JP2000214229A - モジュ―ルｉｃハンドラ―のエレベ―タ―部でパレットを循環させる方法及びその装置 - Google Patents

モジュ―ルｉｃハンドラ―のエレベ―タ―部でパレットを循環させる方法及びその装置

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JP2000214229A JP11350804A JP35080499A JP2000214229A JP 2000214229 A JP2000214229 A JP 2000214229A JP 11350804 A JP11350804 A JP 11350804A JP 35080499 A JP35080499 A JP 35080499A JP 2000214229 A JP2000214229 A JP 2000214229A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、モジュールＩＣをテストするモジ
ュールＩＣハンドラーに関するもので、パレットの移送
方法を改善して、設置板の上側にパレットが上昇しない
ようにして、なお、テストトレイ又はカストマトレイが
載置されるパレットの移送が連続的に行われるようにし
たものである。 【解決手段】 これのため、ローディング及びアンロー
ディングエレベーター部１８ａ，１８ｂによりローディ
ング又はアンローディングポジション１９、２６に露出
されたテストトレイ６からモジュールＩＣ１を全部ロー
ディングするか、カストマトレイ７にテスト済みのモジ
ュールＩＣが満たされると、トランスファー３１により
パレット５をローテーションポジション３０へ移送させ
た後、これをダウナーを介してローディング又はアンロ
ーディングエレベーター板３６の上側に循環させうるよ
うにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、生産が完了された
モジュールＩＣのテストのため、モジュールＩＣを、工
程の間に自動でハンドリングするモジュールＩＣハンド
ラー(Moudule ICHandler)に関するもので、さらに詳し
いくは、テストトレイが載置されたパレットをローディ
ングポジションに、又はカストマトレイが載置されたパ
レットをアンローディングポジションに順次移送させる
モジュールＩＣハンドラーのエレベーター部でパレット
を循環させる方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的にモジュールＩＣ１とは、図１６
に示したように、基板の一側面または両側面に複数個の
ＩＣ及び部品を半田付け固定して独立的に回路を構成し
たもので、メイン基板に実装され容量を拡張させる機能
を有する。
【０００３】このようなモジュールＩＣは、生産が完了
されたＩＣをばらで販売することより高付加価値を有す
るため、ＩＣ生産企業で主力商品として開発し販売して
いる。
【０００４】製造工程を経て、組み立てして生産された
モジュールＩＣは価額が高いので、製品の信頼性もやは
り非常に大事で、厳しい品質検査を通じて良品であると
判定された製品のみを出荷し、不良であると判定された
モジュールＩＣは修正あるいは全量を廃棄処分する。
【０００５】従来には、生産が完了されたモジュールＩ
Ｃをテストソケット内に自動にローディングしてテスト
を実施した後、テストの結果にしたがって自動で分類し
てカストマトレイ（図示省略）内にアンローディングす
る装備が開発されたことがない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、生産が完了さ
れたモジュールＩＣをテストするためには、作業者がテ
ストトレイからモジュールＩＣを手作業で１個すつ取り
出して、テストソケット内にローディングした後、設定
された時間の間にテストを実施した後、テスト結果にし
たがってモジュールＩＣをカストマトレイ内に分類して
入れるべきであったので、モジュールＩＣのテストによ
る作業能率が低下された。
【０００７】なお、単純労働による退屈で生産性の低下
をもたらした。
【０００８】前記テストトレイ及びカストマトレイの内
部には、モジュールＩＣ１を垂直状態に立てて挿入する
ための挿入溝が多数個、形成されている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の形態によれば、トランスファーがローディ
ング又はアンローディングポジションに位置されたパレ
ットの直上部へ移送するとともに、下死点に位置されて
いたダウナーを上死点まで上昇させる段階と、前記パレ
ットの直上部に位置されたトランスファーのホールディ
ング手段を下降させ、パレットをホールディングした
後、上死点まで上昇する段階と、トランスファーがロー
テーションポジションへ移送した後、ホールディング手
段を下降させ、ホールディングしていたパレットをダウ
ナーの上面に安着してホールディング手段を初期状態に
還元する段階と、ローディング又はアンローディングポ
ジションに位置されパレットをロッキングするロッキン
グ手段のロッキングを解除した後、ローディング側又は
アンローディング側エレベーター板に載置された複数個
のパレットを上昇させる際、パレットの墜落を防止する
ストッパをオプンさせ、最上側に位置されたパレットを
ローディング又はアンローディングポジションに露出さ
せる段階と、前記ローディング又はアンローディングポ
ジション一のロッキング手段がローディング又はアンロ
ーディングポジションに露出された最上側のパレットを
ロッキングする段階と、オプンされたストッパを初期状
態に還元させ、エレベーター板を下死点まで下降して最
下端に位置したパレットがストッパに係止され下降が制
御されるようにする段階と、ダウナーが下死点まで下降
してダウナーに載置されたパレットがローディング側又
はアンローディング側エレベーター板の上面と一致する
ようにする段階と、前記ダウナーに載置されたパレット
をローディング側又はアンローディング側エレベーター
板の上面へ移送させる段階が順次的に行われることを特
徴とするモジュールＩＣハンドラーのエレベーター部で
パレットを循環させる方法が提供される。
【００１０】本発明のほかの状態によれば、平行に設け
られた側板の間にエレベーター板が昇降可能にそれぞれ
設けられたローディング側及びアンローディング側エレ
ベーター部と、前記各エレベーター板を昇降させる第１
駆動手段と、前記各エレベーター板に順序に積層されそ
の上面にテストトレイ又はカストマトレイが安着される
複数個のパレットと、前記各側板に対向して設けられ、
最下側に位置するパレットの下降を制御するストッパ手
