KR101103289B1 - 번인 소터 및 그 동작 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 디바이스를 이송하여 번인(BURN-IN) 테스트나 디씨(DC) 테스트를 수행하고, 상기 디바이스를 등급별로 분류 수납 및 배출하는 번인보드를 포함한 번인 소터 및 그 동작 방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 번인보드 지그를 이용함으로써 작업중인 번인보드와는 별도로 작업할 번인보드를 번인보드 랙으로부터 받아서 대기하거나 작업이 완료된 번인보드를 번인보드 랙에 넣을 수 있도록 하고, 이를 위하여 번인 소터를 구성하는 번인보드 무브 어셈블리는 제1, 제2 번인보드 지그 어셈블리 및 번인보드 테이블 어셈블리로 구성되며, 상기 번인보드 지그 어셈블리 중 어느 하나의 지그 어셈블리가 반도체 디바이스를 인서트/리무브 하는 작업 위치에 있는 경우, 다른 하나의 지그 어셈블리는 대기 영역에 위치시켜 연속적인 공정이 가능하도록 하는 번인보드 및 번인보드 랙 교체 시간을 최소화하여 생산성 향상을 이룰 수 있는 번인 소터 및 그 동작 방법에 관한 것이다.

Description

번인 소터 및 그 동작 방법 {BURN IN SORTER AND OPERATION METHOD USING IT}

본 발명은 디바이스를 이송하여 번인(BURN-IN) 테스트나 디씨(DC) 테스트를 수행하고, 상기 디바이스를 등급별로 분류 수납 및 배출하는 번인 보드를 포함한 번인 소터 및 그 동작 방법에 관한 것이다.

번인 소터(BURN-IN SORTER)는, 제조가 완료된 IC(Integrated Circuit)를 D.C(Direct Current) 특성을 검사하여 양호한 IC를 번인 보드(burn-in board)에 수납하고, 번인 테스트 또는 디씨 테스트가 완료된 IC를 번인 보드에서 언로딩하여 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 수납하기 위한 장치이다. 이러한 번인 소터에 관련된 선행기술로는 한국공개 특허 제1998-0071613호(공개일:1998년10월26일)가 공지되어 있다.

한국공개특허 1998-0071613호에 기재된 번인 소터의 구성을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다. 도 1은 종래의 번인 소터의 개략적 구성을 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 본체의 상부에 설치된 툴의 동작상태도이다. 종래의 번인 소터는 도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 보드 로더(board loader)(2), 언로더(unloader)(3), DC 리젝트(reject)부(4), 트레이 로딩(tray loading)부(5), DC 테스트(DC test)부(6), 턴 리턴 장치(turn return device)부(7), 와이 테이블(Y-table)(8), 빈 포켓(empty pocket)부(9), 트레이 언로딩(tray unloading)부(10) 및 소팅(sorting)부(11)로 구성된다.

보드 로더(2) 및 언로더부(3)는 번인 소터의 본체(1)의 상부 일측에 설치되며, 보드 로더(2) 및 언로더부(3)의 타측에 각각 DC 리젝트부(4)와 트레이 로딩부(5)가 설치된다. 트레이 로딩부(5)의 타측방향으로 DC 테스트부(6), 턴 리턴 장치부(7), 와이 테이블(8)이 각각 설치되고, 턴 리턴 장치부(7)와 와이 테이블(8)의 타측에 빈 포켓부(9), 트레이 언로딩부(10) 및 소팅부(11)가 각각 설치되며, 본체(1)의 상부에 다수개의 툴(tool)(12,13,14,15)이 설치된다.

다수개의 툴(12,13,14,15) 중 1 및 2번 트랜스퍼(transfer) 툴(12,13)은 X축 방향으로 이동하여 각각 트레이 로딩부(5)에서 IC(도시 않음)를 DC 테스트하고, 테스트 결과 정상인 IC는 와이 테이블(8)에 위치한 번인 보드(도시 않음)로 이송하고, 테스트 결과 불량으로 판정된 IC는 DC 리젝트부(4)로 각각 이송하도록 설치된다. 또한, 3번 툴(14)은 X축방향으로 이동하여 번인 테스트가 완료된 4개의 IC를 등급에 따라 빈포켓부(9)와 트레이 언로더부(10)로 각각 이송하도록 설치되며, 4번 툴(15)은 X축방향으로 이동하여 번인 테스트 결과, 양품이 아닌 IC를 빈 포켓부(9)에서 소팅부(11)로 이송하도록 설치되어 구성된다.

상기와 같이 구성된 종래의 번인 소터는 IC를 이송하는 다수개의 툴이 X축 방향의 자유도만을 가짐으로써 와이 테이블을 제외하고 나머지 DC 리젝트부(소팅부), 트레이 로딩부, DC 테스트부, 빈 포켓부 및 트레이 언로딩부가 X축방향으로 나열된 형태로 설치되어 장비의 풋 프린트(Foot Print)가 커지게 되는 문제점이 있고, 기구적인 구성이 복잡해지는 문제점이 있다.

그리고, 기존 일본 특허(JPPD20000111613)에서 보여지는 기존장비 에서도 시간 낭비가 나타난다. 즉, 작업이 완료된 번인보드를 랙 엘리베이터 등에 의해 하강중인 번인보드 랙에 넣은 다음, 번인보드 랙을 교체한 후에야 새로운 번인보드를 장비 내부로 공급하여 작업을 속개할 수 있는 시스템으로, 번인보드 교체에 필요한 시간 및 공정 낭비가 필연적으로 따를 수밖에 없었다.

따라서, 기존 장비(특1998-005637)는 번인보드 랙 교체시 번인보드에 반도체 디바이스를 넣거나 빼기 위한 동작을 할 수 없게 된다.

이는, 기존 일본특허(JPPD20000111613)에서 보여지는 형상과 비슷하지만 일본특허 및 기존장비(1998-005637)에서는 갈쿠리 형상의 기구물과 번인보드를 밀착 및 홀딩하는 기구물들이 장비의 베이스 플레이트(프레임등의 기구물)에 고정되어 있어 한번에 한 개의 번인보드 밖에 처리하지 못하는 문제점이 있었다.

즉, 기존 장비(특1998-005637)는 번인 보드를 고정하기 위한 기구물이 장비에 고정되어 있으므로, 랙 스택커에서 번인보드를 1장 가져온 다음 반드시 다시 갖다 넣어야 다음 작업할 번인 보드를 가져올 수 있도록 시스템을 구성하고 있었다.

따라서, 작업이 끝난 번인보드를 새로 작업할 번인보드로 교체하는 데 시간이 소요되며 번인장비 즉, 번인보드에 반도체 디바이스를 가능한 한 빠른 시간 내에 많이 넣는 것이 최우선 목표인 장비에 있어서 생산성을 떨어뜨릴 수 밖에 없는 중요한 장해 요인으로 작용하였다.

