KR102652903B1 - 전자부품 테스트 핸들러 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테스트될 전자부품을 테스트트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부; 테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부; 상부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하고, 상기 상부테스트사이트의 하측에 배치된 하부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하는 테스트부; 상기 로딩공정이 수행된 테스트트레이를 상기 테스트부로 전달하는 제1챔버부; 상기 테스트공정이 수행된 테스트트레이를 상기 언로딩부로 전달하는 제2챔버부; 테스트트레이가 수평상태와 수직상태 간에 전환되도록 테스트트레이를 회전시키는 로테이트부; 및 제1로트에 속한 제1전자부품이 수납된 제1테스트트레이와 제2로트에 속한 제2전자부품이 수납된 제2테스트트레이 간의 순서를 변경하기 위한 변경부를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것이다.

Description

전자부품 테스트 핸들러{Test Handler for Electronic Component}

본 발명은 전자부품을 테스트하여 등급별로 분류하기 위한 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것이다.

메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU(Central Processing Unit) 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 예컨대, 전자부품은 테스트 핸들러 등과 같은 핸들러장비를 통해 테스트 공정을 거쳐 등급별로 분류되는 등 여러 가지 공정을 거치게 된다.

상기 테스트 핸들러는 전자부품에 대한 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정을 수행한다. 상기 로딩공정은 테스트 핸들러가 고객트레이(User Tray)에서 테스트트레이(Test Tray)로 전자부품을 로딩하는 공정이다. 상기 테스트공정은 테스트 핸들러가 테스트트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 공정이다. 상기 테스트장비는 전자부품에 대해 소정의 테스트를 수행한다. 상기 언로딩공정은 테스트 핸들러가 테스트트레이에서 고객트레이로 전자부품을 언로딩하는 공정이다. 이 경우, 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류한다.

종래 기술에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정을 전자부품에 대한 로트(LOT)별로 구분하여 수행하였다. 예컨대, 종래 기술에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 제1로트에 속한 전자부품들에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정을 모두 완료한 이후에, 제2로트에 속한 전자부품들에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정을 시작하였다.

이에 따라, 종래 기술에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 상기 제1로트에 속한 전자부품들 중에서 마지막 전자부품들에 대해 상기 테스트공정을 수행할 때 상기 로딩공정을 수행하지 않았고, 상기 제1로트에 속한 전자부품들 중에서 마지막 전자부품들에 대해 상기 언로딩공정을 수행할 때 상기 로딩공정과 상기 테스트공정을 수행하지 않았다. 또한, 종래 기술에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 상기 제1로트에 속한 전자부품들에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정을 모두 완료한 이후에, 상기 제2로트에 속한 전자부품들에 대해 처음으로 상기 로딩공정을 수행할 때 상기 테스트공정과 상기 언로딩공정을 수행하지 않았다.

이와 같이, 종래에는 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 로트(LOT)별로 구분되어 이루어짐에 따라 로트가 변경되는 과정에서 유휴공정이 발생하므로, 전체적인 효율이 저하되는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 로트가 변경되는 과정에서 발생되는 유휴공정을 줄일 수 있는 전자부품 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 테스트될 전자부품을 테스트트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부; 테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부; 상부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하고, 상기 상부테스트사이트의 하측에 배치된 하부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하는 테스트부; 상기 로딩공정이 수행된 테스트트레이를 상기 테스트부로 전달하는 제1챔버부; 상기 테스트공정이 수행된 테스트트레이를 상기 언로딩부로 전달하는 제2챔버부; 테스트트레이가 수평상태와 수직상태 간에 전환되도록 테스트트레이를 회전시키는 로테이트부; 및 제1로트에 속한 제1전자부품이 수납된 제1테스트트레이와 제2로트에 속한 제2전자부품이 수납된 제2테스트트레이 간의 순서를 변경하기 위한 변경부를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 변경부는 상기 언로딩부에서 상기 제1테스트트레이와 상기 제2테스트트레이에 대해 언로딩공정이 수행되는 순서를 변경할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 로딩부는 상기 제1테스트트레이에 상기 제1전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행한 후에 상기 제2테스트트레이에 상기 제2전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 제1챔버부는 상기 제1테스트트레이를 상기 상부테스트사이트로 이송하고, 상기 제2테스트트레이를 상기 하부테스트사이트로 이송할 수 있다. 상기 제2챔버부는 상기 제2테스트트레이를 먼저 상기 로테이트부로 반출한 후에 상기 제1테스트트레이를 상기 로테이트부로 반출할 수 있다. 상기 로테이트부는 상기 제2테스트트레이를 먼저 상기 언로딩부의 언로딩위치로 이송한 후에 상기 제1테스트트레이를 상기 언로딩위치로 이송할 수 있다. 상기 변경부는 상기 언로딩위치로 먼저 이송된 제2테스트트레이와 상기 언로딩위치로 나중에 이송된 제1테스트트레이 간에 언로딩공정이 수행되는 순서가 변경되도록 상기 제2테스트트레이를 이송할 수 있다. 상기 언로딩부는 상기 제1테스트트레이로부터 상기 제1전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행한 후에, 상기 제2테스트트레이로부터 상기 제2전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 상기 언로딩공정이 수행된 테스트트레이를 상기 언로딩부의 언로딩위치에서 상기 로딩부의 로딩위치로 이송하는 이송부를 포함할 수 있다. 상기 로딩부는 상기 제1테스트트레이에 상기 제1전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행한 후에, 상기 제2테스트트레이에 상기 제2전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 변경부와 상기 이송부는 상기 언로딩위치로 이송된 상기 제2테스트트레이를 회피위치로 이송하고, 상기 제1테스트트레이가 상기 언로딩위치로 이송되어 상기 언로딩공정이 수행된 후에 상기 로딩위치로 이송되면 상기 제2테스트트레이를 상기 회피위치에서 상기 언로딩위치로 이송할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 언로딩부는 상기 로딩위치와 상기 언로딩위치 사이에서 이동되는 언로딩버퍼를 포함할 수 있다. 상기 회피위치는 상기 언로딩공정이 수행된 테스트트레이가 상기 로딩위치로 이송되기 위한 회귀경로의 상측에 배치됨과 아울러 상기 언로딩버퍼의 하측에 배치될 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 언로딩버퍼 및 상기 언로딩버퍼가 설치되는 버퍼프레임 중에서 적어도 하나의 하면(下面)에는 회피홈이 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 이송부는 테스트트레이를 상기 언로딩위치의 하측에 배치된 언로딩대기위치 및 상기 언로딩위치 간에 승하강시키는 언로딩승강유닛; 테스트트레이를 상기 언로딩대기위치 및 상기 로딩위치의 하측에 배치된 로딩대기위치 간에 이송하는 이송유닛; 및 테스트트레이를 상기 로딩대기위치 및 상기 로딩위치 간에 승하강시키는 로딩승강유닛을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 이송유닛은 상기 제2테스트트레이를 상기 언로딩대기위치와 상기 회피위치의 하측에 배치된 회피대기위치 간에 이송할 수 있다. 상기 변경부는 상기 제2테스트트레이를 상기 회피대기위치와 상기 회피위치 간에 승하강시키는 회피승강유닛을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 변경부는 상기 이송유닛에 의해 상기 언로딩대기위치에서 상기 로딩대기위치 쪽으로 이송되는 제2테스트트레이를 상기 회피위치의 하측에 배치된 회피대기위치에서 정지시키기 위한 회피스토퍼; 및 상기 제2테스트트레이를 상기 회피대기위치와 상기 회피위치 간에 승하강시키는 회피승강유닛을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 변경부는 상기 회피위치에 위치된 테스트트레이를 감지하기 위한 회피감지센서를 포함할 수 있다. 상기 이송유닛은 상기 회피감지센서가 테스트트레이를 감지한 후에, 상기 제1테스트트레이를 상기 언로딩대기위치에서 상기 로딩대기위치로 이송할 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서, 상기 변경부는 상기 회피대기위치에 위치된 테스트트레이를 감지하기 위한 대기감지센서를 포함할 수 있다. 상기 회피승강유닛은 상기 회피감지센서가 획득한 회피감지정보와 상기 대기감지센서가 획득한 대기감지정보를 이용하여 상기 제2테스트트레이를 상기 회피대기위치와 상기 회피위치 간에 승하강시킬 수 있다. 상기 이송유닛은 상기 회피감지정보와 상기 대기감지정보를 이용하여 상기 제2테스트트레이를 상기 회피대기위치와 상기 언로딩대기위치 간에 이송할 수 있다.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.