段と、前記側板の上側に位置するローディング及びアン
ローディングポジションにそれぞれ設けられ、ローディ
ング又はアンローディングポジションに露出される最上
側のパレットをロッキングするロッキング手段と、前記
ローディング側及びアンローディング側エレベーター部
の間に備えられ、パレットを下降させるローテーション
ポジションと、前記ローディング又はアンローディング
ポジションに位置されていたパレットをホールディング
して、ローテーションポジションへ移送させるトランス
ファーと、前記ローテーションポジションに昇降可能に
設けられ、トランスファーによって移送されたパレット
を下死点まで移送させるダウナーと、前記ダウナーを昇
降させる第２駆動手段と、前記ローテーションポジショ
ンの下死点に設けられ、ダウナーにより下降されたパレ
ットをローディング側又はアンローディング側エレベー
ター部へ移送させる分配手段と構成されたことを特徴と
するモジュールＩＣハンドラーのエレベーター部でパレ
ットを循環させる装置が提供される。
【００１１】
【発明の実施の形態】従来の問題点を改善するため、モ
ジュールＩＣを自動でテストするモジュールＩＣハンド
ラーが出願人により開発され特許及び実用新案として多
数出願（自社モデル名：MR7100, MR7200)されたものが
ある。
【００１２】図１７乃至図１９は、出願人により実用新
案96-8320号として先出願された技術である。
【００１３】図１７は従来の装置を示した正面図であ
り、図１８は図１７の一部を省略して示した側面図で、
図１９は図１７の平面図を示したものである。
【００１４】保持板２に固定されたガイド棒３にエレベ
ーター４が昇降可能に結合されており、前記エレベータ
ーには複数個のパレット５が取出可能に引き出し式に内
臓されている。
【００１５】前記パレット５中、ローディング側に位置
されたパレットには、テストするモジュールＩＣが収容
されたテストトレイ６が載置され、アンローディング側
パレットにはテスト済みのモジュールＩＣが収容される
カストマトレイ７が載置されるようになる。
【００１６】前記各保持棒３の間には、モータ８の駆動
により回転するリードスクリュー９が位置されており、
前記リードスクリューにはエレベーターの両側面に固定
されたガイドブロック１０が螺合されている。
【００１７】なお、ローディング側及びアンローディン
グ側に位置する設置板１１にガイドレール１２に沿い進
退可能にスライダー１３が設けられているが、前記スラ
イダーには、シリンダ１４によって内側に縮むとか開け
られる一対のフィンガ１５が設けられており、パレット
５の一面（スライダーと対向する面）には、係止突起５
ａが形成されている。
【００１８】従って、テストするモジュールＩＣが満た
されているテストトレイ６をローディング側エレベータ
ーのパレット５上にそれぞれ位置させ、アンローディン
グ側エレベーターのパレット５には、テスト済みのモジ
ュールＩＣが満たされる空いているカストマトレイ７が
載置された状態で、動作するようになる。
【００１９】スライダー１３に設けられたシリンダ１４
がオフされ、一対のフィンガ１５が相互開けられた状態
でモータ８の駆動により、エレベーター４が上昇して前
記エレベーターに収納されたいずれか一つのパレット５
がスライダー１３と水平線上に位置されれば、スライダ
ー１３が図１９の左側に示したように、パレット５側に
移動するとともに、シリンダ１４が駆動して、フィンガ
１５を同時に内側に縮めるようになるので、パレット５
がスライダー１３にホールディングされる。
【００２０】このような状態で、スライダー１３が初期
状態に還元されれば、図１９の右側に示したように、ロ
ーディング又はアンローディングポジションに取り出さ
れるので、ローディング側ピックアップ手段１６がテス
トトレイ６内に収容された複数個のモジュールＩＣを順
序にピックアップして、テストソケット又はキャリヤ内
にローディングするようになる。
【００２１】一方、テストトレイ６内のモジュールＩＣ
を全部ローディングして空いている状態になると、前述
したようにスライダー１３が前進して、取り出されてい
たパレット５を該当エレベーター４内に収納した後、ホ
ールディング状態を解除するとともに、モータ８の駆動
でリードスクリュー９を回転させるので、前記リードス
クリューとガイドブロック１０が螺合されたエレベータ
ー４は１ステップずつ上昇するようになる。
【００２２】これにより、スライダー１３に設けられた
フィンガ１５は前述したように上側から２番目に位置さ
れたパレット５をホールディングして取り出すようにな
るので、連続作業が可能になる。
【００２３】ところが、このような従来の装置は、ロー
ディング側又はアンローディング側に位置されたエレベ
ーター４内のパレット５にテストトレイ６またはカスト
マトレイ７を順序に載置できるため、自動でモジュール
ＩＣをローディング及びアンローディングする利点を有
するが、次のような問題点が発生された。
【００２４】第一、エレベーター４を必ず設置板１１の
上側に１ステップずつ移動させなければ、エレベーター
に存在したパレット５を取り出すことができないので、
装備の高さが高くなる。
【００２５】第二、スライダー１３が移送してエレベー
ター４内のパレット５をフィンガ１５によりホールディ
ングした後、ローディングポジションに取り出さなけれ
ば、収容されたモジュールＩＣ１をローディングするか
テスト済みのモジュールＩＣをカストマトレイ内にアン
ローディングできないので、パレットの取り出しによる
装備の全体広さが広くなり、結局、装備の設置面積が大
きくなる。
【００２６】第三、各パレット５に載置されていたテス
トトレイ６内のモジュールＩＣを全部ローディングする
か、又はカストマトレイ７内にテスト済みのモジュール
ＩＣを全部アンローディングすると、作業者がエレベー
ター４を下死点まで下降させた後、これらをパレットか
ら取り出した後、各パレット５に新しいテストトレイま
たはカストマトレイをいちいち入れるべきであったの
で、エレベーターの復元による待機時間が必要になり、
これにより高価装備の稼動率が低下された。
【００２７】さらに以下、本発明を一実施例で示した図
１ないし図１５を参考して、さらに詳細に説明すると、
次のとおりである。
【００２８】図１は本発明が適用されたモジュールＩＣ
ハンドラーの斜視図として、モジュールＩＣハンドラー
の構成を簡単に説明する。
【００２９】テストトレイ６に収容されたモジュールＩ
Ｃをキャリヤ１７内にローディングすることにより、前
記トレイが載置されたパレット５を順次的に１ステップ
ずづ上昇させるとか、テスト済みのモジュールＩＣがカ
ストマトレイ７内に分類され、アンローディングされる
ことにより、パレットを１ステップずづ下降させるエレ
ベーター部１８と、前記テストトレイ内のモジュールＩ
Ｃ１を順次的にホールディングしてローディングポジシ
ョン１９に位置されたキャリヤ１７にモジュールＩＣを
ローディングするローディング側ピックアップ手段１６
と、テストするモジュールＩＣがキャリヤ１７にローデ
ィングが完了されれば、これをローディング側ロテータ
２０側に水平移送させる第１移送手段２１と、前記第１
移送手段によりキャリヤが移送されることにより、キャ
リヤを９０度回動させるローディング側ロテータ２０
と、前記ローディング側ロテータの直下方に位置され、
ローディング側ロテータによりキャリヤが順次的に移送
されることにより、キャリヤにローディングされたモジ
ュールＩＣをテストに適合な温度にヒーティングするヒ
ーティングチャンバ２３と、前記ヒーティングチャンバ
内のキャリヤを順次的に１ステップずつ移送させる移送
手段(図示は省略)と、前記ヒーティングチャンバの一側
に位置され、テストの条件に適合にヒーティングされた
モジュールＩＣが移送されてくると、これをテストソケ
ット側へ押しつけて、設定された時間の間、テストを実
施するテストサイト２４と、前記テストサイトの一側に
設けられ、モジュールＩＣのテスト済みの状態で、キャ
リヤ１７が移送されることにしたがって前記キャリヤが
水平状態を保持するように９０度回動させるアンローデ
ィング側ロテータ２５と、前記アンローディング側ロテ
ータ内のキャリヤをアンローディングポジション２６へ
水平移送させる第２移送手段２７と、前記第２移送手段
により移送されたキャリヤからモジュールＩＣをホール
ディングした後、テストの結果により分類して、カスト
マトレイ７内にアンローディングするアンローディング
側ピックアップ手段２８と、前記キャリヤ内のモジュー
ルＩＣが全部アンローディングされると、空いているキ
ャリヤをローディングポジション１９へ水平移送させる
第３移送手段２９と構成されている。
【００３０】上記のように構成されたモジュールＩＣハ
ンドラーは、ローディング側及びアンローディング側に
位置され、テストトレイ６又はカストマトレイ７が載置
されるパレット５を順次的に上昇させるとともに、循環
させて連続的な作業が遂行されるようにするエレベータ
ー部１８を備えるべきである。
【００３１】本発明の特徴は、ローディング側エレベー
ター部１８ａ及びアンローディング側エレベーター部１
８ｂに複数個のパレット５を積層して、ローディング又
はアンローディングポジション１９、２６に位置されて
いた最上側のパレットからモジュルＩＣが全部ローディ
ングされるとか、テスト済みのモジュールＩＣがアンロ
ーディングされることにより、パレットを各エレベータ
ー部の下側に循環させうるようにするものにある。
【００３２】図２ないし図１３はパレットの循環経路を
説明するための概略図として、パレット５の循環経路を
説明すると、次のとおりである。
【００３３】まず、図２のようにテストするモジュール
ＩＣ１が満たされたテストトレイ６が載置されたパレッ
ト５は、ローディングポジション１９に位置されてお
り、テスト済みのモジュールＩＣが収容されるカストマ
トレイ７が載置されるパレット５は、アンローディング
ポジション２６に位置された状態で装備が稼動し始め
る。
【００３４】このような状態で、図１に示したローディ
ング側ピックアップ手段１６がローディングポジション
１９に位置されたテストトレイ６からモジュールＩＣ１
をホールディングした後、キャリヤ１７内に順次的にロ
ーディングして、テストトレイにホールディングするモ
ジュールＩＣがなければ、ローディングポジションに位
置されていたパレット５をローテーションポジション３
０へ移送させるとともに、ローディング側エレベーター
１８ａの最上側に位置されたパレット５ａをローディン
グポジション１９に露出させるべきである。
【００３５】これのため、ローテーションシポジション
３０に位置されていたトランスファー３１が図３のよう
にローディングポジション１９に位置されたパレット５
の直上部へ移送するとともに、ローテーションポジショ
ンの下死点に位置されていたダウナー３２を上死点まで
上昇させる。
【００３６】前記トランスファー及びダウナーの移送
は、別の移送手段により行われるが、それによる構成は
後述する。
【００３７】このようにトランスファー３１がローディ
ングポジション１９へ移送された状態では、ホールディ
ング手段のフィンガ３３が両側に開けられた状態であ
る。
【００３８】このような状態で、図８のようにフィンガ
３３が下死点まで下降して、パレット５底面に位置され
れば、フィンガシリンダ３４の駆動により開けられてい
た一対のフィンガ３３が相互内側に縮むようになるの
で、ローディングポジション１９に位置されていたパレ
ット５がトランスファー３１にホールディング完了され
る。
【００３９】上記の動作で、トランスファー３１がパレ
ット５をホールディングしたら、前記パレットをフィン
ガ３３の上死点まで上昇させるとともに、トランスファ
ー３１が図９のようにローテーションポジション３０の
上死点に位置されたダウナー３２の直上部へ移送され
る。
【００４０】このようにローディングポジション１９に
位置されていたパレット５をローテーションポジション
３０へ移送させると、図４のようにローディングポジシ
ョン１９に位置されたロッキング手段のフィンガ３５を
両側に開けるとともに、ローディング側エレベーター部
１８ａのエレベーター板３６を図１０のように上死点ま
で上昇させる。
【００４１】これにより、ローディング側エレベーター
部１８ａに位置されていた複数個のパレット５が同時に
上部に移動されるため、最上側に位置されたパレット５
がローディングポジション１９に露出される。
【００４２】上記のようにエレベーター板３６の上昇
で、ストッパ３７により係止されていた最下側のパレッ
ト５がストッパから外れる時点で、ストッパ３７をオプ
ンさせる。
【００４３】このようにローディングポジション１９で
最上側に位置されたパレット５が露出されると、両側へ
開けられていた一対のフィンガ３５が図１のように同時
に内側に縮められ、最上側に位置されたパレット５をロ
ッキングする。
【００４４】このような状態で、上死点に位置されてい
たエレベーター板３６が初期状態の図１１のように下死
点まで下降するようになるが、上記の動作前に側板に対
向して設けられ、相互オプンされたストッパ３７がクロ
スされ、エレベーター板３６の下降の際、最下側に位置
されたパレット５の下降を制御するので、パレットの下
降は中断され、エレベーター板３６のみ下死点まで下降
されるようになる。
【００４５】前記エレベーター板３６の上昇により、ロ
ーディングポジション１９に露出されたパレット５内の
テストトレイ６にはテストするモジュールＩＣ１が収容
されているので、この後、ローディング側ピックアップ
手段１６がモジュールＩＣをキャリヤ１７内にローディ
ングできる。
【００４６】一方、図９のように上死点に位置されたダ
ウナー３２の直上部へトランスファー３１が移送された
状態で、ホールディング手段が下死点まで下降して、フ
ィンガ３３のホールディング状態を解除すれば、パレッ
ト５がダウナー３２の上面に載置され、これにより前記
ダウナー３２は駆動手段により図１２のように下死点ま
で下降するようになる。
【００４７】この際、フィンガ３３は上死点まで上昇し
て初期状態を保持する。
【００４８】上記のようにトランスファー３１により移
送されたパレット５をダウナー３２が下死点まで移送さ
せると、パレット５はガイドレール３９の上面に載置さ
れる。
【００４９】前記ガイドレール３９に載置されたパレッ
ト５をローディング側エレベーター部１８ａのエレベー
ター板３６へ移送させようとする場合には、スライダー
３８に固定されたプッシャ６１がガイドレール３９の右
側に位置しているべきである。
【００５０】これは、ダウナー３２の下降前にコントロ
ール部で下降するパレット５がローディング側である
か、アンローディング側であるかを感知して、スライダ
ー３８の位置を決定するようになるので、可能である。
【００５１】これにより、スライダー３８が図面上、左
側に移動すれば、ガイドレール３９に載置されていたパ
レット５が図面上の左側に移動されるので、図１３のよ
うにローディング側エレベーター板３６の上面に載置さ
れる。
【００５２】このようにローディング側エレベーター板
３６に載置されたパレット５は、最上側に位置されたパ
レット５をローディングポジション１９に露出させるた
めに、エレベーター板３６が上昇する際、最下側に位置
されたパレット５と密着した状態で、共に上昇する。
【００５３】本発明の一実施例では、トランスファー３
１がローディングポジション１９へ移送してパレット５
をホールディングした後、これをダウナー３２の上面に
載置して、ローディング側エレベーター板３６の上面に
循環する一例を説明したが、アンローディング側も同一
に行われるので、これに対する詳細な説明は省略する。
上記のような方法で、パレット５を循環させる際、ト
ランスファー３１のホールディング手段を下降させ、ホ
ールディングしていたパレット５をダウナー３２に安着
する段階及びローディング側又はアンローディング側エ
レベーター板３６を上昇させる動作を同時に遂行するこ
ともできる。
【００５４】なお、ダウナー３２及びエレベーター板３
６を下死点まで下降させる動作を同時に遂行することも
できる。
【００５５】もし、このような動作を同時に遂行する場
合には、パレット５の交替による所要時間をはるかに短
縮させることができる。
【００５６】本発明を実現するために、一実施例で示し
た装置を具体的に説明すると、次のとおりである。
【００５７】図２は図１でのエレベーター部の縦断面図
であり、図３は図２のＡーＡ線断面であり、図２ａ及び
図２ｂは最上側に位置されたパレットをフィンガがホー
ルディングする状態を説明するための縦断面図として、
本発明はローディング側及びアンローディング側エレベ
ーター部１８ａ，１８ｂを構成する一対の側板４０の間
にエレベーター板３６が昇降可能にそれぞれ設けられて
いるが、前記各エレベーター板３６は第１駆動手段によ
り設定された範囲内で、昇降運動しつつ最上側に位置さ
れたパレット５をローディングポジション１９又はアン
ローディングポジション２６に露出させる。
【００５８】各エレベーター部１８ａ、１８ｂに設けら
れたエレベーター板３６を昇降させる第１駆動手段は、
図２に示したようにエレベーター板３６の底面に固定さ
れ、各エレベーター部の下部に露出されたリードスクリ
ュー４１と、前記リードスクリューに螺合された従動プ
ーリ４２と、前記従動プーリの回転力を発生させるモー
タ４３と、前記モータの駆動力を駆動プーリ４４を介し
て従動プーリに伝達するタイミングベルト４５と構成さ
れている。
【００５９】前記エレベーター板３６の上側には、上面
にテストトレイ６又はカストマトレイ７が安着される複
数個のパレット５が位置されており、各側板４０には対
向してストッパ手段が設けられていて、エレベーター板
３６が下死点まで下降しても最下端に位置されたパレッ
ト５がストッパ手段に係止されるため、パレット５の下
降が制御される。
【００６０】これにより、ストッパ手段に係止されたパ
レット５と、エレベーター板３６の間には１個のパレッ
トが収容される空間が確保される。
【００６１】これは、エレベーター板３６の上昇前にダ
ウナー３２により下降されたパレットをエレベーター板
の上側に移送させるためである。
【００６２】前記ストッパ手段は、各側板４０に対向し
て設けられ、水平運動しつつ最下側に位置されたパレッ
ト５の底面に係止されるとか、係止状態を解除するスト
ッパ３７と、前記側板に設けられストッパに水平運動力
を伝達するシリンダ４６と構成されている。
【００６３】各エレベーター板３６の上側に位置するパ
レット５の両側及びエレベーター板３６の両側面の同一
支点には、側板４０に進退可能に設けられたストッパ３
７を通過する切欠溝５ｂ、３６ａがそれぞれ形成されて
いる。
【００６４】これは、エレベーター板３６の上昇の際、
前記エレベーター板及び上面に載置されたパレットがオ
プンされたストッパ３７により干渉されないようにする
とともに、エレベーター板の下降の際には、エレベータ
ー板３６のみストッパ３７を通過して、最下側に位置さ
れたパレット５はストッパ３７に係止されパレットの下
降が制御されるようにするためである。
【００６５】なお、各パレット５は図１５に示されたよ
うに底面に凹溝５ｃが形成されており、前記パレットの
上面には凹溝と対応する凸片５ｄが形成されている。
【００６６】これは複数個のパレット５が積層される
際、これらの位置が上、下に正確に一致するようにする
とともに、上、下移動の際、積層されたパレット５が左
右に流動されないようにするためである。
【００６７】なお、ダウナー３２の上面の四つの角に
は、上面に載置されるパレット５の位置を再決定する位
置決定ブロック４７が固定されている。
【００６８】なお、側板４０の上側に位置するローディ
ング及びアンローディングポジション１９、２６には、
ローディング又はアンローディングポジションに露出さ
れる最上側のパレットをロッキングするロッキング手段
がそれぞれ設けられており、前記ローディング側及びア
ンローディング側エレベーター部１８ａ，１８ｂの間に
は、ローディング及びアンローディングポジション１
９、２６に位置されていたパレットをローディング側及
びアンローディング側エレベーター板３６の上側に移送
させるためのローテーションポジション３０が備えられ
ている。
【００６９】前記ローディング又はアンローディングポ
ジション１９、２６に露出されたパレット５をロッキン
グするロッキング手段は、図４に示したようにローディ
ング又はアンローディングポジションに対応して設けら
れ、水平移動しつつパレットの底面をロッキングする一
対のフィンガ３５と、前記フィンガの一端にロッドがヒ
ンジ結合され、一対のフィンガを同時に縮めるとか開け
るシリンダ４８と構成されている。
【００７０】前記一対のフィンガ３５は、パレット５を
ホールディングする際、シリンダ４８の駆動で相互内側
に移動して、パレット５の底面を保持し、エレベーター
板３６の上昇の時には、両側に開けられ干渉を防止す
る。
【００７１】前記ローディング又はアンローディングポ
ジション１９、２６に位置されていたパレットをホール
ディングして、ローテーションポジション３０へ移送さ
れるトランスファー３１は、ローディング又はアンロー
ディングポジション１９、２６と平行に設けられたガイ
ドレール（図示は省略）に沿い移送する移送ブロック５
０と、前記移送ブロックに設けられたシリンダ５１の駆
動により昇降する昇降板５２と、前記移送ブロックに挟
持するように昇降板に固定され、昇降板の上下動作をガ
イドするガイド棒５３と、前記昇降板の両側に設けられ
たフィンガシリンダ３４の駆動により、それぞれ内側に
縮むとか開けられるフィンガ３３と構成されている。
【００７２】前記フィンガ３３はパレット５の側面に形
成された空間部５ｅを介して保持板５ｆの底面をホール
ディングするようになる。
【００７３】なお、前記ローテーションポジション３０
には、図３に示したようにトランスファー３１により移
送されたパレット５を下死点まで移送させるダウナー３
２が片持バリ形態にガイドレール５４に挟持され、昇降
可能になっているが、前記ダウナーは第２駆動手段によ
り設定された範囲内で昇降運動する。
【００７４】前記ダウナー３２を昇降させる第２駆動手
段は、動力を発生させるモータ５５と、前記モータの駆
動プーリ５６と従動プーリ５７の間に巻きかけられたタ
イミングベルト５８と、前記ダウナーに固定され前記タ
イミングベルト５８に固定された固定ブロック５９と構
成されている。
【００７５】前記ローテーションポジション３０の下死
点に設けられ、下死点に位置されたダウナ３２ーからパ
レット５をローディング側又はアンローディング側エレ
ベーター部１８ａ、１８ｂへ移送させる分配手段は、図
１４に示したように下死点に位置されたエレベーター板
３６の上面と一致するよう設けられたガイドレール３９
と、前記ガイドレールの外側に固定されたほかのガイド
レール６０に沿い移動するスライダー３８と、前記スラ
イダーの一側面に固定され、ガイドレールに載置された
パレット５をローディング側又はアンローディング側エ
レベーター部１８ａ、１８ｂに押しつけるプッシャ６１
と、前記スライダーを駆動させる第３駆動手段と構成さ
れている。
【００７６】前記第３駆動手段は、図３に示したように
動力を発生させるモータ６２と、前記モータの駆動によ
り回転する駆動プーリ６３と、前記駆動プーリと従動プ
ーリ６４の間に巻きかけられ、駆動プーリの動力を従動
プーリに伝達し、所定の位置にはスライダー３８が固定
されたタイミングベルト６５と構成されている。
【００７７】前記ダウナー３２により下降されたパレッ
ト５が載置されるガイドレール３９の上面には、ベアリ
ング６６が上向に突出するよう設けられていて、パレッ
ト５の底面がベアリングに接続された状態に水平移動す
るようになっている。
【００７８】このように構成された本発明の作用を一実
施例により、さらに具体的に説明すると、次のとおりで
ある。
【００７９】まず、ローディング及びアンローディング
ポジション１９、２６にパレット５が載置された状態
で、装備が稼動して、ローディング側ピックアップ手段
１６がテストトレイ６内のモジュールＩＣ１をピックア
ップして、キャリヤ１７内にローディングすると、テス
トするモジュールＩＣがローディングされたキャリヤは
移送手段によりヒーティングチャンバ２３側に順次移送
される。
【００８０】繰り返される上記の動作により、テストト
レイ内にホールディングするモジュールＩＣがなけれ
ば、空いているパレット５をローテーションポジション
３０へ移送させるためのトランスファー３１の移送ブロ
ック５０がガイドレールに沿い図３のように図面上の左
側へ移送されるが、上記した動作の際、トランスファー
の昇降板５２は上死点に位置されており、フィンガ３３
は両側に相互開けられた状態である。
【００８１】この時、下死点に位置されていたダウナー
３２は、モータ５５の駆動によりガイドレール５４に沿
い上死点まで上昇して、空いているパレットが移送され
る時まで待機する。
【００８２】このような状態で、シリンダ５１の駆動で
昇降板５２が図８のように下死点まで下降して前記フィ
ンガ３３がパレット５の底面に位置すると、フィンガシ
リンダ３４が駆動するようになるため、両側に開けられ
ていたフィンガ３３が同時に内側に移動して、空いてい
るパレットの底面をホールディングする。
【００８３】このようにフィンガ３３がローディングポ
ジション１９に位置されていた空いているパレット５を
ホールディングすると、シリンダ５１が再駆動して昇降
板５２を上死点まで上昇させるとともに、移送ブロック
５０を図面上の右側のローテーションポジション３０に
位置されたダウナー３２の直上部に、図９のように移送
させる。
【００８４】上記したように、トランスファー３１がロ
ーディングポジション１９に存在していた空いているパ
レット５をローテーションポジション３０へ移送させる
と、ローディング側エレベーター部１８ａに存在してい
たパレット５を上昇させるためにローディングポジショ
ン１９でパレット５をロッキングしていたロッキング手
段を解除させるべきである。
【００８５】これのため、ローディングポジション１９
に相互対向して設けられたシリンダ４８が駆動すると、
一対のフィンガ３５が図４のように同時に外側に開けら
れ、パレット５の上昇の際、干渉が発生しないようにパ
ッレトの外側に位置される。
【００８６】上記した動作の際、ダウナー３２の上側に
位置されたトランスファー３１にホールディングされて
いた空いているパレット５は、シリンダ５１の駆動で、
昇降板５２が下死点まで下降するとともに、フィンガシ
リンダ３４の駆動により、一対のフィンガ３３が相互両
側に開けられ、ホールディング状態を解除するので、ダ
ウナー３２の上面に載置される。
【００８７】その後、昇降板５２はシリンダ５１の再駆
