JP7322924B2 - 物品収容設備 - Google Patents

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Description

本発明は、物品収容設備に関する。
物品収容設備では、物品を収容する物品収容棚と物品を搬送する搬送装置とによって、物品の保管及び搬送が行われる。このような物品収容設備の一例が、特開２００７-１２６２５４号公報（特許文献１）に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示される符号は、特許文献１のものである。
特許文献１に開示された技術では、物品を移載するためのスライドフォーク（２４）にマークセンサ（２６，２７）を設けると共に、物品を収容するための棚受け（３４）にマーク（３６）を設けている。棚受け（３４）に対して物品を移載する際には、マークセンサ（２６，２７）によるマーク（３６）の検出に基づいて、スライドフォーク（２４）が移載のための適正位置に位置しているか否かを判断できる。
特開２００７-１２６２５４号公報
ところで、物品を下方から支持するように構成されたフォークを用いて、特許文献１に記載された棚受け（互いに間隔を空けて配置された一対の板材）のような移載箇所に物品を移載する場合には、フォークの出退及び昇降が必要となる。すなわち、フォークを昇降させることにより、移載箇所に対して上下方向の位置合わせを行い、フォークを出退させることにより、移載箇所に対して水平方向の位置合わせを行う。その後、さらにフォークを移載箇所に対して昇降させることにより、移載箇所から物品を受け取り、又は移載箇所へ物品を引き渡す。このように、物品の移載にはフォークの出退及び昇降が伴い、当然ながら、フォークを出退及び昇降させるためのスペースが移載箇所において必要となる。しかしながら、構造の異なる移載箇所が複数存在する場合には、移載箇所の構造によっては、フォークの動作可能範囲が制約されることがある。この点について、特許文献１には特段の記載は無い。
上記実状に鑑みて、構造の異なる移載箇所が複数存在する場合において、それぞれの移載箇所に応じて適切に移載動作を行うことが可能な技術の実現が望まれる。
物品を収容する収容部を複数備えた物品収容棚と、前記物品収容棚への前記物品の入庫、及び、前記物品収容棚からの前記物品の出庫を行う入出庫部と、前記物品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御装置と、を備えた物品収容設備であって、
前記搬送装置は、複数の前記収容部及び前記入出庫部のそれぞれに設けられた移載箇所に対して前記物品を移載する移載機を備え、
前記移載機は、前記物品を下方から支持するフォークと、前記フォークを水平方向に沿う出退方向に沿って引退位置と突出位置との間で出退させる出退機構と、前記フォークを昇降させる昇降機構と、を備え、前記フォークを出退及び昇降させることで前記移載箇所との間で前記物品を移載する移載動作を行うように構成され、
前記移載箇所において前記物品が載置される部分を載置部とし、前記フォークが前記物品を支持する部分を支持部として、
前記移載機は、前記移載動作において、当該移載動作の対象となる前記移載箇所の前記載置部に対して下方に設定された下方設定位置と当該載置部に対して上方に設定された上方設定位置との間で、前記支持部を昇降させ、
前記制御装置は、前記下方設定位置及び前記上方設定位置のうち少なくとも一方の設定を変更することで、前記入出庫部に設けられた前記移載箇所に前記物品を移載する場合と、前記収容部に設けられた前記移載箇所に前記物品を移載する場合とで、前記下方設定位置から前記上方設定位置までの範囲である前記支持部の昇降範囲を異ならせる。
本構成によれば、入出庫部に設けられた移載箇所の構造と、収容部に設けられた移載箇所の構造とが異なるなど、移載箇所に応じて移載動作中における支持部の昇降範囲の制約が異なる場合であっても、それぞれの移載箇所に応じて適切な昇降範囲を設定して適切に物品を移載することができる。従って、本構成によれば、構造の異なる移載箇所が複数存在する場合において、それぞれの移載箇所に応じて適切に移載動作を行うことが可能となる。
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
物品収容設備の側面図 収容部と当該収容部に収容された物品とを示す平面図 収容部と当該収容部に収容された物品とを示す側面図 収容部と当該収容部に対して移載を行うフォークとを示す平面図 入出庫部と当該入出庫部に対して移載を行うフォークとを示す平面図 各移載箇所に応じた上方設定位置及び下方設定位置を示す図 制御ブロック図 物品収容設備において行われる制御の処理手順を示すフローチャート
以下、物品収容設備が半導体製造工場に用いられる場合を例示して、物品収容設備の実施形態について説明する。本実施形態では、物品は、被収納物を収納するための容器である。ここでは、物品は、被収納物として、半導体ウェハー等からなる半導体基板を収納するように構成されている。物品を構成する容器としては、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称される正面開口式の箱型容器を例示することができる。本実施形態に係る物品収容設備は、このような物品の保管や搬送などを行う設備である。
図１に示すように、物品収容設備１００は、物品Ｗを収容する収容部１０を複数備えた物品収容棚１と、物品収容棚１への物品Ｗの入庫、及び、物品収容棚１からの物品Ｗの出庫を行う入出庫部２と、物品Ｗを搬送する搬送装置３と、搬送装置３を制御する制御装置６と、を備えている。搬送装置３は、複数の収容部１０及び入出庫部２のそれぞれに設けられた移載箇所Ｌに対して物品Ｗを移載する移載機４を備えている。これにより、搬送装置３は、複数の収容部１０のそれぞれとの間、及び、入出庫部２との間で物品Ｗを搬送可能となっている。なお、本例では、物品収容設備１００は、設備全体を管理する統括制御装置Ｈを備えている。統括制御装置Ｈから発せられる指令によって、物品収容設備１００に備えられた各部、各装置が、当該指令に応じた動作を実行する。
本実施形態では、物品収容設備１００は、収容室９を備えている。収容室９は、床部９１と周壁部９２と天井部９３とによって囲まれた空間である。本例では、収容室９は、クリーンな環境下に保たれており、当該収容室９の内部に、物品収容棚１と搬送装置３とが配置されている。なお、図示の例では、収容室９の内部において、一対の物品収容棚１が、搬送装置３を水平方向に挟むように配置されている。搬送装置３は、一対の物品収容棚１の間に形成された搬送空間において、物品Ｗを搬送するように構成されている。
本実施形態では、物品収容設備１００は、物品Ｗの内部にガスを供給するガス供給部５を備えている。ガス供給部５は、物品収容棚１に備えられた複数の収容部１０のそれぞれに対して設けられており、それぞれの収容部１０に収容された物品Ｗの内部にガスを供給するように構成されている。本実施形態では、一対の物品収容棚１のうち一方が、ガス供給部５が設置された“パージ棚”であり、他方が、ガス供給部５が非設置の“非パージ棚”である。これらの棚は、ガス供給部５の設置の有無などを除き、基本的には同等の構造となっている。
本実施形態では、複数段及び複数列に亘って配置された複数の収容部１０が、物品収容棚１に設けられている。換言すれば、複数の収容部１０は、上下方向及び水平方向に並んで配置されている。複数の収容部１０のそれぞれには、搬送装置３の移載機４が物品Ｗを移載するための移載箇所Ｌが設けられている。以下では、一対の物品収容棚１のうち上述の“パージ棚”の収容部１０に設けられた移載箇所Ｌを、「第１移載箇所Ｌ１」と称することがある。
