對收容並運送諸如半導體晶圓的基板的晶圓容器100注入吹掃氣體之晶圓容器的氣體供應裝置，並且包括載置台部10、氣體出入部20、第一驅動部30以及第二驅動部40。
晶圓容器100作為以固定的單位個數收容複數個晶圓以在半導體製程的過程中在保管以及搬運晶圓時保護晶圓免受來自外部的衝擊與污染物質的容器，使用諸如前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod；FOUP)的晶圓容器。
當然，晶圓容器100也可用於沉積製程、研磨製程、光刻製程、蝕刻製程、離子注入製程、清洗製程、檢查製程以及熱處理製程中的至少一種製程。
另外，對於注入於晶圓容器100的吹掃氣體，使用各種種類的加熱的空氣、未加熱空氣、非氧化性氣體或惰性氣體，以在晶圓容器100內部調節濕度以及減少由污染引起的半導體晶圓的氧化或受損等，而在本實施例的吹掃氣體較佳為使用氮氣。
載置台部10作為在上面放置收容並運送諸如半導體晶圓的基板的晶圓容器的安裝工具，設置在作為晶圓容器的氣體供應裝置的晶圓安置台前方，所述晶圓容器的氣體供應裝置是在運送並收容半導體晶圓的晶圓容器時，對晶圓容器注入吹掃氣體，以防止晶圓污染。
另外，在載置台部10上面形成有結合孔11，以對應於形成在晶圓容器100下部的氣體入口和氣體出口的位置來配置氣體出入部10，而在結合孔11周邊可設置固定氣體出入部20的緊固工具，諸如螺栓等。
氣體出入部20作為設置在安裝晶圓容器100的載置台部10對晶圓容器100注入或者排放吹掃氣體的氣體出入工具，可由一個以上的氣體注入部與氣體排放部構成。
氣體出入部20向載置台部10的上面凸出，以對應於形成在晶圓容器100下部的氣體入口和氣體出口。另外，氣體出入部20在與晶圓容器100接觸的部位黏合或者固定結合密封部件23。
氣體注入部是設置在載置台部10一端以將吹掃氣體注入於晶圓容器100的注入工具；氣體排放部是設置在載置台部10的另一端以排放注入於晶圓容器100的吹掃氣體的排放工具；如圖2至圖6所示，氣體注入部與氣體排放部包括外殼21、噴嘴22以及密封部件23。
氣體注入部與氣體排放部配置在相互不同的位置，因此在容易注入和排放吹掃氣體的同時可以提高吹掃氣體在晶圓容器100內的流動性。
外殼21結合固定在載置台部10的下部，並且內部形成有使噴嘴22滑動的插入孔，而在外殼21上面形成有結合孔，以使緊固工具介入來結合於載置台部10。
噴嘴22作為可升降地插入在外殼21的插入孔內並且是吹掃氣體流動的流路部件，內部為中央部位流路，所述流路形成貫通上端與下端的貫通孔以使吹掃氣體出入。
另外，噴嘴22的上端形成為凸出，以與晶圓容器100的氣體入口或者氣體出口接觸或者接合並連通，而噴嘴22的下端介入彎管24以連接供應吹掃氣體的氣體供應工具的供應管或者排放吹掃氣體的氣體排放工具的排放管。
噴嘴22的上端從載置台部10上面形成為凸出，進而容易掌握容器100與噴嘴22接觸時的接觸位置，同時可防止晶圓容器100受損。
密封部件23作為氣密部件，設置在噴嘴22上部，在載置台部10的上面安裝晶圓容器100時密封噴嘴22與晶圓容器100之間，可由套管和密封墊構成。
套管23a是為了保護從載置台部10上面露出的噴嘴22上端周圍而設置在噴嘴22上部的保護部件，大致形成為圓筒形狀的軸支撐筒形狀，並且較佳為由硬質橡膠等緩衝材料構成，進而在放置晶圓容器100時減少衝擊負荷。
密封墊23b作為在放置晶圓容器100時與晶圓容器100接觸並設置在套管的上面以保持氣密性的氣密墊，相比於硬質橡膠的套管，較佳由氣密材料製成，例如具有比套管的硬質橡膠更柔軟的軟橡膠。
套管23a與密封墊23b強制嵌合可固定在噴嘴22上部。
例如，在噴嘴22上部外周圍形成有凸出部22a，在凸出部22a下部外周圍形成有凹槽部22b。套管23a沿內周形成有凹部，進而強制嵌入於噴嘴22的凹槽部22b；沿著密封墊23b內周形成槽部，進而密封墊23b可強制嵌合於噴嘴22的凸出部22a。