본 발명은 로트(LOT)가 변경되는 과정에서 발생되는 유휴공정을 줄일 수 있으면서도, 제1로트에 속한 모든 제1전자부품이 고객트레이로 언로딩되는 언로딩공정이 완료된 이후에 제2로트에 속한 제2전자부품이 고객트레이로 언로딩되는 언로딩공정이 시작되도록 구현될 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 테스트공정이 완료된 전자부품을 등급별로 분류하는 공정의 처리량을 증대시킬 수 있으면서도, 테스트된 전자부품을 로트별로 구분하여 고객트레이에 수납시키는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 개략적인 블록도
도 2는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 3은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 테스트트레이의 순환경로를 나타낸 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 제1테스트트레이와 제2테스트트레이가 로딩부로부터 반출되는 순서를 나타낸 개념적인 평면도
도 5a 내지 도 5e는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 간에 제1테스트트레이와 제2테스트트레이가 이송되는 모습을 나타낸 개념적인 정면도
도 6은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 제1테스트트레이와 제2테스트트레이가 언로딩부로 반입되는 순서를 나타낸 개념적인 평면도
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 제1테스트트레이와 제2테스트트레이 간의 순서를 변경하는 과정을 나타낸 개념적인 정면도
도 9은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 변경부와 이송부의 개략적인 블록도
도 9는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 로딩부, 언로딩부, 및 변경부의 개략적인 평면도
도 10은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 도 8의 I-I 선을 기준으로 하는 개략적인 측단면도

이하에서는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 3에는 테스트트레이에 대해 이루어지는 공정에 따라 위치 내지 장치에 해당하는 도면부호가 테스트트레이에 표시되어 있다.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU(Central Processing Unit) 등과 같은 전자부품을 테스트하고, 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 전자부품에 대한 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정을 수행한다. 상기 로딩공정은 고객트레이(User Tray)에서 테스트트레이(Test Tray)(100)로 전자부품을 로딩하는 것이다. 상기 테스트공정은 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품을 테스트장비(200)에 접속시키는 것이다. 상기 언로딩공정은 테스트트레이(100)에서 고객트레이로 전자부품을 언로딩하는 것이다. 상기 언로딩공정은 상기 테스트공정에서의 테스트 결과에 따라 전자부품을 등급별로 분류하여 고객트레이로 언로딩함으로써 이루어질 수 있다.

본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 로딩부(2), 언로딩부(3), 테스트부(4), 제1챔버부(5), 제2챔버부(6), 및 로테이트부(7)를 포함할 수 있다.

<로딩부>

도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 로딩부(2)는 상기 로딩공정을 수행하는 것이다. 상기 로딩부(2)는 테스트될 전자부품을 테스트트레이(100)로 로딩함으로써 상기 로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 로딩부(2)는 로딩위치(20)에 위치된 테스트트레이(100)에 대해 테스트될 전자부품을 로딩할 수 있다. 상기 로딩부(2)는 수평상태로 배치된 테스트트레이(100)에 대해 상기 로딩공정을 수행할 수 있다.

상기 로딩부(2)는 로딩스택커(21), 로딩픽커(22), 및 로딩버퍼(23)를 포함할 수 있다.

상기 로딩스택커(21)는 테스트될 전자부품이 담긴 고객트레이를 저장하는 것이다. 상기 고객트레이에는 복수개의 전자부품이 담길 수 있다. 상기 로딩스택커(21)에는 상기 고객트레이가 복수개 저장될 수 있다.

상기 로딩픽커(22)는 상기 로딩스택커(21)에 위치된 고객트레이에서 테스트될 전자부품을 픽업하여 상기 로딩위치(20)에 위치된 테스트트레이(100)에 수납시키는 것이다. 상기 로딩픽커(22)는 한번에 복수개의 전자부품을 픽업할 수 있다. 상기 로딩픽커(22)는 제1축방향(X축 방향)과 제2축방향(Y축 방향)을 따라 이동될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향)은 서로 직교하는 축 방향이다. 상기 로딩픽커(22)는 수직방향(Z축 방향)을 따라 승하강될 수 있다. 상기 수직방향(Z축 방항)은 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향) 각각에 대해 수직한 축 방향이다. 테스트트레이(100)에는 복수개의 전자부품이 수납될 수 있다.

상기 로딩버퍼(23)는 테스트될 전자부품을 일시적으로 수납하는 것이다. 상기 로딩픽커(22)는 테스트될 전자부품을 상기 로딩스택커(21)에 위치된 고객트레이에서 상기 로딩버퍼(23)로 이송하는 제1로딩픽커(미도시), 및 테스트될 전자부품을 상기 로딩버퍼(23)에서 테스트트레이(100)로 이송하는 제2로딩픽커(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 로딩버퍼(23)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 이동될 수도 있다.

<언로딩부>

도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 언로딩부(3)는 상기 언로딩공정을 수행하는 것이다. 상기 언로딩부(3)는 테스트된 전자부품을 테스트트레이(100)로부터 언로딩함으로써 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 언로딩부(3)는 언로딩위치(30)에 위치된 테스트트레이(100)로부터 테스트된 전자부품을 언로딩할 수 있다. 상기 언로딩부(3)는 수평상태로 배치된 테스트트레이(100)에 대해 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다. 상기 언로딩부(3)와 상기 로딩부(2)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 이격되어 배치될 수 있다.

상기 언로딩부(3)는 언로딩스택커(31), 언로딩픽커(32), 및 언로딩버퍼(33)를 포함할 수 있다.

상기 언로딩스택커(31)는 테스트된 전자부품이 담긴 고객트레이를 저장하는 것이다. 상기 언로딩스택커(31)에는 상기 고객트레이가 복수개 저장될 수 있다. 테스트된 전자부품은 테스트 결과에 따라 상기 언로딩스택커(31)에서 등급별로 서로 다른 위치에 위치된 고객트레이에 담길 수 있다.

상기 언로딩픽커(32)는 상기 언로딩위치(30)에 위치된 테스트트레이(100)에서 테스트된 전자부품을 픽업하여 상기 언로딩스택커(31)에 위치된 고객트레이에 수납시키는 것이다. 상기 언로딩픽커(32)는 한번에 복수개의 전자부품을 픽업할 수 있다. 상기 언로딩픽커(32)는 상기 제1축방향(X축 방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 이동될 수 있다. 상기 언로딩픽커(32)는 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승하강될 수 있다.

상기 언로딩버퍼(33)는 테스트된 전자부품을 일시적으로 수납하는 것이다. 상기 언로딩픽커(32)는 테스트된 전자부품을 테스트트레이(100)에서 상기 언로딩버퍼(33)로 이송하는 제1언로딩픽커(미도시), 및 테스트된 전자부품을 상기 언로딩버퍼(33)에서 상기 언로딩스택커(31)에 위치된 고객트레이로 이송하는 제2언로딩픽커(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 언로딩버퍼(33)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 이동될 수도 있다.

<테스트부>

도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 테스트부(4)는 상기 테스트공정을 수행하는 것이다. 상기 테스트부(4)는 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비(200)에 접속시킴으로써 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 상기 테스트부(4)에는 상기 테스트장비(200)가 갖는 하이픽스보드(Hi-fix board)가 결합될 수 있다. 상기 테스트부(4)는 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품을 상기 하이픽스보드에 접속시키는 콘택유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 콘택유닛은 한번에 복수개의 전자부품을 상기 하이픽스보드에 접속시킬 수 있다. 상기 테스트부(4)는 수직상태로 배치된 테스트트레이(100)에 대해 상기 테스트공정을 수행할 수 있다. 상기 테스트부(4)는 챔버(Chamber)로 구현될 수 있다.

상기 테스트부(4)는 상부테스트사이트(41), 및 하부테스트사이트(42)를 포함할 수 있다.

상기 상부테스트사이트(41)에서는 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비(200)에 접속시키는 테스트공정이 수행될 수 있다. 상기 수직방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 상부테스트사이트(41)는 상기 하부테스트사이트(42)의 상측에 배치될 수 있다.

상기 하부테스트사이트(42)에서는 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비(200)에 접속시키는 테스트공정이 수행될 수 있다. 이 경우, 상기 상부테스트사이트(41)와 상기 하부테스트사이트(42)에서는 각각 별개의 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품에 대한 테스트공정이 수행될 수 있다. 상기 상부테스트사이트(41)와 상기 하부테스트사이트(42) 각각에는 상기 하이픽스보드와 상기 콘택유닛이 설치될 수 있다. 상기 상부테스트사이트(41)와 상기 하부테스트사이트(42) 각각에 설치된 콘택유닛들은 일체로 동작할 수도 있다. 이 경우, 상기 하부테스트사이트(42)에서의 테스트공정과 상기 상부테스트사이트(41)에서의 테스트공정이 병행하여 이루어질 수 있다.