本実施形態では、物品収容棚１は、複数の支柱１１と、複数の載置板１２と、を備えている。複数の支柱１１のそれぞれは、上下方向に沿って配置されていると共に、互いに水平方向に間隔を空けて配置されている。複数の載置板１２のそれぞれは、物品Ｗを載置する部材であり、対応する複数または単数の支柱１１に支持されている。本例では、載置板１２は、上述の搬送空間（搬送装置３が設けられている空間）側の端部が自由端となり、その反対側が固定端となるように、搬送空間側とは反対側の端部が隣り合う一対の支柱１１によって片持ち支持されている。ここでは、１つの載置板１２につき、１つの収容部１０が設けられている。物品Ｗは、載置板１２に載置された状態で、収容部１０に収容される。
本実施形態では、入出庫部２は、収容室９の外部と内部とに亘って物品Ｗを搬送するように構成されている。入出庫部２は、収容室９の外部から内部に物品Ｗを搬送することで、物品収容棚１への物品Ｗの入庫を行い、収容室９の内部から外部に物品Ｗを搬送することで、物品収容棚１からの物品Ｗの出庫を行う。本例では、入出庫部２は、コンベヤとして構成されており、物品Ｗを載置した状態で搬送する。そして、入出庫部２は、周壁部９２を水平方向に貫通するように設けられている。入出庫部２における収容室９の内部に配置された部分には、搬送装置３の移載機４が物品Ｗを移載するための移載箇所Ｌが設けられている。以下では、入出庫部２に設けられた移載箇所Ｌを、「第２移載箇所Ｌ２」と称することがある。
本実施形態では、物品収容設備１００は、収容室９の外部において物品Ｗを搬送する外部搬送装置８を備えている。外部搬送装置８は、入出庫部２における収容室９の外部に配置された部分との間で、物品Ｗを移載する。図示の例では、外部搬送装置８は、天井付近において物品Ｗを搬送する天井搬送車として構成されており、入出庫部２に対して上方から物品Ｗを移載する。
搬送装置３は、入出庫部２と複数の収容部１０のいずれかとの間、及び、複数の収容部１０のいずれかと別の収容部１０との間で物品Ｗを搬送するように構成されている。本実施形態では、搬送装置３は、物品収容棚１に沿って水平方向に設置された走行レール３０と、走行モータ３１ｍにより駆動されて走行レール３０に沿って走行する走行部３１と、走行部３１から上方に延在するように設けられたマスト３２と、マスト３２に沿って昇降する昇降体３３と、を備えている。本例では、移載機４は、昇降体３３に設置されている。移載機４は、昇降体３３と共に、走行レール３０が沿う水平方向及びマスト３２が沿う上下方向に移動自在となっている。これにより、移載機４は、上下方向及び水平方向に並んで配置された複数の収容部１０（第１移載箇所Ｌ１）のそれぞれに対して物品Ｗを移載可能となっている。また、移載機４は、上下方向及び水平方向における搬送装置３の搬送可能範囲内に配置された、入出庫部２における第２移載箇所Ｌ２に対しても、物品Ｗを移載可能となっている。
移載機４は、物品Ｗを下方から支持するフォーク４０と、フォーク４０を水平方向に沿う出退方向Ｘに沿って引退位置Ｐｘ１と突出位置Ｐｘ２（図４及び図５参照）との間で出退させる出退機構４１と、フォーク４０を昇降させる昇降機構４２と、を備え、フォーク４０を出退及び昇降させることで移載箇所Ｌとの間で物品Ｗを移載する移載動作を行うように構成されている。図１では、フォーク４０が引退位置Ｐｘ１にある状態を示している。
本実施形態では、出退機構４１は、フォーク４０を先端部分において支持するリンク機構と、リンク機構を駆動する出退モータと、を含む。本例では、フォーク４０は、いわゆるSCARA（Selective Compliance Assembly Robot Arm）の一部として構成されている。
本実施形態では、昇降機構４２は、ベルト等の無端体、当該無端体が巻回されるプーリ等の回転体、及び、当該回転体を回転駆動する昇降モータと、を含む。本例では、フォーク４０の昇降は、昇降体３３の昇降によって実現される。すなわち、昇降体３３の昇降に伴って、昇降体３３に支持されているフォーク４０が昇降するように構成されている。
以上のように、物品収容設備１００には、移載機４によって物品Ｗを移載するための移載箇所Ｌとして、第１移載箇所Ｌ１と第２移載箇所Ｌ２とが設けられている。第１移載箇所Ｌ１は、複数の収容部１０（本例ではパージ棚における複数の収容部１０）のそれぞれに設けられている。第２移載箇所Ｌ２は、入出庫部２における収容室９の内部に配置された部分に設けられている。以下、第１移載箇所Ｌ１と第２移載箇所Ｌ２とを特に区別しない場合には、これらを「移載箇所Ｌ」と総称することがある。
図２～図４は、第１移載箇所Ｌ１を示している。詳細には、図２及び図３は、第１移載箇所Ｌ１が設けられた収容部１０と、当該収容部１０に収容された物品Ｗとの関係を示している。図４は、収容部１０とフォーク４０との関係を示している。なお、以下では、出退方向Ｘにおいてフォーク４０が引退する側を「引退側Ｘ１」とし、フォーク４０が突出する側を「突出側Ｘ２」とする。また、出退方向Ｘに対して上下方向視で直交する方向を「幅方向Ｙ」とする。
図２及び図３に示すように、物品Ｗは、本体部Ｗａと被保持部Ｗｂと係合溝Ｗｃとを備えている。本体部Ｗａは、被収納物を収納する部分であり、箱状に形成されている。被保持部Ｗｂは、本体部Ｗａから上方に突出するように形成されており、本例ではフランジ状に形成されている。被保持部Ｗｂは、外部搬送装置８（図１参照）が物品Ｗを移載する場合に当該外部搬送装置８によって保持される部分である。係合溝Ｗｃは、本体部Ｗａの底面に形成されており、当該底面から上方に凹むように形成されている。係合溝Ｗｃは、後述するように、フォーク４０における支持ピン４０ａ、収容部１０における第１載置ピン１２１が係合する部分である。係合溝Ｗｃがこれらのピンに係合することにより、物品Ｗは水平方向に位置決めされる。
本実施形態では、物品Ｗは、ガス供給部５からガスの供給を受けるように構成されている。本体部Ｗａの底面には、ガス供給部５から供給されるガスを注入するための給気口Ｗｉと、物品Ｗの内部空間に存在する気体を排出するための排気口Ｗｏと、が形成されている。例えば、物品Ｗの内部に不活性ガス（ガスの一例）を供給することで、酸化により物質を劣化させ易い酸素などを物品Ｗの内部から除去する処理が行われる。このような処理は、パージ処理と呼ばれる。
収容部１０には、載置板１２が配置されている。物品Ｗは、載置板１２に載置された状態で収容部１０に収容される。また、収容部１０には、ガス供給部５が配置されている。ガス供給部５は、収容部１０に収容されている物品Ｗの内部にガスを供給するように構成されている。ガス供給部５が供給するガスは、例えば窒素ガス等の不活性ガスであり、物品Ｗの内部をクリーンに保ち、物品Ｗの内部に収納された半導体基板（被収納物）の劣化等を抑制する。ガス供給部５の主要部分（ガス発生部や制御部等）は、載置板１２に対して突出側Ｘ２に配置されている。
載置板１２には、フォーク４０（図４参照）が上下方向に通過することを許容する通過部１２０が形成されている。載置板１２は、通過部１２０が形成されていることによって、幅方向Ｙの中央部が引退側Ｘ１に開口するように形成されており、上下方向視で略Ｕ字状を成している。
また、載置板１２の上面には、上方に向かって突出する第１載置ピン１２１が設けられている。第１載置ピン１２１は、物品Ｗが載置された場合に、当該物品Ｗを水平方向に位置決めする。説明を加えると、物品Ｗの本体部Ｗａの底面に形成された係合溝Ｗｃに第１載置ピン１２１が係合することにより、物品Ｗが第１載置ピン１２１に載置されると共に水平方向に位置決めされる。