즉, 번인보드가 교체할 시간 동안 주요 공정이 진행되고 있어야 할 인서트/리무브 로봇은 동작을 중지하여야만 하게 되며, 특히, 이러한 기존 장비는 번인보드 랙을 교체할 때 많은 시간을 낭비하게 되는 문제점을 내재하고 있었다.

상기한 종래 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 목적은, 번인보드 교체시 교체 시간에 영향을 받지 않고 장비가 동작 가능하도록 하는 데 있다. 즉, 번인보드 지그를 이용함으로써 작업중인 번인보드와는 별도로 작업할 번인보드를 번인보드 랙으로부터 받아서 대기하거나 작업이 완료된 번인보드를 번인보드 랙에 넣을 수 있도록 하여 번인보드 교체 시간을 최대한 줄이는 데 주 목적이 있는 것이다.

상기 종래 문제점을 해결하고 본 발명에 따른 기술적 과제를 달성하기 위한 번인 소터는, 디바이스를 이송시켜 번인 테스트 또는 디씨(DC) 테스트를 수행하고, 상기 디바이스를 등급별로 분류하는 번인 보드를 포함한 번인 소터에 있어서, 상기 번인 소터를 구성하는 번인보드 무브 어셈블리는 제1, 제2 번인보드 지그 어셈블리 및 번인보드 테이블 어셈블리로 구성되며, 상기 번인보드 지그 어셈블리 중 어느 하나의 지그 어셈블리가 반도체 디바이스를 인서트/리무브 하는 작업 위치에 있는 경우, 다른 하나의 지그 어셈블리는 대기 영역에 위치시켜 연속적인 공정이 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.

이 경우, 상기 번인보드 테이블 어셈블리는, 랙 엘리베이터(RACK ELEVATOR)에 장착된 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리로 이송 및 장착, 정렬하는 기능을 수행하고, 상기 번인보드 지그 어셈블리를 회전 시키는 기능을 포함하는 번인보드 IN/OUT SITE; 정착된 번인보드에 자재(반도체 소자)를 삽입 또는 배출하기 위해서 지정된 INSERT/REMOVE ROBOT의 PICK & PLACE 위치로 이송하는 기능을 수행하는 번인보드 TABLE SITE; 작업이 완료된 번인보드를 배출하기 위해서 번인보드 OUT-2 SITE 위치로 번인보드 지그 어셈블리를 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT-1 SITE; 및 작업이 완료된 번인보드를 배출하기 위해서 번인보드 IN/OUT SITE 위치로 번인보드 지그 어셈블리를 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT-2 SITE;로 구성하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 번인보드 IN/OUT SITE는, 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 후크(HOOK) UNIT을 구동시켜 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리로 이송 또는 번인보드 지그 어셈블리에서 번인보드를 번인보드 랙의 랙 엘리베이터로 HOOK UNIT를 구동시켜 배출하는 기능 및 번인보드 IN/OUT SITE의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 TABLE SITE로 번인보드 지그 어셈블리를 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 IN/OUT MOVER; 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 PRESS UNIT을 DOWN시키는 기능을 수행하는 번인보드 PRESS DOWN UNIT; 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 PRESS UNIT를 UP시키는 기능을 수행하는 번인보드 PRESS UP UNIT; 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 JIG REAR STOPPER를 해제하는 기능을 수행하는 번인보드 JIG REAR STOPPER 해제 UNIT; 및 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 JIG FRONT STOPPER를 해제하는 기능을 수행하는 번인보드 JIG FRONT STOPPER 해제 UNIT;를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.

상기 번인보드 TABLE SITE는, 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드에 자재(반도체 소자)를 삽입 또는 배출하기 위해서 지정된 인서트/리무브 로봇의 PICK& PLACE 위치로 이송하는 기능 및 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 TABLE SITE 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 OUT-1 SITE 위치로 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 JIG MOVER를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 번인보드 OUT-1 SITE는, 번인보드 OUT-1 SITE 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 OUT-2 SITE 위치로 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT 1 MOVER를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 번인보드 OUT-2 SITE는, 번인보드 OUT-2 SITE 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 IN/OUT SITE 위치로 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT 2 MOVER를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 번인 보드 랙은, 번인보드를 다수개 투입하여 엘리베이터 랙을 작동시켜 상기 번인 보드를 기기 내부로 투입하거나 외부로 배출하며, 2행 3열의 6개 부분으로 나뉜 랙에, 1,3열을 상기 번인보드의 수납 및 대기 공간인 번인 보드 대기 랙으로 구성하며, 2열은 상기 1,3열에 수납된 상기 번인 보드를 수납받거나 자체 수납하고 있는 번인 보드를 상하 엘리베이팅하며 상기 번인 보드를 기기 내부로 투입하거나 외부로 배출하는 상기 엘리베이터 랙으로 구성하는 것을 특징으로 한다.