<제1챔버부>

도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 제1챔버부(5)는 상기 로딩공정이 수행된 테스트트레이(100)를 상기 테스트부(4)로 전달하는 것이다. 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제1챔버부(5)는 상기 로딩부(2)에 대해 후방(BD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 제1챔버부(5)는 테스트트레이(100)를 후방(BD 화살표 방향) 쪽으로 이송하면서 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 테스트온도로 조절할 수 있다. 상기 테스트온도는 작업자에 의해 미리 설정될 수 있다. 상기 테스트온도가 상온보다 높은 경우, 상기 제1챔버부(5)는 가열을 통해 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 상기 테스트온도로 조절할 수 있다. 상기 테스트온도가 상온보다 낮은 경우, 상기 제1챔버부(5)는 냉각을 통해 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 상기 테스트온도로 조절할 수 있다. 상기 제1챔버부(5)는 테스트트레이(100)를 이송하기 위한 제1이송유닛(미도시), 및 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 조절하기 위한 제1온도조절유닛(미도시)을 포함할 수 있다.

상기 제1챔버부(5)와 상기 테스트부(4)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 테스트부(4)는 상기 제1챔버부(5)와 상기 제2챔버부(6)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1챔버부(5)는 수직상태로 배치된 테스트트레이(100)를 이송하면서 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 조절할 수 있다. 상기 제1챔버부(5)는 챔버(Chamber)로 구현될 수 있다.

상기 제1챔버부(5)는 상기 상부테스트사이트(41)와 상기 하부테스트사이트(42) 각각으로 테스트트레이(100)를 공급할 수 있다. 이를 위해, 상기 제1챔버부(5)는 테스트트레이(100)를 상기 상부테스트사이트(41)에 대응되는 높이로 상승시키기 위한 제1상승유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제1챔버부(5)는 테스트트레이(100)를 밀어서 상기 테스트부(4)로 공급하기 위한 제1공급유닛(미도시)을 포함할 수 있다.

상기 제1챔버부(5)는 제1반입위치(51), 및 제1반출위치(52)를 포함할 수 있다.

상기 제1반입위치(51)는 상기 제1챔버부(5)의 외부에서 상기 제1챔버부(5)의 내부로 테스트트레이(100)가 반입되는 위치이다. 이 경우, 테스트트레이(100)는 상기 로테이트부(7)에서 상기 제1반입위치(51)로 이송됨으로써, 상기 제1챔버부(5)의 내부로 반입될 수 있다.

상기 제1반출위치(52)는 상기 제1챔버부(5)의 내부에서 상기 제1챔버부(5)의 외부로 테스트트레이(100)가 반출되는 위치이다. 이 경우, 테스트트레이(100)는 상기 제1반출위치(52)에서 상기 테스트부(4)로 이송됨으로써, 상기 제1챔버부(5)의 내부로부터 반출될 수 있다. 상기 테스트부(4)가 상기 상부테스트사이트(41)와 상기 하부테스트사이트(42)를 포함하는 경우, 상기 제1반출위치(52)는 제1하부반출위치(521), 및 제1상부반출위치(522)를 포함할 수 있다. 상기 제1하부반출위치(521)는 상기 제1상부반출위치(522)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 제1챔버부(5)는 상기 제1반입위치(51)에 위치된 테스트트레이(100)를 순차적으로 후방(BD 화살표 방향) 쪽으로 이송하여 상기 제1하부반출위치(521)에 위치시킬 수 있다. 테스트트레이(100)는 상기 제1하부반출위치(521)에서 상기 제1상부반출위치(522)로 상승된 후에 상기 제1상부반출위치(522)에서 상기 상부테스트사이트(41)로 반출될 수 있다. 테스트트레이(100)가 상기 제1하부반출위치(521)에서 상기 제1상부반출위치(522)로 상승된 후에, 상기 제1하부반출위치(521)로 이송된 테스트트레이(100)는 상기 제1하부반출위치(521)에서 상기 하부테스트사이트(42)로 반출될 수 있다. 상기 제1하부반출위치(521)는 상기 제1반입위치(51)로부터 후방(BD 화살표 방향) 쪽으로 이격되어 배치될 수 있다.

<제2챔버부>

도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 제2챔버부(6)는 상기 테스트공정이 수행된 테스트트레이(100)를 상기 언로딩부(3)로 전달하는 것이다. 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제2챔버부(6)는 상기 언로딩부(3)에 대해 후방(BD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 제2챔버부(6)는 테스트트레이(100)를 전방(FD 화살표 방향) 쪽으로 이송하면서 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 상온으로 조절할 수 있다. 상기 테스트온도가 상온보다 높은 경우, 상기 제2챔버부(6)는 냉각을 통해 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 상온으로 조절할 수 있다. 상기 테스트온도가 상온보다 낮은 경우, 상기 제2챔버부(6)는 가열을 통해 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 상온으로 조절할 수 있다. 상기 제2챔버부(6)는 테스트트레이(100)를 이송하기 위한 제2이송유닛(미도시), 및 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 조절하기 위한 제2온도조절유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제2챔버부(6)는 수직상태로 배치된 테스트트레이(100)를 이송하면서 테스트트레이(100)에 수납된 전자부품의 온도를 조절할 수 있다. 상기 제2챔버부(6)는 챔버(Chamber)로 구현될 수 있다.

상기 제2챔버부(6)는 상기 상부테스트사이트(41)와 상기 하부테스트사이트(42) 각각으로부터 테스트트레이(100)를 공급받을 수 있다. 이를 위해, 상기 제2챔버부(6)는 상기 상부테스트사이트(41)로부터 공급된 테스트트레이(100)를 하강시키기 위한 제1하강유닛(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제2챔버부(6)는 상기 테스트부(4)로부터 테스트트레이(100)를 당겨서 가져오기 위한 제2공급유닛(미도시)을 포함할 수도 있다.

상기 제2챔버부(6)는 제2반입위치(61), 및 제2반입위치(61)를 포함할 수 있다.

상기 제2반입위치(61)는 상기 제2챔버부(6)의 외부에서 상기 제2챔버부(6)의 내부로 테스트트레이(100)가 반입되는 위치이다. 이 경우, 테스트트레이(100)는 상기 테스트부(4)에서 상기 제2반입위치(61)로 이송됨으로써, 상기 제2챔버부(6)의 내부로 반입될 수 있다. 상기 테스트부(4)가 상기 상부테스트사이트(41)와 상기 하부테스트사이트(42)를 포함하는 경우, 상기 제2반입위치(61)는 제2하부반입위치(611), 및 제2상부반입위치(612)를 포함할 수 있다. 상기 제2하부반입위치(611)는 상기 제2상부반입위치(612)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 제2챔버부(6)는 상기 제2하부반입위치(611)에 위치되는 테스트트레이(100)를 순차적으로 전방(FD 화살표 방향) 쪽으로 이송하여 상기 제2반출위치(62)에 위치시킬 수 있다. 이 경우, 상기 하부테스트사이트(42)에서 상기 제2하부반입위치(611)로 이송된 테스트트레이(100)가 전방(FD 화살표 방향) 쪽으로 이송됨에 따라 상기 제2하부반입위치(611)가 비게 되면, 상기 상부테스트사이트(41)에서 상기 제2상부반입위치(612)로 이송된 테스트트레이(100)가 상기 제2하부반입위치(611)로 하강된 후에 전방(FD 화살표 방향) 쪽으로 이송될 수 있다.

상기 제2반출위치(62)는 상기 제2챔버부(6)의 내부에서 상기 제2챔버부(6)의 외부로 테스트트레이(100)가 반출되는 위치이다. 이 경우, 테스트트레이(100)는 상기 제2반출위치(62)에서 상기 로테이트부(7)로 이송됨으로써, 상기 제2챔버부(6)의 내부로부터 반출될 수 있다. 상기 제2반출위치(62)는 상기 제2하부반입위치(611)로부터 전방(FD 화살표 방향) 쪽으로 이격되어 배치될 수 있다.

<로테이트부>

도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 로테이트부(7)는 테스트트레이(100)를 회전시키는 것이다. 상기 로테이트부(7)는 테스트트레이(100)를 회전시켜서 테스트트레이(100)를 수평상태와 수직상태 간에 전환시킬 수 있다. 상기 로테이트부(7)에 의해, 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정은 테스트트레이(100)가 수평상태로 배치된 상태에서 수행될 수 있다. 상기 로테이트부(7)에 의해, 상기 테스트공정은 테스트트레이(100)가 수직상태로 배치된 상태에서 수행될 수 있다. 상기 로테이트부(7)에 의해, 상기 제1챔버부(5)와 상기 제2챔버부(6) 각각에서는 수직상태의 테스트트레이(100)를 이송하면서 전자부품의 온도를 조절하는 공정이 수행될 수 있다.

상기 로테이트부(7)는 로딩로테이터(71), 및 언로딩로테이터(72)를 포함할 수 있다.

상기 로딩로테이터(71)는 수평상태의 테스트트레이(100)를 회전시켜서 수직상태로 전환시키는 것이다. 상기 로딩로테이터(71)는 상기 로딩부(2)로부터 수평상태의 테스트트레이(100)를 공급받은 후에, 테스트트레이(100)를 회전시켜서 수직상태로 전환시킬 수 있다. 그 후, 상기 로딩로테이터(71)는 수직상태의 테스트트레이(100)를 상기 제1챔버부(5)에 공급할 수 있다. 이 경우, 수직상태의 테스트트레이(100)는 상기 로딩로테이터(71)에서 상기 제1반입위치(51)로 이송될 수 있다. 상기 로딩로테이터(71)는 상기 로딩부(2)와 상기 제1챔버부(5)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 로딩로테이터(71)는 상기 로딩부(2)에 대해 후방(BD 화살표 방향) 쪽에 배치됨과 아울러 상기 제1챔버부(5)의 상측에 배치될 수 있다.

상기 언로딩로테이터(72)는 수직상태의 테스트트레이(100)를 회전시켜서 수평상태로 전환시키는 것이다. 상기 언로딩로테이터(72)는 상기 제2챔버부(6)로부터 수직상태의 테스트트레이(100)를 공급받은 후에, 테스트트레이(100)를 회전시켜서 수평상태로 전환시킬 수 있다. 이 경우, 수직상태의 테스트트레이(100)는 상기 제2반출위치(62)에서 상기 언로딩로테이터(72)로 이송된 후에, 상기 언로딩로테이터(72)에 의해 회전되어서 수평상태로 전환될 수 있다. 그 후, 상기 언로딩로테이터(72)는 수평상태의 테스트트레이(100)를 상기 언로딩부(3)에 공급할 수 있다. 상기 언로딩로테이터(72)는 상기 언로딩부(3)와 상기 제2챔버부(6)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 언로딩로테이터(72)는 상기 언로딩부(3)에 대해 후방(BD 화살표 방향) 쪽에 배치됨과 아울러 상기 제2챔버부(6)의 상측에 배치될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 언로딩로테이터(72)와 상기 로딩로테이터(71)는 서로 이격되어 배치될 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 로테이트부(7)는 하나의 로테이터를 이용하여 테스트트레이(100)를 회전시켜서 수직상태와 수평상태로 전환할 수도 있다. 이 경우, 상기 로테이터는 상기 로딩부(2)로부터 이송된 테스트트레이(100)를 회전시켜서 수평상태에서 수직상태로 전환한 후에, 상기 제1챔버부(5)로 공급할 수 있다. 상기 로테이터는 상기 제2챔버부(6)로부터 이송된 테스트트레이(100)를 회전시켜서 수직상태에서 수평상태로 전환한 후에, 상기 언로딩부(3)로 공급할 수 있다.

여기서, 도 4 내지 도 7c에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 제1로트에 속한 제1전자부품이 수납된 제1테스트트레이(101)와 제2로트에 속한 제2전자부품이 수납된 제2테스트트레이(102)에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정을 수행하도록 구현될 수 있다. 예컨대, 상기 제1로트에 속한 전자부품들 중에서 마지막 전자부품들을 상기 제1테스트트레이(101)에 수납하여 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정을 수행하는 동안에, 상기 제2로트에 속한 전자부품들을 상기 제2테스트트레이(102)에 수납하여 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정을 수행할 수 있다.

이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 로트(LOT)가 변경되는 과정에서 발생되는 유휴공정을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 테스트공정이 완료된 전자부품을 등급별로 분류하는 공정의 처리량을 증대시킬 수 있고, 전체적인 효율을 향상시킬 수 있다.

한편, 상기 제1테스트트레이(101), 상기 제2테스트트레이(102), 상기 제1전자부품, 상기 제2전자부품에 있어서, "제1"과 "제2"는 로트를 구분하기 위해 병기된 것이다. 또한, 도 4 내지 도 7c에는 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)에 서로 다른 모양의 해칭이 표시되어 있는데, 이는 로트를 구분하기 위한 것이다. 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)는 서로 동일한 테스트트레이로 구현되고, 상기 제1전자부품과 상기 제2전자부품은 서로 동일한 전자부품으로 구현될 수 있다.

이와 같이 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 병행하여 수행되는 경우, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 다음과 같이 동작할 수 있다.

우선, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 로딩부(2)는 상기 제1테스트트레이(101)에 상기 제1전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행한 후에, 상기 제2테스트트레이(102)에 상기 제2전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1테스트트레이(101)가 먼저 상기 로딩부(2)로부터 반출되어서 상기 로딩로테이터(71)를 거쳐 상기 제1챔버부(5)로 공급된 후에, 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 로딩부(2)로부터 반출되어서 상기 로딩로테이터(71)를 거쳐 상기 제1챔버부(5)로 공급될 수 있다. 이 경우, 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)는 상기 제1챔버부(5)의 제1반입위치(51)로 순차적으로 공급될 수 있다.

다음, 상기 제1챔버부(5)에 상기 제1테스트트레이(101)가 먼저 반입된 이후에 상기 제2테스트트레이(102)가 반입되므로, 상기 제1챔버부(5)는 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 제2테스트트레이(102)보다 더 후방(BD 화살표 방향) 쪽에 배치된 상태로 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)를 후방(BD 화살표 방향)으로 이송할 수 있다. 이에 따라, 도 5a에 도시된 바와 같이 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 제1하부반출위치(521)에 먼저 도달된 후에 상기 제1상부반출위치(522)로 상승될 수 있다. 그 후, 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 제1하부반출위치(521)에 도달할 수 있다.

다음, 도 5b와 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 제1챔버부(5)의 제1상부반출위치(522)에서 상기 상부테스트사이트(41)로 이송되고, 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 제1챔버부(5)의 제1하부반출위치(521)에서 상기 하부테스트사이트(42)로 이송될 수 있다. 그 후, 상기 제1테스트트레이(101)에 수납된 제1전자부품과 상기 제2테스트트레이(102)에 수납된 제2전자부품에 대한 테스트공정이 수행될 수 있다.

다음, 도 5c와 도 5d에 도시된 바와 같이, 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 상부테스트사이트(41)에서 상기 제2챔버부(6)의 제2상부반입위치(612)로 이송되고, 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 하부테스트사이트(42)에서 상기 제2챔버부(6)의 제2하부반입위치(611)로 이송될 수 있다.

다음, 상기 제2챔버부(6)는 상기 제2하부반입위치(611)에 위치된 상기 제2테스트트레이(102)를 먼저 전방(FD 화살표 방향)으로 이송한 후에, 도 5e에 도시된 바와 같이 상기 제2상부반입위치(612)에 위치된 상기 제1테스트트레이(101)를 상기 제2하부반입위치(611)로 하강시킬 수 있다. 그 후, 상기 제2챔버부(6)는 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 제1테스트트레이(101)보다 더 전방(FD 화살표 방향) 쪽에 배치된 상태로 상기 제2테스트트레이(102)와 상기 제1테스트트레이(101)를 전방(FD 화살표 방향)으로 이송할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 제1테스트트레이(101)보다 먼저 상기 제2챔버부(6)의 제2반출위치(62)에 도달하게 되므로, 상기 제2챔버부(6)로부터 상기 제2테스트트레이(102)가 먼저 반출된 후에 상기 제1테스트트레이(101)가 반출되게 된다.

다음, 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 언로딩로테이터(72)를 거쳐 상기 언로딩위치(30)에 먼저 위치된 후에 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 언로딩로테이터(72)를 거쳐 상기 언로딩위치(30)에 위치되므로, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 언로딩부(3)는 상기 제2테스트트레이(102)로부터 상기 제2전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행한 후에 상기 제1테스트트레이(101)로부터 상기 제1전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행하게 된다.

이에 따라, 상기 제1테스트트레이(101)에 수납된 제1전자부품에 대한 언로딩공정이 완료되지 않은 상태에서 상기 제2테스트트레이(102)에 수납된 제2전자부품에 대한 언로딩공정이 수행되므로, 상기 제1로트에 속한 제1전자부품과 상기 제2로트에 속한 제2전자부품이 상기 언로딩스택커(31)에 위치된 고객트레이에서 혼합될 우려가 있다.

이를 방지하기 위해, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 변경부(8)를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 변경부(8)를 이용하여 상기 로딩부(2)가 상기 제1테스트트레이(101)에 대해 상기 제1전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행한 후에 연속하여 상기 제2테스트트레이(102)에 대해 상기 제2전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행하더라도, 상기 언로딩부(3)가 상기 제1테스트트레이(101)로부터 상기 제1전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행한 후에 상기 제2테스트트레이(102)로부터 상기 제2전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행하도록 구현될 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 로트(LOT)가 변경되는 과정에서 발생되는 유휴공정을 줄일 수 있으면서도, 상기 제1로트에 속한 모든 제1전자부품이 상기 언로딩스택커(31)에 위치된 고객트레이에 수납되는 공정이 완료된 이후에 상기 제2로트에 속한 제2전자부품이 상기 언로딩스택커(31)에 위치된 고객트레이에 수납되는 공정이 시작되도록 구현될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 테스트공정이 완료된 전자부품을 등급별로 분류하는 공정의 처리량을 증대시킬 수 있으면서도, 테스트된 전자부품을 로트별로 구분하여 고객트레이에 수납시키는 작업의 정확성을 향상시킬 수 있다.

도 1 내지 도 7c를 참고하면, 상기 변경부(8)는 상기 제1로트에 속한 제1전자부품이 수납된 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2로트에 속한 제2전자부품이 수납된 상기 제2테스트트레이(102) 간의 순서를 변경하기 위한 것이다. 이에 따라, 상기 변경부(8)는 상기 언로딩부(3)가 상기 제1테스트트레이(101)로부터 상기 제1전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행한 후에 상기 제2테스트트레이(102)로부터 상기 제2전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행하도록 할 수 있다.

상기 변경부(8)는 상기 언로딩부(3)에서 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)에 대해 언로딩공정이 수행되는 순서를 변경하도록 구현될 수 있다. 상기 변경부(8)는 이송부(9)와 연계하여 동작함으로써, 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)에 대해 언로딩공정이 수행되는 순서를 변경할 수 있다. 상기 이송부(9)는 상기 언로딩공정이 수행된 테스트트레이(100)를 상기 언로딩부(3)의 언로딩위치(30)에서 상기 로딩부(2)의 로딩위치(20)로 이송하는 것이다. 상기 이송부(9)는 상기 테스트트레이(100)를 밀거나 당겨서 이송할 수 있다. 상기 이송부(9)는 상기 테스트트레이(100)의 이송방향에 따라 상기 테스트트레이(100)를 밀어서 이송할 수도 있고, 상기 테스트트레이(100)를 당겨서 이송할 수도 있다. 상기 변경부(8)와 상기 이송부(9)는 다음과 같이 동작하여 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)에 대해 언로딩공정이 수행되는 순서를 변경할 수 있다.

우선, 도 7a에 도시된 바와 같이 상기 언로딩위치(30)에 상기 제2테스트트레이(102)가 위치되면, 상기 변경부(8)와 상기 이송부(9)는 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩위치(30)에서 회피위치(80)로 이송할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부(9)가 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩위치(30)에서 언로딩대기위치(30a)로 하강시킨 후에 회귀경로(91)를 따라 이송하는 과정에서, 상기 변경부(8)는 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회귀경로(91)로부터 상승시킴으로써 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)로 이송할 수 있다. 상기 회귀경로(91)는 상기 언로딩버퍼(33)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 회피위치(80)는 상기 회귀경로(91)의 상측에 배치됨과 아울러 상기 언로딩버퍼(33)의 하측에 배치될 수 있다. 즉, 상기 수직방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 회피위치(80)는 상기 회귀경로(91)와 상기 언로딩버퍼(33)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 언로딩위치(30)의 하측에는 상기 언로딩대기위치(30a)가 배치되고, 상기 로딩위치(20)의 하측에는 로딩대기위치(20a)가 배치될 수 있다. 상기 회피위치(80)의 하측에는 회피대기위치(80a)가 배치될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 회피대기위치(80a)는 상기 언로딩대기위치(30a)와 상기 로딩대기위치(20a)의 사이에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 이송부(9)가 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩위치(30)에서 언로딩대기위치(30a)로 하강시킨 후에 상기 회귀경로(91)를 따라 상기 회피대기위치(80a)로 이송하면, 상기 변경부(8)는 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 회피위치(80)로 상승시킬 수 있다.

다음, 도 7b에 도시된 바와 같이 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 회피위치(80)에 위치된 상태에서, 상기 언로딩부(3)는 상기 언로딩위치(30)에 위치된 상기 제1테스트트레이(101)로부터 상기 제1전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행할 수 있다. 이를 통해, 상기 제1전자부품에 대한 언로딩공정이 완료될 수 있다.

다음, 상기 제1테스트트레이(101)에 대한 언로딩공정이 완료된 후에, 상기 이송부(9)는 상기 제1테스트트레이(101)를 상기 언로딩위치(30)에서 상기 로딩위치(20)로 이송할 수 있다. 이 경우, 상기 제1테스트트레이(101)는 상기 이송부(9)에 의해 상기 언로딩위치(30)에서 상기 언로딩대기위치(30a), 상기 회귀경로(91), 및 상기 로딩대기위치(20a)를 거쳐 상기 로딩위치(20)로 이송될 수 있다. 상기 회피대기위치(80a)가 구비된 경우, 상기 제1테스트트레이(101)는 상기 회귀경로(91)를 따라 이송되는 과정에서 상기 언로딩대기위치(90a)를 통과하여 상기 로딩대기위치(20a)에 위치될 수 있다. 상기 로딩위치(20)에 위치된 상기 제1테스트트레이(101)에 대해서는 제2전자부품을 로딩하는 로딩공정이 수행될 수 있다.

다음, 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 로딩위치(20)로 이송되면, 도 7c에 도시된 바와 같이 상기 변경부(8)와 상기 이송부(9)는 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)에서 상기 언로딩위치(30)로 이송할 수 있다. 이 경우, 상기 변경부(8)가 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)에서 상기 회귀경로(91)로 하강시키면, 상기 제2테스트트레이(102)는 상기 이송부(9)에 의해 상기 회귀경로(91)를 따라 상기 언로딩대기위치(30a)로 이송된 후에 상기 언로딩위치(30)로 이송될 수 있다. 상기 언로딩대기위치(90a)가 구비된 경우, 상기 변경부(8)가 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)에서 상기 회피대기위치(80a)로 하강시키면, 상기 이송부(9)가 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 언로딩대기위치(30a)로 이송한 후에 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 언로딩위치(30)로 상승시킬 수 있다. 상기 언로딩위치(30)에 상기 제2테스트트레이(102)가 위치되면, 상기 제2테스트트레이(102)로부터 상기 제2전자부품을 언로딩하는 언로딩공정이 수행될 수 있다. 이를 통해, 상기 제2전자부품에 대한 언로딩공정이 시작될 수 있다.

이와 같이, 상기 변경부(8)가 상기 언로딩부(3)에서 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)에 대해 언로딩공정이 수행되는 순서를 변경함으로써, 상기 언로딩부(3)는 상기 제1테스트트레이(101)로부터 상기 제1전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행한 후에 상기 제2테스트트레이(102)로부터 상기 제2전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 변경부(8)를 이용하여 로트(LOT)가 변경되는 과정에서 발생되는 유휴공정을 줄일 수 있으면서도, 상기 제1로트에 속한 모든 제1전자부품이 상기 언로딩스택커(31)에 위치된 고객트레이에 수납되는 공정이 완료된 이후에 상기 제2로트에 속한 제2전자부품이 상기 언로딩스택커(31)에 위치된 고객트레이에 수납되는 공정이 시작되도록 구현될 수 있다. 상기 변경부(8)는 테스트트레이(100)를 상기 수직방향(Z축 방향)을 따라 승하강시킬 수 있고, 상기 회피위치(80)에서 테스트트레이(100)를 지지할 수 있도록 구현된다.

도 1 내지 도 10을 참고하면, 상기 변경부(8)는 회피승강유닛(81)을 포함할수 있다.

상기 회피승강유닛(81)은 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)와 상기 회피위치(80) 간에 승하강시키는 것이다. 상기 제1테스트트레이(101)에 대해 언로딩공정이 수행되지 않은 상태인 경우, 상기 회피승강유닛(81)은 상기 이송부(9)에 의해 상기 회피대기위치(80a)로 이송된 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)로 상승시킬 수 있다. 상기 제1테스트트레이(101)에 대해 언로딩공정이 수행된 후에 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 로딩위치(20)로 이송된 상태인 경우, 상기 회피승강유닛(81)은 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)에서 상기 회피대기위치(80a)로 하강시킬 수 있다. 그 후, 상기 제2테스트트레이(102)는 상기 이송부(9)에 의해 상기 언로딩대기위치(30a)를 거쳐 상기 언로딩위치(30)로 이송될 수 있다.

상기 회피승강유닛(81)은 회피지지부재(811, 도 9에 도시됨), 및 회피승강기구(812, 도 9에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 회피지지부재(811)는 본체(10)에 승하강 가능하게 결합된 것이다. 상기 본체(10)는 상기 로딩부(2), 상기 언로딩부(3), 및 상기 이송부(9)가 설치되는 것이다. 상기 본체(10)는 상기 테스트부(4), 상기 제1챔버부(5), 및 상기 제2챔버부(6)에 대해 전방(FD 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 본체(10)는 작업장의 바닥면에 설치될 수 있다. 상기 본체(10)에는 상기 로테이트부(7)가 설치될 수도 있다.

상기 회피지지부재(811)는 상기 제2테스트트레이(102)를 지지할 수 있다. 상기 회피지지부재(811)는 일부가 상기 본체(10)의 내측에 배치되고, 나머지 일부가 상기 본체(10)의 외측에 배치될 수 있다. 상기 본체(10)의 내측에 배치된 회피지지부재(811)의 부분은 상기 제2테스트트레이(102)를 지지할 수 있다. 상기 본체(10)의 외측에 배치된 회피지지부재(811)의 부분은 상기 회피승강기구(812)에 결합될 수 있다.

상기 회피승강기구(812)는 상기 회피지지부재(811)를 승하강시키는 것이다. 상기 회피승강기구(812)는 상기 회피지지부재(811)를 상기 회피대기위치(80a)와 상기 회피위치(80) 간에 승하강시킴으로써, 상기 회피지지부재(811)에 지지된 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)와 상기 회피위치(80) 간에 승하강시킬 수 있다. 상기 회피승강기구(812)는 상기 본체(10)에 설치될 수 있다. 상기 회피승강기구(812)에는 상기 회피지지부재(811)가 결합될 수 있다. 상기 회피승강기구(812)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 풀리를 이용한 벨트방식, 랙기어와 피니언기어를 이용한 랙피니언방식, 영구자석과 코일을 이용한 리니어모터방식 등을 통해 상기 회피지지부재(811)를 승하강시킬 수 있다.

상기 변경부(8)는 상기 회피지지부재(811)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 회피지지부재(811)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격되어 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 회피지지부재(811)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 제2테스트트레이(102)의 양측을 지지할 수 있으므로, 상기 제2테스트트레이(102)를 더 안정적으로 승하강시킬 수 있다. 상기 변경부(8)는 상기 회피승강기구(812)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 회피승강기구(812)들은 상기 회피지지부재(811)들을 개별적으로 승하강시킬 수 있다. 상기 변경부(8)는 상기 회피지지부재(811)들을 연결하는 연동기구(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 회피승강기구(812)가 상기 회피지지부재(811)들 중에서 어느 하나를 승하강시키면, 상기 회피지지부재(811)들은 상기 연동기구에 의해 함께 승하강될 수 있다.

도 1 내지 도 10을 참고하면, 상기 변경부(8)는 회피홈(82, 도 10에 도시됨)을 포함할 수 있다.

상기 회피홈(82)은 상기 언로딩버퍼(33) 및 버퍼프레임(110) 중에서 적어도 하나의 하면(下面)에 형성된 것이다. 상기 버퍼프레임(110)은 상기 본체(10)의 일부로, 상기 언로딩버퍼(33)를 지지하는 부분에 해당할 수 있다. 상기 언로딩버퍼(33)와 상기 버퍼프레임(110) 중에서 적어도 하나의 하면은, 상기 회피위치(80)를 향하도록 배치된 면(面)이다. 이에 따라, 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 회피위치(80)에 위치되면, 상기 회피홈(82)에는 상기 제2테스트트레이(102)의 일부 또는 전부가 삽입될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 회피위치(80)가 구비됨에 따라 발생되는 간섭을 줄일 수 있고, 상기 본체(10)의 높이를 증가시키지 않도록 상기 회피위치(80)가 마련되도록 구현될 수 있다. 한편, 상기 회피위치(80)가 구비됨에 따라 상기 본체(10)의 높이가 증가하더라도, 상기 회피홈(82)으로 인해 상기 본체(10)의 높이 증가율을 낮출 수 있다.

도 1 내지 도 10을 참고하면, 상기 변경부(8)는 회피스토퍼(83)를 포함할 수 있다.

상기 회피스토퍼(83)는 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 로딩대기위치(20a) 쪽으로 이송되는 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 정지시키기 위한 것이다. 본 발명에 따른 테스트 핸들러(1)는 상기 회피스토퍼(83)를 이용하여 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에 정지시키는 작업의 정확성을 높일 수 있으므로, 상기 회피승강유닛(81)을 이용하여 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 회피위치(80)로 상승시키는 작업의 정확성과 안정성을 향상시킬 수 있다.

상기 회피스토퍼(83)는 상기 본체(10)에 결합될 수 있다. 상기 회피스토퍼(83)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 본체(10)의 양측 사이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 회피스토퍼(83)와 상기 회피승강유닛(81)은 서로 간섭되지 않게 배치될 수 있다. 상기 회피스토퍼(83)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 로딩대기위치(20a)와 상기 회피대기위치(80a)의 사이에 배치될 수 있다.

상기 회피스토퍼(83)는 상기 본체(10)에 승하강 가능하게 결합될 수 있다. 상기 회피스토퍼(83)는 스토퍼승강기구(831)에 의해 승하강될 수 있다.

상기 스토퍼승강기구(831)는 상기 회피스토퍼(83)를 상기 회피대기위치(80a)와 동일한 높이로 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 회피스토퍼(83)는 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 로딩대기위치(20a) 쪽으로 이송되는 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 정지시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)로 이송하기 위한 별도의 이송기구를 구비하지 않고도, 상기 테스트트레이(100)를 상기 언로딩위치(30)에서 상기 로딩위치(20)로 이송하는 이송부(9)만으로 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에 위치시킬 수 있도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 이송부(9) 외에 별도의 이송기구를 마련하기 위한 비용을 줄일 수 있다.

상기 스토퍼승강기구(831)는 상기 회피스토퍼(83)를 상기 회피대기위치(80a)보다 더 낮은 높이로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 회피스토퍼(83)는 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 로딩대기위치(20a)로 이송되는 제1테스트트레이(101)에 대해 간섭되지 않는 위치에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 제1테스트트레이(101)는 상기 회피스토퍼(83)에 방해됨이 없이 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 로딩대기위치(20a)로 이송될 수 있다.

상기 스토퍼승강기구(831)는 상기 본체(10)에 설치될 수 있다. 상기 스토퍼승강기구(831)에는 상기 회피스토퍼(83)가 결합될 수 있다. 상기 스토퍼승강기구(831)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 풀리를 이용한 벨트방식, 랙기어와 피니언기어를 이용한 랙피니언방식, 영구자석과 코일을 이용한 리니어모터방식 등을 통해 상기 회피스토퍼(83)를 승하강시킬 수 있다.

도 1 내지 도 10을 참고하면, 상기 변경부(8)는 회피감지센서(84)를 포함할 수 있다.

상기 회피감지센서(84)는 상기 회피위치(80)에 위치된 테스트트레이(100)를 감지하기 위한 것이다. 상기 회피감지센서(84)는 상기 회피위치(80)에 위치된 테스트트레이(100)를 감지하여 회피감지정보를 획득할 수 있다. 상기 회피감지센서(84)는 유선통신, 무선통신 등을 통해 상기 회피감지정보를 상기 회피승강유닛(81)과 상기 이송부(9) 중에서 적어도 하나에 제공할 수 있다. 상기 회피감지센서(84)는 상기 본체(10)에 결합될 수 있다. 상기 회피감지센서(84)는 광센서, 레이저센서, 근접센서 등으로 구현될 수 있다.

상기 회피감지센서(84)가 상기 회피위치(80)에 상기 테스트트레이(100)가 위치된 것을 감지하면, 상기 회피감지센서(84)는 제1회피감지정보를 획득할 수 있다. 이 경우, 상기 회피위치(80)에 위치된 테스트트레이(100)는 상기 제2테스트트레이(102)일 수 있다. 상기 이송부(9)는 상기 제1회피감지정보가 수신되면, 상기 제1테스트트레이(101)를 상기 언로딩위치(30)에서 상기 로딩위치(20)로 이송할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 회피감지센서(84)를 이용하여 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)에 위치시킨 이후에 상기 제1테스트트레이(101)를 상기 언로딩위치(30)에서 상기 로딩위치(20)로 이송할 수 있도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102) 간에 충돌, 간섭 등이 발생되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102) 간의 순서를 변경하는 작업의 안정성을 향상시킬 수 있다. 한편, 상기 회피감지센서(84)가 상기 회피위치(80)에 상기 테스트트레이(100)가 없는 것을 감지하면, 상기 회피감지센서(84)는 제2회피감지정보를 획득할 수 있다. 상기 회피승강유닛(81)은 상기 제2회피감지정보가 수신된 이후에 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 회피위치(80)로 상승시킬 수 있다.

도 1 내지 도 10을 참고하면, 상기 변경부(8)는 대기감지센서(85)를 포함할 수 있다.

상기 대기감지센서(85)는 상기 회피대기위치(80a)에 위치된 테스트트레이(100)를 감지하기 위한 것이다. 상기 대기감지센서(85)는 상기 회피대기위치(80a)에 위치된 테스트트레이(100)를 감지하여 대기감지정보를 획득할 수 있다. 상기 대기감지센서(85)는 유선통신, 무선통신 등을 통해 상기 대기감지정보를 상기 회피승강유닛(81)과 상기 이송부(9) 중에서 적어도 하나에 제공할 수 있다. 상기 대기감지센서(85)는 상기 본체(10)에 결합될 수 있다. 상기 대기감지센서(85)는 광센서, 레이저센서, 근접센서 등으로 구현될 수 있다.

상기 대기감지센서(85)가 상기 회피대기위치(80a)에 상기 테스트트레이(100)가 위치된 것을 감지하면, 상기 대기감지센서(85)는 제1대기감지정보를 획득할 수 있다. 상기 대기감지센서(85)가 상기 회피대기위치(80a)에 상기 테스트트레이(100)가 없는 것을 감지하면, 상기 대기감지센서(85)는 제2대기감지정보를 획득할 수 있다.

상기 대기감지센서(85)와 상기 회피감지센서(84)가 모두 구비되는 경우, 상기 대기감지센서(85)는 상기 회피감지센서(84)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 회피승강유닛(81)은 상기 회피감지정보와 상기 대기감지정보를 이용하여 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)와 상기 회피위치(80) 간에 승하강시킬 수 있다. 상기 이송부(9)는 상기 회피감지정보와 상기 대기감지정보를 이용하여 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)와 상기 언로딩대기위치(30a) 간에 이송할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 이송부(9)는 상기 제2회피감지정보와 상기 제2대기감지정보가 수신된 것을 확인한 후에, 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩위치(30)에서 상기 언로딩대기위치(30a)를 거쳐 상기 회피대기위치(80a)로 이송할 수 있다.

다음, 상기 회피승강유닛(81)은 상기 제2회피감지정보와 상기 제1대기감지정보가 수신된 것을 확인한 후에, 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 회피위치(80)로 상승시킬 수 있다.

다음, 상기 이송부(9)는 상기 제1회피감지정보와 상기 제2대기감지정보가 수신된 것을 확인한 후에, 상기 제1테스트트레이(101)를 상기 언로딩위치(30)에서 상기 언로딩대기위치(30a)와 상기 로딩대기위치(20a)를 거쳐 상기 로딩위치(20)로 이송할 수 있다.

다음, 상기 회피승강유닛(81)은 상기 제1회피감지정보와 상기 제2대기감지정보가 수신된 것을 확인한 후에, 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피위치(80)에서 상기 회피대기위치(80a)로 하강시킬 수 있다. 이 경우, 상기 회피승강유닛(81)은 상기 제1회피감지정보와 상기 제2대기감지정보가 수신되고, 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 회피대기위치(80a)를 거쳐 상기 로딩대기위치(20a)로 이송되는 과정에서 상기 제1대기감지정보가 수신되었다가 다시 상기 제2대기감지정보가 수신된 것을 확인한 후에, 상기 제2테스트트레이(102)를 하강시킬 수 있다.

다음, 상기 이송부(9)는 상기 제2회피감지정보와 상기 제1대기감지정보가 수신된 것을 확인한 후에, 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 언로딩대기위치(30a)를 거쳐 상기 언로딩위치(30)로 이송할 수 있다.

이와 같이 동작함으로써, 상기 변경부(8)와 상기 이송부(9)는 상기 회피감지정보와 상기 대기감지정보를 이용하여 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102)의 순서를 변경할 수 있다.

도 1 내지 도 10을 참고하면, 상기 이송부(9)는 로딩승강유닛(92), 언로딩승강유닛(93), 및 이송유닛(94, 도 8에 도시됨)을 포함할 수 있다.

상기 로딩승강유닛(92)은 상기 테스트트레이(100)를 상기 로딩대기위치(20a)와 상기 로딩위치(20) 간에 승하강시키는 것이다. 상기 로딩대기위치(20a)로 비어 있는 테스트트레이(100)가 이송되면, 상기 로딩승강유닛(92)은 비어 있는 테스트트레이(100)를 상기 로딩위치(20)로 상승시킬 수 있다.

상기 로딩승강유닛(92)은 로딩지지부재(921, 도 9에 도시됨), 및 로딩승강기구(922, 도 9에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 로딩지지부재(921)는 상기 테스트트레이(100)를 지지하기 위한 것이다. 상기 로딩지지부재(921)는 상기 본체(10)에 승하강 가능하게 결합될 수 있다.

상기 로딩승강기구(922)는 상기 로딩지지부재(921)를 승하강시키는 것이다. 상기 로딩승강기구(922)는 상기 로딩지지부재(921)를 상기 로딩대기위치(20a)와 상기 로딩위치(20) 간에 승하강시킴으로써, 상기 로딩지지부재(921)에 지지된 테스트트레이(100)를 상기 로딩대기위치(20a)와 상기 로딩위치(20) 간에 승하강시킬 수 있다. 상기 로딩승강기구(922)는 상기 본체(10)에 설치될 수 있다. 상기 로딩승강기구(922)에는 상기 로딩지지부재(921)가 결합될 수 있다. 상기 로딩승강기구(922)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 풀리를 이용한 벨트방식, 랙기어와 피니언기어를 이용한 랙피니언방식, 영구자석과 코일을 이용한 리니어모터방식 등을 통해 상기 로딩지지부재(921)를 승하강시킬 수 있다.

상기 언로딩승강유닛(93)은 상기 테스트트레이(100)를 상기 언로딩대기위치(30a)와 상기 언로딩위치(30) 간에 승하강시키는 것이다. 상기 언로딩위치(30)에 위치된 테스트트레이(100)에 대해 언로딩공정이 완료되면, 상기 언로딩승강유닛(93)은 상기 언로딩공정이 완료된 테스트트레이(100)를 상기 언로딩대기위치(30a)로 하강시킬 수 있다. 상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102) 간의 순서를 변경하려는 경우, 상기 언로딩승강유닛(93)은 상기 제2테스트트레이(102)에 대해 언로딩공정이 수행되기 이전에 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩위치(30)에서 상기 언로딩대기위치(30a)로 하강시킬 수 있다. 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 언로딩공정이 완료된 이후에 상기 로딩위치(20)로 이송되고, 상기 언로딩대기위치(30a)로 상기 제2테스트트레이(102)가 이송되면, 상기 언로딩승강유닛(93)은 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 언로딩위치(30)로 상승시킬 수 있다.

상기 언로딩승강유닛(93)은 언로딩지지부재(931, 도 9에 도시됨), 및 언로딩승강기구(932, 도 9에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 언로딩지지부재(931)는 상기 테스트트레이(100)를 지지하기 위한 것이다. 상기 언로딩지지부재(931)는 상기 본체(10)에 승하강 가능하게 결합될 수 있다.

상기 언로딩승강기구(932)는 상기 언로딩지지부재(931)를 승하강시키는 것이다. 상기 언로딩승강기구(932)는 상기 언로딩지지부재(931)를 상기 언로딩대기위치(30a)와 상기 언로딩위치(30) 간에 승하강시킴으로써, 상기 언로딩지지부재(931)에 지지된 테스트트레이(100)를 상기 언로딩대기위치(30a)와 상기 언로딩위치(30) 간에 승하강시킬 수 있다. 상기 언로딩승강기구(932)는 상기 본체(10)에 설치될 수 있다. 상기 언로딩승강기구(932)에는 상기 언로딩지지부재(931)가 결합될 수 있다. 상기 언로딩승강기구(932)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 풀리를 이용한 벨트방식, 랙기어와 피니언기어를 이용한 랙피니언방식, 영구자석과 코일을 이용한 리니어모터방식 등을 통해 상기 언로딩지지부재(931)를 승하강시킬 수 있다.

상기 이송유닛(94)은 상기 테스트트레이(100)를 이송하기 위한 것이다 .상기 이송유닛(94)은 상기 테스트트레이(100)를 상기 언로딩대기위치(30a)와 상기 로딩대기위치(20a) 간에 이송할 수 있다.

상기 언로딩공정이 완료된 테스트트레이(100)가 상기 언로딩승강유닛(93)에 의해 상기 언로딩위치(30)에서 상기 언로딩대기위치(30a)로 하강되면, 상기 이송유닛(94)은 상기 테스트트레이(100)를 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 로딩대기위치(20a)로 이송할 수 있다. 그 후, 상기 언로딩공정이 완료된 테스트트레이(100)는 상기 로딩승강유닛(92)에 의해 상기 로딩대기위치(20a)에서 상기 로딩위치(20)로 상승될 수 있다.

상기 제1테스트트레이(101)와 상기 제2테스트트레이(102) 간의 순서를 변경하려는 경우, 상기 제2테스트트레이(102)가 상기 언로딩승강유닛(93)에 의해 상기 언로딩위치(30)에서 상기 언로딩대기위치(30a)로 하강되면, 상기 이송유닛(94)은 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 회피대기위치(80a)로 이송할 수 있다. 이 경우, 상기 이송유닛(94)이 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 로딩대기위치(20a)로 이송하도록 동작하면, 상기 회피스토퍼(83)가 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 제2테스트트레이(102)를 정지시킬 수 있다. 그 후, 상기 제2테스트트레이(102)는 상기 회피승강유닛(81)에 의해 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 회피위치(80)로 상승될 수 있다.

상기 제2테스트트레이(102)가 상기 회피위치(80)에 위치된 상태에서 상기 제1테스트트레이(101)가 상기 언로딩공정이 완료된 이후에 상기 로딩위치(20)로 이송되면, 상기 제2테스트트레이(102)는 상기 회피승강유닛(81)에 의해 상기 회피위치(80)에서 상기 회피대기위치(80a)로 하강될 수 있다. 그 후, 상기 이송유닛(94)은 상기 제2테스트트레이(102)를 상기 회피대기위치(80a)에서 상기 언로딩대기위치(30a)로 이송할 수 있다. 상기 언로딩대기위치(30a)로 이송된 제2테스트트레이(102)는 상기 언로딩승강유닛(93)에 의해 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 언로딩위치(30)로 상승될 수 있다. 그 후, 상기 제2테스트트레이(102)는 상기 언로딩공정이 완료된 후에 상기 로딩위치(20)로 이송될 수 있다. 이 경우, 상기 이송유닛(94)은 상기 언로딩공정이 완료된 제2테스트트레이(102)를 상기 언로딩대기위치(30a)에서 상기 로딩대기위치(20a)로 이송할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

1 : 전자부품 테스트 핸들러 2 : 로딩부
3 : 언로딩부 4 : 테스트부
5 : 제1챔버부 6 : 제2챔버부
7 : 로테이트부 8 : 변경부
9 : 이송부 100 : 테스트트레이
101 : 제1테스트트레이 102 : 제2테스트트레이
200 : 테스트장비

Claims (11)

1. 테스트될 전자부품을 테스트트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부;
   테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부;
   상부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하고, 상기 상부테스트사이트의 하측에 배치된 하부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하는 테스트부;
   상기 로딩공정이 수행된 테스트트레이를 상기 테스트부로 전달하는 제1챔버부;
   상기 테스트공정이 수행된 테스트트레이를 상기 언로딩부로 전달하는 제2챔버부;
   테스트트레이가 수평상태와 수직상태 간에 전환되도록 테스트트레이를 회전시키는 로테이트부;
   제1로트에 속한 제1전자부품이 수납된 제1테스트트레이와 제2로트에 속한 제2전자부품이 수납된 제2테스트트레이 간의 순서를 변경하기 위한 변경부; 및
   상기 언로딩공정이 수행된 테스트트레이를 상기 언로딩부의 언로딩위치에서 상기 로딩부의 로딩위치로 이송하는 이송부를 포함하고,
   상기 로딩부는 상기 제1테스트트레이에 상기 제1전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행한 후에, 상기 제2테스트트레이에 상기 제2전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행하며,
   상기 변경부와 상기 이송부는 상기 언로딩위치로 이송된 상기 제2테스트트레이를 회피위치로 이송하고, 상기 제1테스트트레이가 상기 언로딩위치로 이송되어 상기 언로딩공정이 수행된 후에 상기 로딩위치로 이송되면 상기 제2테스트트레이를 상기 회피위치에서 상기 언로딩위치로 이송하며,
   상기 언로딩부는 상기 로딩위치와 상기 언로딩위치 사이에서 이동되는 언로딩버퍼를 포함하고,
   상기 회피위치는 상기 언로딩공정이 수행된 테스트트레이가 상기 로딩위치로 이송되기 위한 회귀경로의 상측에 배치됨과 아울러 상기 언로딩버퍼의 하측에 배치된 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
2. 제1항에 있어서,
   상기 변경부는 상기 언로딩부에서 상기 제1테스트트레이와 상기 제2테스트트레이에 대해 언로딩공정이 수행되는 순서를 변경하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1챔버부는 상기 제1테스트트레이를 상기 상부테스트사이트로 이송하고, 상기 제2테스트트레이를 상기 하부테스트사이트로 이송하며,
   상기 제2챔버부는 상기 제2테스트트레이를 먼저 상기 로테이트부로 반출한 후에 상기 제1테스트트레이를 상기 로테이트부로 반출하고,
   상기 로테이트부는 상기 제2테스트트레이를 먼저 상기 언로딩부의 언로딩위치로 이송한 후에 상기 제1테스트트레이를 상기 언로딩위치로 이송하며,
   상기 변경부는 상기 언로딩위치로 먼저 이송된 제2테스트트레이와 상기 언로딩위치로 나중에 이송된 제1테스트트레이 간에 언로딩공정이 수행되는 순서가 변경되도록 상기 제2테스트트레이를 이송하고,
   상기 언로딩부는 상기 제1테스트트레이로부터 상기 제1전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행한 후에, 상기 제2테스트트레이로부터 상기 제2전자부품을 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,
   상기 언로딩버퍼 및 상기 언로딩버퍼가 설치되는 버퍼프레임 중에서 적어도 하나의 하면(下面)에는 회피홈이 형성된 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
7. 삭제
8. 테스트될 전자부품을 테스트트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부;
   테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부;
   상부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하고, 상기 상부테스트사이트의 하측에 배치된 하부테스트사이트에서 테스트트레이에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하는 테스트부;
   상기 로딩공정이 수행된 테스트트레이를 상기 테스트부로 전달하는 제1챔버부;
   상기 테스트공정이 수행된 테스트트레이를 상기 언로딩부로 전달하는 제2챔버부;
   테스트트레이가 수평상태와 수직상태 간에 전환되도록 테스트트레이를 회전시키는 로테이트부;
   제1로트에 속한 제1전자부품이 수납된 제1테스트트레이와 제2로트에 속한 제2전자부품이 수납된 제2테스트트레이 간의 순서를 변경하기 위한 변경부; 및
   상기 언로딩공정이 수행된 테스트트레이를 상기 언로딩부의 언로딩위치에서 상기 로딩부의 로딩위치로 이송하는 이송부를 포함하고,
   상기 로딩부는 상기 제1테스트트레이에 상기 제1전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행한 후에, 상기 제2테스트트레이에 상기 제2전자부품을 로딩하는 로딩공정을 수행하며,
   상기 변경부와 상기 이송부는 상기 언로딩위치로 이송된 상기 제2테스트트레이를 회피위치로 이송하고, 상기 제1테스트트레이가 상기 언로딩위치로 이송되어 상기 언로딩공정이 수행된 후에 상기 로딩위치로 이송되면 상기 제2테스트트레이를 상기 회피위치에서 상기 언로딩위치로 이송하며,
   상기 이송부는,
   테스트트레이를 상기 언로딩위치의 하측에 배치된 언로딩대기위치 및 상기 언로딩위치 간에 승하강시키는 언로딩승강유닛;
   테스트트레이를 상기 언로딩대기위치 및 상기 로딩위치의 하측에 배치된 로딩대기위치 간에 이송하는 이송유닛; 및
   테스트트레이를 상기 로딩대기위치 및 상기 로딩위치 간에 승하강시키는 로딩승강유닛을 포함하고,
   상기 이송유닛은 상기 제2테스트트레이를 상기 언로딩대기위치와 상기 회피위치의 하측에 배치된 회피대기위치 간에 이송하고,
   상기 변경부는 상기 제2테스트트레이를 상기 회피대기위치와 상기 회피위치 간에 승하강시키는 회피승강유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
9. 제8항에 있어서, 상기 변경부는 상기 이송유닛에 의해 상기 언로딩대기위치에서 상기 로딩대기위치 쪽으로 이송되는 제2테스트트레이를 상기 회피위치의 하측에 배치된 회피대기위치에서 정지시키기 위한 회피스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 변경부는 상기 회피위치에 위치된 테스트트레이를 감지하기 위한 회피감지센서를 포함하고,
    상기 이송유닛은 상기 회피감지센서가 테스트트레이를 감지한 후에, 상기 제1테스트트레이를 상기 언로딩대기위치에서 상기 로딩대기위치로 이송하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
11. 제10항에 있어서,
    상기 변경부는 상기 회피대기위치에 위치된 테스트트레이를 감지하기 위한 대기감지센서를 포함하고,
    상기 회피승강유닛은 상기 회피감지센서가 획득한 회피감지정보와 상기 대기감지센서가 획득한 대기감지정보를 이용하여 상기 제2테스트트레이를 상기 회피대기위치와 상기 회피위치 간에 승하강시키며,
    상기 이송유닛은 상기 회피감지정보와 상기 대기감지정보를 이용하여 상기 제2테스트트레이를 상기 회피대기위치와 상기 언로딩대기위치 간에 이송하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.

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