本実施形態では、複数の第１載置ピン１２１が、載置板１２における通過部１２０の周囲に設けられている。図２に示す例では、３つの第１載置ピン１２１が、上下方向視において、互いを結ぶ線が三角形を成すように配置されている。３つの第１載置ピン１２１のうち２つは、出退方向Ｘにおける同じ位置において幅方向Ｙに離間して配置されている。３つの第１載置ピン１２１のうち残りの１つは、他の２つの第１載置ピン１２１よりも突出側Ｘ２において、これら２つの第１載置ピン１２１の幅方向Ｙにおける中間位置に配置されている。本実施形態では、第１載置ピン１２１が、「載置部」に相当し、移載箇所Ｌにおいて物品Ｗが載置される部分である。ここでは、移載箇所Ｌのうち第１移載箇所Ｌ１に設けられた載置部Ａを「第１載置部Ａ１」とする。すなわち、第１載置ピン１２１は、第１載置部Ａ１に相当する。
本実施形態では、載置板１２には、幅方向Ｙにおける内側（通過部１２０の側）に膨出する膨出部１２２が設けられている。本例では、一対の膨出部１２２が、出退方向Ｘにおける同じ位置において幅方向Ｙに離間して配置されている。すなわち本例では、出退方向Ｘにおける同じ位置において幅方向Ｙに離間して配置された一対の第１載置ピン１２１に対応した位置に、一対の膨出部１２２のそれぞれが配置されている。一対の膨出部１２２のそれぞれは、対応する第１載置ピン１２１よりも、幅方向Ｙにおける内側に膨出している。また、一対の膨出部１２２のそれぞれは、対応する第１載置ピン１２１よりも引退側Ｘ１に配置されている。なお、上記の「内側」とは、収容部１０における幅方向Ｙの中心位置に向かう側を意味する。
本実施形態では、ガス供給部５は、ガスが通流する配管５０と、収容部１０に収容された物品Ｗと配管５０とを接続するノズル５１と、を備えている。本実施形態では、ガス供給部５は、複数のノズル５１を備えている。複数のノズル５１には、物品Ｗにおける給気口Ｗｉに接続される給気ノズル５１ａと、物品Ｗにおける排気口Ｗｏに接続される排気ノズル５１ｂと、が含まれる。図示の例では、３つの給気ノズル５１ａと、１つの排気ノズル５１ｂとが、収容部１０に配置されている。以下、給気ノズル５１ａと排気ノズル５１ｂとを特に区別しない場合には、これらを「ノズル５１」と総称する。
本実施形態では、複数のノズル５１のうち一部は、膨出部１２２に配置されている。図示の例では、一対の膨出部１２２のうち一方に、給気ノズル５１ａが配置され、他方に、排気ノズル５１ｂが配置されている。
配管５０は、複数のノズル５１のそれぞれから下方に突出すると共に、載置板１２よりも下方において載置板１２の延在方向に沿って延在している。本例では、載置板１２に対して上下方向視で重複するように配管５０が配設されている。そして、図４に示すように、配管５０の少なくとも一部である対象部分５０Ｔが、収容部１０における第１載置部Ａ１（第１載置ピン１２１）よりも下方であって、上下方向視でフォーク４０の移動軌跡４０Ｍと重複する位置に配置されている。本例では、配管５０の対象部分５０Ｔは、上下方向視において膨出部１２２と重複する部分である。換言すれば、対象部分５０Ｔは、配管５０における、膨出部１２２に配置されたノズル５１（給気ノズル５１ａ又は排気ノズル５１ｂ）から下方に突出した部分である。なお、上述のフォーク４０の移動軌跡４０Ｍとは、フォーク４０が出退方向Ｘに沿って出退する場合の移動軌跡である。
図４に示すように、本実施形態では、フォーク４０の上面には、上方に向かって突出する支持ピン４０ａが設けられている。支持ピン４０ａは、物品Ｗを下方から支持すると共に、当該物品Ｗを水平方向に位置決めする。説明を加えると、物品Ｗの本体部Ｗａの底面に形成された係合溝Ｗｃ（図２参照）に支持ピン４０ａが係合することにより、物品Ｗが支持ピン４０ａに支持されると共に水平方向に位置決めされる。
本実施形態では、複数の支持ピン４０ａが、フォーク４０の上面に設けられている。図４に示す例では、３つの支持ピン４０ａが、上下方向視において、互いを結ぶ線が三角形を成すように配置されている。３つの支持ピン４０ａのうち２つは、出退方向Ｘにおける同じ位置において幅方向Ｙに離間して配置されている。３つの支持ピン４０ａのうち残りの１つは、他の２つの支持ピン４０ａよりも突出側Ｘ２において、これら２つの支持ピン４０ａの幅方向Ｙにおける中間位置に配置されている。本実施形態では、支持ピン４０ａが、「支持部」に相当し、フォーク４０が物品Ｗを支持する部分である。
本実施形態では、フォーク４０には、切欠部４０ｂが形成されている。切欠部４０ｂは、フォーク４０が収容部１０に対して移載動作を行うために突出位置Ｐｘ２に配置された状態で、当該収容部１０に対応して配置された対象部分５０Ｔと上下方向視で重複する部分に形成されている。本例では、フォーク４０が載置板１２における通過部１２０に配置された状態で、切欠部４０ｂは、膨出部１２２に対して水平方向に対向する位置に配置される。この状態で、フォーク４０は、膨出部１２２よりも幅方向Ｙの外側に配置された部分を有するが、切欠部４０ｂがあることによって膨出部１２２とは干渉しない。上述のように、配管５０の対象部分５０Ｔは、膨出部１２２に対して上下方向視で重複する位置に配置されているため、突出位置Ｐｘ２に配置されたフォーク４０は、その位置で昇降した場合であっても、膨出部１２２に干渉しないと共に、対象部分５０Ｔとも干渉しないようになっている。これにより、突出位置Ｐｘ２に配置されたフォーク４０は、昇降した場合に、載置板１２との干渉を回避しつつ通過部１２０を上下方向に通過することが可能となっている。フォーク４０は、物品Ｗを支持した状態で、通過部１２０を上方から下方に通過することで、載置板１２（収容部１０）に物品Ｗを引き渡す。反対に、フォーク４０は、載置板１２に物品Ｗが載置された状態で、通過部１２０を下方から上方に通過することで、載置板１２（収容部１０）から物品Ｗを受け取る。
本実施形態では、切欠部４０ｂは、フォーク４０における幅方向Ｙの端縁の一部が、幅方向Ｙの中心側に向けて切り欠かれた形状となっている。本例では、フォーク４０には、一対の切欠部４０ｂが形成されている。一対の切欠部４０ｂは、フォーク４０における出退方向Ｘの同じ位置における幅方向Ｙの両側に形成されている。すなわち本例では、フォーク４０は、出退方向Ｘにおける一部分が、一対の切欠部４０ｂによって幅方向Ｙに絞られた形状となっている。
図５は、入出庫部２に設けられた移載箇所Ｌ、すなわち、第２移載箇所Ｌ２を示している。詳細には、図５は、第２移載箇所Ｌ２が設けられた入出庫部２と物品Ｗとフォーク４０との関係を示している。
図５に示すように、入出庫部２は、幅方向Ｙに離間して配置された一対の載置部材２１を備えている。一対の載置部材２１の幅方向Ｙの間隔は、物品Ｗの幅方向Ｙの寸法よりも短い。そのため、一対の載置部材２１は、物品Ｗを載置可能に構成されている。一対の載置部材２１における物品Ｗが載置される部分が、「載置部」に相当し、移載箇所Ｌにおいて物品Ｗが載置される部分である。ここでは、移載箇所Ｌのうち第２移載箇所Ｌ２に設けられた載置部Ａを「第２載置部Ａ２」とする。すなわち、一対の載置部材２１における物品Ｗが載置される部分は、第２載置部Ａ２に相当する。
一対の載置部材２１の幅方向Ｙの間隔は、フォーク４０の幅方向Ｙの寸法よりも大きい。そのため、一対の載置部材２１の間は、フォーク４０が上下方向に通過可能となっている。フォーク４０は、物品Ｗを支持した状態で、一対の載置部材２１の間を上方から下方に通過することで、一対の載置部材２１（入出庫部２）に物品Ｗを引き渡す。反対に、フォーク４０は、一対の載置部材２１に物品Ｗが載置された状態で、一対の載置部材２１の間を下方から上方に通過することで、一対の載置部材２１（入出庫部２）から物品Ｗを受け取る。
図６は、フォーク４０が移載動作を行う前の準備位置である移載準備位置Ｐｔに位置している状態を示している。詳細には、図６の左図は、第１移載箇所Ｌ１（収容部１０）に対してフォーク４０が移載準備位置Ｐｔに位置している状態を示している。図６の右図は、第２移載箇所Ｌ２（入出庫部２）に対してフォーク４０が移載準備位置Ｐｔに位置している状態を示している。フォーク４０は、移載準備位置Ｐｔにある状態から、移載動作の対象となる移載箇所Ｌに向けて突出して突出位置Ｐｘ２に位置し（図４及び図５参照）、突出位置Ｐｘ２に位置した状態から移載箇所Ｌに対して昇降することで、当該移載箇所Ｌとの間で物品Ｗを移載する。移載機４は、移載動作において、当該移載動作の対象となる移載箇所Ｌの載置部Ａに対して下方に設定された下方設定位置Ｐｄと当該載置部Ａに対して上方に設定された上方設定位置Ｐｕとの間で、支持ピン４０ａを昇降させる。これにより、移載箇所Ｌとの間で物品Ｗが移載される。なお、図６では、図中が煩雑となるのを避けるため、物品Ｗを省略している。
