KR20190023621A - 가변식 카세트 - Google Patents

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KR20190023621A KR1020170109630A KR20170109630A KR20190023621A KR 20190023621 A KR20190023621 A KR 20190023621A KR 1020170109630 A KR1020170109630 A KR 1020170109630A KR 20170109630 A KR20170109630 A KR 20170109630A KR 20190023621 A KR20190023621 A KR 20190023621A
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Abstract

본 발명은 가변식 카세트에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 하부판과 상기 하부판의 모서리 영역에 위치하며, 서로 조합되어 내부에 기판이 놓이는 수용 공간을 형성하는 복수개의 외측 지지부를 포함하는 지지 부재와 상기 외측 지지부 내에 위치하며, 상기 하부판에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 하부판과 결합이 해제 시 상기 외측 지지부와 함께 이동되어 상기 수용 공간을 ?히거나 줄이도록 제공되는 가변 부재를 포함하는 가변식 카세트를 포함한다.

Description

가변식 카세트{Clearance adjusting cassette for substrate}
본 발명은 가변식 카세트에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기판의 크기에 따라서 크기 변경이 가능한 가변식 카세트에 관한 것이다.
평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판 또는 웨이퍼 등은 외부의 작은 충격에도 손상될 우려가 있다. 따라서 이러한 기판을 다량 운반하는 경우 기판 또는 웨이퍼 사이의 간격을 두고 수납할 수 있는 기판 적재용 카세트에 의해 보관되거나 운반된다.
한편, 기판은 그 용도 및 제조 공정에 따라서 다양한 기판이 존재한다. 예를 들어, 원형의 기판의 경우, 그 용도에 따라서 직경이 상이할 수 있다.
그러나, 종래의 기판 적재용 카세트의 경우 그 크기가 고정되어 다양한 사이즈의 기판을 운반하는 경우, 그 사이즈에 맞는 기판 적재용 카세트를 제작해야 하는 문제점이 있다.
또한, 사이즈에 맞는 기판 적재용 카세트를 제작하는 비용 및 사이즈에 따른 다양한 기판 적재용 카세트를 구비하여야 하여 그 비용 및 운반 시 번거로움이 존재한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 기판의 크기에 따라서 기판이 수용되는 공간의 크기 변경이 가능한 가변식 카세트를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판을 적재할 수 있는 가변식 카세트를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 가변식 카세트는 하부판과 상기 하부판의 모서리 영역에 위치하며, 서로 조합되어 내부에 기판이 놓이는 수용 공간을 형성하는 복수개의 외측 지지부를 포함하는 지지 부재와 상기 외측 지지부 내에 위치하며, 상기 하부판에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 하부판과 결합이 해제 시 상기 외측 지지부와 함께 이동되어 상기 수용 공간을 넓히거나 줄이도록 제공되는 가변 부재를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 외측 지지부를 상기 하부판의 대각선 방향으로 이동시켜 상기 수용 공간을 넓히거나 줄이도록 상기 가변 부재와 상기 하부판의 결합을 해제시키는 해제 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 가변 부재는 베이스홈이 형성된 베이스와;
상기 베이스홈에 삽입되는 고정바와 그리고 상기 고정바에 형성된 탄성홈에 삽입되는 탄성부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 하부판에는 복수개의 고정홈이 상기 하부판의 모서리 영역에 형성되며, 상기 하부판의 어느 한 모서리 영역에 형성된 복수개의 고정홈은 상기 하부판의 대각선 방향으로 일정 간격 이격되어 위치할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 고정바에는 상기 탄성홈이 형성된 반대면에 위치하며, 상기 하부판을 향하는 방향으로 돌출 형성되며, 상기 복수개의 고정홈 어느 하나에 삽입되어 상기 하부판과 가변 부재를 결합시키는 고정 돌기를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 가변 부재는 상기 외측 지지부와 대응되는 개수로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 해제 부재는 상기 지지 부재가 놓이는 해제판과 상기 해제판에 복수개가 형성되며 상기 하부판의 고정홈과 대응되는 위치에 배치되며 상기 외측 지지부를 향하는 방향으로 형성된 해제 돌기를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 해제 부재는 상기 고정홈에 삽입되어 상기 고정홈과 상기 고정 돌기의 결합을 해제하는 해제바와 상기 해제바를 상기 고정홈의 내측 방향으로 이동시키도록 상기 해제바를 이동시키는 해제바 구동부와 그리고 상기 해제바 구동부를 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 수용 공간에는 상부에 기판이 놓이는 기판 지지 플레이트가 위치할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 가변식 카세트는 외측 지지부를 대각선 방향으로 이동 시켜 수용 공간을 넓히거나 줄일 수 있다. 이를 통해서, 다양한 사이즈의 기판을 수용 공간에 적재시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따르면 기판의 사이즈에 따라서 크기가 변경이 가능한 가변식 카세트를 제공하여 다양한 사이즈의 기판을 적재할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 가변식 카세트 중 외측 지지부 중 일부가 제거된 모습을 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 A 영역의 단면도이다.
