KR100522084B1 - 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치 - Google Patents

핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100522084B1
KR100522084B1 KR10-2000-0061944A KR20000061944A KR100522084B1 KR 100522084 B1 KR100522084 B1 KR 100522084B1 KR 20000061944 A KR20000061944 A KR 20000061944A KR 100522084 B1 KR100522084 B1 KR 100522084B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
seating plate
plate
handler
loading
Prior art date
Application number
KR10-2000-0061944A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20020031459A (ko
Inventor
이기현
김두철
송기영
신동진
Original Assignee
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미래산업 주식회사 filed Critical 미래산업 주식회사
Priority to KR10-2000-0061944A priority Critical patent/KR100522084B1/ko
Publication of KR20020031459A publication Critical patent/KR20020031459A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100522084B1 publication Critical patent/KR100522084B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 핸들러의 트레이 로딩/언로딩장치에 관한 것으로, 본 발명의 트레이 로딩/언로딩장치는, 핸들러 하우징에서 인출 및 인입 가능하도록 핸들러 하부에 전후로 이동가능하게 설치되어, 다수의 트레이가 적층된 상태로 안착되도록 된 트레이 안착판과; 상기 안착판의 후방에 수직하게 설치된 나란한 한 쌍의 가이드레일과; 상기 가이드레일을 따라 상하로 승강가능하도록 되고 그 위에 트레이가 안착되도록 된 승강판과; 상기 승강판을 상하로 구동시키기 위한 구동수단과; 상기 승강판에 의한 트레이의 승강동작시 트레이의 각 모서리부분을 이동가능하게 지지하도록 'L'자형상의 단면을 가지며, 안착판의 각 모서리부분에 대각선방향으로 이동가능하도록 설치된 가이드바아와; 상기 안착판의 하부 양측면과 결합되도록 설치되어 상기 안착판을 전후진 가능하게 지지하도록 된 슬라이드팩과, 상기 안착판과 결합되어 안착판을 전후진시키는 구동부재를 포함하여 구성되어, 상기 안착판을 전후진 이동시키는 이동수단을 포함하여 구성된다.