另一方面，套管23a與密封墊23b可通過另外的固定部件固定在噴嘴22上部。
如上所述，在氣體出入部固定結合密封部件，進而提供如下的效果：在晶圓容器與氣體出入部長時間接觸時防止因晶圓容器自重而固定或吸附密封件，並且防止噴嘴或者密封部件分離，進而可提高晶圓處理製程的生產率。
第一驅動部30為在與噴嘴22連接的狀態下進行升降並且提供上升驅動力使噴嘴22上升的驅動工具，由缸體31、活塞32、連接部33以及流體出入部34構成。
缸體31結合於載置台部10下部的外殼21，內部形成孔，以使活塞32升降，孔向缸體31下部開口。可具有複數個缸體31，在第一實施例中由排成一列的第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c構成，所述第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c可形成一體。
活塞32可以升降地插入在缸體31內部中，並且隨著活塞32的升降在缸體31與活塞32之間形成內部空間35。本發明具有複數個活塞32，分別插入於複數個缸體而可形成複數個內部空間；在第一實施例中，活塞32由分別插入於第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c的第一活塞、第二活塞、第三活塞32a、32b、32c構成，並且第一活塞、第二活塞、第三活塞32a、32b、32c可形成一體以同時進行升降，第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c與第一活塞、第二活塞、第三活塞32a、32b、32c之間形成有第一內部空間、第二內部空間、第三內部空間35a、35b、35c。
連接部33連接活塞32與噴嘴22，以使活塞32與噴嘴22同時升降，進而從活塞32向噴嘴22傳遞上升驅動力。
流體出入部34使流體出入於缸體31與活塞32之間的內部空間35，通過缸體31內部壓力使活塞32上升。
若晶圓容器100放置在噴嘴22使噴嘴22下降，則第一驅動部30使通過連接部33連接的活塞32一同下降。之後，若分離晶圓容器100，則流體出入部34從內部空間35流出流體，以縮小內部空間35使活塞32上升，進而第一驅動部30對與活塞32連接的噴嘴22提供上升驅動力來使噴嘴22上升。
另外，第一驅動部30具有複數個缸體與複數個活塞，進而具有複數個內部空間，因此通過流體壓力可以增加提供於噴嘴的上升驅動力。
第二驅動部40作為彈力支撐第一驅動部30以向第一驅動部30上升的方向提供彈力的驅動工具，由固定部件41、移動部件42以及彈性部件43構成。
固定部件41固定在載置台部10下部，並且形成上部開口的槽，以使移動部件42在內部滑動。固定部件41通過支撐部件45與缸體31連接固定，支撐部件45固定並連接載置台部10、外殼21、缸體31中的至少一個和固定部件41。
移動部件42插入於固定部件41的槽，以在固定部件41內部滑動，並且從彈性部件43向活塞32傳遞彈性驅動力。移動部件42形成有上部水平剖面面積比下部擴大的擴張部，擴張部的上端通過彈力推動活塞32或者連接部33的下端。
彈性部件43內設在固定部件41的槽以彈力支撐移動部件42。由彈性部件42產生彈性驅動力，通過移動部件42傳遞給活塞32，以使活塞32容易上升，並且可由線圈彈簧構成彈性部件43。
具體地說，在固定部件41的槽內周面與移動部件42的下部的外周面之間存在間隔，並且在該間隔空間中設置彈性部件43。彈性部件43彈力支撐固定部件41的槽底面與移動部件42的擴張部下部面之間，並且以從固定部件41上升移動部件42的方向提供彈力。