이 경우, 상기 엘리베이터 랙은, 다수개의 상기 번인 보드를 탑재한 상기 번인 보드 케이스의 저면에 점 접촉할 수 있게 볼베어링을 일정 간격으로 돌출 형성하여 상기 번인 보드)를 상하 엘리베이팅하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 랙 가이드 롤러는 엘리베이터 랙의 일측과 타측 상부 내향에 장착하여 번인보드 케이스의 일측과 타측 외부를 가이드하는 것으로 번인보드의 비틀림 탑재를 방지하는 역할을 하는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 종래 문제점을 해결하고 본 발명에 따른 기술적 과제를 달성하기 위한 번인소터 동작방법은, 랙 엘리베이터의 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 HOOK UNIT를 이용하여 제1 번인보드 지그 어셈블리로 번인보드를 끌고 오는 (가) 단계; 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리에 끌려온 번인보드를 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 JIG에 장착된 REAR, FRONT, 번인보드 PERSS UNIT를 동작시켜 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리에 정렬시키는 (나) 단계; 번인보드의 정렬이 끝난 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 번인보드 TABLE SITE(420)로 번인보드 IN/OUT MOVER에 의하여 이송되는 (다) 단계; 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 TABLE SITE(420)에서 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 하는 중에, 제2 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 OUT-2 SITE(440)에서 번인보드 IN/OUT SITE(410)로 이동하여 랙 엘리베이터에 있는 다음 작업용 번인보드를 끌고 오는 작업을 수행하는 (라) 단계; 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 TABLE SITE(420) 에서 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 하는 중에 제2 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 IN/OUT SITE(410) 에서 번인보드를 끌고온 후 번인보드 정렬 작업을 완료 후 대기하고 있게 되는 (마) 단계; 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 완료 후 번인보드 OUT-1 SITE(430)에서 번인보드 OUT-2 SITE(440)로 이송되고, 제2 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 번인보드 TABLE SITE(420)로 서로 교차 이송되어 작업을 진행하는 (바) 단계; 상기 제2 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 진행하고 있을 때, 제1 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 OUT-2 SITE(440) 에서 번인보드 IN/OUT SITE(410)로 이송되는 (사) 단계; 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 IN/OUT SITE(410) 위치에서 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 REAR, FRONT, 번인보드 PERSS UNIT를 동작시켜 번인보드를 지그 어셈블리에서 정렬을 해제하고 번인보드를 랙 엘리베이터로 배출 후 다음 번인보드를 번인보드 HOOK를 이용하여 끌고 온 후 번인보드를 정렬시키고 대기시키는 (아) 단계; 를 포함하며, 상기 (바) 내지 (아) 단계를 생산 종료 시까지 반복 동작시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 디바이스를 이송시켜 번인 테스트 또는 디씨(DC) 테스트를 수행하고, 상기 디바이스를 등급별로 분류하는 번인 보드를 포함한 번인 소터 동작 방법에 있어서, 번인보드 랙에 있는 번인보드 중에서 작업할 번인보드의 정보를 바코드 리더등을 이용하여 읽는 A 단계; 상기 번인보드 랙이 승/하강 하여 번인보드 지그에 정보 인식된 상기 번인보드를 이송하기 위한 높이로 이송되는 B 단계; 작업할 상기 이송된 번인보드가 상기 번인보드 지그에 있는 갈쿠리 모양의 구조물에 의하여 장비 속으로 들어가는 C 단계; 상기 번인보드 지그에 들어온 번인보드가 수평 방향의 기준면에 밀착이 되며 하부를 받쳐주는 D 단계; 상하 / 좌우 기준면에 밀착된 번인보드를 가진 채 반도체 디바이스를 인서트/리무브 하는 영역으로 이송하는 E 단계; 및 이송된 번인보드에 디바이스 인서트/리무브 공정을 수행하며, 이 경우 비어있는 번인보드 지그로 다음 작업할 번인보드를 번인보드 랙으로부터 받아서 홀딩하거나, 이전의 작업이 완료된 번인보드의 홀딩을 풀어서 번인보드를 대기중인 번인보드 랙에 넣는 F 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 작업 영역에 있던 번인보드에 대하여 작업이 끝나면, 새로 작업을 할 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그와 동작 영역의 간섭을 피하기 위하여 작업 완료한 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그가 대기 영역으로 이동되며 새로 작업할 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그가 작업 영역으로 이동하는 G단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 번인보드 장치 및 그 방법에 따를 경우에는, 번인보드 지그를 이용함으로써 작업중인 번인보드와는 별도로 작업할 번인보드를 번인보드 랙으로부터 받아서 대기하거나 작업이 완료된 번인보드를 번인보드 랙에 넣을 수 있도록 함으로써 번인보드 교체 시 교체 시간에 영향을 받지 않고 장비가 동작 가능하도록 하여 작업 생산성을 높일 수 있는 효과를 가진다.

도 1은 종래의 번인 소터의 개략적 구성을 나타낸 평면도.
도 2는 도 1에 도시된 본체의 상부에 설치된 툴의 동작상태도
도 3은 본 발명에 따른 번인보드 랙 구성 단면도
도 4는 본 발명에 따른 번인보드 교체를 위한 장비 구성도
도 5는 본 발명에 따른 번인보드 교체 및 작업 공정 흐름도
도 6은 본 발명에 따른 작업 공간 테이블 상면의 평면도
도 7 내지 도 13은 본 발명에 따른 제1 및 제2 지그 어셈블리 공정 흐름을 도시한 장비 구성도

번인 소터는 번인보드에 반도체 디바이스를 넣거나 빼는 장비로, 이러한 장비는 통상적으로 3가지 종류의 작업을 수행함이 일반적이다.

첫번 째로는, 번인보드에 테스트 할 반도체 디바이스를 넣는 작업만 하는 경우 (Only Loading), 두번 째로는, 번인보드로부터 테스트가 끝난 반도체 디바이스를 빼내어 테스트 결과에 따라 분류하는 작업만 하는 경우(Only Unloading), 세번 째로는, 번인보드로부터 테스트가 끝난 반도체 디바이스를 빼내어 테스트 결과에 따라 분류하고, 반도체 디바이스를 빼내어 빈 소켓에 다시 테스트 할 반도체를 넣는 작업을 하는 경우(Exchange)의 공정을 들 수 있으며, 이러한 세 가지 작업 공정은 필요에 따라 선택적으로 조합이 가능하다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 구체적인 번인소터 구성 및 그 동작방법에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 번인보드 랙 구성 단면도, 도 4는 본 발명에 따른 번인보드 교체를 위한 장비 구성도, 도 5는 본 발명에 따른 번인보드 교체 및 작업 공정 흐름도, 도 6은 본 발명에 따른 작업 공간인 번인보드 테이블 어셈블리 상면의 평면도, 도 7 내지 도 13은 본 발명에 따른 제1 및 제2 번인보드 지그 어셈블리 공정 흐름을 도시한 장비 구성도이다.

도 8에서와 같이, 먼저 본 발명에 따른 번인보드 무브 어셈블리(100)는 제1, 제2 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)와 번인보드 테이블 어셈블리(400)로 구성되어 있다.

그리고, 번인보드 테이블 어셈블리(400)는 도 6에서와 같이, 4-SITE(410 내지 440)로 구분을 할 수 있는데, 이의 구성은 다음 설명과 같다. 이러한 공간적인 구분은 본 발명인 번인소터 구성의 핵심이라 할 수 있는 제1, 제2 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)의 순차적인 움직임을 용이하게 설명하기 위한 것이다. 따라서, 공간적인 개념만이 아닌 구성/기능적인 면에서 같이 고려하여야만 할 것이다.

먼저 상기 번인보드 테이블 어셈블리(400)를 구성하는 번인보드 IN/OUT SITE(410)는 랙 엘리베이터(RACK ELEVATOR, 82)에 장착된 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리로 이송 및 장착, 정렬하는 기능을 수행하고, 번인보드 지그 어셈블리를 회전 시키는 기능 또한 포함하고 있다.

번인보드 TABLE SITE(420)는 번인보드에 자재(반도체 소자)를 삽입 또는 배출하기 위해서 지정된 인서트/리무브 로봇의 PICK & PLACE 위치로 이송하는 기능을 수행한다.

그리고, 번인보드 OUT-1 SITE(430)는 작업이 완료된 번인보드를 배출하기 위해서 번인보드 OUT-1 SITE(430) 위치에서 번인보드 OUT-2 SITE(440) 위치로 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)를 이송시키는 기능을 수행한다.