動によって、上死点まで上昇する。
【００８８】このようにダウナー３２の上面に載置され
る空いているパレット５は、ダウナーの四つの角に位置
決定ブロック４７が固定されているので、位置が再決定
される。
【００８９】これと同時にローディング側エレベーター
部１８ａの第１駆動手段のモータ４３が駆動して、リー
ドスクリュー４１と螺合された従動プーリ４２を回転さ
せると、従動プーリ４２の回転運動が直線往復運動に切
り換えられ、ローディング側エレベーター板３６に伝達
されるので、前記ローディング側エレベーター板が上昇
して複数個のパレット５を図１０のように同時に上死点
まで上昇させる。
【００９０】前記モータ４３の駆動は、ローディングポ
ジション１９に設けられた一対のセンサ（図示省略）が
ローディングポジション１９に露出される最上側のパレ
ット５を感知することにより、制御が可能になる。
【００９１】上記の動作で、ローディング側エレベータ
ー部１８ａに存在していた複数個のパレット５が同時に
上死点まで上昇すると、両側に開けられていたフィンガ
３５がシリンダ４８の再駆動により、相互内側に縮むよ
うになるため、フィンガ３５がパレット５の底面をロッ
キングする。
【００９２】すなわち、積層された複数個のパレット５
から再上側に位置された１個のパレットを分離する。
【００９３】その後、上死点に位置されていたローディ
ング側エレベーター板３６がモータ４３の再駆動で、図
１１のように下死点まで下降するが、上記した動作の前
にシリンダ４６の駆動によりオプン(前進)されたストッ
パ３７がクロス(後退)されるため、ローディング側エレ
ベーター板３６が下降する際、最下側に位置されたパレ
ット５がストッパ３７により下降が制御された状態で、
ローディング側エレベーター板３６のみ下死点まで下降
する。
【００９４】この際、前記ローディング側エレベーター
板３６には、ストッパ３７を通過できるように切欠溝３
６ａが形成されているため、クロスされたストッパ３７
との干渉を起こさない。
【００９５】上記のようにローディング側エレベーター
板３６が下死点まで下降する動作の際、ローテーション
ポジション３０の上死点に位置されていたダウナー３２
もモータ５５の再駆動により下死点まで下降するが、前
記ダウナーの下死点にはダウナーに載置され下降するパ
レット５が載置されるガイドレール３９が形成されてい
るので、空いているパレット５がダウナー３２から分離
され、ガイドレール３９に載置され、ダウナーのみ下死
点まで下降する。
【００９６】この際、ガイドレール３９に載置されたパ
レット５をローディング側又はアンローディング側エレ
ベーター板３６側に水平移送させるために移動するスラ
イダー３８は、パレット５がローディングポジション１
９から移送されたか、アンローディングポジション２６
から移送されたかによって、コントロール部(図示は省
略)がこれを制御するようになるため、ダウナー３２の
下降前に第３駆動手段により前記スライダーは前記ダウ
ナーの左側又は右側に位置される。
【００９７】前述のようにローディングポジション１９
に存在していたパレット５をダウナー３２が下降させる
場合には、スライダー３８が図面上の右側に位置してい
る。
【００９８】前記パレット５が図１２のようにガイドレ
ール３９上に載置されると、図面上の右側に位置されて
いたスライダー３８が図１３のように第３駆動手段のモ
ータ６２の駆動により、図面上の左側に移動するため、
ガイドレールに載置されていたパレットはローディング
側エレベーター板３６の上面に載置される。
【００９９】上記した動作の際、ガイドレール３９の上
面に露出されたベアリング６６が空いているパレット５
の底面と接続されているので、スライダー３８の移送に
より、プッシャ６１がパレットをローディング側エレベ
ーター板３６に押しつける時、前記パレット５がさらに
円滑に移送される。
【０１００】このようにガイドレール３９に載置されて
いたパレット５をローディング側エレベーター板３６の
上側へ移送させたスライダー３８は、ダウナー３２によ
り下降するパレット５がローディングポジション１９か
ら移送されるか、アンローディングポジション２５から
移送されるかをコントロール部により伝達受け、現在の
位置で待機するか、又は図面上の右側へ移動して待機す
る。
【０１０１】今まで本発明の一実施例として説明したこ
とは、ローディングポジション１９に位置されていたパ
レット５をトランスファー３１がホールディングして、
ローテーションポジション３０へ移送させるとともに、
ローディング側エレベーター部１８ａに存在していたパ
レット５をローディングポジションに露出させ、ローテ
ーションポジション３０に存在していたパレット５をロ
ーディング側エレベーター板３６の上面へ移送させる過
程を説明したが、アンローディングポジションン２６で
テスト済みのモジュールＩＣ１が収容されるパレット５
をローテーションポジションを介してアンローディング
側エレベーター板の上面に循環させる過程も同一に行わ
れることは理解可能なものである。
【０１０２】
【発明の効果】本発明は、従来のこのような問題点を解
決するために案出されたもので、パレットの移送方法を
改善して、設置板の上側にパレットが上昇されないよう
にしつつモジュールＩＣのローディング及びアンローデ
ィング作業が可能であるようにするとともに、テストト
レイまたはカストマトレイが載置されるパレットの移送
が連続的に行われるようにすることにその目的がある。
【０１０３】本発明のほかの目的は、テストトレイ及び
カストマトレイのローディング及びアンローディングに
よる待機時間を最小限することにある。
【０１０４】また、従来のモジュールＩＣハンドラーに
比べ次のような長所を有する。
【０１０５】第一、ローディング又はアンローディング
ポジション１９、２６に位置されていたパレット５をロ
ーテーションポジション３０を介してローディング側又
はアンローディング側エレベーター板３６の上側に循環
させるので、装備の高さを最大限に減らすことができ
る。
【０１０６】第二、ローディング側又はアンローディン
グ側エレベーター部１８ａ、１８ｂの最上側に位置され
たパレット５を上死点まで上昇させることだけしたら、
パレットがローディングまたはアンローディングポジシ
ョン１９、２６に露出されるので、装備の全体の広さを
最小化する。
【０１０７】第三、ローディング側又はアンローディン
グ側エレベーター部１８ａ、１８ｂに積層されたパレッ
ト５がローテーションポジション３０を介して連続的に
循環されるため、各エレベーター板３６に載置されてい
たテストトレイ６内のモジュールＩＣを全部ローディン
グするか、又はカストマトレイ７内にテスト済みのモジ
ュールＩＣが満たされても、各エレベーター部１８ａ、
１８ｂに存在していたパレット５のみ交替すれば、装備
の再稼動が可能になるため、高価装備の稼動率を極大化
させる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用されたモジュールＩＣハンドラー
の斜視図。
【図２】図１でのエレベーター部の縦断面図。
【図３】図２のＡーＡ線断面図
【図４】最上側に位置されたパレットをフィンガがホー
ルディングする状態を説明するための縦断面図として、
一対のフィンガが両側に開けられた状態図。
【図５】最上側に位置されたパレットをフィンガがホー
ルディングする状態を説明するための縦断面図として、
シリンダの駆動により、一対のフィンガが内側に移動し
てパレットをホールディングした状態図。
【図６】パレットの循環経路を説明するための概略図と
して、ローディング及びアンローディングポジションに
パレットがそれぞれ位置された初期状態図。
【図７】パレットの循環経路を説明するための概略図と
して、ローディングポジションに位置されていたパレッ
トをホールディングするために、トランスファーがロー
ディングポジションの直上部へ移送された状態図。
【図８】パレットの循環経路を説明するための概略図と
して、トランスファーのフィンガが下死点まで下降が完
了された状態図。
【図９】パレットの循環経路を説明するための概略図と
して、ダウナーが上死点まで上昇し、パレットをホール
ディングしたトランスファーはダウナーの直上部へ移送
された状態図。
【図１０】パレットの循環経路を説明するための概略図
として、ローディングポジションのフィンガが両側に開
けられ、エレベーター板により複数個のパレットが上死
点まで上昇した状態図。
【図１１】パレットの循環経路を説明するための概略図
として、一対のフィンガが内側に移動して、最上側に位
置されたパレットをホールディングして、エレベータ一
板は下死点まで下降された状態図。
【図１２】パレットの循環経路を説明するための概略図
として、ダウナーによって、空いているパレットがレー
ルの上面に載置された状態図。
【図１３】パレットの循環経路を説明するための概略図
として、レールに載置された空いているパレットをロー
ディング側エレベーター板の直上部へ移送させる状態
図。
【図１４】分配手段を示した要部斜視図。
【図１５】ダウナーとパレットを分離して示した斜視
図。
【図１６】図１６は一般的なモジュールＩＣを示した斜
視図。
【図１７】従来の装置を示した正面図。
【図１８】図１７の一部を省略して示した側面図。
【図１９】図１７の平面図。
【符号の説明】 １８a… ローディング側エレベーター部 １８b… アンローディング側エレベーター部 １９… ローディングポジション ２６… アン
ローディングポジション ３０… ローテーションポジション ３１… トラ
ンスファー ３２… ダウナー ３３、３５…
フィンガ ３６… エレベーター板 ３７… スト
ッパ ３８… スライダー ５２… 昇降
板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン・ウォン・キム 大韓民国、キュンキ−ド、ソンナム−シ、 ブンダン−ク、クミ−ドン、ロッテ・スン キュン・アパートメント 402−306 (72)発明者 ヒー・ソー・キム 大韓民国、キュンキ−ド、クンポ−シ、サ ンボン−ドン、ウールク・アパートメント 706−1602 (72)発明者 ヤング・ハク・オウ 大韓民国、キュンキ−ド、ソンナム−シ、 ブンダン−ク、ジュンジャ−ドン、アパー トメント 402−304 (72)発明者 ドン・チュン・リー 大韓民国、ソウル、マポ−ク、ヨンナム− ドン、493−21

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 トランスファーがローディング又はアン
    ローディングポジションに位置されたパレットの直上部
    へ移送するとともに、下死点に位置されていたダウナー
    を上死点まで上昇させる段階と、前記パレットの直上部
    に位置されたトランスファーのホールディング手段を下
    降させパレットをホールディングした後、上死点まで上
    昇する段階と、トランスファーがローテーションポジシ
    ョンへ移送した後、ホールディング手段を下降させ、ホ
    ールディングしていたパレットをダウナーの上面に安着
    させホールディング手段を初期状態に還元する段階と、
    ローディング又はアンローディングポジションに位置さ
    れパレットをロッキングするロッキング手段のロッキン
    グを解除した後、ローディング側又はアンローディング
    側エレベーター板に載置された複数個のパレットを同時
    に上昇させる時、パレットの墜落を防止するストッパを
    オプンさせ、最上側に位置されたパレットをローディン
    グ又はアンローディングポジションに露出させる段階
    と、前記ローディング又はアンローディングポジション
    のロッキング手段がローディング又はアンローディング
    ポジションに露出された最上側のパレットをロッキング
    する段階と、オプンされていたストッパを初期状態に還
    元させて、エレベーター板を下死点まで下降して最下端
    に位置されたパレットがストッパに係止され下降が制御
    されるようにする段階と、ダウナーが下死点まで下降し
    てダウナーに載置されたパレットがローディング側又は
    アンローディング側エレベーター板の上面と一致するよ
    うにする段階と、前記ダウナーに載置されたパレットを
    ローディング側又はアンローディング側エレベーター板
    の上面へ移送させる段階が順次的に遂行することを特徴
    とするモジュールＩＣハンドラーのエレベーター部でパ
    レットを循環させる方法。
  2. 【請求項２】 トランスファーのホールディング手段を
    下降させ、ホールディングしていたパレットをダウナー
    に安着させる段階及びローディング側又はアンローディ
    ング側エレベーター板を上昇させる動作が同時に遂行さ
    れることを特徴とする請求項１記載のモジュールＩＣハ
    ンドラーのエレベーター部でパレットを循環させる方
    法。
  3. 【請求項３】 ダウナー及びエレベーター板を下死点ま
    で下降させる動作が同時に遂行されることを特徴とする
    請求項１記載のモジュールＩＣハンドラーのエレベータ
    ー部でパレットを循環させる方法。
  4. 【請求項４】 平行に設けられた側板間にエレベーター
    板が昇降可能にそれぞれ設けられたローディング側及び
    アンローディング側エレベーター部と、前記各エレベー
    ター板を昇降させる第１駆動手段と、前記各エレベータ
    ー板に順序に積層され、その上面にテストトレイ又はカ
    ストマトレイが安着される複数個のパレットと、前記各
    側板に対向するよう設けられ、パレットの下降を制御す
    るストッパ手段と、前記側板の上側に位置するローディ
    ング及びアンローディングポジションにそれぞれ設けら
    れ、ローディング又はアンローディングポジションに露
    出される最上側のパレットをロッキングするロッキング
    手段と、前記ローディング側及びアンローディング側エ
    レベーター部の間に備えられ、パレットを下降させるロ
    ーテーションポジションと、前記ローディング又はアン
    ローディングポジションに位置されていたパレットをホ
    ールディングしてローテーションポジションへ移送させ
    るトランスファーと、前記ローテーションポジションに
    昇降可能に設けられ、トランスファーにより移送された
    パレットを下死点まで移送させるダウナーと、前記ダウ
    ナーを昇降させる第２駆動手段と、前記ローテーション
    ポジションの下死点に設けられ、ダウナーにより下降さ
    れたパレットをローディング側又はアンローディング側
    エレベーター部へ移送させる分配手段と構成されたこと
    を特徴とするモジュールＩＣハンドラーのエレベーター
    部でパレットを循環させる装置。
  5. 【請求項５】 各エレベーター部に設けられたエレベー
    ター板を昇降させる第１駆動手段は、エレベーター板の
    低面に固定され、各エレベーター板の下部に露出された
    リードスクリューと、前記リードスクリューに螺合され
    た従動プーリと、前記従動プーリの回転力を発生させる
    モータと、前記モータの駆動力を駆動プーリを介して従
    動プーリに伝達するタイミングベルトと構成されたこと
    を特徴とする請求項４記載のモジュールＩＣハンドラー
    のエレベーター部でパレットを循環させる装置。
  6. 【請求項６】 ストッパ手段は各側板に対向するよう設
    けられ、水平運動しつつパレットの墜落を制御するスト
    ッパと、前記側板に設けられ、ストッパに水平運動力を
    伝達するシリンダと構成されたことを特徴とする請求項
    ４記載のモジュールＩＣハンドラーのエレベーター部で
    パレットを循環させる装置。
  7. 【請求項７】 パレットの両側及びエレベーター板の両
    側面にストッパを通過する切欠溝がそれぞれ形成された
    ことを特徴とする請求項６記載のモジュールＩＣハンド
    ラーのエレベーター部でパレットを循環させる装置。
  8. 【請求項８】 各パレットの低面に凹溝が形成され、前
    記パレットの上面には凹溝と対応される凸片が形成され
    たことを特徴とする請求項４記載のモジュールＩＣハン
    ドラーのエレベーター部でパレットを循環させる装置。
  9. 【請求項９】 ローディング又はアンローディングポジ
    ションに露出されたパレットをロッキングするロッキン
    グ手段は、ローディング又はアンローディングポジショ
    ンに対応するよう設けられ、水平移動しつつパレットの
    底面をロッキングする一対のフィンガと、前記フィンガ
    の一端にロッドがヒンジ結合され、一対のフィンガを同
    時に縮めるとか開けるシリンダと構成されたことを特徴
    とする請求項４記載のモジュールＩＣハンドラーのエレ
    ベーター部でパレットを循環させる装置。
  10. 【請求項１０】 ローディング又はアンローディングポ
    ジションに位置されたパレットをローテーションポジシ
    ョンへ移送させるトランスファーは、ローディング又は
    アンローディングポジションと平行に設けられたガイド
    レールに沿い移送する移送ブロックと、前記移送ブロッ
    クに設けられたシリンダの駆動に従って昇降する昇降板
    と、前記移送ブロックに挟持されるように昇降板に固定
    され、昇降板の上下動作をガイドするガイド棒と、前記
    昇降板の両側に設けられたフィンガシリンダの駆動によ
    って、それぞれ内側に縮むとか開けられるフィンガと構
    成されたことを特徴とする請求項４記載のモジュールＩ
    Ｃハンドラーのエレベーター部でパレットを循環させる
    装置。
  11. 【請求項１１】 パレットをローテーションポジション
    の上部から下部へ移送させるダウナーが垂直板に固定さ
    れたガイドレールに片持バリ形態に設けられたことを特
    徴とする請求項４記載のモジュールＩＣハンドラーのエ
    レベーター部でパレットを循環させる装置。
  12. 【請求項１２】 ダウナーを昇降させる第２駆動手段
    は、動力を発生させるモータと、前記モータの駆動プー
    リと従動プーリの間に巻きかけられたタイミングベルト
    と、前記ダウナーをタイミングベルトに固定する固定ブ
    ロックとことを特徴とする構成された請求項４記載のモ
    ジュールＩＣハンドラーのエレベーター部でパレットを
    循環させる装置。
  13. 【請求項１３】 分配手段は下死点に位置されたエレベ
    ーター板の上面と一致するように設けられたガイドレー
    ルと、前記ガイドレールの外側に固定されたまたほかの
    ガイドレールに沿い移動するスライダーと、前記スライ
    ダーの一側面に固定されガイドレールに載置されたパレ
    ットをローディング側又はアンローディング側エレベー
    ター部に押しつけるプッシャと、前記スライダーを駆動
    させる第３駆動手段と構成されたことを特徴とする請求
    項４記載のモジュールＩＣハンドラーのエレベーター部
    でパレットを循環させる装置。
  14. 【請求項１４】 ダウナーの上面の四つの角にパレット
    の位置を再決定する位置決定ブロックが固定されたこと
    を特徴とする請求項４記載のモジュールＩＣハンドラー
    のエレベーター部でパレットを循環させる装置。
  15. 【請求項１５】 ガイドレールの上面にベアリングが上
    向突出するように設けられ、パレットの底面がベアリン
    グに接続するように構成されたことを特徴とする請求項
    １３記載のモジュールＩＣハンドラーのエレベーター部
    でパレットを循環させる装置。
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