從而，第二驅動部40對活塞32提供彈力，進而提高活塞32的上升力，最終可提高噴嘴22的上升力。
以下，參照圖3至圖6詳細說明第一實施例之晶圓容器的氣體供應裝置的驅動過程。
圖3、圖4顯示在晶圓容器安裝在載置台部10之前噴嘴22上升的狀態。
如圖5、6所示，若晶圓容器安裝在載置台部10，則噴嘴22通過晶圓容器的負荷而下降，並且噴嘴22與通過連接部33連接的活塞32一同下降，隨著缸體31與活塞32之間的內部空間35變大而流入流體，設置在活塞32下部的移動部件42也下降。這時，彈性部件43被壓縮。
重回圖3、圖4所示，若從載置台部10分離晶圓容器，則晶圓容器的負荷被消除，噴嘴22重新上升。此時，從內部空間35流出流體，隨著內部空間35變窄而使活塞32上升，進而提高噴嘴22的上升力。另外，通過壓縮的彈性部件43對活塞32的上升力施加彈力，進而能夠更加提高噴嘴22的上升力。
從而，本發明的晶圓容器的氣體供應裝置具有第一驅動部、第二驅動部，在噴嘴上升時，對噴嘴提供由流體壓力產生的上升驅動力與由彈性部件產生的彈性驅動力，進而在從噴嘴上部分離晶圓容器時，可使噴嘴順利上升，防止浪費吹掃氣體。
另外，使本發明的噴嘴順利地升降驅動，進而可提高晶圓處理製程的生產率。
另外，噴嘴固定在載置台部或者接收由第一驅動部、第二驅動部提供的上升力，因此在提高晶圓容器與噴嘴之間的接觸支撐力的同時可提高氣密性。
另一方面，本發明的晶圓容器的氣體供應裝置還可以包括安裝感應部50，該安裝感應部50設置在載置台部10以感應是否安裝晶圓容器100。
安裝感應部50作為設置在載置台部10的下部以感應是否安裝晶圓容器100的安裝感應工具，以接觸式或者通過諸如感應感測器等的元件非接觸式地感應通過晶圓容器100的安裝負荷是否安裝晶圓容器100。
如圖1所示，安裝感應部50由推進器51、支架52以及感應工具53構成，以感應在載置台部10的上面安裝晶圓容器100時的安裝負荷。
推進器51上下升降地設置在載置台部10的上面，在安裝晶圓容器100時通過晶圓容器100安裝負荷向下方移動以提供安裝與否的判斷根據。
在載置台部10中安裝晶圓容器100的位置的下部設置支架52以支撐推進器51，來使推進器51升降，同時支架52下端設置有感應推進器51升降移動的感應工具53。
感應工具53提供一判斷根據，進而在安裝和移除晶圓容器100時感應通過安裝負荷的升降推進器51，以判斷晶圓容器100的安裝和移除。
對於感應工具53可以使用諸如限位感測器等各種感測器類，或者近接感測器、位置感測器、壓力感測器等各種感測器，當然除此之外還可以使用各種感應工具來感應推進器51的升降。
在載置台部10設置感應是否安裝晶圓容器100的安裝感應部50，進而只在載置台部10安裝晶圓容器100時供應吹掃氣體，可以防止吹掃氣體損失的同時提高吹掃氣壓的處理效率。
另外，作為安裝感應部以接觸式或者非接觸式地感應是否安裝晶圓容器，進而可由安裝感應部容易感應是否安裝晶圓容器。
本發明的第二實施例與第一實施例相比，在第一驅動部、第二驅動部的結構上存在差異。以下，省略與第一實施例相同的構成要素的說明，參照圖7至圖13以與第一實施例不同的構成要素為中心進行說明。
第一驅動部30作為在與噴嘴22連接的狀態下升降並提供上升驅動力以使噴嘴22上升的驅動工具，包括缸體31、活塞32、連接部33以及流體出入部34。
缸體31固定在載置台部10下部，並且內部形成有使活塞32升降的孔，孔向缸體31上部開口。可具有複數個缸體31，在第二實施例中由配置成一列的第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c構成，並且第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c可形成一體。