本実施形態では、移載機４は、移載動作の対象となる移載箇所Ｌに対して、移載準備位置Ｐｔにフォーク４０が位置しているか否かを検出する位置検出部Ｓを備えている。そして、複数の収容部１０及び入出庫部２のそれぞれには、フォーク４０が移載準備位置Ｐｔに位置している場合に位置検出部Ｓにより検出される被検出部Ｍが設けられている。位置検出部Ｓは、光センサ、超音波センサ、或いはカメラなどの周知の検出手段であって良い。被検出部Ｍは、反射板、反射シール、マーク、或いは、移載箇所Ｌに設けられた部材の一部分などであって良い。
ここで、複数の収容部１０のそれぞれに設けられた被検出部Ｍを第１被検出部Ｍ１とし、入出庫部２に設けられた被検出部Ｍを第２被検出部Ｍ２とする。本実施形態では、位置検出部Ｓは、フォーク４０が収容部１０に対する移載準備位置Ｐｔに位置している状態で第１被検出部Ｍ１を検出する第１センサＳ１と、フォーク４０が入出庫部２に対する移載準備位置Ｐｔに位置している状態で第２被検出部Ｍ２を検出する第２センサＳ２と、を備えている。
図４にも示すように、本実施形態では、第１被検出部Ｍ１は、収容部１０における載置板１２に設けられている。第１被検出部Ｍ１は、載置板１２における引退側Ｘ１を向く面に設けられていると好適である。図４に示す例では、第１被検出部Ｍ１は、膨出部１２２（一対の膨出部１２２のうち一方）における引退側Ｘ１を向く部分に設けられている。
図５にも示すように、本実施形態では、第２被検出部Ｍ２は、入出庫部２における載置部材２１（一対の載置部材２１のうち一方）に設けられている。第２被検出部Ｍ２は、載置部材２１における引退側Ｘ１を向く面に設けられていると好適である。
図６に示すように、本実施形態では、第１センサＳ１及び第２センサＳ２は、フォーク４０に設けられている。第１センサＳ１と第２センサＳ２とは、互いに異なる範囲を検出範囲としている。本例では、第１センサＳ１と第２センサＳ２とは、突出側Ｘ２を向くと共に、位置及び向きの少なくとも一方が互いに異なるようにフォーク４０に固定されている。これにより、フォーク４０の位置を基準とした第１センサＳ１の検出範囲と第２センサＳ２の検出範囲とが異なる範囲となっている。なお、図４及び図５では、第１センサＳ１、第２センサＳ２、及び後述する第３センサＳ３を省略している。
図６に示すように、フォーク４０が移載準備位置Ｐｔに位置している状態で、支持ピン４０ａは、下方設定位置Ｐｄ又は上方設定位置Ｐｕに位置する。本実施形態では、移載動作には、移載箇所Ｌから物品Ｗを受け取る掬い動作と、移載箇所Ｌへ物品Ｗを引き渡す卸し動作と、が含まれる。移載機４が掬い動作を行う場合には、フォーク４０が移載準備位置Ｐｔにある状態で支持ピン４０ａが下方設定位置Ｐｄに配置される。移載機４が卸し動作を行う場合には、フォーク４０が移載準備位置Ｐｔにある状態で支持ピン４０ａが上方設定位置Ｐｕに配置される。
移載機４は、掬い動作では、当該掬い動作の対象となる移載箇所Ｌの載置部Ａに対して、支持ピン４０ａを下方設定位置Ｐｄから上方設定位置Ｐｕまで上昇させることで、載置部Ａに載置された物品Ｗを支持ピン４０ａによって受け取る。また、移載機４は、卸し動作では、当該卸し動作の対象となる移載箇所Ｌの載置部Ａに対して、支持ピン４０ａを上方設定位置Ｐｕから下方設定位置Ｐｄまで下降させることで、支持ピン４０ａに支持された物品Ｗを載置部Ａへ引き渡す。
本実施形態では、第１移載箇所Ｌ１に対する支持ピン４０ａの下方設定位置Ｐｄとして、第１下方設定位置Ｐｄ１が設定されている（図６の左図参照）。また、第２移載箇所Ｌ２に対する支持ピン４０ａの下方設定位置Ｐｄとして、第２下方設定位置Ｐｄ２が設定されている（図６右図参照）。そして、第１移載箇所Ｌ１及び第２移載箇所Ｌ２の双方に対して、上方設定位置Ｐｕが設定されている。
このように、本実施形態では、移載機４が物品Ｗを移載する場合の支持ピン４０ａの位置として、第１下方設定位置Ｐｄ１、第２下方設定位置Ｐｄ２、及び上方設定位置Ｐｕが設定されている。
図６の左図に示すように、フォーク４０が、収容部１０に対して掬い動作を行う場合の移載準備位置Ｐｔに位置している状態では、支持ピン４０ａは、第１下方設定位置Ｐｄ１に配置される。本例では、第１センサＳ１は、支持ピン４０ａが第１下方設定位置Ｐｄ１に配置されている状態で、第１被検出部Ｍ１を検出するように構成されている。また、フォーク４０が、収容部１０に対して卸し動作を行う場合の移載準備位置Ｐｔに位置している状態では、支持ピン４０ａは、上方設定位置Ｐｕに配置される。本例では、位置検出部Ｓは、第３センサＳ３を更に備えており、第３センサＳ３は、支持ピン４０ａが上方設定位置Ｐｕに配置されている状態で、第１被検出部Ｍ１を検出するように構成されている。
図６の右図に示すように、フォーク４０が、入出庫部２に対して掬い動作を行う場合の移載準備位置Ｐｔに位置している状態では、支持ピン４０ａは、第２下方設定位置Ｐｄ２に配置される。本例では、第２センサＳ２は、支持ピン４０ａが第２下方設定位置Ｐｄ２に配置されている状態で、第２被検出部Ｍ２を検出するように構成されている。また、フォーク４０が入出庫部２に対して卸し動作を行う場合の移載準備位置Ｐｔに位置している状態では、支持ピン４０ａは、上方設定位置Ｐｕに配置される。本例では、上述の第３センサＳ３は、支持ピン４０ａが上方設定位置Ｐｕに配置されている状態で、第２被検出部Ｍ２を検出するように構成されている。すなわち本例では、位置検出部Ｓは、第１センサＳ１、第２センサＳ２、及び第３センサＳ３を備えている。そして、第１センサＳ１は第１被検出部Ｍ１のみを検出するように構成され、第２センサＳ２は第２被検出部Ｍ２を検出するように構成され、第３センサＳ３は第１被検出部Ｍ１及び第２被検出部Ｍ２の双方を検出可能に構成されている。
本実施形態では、移載機４は、第１移載箇所Ｌ１の第１載置部Ａ１に対して物品Ｗを移載する場合には、支持ピン４０ａを第１下方設定位置Ｐｄ１と上方設定位置Ｐｕとの間で昇降させ、支持ピン４０ａが第１下方設定位置Ｐｄ１及び上方設定位置Ｐｕのそれぞれに正しく位置しているか否かを第１センサＳ１の検出結果及び第３センサＳ３の検出結果のそれぞれに基づいて判定する。また、移載機４は、第２移載箇所Ｌ２の第２載置部Ａ２に対して物品Ｗを移載する場合には、支持ピン４０ａを第２下方設定位置Ｐｄ２と上方設定位置Ｐｕとの間で昇降させ、支持ピン４０ａが第２下方設定位置Ｐｄ２及び上方設定位置Ｐｕのそれぞれに正しく位置しているか否かを第２センサＳ２の検出結果及び第３センサＳ３の検出結果のそれぞれに基づいて判定する。
次に、物品収容設備１００の制御構成について説明する。
図７に示すように、物品収容設備１００は、設備全体を管理する統括制御装置Ｈと、搬送装置３（図１参照）を制御する制御装置６と、を備えている。統括制御装置Ｈと制御装置６とは、互いに通信可能に構成されている。統括制御装置Ｈは、物品Ｗの搬送に関する指令である搬送指令Ｃｍを制御装置６に送信するように構成されている。搬送指令Ｃｍには、搬送元および搬送先に係る移載箇所Ｌの情報が含まれる。そして、制御装置６は、当該搬送指令Ｃｍに基づいて、搬送装置３の各部を制御するように構成されている。統括制御装置Ｈおよび制御装置６は、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアとコンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムとの協働により、各機能が実現される。