Description

핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치{Loading/unloading apparatus for handler}
본 발명은 핸들러에서 트레이를 로딩 및 언로딩하는 트레이 로딩/언로딩장치에 관한 것으로, 특히 모듈램(Module RAM)을 직접 실장하여 테스트하는 모듈램 실장 테스트 핸들러에서 상기 모듈램이 수납되는 트레이를 핸들러 상에 자동으로 로딩 및 언로딩하는 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치에 관한 것이다.
일반적으로, 모듈램은 복수개의 아이씨(IC) 및 기타 소자를 하나의 기판상에 납땜 고정하여 독립적인 회로를 구성한 것으로, 이러한 모듈램은 마더보드에 실장되는 여러가지의 부품들 중에서 매우 중요한 역할을 하기 때문에 사용하기 전에 전용 핸들러에 의해 보다 정밀하게 이상상태를 점점하는 과정을 반드시 거쳐야 함은 필수적이다.
첨부된 도면의 도 1은 상기와 같은 모듈램을 마더보드에 직접 실장하여 테스트하기 위한 모듈램 실장 테스트 핸들러의 구성을 나타낸 것이다.
모듈램 실장 테스트 핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 모듈램(module RAM)이 다수 수납된 상태의 트레이(3a)가 2열로 수직 적층되어 있는 로딩부(3)와, 핸들러의 베이스(2) 상에 설치되어 상기 로딩부(3)의 트레이(3a)에 수납되어 있는 모듈램을 받아 쇼트 검사 등의 테스트를 일차적으로 수행하는 1차 테스트부(미도시)와, 상기 1차 테스트부의 일측에 설치되어 1차 테스트에서 불량이 발견될 경우 테스트된 모듈램의 상태에 따라 량품과 불량품으로 분리시켜 일시 저장하도록 된 버퍼부(미도시)와, 실장 테스트를 위한 다수의 마더보드를 구비하여 상기 1차 테스트부에서 일차적으로 테스트된 모듈램을 상기 마더보드에 실장한 후 테스트를 수행하는 2차 테스트부(7)와, 상기 2차 테스트부(7)에서 테스트완료된 모듈램 중 양품으로 판정된 모듈램이 장착되게 되는 트레이(4a)들이 적재되는 언로딩부(4)와, 테스트 결과 불량품 또는 재검사품 등으로 판정된 모듈램을 분류 수납하는 트레이(8a)들이 적재되어 있는 리젝트부(8) 및, 모듈램을 상기 로딩부(3)에서 1차 테스트부와, 2차 테스트부(7), 언로딩부(4) 등의 각 구성부들로 이송하기 위한 피커로봇(10)을 구비한다.
그리고, 상기 언로딩부(4)의 바로 측면부에는 상기 로딩부(3)의 트레이(3a) 내의 모듈램을 모두 2차 테스트부(7)로 이송한 후 비게 되는 공트레이를 적재하게 되는 공트레이적재부(6)가 설치되고, 상기 공트레이적재부(6)의 바로 상부에는 상기 언로딩부(4)로 테스트 완료된 양품 모듈램들을 수납하기 위한 빈 트레이들을 적재하여 공급하는 공트레이공급부(5)가 설치된다.
또한, 핸들러의 베이스(2)에는 상기 로딩부(3)와 언로딩부(4)의 바로 상부 위치 각각에 로딩부(3)로부터 이송되어 온 모듈램이 수납된 트레이(3a)와 상기 공트레이적재부(6)에서 이송되어 온 빈 트레이(4a)가 적재되는 로딩대기부(2a) 및 언로딩대기부(2b)가 설치되어 있는 바, 상기 로딩대기부(2a)에서는 상측의 피커로봇(10)이 트레이(3a) 내의 모듈램을 집어서 1차테스부(미도시)로 이송하는 작업이 수행되고, 상기 언로딩대기부(2b)에서는 2차테스부(7)를 거쳐 테스트완료되어 양품으로 판정된 모듈램들이 상기 피커로봇(10)에 의해 이송되어 트레이(4a)에 재장착되는 작업이 수행된다.
상기 언로딩대기부(2b)에서 양품 모듈램들이 트레이(4a) 내에 모두 장착되면 이 트레이(4a)는 하부의 언로딩부(4)에 차례로 적재된다.
여기서, 상기 로딩부(3)와 언로딩부(4)와 공트레이적재부(6) 및 공트레이공급부(5)는 핸들러의 전방측에서 트레이 적재부를 이루게 된다.
상기와 같은 트레이 적재부에 있어서, 모듈램들은 트레이에 수납된 상태로 핸들러의 로딩부(3)와 언로딩부(4)에 각각 로딩 및 언로딩되는 바, 상기 로딩부(3)와 언로딩부(4)에서는 트레이들이 승강수단에 의해 상하로 승강작동하며 상측으로 1개씩의 트레이가 공급되거나 혹은 상측에서부터 1개씩의 트레이를 공급받으면서 모듈램의 로딩 및 언로딩이 이루어지게 된다.