活塞32可升降地插入在缸體31內部中，並且隨著活塞32的升降在缸體31與活塞32之間形成內部空間35。具有複數個活塞32，分別插入於複數個缸體而可形成複數個內部空間，在第二實施例中由分別插入於第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c的第一活塞、第二活塞、第三活塞32a、32b、32c構成，並且第一活塞、第二活塞、第三活塞32a、32b、32c可形成一體以同時進行升降，在第一缸體、第二缸體、第三缸體31a、31b、31c與第一活塞、第二活塞、第三活塞32a、32b、32c之間形成第一內部空間、第二內部空間、第三內部空間35a、35b、35c。
在此，第一內部空間、第三內部空間35a、35c的高度高於第二內部空間35b的高度。
連接部33連接活塞32與噴嘴22，以使活塞32與噴嘴22同時升降，進而從活塞32向噴嘴22傳遞上升驅動力。
流體出入部34使流體出入於缸體31與活塞32之間的內部空間35，通過缸體31內部壓力使活塞32上升。
對於第一驅動部30，若晶圓容器100安裝在噴嘴22而使噴嘴22下降，則由連接部33連接的活塞32一同下降。之後，若移除晶圓容器100，則流體出入部34向內部空間35流入流體，擴大內部空間35，以使活塞32上升，進而對與活塞32連接的噴嘴22提供上升驅動力，使噴嘴22上升。
另外，第一驅動部30具有複數個缸體與複數個活塞，進而具有複數個內部工件，從而通過流體壓力可增加提供給噴嘴的上升驅動力。
對於第一驅動部30，若晶圓容器100安裝在噴嘴22而使噴嘴22下降，則由連接部33連接的活塞32一同下降。之後，若移除晶圓容器100，則流體出入部34向內部空間35流入流體，使活塞32上升，進而對與活塞32連接的噴嘴22提供上升驅動力使噴嘴22上升。
如上所述，具有複數個缸體和複數個活塞，進而可增加提供於噴嘴的上升驅動力。
第二驅動部40作為彈力支撐第一驅動部30以第一驅動部30上升的方向提供彈力的驅動工具，包括彈性部件44。
彈性部件44配置在缸體31與活塞32之間的內部空間35中以彈性支撐活塞32，來對活塞32提供彈力。從彈性部件44產生的彈性驅動力傳遞於活塞32，可使活塞32容易上升，並且可由線圈彈簧構成彈性部件44。
具體地說，彈性部件44配置在第一內部空間、第三內部空間35a、35c，第一內部空間、第三內部空間35a、35c高度高於第二內部空間35b。從而，即使活塞32下降使得第二活塞32b的下端接觸於第二缸體31b，由於第一內部空間、第三內部空間35a、35c具有固定高度，因此可以保持配置彈性部件44的空間，並且可以通過第二活塞32b限制活塞32下降。
相反地，彈性部件44設置在第二內部空間35b中，第二內部空間35b的高度也可以高於第一內部空間、第三內部空間35a、35c。
彈性部件44上設置與否與內部空間的高度可相互不同，較佳為對稱於產生上升驅動力的活塞32的力中心軸，在第二實施例中活塞32的力中心軸是第二活塞32b的中心軸。
第二驅動部40對活塞32提供彈力，進而提高活塞32的上升力，最終可以提高噴嘴22的上升力。
以下，參照圖8至圖13詳細說明第二實施例之晶圓容器的氣體供應裝置的驅動過程。
圖8至圖10顯示在晶圓容器安裝在載置台部10之前噴嘴22上升的狀態。
如圖11至圖13，若晶圓容器安裝在載置台部10，則噴嘴22通過晶圓容器的負荷下降，噴嘴22與由連接部33連接的活塞32一同下降，並且隨著缸體31與活塞32之間的內部空間35變窄而流出流體，並且壓縮配置在第一內部空間、第三內部空間35a、35c的彈性部件44。
重回圖8至圖10所示，若從載置台部10移除晶圓容器，則晶圓容器的負荷被消除，噴嘴22重新上升。此時，向內部空間35流入流體而擴大內部空間35，從而使活塞32上升，進而提高噴嘴22的上升力。另外，通過壓縮的彈性部件44對活塞32的上升力施加彈力，進而能夠更加提高噴嘴22的上升力。