本実施形態では、制御装置６は、統括制御装置Ｈから送信された搬送指令Ｃｍに基づいて、走行部３１、出退機構４１、及び昇降機構４２を制御するように構成されている。これにより制御装置６は、搬送指令Ｃｍに含まれる移載箇所Ｌに対して、物品Ｗを移載するために３次元の位置合わせを行う。
本実施形態では、制御装置６は、第１センサＳ１、第２センサＳ２、及び第３センサＳ３により被検出部Ｍを検出した検出結果を取得可能に構成されている。制御装置６は、これらのセンサによる検出結果に基づいて、対象の移載箇所Ｌに対する物品Ｗの移載を移載機４に行わせる。
制御装置６は、下方設定位置Ｐｄ及び上方設定位置Ｐｕのうち少なくとも一方の設定を変更することで、入出庫部２に設けられた移載箇所Ｌ（第２移載箇所Ｌ２）に物品Ｗを移載する場合と、収容部１０に設けられた移載箇所Ｌ（第１移載箇所Ｌ１）に物品Ｗを移載する場合とで、下方設定位置Ｐｄから上方設定位置Ｐｕまでの範囲である支持ピン４０ａの昇降範囲Ｒ（図６参照）を異ならせる。本実施形態では、制御装置６は、上方設定位置Ｐｕの設定を変更することなく、下方設定位置Ｐｄの設定を変更することで、移載箇所Ｌに応じて昇降範囲Ｒを異ならせる。
図６の左図に示すように、本実施形態では、制御装置６は、収容部１０に対する移載動作を移載機４に行わせる場合に、下方設定位置Ｐｄを配管５０の対象部分５０Ｔよりも下方に設定する。これにより、移載動作のためにフォーク４０を出退させた場合に、配管５０の対象部分５０Ｔにフォーク４０が干渉しないようにすることができる。本実施形態では、制御装置６は、収容部１０、すなわち、第１移載箇所Ｌ１に対して移載機４に掬い動作及び卸し動作を行わせる場合に、下方設定位置Ｐｄとして第１下方設定位置Ｐｄ１を設定する。
図６の右図に示すように、本実施形態では、制御装置６は、入出庫部２に対する移載動作を移載機４に行わせる場合に、下方設定位置Ｐｄを第２載置部Ａ２よりも下方に設定する。本例では、制御装置６は、入出庫部２、すなわち、第２移載箇所Ｌ２に対して移載機４に掬い動作及び卸し動作を行わせる場合に、下方設定位置Ｐｄとして第２下方設定位置Ｐｄ２を設定する。入出庫部２の載置部Ａ（第２載置部Ａ２）に対する下方設定位置Ｐｄ（第２下方設定位置Ｐｄ２）は、収容部１０の載置部Ａ（第１載置部Ａ１）に対する下方設定位置Ｐｄ（第１下方設定位置Ｐｄ１）よりも上方に設定されている。そして、本例では、入出庫部２の載置部Ａ（第２載置部Ａ２）に対する上方設定位置Ｐｕと、収容部１０の載置部Ａ（第１載置部Ａ１）に対する上方設定位置Ｐｕは、同等の位置となっている。これにより、入出庫部２（第２移載箇所Ｌ２）に対する移載動作を移載機４に行わせる場合の支持ピン４０ａの昇降範囲Ｒを、収容部１０（第１移載箇所Ｌ１）に対する移載動作を移載機４に行わせる場合の支持ピン４０ａの昇降範囲Ｒよりも短く設定している。このような構成により、入出庫部２（第２移載箇所Ｌ２）に対する移載動作を移載機４に行わせる場合の支持ピン４０ａの昇降範囲Ｒを比較的小さくして、移載動作に要する時間を短くすることができる。
図７に示すように、本実施形態では、制御装置６は、記憶部６１と設定変更部６２とを備えている。記憶部６１には、複数の移載箇所Ｌのそれぞれに対して物品Ｗの移載を行う場合のフォーク４０の下方設定位置Ｐｄ及び上方設定位置Ｐｕが記憶されている。設定変更部６２は、下方設定位置Ｐｄ及び上方設定位置Ｐｕのうち少なくとも一方の設定を変更する。本例では、設定変更部６２は、上方設定位置Ｐｕの設定を変更することなく、下方設定位置Ｐｄの設定を変更する。上述の搬送指令Ｃｍには、移載対象となる移載箇所Ｌの情報と、当該移載箇所Ｌにおいて行うべき移載動作の情報、すなわち、掬い動作を行うべきか卸し動作を行うべきかの情報が含まれる。設定変更部６２は、搬送指令Ｃｍに含まれるこれらの情報に基づいて、記憶部６１から移載箇所Ｌのそれぞれについての下方設定位置Ｐｄ及び上方設定位置Ｐｕの情報を取得し、上記の設定変更を行う。
本実施形態では、制御装置６は、移載機４に掬い動作を行わせる場合には、当該掬い動作の対象となる移載箇所Ｌに対する下方設定位置Ｐｄに支持ピン４０ａを配置した状態で、位置検出部Ｓによる被検出部Ｍの検出を行う。そして、制御装置６は、当該検出を行った後に、移載機４に掬い動作を行わせる。これにより、移載機４に掬い動作を行わせる場合において、掬い動作を行う前にフォーク４０を移載準備位置Ｐｔに適切に配置することができる。従って、掬い動作を適切に行い易い。
本実施形態では、制御装置６は、移載機４に卸し動作を行わせる場合には、当該卸し動作の対象となる移載箇所Ｌに対する上方設定位置Ｐｕに支持ピン４０ａを配置した状態で、位置検出部Ｓによる被検出部Ｍの検出を行う。そして、制御装置６は、当該検出を行った後に、移載機４に卸し動作を行わせる。これにより、移載機４に卸し動作を行わせる場合において、卸し動作を行う前にフォーク４０を移載準備位置Ｐｔに適切に配置することができる。従って、卸し動作を適切に行い易い。
次に、物品収容設備１００において行われる制御の処理手順を、図８のフローチャートを参照して説明する。
制御装置６は、搬送指令Ｃｍに基づいて、移載対象となる移載箇所Ｌが第１移載箇所Ｌ１であるか第２移載箇所Ｌ２であるかを判断する（ステップ＃１）。制御装置６は、移載対象となる移載箇所Ｌが第１移載箇所Ｌ１であると判断した場合には（ステップ＃１：Ｙｅｓ）、下方設定位置Ｐｄを第１下方設定位置Ｐｄ１に設定する（ステップ＃１１）。
その後、制御装置６は、搬送指令Ｃｍに基づいて、第１移載箇所Ｌ１において行うべき移載動作が掬い動作であるか卸し動作であるかを判断する（ステップ＃１２）。制御装置６は、第１移載箇所Ｌ１において行うべき移載動作が掬い動作であると判断した場合には（ステップ＃１２：Ｙｅｓ）、搬送装置３を動作させて支持ピン４０ａを第１下方設定位置Ｐｄ１に配置する（ステップ＃１３）。次に、支持ピン４０ａが第１下方設定位置Ｐｄ１に配置されているか否かを判定するために、第１センサＳ１により第１被検出部Ｍ１を検出する（ステップ＃１４）。そして、第１センサＳ１により第１被検出部Ｍ１を検出できた場合には（ステップ＃１５：Ｙｅｓ）、制御装置６は、第１移載箇所Ｌ１において支持ピン４０ａを第１下方設定位置Ｐｄ１から上方設定位置Ｐｕまで上昇させて掬い動作を実行する（ステップ＃１６）。一方、第１センサＳ１により第１被検出部Ｍ１を検出できなかった場合には（ステップ＃１５：Ｎｏ）、ステップ＃１３に戻り、搬送装置３を再度動作させて支持ピン４０ａを第１下方設定位置Ｐｄ１に配置する動作（リトライ動作）を行う。このリトライ動作の結果、第１センサＳ１により第１被検出部Ｍ１を検出できた場合には（ステップ＃１５：Ｙｅｓ）、掬い動作を実行する（ステップ＃１６）。なお、図示は省略するが、このリトライ動作を規定回数行っても第１センサＳ１により第１被検出部Ｍ１を検出できなかった場合には、制御装置６は、移載動作を中止し、統括制御装置Ｈに対してエラーを報知する。
制御装置６は、ステップ＃１２において、第１移載箇所Ｌ１において行うべき移載動作が卸し動作であると判断した場合には（ステップ＃１２：Ｎｏ）、搬送装置３を動作させて支持ピン４０ａを上方設定位置Ｐｕに配置する（ステップ＃１７）。次に、支持ピン４０ａが上方設定位置Ｐｕに配置されているか否かを判定するために、第３センサＳ３により第１被検出部Ｍ１を検出する（ステップ＃１８）。そして、第３センサＳ３により第１被検出部Ｍ１を検出できた場合には（ステップ＃１９：Ｙｅｓ）、制御装置６は、第１移載箇所Ｌ１において支持ピン４０ａを上方設定位置Ｐｕから第１下方設定位置Ｐｄ１まで下降させて卸し動作を実行する（ステップ＃２０）。一方、第３センサＳ３により第１被検出部Ｍ１を検出できなかった場合には（ステップ＃１９：Ｎｏ）、ステップ＃１７に戻り、搬送装置３を再度動作させて支持ピン４０ａを上方設定位置Ｐｕに配置する動作（リトライ動作）を行う。このリトライ動作の結果、第３センサＳ３により第１被検出部Ｍ１を検出できた場合には（ステップ＃１９：Ｙｅｓ）、卸し動作を実行する（ステップ＃２０）。なお、図示は省略するが、このリトライ動作を規定回数行っても第３センサＳ３により第１被検出部Ｍ１を検出できなかった場合には、制御装置６は、移載動作を中止し、統括制御装置Ｈに対してエラーを報知する。