또한, 번인보드 OUT-2 SITE(440) 에서는 작업이 완료된 번인보드를 배출하기 위해서 번인보드 OUT-2 SITE(440) 위치에서 번인보드 IN/OUT SITE(410) 위치로 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)를 이송시키는 기능을 수행한다.

즉, 상기 번인보드 OUT-1 SITE(430) 및 번인보드 OUT-2 SITE(440) 에서처럼 상기 제1 및 제2 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)를 순차적으로 시간 간극없이 공정 흐름에 놓여지게 함으로써 생산 효율을 높이게 하였다.

이 경우, 상기 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)는, 하기 설명과 같이 4개의 유닛으로 구분할 수 있다.

먼저, 번인보드(210)에 자재(반도체 소자)를 삽입 또는 배출 시 번인보드(210)에 장착된 소켓을 누르는데 이때 PCB 기판 형태의 번인보드(210)의 처짐을 방지해주는 번인보드 PRESS UNIT(230)을 구성한다.

그리고, 랙 엘리베이터(82)에서 번인보드 지그 어셈블리로 번인보드(210)를 가져 오거나, 번인보드 지그 어셈블리에서 랙 엘리베이터로 번인보드(210)를 이송시켜 주는 번인보드 HOOK UNIT(220)를 구성하며, 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드(210)를 고정시켜 주는 번인보드 FRONT STOPPER UNIT(240) 및 번인보드 REAR STOPPER UNIT(250)를 추가로 더 구성하고 있다.

이 경우, 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 번인보드 TABLE SITE(420)로 이송되기 때문에 지그 안에는 모터, 실린더 등의 부품을 구성할 수 없으므로, 번인보드 지그 어셈블리의 UNIT는 CAM, GEAR, SPRING을 이용하여 복잡하지 않게 기구물을 구성하는 것이 바람직하다.

이어서, 도 6을 참조하여, 상기 번인보드 테이블 어셈블리(400) 구성에 대하여 더 부연 설명하면 다음과 같다.

상기 번인보드 IN/OUT SITE(410)는 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)에 장착된 후크(HOOK) UNIT(220)을 구동시켜 번인보드(210)를 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)로 이송, 또는 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)에서 번인보드(210)를 랙 엘리베이터로 상기 HOOK UNIT(220)를 구동시켜 배출하는 기능 및 번인보드 IN/OUT SITE(410)의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 TABLE SITE(420)로 번인보드 지그 어셈블리를 이송시키는 번인보드 IN/OUT MOVER(450)를 구성하도록 한다.

또한, 번인보드 PRESS DOWN UNIT(460)에서는 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)에 장착된 번인보드 PRESS UNIT(230)을 DOWN시키는 기능을 수행한다.

그리고, 번인보드 PRESS UP UNIT(490)에서는 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)에 장착된 번인보드 PRESS UNIT(230)를 UP시키는 기능을 수행한다.

아울러, 번인보드 JIG REAR STOPPER 해제 UNIT(470)에서는 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)에 장착된 번인보드 JIG REAR STOPPER(240)를 해제하는 기능을 수행하게 하고, 번인보드 JIG FRONT STOPPER 해제 UNIT(480)에서는 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)에 장착된 번인보드 JIG FRONT STOPPER(250)를 해제하는 기능을 수행할 수 있도록 하고 있다.

그리고, 상기 번인보드 TABLE SITE(420)에 구성되는 번인보드 JIG MOVER(425) 에서는 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)에 장착된 번인보드에 자재(반도체 소자)를 삽입 또는 배출하기 위해서 지정된 인서트/리무브 로봇의 PICK& PLACE 위치로 이송하는 기능 및 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 TABLE SITE(420) 위치에서 번인보드 OUT-1 SITE(430) 위치로 이송시키는 기능을 수행하도록 하는 역할을 수행한다.

한편, 상기 번인보드 OUT-1 SITE(430)에 구성되는 번인보드 OUT 1 MOVER(455)에서는 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 OUT-1 SITE(430) 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 OUT-2 SITE(440) 위치로 이송시키는 기능을 수행한다.

그리고, 상기 번인보드 OUT-2 SITE(440)에 구성되는 번인보드 OUT 2 MOVER(457)에서는 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 OUT-2 SITE(440) 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 IN/OUT SITE(410) 위치로 이송시키는 기능을 수행하도록 한다.

이러한 일련의 작업 공간 구성에서 본 발명은 번인보드의 디바이스를 리무브 헤드 로봇이 픽킹하여 언로딩용 버퍼부에 수납하는 동안, 인서트 헤드 로봇이 로딩용 버퍼부에 있는 디바이스를 비어 있는 번인보드의 소켓에 수납하도록 함으로써 일련의 연속적인 공정이 가능하도록 하여 번인보드 교체 시 공정 시간 단축을 도모하게 하고 있다.

한편, 본 발명에 따른 번인 보드 랙(800)을 첨부된 도 3을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

상기 번인보드 랙(800)은, 상기 번인보드(88)를 다수 개 투입하여 랙 엘리베이터(82)를 작동시켜 상기 번인보드(88)를 기기 내부로 투입하거나 외부로 배출한다. 즉, 2행 3열의 6개 부분으로 나뉜 번인보드 랙(800)에, 1,3열을 상기 번인 보드(88)의 수납 및 대기 공간인 번인 보드 대기 랙(81,83)으로 구성하며, 2열은 상기 1,3열에 수납된 상기 번인 보드(88)를 수납받거나 자체 수납하고 있는 번인 보드(88)를 상하 엘리베이팅하며 상기 번인 보드(88)를 기기 내부로 투입하거나 외부로 배출하는 상기 랙 엘리베이터(82)로 구성한다.

여기서, 상기 랙 엘리베이터(82)는, 볼베어링(91), 번인 보드 케이스(93) 및 랙 가이드 롤러(94)로 구성하여 모터(미도시)에 의해 상하 엘리베이팅한다.

그리고, 상기 랙 엘리베이터(82)는, 다수개의 상기 번인보드(88)를 탑재한 상기 번인보드 케이스(93)의 저면에 점 접촉할 수 있게 상기 볼베어링(91)을 일정 간격으로 돌출 형성하여 상기 번인보드(88)를 상하 엘리베이팅시킨다.

이 때, 상기 랙 가이드 롤러(94)는 랙 엘리베이터(82)의 일측과 타측 상부 내향에 장착하여 번인보드 케이스의 일측과 타측 외부를 가이드하는 것으로 번인보드(88)의 비틀림 탑재를 방지하는 역할을 한다. 즉, 상기 볼베어링(91)과 상기 번인 보드 케이스(93)는, 상기 번인보드 케이스(93)의 저면 유동성과 상부 공차 최소화를 동시에 적용하여 상기 번인보드 케이스(93)에 탑재된 상기 번인보드(88)가 수직 일적선으로 적층하게 한다.

본 발명이 기존 장치에 비해 달라진 점은, 리무브 버퍼가 수직 방향으로 보았을 때 3단으로 이루어져 있다는 점이다. 이에 따라서, 3개 중 임의의 첫번 째 리무브 버퍼는 번인보드에서 리무브 로봇에 의해 꺼내어진 테스트 완료된 반도체 디바이스를 담는 역할을 하며, 3개 중 임의의 두 번 째 리무브 버퍼는 테스트 완료된 반도체 디바이스가 담긴 첫번 째 리무브 버퍼가 이송되어 소팅 로봇에 의해 그 중 리젝 디바이스를 빼내고 양품인 디바이스로 채워넣는 영역이며, 3개 중 임의의 세번 째 리무브 버퍼는 소팅 로봇에 의해 양품인 디바이스만 담겨진 채 이송되어 언로딩 로봇으로 그 양품인 디바이스를 양품 디바이스용 트레이에 담을 수 있도록 양품으로 채워진 버퍼로 구분 가능하다.

그리고, 본 발명에서는 디씨 굳 버퍼를 인서트 버퍼와 합쳐 같은 공간을 분할해서 사용하며, 이는 디씨 굳 버퍼가 없어진 것이 아니라 단지 공간적으로 같은 인서트 버퍼의 일부를 나누어 사용하는 것을 의미한다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 구성 및 공정을 살펴보면, 도 4에서와 같이, 번인보드(210)는 번인보드 지그(952)에 맞물리게 하고 이러한 지그(952)는 지그 어셈블리(200, 300)를 구성하게 된다. 이렇게 하여 작업 완료된 번인보드(954)는 번인보드 랙에 적층되며, 그 아래에 있는 열에서는 번인보드 정보를 읽게 하는 작업 대기중인 번인보드(220)가 대기하게 한다.

이 경우, 번인보드는 랙 스택커에 있는 번인보드 랙(번인보드를 여러장 담아서 이동하기 위한 구조물, 800)에 들어 있는데 랙 스텍커(번인 보드 랙을 보관하고 있는 곳) 또는 랙 엘리베이터(번인 보드랙을 승/하강하기 위한 구조물, 82)의 일반적인 구조로 종래에는 한 번에 한 개의 번인보드 랙을 홀딩하여 상하로 승하강시켜 장비 쪽으로 번인 보드를 공급할 수 있도록 하고 있다.

따라서, 랙 엘리베이터(82)에 승/하강 중인 번인보드 랙(800)의 모든 번인보드가 작업 완료되면 랙 엘리베이터(82)는 작업 완료된 번인보드 랙을 랙 스텍커에 집어 넣고 새로 작업할 번인보드 랙을 번인보드 랙 스택커로부터 받아 승하강을 시켜 번인보드를 공급하게 된다.

본 발명 시스템에서는, 상기 번인보드 지그 어셈블리(200, 300)를 구성하는 번인보드 지그(952), 즉, 번인보드(210)를 홀딩하기 위한 이동 가능한 구조물을 이용하여 번인보드(210) 교체에 따른 공정 수 및 시간을 단축할 수 있도록 하였다.

여기에서, 번인보드 지그(952)의 중요한 역할은 번인보드(210)를 수평면 상의 한 방향으로 밀착하여 홀딩하고 있으며 또한 번인보드(210)의 아래쪽을 받쳐주는 기구물과 번인보드 랙(800)으로부터 번인보드를 가져오기 위한 갈쿠리 형상의 기구물, 즉 HOOK UNIT(220)을 가진 채로 수평면 상을 이송하는 것이다.

본 발명에 따른 시스템에서는 번인보드 지그(952)에 부착되어 함께 번인보드(210)와 함께 움직이므로 작업중인 번인보드와 상관없이 번인보드를 번인보드 랙(800)에 넣거나 공급받을 수 있게 된다.

본 발명에서처럼 이러한 번인보드 지그(952)를 이용할 때 얻어지는 장점은 번인보드 교체 시간에 영향을 받지 않고 번인 소터 장비가 동작 가능하다는 것이다.

즉, 번인보드 지그(952)를 이용함으로써 작업중인 번인보드(210)와는 별도로 작업할 번인보드를 번인보드 랙(800)으로부터 받아서 대기(220)하거나 작업이 완료된 번인보드(954)를 번인보드 랙(800)에 넣을 수 있게 된다.

이하, 상기한 구성을 갖는 번인 소터 장치 구성에 따른 본 발명의 번인보드 팔로우(FOLLOW) 동작에 대하여 설명하면 다음과 같다. 이러한 번인보드 동작 및 이동은 본 발명에서 핵심적인 기술 내용이므로 이를 위주로 보다 상세하게 설명하기로 한다.

먼저 랙 엘리베이터의 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 HOOK UNIT(220)를 이용하여 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)로 번인보드를 끌고 온다.

이어서, 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)에 끌려온 번인보드는 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 JIG에 장착된 REAR, FRONT, 번인보드 PERSS UNIT를 동작시켜 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리에 정렬시킨다.

번인보드의 정렬이 끝난 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)는 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 번인보드 TABLE SITE(420)로 번인보드 IN/OUT MOVER(450)로 이송이 된다.

이 경우, 이송된 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)는 번인보드 TABLE SITE(420) 에서 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출하는 작업을 수행하며, 이와 동시에 제2 번인보드 지그 어셈블리(300)는 번인보드 OUT-2 SITE(440) SITE에서 번인보드 IN/OUT SITE(410)로 이동하여 랙 엘리베이터에 있는 다음 작업용 번인보드를 끌고 오는 작업을 수행한다.

그리고, 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)가 번인보드 TABLE SITE(420)에서 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 하는 중에 제2 번인보드 지그 어셈블리(300)는 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 번인보드를 끌고온 후 번인보드 정렬 작업을 완료 후 대기하고 있게 된다.

이어서, 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)는 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 완료한 후 번인보드 OUT-1 SITE(430)에서 번인보드 OUT-2 SITE(440)로 이송되고, 이에 따라서 제2 번인보드 지그 어셈블리(300)는 번인보드 IN/OUT SITE(410)에서 번인보드 TABLE SITE(420)로 서로 교차 이송되어 작업을 진행한다.

이 경우, 기존 타사 장비는 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업이 완료된 후 번인보드를 랙 엘리베이터로 배출한 다음 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리에 장착 후 새로운 작업을 진행 할 수 있어, 번인보드 교체 시간이 본 발명 시스템보다 많이 걸린다.

즉, 타사 장비는 약 6~8초 동안 장비는 정지 상태가 되고 다수의 번인보드가 생산 중에 교체됨으로써 생산량에는 많은 차이를 보이므로, 생산 중 다음 번인보드 대기와 번인보드 교차 이송이 매우 중요한 역할을 한다. 구체적으로는 본 발명 시스템에서 번인보드 교체 시간은 3.8sec에 불과하나, 타사 번인보드 교체 시간은 10~12sec 정도 소요된다. 이는 본 발명의 가장 큰 효과이기도 하다.

그리고, 상기 제2 번인보드 지그 어셈블리(300)가 번인보드(210)에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 진행하고 있을 때, 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)는 번인보드 OUT-2 SITE(440) 에서 번인보드 IN/OUT SITE(410)로 이송된다.

마지막으로, 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)가 번인보드 IN/OUT SITE(410) 위치에서 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 REAR(250), FRONT(240), 번인보드 PERSS UNIT(230)를 동작시켜 번인보드(210)를 지그 어셈블리(200)에서 정렬을 해제하고 번인보드를 랙 엘리베이터로 배출 후 다음 번인보드를 번인보드 HOOK(220)를 이용하여 끌고 온 후 번인보드를 정렬시키고 대기시킨다.

그리고, 이러한 공정을 위 동작 순서처럼 생산 종료 때까지 반복 동작시키게 되며, 이에 따라서 작업이 완료된 번인보드 배출 및 새로이 투입되는 번인보드 공급 과정이 시간의 간극 없이 연속적인 흐름을 가지도록 하여 생산성을 제고할 수 있는 효과를 가지게 된다.

디바이스를 이송시켜 번인 테스트 또는 디씨(DC) 테스트를 수행하고, 상기 디바이스를 등급별로 분류하는 번인보드를 포함한 번인 소터 동작 방법을 달리 표현 설명하여 보면, 다음과 같다. 도 5를 참조하기로 한다.

먼저, 번인보드 랙에 있는 번인보드 중에서 작업할 번인보드, 즉, 랙 엘리베이터에 대기중인 번인보드(220)의 정보를 바코드 리더 등을 이용하여 읽는 A 단계를 수행한다.

이어서, 상기 번인보드 랙이 승/하강 하여 비어 있는 번인보드 지그(952)에 정보 인식된 상기 번인보드를 이송하기 위한 높이로 이송하는 B 단계를 실행하고, 작업할 상기 이송된 번인보드가 상기 번인보드 지그에 있는 갈쿠리 모양의 구조물인 HOOK UNIT에 의하여 장비 속으로 들어가는 C 단계, 상기 번인보드 지그에 들어온 번인보드가 수평 방향의 기준면에 밀착이 되며 하부를 받쳐주는 D 단계, 상하 / 좌우 기준면에 밀착된 번인보드를 가진 채 반도체 디바이스를 인서트/리무브 하는 영역(961)으로 이송하는 E 단계, 및 이송된 번인보드에 디바이스 인서트/리무브 공정을 수행하며, 이 경우 비어있는 번인보드 지그로 다음 작업할 번인보드를 번인보드 랙으로부터 받아서 홀딩하거나, 이전의 작업이 완료된 번인보드(215)의 홀딩을 풀어서 번인보드를 대기중인 번인보드 랙에 넣는 F 단계를 포함하는 공정으로 구성한다.

이 경우, 작업 영역에 있던 번인보드에 대하여 작업이 끝나면, 새로 작업을 할 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그와 동작 영역의 간섭을 피하기 위하여 작업 완료한 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그가 대기 영역으로 이동되며 새로 작업할 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그가 작업 영역으로 이동할 수 있도록 번인보드 동작 이동을 제어하는 것이 바람직하다.

이어서, 본 발명에 따른 바람직한 번인 소터 장치 구동의 일 실시 예를 설명한다.

본 발명에 따른 번인 소터 장치의 기본 동작 플로우의 일 실시 예를 설명하면 다음과 같다. 먼저 본 발명에 따른 번인 소터는 기존의 번인 소터 개념을 넘어 장비의 성능 개선 및 효율 향상을 위해 새로운 컨셉의 장비를 구성하였으며, 그 주요 내용은 버퍼활용(4개), 피커수량 증가(총 96개), DC Tester (16 Para) 증가, 번인보드 교체 시간을 줄일 수 있는 개념의 방법을 사용하였다.

이하, 바람직한 번인 소터 장치 구동의 일 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

먼저 로딩 트레이 스태커(2개)를 적재하고, DC 로딩 로봇이 이를 픽킹하여 DC 테스터에 디바이스를 위치시킨 다음 DC 테스팅이 종료되면 DC 언로딩 로봇이 디바이스를 픽킹한다. DC 언로딩 로봇이 디바이스를 인서트 버퍼(2개)에 DC 테스트 결과 양품인 디바이스를 위치시키고 번인보드에 디바이스를 넣기 위한 위치로 이동하여 인서트 버퍼에 디바이스가 있는지 체크한 후 번인보드 테이블 워크 준비 & 보드 워킹 작업을 수행한다.

그리고, 번인보드 리무브 로봇이 번인보드 소켓에 있는 디바이스를 픽킹하여 대기하고 있는 리무브 버퍼(3단)에 리무브 로봇이 디바이스를 우치시킨 후 리무브 버퍼가 소팅 로봇 사이트로 이동하면 언로드 소팅 로봇이 리무브 버퍼 내의 디바이스 등급을 체크하고 언로드 소팅 로봇이 번인보드 소팅을 실시한다.

인서트 버퍼와 번인보드가 준비되면 인서트 로봇이 인서트 버퍼 내의 디바이스를 픽킹하고 인서트 로봇이 디바이스를 번인보드의 워킹 위치로 이동 후 번인보드에 있는 소켓에 디바이스를 넣는다.

이어서, 번인보드 테이블(지그 1, 2) 동작 방법에 대하여 설명하면 다음과 같다. 본 발명에서는 상기 설명한 바와 같이 번인보드 보드 교체 시간을 최소화하기 위하여 2개의 번인보드를 장비 본체에 넣어 미리 다음 작업을 준비하는 것이 바람직하다.

이 때, 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)에서는, 먼저 랙 엘리베이터에서 제1 번인보드를 번인보드 IN/OUT 사이트(410)에 공급하고, 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)가 이를 홀드하여 번인보드(210) 90도 턴 여부를 체크한다. 이어서, 번인보드 TABLE SITE(420)로 이동하여 번인보드에 디바이스를 삽입 또는 취출하는 작업을 완료한다.

이 후, 번인보드 OUT-1 SITE(430)와 번인보드 OUT-2 SITE(440)로 순차적으로 이동하고 번인보드 IN/OUT SITE(410)에 번인보드(210)가 없으면 번인보드 IN/OUT SITE(410)로 번인보드(210)를 이동 및 동작시킨다. 이 경우, 제1 번인보드 지그 어셈블리(200)의 번인보드 홀딩을 해제하여 랙 엘리베이터 위치로 번인보드를 배출시킨다.

한편, 제2 번인보드 지그 어셈블리(300)에서는, 먼저 번인보드 IN/OUT 사이트(410)에 번인보드(210)가 없으면 번인보드를 랙 엘리베이터로부터 공급받은 다음 제2 번인보드 지그 어셈블리(300)에서 이를 홀드하고, 번인보드의 90도 턴 여부를 체크한다.

그리고, 번인보드 TABLE SITE(420)가 비어 있으면 번인보드 지그(952)를 번인보드 TABLE SITE(420)로 이동시키고, 번인보드 IN/OUT SITE(410)에 번인보드 지그(952)가 없으면 번인보드 IN/OUT SITE(410)로 제2 번인보드 지그 어셈블리(300)를 이동시키고 제2 번인보드 지그의 번인보드 홀딩을 해제한 후 랙 엘리베이터 위치로 번인보드를 배출시킨다.

본 발명에 따른 번인 소터 플로우 차트(번인보드 랙 동작방법)를 살펴보면, 랙 엘리베이터에 있는 동작중인 번인보드 랙의 마지막 번인보드가 본체의 번인보드 TABLE SITE(420)에서 번인보드에 디바이스를 삽입/취출 작업중인 상태에서, 상기 번인보드가 작업이 완료되어 배출되는 것을 기다리지 않고 다음 작업할 번인보드 랙을 준비시킨다. 이는 랙 교체 시간을 최소화하기 위한 제어 방법에 해당한다.

이를 보다 구체적으로 설명하면, 랙 스태커에서 랙 엘리베이터로 번인보드 랙을 공급한 다음, 번인보드 랙 내 번인보드를 ID 체크 위치로 이동시켜 번인보드 ID 체크(1 번인보드 보드) 후 1 스텝 랙업(번인보드 IN/OUT SITE)시켜 본체 번인보드 IN/OUT SITE에 보드를 공급한다.

여기에서, 번인보드 ID 체크 시 다음 작업 ID를 미리 체크하여 1 스텝 랙업(번인보드 IN/OUT SITE)시켜 본체 번인보드 IN/OUT SITE에 보드를 공급하는 것이 바람직하다.

공지된 기존 장비에서는 번인보드 TABLE SITE에서 작업이 완료되어 배출되는 마지막 번인보드가 랙 엘리베이터에서 대기중인 번인보드 랙으로 들어간 다음 새로 작업할 번인보드 랙이 상기 번인보드 ID 체크를 마친 후 번인보드 TABLE SITE에 올 때까지 장비 내 작업할 번인보드가 없으므로 번인보드에 디바이스를 삽입/추출하는 작업이 중지된다. 하지만 본 발명에서는 번인보드 랙에서 마지막 번인보드가 공급되고 더 이상 작업할 보드가 없으면 랙 교체를 진행하고 이 경우에도 번인보드 한 장이 장비 내부에 있으므로 디바이스 삽입 / 취출 작업을 계속 할 수 있게 된다.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 명세서 및 청구범위에 사용되는 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되어 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 발명 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 발명의 출원 시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있음을 이해하여야 한다.

100: 번인보드 무브 어셈블리 200: 제1 번인보드 지그 어셈블리
210: 번인보드 230: 후크(HOOK) UNIT
240, 250: 번인보드 FRONT, REAR STOPPER
300: 제2 번인보드 지그 어셈블리
400: 번인보드 테이블 어셈블리 410: 번인보드 IN/OUT SITE
420: 번인보드 TABLE SITE 425: 번인보드 JIG MOVER
430: 번인보드 OUT-1 SITE 440: 번인보드 OUT-2 SITE
455: 번인보드 OUT-1 MOVER 457: 번인보드 OUT-2 MOVER
800: 번인보드 랙 82: 랙 엘리베이터
81, 83: 번인보드 대기랙 94: 랙 가이드 롤러

Claims (11)

1. 디바이스를 이송시켜 번인 테스트 또는 디씨(DC) 테스트를 수행하고, 상기 디바이스를 등급별로 분류하는 번인 보드를 포함한 번인 소터에 있어서,
   상기 번인 소터를 구성하는 번인보드 무브 어셈블리는 제1, 제2 번인보드 지그 어셈블리 및 번인보드 테이블 어셈블리로 구성되며,
   상기 번인보드 지그 어셈블리 중 어느 하나의 지그 어셈블리가 반도체 디바이스를 인서트/리무브 하는 작업 위치에 있는 경우, 다른 하나의 지그 어셈블리는 대기 영역에 위치시켜 연속적인 공정이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 번인 소터.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 번인보드 테이블 어셈블리는,
   랙 엘리베이터(Rack Elevator)에 장착된 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리로 이송 및 장착, 정렬하는 기능을 수행하고, 상기 번인보드 지그 어셈블리를 회전 시키는 기능을 포함하는 번인보드 IN/OUT SITE;
   상기 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드에 자재(반도체 소자)를 삽입 또는 배출하기 위해서 지정된 인서트/리무브 로봇의 PICK & PLACE 위치로 이송하는 기능을 수행하는 번인보드 TABLE SITE;
   작업이 완료된 번인보드를 배출하기 위해서 번인보드 OUT-2 SITE 위치로 번인보드 지그 어셈블리를 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT-1 SITE; 및
   작업이 완료된 번인보드를 배출하기 위해서 번인보드 IN/OUT SITE 위치로 번인보드 지그 어셈블리를 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT-2 SITE;로 구성하는 것을 특징으로 하는 번인 소터
3. 제 2항에 있어서,
   상기 번인보드 IN/OUT SITE는,
   번인보드 지그 어셈블리에 장착된 후크(HOOK) UNIT을 구동시켜 번인보드를 랙 엘리베이터 로부터 상기 번인보드 지그 어셈블리로 이송하는 기능 또는 상기 번인보드 지그 어셈블리에서 번인보드를 번인보드 랙의 랙 엘리베이터로 HOOK UNIT를 구동시켜 배출하는 기능 및 번인보드 IN/OUT SITE의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 TABLE SITE로 번인보드 지그 어셈블리를 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 IN/OUT MOVER;
   상기 번인보드 TABLE SITE로 이송된 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 PRESS UNIT을 DOWN시키는 기능을 수행하는 번인보드 PRESS DOWN UNIT;
   상기 번인보드 TABLE SITE로 이송된 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 PRESS UNIT를 UP시키는 기능을 수행하는 번인보드 PRESS UP UNIT;
   상기 번인보드 TABLE SITE로 이송된 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 지그 REAR STOPPER를 해제하는 기능을 수행하는 번인보드 지그 REAR STOPPER 해제 UNIT; 및
   상기 번인보드 TABLE SITE로 이송된 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 지그 FRONT STOPPER를 해제하는 기능을 수행하는 번인보드 지그 FRONT STOPPER 해제 UNIT;를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 번인 소터
4. 제 2항에 있어서,
   상기 번인보드 TABLE SITE는,
   번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드에 자재(반도체 소자)를 삽입 또는 배출하기 위해서 지정된 인서트/리무브 로봇의 PICK & PLACE 위치로 이송하는 기능 및 번인보드 TABLE SITE 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 OUT-1 SITE 위치로 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 JIG MOVER를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 번인 소터
5. 제 2항에 있어서,
   상기 번인보드 OUT-1 SITE는,
   번인보드 OUT-1 SITE 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 OUT-2 SITE 위치로 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT 1 MOVER를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 번인 소터
6. 제 2항에 있어서,
   상기 번인보드 OUT-2 SITE는,
   번인보드 OUT-2 SITE 위치의 번인보드 지그 어셈블리를 번인보드 IN/OUT SITE 위치로 이송시키는 기능을 수행하는 번인보드 OUT 2 MOVER를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 번인 소터
7. 제 3항에 있어서,
   상기 번인보드 랙은,
   번인보드를 다수 개 투입하여 랙 엘리베이터를 작동시켜 상기 번인보드를 기기 내부로 투입하거나 외부로 배출하며, 2행 3열의 6개 부분으로 나누고, 1,3열은 상기 번인보드의 수납 및 대기 공간인 번인 보드대기 랙으로 구성하며, 2열은 상기 1,3열에 수납된 상기 번인보드를 수납받거나 자체 수납하고 있는 번인보드를 상하 엘리베이팅하며 상기 번인보드를 기기 내부로 투입하거나 외부로 배출하는 상기 랙 엘리베이터로 구성하는 것을 특징으로 하는 번인 소터
8. 제 7항에 있어서,
   상기 랙 엘리베이터의 일측과 타측 상부 내향에 랙 가이드 롤러를 장착하여 번인보드 케이스의 일측과 타측 외부를 가이드 하는 것으로 번인보드의 비틀림 탑재를 방지하도록 하는 것을 특징으로 하는 번인 소터
9. 번인소터 동작방법에 있어서,
   랙 엘리베이터의 번인보드를 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 번인보드 HOOK UNIT를 이용하여 제1 번인보드 지그 어셈블리로 번인보드를 끌고 오는 (가) 단계;
   상기 제1 번인보드 지그 어셈블리에 끌려온 번인보드를 번인보드 IN/OUT SITE에서 지그에 장착된 REAR STOPPER, FRONT STOPPER, 번인보드 PERSS UNIT를 동작시켜 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리에 정렬시키는 (나) 단계;
   번인보드의 정렬이 끝난 상기 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 IN/OUT SITE에서 번인보드 TABLE SITE로 번인보드 IN/OUT MOVER에 의하여 이송되는 (다) 단계;
   상기 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 TABLE SITE에서 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 하는 중에, 제2 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 OUT-2 SITE에서 번인보드 IN/OUT SITE로 이동하여 랙 엘리베이터에 있는 다음 작업용 번인보드를 끌고 오는 작업을 수행하는 (라) 단계;
   제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 TABLE SITE에서 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 하는 중에 제2 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 IN/OUT SITE에서 번인보드를 끌고온 후 번인보드 정렬 작업을 완료 후 대기하고 있게 되는 (마) 단계;
   제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 완료 후 번인보드 OUT-1 SITE에서 번인보드 OUT-2 SITE로 이송되고, 제2 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 IN/OUT SITE에서 번인보드 TABLE SITE로 서로 교차 이송되어 작업을 진행하는 (바) 단계;
   상기 제2 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드에 자재를 삽입 또는 배출 작업을 진행하고 있을 때, 제1 번인보드 지그 어셈블리는 번인보드 OUT-2 SITE 에서 번인보드 IN/OUT SITE로 이송되는 (사) 단계;
   상기 제1 번인보드 지그 어셈블리가 번인보드 IN/OUT SITE 위치에서 번인보드 지그 어셈블리에 장착된 REAR STOPPER, FRONT STOPPER, 번인보드 PERSS UNIT를 동작시켜 번인보드를 지그 어셈블리에서 정렬을 해제하고 번인보드를 랙 엘리베이터로 배출 후 다음 번인보드를 번인보드 HOOK UNIT을 이용하여 끌고 온 후 번인보드를 정렬시키고 대기시키는 (아) 단계; 를 포함하며,
   상기 (바) 내지 (아) 단계를 생산 종료 시까지 반복 동작시키는 것을 특징으로 하는 번인소터 동작방법.
10. 디바이스를 이송시켜 번인 테스트 또는 디씨(DC) 테스트를 수행하고, 상기 디바이스를 등급별로 분류하는 번인 보드를 포함한 번인 소터 동작 방법에 있어서,
    번인보드 랙에 있는 번인보드 중에서 작업할 번인보드의 정보를 바코드 리더등을 이용하여 읽는 A 단계;
    상기 번인보드 랙이 승/하강 하여 번인보드 지그에 정보 인식된 상기 번인보드를 이송하기 위한 높이로 이송되는 B 단계;
    작업할 상기 이송된 번인보드가 상기 번인보드 지그에 있는 갈쿠리 모양의 구조물에 의하여 장비 속으로 들어가는 C 단계;
    상기 번인보드 지그에 들어온 번인보드가 수평 방향의 기준면에 밀착이 되며 하부를 받쳐주는 D 단계;
    상하 / 좌우 기준면에 밀착된 번인보드를 가진 채 반도체 디바이스를 인서트/리무브 하는 영역으로 이송하는 E 단계; 및
    이송된 번인보드에 디바이스 인서트/리무브 공정을 수행하며, 이 경우 비어있는 번인보드 지그로 다음 작업할 번인보드를 번인보드 랙으로부터 받아서 홀딩하거나, 이전의 작업이 완료된 번인보드의 홀딩을 풀어서 번인보드를 대기중인 번인보드 랙에 넣는 F 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 소터 동작 방법
11. 제 10항에 있어서,
    작업 영역에 있던 번인보드에 대하여 작업이 끝나면, 새로 작업을 할 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그와 동작 영역의 간섭을 피하기 위하여 작업 완료한 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그가 대기 영역으로 이동되며 새로 작업할 번인보드를 홀딩하고 있는 번인보드 지그가 작업 영역으로 이동하는 G 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 소터 동작 방법
    
    
    
    

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