以上說明的本發明可以在不超出其技術思想或主要特徵的情況下以其他具體形式來實施。因此，所述實施例在所有方面僅是單純的示例，且不得限定性地解釋該實施例。

Claims (6)

  1. 一種用於晶圓容器的氣體供應裝置，作為對收容並運送晶圓的一晶圓容器(100)注入吹掃氣體之晶圓容器的氣體供應裝置，包括：一載置台部(10)，安裝有所述晶圓容器(100)；一氣體出入部(20)，對應於形成在所述晶圓容器(100)的氣體入口和氣體出口的位置，並包括一外殼(21)與一噴嘴(22)，其中所述外殼(21)結合於所述載置台部(10)，所述噴嘴(22)可升降地插入於所述外殼(21)內並且內部形成有吹掃氣體出入的流路；一第一驅動部(30)，在與所述噴嘴(22)連接的狀態下升降，並且提供上升驅動力，以使所述噴嘴(22)上升；一第二驅動部(40)，彈性支撐所述第一驅動部(30)，進而向所述第一驅動部(30)上升的方向提供彈力。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之用於晶圓容器的氣體供應裝置，其中，所述第一驅動部(30)包括：一缸體(31)，固定在所述載置台部(10)下部；一活塞(32)，在所述缸體(31)內部中進行升降；一連接部(33)，連接所述活塞(32)與所述噴嘴(22)，以使所述活塞(32)與所述噴嘴(22)同時升降；以及一流體出入部(34)，使流體出入於所述缸體(31)與所述活塞(32)之間的一內部空間(35)，以使所述活塞(32)通過所述缸體(31)內部壓力上升。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之用於晶圓容器的氣體供應裝置，其中，所述第二驅動部(40)包括：一固定部件(41)，固定在所述載置台部(10)下部；一移動部件(42)，滑動地插入於所述固定部件(41)內，並傳遞彈力以使所述活塞(32)上升；以及一彈性部件(43)，設置在所述固定部件(41)內，並彈力支撐所述移動部件(42)，以對所述活塞(32)提供彈力。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之用於晶圓容器的氣體供應裝置，其中，所述第二驅動部(40)包括：一彈性部件(44)，配置在所述缸體(31)與所述活塞(32)之間的所述內部空間(35)中，並且彈性支撐所述活塞(32)，以對所述活塞(32)提供彈力。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之用於晶圓容器的氣體供應裝置，其中，所述第一驅動部(30)包括：複數個所述缸體(31)；複數個所述活塞(32)，分別插入於複數個所述缸體(31)，以形成複數個所述內部空間(35)的同時進行升降。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之用於晶圓容器的氣體供應裝置，其中，複數個所述缸體(31)由排成一列的一第一缸體、一第二缸體、一第三缸體(31a、31b、31c)構成；複數個所述活塞(32)由一第一活塞、一第二活塞、一第三活塞(32a、32b、32c)構成，所述第一活塞、第二活塞、第三活塞(32a、32b、32c)分別插入於所述第一缸體、第二缸體、第三缸體(31a、31b、31c)以形成一第一內部空間、一第二內部空間、一第三內部空間(35a、35b、35c)；所述第一內部空間、第三內部空間(35a、35c)或者所述第二內部空間(35b)具有所述彈性部件(44)，並且高度高於其他的內部空間。
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