制御装置６は、ステップ＃１において、移載対象となる移載箇所Ｌが第２移載箇所Ｌ２であると判断した場合には（ステップ＃１：Ｎｏ）、下方設定位置Ｐｄを第２下方設定位置Ｐｄ２に設定する（ステップ＃２１）。
その後、制御装置６は、搬送指令Ｃｍに基づいて、第２移載箇所Ｌ２において行うべき移載動作が掬い動作であるか卸し動作であるかを判断する（ステップ＃２２）。制御装置６は、第２移載箇所Ｌ２において行うべき移載動作が掬い動作であると判断した場合には（ステップ＃２２：Ｙｅｓ）、搬送装置３を動作させて支持ピン４０ａを第２下方設定位置Ｐｄ２に配置する（ステップ＃２３）。次に、支持ピン４０ａが第２下方設定位置Ｐｄ２に配置されているか否かを判定するために、第２センサＳ２により第２被検出部Ｍ２を検出する（ステップ＃２４）。そして、第２センサＳ２により第２被検出部Ｍ２を検出できた場合には（ステップ＃２５：Ｙｅｓ）、制御装置６は、第２移載箇所Ｌ２において支持ピン４０ａを第２下方設定位置Ｐｄ２から上方設定位置Ｐｕまで上昇させて掬い動作を実行する（ステップ＃２６）。一方、第２センサＳ２により第２被検出部Ｍ２を検出できなかった場合には（ステップ＃２５：Ｎｏ）、ステップ＃２３に戻り、搬送装置３を再度動作させて支持ピン４０ａを第２下方設定位置Ｐｄ２に配置する動作（リトライ動作）を行う。このリトライ動作の結果、第２センサＳ２により第２被検出部Ｍ２を検出できた場合には（ステップ＃２５：Ｙｅｓ）、掬い動作を実行する（ステップ＃２６）。なお、図示は省略するが、このリトライ動作を規定回数行っても第２センサＳ２により第２被検出部Ｍ２を検出できなかった場合には、制御装置６は、移載動作を中止し、統括制御装置Ｈに対してエラーを報知する。
制御装置６は、ステップ＃２２において、第２移載箇所Ｌ２において行うべき移載動作が卸し動作であると判断した場合には（ステップ＃２２：Ｎｏ）、搬送装置３を動作させて支持ピン４０ａを上方設定位置Ｐｕに配置する（ステップ＃２７）。次に、支持ピン４０ａが上方設定位置Ｐｕに配置されているか否かを判定するために、第３センサＳ３により第２被検出部Ｍ２を検出する（ステップ＃２８）。そして、第３センサＳ３により第２被検出部Ｍ２を検出できた場合には（ステップ＃２９：Ｙｅｓ）、制御装置６は、第２移載箇所Ｌ２において支持ピン４０ａを上方設定位置Ｐｕから第２下方設定位置Ｐｄ２まで下降させて卸し動作を実行する（ステップ＃３０）。一方、第３センサＳ３により第２被検出部Ｍ２を検出できなかった場合には（ステップ＃２９：Ｎｏ）、ステップ＃２７に戻り、搬送装置３を再度動作させて支持ピン４０ａを上方設定位置Ｐｕに配置する動作（リトライ動作）を行う。このリトライ動作の結果、第３センサＳ３により第２被検出部Ｍ２を検出できた場合には（ステップ＃２９：Ｙｅｓ）、卸し動作を実行する（ステップ＃３０）。なお、図示は省略するが、このリトライ動作を規定回数行っても第３センサＳ３により第２被検出部Ｍ２を検出できなかった場合には、制御装置６は、移載動作を中止し、統括制御装置Ｈに対してエラーを報知する。
以上説明した物品収容設備１００によれば、入出庫部２に設けられた第２移載箇所Ｌ２の構造と、収容部１０に設けられた第１移載箇所Ｌ１の構造とが異なるなど、移載箇所Ｌに応じて移載動作中における支持ピン４０ａ（支持部）の昇降範囲Ｒの制約が異なる場合であっても、それぞれの移載箇所Ｌに応じて適切な昇降範囲Ｒを設定して適切に物品Ｗを移載することができる。従って、構造の異なる移載箇所Ｌが複数存在する場合において、それぞれの移載箇所Ｌに応じて適切に移載動作を行うことが可能となる。
〔その他の実施形態〕
次に、物品収容設備のその他の実施形態について説明する。
（１）上記の実施形態では、制御装置６は、上方設定位置Ｐｕの設定を変更することなく、下方設定位置Ｐｄの設定を変更することで、移載箇所Ｌに応じて昇降範囲Ｒを異ならせる例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、制御装置６は、上方設定位置Ｐｕの設定のみを変更することで、或いは、上方設定位置Ｐｕ及び下方設定位置Ｐｄの双方の設定を変更することで、移載箇所Ｌに応じて昇降範囲Ｒを異ならせても良い。
（２）上記の実施形態では、入出庫部２の載置部Ａ（第２載置部Ａ２）に対する下方設定位置Ｐｄ（第２下方設定位置Ｐｄ２）は、収容部１０の載置部Ａ（第１載置部Ａ１）に対する下方設定位置Ｐｄ（第１下方設定位置Ｐｄ１）よりも上方に設定されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第２下方設定位置Ｐｄ２は、第１下方設定位置Ｐｄ１よりも下方に設定されていても良く、或いは、これらの下方設定位置Ｐｄは、同等の位置に設定されていても良い。
（３）上記の実施形態では、移載動作には、移載箇所Ｌから物品Ｗを受け取る掬い動作と、移載箇所Ｌへ物品Ｗを引き渡す卸し動作と、が含まれる例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、移載動作には、掬い動作と卸し動作との少なくとも何れか一方が含まれていれば良い。
（４）上記の実施形態では、位置検出部Ｓが、第１センサＳ１と第２センサＳ２とに加えて、第３センサＳ３を更に備えており、第３センサＳ３は、支持ピン４０ａが上方設定位置Ｐｕに配置されている状態で、第１被検出部Ｍ１又は第２被検出部Ｍ２を検出するように構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第１被検出部Ｍ１及び第２被検出部Ｍ２とは別に、第３被検出部が設けられ、第３センサＳ３は、当該第３被検出部を検出するように構成されていても良い。そして、第３センサＳ３によって第３被検出部が検出されたことに基づいて、支持ピン４０ａが上方設定位置Ｐｕに配置されていることを判定する構成であっても良い。
（５）上記の実施形態では、移載機４が、移載動作の対象となる移載箇所Ｌに対して、移載準備位置Ｐｔにフォーク４０が位置しているか否かを検出する位置検出部Ｓを備えている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、移載機４は、そのような位置検出部Ｓを備えていなくても良い。これに伴い、複数の収容部１０及び入出庫部２のそれぞれには、位置検出部Ｓによる検出対象となる被検出部Ｍは設けられていなくても良い。
（６）上記の実施形態では、物品が、被収納物を収納するための容器である例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、物品は、被収納物を収納するための容器ではなく、それ自体が搬送や保管の対象となるものであっても良い。
（７）上記の実施形態では、物品収容設備１００が、物品Ｗの内部にガスを供給するガス供給部５を備えている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、物品収容設備１００は、ガス供給部５を備えていなくても良い。
（８）なお、上述した実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した物品収容設備について説明する。
物品を収容する収容部を複数備えた物品収容棚と、前記物品収容棚への前記物品の入庫、及び、前記物品収容棚からの前記物品の出庫を行う入出庫部と、前記物品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御装置と、を備えた物品収容設備であって、
前記搬送装置は、複数の前記収容部及び前記入出庫部のそれぞれに設けられた移載箇所に対して前記物品を移載する移載機を備え、
前記移載機は、前記物品を下方から支持するフォークと、前記フォークを水平方向に沿う出退方向に沿って引退位置と突出位置との間で出退させる出退機構と、前記フォークを昇降させる昇降機構と、を備え、前記フォークを出退及び昇降させることで前記移載箇所との間で前記物品を移載する移載動作を行うように構成され、
前記移載箇所において前記物品が載置される部分を載置部とし、前記フォークが前記物品を支持する部分を支持部として、
前記移載機は、前記移載動作において、当該移載動作の対象となる前記移載箇所の前記載置部に対して下方に設定された下方設定位置と当該載置部に対して上方に設定された上方設定位置との間で、前記支持部を昇降させ、
前記制御装置は、前記下方設定位置及び前記上方設定位置のうち少なくとも一方の設定を変更することで、前記入出庫部に設けられた前記移載箇所に前記物品を移載する場合と、前記収容部に設けられた前記移載箇所に前記物品を移載する場合とで、前記下方設定位置から前記上方設定位置までの範囲である前記支持部の昇降範囲を異ならせる。
本構成によれば、入出庫部に設けられた移載箇所の構造と、収容部に設けられた移載箇所の構造とが異なるなど、移載箇所に応じて移載動作中における支持部の昇降範囲の制約が異なる場合であっても、それぞれの移載箇所に応じて適切な昇降範囲を設定して適切に物品を移載することができる。従って、本構成によれば、構造の異なる移載箇所が複数存在する場合において、それぞれの移載箇所に応じて適切に移載動作を行うことが可能となる。
ここで、
前記移載機は、前記移載動作の対象となる前記移載箇所に対して、前記移載動作を行う前の準備位置である移載準備位置に前記フォークが位置しているか否かを検出する位置検出部を備え、
前記フォークが前記移載準備位置に位置している状態で、前記支持部は、前記下方設定位置又は前記上方設定位置に位置し、
複数の前記収容部及び前記入出庫部のそれぞれには、前記フォークが前記移載準備位置に位置している場合に前記位置検出部により検出される被検出部が設けられ、
複数の前記収容部のそれぞれに設けられた前記被検出部を第１被検出部とし、前記入出庫部に設けられた前記被検出部を第２被検出部として、
前記位置検出部は、前記フォークが前記収容部に対する前記移載準備位置に位置している状態で前記第１被検出部を検出する第１センサと、前記フォークが前記入出庫部に対する前記移載準備位置に位置している状態で前記第２被検出部を検出する第２センサと、を備えている、と好適である。
本構成によれば、位置検出部が、第１被検出部を検出するための第１センサと第２被検出部を検出するための第２センサとを、別々に備えている。従って、本構成によれば、フォークが、異なる移載箇所に応じたそれぞれの移載準備位置に位置しているか否かを、２つのセンサを用いて適切に検出することができる。
また、上記構成において、
前記移載動作には、前記移載箇所から前記物品を受け取る掬い動作と、前記移載箇所へ前記物品を引き渡す卸し動作と、が含まれ、
前記移載機が前記掬い動作を行う場合には、前記フォークが前記移載準備位置にある状態で前記支持部が前記下方設定位置に配置され、
前記移載機が前記卸し動作を行う場合には、前記フォークが前記移載準備位置にある状態で前記支持部が前記上方設定位置に配置され、
前記移載機は、
前記掬い動作では、当該掬い動作の対象となる前記移載箇所の前記載置部に対して、前記支持部を前記下方設定位置から前記上方設定位置まで上昇させることで、前記載置部に載置された前記物品を前記支持部によって受け取り、
前記卸し動作では、当該卸し動作の対象となる前記移載箇所の前記載置部に対して、前記支持部を前記上方設定位置から前記下方設定位置まで下降させることで、前記支持部に支持された前記物品を前記載置部へ引き渡し、
前記制御装置は、
前記移載機に前記掬い動作を行わせる場合には、当該掬い動作の対象となる前記移載箇所に対する前記下方設定位置に前記支持部を配置した状態で、前記位置検出部による前記被検出部の検出を行い、
前記移載機に前記卸し動作を行わせる場合には、当該卸し動作の対象となる前記移載箇所に対する前記上方設定位置に前記支持部を配置した状態で、前記位置検出部による前記被検出部の検出を行う、と好適である。
本構成によれば、移載機に掬い動作を行わせる場合、及び、移載機に卸し動作を行わせる場合において、各動作を行う前にフォークを移載準備位置に適切に配置することができる。従って、掬い動作及び卸し動作のそれぞれを適切に行い易い。
また、
前記物品は、被収納物を収納するための容器であり、
前記物品の内部にガスを供給するガス供給部を備え、
前記ガス供給部は、前記ガスが通流する配管と、前記収容部に収容された前記物品と前記配管とを接続するノズルと、を備え、
前記配管の少なくとも一部である対象部分が、前記収容部における前記載置部よりも下方であって、上下方向に沿う上下方向視で前記フォークの移動軌跡と重複する位置に配置され、
前記制御装置は、前記収容部に対する前記移載動作を前記移載機に行わせる場合に、前記下方設定位置を前記対象部分よりも下方に設定し、
前記入出庫部の前記載置部に対する前記下方設定位置は、前記収容部の前記載置部に対する前記下方設定位置よりも上方に設定されている、と好適である。
本構成によれば、配管の対象部分が、収容部における載置部よりも下方であって上下方向に沿う上下方向視でフォークの移動軌跡と重複する位置に配置される。そのため、収容部に向けてフォークを突出させる前に、配管の対象部分に対してフォークが干渉しないように、フォークの上下方向の位置を設定することが必要となる。本構成によれば、制御装置が、収容部に対する移載動作を移載機に行わせる場合に、下方設定位置を配管の対象部分よりも下方に設定しているため、配管の対象部分にフォークが干渉しないようにすることができる。また、本構成によれば、入出庫部に対して移載動作を行う場合には、上記のようにフォークと配管の対象部分との干渉を考慮しなくても良い分、入出庫部の載置部に対する下方設定位置を収容部の載置部に対する下方設定位置よりも上方に設定することで、支持部の昇降範囲を比較的小さくして移載動作に要する時間を短くすることができる。
また、上記構成において、
前記フォークには、切欠部が形成され、
前記切欠部は、前記フォークが前記収容部に対して前記移載動作を行うために前記突出位置に配置された状態で、当該収容部に対応して配置された前記対象部分と前記上下方向視で重複する部分に形成されている、と好適である。
本構成によれば、フォークを突出位置に配置した状態で、収容部に対する移載動作を行うために支持部を昇降範囲に亘って昇降させたとしても、配管の対象部分が切欠部を通過するようにでき、配管の対象部分とフォークとの干渉を回避することができる。従って、本構成によれば、収容部に対して移載動作を適切に実行することができる。
本開示に係る技術は、物品収容設備に利用することができる。
１００ ：物品収容設備
１ ：物品収容棚
１０ ：収容部
２ ：入出庫部
３ ：搬送装置
４ ：移載機
４０ ：フォーク
４０Ｍ ：移動軌跡
４０ａ ：支持ピン（支持部）
４０ｂ ：切欠部
４１ ：出退機構
４２ ：昇降機構
５ ：ガス供給部
５０ ：配管
５０Ｔ ：対象部分
５１ ：ノズル
６ ：制御装置
Ｗ ：物品
Ａ ：載置部
Ｌ ：移載箇所
Ｓ ：位置検出部
Ｓ１ ：第１センサ
Ｓ２ ：第２センサ
Ｍ ：被検出部
Ｍ１ ：第１被検出部
Ｍ２ ：第２被検出部
Ｐｘ１ ：引退位置
Ｐｘ２ ：突出位置
Ｐｔ ：移載準備位置
Ｐｄ ：下方設定位置
Ｐｕ ：上方設定位置
Ｒ ：昇降範囲
Ｘ ：出退方向

Claims (5)