도 4는 도 2의 A 영역의 측면도이다.
도 5는 도 1의 가변식 카세트를 보여주는 저면도이다.
도 6 및 도 7은 가변식 카세트를 보여주는 평면도이다.
도 8 및 도 9는 기판 적재 플레이트를 보여주는 사시도이다.
도 10은 해제 부재를 보여주는 사시도이다.
도 11은 해제 부재의 다른 실시 예를 보여주는 도면이다.
도 12 내지 도 14는 도 10의 해제 부재를 이용하여 가변식 카세트의 사이즈를 변경하는 것을 순차적으로 보여주는 도면들이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되게 도시된 부분도 있다. 또한, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명은 내부에 기판을 수용할 수 있는 가변식 카세트(1)를 제공한다. 본 발명은 가변식 카세트(1)는 다양한 형태의 기판을 내부에 수용할 수 있다.
일 예로, 본 발명의 가변식 카세트(1)는 내부에 기판이 수용되는 수용 공간(12)을 넓히거나 줄이도록 제공될 수 있다. 이를 통해 다양한 사이즈의 기판을 적재 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 가변식 카세트 중 외측 지지부 중 일부가 제거된 모습을 보여주는 사시도이고, 도 3은 도 2의 A 영역의 단면도이고, 도 4는 도 2의 A 영역의 측면도이고, 도 5는 도 1의 가변식 카세트를 보여주는 저면도이다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 가변식 카세트(1)는 지지 부재(10), 가변 부재(20) 그리고 해제 부재(30)를 포함한다.
지지 부재(10)는 내부에 수용 공간(12)을 가진다. 수용 공간(12)에는 기판이 놓일 수 있다. 지지 부재(10)는 외측 지지부(11), 연결부(13) 그리고 하부판(15)을 포함한다.
여기서, 도면에 X축 방향으로 표시한 방향을 제1방향(X)이라 한다. 상부에서 바라 볼 때, 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Y)이라 한다. 제1방향(X) 및 제2방향(Y) 모두에 수직한 방향을 제3방향(Z)이라 한다.
외측 지지부(11)는 후술하는 하부판(15)의 상부에 위치할 수 있다. 외측 지지부(11)는 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로, 외측 지지부(11)는 4개가 제공될 수 있다. 각각의 외측 지지부(11)는 일정 간격 이격되어 위치할 수 있다. 외측 지지부(11)는 내부에 기판이 놓일 때 기판을 지지할 수 있다.
외측 지지부(11)는 두 개의 판이 수직하게 결합될 수 있다. 일 예로, 외측 지지부(11)는 그 단면이 'ㄱ' 자 또는 'ㄴ' 자 형상과 유사하게 형성될 수 있다. 복수개의 외측 지지부(11)는 서로 조합되어 수용 공간(12)을 형성할 수 있다.