그러나, 종래의 모듈램 실장 테스트 핸들러의 트레이 적재부에서는 상기 로딩부(3)와 언로딩부(4)의 트레이들을 상측으로 순차적으로 공급하거나 또는 하측으로 공급받기 위한 승강수단이 효율적으로 구성되지 못함으로 인하여 작업이 원활하게 이루어지지 않을 뿐만 아니라, 로딩부와 언로딩부에 한번에 적재할 수 있는 트레이의 개수 또한 적어 테스트의 효율이 저하되는 문제점이 있었다.또한, 종래의 핸들러의 트레이 적재부는 트레이를 안내하고 지지하는 부재의 가변이 불가능하기 때문에 크기가 다른 종류의 트레이를 사용할 수 없는 문제점을 안고 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 핸들러의 로딩부와 언로딩부에서 트레이의 승강동작이 원활하게 이루어짐과 더불어, 한 번에 많은 개수의 트레이를 적재할 수 있도록 하여 작업의 효율성을 증대시키고, 트레이를 지지하는 부재의 간격을 트레이의 크기에 따라 용이하게 조절할 수 있도록 하여 구성부품의 해체나 교체없이 크기가 다른 종류의 트레이들을 용이하게 사용할 수 있도록 한 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 핸들러 하우징에서 인출 및 인입 가능하도록 핸들러 하부에 전후로 이동가능하게 설치되어, 다수의 트레이가 적재된 상태로 안착되도록 된 트레이 안착판과; 상기 트레이 안착판에 안착되어 있는 트레이를 상하로 단계적으로 승강시키기 위한 승강수단과; 상기 승강장치에 의한 트레이의 승강동작시 트레이의 승강이동을 안내하도록 상기 안착판 상에 설치되는 가이드부재와; 상기 안착판을 전후진 이동시키기 위한 이동수단을 포함하여 구성된 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치를 제공한다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 승강수단은 상기 안착판의 후방에 수직하게 설치된 나란한 한 쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 상하로 승강가능하도록 되고 그 위에 트레이가 안착되도록 된 승강판과, 상기 승강판을 상하로 구동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성되며, 상기 구동수단은 전동모터와, 이 전동모터에 스프라킷으로 연결됨과 더불어 일편이 상기 승강판의 후방부와 결합되어 전동모터에 의해 상하로 구동되며 승강판을 승하강시키는 체인으로 이루어진다.
또한, 본 발명의 다른 형태에 따르면, 상기 구동수단은 전동모터와, 이 전동모터에 연결됨과 더불어 상기 승강판의 후방부와 결합되어 전동모터에 의해 구동되며 승강판을 승하강시키는 볼스크류로 이루어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 상기 가이드부재는 상기 안착판 상에 안착되는 트레이의 각 모서리부분을 이동가능하게 지지하도록 'L'자형상의 단면을 가지며 안착판의 각 모서리부분에 설치된 가이드바아로 이루어져, 상기 안착판 상에 안착되는 트레이의 크기에 따라 상기 안착판 상에서 대각선방향으로 이동가능하도록 된 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 이동수단은 상기 안착판의 하부 양측면에 설치되어 상기 안착판을 전후진 가능하게 지지하도록 된 슬라이드팩과, 상기 안착판과 결합되어 안착판을 전후진시키는 구동부재를 포함하여 구성된다.
이하, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2와 도 3은 본 발명에 따른 트레이 로딩/언로딩장치의 구성을 나타낸 것으로, 핸들러의 전방에 설치되는 로딩부(3; 도 1참조)와 언로딩부(4; 도 1참조) 및 공트레이적재부(6; 도 1참조)의 하단부에는 다수개의 트레이(20)가 적층된 상태로 안착되는 안착판(101)이 구비되어 있는데, 이 안착판(101)은 그의 중앙부에 후방에서부터 개방된 개방홈(101a)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 안착판(101)은 그의 하부 양측면부에 슬라이드팩(108)이 설치되어 있으며, 안착판(101)의 하부에는 안착판(101)의 하부면과 결합된 작동실린더(109), 예컨대 로드레스실린더(rodless cylinder)가 설치되어 있는 바, 상기 안착판(101)은 상기 작동실린더(109)의 작동에 의해 슬라이드팩(108)을 따라 전후로 이동하며 핸들러에서 인출 및 인입 가능하도록 되어 있다.
그리고, 상기 안착판(101)의 바로 후방부에는 안착판(101) 상에 안착되는 트레이를 상하로 승강시키기 위한 승강수단이 장착되는 바, 이 승강수단은 안착판(101) 후방에 수직하게 설치된 엘엠가이드(106)와, 이 엘엠가이드(106)와 결합되어 엘엠가이드(106)를 따라 상하로 승강가능하도록 된 승강판(102)으로 구성되며, 상기 승강판(102)은 상기 안착판(101)의 개방홈(101a)과 상응하는 형상으로 형성되어 개방홈(101a)을 관통하며 승강할 수 있게 되어 있다.