  1. 物品を収容する収容部を複数備えた物品収容棚と、前記物品収容棚への前記物品の入庫、及び、前記物品収容棚からの前記物品の出庫を行う入出庫部と、前記物品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置を制御する制御装置と、を備えた物品収容設備であって、
    前記搬送装置は、複数の前記収容部及び前記入出庫部のそれぞれに設けられた移載箇所に対して前記物品を移載する移載機を備え、
    前記移載機は、前記物品を下方から支持するフォークと、前記フォークを水平方向に沿う出退方向に沿って引退位置と突出位置との間で出退させる出退機構と、前記フォークを昇降させる昇降機構と、を備え、前記フォークを出退及び昇降させることで前記移載箇所との間で前記物品を移載する移載動作を行うように構成され、
    前記移載箇所において前記物品が載置される部分を載置部とし、前記フォークが前記物品を支持する部分を支持部として、
    前記移載機は、前記移載動作において、当該移載動作の対象となる前記移載箇所の前記載置部に対して下方に設定された下方設定位置と当該載置部に対して上方に設定された上方設定位置との間で、前記支持部を昇降させ、
    前記制御装置は、前記下方設定位置及び前記上方設定位置のうち少なくとも一方の設定を変更することで、前記入出庫部に設けられた前記移載箇所に前記物品を移載する場合と、前記収容部に設けられた前記移載箇所に前記物品を移載する場合とで、前記下方設定位置から前記上方設定位置までの範囲である前記支持部の昇降範囲を異ならせる、物品収容設備。
  2. 前記移載機は、前記移載動作の対象となる前記移載箇所に対して、前記移載動作を行う前の準備位置である移載準備位置に前記フォークが位置しているか否かを検出する位置検出部を備え、
    前記フォークが前記移載準備位置に位置している状態で、前記支持部は、前記下方設定位置又は前記上方設定位置に位置し、
    複数の前記収容部及び前記入出庫部のそれぞれには、前記フォークが前記移載準備位置に位置している場合に前記位置検出部により検出される被検出部が設けられ、
    複数の前記収容部のそれぞれに設けられた前記被検出部を第１被検出部とし、前記入出庫部に設けられた前記被検出部を第２被検出部として、
    前記位置検出部は、前記フォークが前記収容部に対する前記移載準備位置に位置している状態で前記第１被検出部を検出する第１センサと、前記フォークが前記入出庫部に対する前記移載準備位置に位置している状態で前記第２被検出部を検出する第２センサと、を備えている、請求項１に記載の物品収容設備。
  3. 前記移載動作には、前記移載箇所から前記物品を受け取る掬い動作と、前記移載箇所へ前記物品を引き渡す卸し動作と、が含まれ、
    前記移載機が前記掬い動作を行う場合には、前記フォークが前記移載準備位置にある状態で前記支持部が前記下方設定位置に配置され、
    前記移載機が前記卸し動作を行う場合には、前記フォークが前記移載準備位置にある状態で前記支持部が前記上方設定位置に配置され、
    前記移載機は、
    前記掬い動作では、当該掬い動作の対象となる前記移載箇所の前記載置部に対して、前記支持部を前記下方設定位置から前記上方設定位置まで上昇させることで、前記載置部に載置された前記物品を前記支持部によって受け取り、
    前記卸し動作では、当該卸し動作の対象となる前記移載箇所の前記載置部に対して、前記支持部を前記上方設定位置から前記下方設定位置まで下降させることで、前記支持部に支持された前記物品を前記載置部へ引き渡し、
    前記制御装置は、
    前記移載機に前記掬い動作を行わせる場合には、当該掬い動作の対象となる前記移載箇所に対する前記下方設定位置に前記支持部を配置した状態で、前記位置検出部による前記被検出部の検出を行い、
    前記移載機に前記卸し動作を行わせる場合には、当該卸し動作の対象となる前記移載箇所に対する前記上方設定位置に前記支持部を配置した状態で、前記位置検出部による前記被検出部の検出を行う、請求項２に記載の物品収容設備。
  4. 前記物品は、被収納物を収納するための容器であり、
    前記物品の内部にガスを供給するガス供給部を備え、
    前記ガス供給部は、前記ガスが通流する配管と、前記収容部に収容された前記物品と前記配管とを接続するノズルと、を備え、
    前記配管の少なくとも一部である対象部分が、前記収容部における前記載置部よりも下方であって、上下方向に沿う上下方向視で前記フォークの移動軌跡と重複する位置に配置され、
    前記制御装置は、前記収容部に対する前記移載動作を前記移載機に行わせる場合に、前記下方設定位置を前記対象部分よりも下方に設定し、
    前記入出庫部の前記載置部に対する前記下方設定位置は、前記収容部の前記載置部に対する前記下方設定位置よりも上方に設定されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品収容設備。
  5. 前記フォークには、切欠部が形成され、
    前記切欠部は、前記フォークが前記収容部に対して前記移載動作を行うために前記突出位置に配置された状態で、当該収容部に対応して配置された前記対象部分と前記上下方向視で重複する部分に形成されている、請求項４に記載の物品収容設備。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113428553A (zh) * 2021-07-30 2021-09-24 北京中科文昌智能科技有限公司 一种立式自动存储柜

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011116538A (ja) 2009-12-07 2011-06-16 Daifuku Co Ltd 物品保管設備
JP2016196360A (ja) 2015-04-06 2016-11-24 株式会社ダイフク 物品収納設備

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3163884B2 (ja) * 1994-02-18 2001-05-08 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP4438736B2 (ja) 2005-11-04 2010-03-24 村田機械株式会社 搬送装置
JP5207079B2 (ja) * 2009-09-28 2013-06-12 株式会社ダイフク 容器搬送設備
JP5884780B2 (ja) * 2013-06-26 2016-03-15 株式会社ダイフク 保管設備
JP6693356B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6610476B2 (ja) * 2016-09-09 2019-11-27 株式会社ダイフク 容器収納設備
JP6597551B2 (ja) * 2016-10-21 2019-10-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6784277B2 (ja) * 2018-06-11 2020-11-11 村田機械株式会社 ストッカ及び搬送車システム
JP7192723B2 (ja) * 2019-09-12 2022-12-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011116538A (ja) 2009-12-07 2011-06-16 Daifuku Co Ltd 物品保管設備
JP2016196360A (ja) 2015-04-06 2016-11-24 株式会社ダイフク 物品収納設備

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