KR100262269B1 - 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치 - Google Patents
수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100262269B1 KR100262269B1 KR1019980014847A KR19980014847A KR100262269B1 KR 100262269 B1 KR100262269 B1 KR 100262269B1 KR 1019980014847 A KR1019980014847 A KR 1019980014847A KR 19980014847 A KR19980014847 A KR 19980014847A KR 100262269 B1 KR100262269 B1 KR 100262269B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- test tray
- fixed
- axes
- heating chamber
- cylinder
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2862—Chambers or ovens; Tanks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
- G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
- G01R31/2875—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to heating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
본 발명은 소자가 로딩된 테스트 트레이를 수직상태로 세운상태에서 1스탭씩 이송시키는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로 캐리어 모듈에 로딩된 소자를 테스트조건으로 히팅한 다음 이를 테스트부 싸이트의 가동레일로 공급하여 테스트를 실시할 수 있도록 구성하므로서, 장비의 크기 및 설치면적을 획기적으로 줄일 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 히팅챔버(12)의 전면판(40) 상하방향에 좌우 대칭되게 설치되어 회동운동하는 제 1, 3 축(41)(42)과, 상기 제 1, 3 축에 고정되며 테스트 트레이(1)의 양측면을 지지하거나, 지지상태를 해제하는 복수개의 걸림홈(47a)이 형성된 지지편(47)과, 상기 제 1, 3 축의 하방에 외팔보형태로 설치되고 일단이 푸싱판(56)에 고정되어 직선 왕복운동 및 회동운동하는 제 2, 4 축(54)(55)과, 상기 제 2, 4 축에 고정되며 테스트 트레이의 양측면을 지지하거나, 지지상태를 해제하는 복수개의 걸림홈(60a)이 형성된 지지편(60)과, 상기 제 3 축에 대향되게 설치되어 제 3 축의 회동운동시 좌우로 이동하는 가동트랙(48)과, 상기 제 1 내지 제 4 축을 회동시키거나, 제 2, 4 축을 진퇴시키는 구동수단으로 구성되어 있어 수평식 핸들러를 콤팩트하게 제작가능하게 됨은 물론 장비의 설치에 따른 점유면적이 최소화 된다.
Description
본 발명은 테스트 트레이의 캐리어 모듈에 매달린 소자를 테스트 조건으로 히팅하는 수평식 핸들러의 히팅챔버내에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 소자가 로딩된 테스트 트레이를 수직상태로 세운상태에서 1스탭씩 이송시키는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 TSOP 또는 μBGA와 같이 크기가 작은 소자를 테스트하는 수평식 핸들러는 도 1과 같은 구조의 테스트 트레이(1)에 테스트할 소자가 로딩된 상태에서 상기 테스트 트레이를 테스트 싸이트(test site)로 이송시켜 테스트를 실시하게 된다.
상기 테스트 트레이(1)는 사각틀형태의 프레임(2)과, 상기 프레임상에 유동가능하게 복수개 장착되며, 테스트할 소자가 로딩되는 캐비티(3)를 갖는 캐리어 모듈(4)로 구성된다.
도 2는 종래 수평식 핸들러의 일 예를 나타낸 사시도이고 도 3은 도 2의 A - A선 단면도이다.
여러개의 소자가 로딩된 테스트 트레이(1)를 수평 이동시키면서 소자의 성능을 테스트하는 수평식핸들러는 생산 완료된 소자가 담겨진 합성수지재의 고객트레이(5)가 복수개 적재되는 적재부(6)와, 상기 적재부에 적재되어 있던 최상측의 고객트레이(5)가 이동아암(7)에 의해 분리되어 안착되는 로딩부(8)와, 상기 로딩부에 얹혀져 있던 고객트레이로부터 로드 픽 플레이스장치가 복수개의 소자를 흡착하여 이송되어 옴에 따라 이송된 소자의 위치를 정렬하는 위치결정블럭(9)과, 상기 고객트레이(5)내에 담겨져 있던 소자를 위치결정블럭으로 이송시켜 위치를 정렬한 다음, 수평이동하여 테스트 트레이(1)에 로딩하거나, 테스트 트레이로부터 테스트 완료된 소자를 빈 고객트레이로 언로딩하는 로드 픽 및 플레이스장치(10)(11)와, 상기 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 이송시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 원하는 테스트온도가 되도록 가열시키는 히팅챔버(12)와, 상기 히팅챔버내에서 소자가 테스트조건에 알맞는 온도로 히팅되어 통로(13)를 통해 송출됨에 따라 테스트 트레이에 로딩된 소자를 소켓에 콘택트시켜 테스터와 전기적으로 통하여지도록 하는 테스트 싸이트(14)와, 상기 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 상승시키면서 일정온도조건에서 테스트완료된 소자를 상온으로 냉각시키는 냉각챔버(15)와, 상기 냉각챔버에서 빠져 나온 테스트 트레이가 얹혀지는 언로딩부(16)와, 상기 언로딩부에 얹혀진 테스트 트레이로부터 테스트결과에 따라 소자를 분류하여 적재하는 분류적재부(17)로 구성되어 있다.