외측 지지부(11)는 후술하는 가변 부재(20)와 결합될 수 있다. 외측 지지부(11)는 가변 부재(20)와 함께 이동할 수 있다. 외측 지지부(11)는 가변 부재(20)와 대응되는 개수로 제공될 수 있다.
수용 공간(12)은 기판이 놓이는 공간일 수 있다. 수용 공간(12)은 외측 지지부(11)로 둘러싸여 형성될 수 있다. 수용 공간(12)은 후술하는 가변 부재(20)에 의해서 공간의 사이즈가 넓어지거나 또는 줄어들 수 있다. 수용 공간(12)의 사이즈는 내부에 놓이는 기판의 사이즈에 따라서 적절하게 변경될 수 있다.
하부판(15)은 외측 지지부(11)의 제3방향(Z)의 하부에 위치할 수 있다. 하부판(15)은 그 단면이 대체로 직사각형 형상으로 제공될 수 잇다. 이와는 달리, 하부판(15)은 정사각형의 형상을 가질 수 있다. 하부판(15)의 형상은 상술한 형상으로 제한되지 않으며, 내부에 놓이는 기판의 형상에 따라 변경 될 수 있다.
하부판(15)에는 복수개의 고정홈(17)이 형성될 수 있다. 고정홈(17)은 후술하는 가변 부재(20)의 고정 돌기(26)와 결합될 수 있다. 고정홈(17)은 후술하는 고정 돌기(26)와 대응되는 형상으로 제공될 수 있다.
고정홈(17)은 하부판(15)의 모서리 영역에 위치할 수 있다. 고정홈(17)은 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로, 고정홈(17)은 하부판(15)의 하나의 모서리 영역에 2개씩 총 8개가 형성될 수 있다. 그러사, 고정홈(17)의 개수를 상술한 예로, 한정되지 않으며 복수개가 제공될 수 있다. 이하, 도 5에 실시예를 기준으로 설명한다.
하부판(15)의 어느 한 모서리 영역에 형성된 복수개의 고정홈(17)은 대각선 방향으로 위치할 수 있다. 복수개의 고정홈(17)은 대각선 방향으로 일정 간격 이격되어 위치할 수 있다. 고정홈(17)들 사이의 간격은 수용 공간(12)에 놓이는 기판의 사이즈들을 고려하여 설정할 수 있다.
도 6 및 도 7은 가변식 카세트를 보여주는 평면도이고, 도 8 및 도 9는 기판 지지 플레이트를 보여주는 사시도이다.
도 6 내지 도 9을 참고하면, 기판 지지 플레이트(19)는 수용 공간(12)의 내부에 위치할 수 있다. 기판 지지 플레이트(19)는 수용 공간(12)의 단면적과 대응되는 크기로 제공될 수 있다. 기판 지지 플레이트(19)의 상부에는 기판이 놓일 수 있다. 기판 지지 플레이트(19)는 기판의 사이즈에 따라서 다양한 크기가 제공될 수 있다. 일 예로, 도 6과 같이, 가변식 카세트(1)의 수용 공간(12)이 도 7보다 작은 사이즈로 제공되는 경우, 도 8과 같이 이에 맞는 크기로 제공될 수 있다.
이와는 달리, 도 7과 같이, 가변식 카세트(1)의 수용 공간(12)이 도 6보다 큰 사이즈로 제공되는 경우, 도 9와 같이 이에 맞는 크기로 제공될 수 있다. 즉, 도 9 의 기판 지지 플레이트(19a)는 도 8의 기판 지지 플레이트(19)보다 큰 크기일 수 있다.
다시 도 1 내지 도 7을 참고하면, 가변 부재(20)는 외측 지지부(11) 내에 위치할 수 있다. 가변 부재(20)는 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로, 가변 부재(20)는 외측 지지부(11)와 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 가변 부재(20)는 하부판(15)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 일 예로, 가변 부재(20)는 하부판(15)과 결합이 해제 시 외측 지지부(11)와 함께 이동되어, 수용 공간(12)을 넓히거나 줄일 수 있다.
가변 부재(20)는 베이스(21), 고정바(24) 그리고 탄성부(27)를 포함한다.
베이스(21)는 하부판(15)의 상부에 위치할 수 있다. 베이스(21)는 하부판(15)의 모서리 영역에 배치될 수 있다. 베이스(21)는 외측 지지부(11)의 내측에 위치할 수 있다. 베이스(21)의 측면 중 일부는 외측 지지부(11)와 접촉할 수 있다. 베이스(21)는 외측 지지부(11)와 접촉하여 결합될 수 있다.
베이스(21)는 대체로 사각형 형상의 판 형태로 제공될 수 있다. 베이스(21)의 외측면에는 측면홈(23)이 형성될 수 있다. 측면홈(23)은 그 단면이 역사다리꼴 모양으로 형성될 수 있다.
베이스(21)의 내부에는 베이스홈(22)이 형성될 수 있다. 베이스홈(22)는 고정바(24)가 위치할 수 있다.
고정바(24)는 베이스홈(22) 내부에 위치할 수 있다. 고정바(24)는 베이스홈(22) 내부에서 제3방향(Z)의 상부 및 하부로 이동할 수 있다.
고정바(24)는 일측면에는 탄성홈(25)이 형성될 수 있다. 탄성홈(25)에는 탄성부(27)가 위치할 수 있다. 탄성홈(25)은 복수개가 형성될 수 있다.
탄성부(27)는 탄성홈(25)에 삽입되며, 하부판(15)과 고정바(24)가 결합 시 고정력을 제공할 수 있다. 탄성부(27)는 복수개가 제공될 수 있다. 탄성부(27)는 탄성홈(25)과 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 일 예로, 탄성부(27)는 탄성력을 가지는 용수철로 제공될 수 있다. 탄성부(27)는 고정바(24) 중 일부가 고정홈(17)에 삽입 시 고정바(24)의 하부로 탄성력을 제공하여 결합력을 견고하게 할 수 있다. 상술한 예와는 달리, 탄성부(27)는 탄성력을 가지는 부재라면 제한없이 사용 가능하며, 상술한 예로 한정되지 않는다.
고정바(24) 중 탄성홈(25)이 형성된 반대면에는 고정 돌기(26)가 형성될 수 있다.
고정 돌기(26)는 하부판(15)의 고정홈(17)에 삽입될 수 있다. 고정 돌기(26)는 고정홈(17)과 대응되는 형상으로 제공될 수 있다. 고정 돌기(26)는 고정홈(17)에 삽입되어, 하부판(15)과 가변 부재(20)와 결합되며, 이에 따라 외측 지지부(11)와 하부판(15)을 결합시킬 수 있다. 고정 돌기(26)가 후술하는 해제 부재(30)에 의해 고정홈(17)과의 결합을 해제 시 가변 부재(20)의 이동과 함께 이동되어 다른 고정홈(17)에 결합될 수 있다.
도 10은 해제 부재를 보여주는 사시도이다.
도 10을 참고하면, 해제 부재(30)는 가변 부재(20)와 하부판(15)의 결합을 해제할 수 있다. 해제 부재(30)는 해제판(31), 해제 지지부(32) 그리고 해제 돌기(33)를 포함한다.
해제판(31)은 사각형 형상의 판으로 제공될 수 있다. 해제판(31)의 상부에는 하부판(15)이 위치할 수 있다.
해제판(31)의 모서리 영역에는 해제 지지부(32)가 위치할 수 있다.
해제 지지부(32)는 후술하는 해제판(31)의 상부에 위치할 수 있다. 해제 지지부(32)는 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로, 해제 지지부(32)는 4개가 제공될 수 있다. 각각의 해제 지지부(32)는 일정 간격 이격되어 위치할 수 있다. 해제 지지부(32)는 내부에 지지 부재(10) 및 가변 부재(20)가 위치할 수 있다.
해제 지지부(32)는 두 개의 판이 수직하게 결합될 수 있다. 일 예로, 해제 지지부(32)는 그 단면이 'ㄱ' 자 또는 'ㄴ' 자 형상과 유사하게 형성될 수 있다. 복수개의 해제 지지부(32)는 서로 조합되어 내부 공간을 형성할 수 있다.
해제 돌기(33)는 해제판(31)에 형성될 수 있다.
해제 돌기(33)는 해제판(31)의 모서리 영역에 위치할 수 있다. 해제 돌기(33)는 하부판(15)에 형성된 고정홈(17)과 대응되는 위치에 배치될 수 있다. 해제 돌기(33)는 외측 지지부(11)를 향하는 방향으로 돌출 형성될 수 있다. 해제 돌기(33)는 복수개가 제공될 수 있다. 해제 돌기(33)는 고정홈(17)과 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 일 예로, 해제 돌기(33)는 해제판(31)의 하나의 모서리 영역에 2개씩 총 8개가 형성될 수 있다. 그러사, 해제 돌기(33)의 개수를 상술한 예로, 한정되지 않으며 복수개가 제공될 수 있다. 이하, 도 에 실시예를 기준으로 설명한다.
해제판(31)의 어느 한 모서리 영역에 형성된 복수개의 해제 돌기(33)는 대각선 방향으로 위치할 수 있다. 복수개의 해제 돌기(33)는 대각선 방향으로 일정 간격 이격되어 위치할 수 있다. 해제 돌기(33)들 사이의 간격은 고정홈(17)의 이격 간격과 동일하게 설정될 수 있다.
도 12 내지 도 14는 도 10의 해제 부재를 이용하여 가변식 카세트의 사이즈를 변경하는 것을 순차적으로 보여주는 도면들이다.
이하에서는 상술한 해제 부재(30)로 가변 부재(20)와 하부판(15)의 결합을 해제하는 것을 설명한다.
도 12 내지 도 14를 참고하면, 가변식 카세트(1) 중 해제 부재(30)를 제외한 구성을 해제 부재(30)에 위치시킨다. 이 경우, 해제 돌기(33)는 각각 대응되는 위치의 고정홈(17)에 삽입 될 수 있다. 해제 돌기(33)가 고정홈(17)에 삽입되면, 고정홈(17)에 삽입되는 고정 돌기(26)는 베이스홈(22)의 제3방향(Z)의 상부로 이동되어, 가변 부재(20)와 하부판(15)의 결합이 해제된다. 이 후, 외측 지지부(11)를 원하는 위치로 이동 시켜 수용 공간(12)의 사이즈를 조절 할 수 있다. 일 예로, 수용 공간(12)을 넓히는 경우, 도 13과 같이 외측 지지부(11)를 대각선 외측 방향으로 이동시킬 수 있다. 수용 공간(12)의 사이즈 조절이 끝나면, 도 14와 같이 다시 해제 부재(30)를 제외한 나머지 구성을 제3방향(Z)의 상부로 이동시킨다. 이 때, 고정 돌기(26)는 다시 새로운 위치의 고정홈(17)에 삽입되어 하부판(15)과 가변 부재(20)를 결합시킬 수 있다.
도 11은 해제 부재(30a)의 다른 실시 예를 보여주는 도면이다.
도 11을 참고하면, 상술한 예와는 달리, 해제 부재(30a)는 해제바(31a), 해제바 구동부(32a) 그리고 제어기(33a)를 포함할 수 있다.
해제바(31a)는 고정홈(17)에 삽입될 수 있다. 해제바(31a)는 고정홈(17)과 대응되는 형상으로 제공될 수 있다. 해제바(31a)는 고정홈(17)에 삽입되어 고정 돌기(26)를 제3방향(Z) 상부로 이동시킬 수 있다.
해제바 구동부(32a)는 해제바(31a)를 이동시킬 수 있다. 일 예로, 해제바 구동부(32a)는 해제바(31a)를 고정홈(17)에 삽입 시 해제바(31a)를 이동시켜 고정홈(17)에 삽입시킬 수 있다. 이와는 달리, 해제바 구동부(32a)는 해제바(31a)를 수용 공간(12)의 위치 조절이 끝나는 경우, 해제바(31a)를 고정홈(17)의 외부로 이동시킬 수 있다.
제어기(33a)는 해제바 구동부(32a)를 제어할 수 있다. 제어기(33a)는 상술한 해제바(31a)의 구동 시 해제바 구동부(32a)를 제어할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 가변식 카세트는 외측 지지부를 대각선 방향으로 이동 시켜 수용 공간을 넓히거나 줄일 수 있다. 이를 통해서, 다양한 사이즈의 기판을 수용 공간에 적재시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따르면 기판의 사이즈에 따라서 크기가 변경이 가능한 가변식 카세트를 제공하여 다양한 사이즈의 기판을 적재할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
1: 가변식 카세트 10: 지지 부재
11: 외측 지지부 12: 수용 공간
15: 하부판 17: 고정홈
19: 기판 지지 플레이트 20: 가변 부재
21: 베이스 22: 베이스홈
24: 고정바 25: 탄성홈
26: 고정 돌기 27: 탄성부
30: 해제 부재 31: 해제판
32: 해제 지지부 33: 해제 돌기

Claims (9)

  1. 하부판과 상기 하부판의 모서리 영역에 위치하며, 서로 조합되어 내부에 기판이 놓이는 수용 공간을 형성하는 복수개의 외측 지지부를 포함하는 지지 부재와;
    상기 외측 지지부 내에 위치하며, 상기 하부판에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 하부판과 결합이 해제 시 상기 외측 지지부와 함께 이동되어 상기 수용 공간을 ?히거나 줄이도록 제공되는 가변 부재를 포함하는 가변식 카세트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 외측 지지부를 상기 하부판의 대각선 방향으로 이동시켜 상기 수용 공간을 넓히거나 줄이도록 상기 가변 부재와 상기 하부판의 결합을 해제시키는 해제 부재를 더 포함하는 가변식 카세트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가변 부재는,
    베이스홈이 형성된 베이스와;
    상기 베이스홈에 삽입되는 고정바와; 그리고
    상기 고정바에 형성된 탄성홈에 삽입되는 탄성부를 포함하는 가변식 카세트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하부판에는 복수개의 고정홈이 상기 하부판의 모서리 영역에 형성되며, 상기 하부판의 어느 한 모서리 영역에 형성된 복수개의 고정홈은 상기 하부판의 대각선 방향으로 일정 간격 이격되어 위치하는 가변식 카세트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고정바에는 상기 탄성홈이 형성된 반대면에 위치하며, 상기 하부판을 향하는 방향으로 돌출 형성되며, 상기 복수개의 고정홈 어느 하나에 삽입되어 상기 하부판과 가변 부재를 결합시키는 고정 돌기를 포함하는 가변식 카세트.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 가변 부재는 상기 외측 지지부와 대응되는 개수로 제공되는 가변식 카세트.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 해제 부재는,
    상기 지지 부재가 놓이는 해제판과;
    상기 해제판에 복수개가 형성되며, 상기 하부판의 고정홈과 대응되는 위치에 배치되며, 상기 외측 지지부를 향하는 방향으로 형성된 해제 돌기를 포함하는 가변식 카세트.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 해제 부재는 상기 고정홈에 삽입되어 상기 고정홈과 상기 고정 돌기의 결합을 해제하는 해제바와
    상기 해제바를 상기 고정홈의 내측 방향으로 이동시키도록 상기 해제바를 이동시키는 해제바 구동부와; 그리고
    상기 해제바 구동부를 제어하는 제어기를 포함하는 가변식 카세트.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 수용 공간에는 상부에 기판이 놓이는 기판 지지 플레이트가 위치하는 가변식 카세트.
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