또한, 상기 승강판(102)의 후방부는, 로딩부(3; 도 1참조)와 언로딩부(4; 도 1참조)의 후방 상단부에 설치된 전동모터(104)와 스플라킷(104a)을 매개로 연결되어 전동모터(104)의 작동에 의해 상하로 구동하도록 된 체인(105)의 일편과 고정되게 결합된다.
따라서, 상기 승강판(102)은 상기 전동모터(104)의 작동에 의한 체인(105)의 구동에 따라 엘엠가이드(106)를 따라서 상하로 승강하게 된다.
한편, 상기 안착판(101)상의 각 모서리부에는 상기 승강판(102)에 승강작동에 의해 트레이 상하로 승강할 때 트레이의 각 모서리부를 이동가능하게 지지하며 트레이의 이동을 안내하도록 'L'자형 단면을 갖는 가이드바아(103)가 수직하게 설치되는데, 여기서 상기 가이드바아(103)들의 하단부는 안착판(101)의 모서리부위에 대각선방향으로 설치되는 엘엠가이드(107) 상에 설치되어 이 엘엠가이드(107)를 따라 이동가능하게 됨으로써, 상기 안착판(101) 상에 안착되는 트레이(20)의 크기에 따라 가이드바아(103)들의 간의 간격이 가변될 수 있도록 되어 있다.
이하, 상기와 같이 구성된 트레이 로딩/언로딩장치의 작동에 대해 설명한다.
먼저, 핸들러의 로딩부(3; 도 1참조)에서의 작동에 대해 설명하면, 핸들러의 작동 개시전에 사용자가 테스트할 모듈램이 수납되어 있는 트레이들을 로딩부(3)에 로딩시키는 작업을 수행하게 되는데, 이를 위해 사용자가 핸들러에 마련된 안착판 인출버튼(미도시)을 누르면 상기 안착판(101) 하부의 작동실린더(109)에 의해 슬라이드팩(108)을 따라 핸들러 전방으로 인출되고, 사용자는 트레이(20)들을 적층된 상태로 상기 안착판(101)에 안착시키면 된다.
이 때, 사용자는 상기 안착판(101)에 안착되는 트레이(20)의 크기에 따라 가이드바아(103)들을 엘엠가이드(107)를 따라서 대각선방향으로 이동시켜 가이드바아(103)들 간의 간격을 조절할 수 있다.
상기와 같이 안착판(101) 상에 트레이(20)들을 적재한 다음 핸들러에 마련된 안착판 인입버튼(미도시)을 누르면 다시 작동실린더(109)에 의해 안착판(101)이 후진하여 핸들러 내로 인입된다.
이어, 핸들러의 작동이 개시되면, 전동모터(104)의 작동에 의해 체인(105)이 구동하면서 승강판(102)이 엘엠가이드(106)를 따라 소정 간격씩 단계적으로 상승하게 되고, 이에 따라 트레이(20)들이 단계적으로 상승하게 된다.
이 때, 로딩부 상단에 별도로 설치된 트레이 트랜스퍼(미도시)에 의해 가장 상측의 트레이(20)부터 순차적으로 로딩부(3) 상부로 이송되어, 트레이 내의 모듈램들이 로딩되면서 테스트가 수행되고, 모듈램이 모두 인출된 트레이들은 공트레이적재부(6; 도 1참조)로 이송된다.
상기 로딩부(3)의 트레이들이 모두 배출되면 상기 승강판(102)은 다시 안착판(101) 위치로 하강하여 초기 상태로 복귀한다.
상기와는 반대로, 언로딩부(4; 도 1참조)와 같이 로딩/언로딩장치가 상측에서부터 트레이들을 하나씩 공급받는 경우, 로딩/언로딩장치는 상기와는 반대로 동작하게 된다.
즉, 핸들러의 작동 초기에 로딩/언로딩장치의 승강판(102)은 최상부로 이동한 상태로 대기하고 있다가 승강판(102) 위에 테스트완료된 모듈램들이 수납된 트레이가 하나씩 공급될 때마다 한 단계씩 하부로 하강하며 트레이를 공급받게 된다.
이어서, 언로딩부(4)에서 트레이의 적재가 완료되면 안착판(101)을 핸들러에서 인출하여 적재된 트레이들을 빼내어 출하장소로 송출하면 된다.
그런 다음, 다시 안착판(101)을 핸들러 내로 인입하면 상기 승강판(102)은 초기의 최상단 위치로 상승하여 다음 트레이를 공급받을 준비를 하게 되는 것이다.
공트레이적재부(6)에서도 본 발명의 로딩/언로딩장치는 상기와 동일하게 적용된다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따르면 간단한 구성으로 핸들러의 로딩부와 언로딩부에 트레이의 적재 및 공급이 원활하게 이루어질 수 있을 뿐만 아니라, 트레이들이 적층상태로 적재될 수 있으므로 기존에 비하여 한번에 적재할 수 있는 트레이의 개수가 증가하게 되어 테스트효율이 향상된다.
도 1은 일반적인 모듈램 실장 테스트 핸들러의 주요 구성을 나타낸 측면도
도 2는 본 발명에 따른 트레이 로딩/언로딩장치의 주요 구성을 나타내기 위하여 일부분을 생략하여 나타낸 사시도
도 3은 도 2의 트레이 로딩/언로딩장치의 평면도
* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *
20 - 트레이 101 - 안착판
102 - 승강판 103 - 가이드바아
104 - 전동모터 105 - 체인
106 - 엘엠가이드 107 - 엘엠가이드
108 - 슬라이드팩 109 - 작동실린더

Claims (8)

  1. 핸들러 하우징에서 인출 및 인입 가능하도록 핸들러 하부에 전후로 이동가능하게 설치되어, 다수의 트레이가 적층된 상태로 안착되는 트레이 안착판과;
    상기 트레이 안착판에 안착되어 있는 트레이를 상하로 단계적으로 승강시키기 위한 승강수단과;
    상기 안착판 상의 각 모서리부분에 대각선방향으로 설치된 엘엠가이드와;
    상기 승강수단에 의한 트레이의 승강시 트레이의 각 모서리 부분을 이동가능하게 지지하며 안내하도록 'L'자형 단면을 가지며, 상기 안착판 상에 안착되는 트레이의 크기에 따라 상호간의 간격 조절이 가능하도록 상기 엘엠가이드를 따라 대각선 방향으로 이동가능하게 설치되는 복수개의 가이드바아와;
    상기 안착판의 인입 및 인출을 위해 안착판을 전후진 이동시키기 위한 이동수단을 포함하여 구성된 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 승강수단은 상기 안착판의 후방에 수직하게 설치된 나란한 한 쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 상하로 승강가능하도록 설치되고 그 위에 트레이가 안착되도록 된 승강판과, 상기 승강판을 상하로 구동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 구동수단은 전동모터와, 이 전동모터에 스프라킷을 매개로 연결됨과 더불어 일편이 상기 승강판의 후방부와 결합되어 전동모터에 의해 상하로 구동되며 승강판을 승하강시키는 체인으로 이루어진 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 구동수단은 전동모터와, 이 전동모터에 연결됨과 더불어 상기 승강판의 후방부와 결합되어 전동모터에 의해 구동되며 승강판을 승하강시키는 볼스크류로 이루어진 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 안착판의 하부 양측면과 결합되도록 설치되어 상기 안착판을 전후진 가능하게 지지하도록 된 슬라이드팩과, 상기 안착판과 결합되어 안착판을 전후진시키는 구동부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 구동부재는 상기 안착판의 하부에서 안착판과 결합된 로드레스실린더인 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치.
  8. 핸들러 하우징에서 인출 및 인입 가능하도록 핸들러 하부에 전후로 이동가능하게 설치되어, 다수의 트레이가 적층된 상태로 안착되도록 된 트레이 안착판과;
    상기 안착판의 후방에 수직하게 설치된 나란한 한 쌍의 가이드레일과;
    상기 가이드레일을 따라 상하로 승강가능하도록 되고 그 위에 트레이가 안착되도록 된 승강판과;
    상기 승강판을 상하로 구동시키기 위한 구동수단과;
    상기 승강판에 의한 트레이의 승강동작시 트레이의 각 모서리부분을 이동가능하게 지지하도록 'L'자형상의 단면을 가지며, 안착판의 각 모서리부분에 대각선방향으로 설치되는 가이드레일을 따라 대각선 방향으로 이동가능하도록 설치된 가이드바아와;
    상기 안착판의 하부 양측면과 결합되도록 설치되어 상기 안착판을 전후진 가능하게 지지하도록 된 슬라이드팩과, 상기 안착판과 결합되어 안착판을 전후진시키는 구동부재로 구성되어, 상기 안착판을 전후진 이동시키는 이동수단을 포함하여 구성된 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치.
KR10-2000-0061944A 2000-10-20 2000-10-20 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치 KR100522084B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0061944A KR100522084B1 (ko) 2000-10-20 2000-10-20 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0061944A KR100522084B1 (ko) 2000-10-20 2000-10-20 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020031459A KR20020031459A (ko) 2002-05-02
KR100522084B1 true KR100522084B1 (ko) 2005-10-18