상기한 바와 같은 수평식 핸들러를 이용하여 소자를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(4)에 로딩한 다음 이송시키는 과정을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
생산 완료된 소자가 담겨진 복수개의 고객트레이(5)를 적재부(6)상에 적재하여 놓으면 엘리베이터(18)에 의해 고객트레이가 1스탭씩 상승하게 되므로 로더캣쳐(19)가 하방으로 내려가 최상측에 위치한 고객트레이(5)를 홀딩하여 버퍼(20)의 상면에 위치시킨 후, 다음의 고객트레이를 홀딩하기 위해 초기상태로 환원된다.
이와 같이 1개의 고객트레이(5)가 로더캣쳐(19)에 의해 버퍼(20)의 상면에 위치하면 이동아암(7)이 상기 고객트레이(5)를 집어 로딩부(8)에 위치시킨다.
상기 로딩부(8)에 소자가 담겨진 고객트레이(5)가 위치되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(10)가 고객트레이에 담겨져 있던 1열의 소자를 진공으로 흡착한 다음 위치결정블럭(9)측으로 이송하여 소자의 위치를 테스트 트레이(1)에 장착된 캐리어 모듈의 캐비티와 일치되도록 정렬한다.
상기한 바와 같은 동작으로 소자의 위치가 정렬되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(10)가 위치결정블럭(9)내에 위치된 소자를 재흡착한 다음 테스트 트레이(1)의 상측으로 이동하여 흡착된 소자를 캐리어 모듈(4)의 캐비티내에 로딩하게 된다.
상기 로드 픽 및 플레이스장치(10)의 반복된 동작으로 테스트 트레이(1)에 장착된 복수개의 캐리어 모듈(4)에 테스트하고자 하는 소자가 전부 로딩되고 나면 레일(28)의 상면에 얹혀진 테스트 트레이(1)가 이송수단에 의해 히팅챔버(12)의 상측에 형성된 통로(22)를 통해 히팅챔버의 내부에 수평상태로 인입되어 엘리베이터(21)에 얹혀지게 된다.
상기 히팅챔버(12)의 엘리베이터(21)에 순차적으로 얹혀지는 테스트 트레이(1)는 하방으로 1스탭씩 이송되면서 테스트에 적합한 온도, 즉 소자가 제품에 적용된 상태에서 동작시 발열되는 온도로 히팅된 다음 테스트 트레이(1)가 히팅챔버(12)의 하방에 위치된 통로(13)를 통해 테스트 싸이트(14)로 이송되어 오면 테스트 트레이(1)를 하향구동시키는 수직 드라이브(23)가 하강하여 테스터 고정장치(24)에 의해 각 소자의 테스트신호를 중앙처리장치(CPU)에 제공하게 되므로 콘택트 소켓을 통해 결과신호가 출력되고, 이에 따라 테스터(도시는 생략함)에 의해 소자의 성능이 판단된다.
상기한 동작으로 테스트 트레이(1)에 얹혀진 소자의 테스트가 완료되고 나면 테스트 트레이는 냉각챔버(15)의 하방에 형성된 통로(25)를 통해 상기 냉각챔버의 엘리베이터(26)에 얹혀지게 되므로 1스탭씩 순차적으로 상승되면서 외부의 대기온도와 거의 동일한 온도로 서서히 냉각된다.
상기 테스트 트레이(1)는 냉각챔버(15)의 상방에 형성된 통로(27)를 통해 언로딩부(16)로 이송되므로 언로딩부에 설치된 로드 픽 및 플레이스장치(11)가 테스트 트레이(1)에 얹혀진 소자를 테스트결과에 따라 분류적재부(17)에 위치된 빈 고객트레이(1a)내에 분류하여 담게 된다.
테스트가 완료된 소자가 테스트 트레이(1)에서 전부 언로딩되고 나면 빈 테스트 트레이는 레일(28)을 따라 초기상태로 이송되므로 계속해서 소자(TSOP)를 테스트할 수 있게 된다.
상기한 바와 같은 수평식 핸들러에서 테스트조건에 따라 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(4)에 로딩된 소자를 히팅하는 히팅챔버(12)에서 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 이송시키는 종래의 구성은 다음과 같다.
도 4 및 도 5는 출원인에 의해 선출원되어 1998. 2. 27일 특허사정된 특허출원 94-37196호를 나타낸 것으로서, 도 4는 히팅챔버의 일부를 절결하여 나타낸 사시도이고 도 5는 도 4의 종단면도이다.
그 구성을 살펴보면, 히팅챔버(12)내의 테스트 트레이(1)를 지지하기 위한 제 1 안착편(29)이 상하로 나란히 형성된 적어도 2개 이상의 회동편(30)을 히팅챔버(12)의 내부 양측에 대향되게 축(31)으로 고정 설치하여 상기 회동편이 실린더(32a)의 직선왕복운동을 링크(33) 및 레버(34a)에 의해 회동운동으로 절환시키는 제 1 구동수단에 의해 연동되도록 하고 상기 회동편의 사이에는 회동편(30)의 제 1 안착편(29)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 하강시키기 위한 제 2 안착편(35)이 상하로 나란히 형성된 승강편(36)을 대향되게 설치하여 상기 승강편을 제 2 구동수단에 의해 2단으로 승강시키거나, 동시에 전후진시키도록 구성되어 있다.
따라서 승강편(36)에 형성된 제 2 안착편(35)이 회동편(30)의 제 1 안착편(29)보다 약간 상승된 초기상태에서 테스트 트레이(1)가 이송되어 제 2 안착편(35)의 상면에 얹혀지면 2단 실린더(37)가 작동하여 상판(38)을 약간 하강시키게 되므로 회동축(39)도 약간 하강하게 된다.
이에 따라, 회동축(39)에 승강편(36)이 연결되어 있어 상기 승강편에 형성된 제 2 안착편(35)이 회동편(30)에 형성된 제 1 안착편(29)보다 약간 하강하게 되므로 제 2 안착편(35)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)가 제 1 안착편(29)으로 옮겨지게 된다.
그 후, 실린더(32b)가 동작하여 회동축(39)을 회동시키면 상기 회동축(39)에 레버(34)로 연결된 승강편(36)이 레버(34b)의 연결부를 중심으로 테스트 트레이(1)와 간섭이 발생되지 않는 위치까지 후퇴된다.
상기 승강편(36)이 후퇴된 상태에서 2단 실린더(37)가 동작하여 상판(38)을 안착편사이의 높이인 1스탭을 상승시키면 승강편(36)의 최상부로부터 2번째 위치된 제 2 안착편(35)의 상부면이 제 1 안착편(29)에 얹혀진 테스트 트레이의 저면보다 하부에 위치되므로 승강편(36)이 테스트 트레이측으로 진입가능하게 된다.
이러한 상태에서 실린더(32b)의 로드가 초기상태로 당겨지면 테스트 트레이의 외측에 위치되어 있던 승강편(36)이 테스트 트레이의 하부로 진입되므로 승강편(36)의 최상부로부터 2번째 위치된 제 2 안착편(35)의 직상부에 약간의 간격을 두고 테스트 트레이가 위치된다.
그 후, 상기 히팅챔버(12)와 상판(38)사이에 설치된 2단 실린더(37)가 다시 동작하여 상판(38)을 상승시키면 회동축(39)에 연결된 승강편(36)이 상승되므로 제 1 안착편(29)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)가 제 2 안착편(35)으로 옮겨지게 된다.
즉, 히팅챔버(12)의 내부로 이송된 테스트 트레이(1)가 1스탭 상승 완료하게 되는 것이다.
그러나 이러한 종래의 장치는 히팅챔버(12)의 내부로 이송된 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 정확히 상승시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 균일한 온도로 히팅하는 잇점이 있으나, 테스트 트레이를 수평상태로 1스탭씩 상승시키기 때문에 히팅챔버를 반드시 테스트 싸이트(14)의 일측에 위치시켜야 되므로 장비의 크기가 커지게 되었고, 이에 따라 장비의 설치에 따른 점유면적을 많이 차지하게 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 히팅챔버를 테스트 싸이트의 직상부에 위치시키되 테스트 트레이를 수직상태로 세워 1스탭씩 이송시키면서 캐리어 모듈에 로딩된 소자를 테스트조건으로 히팅한 다음 이를 테스트부 싸이트의 가동레일로 공급하여 테스트를 실시할 수 있도록 구성하므로서, 장비의 크기 및 설치면적을 획기적으로 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 히팅챔버의 전면판 상하방향에 좌우 대칭되게 설치되어 회동운동하는 제 1, 3 축과, 상기 제 1, 3 축에 고정되며 테스트 트레이의 양측면을 지지하거나, 지지상태를 해제하는 복수개의 걸림홈이 형성된 지지편과, 상기 제 1, 3 축의 하방에 외팔보형태로 설치되고 일단이 푸싱판에 고정되어 직선 왕복운동 및 회동운동하는 제 2, 4 축과, 상기 제 2, 4 축에 고정되며 테스트 트레이의 양측면을 지지하거나, 지지상태를 해제하는 복수개의 걸림홈이 형성된 지지편과, 상기 제 3 축에 대향되게 설치되어 제 3 축의 회동운동시 좌우로 이동하는 가동트랙과, 상기 제 1 내지 제 4 축을 회동시키거나, 제 2, 4 축을 진퇴시키는 구동수단으로 구성된 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치가 제공된다.
도 1은 일반적인 테스트 트레이를 나타낸 평면도
도 2는 종래 수평식 핸들러의 일 예를 나타낸 사시도
도 3은 도 2의 A - A선 단면도
도 4는 종래 장치의 히팅챔버를 일부 절결하여 나타낸 사시도
도 5는 도 4의 종단면도
도 6은 본 발명의 히팅챔버를 나타낸 종단면도
도 7은 도 6의 횡단면도
도 8은 히팅챔버의 내부를 나타낸 사시도
도 9는 도 8의 평면도
도 10은 본 발명의 구동수단을 나타낸 사시도
도 11은 도 10의 측면도
도 12a 및 도 12b는 가동트랙의 동작설명도로서,
도 12a는 가동트랙이 테스트 트레이의 이송경로상에 위치된 상태도
도 12b는 가동트랙이 테스트 트레이의 이송경로 밖으로 벗어난 상태도
도 13a 내지 도 13e는 본 발명의 동작을 설명하기 위한 일부 정면도 및 평면도로서,
도 13a는 소자가 로딩된 테스트 트레이가 히팅챔버로 이송 완료된 상태도
도 13b는 제 1 실린더의 구동으로 제 1, 3 축이 회동된 상태도
도 13c는 제 3 실린더의 구동으로 테스트 트레이가 1스탭 이송된 상태도
도 13d는 제 1, 2 실린더의 구동으로 제 1, 3 축이 복원됨과 동시에 제 2, 4 축이 회동된 상태도
도 13e는 제 3 실린더의 구동으로 제 2, 4 축이 초기상태로 복원된 상태도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
12 : 히팅챔버 40 : 전면판
41 : 제 1 축 42 : 제 2 축
44, 57 : 고정블럭 45, 58 : 링크
46 : 제 1 실린더 47, 60 : 지지편
48 : 가동트랙 54 : 제 2 축
55 : 제 4 축 56 : 푸싱판
59 : 제 2 실린더 61 : 제 3 실린더
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 6 내지 도 13을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 히팅챔버를 나타낸 종단면도이고 도 7은 도 6의 횡단면도이며 도 8은 히팅챔버의 내부를 나타낸 사시도로서, 본 발명은 히팅챔버(12)의 전면판(40) 양측에 상하 방향으로 테스트 트레이(1)의 폭보다 약간 넓은 간격이 유지되게 제 1, 3 축(41)(42)이 설치되어 일단은 배면판(43)에 회전가능하게 지지되어 있고 전면판(40)의 외측으로 노출된 다른 일단에는 고정블럭(44)이 각각 고정되어 있으며 상기 고정블럭사이에는 도 7 및 10에 나타낸 바와 같이 제 1, 3 축(41)(42)이 연동되도록 링크(45)가 연결되어 있다.
상기 고정블럭(44) 중 상측에 위치된 고정블럭에는 전면판(40)에 일단이 회동가능하게 설치된 제 1 실린더(46)의 로드가 힌지 결합되어 있어 상기 제 1 실린더가 구동함에 따라 제 1, 3 축(41)(42)이 동일방향(상방)으로 동시에 회동하게 된다.
상기 제 1, 3 축(41)(42)의 상면에는 도 6 내지 도 9에 나타낸 바와 같이 테스트 트레이(1)의 양측면이 끼워져 지지되는 복수개의 걸림홈(47a)을 갖는 지지편(47)이 각각 고정되어 있다.
상기 지지편(47)에 형성된 걸림홈(47a) 중 전면판(40)에 근접된 걸림홈과 일치되는 제 3 축(42)에는 히팅챔버(12)의 내부로 공급되는 테스트 트레이(1)를 가이드하는 가동트랙(48)의 일단이 핀(49)을 중심으로 회동가능하게 설치되어 있고 상기 제 3 축(42)에 고정된 지지블럭(50)과 가동트랙(48)사이에는 가동트랙을 복원시키기 위한 스프링(51)이 연결되어 있는데, 상기 가동트랙(48)의 상향 돌출편(48a)은 가이드봉(52)에 고정된 스토퍼(53)에 의해 이동이 제어된다.
이는, 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 이송시키기 위해 지지편(47)을 회동시킬 때 가동트랙(48)을 테스트 트레이(1)의 외측으로 함께 이동시켜 간섭을 방지하기 위함이다.
상기 가이드봉(52)은 히팅챔버(12)내에 제 3 축(42)과 평행하게 설치되어 양단이 고정되어 있다.
상기 제 1, 3 축(41)(42)의 직하방에는 각각 제 2, 4 축(54)(55)이 외팔보형태로 설치되어 일단이 전면판(40)을 통해 푸싱판(56)과 고정되어 있고 상기 푸싱판과 전면판사이에 위치하는 제 2, 4 축(54)(55)에는 고정블럭(57)이 각각 고정되어 있으며 상기 고정블럭사이에는 제 1, 3 축과 마찬가지로 링크(58)가 연결되어 있다.
상기 고정블럭 중 상측에 위치된 고정블럭(57)에는 푸싱판(56)에 일단이 회동가능하게 설치된 제 2 실린더(59)의 로드가 힌지 결합되어 있어 상기 제 2 실린더가 구동함에 따라 제 2, 4 축(54)(55)이 동일방향(하방)으로 동시에 회동하게 된다.
상기 제 2, 4 축(54)(55)의 하면에는 제 1, 3 축(41)(42)과 마찬가지로 테스트 트레이(1)가 끼워지는 복수개의 걸림홈(60a)을 갖는 지지편(60)이 각각 고정되어 있는데, 제 1, 3 축(41)(42)에 고정된 지지편(47)과는 달리 제 2, 4 축(54)(55)에 고정되는 지지편(60)은 테스트 트레이(1)의 1스탭 이송거리만큼 짧게 형성되어 있다.
그리고 전면판(40)의 중심부에 제 3 실린더(61)가 설치되어 있고 상기 제 3 실린더의 로드는 푸싱판(56)과 고정되어 있으며 제 3 실린더(61)의 양측에 위치하는 전면판(40)에는 가이드봉(62)이 고정되어 있고 상기 푸싱판에는 상기 가이드봉이 끼워지는 가이드 부싱(63)이 고정되어 있어 제 3 실린더(61)가 구동함에 따라 푸싱판(56)이 가이드봉(62)에 안내되어 테스트 트레이(1)의 1스탭만큼 안정되게 전,후진 동작을 하게 된다.
또한, 전면판(40)의 내측에 위치하는 1번째 걸림홈(47a)의 직하방에는 도 8 및 도 9와 같이 소자가 로딩된 테스트 트레이(1)가 히팅챔버(12)의 내부로 이송될 때 개방되고, 히팅시에는 폐쇄하는 공급셔터(64)가 실린더(65)의 구동에 따라 개폐가능하게 설치되어 있고 배면판(43)의 내측에 위치하는 마지막 걸림홈(47a)의 직하방에는 히팅 완료된 테스트 트레이(1)를 테스트 싸이트(도시는 생략함)측으로 배출시 개방되는 송출셔터(66)가 실린더(67)의 구동에 따라 개폐가능하게 설치되어 있다.
상기 공급셔터(64) 및 송출셔터(66)는 각 실린더(65)(67)와 연결봉(68)(69)에 의해 연결되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 소자가 로딩된 테스트 트레이(1)가 히팅챔버(12)의 내부로 공급되기 전에 상기 히팅챔버를 소자의 테스트 조건으로 히팅함과 동시에 제 3 실린더(61)의 로드가 최대한 인출되어 제 2, 4 축(54)(55)이 전면판(40)측으로 이동되고, 상기 제 1 내지 제 4 축에 고정된 지지편(47)(60)은 상호 평행인 수평상태를 유지하고 있다.
이에 따라, 상기 제 3 축(42)에 설치된 가동트랙(48)이 도 12a와 같이 테스트 트레이(1)의 폭과 동일한 상태를 유지하고 있게 된다.
이러한 상태에서 실린더(65)의 구동으로 연결봉(68)으로 연결된 공급셔터(64)가 전진하여 공급통로가 개방됨과 동시에 소자가 로딩된 테스트 트레이가 엘리베이터역할을 하는 실린더(도시는 생략함)의 구동으로 로드에 얹혀져 히팅챔버(12)의 내부로 공급되면 상기 테스트 트레이(1)가 제 3 축(42)에 설치된 가동트랙(48)의 내부에 도 13a와 같이 삽입된다.
그 후, 개방되었던 공급셔터(64)가 닫히고 실린더의 로드가 하강하므로서 테스트 트레이(1)의 공급이 완료되는데, 상기 공급셔터(64)에는 로드의 승,하강시 간섭이 발생되지 않도록 절결부(64a)가 형성되어 있다.
상기한 바와 같은 동작으로 테스트 트레이(1)가 히팅챔버(12)의 내부로 공급되고 나면 테스트 트레이를 1스탭씩 송출측으로 이송시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 점진적으로 히팅시키게 된다.
도 13a와 같이 가동트랙(48)과 지지편(47)(60)의 첫 번째 걸림홈(47a)(60a)내에 끼워져 있던 테스트 트레이를 1스탭씩 이송시키는 과정을 구채적으로 설명하면 다음과 같다.
도 13a와 같은 상태에서 테스트 트레이(1)를 송출측으로 1스탭 이송시키기 위해서는 제 1, 3 축(41)(42)에 고정된 지지편(47)의 걸림홈(47a)을 테스트 트레이(1)의 수평이송시 간섭이 발생되지 않도록 회동시켜야 된다.
즉, 도 10에 나타낸 바와 같이 전면판(40)에 대칭되게 설치된 각 제 1 실린더(46)가 동작하여 로드를 전진시키면 링크(45)로 연결된 제 1, 3 축(41)(42)이 시계 또는 반시계방향으로 회동되므로 도 13b와 같이 지지편(47)에 형성된 걸림홈(47a)이 테스트 트레이(1)의 바깥측에 위치하게 된다.
상기한 바와 같은 동작시 제 3 축(42)에 핀(49)을 중심으로 회동가능하게 설치된 가동트랙(48)이 제 3 축(42)의 회동으로 외측으로 상호 이동할 때 상기 제 3 축에 고정된 지지블럭(50)과 가동트랙(48)사이에 설치된 스프링(51)이 인장되면서 가동트랙의 상측을 잡아 당기게 되므로 상향 돌출부(48a)가 스토퍼(53)를 따라 이동되고, 이에 따라 상기 가동트랙(48)은 일측으로 기울어지지 않고 도 12b와 같이 수평상태를 유지하면서 테스트 트레이(1)의 이송시 간섭이 발생되지 않도록 테스트 트레이의 폭보다 넓게 양측으로 벌어지게 된다.
이와 같이 제 1, 3 축(41)(42)에 고정된 지지편(47)이 회동됨과 동시에 제 3 축(42)에 설치된 가동트랙(48)이 테스트 트레이의 이송시 간섭이 발생되지 않도록 이동되고 나면 테스트 트레이(1)를 1스탭 이송시키기 위해 제 3 실린더(61)가 구동하여 푸싱판(56)을 잡아 당기게 된다.
상기 제 3 실린더(61)의 구동으로 푸싱판(56)이 히팅챔버(12)측으로 이동하면 상기 제 2, 4 축(54)(55)의 일단이 푸싱판(56)에 고정되어 있으므로 제 2, 4 축에 고정된 지지편(60)이 함께 이동하게 되고, 이에 따라 테스트 트레이(1)가 도 13c와 같이 1스탭 이송 완료된다.
상기한 바와 같이 푸싱판(56)의 이동으로 테스트 트레이(1)가 송출측으로 1스탭 이송될 때 푸싱판(56)에 고정된 가이드 부싱(63)이 전면판(40)에 고정된 가이드 봉(62)을 따라 이송되므로 테스트 트레이가 안정적으로 이송된다.
상기한 동작으로 테스트 트레이(1)가 1스탭 이동되고 나면 시계 또는 반시계방향으로 회동되었던 제 1, 3 축(41)(42)이 제 1 실린더(46)의 재구동에 의해 초기 상태로 환원되므로 테스트 트레이(1)는 상기 제 1, 3 축(41)(42)에 고정된 지지편(47)의 2번째 걸림홈(47a)내에 끼워지게 된다.
상기한 동작시 제 3 축(42)에 설치된 가동트랙(48)도 초기상태로 환원되므로 새로운 테스트 트레이가 공급셔터(64)의 개방으로 공급될 때 레일역할을 하게 된다.
이와 같이 테스트 트레이(1)가 2번째 걸림홈(47a)에 끼워지고 나면 제 2 실린더(59)가 구동하여 제 2, 4 축(54)(55)을 시계 또는 반시계방향으로 회동시키게 되므로 상기 제 2, 4 축에 고정된 지지편(60)의 걸림홈(60a)이 도 13d와 같이 테스트 트레이(1)의 바깥측에 위치하게 된다.
그 후, 푸싱판(56)을 잡아 당겼던 제 3 실린더(61)가 구동하여 푸싱판을 초기상태로 밀어내면 상기 푸싱판에 외팔보형태로 고정된 제 2, 4 축(54)(55)이 푸싱판(56)과 함께 테스트 트레이의 인입측으로 이동된다.
상기 제 2, 4 축(54)(55)이 이동되고 나면 제 2 실린더(59)가 동시에 동작하여 제 2, 4 축을 초기상태로 환원시키게 되므로 도 13e와 같이 지지편(60)에 형성된 2번째 걸림홈(60a)에 테스트 트레이(1)가 끼워지게 된다.
지금까지 설명한 것은 히팅챔버(12)의 내부로 인입된 테스트 트레이(1)를 1스탭 이송시키는 과정을 설명한것으로서, 이와 같이 테스트 트레이(1)를 1스탭 이송시키고 나면 새로운 테스트 트레이가 히팅챔버의 내부로 계속해서 인입되므로 인입되는 테스트 트레이를 전술한 바와 같은 동작으로 수직상태를 유지하면서 순차 이송시키게 된다.
계속되는 동작으로 배면판(43)에 근접된 송출셔터(66)까지 테스트 트레이(1)가 이송되고 나면, 즉 제 1, 3 축(41)(42)에 고정된 지지편(47)의 마지막 걸림홈(47a)상에 테스트 트레이(1)가 도달하면 송출 엘리베이터역할을 하는 실린더의 로드가 히팅챔버(12)의 내부로 상승하여 테스트 트레이의 저면을 받치고 있는 상태에서 실린더(67)의 구동으로 송출셔터(66)가 개방되므로 히팅 완료된 소자를 테스트 싸이트로 이송시킬 수 있게 되는 것이다.
이상에서와 같이 본 발명은 테스트 트레이를 수직상태로 세워 1스탭씩 이송시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 테스트 조건으로 히팅시킨 다음 테스트 싸이트로 공급할 수 있게 되므로 상기 히팅챔버를 테스트 싸이트의 직상부에 배치 가능하게 되고, 이에 따라 수평식 핸들러를 콤팩트하게 제작가능하게 됨과 동시에 장비의 설치에 따른 점유면적을 줄일 수 있게 된다.
Claims (6)
- 히팅챔버의 전면판 상하방향에 좌우 대칭되게 설치되어 회동운동하는 제 1, 3 축과, 상기 제 1, 3 축에 고정되며 테스트 트레이의 양측면을 지지하거나, 지지상태를 해제하는 복수개의 걸림홈이 형성된 지지편과, 상기 제 1, 3 축의 하방에 외팔보형태로 설치되고 일단이 푸싱판에 고정되어 직선 왕복운동 및 회동운동하는 제 2, 4 축과, 상기 제 2, 4 축에 고정되며 테스트 트레이의 양측면을 지지하거나, 지지상태를 해제하는 복수개의 걸림홈이 형성된 지지편과, 상기 제 3 축에 대향되게 설치되어 제 3 축의 회동운동시 좌우로 이동하는 가동트랙과, 상기 제 1 내지 제 4 축을 회동시키거나, 제 2, 4 축을 진퇴시키는 구동수단으로 구성된 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
- 제 1 항에 있어서,구동수단은 전면판에 설치되어 제 1, 3 축을 회동시키는 제 1 실린더와, 상기 전면판에 고정되어 제 1, 3 축의 일단이 고정된 푸싱판을 직선 왕복시키는 제 3 실린더와, 상기 푸싱판에 설치되어 제 2, 4 축을 회동시키는 제 2 실린더로 구성된 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
- 제 2 항에 있어서,각 제 1, 3 축의 일단에 고정된 고정블럭과, 상기 고정블럭사이에 제 1, 3 축이 연결되도록 힌지 결합된 링크와, 상기 전면판에 힌지 결합되어 로드가 어느 하나의 고정블럭에 힌지 결합된 제 1 실린더로 구성된 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 전면판과 푸싱판사이에 위치하는 제 2, 4 축에 고정된 고정블럭과, 상기 고정블럭사이에 제 2, 4 축이 연동되도록 힌지 결합된 링크와, 상기 푸싱판에 힌지 결합되어 로드가 어느 하나의 고정블럭에 힌지 결합된 제 2 실린더로 구성된 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 전면판에 고정된 제 3 실린더의 양측으로 위치되게 전면판에 고정된 가이드 봉과, 상기 푸싱판에 고정되어 가이드봉이 끼워지는 가이드부싱으로 구성되어 푸싱판의 직선운동을 안내하는 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
- 제 1 항에 있어서,각 제 3 축에 일단이 회동가능하게 설치된 가동트랙과, 상기 가동트랙과 제 3 축에 고정된 지지블럭사이에 설치되어 가동트랙이 수평 이동되도록 하는 스프링과, 상기 제 2, 3 축사이에 이들과 평행하게 설치된 가이드봉과, 상기 가이드봉에 설치되어 가동트랙의 상향 돌출편의 이동을 억제하는 스토퍼로 구성된 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980014847A KR100262269B1 (ko) | 1998-04-25 | 1998-04-25 | 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980014847A KR100262269B1 (ko) | 1998-04-25 | 1998-04-25 | 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990081111A KR19990081111A (ko) | 1999-11-15 |
| KR100262269B1 true KR100262269B1 (ko) | 2000-07-15 |
Family
ID=19536712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980014847A KR100262269B1 (ko) | 1998-04-25 | 1998-04-25 | 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100262269B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100642811B1 (ko) | 2004-05-28 | 2006-11-03 | 에스티에스 주식회사 | 트레이 공급장치 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100367994B1 (ko) * | 2001-03-28 | 2003-01-14 | 미래산업 주식회사 | 핸들러의 트레이 이송장치 |
| KR100855203B1 (ko) * | 2007-01-23 | 2008-09-01 | 미래산업 주식회사 | 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 |
-
1998
- 1998-04-25 KR KR1019980014847A patent/KR100262269B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100642811B1 (ko) | 2004-05-28 | 2006-11-03 | 에스티에스 주식회사 | 트레이 공급장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990081111A (ko) | 1999-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100287558B1 (ko) | 모듈아이씨핸들러의엘리베이터부에서팔레트를순환시키는방법및그장치 | |
| KR0129406B1 (ko) | 반도체 웨이퍼처리장치 | |
| KR101767663B1 (ko) | 기판 제조 설비 및 기판 제조 방법 | |
| KR100959372B1 (ko) | 반도체 소자 이송장치, 핸들러, 및 반도체 소자 제조방법 | |
| KR102226072B1 (ko) | 챔버 내 모듈 ic 그립핑장치 | |
| JP3567803B2 (ja) | Ｉｃデバイスの試験装置 | |
| WO2010150531A1 (ja) | 保管庫 | |
| KR101508516B1 (ko) | 인라인 테스트 핸들러 | |
| KR100938170B1 (ko) | 핸들러, 테스트트레이 이송방법, 및 반도체 소자 제조방법 | |
| KR0141351B1 (ko) | 트레이의 운반 방법 및 장치 | |
| KR100262269B1 (ko) | 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치 | |
| KR100273984B1 (ko) | 수평식핸들러의냉각챔버내에서의테스트트레이이송장치 | |
| KR100901977B1 (ko) | 핸들러, 이를 이용하는 반도체 소자 제조방법, 및테스트트레이 이송방법 | |
| US5441380A (en) | Method and apparatus for conveying trays | |
| KR101007934B1 (ko) | 테스트 트레이 이송 방법 및 장치 | |
| KR100522084B1 (ko) | 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치 | |
| JP4096404B2 (ja) | 半導体製造装置における外部設置型ロードポート装置 | |
| KR100392389B1 (ko) | 반도체디바이스 검사장치용 유저트레이 적재장치 | |
| JP3792868B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| KR19990084242A (ko) | 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는방법 및 그 장치 | |
| JP2000233832A (ja) | 収納体処理装置 | |
| KR101448527B1 (ko) | 테스트 트레이 보관장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러 | |
| KR20130071075A (ko) | 고온의 반도체 소자의 고속 테스트용 핸들러 | |
| KR100297392B1 (ko) | 번인 테스터용 소팅 핸들러의 번인보드 센터링장치 | |
| KR102270758B1 (ko) | 모듈 ic 핸들러의 모듈 ic 테스트장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130115 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140403 Year of fee payment: 15 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |