JP7251091B2 - ボトムガスパージ装置、ロードポート装置およびボトムガスパージ方法 - Google Patents
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Description
基板を収容する容器の底部から、前記容器の内部に清浄化ガスを導入するボトムガスパージ装置であって、
前記容器を載置する載置テーブルと、
前記載置テーブルに対して上下方向に相対移動可能に設けられ、前記容器の前記底部に備えられるパージポートに対して下方から接続するノズルと、
前記ノズルに清浄化ガスを供給するガス供給部と、
前記ノズルの先端部に設けられ、前記ノズルが前記パージポートに接続する際、前記パージポートと前記ノズルの間に挟まれて上昇する圧力を検出する圧力センサと、を有する。
載置テーブルに前記容器が載置されたことを認識するステップと、
前記容器の前記底部に備えられるパージポートに対して、前記ノズルが下方から近づくステップと、
前記ノズルの先端部に設けられる圧力センサが、前記パージポートと前記ノズルの間に挟まれて上昇する圧力を検出するステップと、
前記ノズルに清浄化ガスを供給するステップと、を有する。
図1は、本発明の一実施形態に係るボトムガスパージ装置20を備えるロードポート装置10と、載置テーブル12に載置された容器としてのフープ80とを示す外観図である。ボトムガスパージ装置20は、例えば、イーフェム(EFEM)の壁部に設置されるロードポート装置10や、フープ80を保管するストッカーなどに備えられるが、ボトムガスパージ装置20は、ガスパージを行う他の装置に備えられてもよい。
12…載置テーブル
14…ドア
16…フレーム
16a…フレーム開口
20…ボトムガスパージ装置
22…圧力センサ
22a…測定点
22aa、122a、222a、322a…第1測定点
22ab、122b、222b、322b…第2測定点
222c、322c…第3測定点
322d…第4測定点
24…正常接続検出部
26…異常接続検出部
28…接続調整部
30…ノズル
32…流路
34…中空筒部
35…ノズル鍔部
36…継ぎ手部
37…先端部
P1…下降位置
P2…上昇位置
40…ベース部
42…上ベース部
42a…第1接続部
43…下ベース部
43a…第2接続部
44…ベース開口
60…ガス供給部
62…接続経路
70…制御部
80…フープ
82…底部
84…パージポート
86…主開口
88…内部
90…基板
Claims (7)
- 基板を収容する容器の底部から、前記容器の内部に清浄化ガスを導入するボトムガスパージ装置であって、
前記容器を載置する載置テーブルと、
前記載置テーブルに対して上下方向に相対移動可能に設けられ、前記容器の前記底部に備えられるパージポートに対して下方から接続するノズルと、
前記ノズルに清浄化ガスを供給するガス供給部と、
前記ノズルの先端部に設けられ、前記ノズルが前記パージポートに接続する際、前記パージポートと前記ノズルの間に挟まれて上昇する圧力を検出する圧力センサと、を有するボトムガスパージ装置。 - 前記圧力センサにおいて検出される圧力が第1の所定値以上となった場合に、前記ノズルと前記パージポートとの正常接続を検出する正常接続検出部を有する請求項1に記載のボトムガスパージ装置。
- 前記圧力センサは、前記ノズルに備えられる清浄化ガスの流路の中心に対して互いに異なる方向に配置される第1測定点と第2測定点とを含む複数の測定点を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のボトムガスパージ装置。
- 前記圧力センサにおける前記第1測定点と前記第2測定点とで検出される圧力の差が第2の所定値以上となった場合、前記ノズルと前記パージポートとの異常接続を検出する異常接続検出部を有する請求項3に記載のボトムガスパージ装置。
- 前記ノズルの前記パージポートに対する接続動作を調整する接続調整部を有する請求項1から請求項4までのいずれかに記載のボトムガスパージ装置。
- 請求項1から請求項5までのいずれかに記載のボトムガスパージ装置と、
前記容器の主開口を開閉するドアと、
を有するロードポート装置。 - 基板を収容する容器の底部から、前記容器の内部に清浄化ガスを導入するボトムガスパージ方法であって、
載置テーブルに前記容器が載置されたことを認識するステップと、
前記容器の前記底部に備えられるパージポートに対して、ノズルが下方から近づくステップと、
前記ノズルの先端部に設けられる圧力センサが、前記パージポートと前記ノズルの間に挟まれて上昇する圧力を検出するステップと、
前記ノズルに清浄化ガスを供給するステップと、を有するボトムガスパージ方法。
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