Family

ID=19694588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2000-0061944A KR100522084B1 (ko) 2000-10-20 2000-10-20 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100522084B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190023621A (ko) * 2017-08-29 2019-03-08 (주)상아프론테크 가변식 카세트

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100464792B1 (ko) * 2001-06-12 2005-01-05 이근우 트레이 취출장치
KR100588234B1 (ko) * 2005-01-24 2006-06-09 주식회사 프로텍 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러
KR101911958B1 (ko) * 2012-08-31 2018-10-25 세메스 주식회사 커스터머 트레이 스택커
KR101948522B1 (ko) * 2017-06-05 2019-04-29 홍승환 사이즈 조절이 가능한 웨이퍼용 매거진
KR102550159B1 (ko) * 2018-07-13 2023-07-03 삼성전기주식회사 기판 수납용 매거진
KR102129818B1 (ko) * 2018-12-10 2020-07-03 주식회사 엠플러스 이차전지 극판 적재 분리형 매거진
KR102623922B1 (ko) * 2021-04-12 2024-01-11 주식회사하이셈테크놀로지 플렉서블 배터리 적재용 매거진

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190023621A (ko) * 2017-08-29 2019-03-08 (주)상아프론테크 가변식 카세트
KR101998121B1 (ko) * 2017-08-29 2019-07-09 (주)상아프론테크 가변식 카세트

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020031459A (ko) 2002-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107533102B (zh) 元件处理器
US20130309051A1 (en) Storage device
KR100522084B1 (ko) 핸들러용 트레이 로딩/언로딩장치
KR100401014B1 (ko) 테스트 핸들러
KR20090006308A (ko) 테스트 장치
JPS60153308A (ja) プリント板給排装置
KR20000065749A (ko) 번인테스터용 소팅 핸들러
KR101007934B1 (ko) 테스트 트레이 이송 방법 및 장치
TWI393901B (zh) 工件搬運裝置
KR101103289B1 (ko) 번인 소터 및 그 동작 방법
KR100380962B1 (ko) 반도체 소자 실장 테스트 핸들러
KR20060008844A (ko) 모듈 아이씨(ｉｃ)의 외관검사 방법 및 그 장치
KR100337570B1 (ko) 모듈아이씨 적재 트레이 순환 이송시스템
KR100487066B1 (ko) 핸들러용 트레이 다중 적재장치
KR100496631B1 (ko) 전자부품 공급방법
KR20110025160A (ko) 소자소팅장치
KR100283433B1 (ko) 모듈 아이씨 핸들러의 캐리어 핸들링 장치 및 그 방법
KR100344240B1 (ko) 불량모듈아이씨수거 트레이 이송장치
KR20010049215A (ko) 모듈램 실장 테스트 핸들러 및 이를 이용한 모듈램 테스트방법
KR102637352B1 (ko) 트레이 이송장치 및 이를 포함하는 세라믹기판의 자동분할시스템
KR100914923B1 (ko) 워크 핸들링 장치
JPH0134885B2 (ko)
KR200302342Y1 (ko) 기판 모듈 검사 장치의 테스터
JP7271673B2 (ja) 作業機、および部品搬送方法
KR100732529B1 (ko) 벌크 방식의 테스터 핸들러 로더/언로더

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20031226

Effective date: 20050823

S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121005

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131002

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141002

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee