KR101793235B1 - 가변식 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가변식 카세트에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 가지며, 서로 마주보며 위치하는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재 부재와 상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 상기 기판 적재 부재를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지 부재와 상기 측면 플레이트 및 상기 지지 플레이트와 결합되며, 상기 측면 플레이트의 이동을 가이드하는 가이드 부재와 상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 일방향으로 함께 이동 가능하며, 상기 지지 플레이트에 탈착 가능하도록 제공되는 가변 부재와 그리고 상기 가변 부재와 상기 지지 플레이트의 결합을 해제하여 한 쌍의 상기 측면 플레이트 사이의 간격을 줄이거나 늘릴 수 있도록 제공되는 고정 해제 부재를 포함하는 가변식 카세트를 포함한다.

Description

가변식 카세트{Clearance adjusting cassette for substrate}

본 발명은 가변식 카세트에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기판의 크기에 따라서 크기 변경이 가능한 가변식 카세트에 관한 것이다.

평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판 또는 웨이퍼 등은 외부의 작은 충격에도 손상될 우려가 있다. 따라서 이러한 기판을 다량 운반하는 경우 기판 또는 웨이퍼 사이의 간격을 두고 수납할 수 있는 기판　적재용　카세트에 의해　보관되거나 운반된다.

한편, 기판은 그 용도 및 제조 공정에 따라서 다양한 기판이 존재한다. 예를 들어, 원형의 기판의 경우, 그 용도에 따라서 직경이 상이할 수 있다.

그러나, 종래의 기판 적재용 카세트의 경우 그 크기가 고정되어 다양한 사이즈의 기판을 운반하는 경우, 그 사이즈에 맞는 기판 적재용 카세트를 제작해야 하는 문제점이 있다.

또한, 사이즈에 맞는 기판 적재용 카세트를 제작하는 비용 및 사이즈에 따른 다양한 기판 적재용 카세트를 구비하여야 하여 그 비용 및 운반 시 번거로움이 존재한다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 기판의 크기에 따라서 크기 변경이 가능한 가변식 카세트를 제공하기 위한 것이다.

본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명은 기판을 적재할 수 있는 가변식 카세트를 제공한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 가변식 카세트는 일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 가지며, 서로 마주보며 위치하는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재 부재와 상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 상기 기판 적재 부재를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지 부재와 상기 측면 플레이트 및 상기 지지 플레이트와 결합되며, 상기 측면 플레이트의 이동을 가이드하는 가이드 부재와 상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 일방향으로 함께 이동 가능하며, 상기 지지 플레이트에 탈착 가능하도록 제공되는 가변 부재와 그리고 상기 가변 부재가 상기 지지 플레이트와 결합을 해제하여 한 쌍의 상기 측면 플레이트 사이의 간격을 줄이거나 늘릴 수 있도록 제공되는 고정 해제 부재를 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 가변 부재는 베이스 판과 상기 베이스 판에 형성된 베이스홈에 삽입되며 한 쌍의 상기 측면 플레이트가 나란하게 배치된 방향인 제1방향을 따라 형성된 해제홀을 구비하는 고정바와 상기 베이스 홈의 내부에 위치하며, 일단은 상기 고정바에 형성된 탄성홈에 삽입되고 타단은 상기 베이스홈의 내면과 접촉하는 탄성부를 포함하며 상기 고정바의 외측면 중 상기 탄성홈이 형성된 면의 반대면에 형성되며, 상기 지지 플레이트와 결합되도록 돌출 형성된 고정 돌기를 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 지지 플레이트에는 상기 고정 돌기가 삽입될 수 있는 고정홈이 복수개 형성되며, 복수개의 상기 고정홈은 상기 제1방향을 따라 일정 거리 이격되어 형성될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 고정 돌기와 상기 고정홈은 서로 대응되는 형상으로 제공될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 가변 부재는 상기 지지 플레이트와 인접하는 상기 측면 플레이트의 양측 가장자리에 각각 한 쌍이 제공될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 고정 해제 부재는 상기 해제홀에 삽입되어 상기 지지 플레이트와 상기 가변 부재의 결합을 해제하며 상기 고정바를 상기 지지 플레이트에서 상기 측면 플레이트를 향하는 방향으로 이동시키는 해제바와 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입시키거나 상기 해제홀에 위치한 상기 해제바를 외부로 이동시키도록 상기 해제바를 이동시키는 해제바 구동부와 그리고 상기 해제바 구동부를 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 해제바의 일측 단부는 그 끝단으로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 형상으로 제공될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제어기는 한 쌍의 상기 측면 플레이트의 사이의 간격을 조절 할 때, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입하여 상기 지지 플레이트와 상기 가변 부재의 결합을 해제시키도록 상기 해제바 구동부를 제어할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 고정 해제 부재는 몸체부와 상기 몸체부를 일방향으로 이동시키는 몸체부 구동부와 상기 몸체부에 양측면에 결합되는 한 쌍의 핑거 슬라이더와 상기 몸체부의 앞면에 결합되며, 상기 해제홀에 삽입되어 상기 고정바를 상기 지지 플레이트에서 상기 측면 플레이트를 향하는 방향으로 이동시키는 해제바와 상기 한 쌍의 핑거 슬라이더를 상기 몸체부의 외측 방향으로 이동시켜 상기 핑거 슬라이더를 상기 베이스판에 고정시키거나, 상기 베이스판에 고정된 상기 핑거 슬라이더를 상기 몸체부의 내측 방향으로 이동시키거나, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입시키거나 상기 해제홀 내부에 위치한 상기 해제바를 외부로 이동시키도록 상기 핑거 슬라이더 또는 상기 해제바를 이동시키는 구동부와 그리고 상기 구동부를 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 핑거 슬라이더는 끝단에는 상기 베이스판을 향해 돌출 형성된 핑거 돌기가 형성되며 상기 베이스판에는 상기 핑거 돌기가 삽입되는 핑거홈이 형성될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제어기는 한 쌍의 상기 측면 플레이트의 사이의 간격을 조절 할 때, 상기 몸체부를 상기 베이스판에 인접하도록 상기 몸체부 구동부를 제어하고, 상기 제어기는 상기 몸체부가 이동된 후, 상기 핑거 슬라이더가 상기 베이스판에 고정되도록 상기 핑거 슬라이더를 상기 몸체부의 외측 방향으로 이동시키도록 상기 구동부를 제어하고 상기 제어기는 상기 핑거 슬라이더가 상기 베이스 판에 고정된 후, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입하여 상기 지지 플레이트와 상기 가변 부재의 결합을 해제시키도록 상기 구동부를 제어할 수 있다.

본 발명의 다른 실시 예에 의하면, 가변식 카세트는 일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 가지며, 서로 마주보며 위치하는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재 부재와 상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 상기 기판 적재 부재를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지 부재와 그리고 상기 지지 플레이트와 결합되며, 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 거리를 조절하는 거리 조절 부재를 포함하되 상기 거리 조절 부재는 상기 지지 플레이트 및 상기 측면 플레이트에 결합되어 상기 측면 플레이트를 일방향으로 이동시킬 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 거리 조절 부재는 상기 지지 플레이트에 결합되는 캠부와 상기 측면 플레이트에 결합되며 상기 캠부와 동일한 높이로 배치되는 힌지부와 그리고 상기 캠부와 상기 힌지부를 연결하는 풀리부를 포함하며 상기 캠부는 상기 한 쌍의 측면 플레이트의 거리를 조절 시 상기 캠부를 일방향으로 회전시켜 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이 거리를 조절할 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 지지 플레이트는 상기 한 쌍의 측면 플레이트가 이동되는 방향을 따라 배치되는 복수개의 고정홈이 형성되며 상기 복수개 고정홈 중 어느 하나에는 상기 측면 플레이트의 일측면에 형성된 고정 돌기가 삽입될 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 거리 조절 부재는 상기 지지 플레이트의 일측에 결합되는 제1고정부와 상기 지지 플레이트의 일측에 결합되며 상기 제1고정부의 하부에 위치하는 제2고정부와 상기 측면 플레이트의 일측에 결합되는 제1고정힌지부와 상기 측면 플레이트의 일측에 결합되며 상기 제1고정힌지부의 하부에 위치하는 제2고정힌지부와 상기 제1고정부 및 상기 제2고정힌지부를 연결하는 제1연결바와 그리고 상기 제2고정부 및 상기 제1고정힌지부와 연결하며, 상기 제1연결바의 중앙부위와 결합되는 제2연결바를 포함하며 상기 제1연결바 및 상기 제2연결바는 상기 한 쌍의 측면 플레이트의 거리를 조절 시 상기 제1연결바 및 상기 제2연결바를 각각 일방향으로 이동시켜 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이 거리를 조절할 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 제1고정힌지부는 상기 제1고정부와 동일한 높이에 위치하며 상기 제2고정힌지부는 상기 제2고정부와 동일한 높이에 위치할 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 지지 플레이트는 상기 한 쌍의 측면 플레이트가 이동되는 방향을 따라 배치되는 복수개의 고정홈이 형성되며 상기 복수개 고정홈 중 어느 하나에는 상기 측면 플레이트의 일측면에 형성된 고정 돌기가 삽입될 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판의 크기에 따라서 크기의 변경이 가능한 가변식 카세트를 제공하여 기판의 적재 및 운반이 용이하다.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 가이드 부재 및 가변 부재를 확대하여 보여주는 확대 사시도이다.
도 3은 도 1의 지지 부재의 일부를 확대하여 보여주는 확대 사시도이다.
도 4는 도 3의 고정홈을 확대하여 보여주는 확대 사시도이다.
도 5는 도 1의 가이드 부재의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 1의 가변 부재를 보여주는 분해 사시도이다.
도 7은 도 1의 가변 부재가 지지 플레이트와 결합된 모습을 보여주는 단면도이다.
도 8 내지 도 10은 고정 해제 부재를 이용하여 가변 부재와 지지 플레이트의 결합을 해제하는 것을 순차적으로 보여주는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이다.
도 13은 도 12의 가변식 카세트 중 일부를 확대하여 보여주는 확대 사시도이다.
도 14는 도 13의 가변식 카세트의 일부분을 보여주는 측면도이다.
도 15는 도 12의 가변식 카세트 중 거리 조절 부재의 구동을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이다.
도 17은 도 16의 가변식 카세트 중 일부를 확대하여 보여주는 확대 사시도이다.
도 18은 도 17의 가변식 카세트의 일부분을 보여주는 측면도이다.
도 19는 도 17의 가변식 카세트 중 거리 조절 부재의 구동을 개략적으로 보여주는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되게 도시된 부분도 있다. 또한, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명의 가변식 카세트(10)는 내부에 기판을 수용할 수 있다. 일 예로 가변식 카세트(10)는 원형의 웨이퍼를 수용할 수 있다. 이와는 달리, 가변식 카세트(10)는 다양한 사이즈의 기판을 내부에 수용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 가이드 부재 및 가변 부재를 확대하여 보여주는 확대 사시도이고, 도 3은 도 1의 지지 부재의 일부를 확대하여 보여주는 확대 사시도이고, 도 4는 도 3의 고정홈을 확대하여 보여주는 확대 사시도이다.

도 1 내지 도 4를 참고하면, 가변식 카세트(10)는 기판 적재 부재(100), 지지 부재(200), 가이드 부재(300), 가변 부재(400) 그리고 고정 해제 부재(500)를 포함한다.

기판 적재 부재(100)는 내부에 공간을 가지며, 기판을 수용할 수 있다. 기판 적재 부재(100)는 한 쌍의 측면 플레이트(110)를 포함한다.

여기서, 한 쌍의 측면 플레이트(110)가 서로 나란하게 배치된 방향을 제1방향(X)이라 한다. 상부에서 바라 볼 때, 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Y)이라 한다. 제1방향(X) 및 제2방향(Y)에 모두 수직한 방향을 제3방향(Z)이라 한다.

한 쌍의 측면 플레이트(110)는 제1방향(X)을 따라 이격되어 위치할 수 있다. 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 사이 공간에는 기판이 수용될 수 있다. 한 쌍의 측면 플레이트(110)는 서로 마주보며 위치할 수 있다. 측면 플레이트(110)에는 슬릿(120)이 형성될 수 있다. 슬릿(120)은 기판이 삽입될 수 있도록 제공된다. 슬릿(120)은 한 쌍의 측면 플레이트(110)가 마주보고 있는 면에 각각 형성될 수 있다. 슬릿(120)은 측면 플레이트(110)의 일면에 제2방향(Y)을 따라서 형성될 수 있다. 일 예로 슬릿(120)에는 원형의 웨이퍼가 삽입되어 보관될 수 있다.

지지 부재(200)는 기판 적재 부재(100)를 지지할 수 있다. 지지 부재(200)는 지지 플레이트(210) 및 지지바(230)를 포함한다.

지지 플레이트(210)는 측면 플레이트(110)와 결합되어, 측면 플레이트(110)를 지지 할 수 있다. 지지 플레이트(210)는 한 쌍이 제공될 수 있다. 한 쌍의 지지 플레이트(210)는 서로 마주보며 위치할 수 있다. 한 쌍의 지지 플레이트(210)는 제2방향(Y)을 따라 일정 거리 이격되어 위치할 수 있다.

지지 플레이트(210)는 영문 대문자 'U' 자 형상과 유사하게 형성될 수 있다. 하나의 지지 플레이트(210)에는 한 쌍의 측면 플레이트(110)가 결합 될 수 있다. 일 예로 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 일측은 하나의 지지 플레이트(210)와 결합되고, 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 타측은 다른 하나의 지지 플레이트(210)와 결합될 수 있다.

지지 플레이트(210)에는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 고정홈(211)이 형성될 수 있다. 고정홈(211)은 후술하는 고정 돌기(435)가 결합되어, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)를 결합하여, 측면 플레이트(110)를 고정시킬 수 있다. 일 예로 고정홈(211)은 슬릿 형태로 제공될 수 있다. 고정홈(211)은 복수개 제공될 수 있다. 복수개의 고정홈(211)은 제1방향(X)을 따라서 일정 거리 이격되어 위치할 수 있다. 고정홈(211)은 가변식 카세트(10)에 적재되는 기판의 사이즈에 따라서 그 개수를 조절하여 제공될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서는 고정홈(211)이 두 개가 제공되는 것을 예로 들었으나, 고정홈(211)의 개수는 이에 한정되지 않는다.

지지바(230)는 한 쌍의 지지 플레이트(210)와 결합되어 지지 플레이트(210)를 지지할 수 있다. 일 예로 지지바(230)의 일측은 하나의 지지 플레이트(210)와 결합되며, 지지바(230)의 타측은 다른 하나의 지지 플레이트(210)와 결합될 수 있다. 지지바(230)는 원형의 바 형태로 제공될 수 있다.

지지바(230)는 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로 지지바(230)는 하나의 측면 플레이트(110)의 제3방향(Z)의 상부 및 하부에 각각 제공될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서는 지지바(230)가 4개가 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 지지바(230)의 개수는 이에 한정되지 않는다.

도 5는 도 1의 가이드 부재의 일부를 보여주는 사시도이다.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 가이드 부재(300)는 측면 플레이트(110)의 이동을 가이드 할 수 있다. 가이드 부재(300)는 측면 플레이트(110) 및 지지 플레이트(210)와 결합될 수 있다. 가이드 부재(300)는 측면 플레이트(110)에 인접하여 위치할 수 있다. 가이드 부재(300)는 복수개 제공될 수 있다. 일 예로 하나의 측면 플레이트(110)의 일측면에 가이드 부재(300)는 두 개가 제공될 수 있다. 두 개의 가이드 부재(300)는 제3방향(Z)을 따라 일정 거리 이격되어 위치할 수 있다.

가이드 부재(300)는 가이드 판(310)과 가이드 레일(330)을 포함할 수 있다.

가이드 판(310)은 가이드 레일(330)을 따라서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 가이드 판(310)은 제1방향(X)을 따라서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 가이드 판(310)은 가이드 레일(330)의 측면에 형성된 홈을 따라서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 가이드 판(310)은 후술하는 가변 부재(400)와 결합될 수 있다.

가이드 레일(330)은 지지 플레이트(210)의 일면에 위치할 수 있다. 가이드 레일(330)은 양측면에 홈이 형성될 수 있다. 가이드 레일(330)에 형성된 측면의 홈은 가이드 판(310)과 결합될 수 있다. 가이드 레일(330)은 그 길이방향이 제1방향(X)으로 연장된 형태로 제공될 수 있다.

도 6은 도 1의 가변 부재를 보여주는 분해 사시도이고, 도 7은 도 1의 가변 부재가 지지 플레이트와 결합된 모습을 보여주는 단면도이다.

도 1 내지 도 4, 도 6 및 도 7을 참고하면, 가변 부재(400)는 한 쌍의 측면 플레이트(110)와 각각 결합되어, 일방향으로 함께 이동 가능하도록 제공될 수 있다. 가변 부재(400)는 지지 플레이트(210)와 탈착 가능하도록 제공될 수 있다. 가변 부재(400)는 기판의 크기에 따라서 기판 적재 부재(100)의 크기를 변경할 필요가 있는 경우, 지지 플레이트(210)에서 설정된 위치의 고정홈(211)과 결합될 수 있다.

가변 부재(400)는 복수개 제공될 수 있다. 일 예로 가변 부재(400)는 하나의 측면 플레이트(110)의 양측 가장자리에 결합되어 제공될 수 있다. 이 경우, 가변 부재(400)는 서로 제2방향(Y)을 따라서 일정 거리 이격되어 위치할 수 있다.

가변 부재(400)는 베이스 판(410), 고정바(430) 그리고 탄성부(450)을 포함한다.

베이스 판(410)은 측면 플레이트(110)와 결합될 수 있다. 베이스 판(410)에는 베이스 홈(411)이 형성될 수 있다. 베이스 홈(411)에는 후술하는 고정바(430)가 결합될 수 있다. 베이스 홈(411)은 베이스 판(410)의 제3방향(Z)의 길이를 기준으로 중앙 부위에 형성될 수 있다.

고정바(430)는 지지 플레이트(210)에 형성된 고정홈(211)에 결합할 수 있다. 고정바(430)는 후술하는 고정 해제 부재(500)에 의해 지지 플레이트(210)와 결합이 해제되며, 베이스 판(410)의 이동으로 다른 고정홈(211)과 결합될 수 있다.

고정바(430)는 베이스 홈(411)에 삽입될 수 있다. 고정바(430)는 후술하는 고정 해제 부재(500)에 의해서 지지 플레이트(210)와 결합이 해제되는 경우, 제2방향(Y)을 따라서 이동할 수 있다.

고정바(430)의 내부에는 해제홀(433)이 형성될 수 있다. 해제홀(433)을 고정바(430)의 중앙 영역에 형성될 수 있다. 해제홀(433)은 후술하는 해제바(510)가 삽입될 수 있다.

고정바(430)의 외측면 중 일면에는 탄성홈(451)이 형성될 수 있다. 탄성홈(451)에는 후술하는 탄성부(450)가 결합될 수 있다. 고정바(430)의 면 중 탄성홈(451)이 형성된 면의 반대면에는 고정 돌기(435)가 형성될 수 있다. 탄성홈(451)은 복수개 제공될 수 있다. 복수개의 탄성홈(451)에는 각각 후술하는 탄성부(450)가 삽입될 수 있다.

고정 돌기(435)는 지지 플레이트(210)의 고정홈(211)에 삽입될 수 있다. 고정 돌기(435)는 고정홈(211)에 삽입되어 가변 부재(400)를 지지 플레이트(210)에 고정할 수 있다. 고정 돌기(435)는 그 길이방향이 제3방향(Z)을 연장된 형태로 제공될 수 있다. 고정 돌기(435)는 고정홈(211)과 대응 되는 개수로 제공될 수 있다. 고정 돌기(435)는 고정홈(211)과 대응되는 형상으로 제공될 수 있다.

탄성부(450)는 고정바(430)가 지지 플레이트(210)의 고정 시 고정력을 제공할 수 있다. 탄성부(450)는 베이스 홈(411)의 내부에 위치할 수 있다. 탄성부(450)의 일단은 고정바(430)에 형성된 탄성홈(451)에 삽입되고, 타단은 베이스 홈(411)의 내면과 접촉 할 수 있다. 탄성부(450) 중 일부는 탄성홈(451)에 삽입될 수 있다. 탄성부(450)는 복수개 제공될 수 있다. 탄성부(450)는 탄성홈(451)과 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 일 예로 탄성부(450)는 스프링으로 제공될 수 있다. 이와는 달리, 탄성부(450)는 탄성력을 가지며, 고정바(430)가 지지 플레이트(210)와 결합 시 고정력을 제공하는 형태로 제공될 수 있다.

고정 해제 부재(500)는 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합을 해제하여 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 줄이거나 늘릴 수 있도록 할 수 있다.

일 예로 고정 해제 부재(500)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 늘리게 하는 경우, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합을 해제하고, 지지 플레이트(210) 중 외측에 위치하는 고정홈(211)에 고정 돌기(435)가 삽입되도록 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)의 외측방향으로 이동시켜 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)를 결합시키도록 할 수 있다.

이와는 달리, 고정 해제 부재(500)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 줄이는 경우, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합을 해제하고, 지지 플레이트(210) 중 내측에 위치하는 고정홈(211)에 고정 돌기(435)가 삽입되도록 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)의 내측 방향으로 이동시켜 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)를 결합시키도록 할 수 있다.

고정 해제 부재(500)는 해제바(510), 해제바 구동부(530) 그리고 제어기(550)를 포함한다.

해제바(510)는 해제홀(433)에 삽입되어 지지 플레이트(210)와 가변 부재(400)의 결합을 해제하여, 고정바(430)를 지지 플레이트(210)에서 측면 플레이트(110)를 향하는 방향인 제2방향(Y)으로 이동시킬 수 있다. 해제바(510)의 일측 단부는 그 끝단으로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 형상으로 제공될 수 있다. 일 예로 해제바(510)의 끝단은 뾰족한 형상으로 제공될 수 있다.

해제바 구동부(530)는 해제바(510)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 해제바 구동부(530)는 해제바(510)를 해제홀(433)에 삽입시키거나, 해제홀(433)에 위치한 해제바(510)를 외부로 이동시키도록 해제바(510)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 해제바 구동부(530)는 해제바(510)를 제1방향(X)을 따라 이동시킬 수 있다.

제어기(550)는 해제바 구동부(530)를 제어할 수 있다. 일 예로 제어기(550)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 조절 할 때, 해제바(510)를 해제홀(433)에 삽입하여 지지 플레이트(210)와 가변 부재(400)의 결합을 해제시키도록 해제바 구동부(530)를 제어할 수 있다.

제어기(550)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격 조절이 끝난 경우, 해제바(510)를 해제홀(433)의 외부로 이동시키도록 해제바 구동부(530)를 제어할 수 있다.

이하, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합이 해제되는 구동을 설명한다.

도 8 내지 도 10은 고정 해제 부재를 이용하여 가변 부재와 지지 플레이트의 결합을 해제하는 것을 순차적으로 보여주는 단면도이다.

도 8 내지 도 10을 참고하면, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)가 결합된 상태에서 해제바(510)를 해제홀(433)에 삽입시킨다. 해제바(510)의 끝단은 뾰족한 형상으로 제공되어, 해제홀(433)에 쉽게 삽입될 수 있다.

해제홀(433)에 삽입되면 해제바(510)는 탄성부(450)를 밀어 올릴 수 있다. 탄성부(450)가 밀어 올려지면서 고정바(430)의 고정 돌기(435)가 제2방향(Y)으로 이동하여 고정홈(211)의 외부로 나와 지지 플레이트(210)와 고정바(430)의 결합이 해제된다. 이 후, 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)으로 이동하여 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 이 후 해제바(510)를 해제홀(433)의 외부로 이동시켜 다시 지지 플레이트(210)와 고정바(430)를 고정시켜 지지 플레이트(210)와 고정바(430)를 결합시킬 수 있다.

도 11은 본 발명의 다른 실시 에에 따른 가변식 카세트(10)를 보여주는 사시도이다.

도 11을 참고하면, 도 11의 가변식 카세트(10)는 도 1의 가변식 카세트(10)와 대체로 동일하게 제공된다.

다만, 도 11의 고정 해제 부재(600)는 다르게 제공된다. 이 하, 도 11의 고정 해제 부재(600)에 대해서 설명한다.

고정 해제 부재(600)는 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합을 해제하여 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 줄이거나 늘릴 수 있도록 할 수 있다.

일 예로 고정 해제 부재(600)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 늘리게 하는 경우, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합을 해제하고, 지지 플레이트(210) 중 외측에 위치하는 고정홈(211)의 고정 돌기(435)가 삽입되도록 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)의 외측방향으로 이동시켜 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)를 결합시키도록 할 수 있다.

이와는 달리, 고정 해제 부재(600)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 줄이는 경우, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합을 해제하고, 지지 플레이트(210) 중 내측에 위치하는 고정홈(211)에 고정 돌기(435)가 삽입되도록 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)의 내측 방향으로 이동시켜 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)를 결합시키도록 할 수 있다.

고정 해제 부재(600)는 몸체부(610), 몸체부 구동부(670), 핑거 슬라이더(630), 해제바(650), 구동부(660) 그리고 제어기(690)를 포함한다.

몸체부(610)는 후술하는 핑거 슬라이더(630) 및 해제바(650)가 결할될 수 있다. 몸체부(610)는 핑거 슬라이더(630) 및 해제바(650)가 결합되어 함께 이동할 수 있다.

몸체부 구동부(670)는 몸체부(610)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 몸체부 구동부(670)는 몸체부(610)를 제1방향(X)을 따라서 이동시킬 수 있다. 일 예로, 고정 해제 부재(600)가 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)의 결합을 해제하는 경우, 몸체부 구동부(670)는 몸체부(610)를 가변 부재(400)에 인접하도록 몸체부(610)를 이동시킬 수 있다. 이와는 달리, 측면 플레이트(110)의 간격 조절이 끝난 후, 가변 부재(400)와 지지 플레이트(210)가 새로운 위치에서 결합되는 경우 몸체부 구동부(670)는 몸체부(610)를 가변 부재(400)에서 멀리 떨어지도록 이동시킬 수 있다.

핑거 슬라이더(630)는 고정 해제 부재(600)를 베이스 판(410)에 고정 시킬 수 있다. 핑거 슬라이더(630)는 몸체부(610)의 측면에 결합될 수 있다. 핑거 슬라이더(630)는 한 쌍이 제공될 수 있다. 한 쌍의 핑거 슬라이더(630)는 몸체부(610)의 양측면에 결합되어 서로 마주보며 위치할 수 있다.

핑거 슬라이더(630)의 끝단에는 핑거 돌기(631)가 형성될 수 있다. 핑거 돌기(631)는 베이스 판(410)에 형성된 핑거홈(470)에 삽입될 수 있다. 핑거 돌기(631)는 핑거홈(470)에 삽입되어 고정 해제 부재(600)를 고정시킬 수 있다.

해제바(650)는 해제홀(433)에 삽입되어 지지 플레이트(210)와 가변 부재(400)의 결합을 해제하여, 고정바(430)를 지지 플레이트(210)에서 측면 플레이를 향하는 방향인 제2방향으로 이동시킬 수 있다. 해제바(650)는 몸체부(610)의 제1방향(X) 앞면에 위치할 수 있다. 해제바(650)의 일측 단부는 그 끝단으로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 형상으로 제공될 수 있다. 일 예로 해제바(650)의 끝단은 뾰족한 형상으로 제공될 수 있다.

구동부(660)는 해제바(650)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 구동부(660)는 해제바(650)를 해제홀(433)에 삽입시키거나, 해제홀(433)에 위치한 해제바(650)를 외부로 이동시키도록 해제바(650)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 구동부(660)는 해제바(650)를 제1방향(X)을 따라 이동시킬 수 있다.

구동부(660)는 한 쌍의 핑거 슬라이더(630)를 몸체부(610)의 외측방향으로 이동시킬 수 있다. 구동부(660)는 몸체부(610)가 가변 부재(400)에 인접하게 이동 한 뒤에, 핑거 슬라이더(630)를 몸체부(610)의 외측 방향으로 이동시켜 베이스 판(410)과 핑거 슬라이더(630)를 고정시킬 수 있다.

핑거 슬라이더(630)가 베이스 판(410)과 고정 결합되어, 뒤에 해제바(650)가 해제홀(433)에 삽입될 때 베이스 판(410)이 움직이지 않도록 고정시킬 수 있다.

구동부(660)는 베이스 판(410)에 고정된 핑거 슬라이더(630)를 몸체부(610)의 내측 방향으로 이동시켜 베이스 판(410)과 핑거 슬라이더(630)의 고정을 해제시킬 수 있다.

제어기(690)는 몸체부 구동부(670) 및 구동부(660)를 제어할 수 있다. 구체적으로 제어기(690)는 몸체부 구동부(670)를 제어하여, 몸체부(610)를 가변 부재(400)에 인접하도록 위치시키거나, 가변 부재(400)로부터 멀리 떨어지도록 할 수 있다. 제어기(690)는 구동부(660)를 제어하여, 핑거 슬라이더(630)를 베이스 판(410)에 고정시키거나, 고정을 해제시킬 수 있다. 제어기(690)는 구동부(660)를 제어하여, 해제바(650)를 해제홀(433)에 삽입시키거나, 해제홀(433)에 위치하는 해제바(650)를 외부로 이동시킬 수 있다.

이하, 고정 해제 부재(600)를 이용하여 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 간격을 조절하는 방법을 설명한다.

몸체부(610)는 몸체부 구동부(670)에 의해서 가변 부재(400)에 인접하게 위치한다. 이 후, 핑거 슬라이더(630)는 몸체부(610)의 외측 방향으로 이동하여 베이스 판(410)과 결합된다. 핑거 돌기(631)는 베이스 판(410)의 핑거홈(470)에 삽입되어 핑거 슬라이더(630)와 결합되는 몸체부(610)와 베이스 판(410)을 고정시킬 수 있다.

이 후, 해제바(650)는 해제홀(433)에 삽입되어 지지 플레이트(210)와 고정바(430)의 결합을 해제시킬 수 있다. 이 후, 측면 플레이트(110)를 이동 시켜 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 간격을 조절할 수 있다.

도 12는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이고, 도 13은 도 12의 가변식 카세트 중 일부를 확대하여 보여주는 확대 사시도이고, 도 14는 도 13의 가변식 카세트의 일부분을 보여주는 측면도다.

도 12 내지 도 14를 참고하면, 가변식 카세트(10a)는 기판 적재 부재(100a), 지지 부재(200a) 그리고 거리 조절 부재(700a)를 포함한다.

기판 적재 부재(100a) 및 지지 부재(200a)는 도 1의 기판 적재 부재(100) 및 지지 부재(200)와 대체로 동일하게 제공된다.

거리 조절 부재(700a)는 지지 부재(200a)의 지지 플레이트(210a)와 결합될 수 있다. 거리 조절 부재(700a)는 한 쌍의 측면 플레이트(110a) 사이의 거리를 조절할 수 있다. 거리 조절 부재(700a) 중 적어도 일부분은 지지 플레이트(210a)와 결합되며, 적어도 일부분은 측면 플레이트(110a)와 결합될 수 있다. 거리 조절 부재(700a)는 복수개 제공될 수 있다. 일 예로 거리 조절 부재(700a)는 4개가 제공될 수 있다. 상술한 예와는 달리, 거리 조절 부재(700a)는 4개와는 다른 개수로 제공될 수 있다.

거리 조절 부재(700a)는 캠부(710a), 힌지부(730a) 그리고 풀리부(750a)를 포함한다.

캠부(710a)는 지지 플레이트(210a)와 결합될 수 있다. 캠부(710a)는 회전가능하도록 제공될 수 있다. 일 예로 캠부(710a)는 도 15와 같이 일방향으로 회전할 수 있다. 캠부(710a)와 회전하여, 이와 연결된 풀리부(750a) 및 측면 플레이트(110a)가 일방향으로 이동되어, 한 쌍의 측면 플레이트(110a) 사이의 간격을 조절할 수 있다.

힌지부(730a)는 측면 플레이트(110a)에 결합될 수 있다. 힌지부(730a)는 캠부(710a)와 동일한 높이로 배치될 수 있다.

풀리부(750a)는 캠부(710a)와 힌지부(730a)를 연결할 수 있다. 일 예로 풀리부(750a)는 벨트로 제공되어, 캠부(710a)와 힌지부(730a)의 일부를 감싸며 캠부(710a)에서 전달받은 구동력으로 벨트 구동을 할 수 있다.

일 예로, 거리 조절 부재(700a)는 한 쌍의 측면 플레이트(110a) 사이의 간격을 늘이려고 하는 경우, 캠부(710a)를 측면 플레이트(110a)를 기준으로 외측방향을 향하는 방향으로 회전하여, 도 15와 같이 한 쌍의 측면 플레이트(110a)를 이동시킬 수 있다.

캠부(710a)를 회전하는 경우, 캠부(710a)와 연결된 풀리부(750a)가 회전하여, 이와 결합된 측면 플레이트(110a)가 제1방향으로 이동할 수 있다.

이와는 달리, 거리 조절 부재(700a)는 한 쌍의 측면 플레이트(110a) 사이의 간격을 줄이는 경우, 캠부(710a)를 한 쌍의 측면 플레이트(110a)가 마주보는 방향인 내측 방향을 향하는 방향으로 회전하여, 한 쌍의 측면 플레이트(110a)를 이동시킬 수 있다. 캠부(710a)를 회전하는 경우, 캠부(710a)와 연결된 풀리부(750a)가 회전하여, 이와 결합된 측면 플레이트(110a)가 제1방향으로 이동할 수 있다.

본 실시예의 경우, 측면 플레이트(110a)에는 고정 돌기가 형성될 수 있다. 고정 돌기는 지지 플레이트(210a)에 형성된 고정홈 중 어느 하나에 고정될 수 있다. 고정홈은 지지 플레이트(210a) 중 한 쌍의 측면 플레이트(110a)가 이동되는 방향인 제1방향을 따라 배치될 수 있다.

한 쌍의 측면 플레이트(110a)를 이동 시 측면 플레이트(110a)와 지지 플레이트(210a)의 고정력을 해제 한 후 거리 조절 부재(700a)를 통해서 측면 플레이트(110a) 사이의 간격을 조절 할 수 있다.

도 16은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이이고, 도 17은 도 16의 가변식 카세트 중 일부를 확대하여 보여주는 확대 사시도이고, 도 18은 도 17의 가변식 카세트의 일부분을 보여주는 측면도이다.

도 16 내지 도 18을 참고하면, 가변식 카세트(10b)는 기판 적재 부재(100b), 지지 부재(200b) 그리고 거리 조절 부재(800b)를 포함한다.

기판 적재 부재(100b) 및 지지 부재(200b)는 도 1의 기판 적재 부재(100) 및 지지 부재(200)와 대체로 동일하게 제공된다.

거리 조절 부재(800b)는 지지 부재(200b)의 지지 플레이트(210b)와 결합될 수 있다. 거리 조절 부재(800b)는 한 쌍의 측면 플레이트(110b) 사이의 거리를 조절할 수 있다. 거리 조절 부재(800b) 중 적어도 일부분은 지지 플레이트(210b)와 결합되며, 적어도 일부분은 측면 플레이트(110b)와 결합될 수 있다. 거리 조절 부재(800b)는 복수개 제공될 수 있다. 일 예로 거리 조절 부재(800b)는 4개가 제공될 수 있다. 상술한 예와는 달리, 거리 조절 부재(800b)는 4개와는 다른 개수로 제공될 수 있다.

거리 조절 부재(800b)는 제1고정부(810b), 제2고정부(820b)), 제1고정힌지부(830b), 제2고정힌지부(840b), 제1연결바(850b) 그리고 제2연결바(860b)를 포함한다.

제1고정부(810b)는 지지 플레이트(210b)의 일측에 결합될 수 있다.

제2고정부(820b))는 지지 플레이트(210b)의 일측에 결합될 수 있다. 제2고정부(820b))는 제1고정부(810b)의 하부에 위치할 수 있다. 제1고정부(810b)와 제2고정부(820b))는 제3방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다.

제1고정힌지부(830b)는 측면 플레이트(110b)의 일측에 결합될 수 있다. 제1고정힌지부(830b)는 제1고정부(810b)와 동일한 높이에 위치할 수 있다.

제2고정힌지부(840b)는 측면 플레이트(110b)의 일측에 결합될 수 있다. 제2고정힌지부(840b)는 제2고정부(820b))와 동일한 높이에 위치할 수 있다. 제1고정힌지부(830b)와 제2고정힌지부(840b)는 제3방향(Z)을 따라 나란하게 배치될 수 있다.

제1연결바(850b)는 제1고정부(810b) 및 제2고정힌지부(840b)를 연결할 수 있다. 제1연결바(850b)는 일단은 제1고정부(810b)에 결합되며, 타단은 제2고정힌지부(840b)에 결합될 수 있다. 일 예로 제1연결바(850b)와 제2고정힌지부(840b)는 힌지 결합할 수 있다.

제2연결바(860b)는 제2고정부(820b)) 및 제1고정힌지부(830b)를 연결할 수 있다. 제2연결바(860b)는 일단은 제2고정부(820b))에 결합되며, 타단은 제1고정힌지부(830b)에 결합될 수 있다. 일 예로 제2연결바(860b)와 제1고정힌지부(830b)는 힌지 결합할 수 있다. 제1연결바(850b) 및 제2연결바(860b)는 각각 중앙부위가 결합된 형태로 제공될 수 있다.

일 예로, 거리 조절 부재(800b)는 한 쌍의 측면 플레이트(110b) 사이의 간격을 늘이려고 하는 경우, 제1연결바(850b)와 제2연결바(860b)를 이동시켜 측면 플레이트(110b)를 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 도 19와 같이 제1연결바(850b) 및 제2연결바(860b) 중 동일한 높이에 위치하는 각각의 일단 사이를 줄여, 이와 결합된 측면 플레이트(110b)를 제1방향의 외측 방향으로 이동시켜 한 쌍의 측면 플레이트(110b) 사이의 간격을 늘일 수 있다.

즉, 제1연결바(850b)와 제2연결바(860b)가 영문자 X자와 같은 형태로 상부 및 하부의 사이의 거리를 줄이거나 늘려, 한 쌍의 측면 플레이트(110b) 사이의 간격을 조절할 수 있다.

이와는 달리, 일 예로, 거리 조절 부재(800b)는 한 쌍의 측면 플레이트(110b) 사이의 간격을 줄이려고 하는 경우, 제1연결바(850b)와 제2연결바(860b)를 이동시켜 측면 플레이트(110b)를 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 제1연결바(850b) 및 제2연결바(860b) 중 동일한 높이에 위치하는 각각의 일단 사이를 늘리어, 이와 결합된 측면 플레이트(110b)를 제1방향의 외측 방향으로 이동시켜 한 쌍의 측면 플레이트(110b) 사이의 간격을 늘일 수 있다.

본 실시예의 경우, 측면 플레이트(110b)에는 고정 돌기가 형성될 수 있다. 고정 돌기는 지지 플레이트(210b)에 형성된 고정홈 중 어느 하나에 고정될 수 있다. 고정홈은 지지 플레이트(210b) 중 한 쌍의 측면 플레이트(110b)가 이동되는 방향인 제1방향을 따라 배치될 수 있다.

한 쌍의 측면 플레이트(110b)를 이동 시 측면 플레이트(110b)와 지지 플레이트(210b)의 고정력을 해제한 후 거리 조절 부재(800b)를 통해서 측면 플레이트(110b) 사이의 간격을 조절할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 에에 따르면 가변식 카세트는 측면 플레이트의 사이의 간격을 조절하여, 다양한 사이즈의 기판을 수용할 수 있다. 또한, 기판의 사이즈에 따라서 별도의 카세트를 제작하지 않아 비용을 절감할 수 있으며, 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

10: 가변식 카세트 100: 기판 적재 부재
110: 측면 플레이트 200: 지지 부재
210: 지지 플레이트 230: 지지바
300: 가이드 부재 310: 가이드 판
330: 가이드 레일 400: 가변 부재
410: 베이스 판 411: 베이스 홈
430: 고정바 433: 해제홀
435: 고정 돌기 450: 탄성부
451: 탄성홈 470: 핑거홈
510, 610: 해제바

Claims (17)

1. 가변식 카세트에 있어서,
   일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 가지며, 서로 마주보며 위치하는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재 부재와;
   상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 상기 기판 적재 부재를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지 부재와;
   상기 측면 플레이트 및 상기 지지 플레이트와 결합되며, 상기 측면 플레이트의 이동을 가이드하는 가이드 부재와;
   상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 일방향으로 함께 이동 가능하며, 상기 지지 플레이트에 탈착 가능하도록 제공되는 가변 부재와 그리고
   상기 가변 부재와 상기 지지 플레이트의 결합을 해제하여 한 쌍의 상기 측면 플레이트 사이의 간격을 줄이거나 늘릴 수 있도록 제공되는 고정 해제 부재를 포함하는 가변식 카세트.
2. 제1항에 있어서,
   상기 가변 부재는,
   베이스 판과;
   상기 베이스 판에 형성된 베이스 홈에 삽입되며 한 쌍의 상기 측면 플레이트가 나란하게 배치된 방향인 제1방향을 따라 형성된 해제홀을 구비하는 고정바와;
   상기 베이스 홈의 내부에 위치하며, 일단은 상기 고정바에 형성된 탄성홈에 삽입되고 타단은 상기 베이스 홈의 내면과 접촉하는 탄성부를 포함하며,
   상기 고정바의 외측면 중 상기 탄성홈이 형성된 면의 반대면에 형성되며, 상기 지지 플레이트와 결합되도록 돌출 형성된 고정 돌기를 포함하는 가변식 카세트.
3. 제2항에 있어서,
   상기 지지 플레이트에는 상기 고정 돌기가 삽입될 수 있는 고정홈이 복수개 형성되며,
   복수개의 상기 고정홈은 상기 제1방향을 따라 일정 거리 이격되어 형성되는 가변식 카세트.
4. 제3항에 있어서,
   상기 고정 돌기와 상기 고정홈은 서로 대응되는 형상으로 제공되는 가변식 카세트.
5. 제2항에 있어서,
   상기 가변 부재는 상기 지지 플레이트와 인접하는 상기 측면 플레이트의 양측 가장자리에 각각 한 쌍이 제공되는 가변식 카세트.
6. 제2항에 있어서,
   상기 고정 해제 부재는,
   상기 해제홀에 삽입되어 상기 지지 플레이트와 상기 가변 부재의 결합을 해제하며 상기 고정바를 상기 지지 플레이트에서 상기 측면 플레이트를 향하는 방향으로 이동시키는 해제바와;
   상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입시키거나 상기 해제홀에 위치한 상기 해제바를 외부로 이동시키도록 상기 해제바를 이동시키는 해제바 구동부와; 그리고
   상기 해제바 구동부를 제어하는 제어기를 포함하는 가변식 카세트.
7. 제6항에 있어서,
   상기 해제바의 일측 단부는 그 끝단으로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 형상으로 제공되는 가변식 카세트.
8. 제6항에 있어서,
   상기 제어기는 한 쌍의 상기 측면 플레이트의 사이의 간격을 조절 할 때, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입하여 상기 지지 플레이트와 상기 가변 부재의 결합을 해제시키도록 상기 해제바 구동부를 제어하는 가변식 카세트.
9. 제2항에 있어서,
   상기 고정 해제 부재는,
   몸체부와;
   상기 몸체부를 일방향으로 이동시키는 몸체부 구동부와;
   상기 몸체부에 양측면에 결합되는 한 쌍의 핑거 슬라이더와;
   상기 몸체부의 앞면에 결합되며, 상기 해제홀에 삽입되어 상기 지지 플레이트와 상기 가변 부재의 결합을 해제하며 상기 고정바를 상기 지지 플레이트에서 상기 측면 플레이트를 향하는 방향으로 이동시키는 해제바와;
   상기 한 쌍의 핑거 슬라이더를 상기 몸체부의 외측 방향으로 이동시켜 상기 핑거 슬라이더를 상기 베이스판에 고정시키거나, 상기 베이스판에 고정된 상기 핑거 슬라이더를 상기 몸체부의 내측 방향으로 이동시키거나, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입시키거나 상기 해제홀 내부에 위치한 상기 해제바를 외부로 이동시키도록 상기 핑거 슬라이더 또는 상기 해제바를 이동시키는 구동부와; 그리고
   상기 구동부를 제어하는 제어기를; 포함하는 가변식 카세트.
10. 제9항에 있어서,
    상기 핑거 슬라이더는 끝단에는 상기 베이스판을 향해 돌출 형성된 핑거 돌기가 형성되며,
    상기 베이스판에는 상기 핑거 돌기가 삽입되는 핑거홈이 형성되는 가변식 카세트.
11. 제9항에 있어서,
    상기 제어기는 한 쌍의 상기 측면 플레이트의 사이의 간격을 조절 할 때, 상기 몸체부를 상기 베이스판에 인접하도록 상기 몸체부 구동부를 제어하고,
    상기 제어기는 상기 몸체부가 이동된 후, 상기 핑거 슬라이더가 상기 베이스판에 고정되도록 상기 핑거 슬라이더를 상기 몸체부의 외측 방향으로 이동시키도록 상기 구동부를 제어하고,
    상기 제어기는 상기 핑거 슬라이더가 상기 베이스 판에 고정된 후, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입하여 상기 지지 플레이트와 상기 가변 부재의 결합을 해제시키도록 상기 구동부를 제어하는 가변식 카세트.
12. 삭제
13. 가변식 카세트에 있어서,
    일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 가지며, 서로 마주보며 위치하는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재 부재와;
    상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 상기 기판 적재 부재를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지 부재와; 그리고
    상기 지지 플레이트와 결합되며, 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 거리를 조절하는 거리 조절 부재를 포함하되,
    상기 거리 조절 부재는 상기 지지 플레이트 및 상기 측면 플레이트에 결합되어 상기 측면 플레이트를 일방향으로 이동시키되,
    상기 거리 조절 부재는,
    상기 지지 플레이트에 결합되는 캠부와;
    상기 측면 플레이트에 결합되며 상기 캠부와 동일한 높이로 배치되는 힌지부와; 그리고
    상기 캠부와 상기 힌지부를 연결하는 풀리부를 포함하며,
    상기 캠부는 상기 한 쌍의 측면 플레이트의 거리를 조절 시 상기 캠부를 일방향으로 회전시켜 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이 거리를 조절하는 가변식 카세트.
14. 제13항에 있어서,
    상기 지지 플레이트에는 상기 한 쌍의 측면 플레이트가 이동되는 방향을 따라 배치되는 복수개의 고정홈이 형성되며,
    상기 복수개 고정홈 중 어느 하나에는 상기 측면 플레이트의 일측면에 형성된 고정 돌기가 삽입되는 가변식 카세트.
15. 가변식 카세트에 있어서,
    일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 가지며, 서로 마주보며 위치하는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재 부재와;
    상기 한 쌍의 측면 플레이트와 각각 결합되어 상기 기판 적재 부재를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지 부재와; 그리고
    상기 지지 플레이트와 결합되며, 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 거리를 조절하는 거리 조절 부재를 포함하되,
    상기 거리 조절 부재는 상기 지지 플레이트 및 상기 측면 플레이트에 결합되어 상기 측면 플레이트를 일방향으로 이동시키되,
    상기 거리 조절 부재는,
    상기 지지 플레이트의 일측에 결합되는 제1고정부와;
    상기 지지 플레이트의 일측에 결합되며 상기 제1고정부의 하부에 위치하는 제2고정부와;
    상기 측면 플레이트의 일측에 결합되는 제1고정힌지부와;
    상기 측면 플레이트의 일측에 결합되며 상기 제1고정힌지부의 하부에 위치하는 제2고정힌지부와;
    상기 제1고정부 및 상기 제2고정힌지부를 연결하는 제1연결바와; 그리고
    상기 제2고정부 및 상기 제1고정힌지부와 연결하며, 상기 제1연결바의 중앙부위와 결합되는 제2연결바를 포함하며,
    상기 제1연결바 및 상기 제2연결바는 상기 한 쌍의 측면 플레이트의 거리를 조절 시 상기 제1연결바 및 상기 제2연결바를 각각 일방향으로 이동시켜 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이 거리를 조절하는 가변식 카세트.
16. 제15항에 있어서,
    상기 제1고정힌지부는 상기 제1고정부와 동일한 높이에 위치하며,
    상기 제2고정힌지부는 상기 제2고정부와 동일한 높이에 위치하는 가변식 카세트.
17. 제15항에 있어서,
    상기 지지 플레이트는 상기 한 쌍의 측면 플레이트가 이동되는 방향을 따라 배치되는 복수개의 고정홈이 형성되며,
    상기 복수개 고정홈 중 어느 하나에는 상기 측면 플레이트의 일측면에 형성된 고정 돌기가 삽입되는 가변식 카세트.

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