KR100287558B1 - 모듈아이씨핸들러의엘리베이터부에서팔레트를순환시키는방법및그장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 모듈 IC를 테스트하는 모듈 IC 핸들러에 관한 것으로, 팔레트의 이송방법을 개선하여 설치판의 상측으로 팔레트가 상승되지 않도록 하면서도 테스트 트레이 또는 고객 트레이가 얹혀지는 팔레트의 이송이 연속적으로 이루어질 수 있도록 한 것이다.
본 발명은 로딩 및 언로딩 엘리베이터부(18a)(18b)에 의해 로딩 또는 언로딩 포지션(19)(26)으로 노출된 테스트 트레이(6)로부터 모듈 IC(1)를 전부 로딩하거나, 고객 트레이(7)에 테스트 완료된 모듈 IC가 채워지고 나면 트랜스퍼(31)에 의해 팔레트(5)를 로테이션 포지션(30)으로 이송시킨 다음 이를 다우너(32)를 통해 로딩 또는 언로딩 엘리베이터판(36)의 상측으로 순환시킬 수 있는 방범 및 상기 방법을 수행하기 위한 장치이다.

Description

모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 방법 및 그 장치{device and method for circulating pallet ot elevator wnit in modrl I.C handler}
본 발명은 생산 완료된 모듈 아이씨의 테스트를 위해 모듈 아이씨를 공정간에 자동으로 핸들링하는 모듈 아이씨 핸들러(Moudule IC Handler)에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 테스트 트레이가 얹혀진 팔레트를 로딩 포지션으로, 또는 고객 트레이가 얹혀진 팔레트를 언로딩 포지션으로 순차 이송시키는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
일반적으로 모듈 아이씨(이하 "모듈 IC"라 함)(1)란 도 1에 나타낸 바와 같이 기판의 일측면 또는 양측면에 복수개의 아이씨(IC) 및 부품을 납땜 고정하여 독립적으로 회로를 구성한 것으로, 메인기판에 실장되어 용량을 확장시키는 기능을 갖는다.
이러한 모듈 IC는 생산 완료된 IC를 낱개로 판매하는 것보다 고부가 가치를 갖게 되므로 IC 생산업체에서 주력상품으로 개발하여 판매하고 있다.
제조공정을 거쳐 조립 생산된 모듈 IC는 가격이 비싸므로 인해 제품의 신뢰성 또한 매우 중요하여 엄격한 품질검사를 통해 양품으로 판정된 제품만을 출하하고, 불량으로 판정된 모듈 IC는 수정 또는 전량 폐기 처분한다.
종래에는 생산 완료된 모듈 IC를 테스트 소켓내에 자동으로 로딩하여 테스트를 실시한 다음 테스트 결과에 따라 자동으로 분류하여 고객 트레이(custom tray)(도시는 생략함)내에 언로딩하는 장비가 개발된 바 없었다.
따라서 생산 완료된 모듈 IC를 테스트하기 위해서는 작업자가 테스트 트레이로부터 모듈 IC를 수작업으로 1개씩 꺼내 테스트 소켓내에 로딩한 다음 설정된 시간동안 테스트를 실시한 후, 테스트 결과에 따라 모듈 IC를 고객 트레이내에 분류하여 넣어야 되었으므로 모듈 IC의 테스트에 따른 작업능률이 저하되었다.
또한, 단순노동에 따른 지루함으로 인해 생산성의 저하를 초래하게 되었다.
상기 테스트 트레이 및 고객 트레이의 내부에는 모듈 IC(1)를 수직 상태로 세워 삽입하기 위한 삽입홈이 다수개 형성되어 있다.
상기한 문제점을 개선하기 위해 모듈 IC를 자동으로 테스트하는 모듈 IC 핸들러가 출원인에 의해 개발되어 특허 및 실용신안으로 다수 출원된 바 있다.
도 2 내지 도 4는 출원인에 의해 실용신안 96-8320호로 선출원된 기술이다.
도 2는 종래의 장치를 나타낸 정면도이고 도 3은 도 2의 일부를 생략하여 나타낸 측면도이며 도 4는 도 2의 평면도를 나타낸 것이다.
지지판(2)에 고정된 가이드봉(3)에 엘리베이터(4)가 승강가능하게 결합되어 있고 상기 엘리베이터에는 복수개의 팔레트(5)가 인출가능하게 서랍식으로 내장되어 있다.
상기 팔레트(5) 중 로딩측에 위치된 팔레트에는 테스트할 모듈 IC가 담겨진 테스트 트레이(6)가 얹혀지고, 언로딩측 팔레트에는 테스트 완료된 모듈 IC가 담겨지는 고객 트레이(7)가 얹혀지게 된다.
상기 각 가이드봉(3)사이에는 모터(8)의 구동에 따라 회전하는리드스크류(9)가 위치되어 있고 상기 리드스크류에는 엘리베이터의 양측면에 고정된 가이드블럭(10)이 나사끼우기로 결합되어 있다.
그리고 로딩측 및 언로딩측에 위치하는 설치판(11)에 가이드레일(12)을 따라 진퇴가능하게 슬라이더(13)가 설치되어 있는데, 상기 슬라이더에는 실린더(14)에 의해 내측으로 오므러 들거나, 벌려지는 한 쌍의 핑거(15)가 설치되어 있고 팔레트(5)의 일면(슬라이더와 대향되는 면)에는 걸림돌기(5a)가 형성되어 있다.
따라서 테스트할 모듈 IC가 가득 채워진 테스트 트레이(6)를 로딩측 엘리베이터의 팔레트(5)상에 각각 위치시키고, 언로딩측 엘리베이터의 팔레트(5)에는 테스트 완료된 모듈 IC가 채워질 빈 고객 트레이(7)를 얹어 놓은 상태에서 동작하게 된다.
슬라이더(13)에 설치된 실린더(14)가 오프되어 한 쌍의 핑거(15)가 상호 벌어진 상태에서 모터(8)가 구동으로 엘리베이터(4)가 상승하여 상기 엘리베이터에 수납된 어느 하나의 팔레트(5)가 슬라이더(13)와 수평선상에 위치되면 슬라이더(13)가 도 4의 좌측에 나타낸 바와 같이 팔레트(5)측으로 이동함과 동시에 실린더(14)가 구동하여 핑거(15)를 동시에 내측으로 오므리게 되므로 팔레트(5)가 슬라이더(13)에 홀딩된다.
이러한 상태에서 슬라이더(13)가 초기상태로 환원되면 도 4의 우측에 나타낸 바와 같이 로딩 또는 언로딩 포지션으로 인출되므로 로딩측 픽업수단(16)이 테스트 트레이(6)내에 담겨진 복수개의 모듈 IC를 차례로 픽업하여 테스트 소켓 또는 캐리어내에 로딩하게 된다.
한편, 테스트 트레이(6)내의 모듈 IC를 전부 로딩하여 비고 나면 전술한 바와 같이 슬라이더(13)가 전진하여 인출되었던 팔레트(5)를 해당 엘리베이터(4)내에 수납한 다음 홀딩상태를 해제함과 동시에 모터(8)의 구동으로 리드스크류(9)를 회전시키게 되므로 상기 리드스크류와 가이드블럭(10)이 나사끼우기로 결합된 엘리베이터(4)는 1스탭 상승하게 된다.
이에 따라, 슬라이더(13)에 설치된 핑거(15)가 전술한 바와 같이 상측으로부터 2번째 위치된 팔레트(5)를 홀딩하여 인출시키게 되므로 연속작업이 가능해지게 된다.
그러나 이러한 종래의 장치는 로딩측 또는 언로딩측에 위치된 엘리베이터(4)내의 팔레트(5)에 테스트 트레이(6) 또는 고객 트레이(7)를 차례로 얹어 놓을 수 있게 되므로 자동으로 모듈 IC를 로딩 및 언로딩하게 되는 잇점을 갖지만, 다음과 같은 문제점이 발생되었다.
첫째, 엘리베이터(4)를 반드시 설치판(11)의 상측으로 1스탭씩 이동시켜야만 엘리베이터에 있던 팔레트(5)를 꺼낼 수 있게 되므로 장비의 높이가 높아지게 된다.
둘째, 슬라이더(13)를 이송시켜 엘리베이터(4)내의 팔레트(5)를 핑거(15)에 의해 홀딩한 다음 로딩 포지션으로 인출하여야 담겨진 모듈 IC(1)를 로딩하거나 테스트 완료된 모듈 IC를 고객 트레이내에 언로딩할 수 있게 되므로 팔레트의 인출에 따른 장비의 전체 넓이가 넓어지게 되므로 결국 장비의 설치면적이 커지게 된다.
셋째, 각 팔레트(5)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(6)내의 모듈 IC를 전부 로딩하거나, 또는 고객 트레이(7)내에 테스트 완료된 모듈 IC를 전부 언로딩하고 나면 작업자가 엘리베이터(4)를 하사점까지 하강시킨 다음 이들을 팔레트로부터 꺼낸 후, 각 팔레트(5)에 새로운 테스트 트레이 또는 고객 트레이를 일일이 넣어 주어야 되었으므로 엘리베이터의 복원에 따른 대기시간이 필요하게 되고, 이에 따라 고가 장비의 가동률이 저하되었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 팔레트의 이송방법을 개선하여 설치판의 상측으로 팔레트가 상승되지 않도록 하면서도 모듈 IC의 로딩 및 언로딩작업이 가능해지도록 함과 동시에 테스트 트레이 또는 고객 트레이가 얹혀지는 팔레트의 이송이 연속적으로 이루어질 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 테스트 트레이 및 고객 트레이의 로딩 및 언로딩에 따른 대기시간을 최소화할 수 있도록 하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 트랜스퍼가 로딩 또는 언로딩 포지션에 위치된 팔레트의 직상부로 이송함과 동시에 하사점에 위치되어 있던 다우너를 상사점까지 상승시키는 단계와, 상기 팔레트의 직상부에 위치된 트랜스퍼의 홀딩수단을 하강시켜 팔레트를 홀딩한 다음 상사점까지 상승하는 단계와, 트랜스퍼가 로테이션 포지션으로 이송한 다음 홀딩수단을 하강시켜 홀딩하고 있던 팔레트를 다우너의 상면에 안착하고 홀딩수단을 초기상태로 환원하는 단계와, 로딩 또는 언로딩 포지션에 위치되어 팔레트를 록킹하는 록킹수단의 록킹을 해제한 다음로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판에 얹혀진 복수개의 팔레트를 동시에 상승시킬 때 팔레트의 추락을 방지하는 스토퍼를 오픈시키고 최상측에 위치된 팔레트를 로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출시키는 단계와, 상기 로딩 또는 언로딩 포지션의 록킹수단이 로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출된 최상측의 팔레트를 록킹하는 단계와, 오픈되었던 스토퍼를 초기상태로 환원시키고 엘리베이터판을 하사점까지 하강하여 최하단에 위치된 팔레트가 스토퍼에 걸려 하강이 제어되도록 하는 단계와, 다우너가 하사점까지 하강하여 다우너에 얹혀진 팔레트가 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판의 상면과 일치되도록 하는 단계와, 상기 다우너에 얹혀진 팔레트를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판의 상면으로 이송시키는 단계가 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 방법이 제공된다.
본 발명의 다른 형태에 따르면, 평행하게 설치된 측판사이에 엘리베이터판이 승강가능하게 각각 설치된 로딩측 및 언로딩측 엘리베이터부와, 상기 각 엘리베이터판을 승강시키는 엘리베이터 구동기구와, 상기 각 엘리베이터판에 차례로 적층되어 그 상면에 테스트 트레이 또는 고객 트레이가 안착되는 복수개의 팔레트와, 상기 각 측판에 대향되게 설치되어 최하측에 위치하는 팔레트의 하강을 제어하는 스토퍼 수단과, 상기 측판의 상측에 위치하는 로딩 및 언로딩 포지션에 각각 설치되어 로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출되는 최상측의 팔레트를 록킹하는 록킹수단과, 상기 로딩측 및 언로딩측 엘리베이터부사이에 구비되어 팔레트를 하강시키는 로테이션 포지션과, 상기 로딩 또는 언로딩 포지션에 위치되어 있던 팔레트를 홀딩하여 로테이션 포지션으로 이송시키는 트랜스퍼와, 상기 로테이션 포지션에 승강가능하게 설치되어 트랜스퍼에 의해 이송된 팔레트를 하사점까지 이송시키는 다우너와, 상기 다우너를 승강시키는 다우너 구동기구와, 상기 로테이션 포지션의 하사점에 설치되어 다우너에 의해 하강된 팔레트를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터부로 이송시키는 분배수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치가 제공된다.
도 1은 일반적인 모듈 아이씨를 나타낸 사시도
도 2는 종래의 장치를 나타낸 정면도
도 3은 도 2의 일부를 생략하여 나타낸 측면도
도 4는 도 2의 평면도
도 5는 본 발명이 적용된 모듈 아이씨 핸들러의 사시도
도 6은 도 5에서 엘리베이터부의 종단면도
도 7은 도 6의 A - A선 단면도
도 8a 및 도 8b는 최상측에 위치된 팔레트를 핑거가 홀딩하는 상태를 설명하기 위한 종단면도로서,
도 8a는 한쌍의 핑거가 양측으로 벌어진 상태도
도 8b는 실린더의 구동으로 한쌍의 핑거가 내측으로 이동하여 팔레트를 홀딩한 상태도
도 9a 내지 도 9h는 팔레트의 순환경로를 설명하기 위한 개략도로서,
도 9a는 로딩 및 언로딩 포지션에 팔레트가 각각 위치된 초기 상태도
도 9b는 로딩 포지션에 위치되어 있던 팔레트를 홀딩하기 위해 트랜스퍼가 로딩 포지션의 직상부로 이송된 상태도
도 9c는 트랜스퍼의 핑거가 하사점까지 하강 완료된 상태도
도 9d는 다우너가 상사점까지 상승하고 팔레트를 홀딩한 트랜스퍼는 다우너의 직상부로 이송된 상태도
도 9e는 로딩 포지션의 핑거가 양측으로 벌어지고 엘리베이터판에 의해 복수개의 팔레트가 상사점까지 상승한 상태도
도 9f는 한쌍의 핑거가 내측으로 이동하여 최상측에 위치된 팔레트를 홀딩하고 엘리베이터판은 하사점까지 하강된 상태도
도 9g는 다우너에 의해 빈 팔레트가 레일의 상면에 얹혀진 상태도
도 9h는 레일에 얹혀진 빈 팔레트를 로딩측 엘리베이터판 직상부로 이송시키는 상태도
도 10은 분배수단을 나타낸 요부 사시도
도 11은 다우너와 팔레트를 분리하여 나타낸 사시도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
18a : 로딩측 엘리베이터부 18b : 언로딩측 엘리베이터부
19 : 로딩 포지션 26 : 언로딩 포지션
30 : 로테이션 포지션 31 : 트랜스퍼
32 : 다우너 33, 35 : 핑거
36 : 엘리베이터판 37 : 스토퍼
38 : 슬라이더 52 : 승강판
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 5 내지 도 11을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명이 적용된 모듈 아이씨 핸들러의 사시도로서, 모듈 아이씨 핸들러의 구성을 간략하게 설명하면 한다.
모듈 아이씨 핸들러는 테스트 트레이(6)에 담겨진 모듈 IC(1)를 캐리어(17)내에 로딩함에 따라 상기 트레이가 얹혀진 팔레트(5)를 순차적으로 1스탭씩 상승시키거나, 테스트 완료된 모듈 IC가 고객 트레이(7)내에 분류되어 언로딩됨에 따라 팔레트를 1스탭씩 하강시키는 엘리베이터부(18)와, 상기 테스트 트레이내의 모듈 IC(1)를 순차적으로 홀딩하여 로딩 포지션(19)에 위치된 캐리어(17)에 모듈 IC를 로딩하는 로딩측 픽업수단(16)과, 테스트할 모듈 IC가 캐리어(17)에 로딩 완료되면 이를 로딩측 로테이터(20)측으로 수평 이송시키는 제 1 이송수단(21)과, 상기 제 1 이송수단에 의해 캐리어가 이송됨에 따라 캐리어를 90°회동시키는 로딩측 로테이터(20)와, 상기 로딩측 로테이터의 직하방에 위치되어 로딩측 로테이터에 의해 캐리어가 순차적으로 이송됨에 따라 캐리어에 로딩된 모듈 IC를 테스트에 적합한 온도로 히팅하는 히팅챔버(23)와, 상기 히팅챔버내의 캐리어를 순차적으로 1스탭씩 이송시키는 이송수단(도시는 생략함)과, 상기 히팅챔버의 일측에 위치되어 테스트 조건에 알맞게 히팅된 모듈 IC가 이송되어 오면 이를 테스트 소켓측으로 밀어 설정된 시간동안 테스트를 실시하는 테스트 싸이트(24)와, 상기 테스트 싸이트의 일측에 설치되어 모듈 IC의 테스트가 완료된 상태에서 캐리어(17)가 이송됨에 따라 상기 캐리어가 수평상태를 유지하도록 90°회동시키는 언로딩측 로테이터(25)와, 상기 언로딩측 로테이터내의 캐리어를 언로딩 포지션(26)으로 수평 이송시키는 제 2 이송수단(27)과, 상기 제 2 이송수단에 의해 이송된 캐리어로부터 모듈 IC를 홀딩한 다음 테스트 결과에 따라 분류하여 고객 트레이(7)내에 언로딩하는 언로딩측 픽업수단(28)과, 상기 캐리어내의 모듈 IC가 전부 언로딩되고 나면 빈 캐리어를 로딩 포지션(19)으로 수평 이송시키는 제 3 이송수단(29)으로 구성되어 있다.
상기한 바와 같이 구성된 모듈 IC 핸들러는 로딩측 및 언로딩측에 위치되어 테스트 트레이(6) 또는 고객 트레이(7)가 얹혀지는 팔레트(5)를 순차적으로 상승시킴과 동시에 순환시키면서 연속적인 작업이 이루어질 수 있도록 하는 엘리베이터부(18)를 구비하여야 한다.
본 발명의 특징은 로딩측 엘리베이터부(18a) 및 언로딩측 엘리베이터부(18b)에 복수개의 팔레트(5)를 적층하여 로딩 또는 언로딩 포지션(19)(26)에 위치되어 있던 최상측의 팔레트로부터 모듈 IC가 전부 로딩되거나, 테스트 완료된 모듈 IC가 언로딩됨에 따라 팔레트를 각 엘리베이터부의 하측으로 순환시킬 수 있도록 하는데있다.
도 9a 내지 도 9h는 팔레트의 순환경로를 설명하기 위한 개략도로서, 팔레트(5)의 순환경로를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 9a와 같이 테스트할 모듈 IC(1)가 채워진 테스트 트레이(6)가 얹혀진 팔레트(5)는 로딩 포지션(19)에 위치되어 있고, 테스트 완료된 모듈 IC가 담겨지는 고객 트레이(7)가 얹혀지는 팔레트(5)는 언로딩 포지션(26)에 위치된 상태에서부터 장비가 가동되기 시작한다.
이러한 상태에서 도 5에 나타낸 로딩측 픽업수단(16)이 로딩 포지션(19)에 위치된 테스트 트레이(6)로부터 모듈 IC(1)를 홀딩한 다음 캐리어(17)내에 순차적으로 로딩하여 테스트 트레이에 홀딩할 모듈 IC가 없으면 로딩 포지션에 위치되어 있던 팔레트(5)를 로테이션 포지션(30)으로 이송시킴과 동시에 로딩측 엘리베이터부(18a)의 최상측에 위치된 팔레트를 로딩 포지션(19)으로 노출시켜야 된다.
이를 위해, 로테이션 포지션(30)에 위치되어 있던 트랜스퍼(31)를 도 9b와 같이 로딩 포지션(19)에 위치된 팔레트(5)의 직상부로 이송시킴과 동시에 로테이션 포지션의 하사점에 위치되어 있던 다우너(32)를 상사점까지 상승시킨다.
상기 트랜스퍼 및 다우너의 이송은 별도의 이송수단에 의해 이루어지게 되는데, 그에 따른 구성은 후술한다.
이와 같이 트랜스퍼(31)가 로딩 포지션(19)으로 이송된 상태에서는 홀딩수단인 핑거(33)가 양측으로 벌어진 상태이다.
이러한 상태에서 도 9c와 같이 핑거(33)가 하사점까지 하강하여 팔레트(5)의저면에 위치되고 나면 핑거 실린더(34)의 구동으로 벌어져 있던 한 쌍의 핑거(33)가 상호 내측으로 오므러 들게 되므로 로딩 포지션(19)에 위치되어 있던 팔레트(5)가 트랜스퍼(31)에 홀딩 완료된다.
상기한 동작으로 트랜스퍼(31)가 팔레트(5)를 홀딩하고 나면 상기 팔레트를 핑거(33)의 상사점까지 상승시킴과 동시에 트랜스퍼(31)가 도 9d와 같이 로테이션 포지션(30)의 상사점에 위치된 다우너(32)의 직상부로 이송된다.
이와 같이 로딩 포지션(19)에 위치되어 있던 팔레트(5)를 로테이션 포지션(30)으로 이송시키고 나면 도 8a와 같이 로딩 포지션(19)에 위치된 록킹수단의 핑거(35)를 양측으로 벌림과 동시에 로딩측 엘리베이터부(18a)의 엘리베이터판(36)을 도 9e와 같이 상사점까지 상승시킨다.
이에 따라, 로딩측 엘리베이터부(18a)에 위치되어 있던 복수개의 팔레트(5)가 동시에 상부로 이동되므로 최상측에 위치된 팔레트(5)가 로딩 포지션(19)으로 노출된다.
상기한 바와 같이 엘리베이터판(36)의 상승으로 스토퍼(37)에 의해 걸려 있던 최하측의 팔레트(5)가 스토퍼로부터 벗어나는 시점에서 스토퍼(37)를 오픈(open)시킨다.
이와 같이 로딩 포지션(19)으로 최상측에 위치된 팔레트(5)가 노출되면 양측으로 벌어져 있던 한쌍의 핑거(35)가 도 8b와 같이 동시에 내측으로 오므러 들어 최상측에 위치된 팔레트(5)를 록킹하게 된다.
이러한 상태에서 상사점에 위치되었던 엘리베이터판(36)이 초기상태인 도 9f와 같이 하사점까지 하강하게 되는데, 상기한 동작전에 측판에 대향되게 설치되어 상호 오픈되었던 스토퍼(37)가 크로스(cross)되어 엘리베이터판(36)의 하강시 최하측에 위치된 팔레트(5)의 하강을 제어하게 되므로 팔레트의 하강은 중단되고 엘리베이터판(36)만이 하사점까지 하강하게 된다.
상기 엘리베이터판(36)의 상승으로 로딩 포지션(19)으로 노출된 팔레트(5)내의 테스트 트레이(6)에는 테스트할 모듈 IC(1)가 담겨져 있으므로 이 후, 로딩측 픽업수단(16)이 모듈 IC를 캐리어(17)내에 로딩할 수 있게 된다.
한편, 도 9d와 같이 상사점에 위치된 다우너(32)의 직상부로 트랜스퍼(31)가 이송된 상태에서 홀딩수단이 하사점까지 하강하여 핑거(33)의 홀딩상태를 해제하면 팔레트(5)가 다우너(32)의 상면에 얹혀지게 되고, 이에 따라 상기 다우너(32)는 구동수단에 의해 도 9g와 같이 하사점까지 하강하게 된다.
이 때, 핑거(33)는 상사점까지 상승하여 초기상태를 유지하게 된다.
상기한 바와 같이 트랜스퍼(31)에 의해 이송된 팔레트(5)를 다우너(32)가 하사점까지 이송시키고 나면 상기 팔레트(5)는 가이드레일(39)의 상면에 얹혀지게 된다.
상기 가이드레일(39)에 얹혀진 팔레트(5)를 로딩측 엘리베이터부(18a)의 엘리베이터판(36)으로 이송시키고자 할 경우에는 슬라이더(38)에 고정된 푸셔(61)가 가이드레일(39)의 우측에 위치하고 있어야 된다.
이는, 다우너(32)의 하강전에 콘트롤부에서 하강하는 팔레트(5)가 로딩측인지, 언로딩측인지를 감지하여 슬라이더(38)의 위치를 결정하게 되므로 가능하게 된다.
이에 따라, 슬라이더(38)가 도면상 좌측으로 이동하면 가이드레일(39)에 얹혀져 있던 팔레트(5)가 도면상 좌측으로 이동하게 되므로 도 9h와 같이 로딩측 엘리베이터판(36)의 상면에 얹혀지게 된다.
이렇게 로딩측 엘리베이터판(36)에 얹혀진 팔레트(5)는 최상측에 위치된 팔레트(5)를 로딩 포지션(19)으로 노출시키기 위해 엘리베이터판(36)이 상승시 최하측에 위치된 팔레트(5)와 밀착된 상태로 함께 상승하게 된다.
본 발명의 일 실시예에서는 트랜스퍼(31)가 로딩 포지션(19)으로 이송하여 팔레트(5)를 홀딩한 다음 이를 다우너(32)의 상면에 얹어 로딩측 엘리베이터판(36)의 상면으로 순환하는 일 예를 설명하였으나, 언로딩측도 동일하게 이루어지게 되므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기한 바와 같은 방법으로 팔레트(5)를 순환시킬 때, 트랜스퍼(31)의 홀딩수단을 하강시켜 홀딩하고 있던 팔레트(5)를 다우너(32)에 안착하는 단계 및 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판(36)을 상승시키는 동작을 동시에 수행할 수도 있다.
또한, 다우너(32) 및 엘리베이터판(36)을 하사점까지 하강시키는 동작을 동시에 수행할 수도 있다.
만약, 이와 같은 동작들을 동시에 수행할 경우에는 팔레트(5)의 교체에 따른 소요시간을 훨씬 단축시킬 수 있게 된다.
본 발명을 실현하기 위해 일 실시예로 도시한 장치를 구체적으로 설명하면다음과 같다.
도 6은 도 5에서 엘리베이터부의 종단면도이고 도 7은 도 6의 A - A선 단면도이며 도 8a 및 도 8b는 최상측에 위치된 팔레트를 핑거가 홀딩하는 상태를 설명하기 위한 종단면도로서, 본 발명은 로딩측 및 언로딩측 엘리베이터부(18a)(18b)를 구성하는 한 쌍의 측판(40)사이에 엘리베이터판(36)이 승강가능하게 각각 설치되어 있는데, 상기 각 엘리베이터판(36)은 엘리베이터 구동기구에 의해 설정된 범위내에서 승강운동하면서 최상측에 위치된 팔레트(5)를 로딩 포지션(19) 또는 언로딩 포지션(26)으로 노출시키게 된다.
각 엘리베이터부(18a)(18b)에 설치된 엘리베이터판(36)을 승강시키는 엘리베이터 구동기구는 도 6에 나타낸 바와 같이 엘리베이터판(36)의 저면에 고정되어 각 엘리베이터부의 하부로 노출된 리드스크류(41)와, 상기 리드스크류에 나사 결합된 종동풀리(42)와, 상기 종동풀리에 회전력을 발생시키는 모터(43)와, 상기 모터의 구동력을 구동풀리(44)를 통해 종동풀리로 전달하는 타이밍벨트(45)로 구성되어 있다.
상기 엘리베이터판(36)의 상측으로는 상면에 테스트 트레이(6) 또는 고객 트레이(7)가 안착되는 복수개의 팔레트(5)가 위치되어 있고 각 측판(40)에는 대향되게 스토퍼 수단이 설치되어 있어 엘리베이터판(36)이 하사점까지 하강하더라도 최하단에 위치된 팔레트(5)가 스토퍼 수단에 걸리게 되므로 팔레트(5)의 하강이 제어된다.
이에 따라, 스토퍼 수단에 걸린 팔레트(5)와 엘리베이터판(36)사이에는 1개의 팔레트가 수용될 수 있는 공간이 확보된다.
이는, 엘리베이터판(36)의 상승전에 다우너(32)에 의해 하강된 팔레트를 엘리베이터판의 상측으로 이송시킬 수 있도록 하기 위함이다.
상기 스토퍼수단은 각 측판(40)에 대향되게 설치되어 수평 운동하면서 최하측에 위치된 팔레트(5)의 저면에 걸리거나, 걸림상태를 해제하는 스토퍼(37)와, 상기 측판에 설치되어 스토퍼에 수평운동력을 전달하는 실린더(46)로 구성되어 있다.
각 엘리베이터판(36)의 상측에 위치하는 팔레트(5)의 양측 및 엘리베이터판(36)의 양측면의 동일 지점에는 측판(40)에 진퇴가능하게 설치된 스토퍼(37)를 통과하는 절결홈(5b)(36a)이 각각 형성되어 있다.
이는, 엘리베이터판(36)의 상승시 상기 엘리베이터판 및 상면에 얹혀진 팔레트가 오픈된 스토퍼(37)에 의해 간섭을 받지 않도록 함과 동시에 엘리베이터판의 하강시에는 엘리베이터판(36)만이 스토퍼(37)를 통과하고 최하측에 위치된 팔레트(5)는 스토퍼(37)에 걸려 팔레트의 하강이 제어되도록 하기 위함이다.
또한, 각 팔레트(5)는 도 11에 나타낸 바와 같이 저면에 요입홈(5c)이 형성되어 있고, 상기 팔레트의 상면에는 요입홈과 대응되는 돌출편(5d)이 형성되어 있다.
이는, 복수개의 팔레트(5)가 적층될 때, 이들의 위치가 상,하로 정확히 일치되도록 함과 동시에 상,하이동시 적층된 팔레트(5)가 좌우로 유동되지 않도록 하기 위함이다.
또, 다우너(32)의 상면 네모서리에는 상면에 얹혀지는 팔레트(5)의 위치를재결정하는 위치 결정블럭(47)이 고정되어 있다.
그리고 측판(40)의 상측에 위치하는 로딩 및 언로딩 포지션(19)(26)에는 로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출되는 최상측의 팔레트를 록킹하는 록킹수단이 각각 설치되어 있고 상기 로딩측 및 언로딩측 엘리베이터부(18a)(18b)사이에는 로딩 및 언로딩 포지션(19)(26)에 위치되어 있던 팔레트를 로딩측 및 언로딩측 엘리베이터판(36)의 상측으로 이송시키기 위한 로테이션 포지션(30)이 구비되어 있다.
상기 로딩 또는 언로딩 포지션(19)(26)으로 노출된 팔레트(5)를 록킹하는 록킹수단은 도 8a에 나타낸 바와 같이 로딩 또는 언로딩 포지션에 대응되게 설치되어 수평 이동하면서 팔레트의 바닥면을 록킹하는 한 쌍의 핑거(35)와, 상기 핑거의 일단에 로드가 힌지 결합되어 한 쌍의 핑거를 동시에 오므리거나, 벌리는 실린더(48)로 구성되어 있다.
상기 한 쌍의 핑거(35)는 팔레트(5)를 홀딩시 실린더(48)의 구동으로 상호 내측으로 이동하여 팔레트(5)의 바닥면을 지지하고, 엘리베이터판(36)의 상승시에는 양측으로 벌어져 간섭을 방지하게 된다.
상기 로딩 또는 언로딩 포지션(19)(26)에 위치되어 있던 팔레트를 홀딩하여 로테이션 포지션(30)으로 이송시키는 트랜스퍼(31)는 로딩 또는 언로딩 포지션(19)(26)에 평행하게 설치된 가이드레일(도시는 생략함)을 따라 이송되는 이송블럭(50)과, 상기 이송블럭에 설치된 실린더(51)의 구동에 따라 승강하는 승강판(52)과, 상기 이송블럭에 끼워지게 승강판에 고정되어 승강판의 상하동작을 가이드하는 가이드봉(53)과, 상기 승강판의 양측에 설치된 핑거 실린더(34)의 구동에 따라 각각 내측으로 오므러들거나, 벌려지는 핑거(33)로 구성되어 있다.
상기 핑거(33)는 팔레트(5)의 측면에 형성된 공간부(5e)를 통해 지지간(5f)의 저면을 홀딩하게 된다.
또한, 상기 로테이션 포지션(30)에는 도 7에 나타낸 바와 같이 트랜스퍼(31)에 의해 이송된 팔레트(5)를 하사점까지 이송시키는 다우너(32)가 외팔보형태로 가이드레일(54)에 끼워져 승강가능하도록 되어 있는데, 상기 다우너는 다우너 구동기구에 의해 설정된 범위내에서 승강운동하게 된다.
상기 다우너 구동기구는 동력을 발생시키는 모터(55)와, 상기 모터의 구동풀리(56)와 종동풀리(57)사이에 감겨진 타이밍벨트(58)와, 상기 다우너에 고정되어 상기 타이밍벨트(58)에 고정된 고정블럭(59)으로 구성되어 있다.
상기 로테이션 포지션(30)의 하사점에 설치되어 하사점에 위치된 다우너(32)로부터 팔레트(5)를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터부(18a)(18b)로 이송시키는 분배수단은 도 10에 나타낸 바와 같이 하사점에 위치된 엘리베이터판(36)의 상면과 일치되게 설치된 가이드레일(39)과, 상기 가이드레일의 외측에 고정된 또 다른 가이드레일(60)을 따라 이동하는 슬라이더(38)와, 상기 슬라이더의 일측면에 고정되어 가이드레일에 얹혀진 팔레트(5)를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터부(18a)(18b)로 밀어주는 푸셔(61)와, 상기 슬라이더를 구동시키는 슬라이더 구동기구로 구성되어 있다.
상기 슬라이더 구동기구는 도 7에 나타낸 바와 같이 동력을 발생시키는 모터(62)와, 상기 모터의 구동에 따라 회전하는 구동풀리(63)와, 상기 구동풀리와종동풀리(64)사이에 감겨져 구동풀리의 동력을 종동풀리로 전달하며, 소정의 위치에는 슬라이더(38)가 고정된 타이밍벨트(65)로 구성되어 있다.
상기 다우너(32)에 의해 하강된 팔레트(5)가 얹혀지는 가이드레일(39)의 상면에는 베어링(66)이 상향 돌출되게 설치되어 있어 팔레트(5)의 바닥면이 베어링에 접속된 상태로 수평 이동하게 되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 일 실시예에 따라 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 로딩 및 언로딩 포지션(19)(26)에 팔레트(5)가 얹혀진 상태에서 장비가 가동하여 로딩측 픽업수단(16)이 테스트 트레이(6)내의 모듈 IC(1)를 픽업하여 캐리어(17)내에 로딩하고 나면 테스트할 모듈 IC가 로딩된 캐리어는 이송수단에 의해 히팅챔버(23)측으로 순차 이송된다.
반복되는 상기한 동작에 따라 테스트 트레이내에 홀딩할 모듈 IC가 없으면 빈 팔레트(5)를 로테이션 포지션(30)으로 이송시키기 위한 트랜스퍼(31)의 이송블럭(50)이 가이드레일을 따라 도 9b와 같이 도면상 좌측으로 이송되는데, 상기한 동작시 트랜스퍼의 승강판(52)은 상사점에 위치되어 있고, 핑거(33)는 양측으로 상호 벌어진 상태이다.
이 때, 하사점에 위치되어 있던 다우너(32)는 모터(55)의 구동에 의해 가이드레일(54)을 따라 상사점까지 상승하여 빈 팔레트가 이송될 때 까지 대기하게 된다.
이러한 상태에서 실린더(51)의 구동으로 승강판(52)이 도 9c와 같이 하사점까지 하강하여 상기 핑거(33)가 팔레트(5)의 저면에 위치하면 핑거 실린더(34)가 구동하게 되므로 양측으로 벌어져 있던 핑거(33)가 동시에 내측으로 이동하여 빈 팔레트의 저면을 홀딩하게 된다.
이와 같이 핑거(33)가 로딩 포지션(19)에 위치되어 있던 빈 팔레트(5)를 홀딩하고 나면 실린더(51)가 재구동하여 승강판(52)을 상사점까지 상승시킴과 동시에 이송블럭(50)을 도면상 우측인 로테이션 포지션(30)에 위치된 다우너(32)의 직상부로 도 9d와 같이 이송시키게 된다.
상기한 바와 같이 트랜스퍼(31)가 로딩 포지션(19)에 있던 빈 팔레트(5)를 로테이션 포지션(30)으로 이송시키고 나면 로딩측 엘리베이터부(18a)에 있던 팔레트(5)를 상승시키기 위해 로딩 포지션(19)에서 팔레트(5)를 록킹하고 있던 록킹수단을 해제시켜야 된다.
이를 위해, 로딩 포지션(19)에 상호 대향되게 설치된 실린더(48)가 구동하면 한 쌍의 핑거(35)가 도 8a와 같이 동시에 외측으로 벌어져 팔레트(5)의 상승시 간섭이 발생되지 않도록 팔레트의 외측에 위치하게 된다.
상기한 동작시 다우너(32)의 상측에 위치된 트랜스퍼(31)에 홀딩되어 있던 빈 팔레트(5)는 실린더(51)의 구동으로 승강판(52)이 하사점까지 하강함과 동시에 핑거 실린더(34)의 구동으로 한 쌍의 핑거(33)가 상호 양측으로 벌어져 홀딩상태를 해제하게 되므로 다우너(32)의 상면에 얹혀지게 된다.
그 후, 승강판(52)은 실린더(51)의 재구동으로 상사점까지 상승하게 된다.
이와 같이 다우너(32)의 상면에 얹혀지는 빈 팔레트(5)는 다우너의 네 모서리에 위치 결정블럭(47)이 고정되어 있으므로 위치가 재결정된다.
이와 동시에 로딩측 엘리베이터부(18a)의 구동기구인 모터(43)가 구동하여 리드스크류(41)와 나사끼우기로 결합된 종동풀리(42)를 회전시키면 종동풀리(42)의 회전운동이 직선 왕복운동으로 절환되어 로딩측 엘리베이터판(36)에 전달되므로 상기 로딩측 엘리베이터판이 상승하여 복수개의 팔레트(5)를 도 9e와 같이 동시에 상사점까지 상승시키게 된다.
상기 모터(43)의 구동은 로딩 포지션(19)에 설치된 한 쌍의 센서(도시는 생략함)가 로딩 포지션(19)으로 노출되는 최상측의 팔레트(5)를 감지하므로써 제어가 가능하게 된다.
상기한 동작으로 로딩측 엘리베이터부(18a)에 있던 복수개의 팔레트(5)가 동시에 상사점까지 상승하고 나면 양측으로 벌어져 있던 핑거(35)가 실린더(48)의 재구동으로 상호 내측으로 오므러들게 되므로 핑거(35)가 팔레트(5)의 저면을 록킹하게 된다.
즉, 적층된 복수개의 팔레트(5)로부터 최상측에 위치된 1개의 팔레트를 분리하게 된다.
그 후, 상사점에 위치되어 있던 로딩측 엘리베이터판(36)이 모터(43)의 재구동으로 도 9f와 같이 하사점까지 하강하게 되는데, 상기한 동작전에 실린더(46)의 구동으로 오픈(전진)되었던 스토퍼(37)가 크로스(후퇴)되므로 로딩측 엘리베이터판(36)이 하강시 최하측에 위치된 팔레트(5)가 스토퍼(37)에 의해 하강이 제어된 상태에서 로딩측 엘리베이터판(36)만이 하사점까지 하강하게 된다.
이 때, 상기 로딩측 엘리베이터판(36)에는 스토퍼(37)를 통과할 수 있도록 절결홈(36a)이 형성되어 있으므로 크로스된 스토퍼(37)와 간섭을 일으키지 않게 된다.
상기한 바와 같이 로딩측 엘리베이터판(36)이 하사점까지 하강하는 동작시 로테이션 포지션(30)의 상사점에 위치되어 있던 다우너(32)도 모터(55)의 재구동으로 하사점까지 하강하는데, 상기 다우너의 하사점에는 다우너에 얹혀져 하강하는 팔레트(5)가 얹혀지는 가이드레일(39)이 형성되어 있으므로 빈 팔레트(5)가 다우너(32)로부터 분리되어 가이드레일(39)에 얹혀지고 다우너만이 하사점까지 하강하게 된다.
이 때, 가이드레일(39)에 얹혀진 팔레트(5)를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판(36)측으로 수평 이송시키기 위해 이동하는 슬라이더(38)는 팔레트(5)가 로딩 포지션(19)으로부터 이송되었는지, 언로딩 포지션(26)으로부터 이송되었는지에 따라 콘트롤부(도시는 생략함)가 이를 제어하게 되므로 다우너(32)의 하강전에 슬라이더 구동기구에 의해 상기 슬라이더는 상기 다우너의 좌측 또는 우측에 위치된다.
전술한 바와 같이 로딩 포지션(19)에 있던 팔레트(5)를 다우너(32)가 하강시킬 경우에는 슬라이더(38)가 도면상 우측에 위치하고 있다.
상기 팔레트(5)가 도 9g와 같이 가이드레일(39)상에 얹혀지고 나면 도면상 우측에 위치되어 있던 슬라이더(38)가 도 9h와 같이 모터(62)의 구동에 의해 도면상 좌측으로 이동하게 되므로 가이드레일에 얹혀져 있던 팔레트는 로딩측 엘리베이터판(36)의 상면에 얹혀지게 된다.
상기한 동작시 가이드레일(39)의 상면으로 노출된 베어링(66)이 빈 팔레트(5)의 저면과 접속되어 있으므로 슬라이더(38)의 이송에 따라 푸셔(61)가 팔레트를 로딩측 엘리베이터판(36)으로 밀어줄 때 상기 팔레트(5)가 더욱 원활하게 이송된다.
이와 같이 가이드레일(39)에 얹혀져 있던 팔레트(5)를 로딩측 엘리베이터판(36)의 상측으로 이송시키고 난 슬라이더(38)는 다우너(32)에 의해 하강하는 팔레트(5)가 로딩 포지션(19)으로부터 이송되는지, 언로딩 포지션(26)으로부터 이송되는지를 콘트롤부에 의해 전달받아 현 위치에서 대기하거나, 또는 도면상 우측으로 이동하여 대기하게 된다.
지금까지 본 발명의 일 실시예로 설명한 것은, 로딩 포지션(19)에 위치되어 있던 팔레트(5)를 트랜스퍼(31)가 홀딩하여 로테이션 포지션(30)으로 이송시킴과 동시에 로딩측 엘리베이터부(18a)에 있던 팔레트(5)를 로딩 포지션으로 노출시키고, 로테이션 포지션(30)에 있던 팔레트(5)를 로딩측 엘리베이터판(36)의 상면으로 이송시키는 과정을 설명하였으나, 언로딩 포지션(26)에서 테스트 완료된 모듈 IC(1)가 담겨진 팔레트(5)를 로테이션 포지션을 통해 언로딩측 엘리베이터판의 상면으로 순환시키는 과정도 동일하게 이루어지게 됨은 이해 가능한 것이다.
이상에서와 같이 본 발명은 종래의 모듈 IC 핸들러에 비하여 다음과 같은 장점을 갖는다.
첫째, 로딩 또는 언로딩 포지션(19)(26)에 위치되어 있던 팔레트(5)를 로테이션 포지션(30)을 통해 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판(36)의 상측으로 순환시키게 되므로 장비의 높이를 최대한 줄일 수 있게 된다.
둘째, 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터부(18a)(18b)의 최상측에 위치된 팔레트(5)를 상사점까지 상승시키기만 하면 팔레트가 로딩 또는 언로딩 포지션(19)(26)으로 노출되므로 장비의 전체 넓이를 최소화하게 된다.
셋째, 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터부(18a)(18b)에 적층된 팔레트(5)가 로테이션 포지션(30)을 통해 연속적으로 순환되므로 각 엘리베이터판(36)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(6)내의 모듈 IC를 전부 로딩하거나, 또는 고객트레이(7)내에 테스트 완료된 모듈 IC가 채워지더라도 각 엘리베이터부(18a)(18b)에 있던 팔레트(5)만을 교체하면 장비의 재가동이 가능해지게 되므로 고가 장비의 가동률을 극대화시키게 된다.

Claims (15)

  1. 트랜스퍼가 로딩 또는 언로딩 포지션에 위치된 팔레트의 직상부로 이송함과 동시에 하사점에 위치되어 있던 다우너를 상사점까지 상승시키는 단계와, 상기 팔레트의 직상부에 위치된 트랜스퍼의 홀딩수단을 하강시켜 팔레트를 홀딩한 다음 상사점까지 상승하는 단계와, 트랜스퍼가 로테이션 포지션으로 이송한 다음 홀딩수단을 하강시켜 홀딩하고 있던 팔레트를 다우너의 상면에 안착하고 홀딩수단을 초기상태로 환원하는 단계와, 로딩 또는 언로딩 포지션에 위치되어 팔레트를 록킹하는 록킹수단의 록킹을 해제한 다음 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판에 얹혀진 복수개의 팔레트를 동시에 상승시킬 때 팔레트의 추락을 방지하는 스토퍼를 오픈시키고 최상측에 위치된 팔레트를 로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출시키는 단계와, 상기 로딩 또는 언로딩 포지션의 록킹수단이 로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출된 최상측의 팔레트를 록킹하는 단계와, 오픈되었던 스토퍼를 초기상태로 환원시키고 엘리베이터판을 하사점까지 하강하여 최하단에 위치된 팔레트가 스토퍼에 걸려 하강이 제어되도록 하는 단계와, 다우너가 하사점까지 하강하여 다우너에 얹혀진 팔레트가 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판의 상면과 일치되도록 하는 단계와, 상기 다우너에 얹혀진 팔레트를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판의 상면으로 이송시키는 단계가 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    트랜스퍼의 홀딩수단을 하강시켜 홀딩하고 있던 팔레트를 다우너에 안착하는 단계 및 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터판을 상승시키는 동작이 동시에 수행됨을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    다우너 및 엘리베이터판을 하사점까지 하강시키는 동작이 동시에 수행됨을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 방법.
  4. 평행하게 설치된 측판사이에 엘리베이터판(36)이 승강가능하게 각각 설치된 로딩측 및 언로딩측 엘리베이터부(18a)(18b)와, 상기 각 엘리베이터판을 승강시키는 엘리베이터 구동기구와, 상기 각 엘리베이터판에 차례로 적층되어 그 상면에 테스트 트레이 또는 고객 트레이가 안착되는 복수개의 팔레트(5)와, 상기 각 측판에 대향되게 설치되어 팔레트의 하강을 제어하는 스토퍼 수단과, 상기 측판의 상측에 위치하는 로딩 및 언로딩 포지션에 각각 설치되어 로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출되는 최상측의 팔레트를 록킹하는 록킹수단과, 상기 로딩측 및 언로딩측 엘리베이터부 사이에 구비되어 팔레트의 하강통로가 되는 로테이션 포지션(30)과, 상기 로딩 또는 언로딩 포지션에 있는 팔레트를 홀딩하는 한쌍의 핑거(33)와 이 핑거를 이동시키는 이송블럭(50) 및 승강판(51)으로 구성되어 팔레트를 홀딩한 상태로 로테이션 포지션까지 이송시키는 트랜스퍼(31)와, 상기 로테이션 포지션에 수직상으로 설치된 가이드 레일에 이동가능하게 결합되어 구동기구에 의해 이동하면서 로테이션 포지션으로 이송되어 온 팔레트를 하강시키는 다우너(32)와, 상기 다우너를 승강시키는 다우너 구동기구와, 상기 로테이션 포지션의 하사점에 설치되어 다우너에 의해 하강된 팔레트를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터부로 이송시키는 분배수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    각 엘리베이터부에 설치된 엘리베이터 구동기구는 엘리베이터판의 저면에 고정되어 각 엘리베이터판의 하부로 노출된 리드스크류(41)와, 상기 리드스크류에 나사 결합된 종동풀리(42)와, 상기 종동풀리에 회전력을 발생시키는 모터(43)와, 상기 모터의 구동력을 구동풀리(44)를 통해 종동풀리로 전달하는 타이밍벨트(45)로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    스토퍼수단은 각 측판에 대향되게 설치되어 수평 운동하면서 팔레트의 추락을 제어하는 스토퍼(37)와, 상기 측판에 설치되어 스토퍼에 수평운동력을 전달하는 실린더(46)로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    팔레트의 양측 및 엘리베이터판의 양측면에 스토퍼를 통과하는 절결홈(5b)(36a)이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  8. 제 4 항에 있어서,
    각 팔레트의 저면에 요입홈(5c)이 형성되고, 상기 팔레트의 상면에는 요입홈과 대응되는 돌출편(5d)이 형성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  9. 제 4 항에 있어서,
    로딩 또는 언로딩 포지션으로 노출된 팔레트를 록킹하는 록킹수단은 로딩 또는 언로딩 포지션에 대응되게 설치되어 수평 이동하면서 팔레트의 바닥면을 록킹하는 한 쌍의 핑거(35)와, 상기 핑거의 일단에 로드가 힌지 결합되어 한 쌍의 핑거를 동시에 오므리거나 벌리는 실린더(48)로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  10. 제 4 항에 있어서,
    상기 이송블럭(50)은 로딩 또는 언로딩 포지션에 평행하게 설치된 가이드레일을 따라 이동가능하게 설치되고 상기 승강판(52)은 이송블럭에 설치된 실린더(51)의 구동에 따라 가이드봉(53)에 안내되면서 승강하며 상기 핑거(33)는 승강판의 양측에 설치된 핑거 실린더(34)의 구동에 따라 각각 내측으로 오므러들거나 벌려지게 한 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  11. 제 4 항에 있어서,
    팔레트를 로테이션 포지션의 상부에서 하부로 이송시키는 다우너가 가이드레일(54)에 외팔보형태로 설치된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  12. 제 4 항에 있어서,
    다우너를 승강시키는 다우너 구동기구는 동력을 발생시키는 모터(55)와, 상기 모터의 구동풀리(56)와 종동풀리(57) 사이에 감겨진 타이밍벨트(58)와, 상기 다우너를 타이밍벨트에 고정하는 고정블럭(59)으로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  13. 제 4 항에 있어서,
    분배수단은 하사점에 위치된 엘리베이터판의 상면과 일치되게 설치된 가이드레일(39)과, 상기 가이드레일의 외측에 고정된 또 다른 가이드레일(60)을 따라 이동하는 슬라이더(38)와, 상기 슬라이더의 일측면에 고정되어 가이드레일에 얹혀진 팔레트를 로딩측 또는 언로딩측 엘리베이터부로 밀어주는 푸셔(61)와, 상기 슬라이더를 구동시키는 슬라이더 구동기구로 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  14. 제 4 항에 있어서,
    다우너의 상면 네모서리에 팔레트의 위치를 재결정하는 위치 결정블럭(47)이 고정된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    가이드레일의 상면에 베어링(66)이 상향 돌출되게 설치되어 팔레트의 바닥면이 베어링에 접속되도록 구성된 것을 특징으로 하는 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는 장치.
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