JP6799280B2 - ロードポート装置 - Google Patents
ロードポート装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6799280B2 JP6799280B2 JP2017065579A JP2017065579A JP6799280B2 JP 6799280 B2 JP6799280 B2 JP 6799280B2 JP 2017065579 A JP2017065579 A JP 2017065579A JP 2017065579 A JP2017065579 A JP 2017065579A JP 6799280 B2 JP6799280 B2 JP 6799280B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- gas
- load port
- introduction path
- port device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
容積が可変である複数の圧力室へ導入する駆動ガスを供給する駆動ガス供給部と、
ウエハ搬送容器を載置する載置テーブルを駆動するテーブル駆動部、前記ウエハ搬送容器を前記載置テーブルに対して固定するクランプ機構を駆動するクランプ駆動部、前記ウエハ搬送容器の主開口に連通する連通口に設けられたドアを駆動するドア駆動部、のうち少なくとも一つが有する前記圧力室である第1圧力室へ、第1の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第1ガス導入路と、
前記ウエハ搬送容器の底部開口を介して前記ウエハ搬送容器に連通するボトムノズルを駆動するボトムノズル駆動部が有する前記圧力室である第2圧力室へ、前記第1の圧力より低い第2の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第2ガス導入路と、を有する。
前記第2ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第2の圧力に減圧する第2レギュレータを介して、前記第1ガス導入路に繋がっていてもよい。
前記第2の圧力は、前記第3の圧力より低くてもよい。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10は、半導体処理装置へ繋がるウエハ搬送室52に連結されており、ウエハ搬送室52とロードポート装置10とは、イーフェム(EFEM)を構成する。図1に示すように、ロードポート装置10は、壁部材11と、固定台12と、その固定台12に対して、Y軸方向に移動可能な載置テーブル14とを有する。なお、図面において、Y軸が載置テーブル14の移動方向を示し、Z軸が鉛直方向の上下方向を示し、X軸がこれらのY軸およびZ軸に垂直な方向を示す。
2… フープ
2b… 主開口
2d… 第1側面
2f… 底面
5… 底部底孔
7… 係合用端縁
10… ロードポート装置
11… 壁部材
14… 載置テーブル
15… テーブル駆動部
15a… テーブル移動圧力室
15b… テーブル移動制御弁
16… クランプ機構
17… クランプ駆動部
17a… クランプ移動圧力室
17b… クランプ移動制御弁
18… ドア
19… ドア駆動部
19a… ドア開閉圧力室
19b… ドア開閉制御弁
20… ボトムノズル
20a… ノズル口
21… ボトムノズル駆動部
21a… ノズル昇降圧力室
21b… ノズル昇降制御弁
21c… ピストン流路
21d… シリンダ
21e… 排出バルブ
21f… 仕切り板
22… 清浄化ガス導入流路
22a… 空間
23… シール部材
24… 下方部材
30… 駆動ガス供給部
31… 第1ガス導入路
32… 第2ガス導入路
40… ガス供給源
41… 第1レギュレータ
42… 第2レギュレータ
50… マニホールド
52… ウエハ搬送室
Claims (4)
- 容積が可変である複数の圧力室へ導入する駆動ガスを供給する駆動ガス供給部と、
ウエハ搬送容器を載置する載置テーブルを駆動するテーブル駆動部、前記ウエハ搬送容器を前記載置テーブルに対して固定するクランプ機構を駆動するクランプ駆動部、前記ウエハ搬送容器の主開口に連通する連通口を開閉するドアを駆動するドア駆動部、のうち少なくとも一つが有する前記圧力室である第1圧力室へ、第1の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第1ガス導入路と、
前記ウエハ搬送容器の底部開口を介して前記ウエハ搬送容器に連通するボトムノズルを駆動するボトムノズル駆動部が有する前記圧力室である第2圧力室へ、前記第1の圧力より低い第2の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第2ガス導入路と、を有するロードポート装置。 - 前記第2ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第2の圧力に減圧する第2レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部または前記第1ガス導入路に繋がっていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記第1ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第1の圧力に減圧する第1レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部に繋がっており、
前記第2ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第2の圧力に減圧する第2レギュレータを介して、前記第1ガス導入路に繋がっていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記ボトムノズルを介して、前記ウエハ搬送容器に第3の圧力を有する清浄化ガスを導入する清浄化ガス導入路を有しており、
前記第2の圧力は、前記第3の圧力より低いことを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかに記載のロードポート装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017065579A JP6799280B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | ロードポート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017065579A JP6799280B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | ロードポート装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018170359A JP2018170359A (ja) | 2018-11-01 |
JP6799280B2 true JP6799280B2 (ja) | 2020-12-16 |
Family
ID=64020601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017065579A Active JP6799280B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | ロードポート装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6799280B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4264115B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2009-05-13 | Tdk株式会社 | 被収容物の処理方法及び当該方法に用いられる蓋開閉システム |
JP6131534B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2017-05-24 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | パージノズルユニット、ロードポート、載置台、ストッカー |
JP5993252B2 (ja) * | 2012-09-06 | 2016-09-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 蓋体開閉装置及びこれを用いた熱処理装置、並びに蓋体開閉方法 |
JP5958446B2 (ja) * | 2013-10-28 | 2016-08-02 | Tdk株式会社 | ロードポート装置 |
-
2017
- 2017-03-29 JP JP2017065579A patent/JP6799280B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018170359A (ja) | 2018-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7164824B2 (ja) | ドア開閉システムおよびドア開閉システムを備えたロードポート | |
JP7193748B2 (ja) | ロードポート | |
TWI706814B (zh) | 具有基板載具及清洗腔室環境控制的基板處理系統、設備及方法 | |
JP7436448B2 (ja) | 改良されたロードポートのためのシステム、装置、及び方法 | |
JP6459682B2 (ja) | ガスパージ装置、ロードポート装置およびガスパージ方法 | |
KR100799415B1 (ko) | 제품 컨테이너용 퍼지 시스템 및 퍼지 시스템에 사용하기위한 테이블 | |
US8171964B2 (en) | Apparatus and method for opening/closing lid of closed container, gas replacement apparatus using same, and load port apparatus | |
KR20190122161A (ko) | 배기 노즐 유닛, 로드 포트 및 efem | |
KR20050045695A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2008251631A (ja) | 真空処理装置、真空処理装置の運転方法及び記憶媒体 | |
JP5958446B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP6226190B2 (ja) | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 | |
JP2015126203A (ja) | 基板受け渡し装置及び基板受け渡し方法 | |
JP2017017291A (ja) | フープロードポート装置 | |
JP2007005599A5 (ja) | ||
JP2007005599A (ja) | シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル | |
JP6679907B2 (ja) | ロードポート装置及びロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法 | |
KR20200013613A (ko) | 로드 포트 장치, 반도체 제조 장치 및 포드 내 분위기의 제어 방법 | |
TWI697027B (zh) | 用於晶圓容器的氣體供應裝置 | |
JP6799280B2 (ja) | ロードポート装置 | |
JP7081119B2 (ja) | ロードポート装置 | |
KR101421547B1 (ko) | 수직형 기판 처리 장치와 방법 | |
JP6614278B2 (ja) | 容器パージ装置 | |
US20220301911A1 (en) | Opening/closing apparatus and transport chamber | |
JP6347301B2 (ja) | ロードポート及びノズル駆動ユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201015 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201021 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201103 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6799280 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |