KR100487066B1 - 핸들러용 트레이 다중 적재장치 - Google Patents

핸들러용 트레이 다중 적재장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 핸들러용 트레이 다중 적재장치에 관한 것으로, 핸들러에서 테스트 완료된 모듈램들을 그 등급에 따라 분류 장착하게 되는 트레이들을 상하로 적층구조로 적재하고, 이를 상하로 승강가능하게 구성하여 선택적으로 인출 및 인입가능하게 구성함으로써, 리젝트부가 차지하는 면적은 축소시키면서 분류 수납할 수 있는 트레이의 수는 증가시켜 모듈램들을 더욱 많은 등급별로 분류 적재할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 일면이 개방된 박스형태로 형성되어 핸들러에 상하로 승강가능하도록 설치되고, 그 내부가 상하로 다수의 칸으로 구획되어 각 칸마다 트레이가 적재되도록 된 하우징과; 상기 하우징을 핸들러에서 상하로 승강시키기 위한 승강수단과; 상기 하우징 내부를 상하로 다수의 칸으로 구획하며 그 위에 트레이가 안착되고, 하우징의 개방된 면을 통해 인출 및 인입 가능하도록 된 다수의 구획판과; 상기 구획판을 하우징의 개방된 면을 통해 인출 및 인입시키기 위한 인출/인입수단을 포함하여 구성된 핸들러용 트레이 다중 적재장치를 제공한다.

Description

핸들러용 트레이 다중 적재장치{Multi-stacker for stacking trays for handler}
본 발명은 핸들러에서 다수의 트레이를 적층구조로 적재하는 트레이 다중 적재장치에 관한 것으로, 특히 모듈램(Module RAM)들을 실장하여 테스트하는 핸들러에서 테스트 완료된 모듈램들을 등급별로 분류 수납하기 위하여 트레이들을 다수의 층으로 적층구조로 적재하도록 된 핸들러용 트레이 다중 적재장치에 관한 것이다.
일반적으로, 모듈램은 복수개의 아이씨(IC) 및 기타 소자를 하나의 기판상에 납땜 고정하여 독립적인 회로를 구성한 것으로, 이러한 모듈램은 마더보드에 실장되는 여러가지의 부품들 중에서 매우 중요한 역할을 하기 때문에 사용하기 전에 전용 핸들러에 의해 보다 정밀하게 이상상태를 점점하는 과정을 반드시 거쳐야 함은 필수적이다.
첨부된 도면의 도 1은 상기와 같은 모듈램을 마더보드에 직접 실장하여 테스트하기 위한 모듈램 실장 테스트 핸들러의 구성을 나타낸 것이다.
모듈램 실장 테스트 핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 모듈램(Module RAM)이 다수 수납된 상태의 트레이(3a)가 2열로 수직 적층되어 있는 로딩부(3)와, 핸들러의 베이스(2) 상에 설치되어 상기 로딩부(3)의 트레이(3a)에 수납되어 있는 모듈램을 받아 쇼트 검사 등의 테스트를 일차적으로 수행하는 1차 테스트부(미도시)와, 상기 1차 테스트부의 일측에 설치되어 1차 테스트에서 불량이 발견될 경우 테스트된 모듈램의 상태에 따라 량품과 불량품으로 분리시켜 일시 저장하도록 된 버퍼부(미도시)와, 실장 테스트를 위한 다수의 마더보드를 구비하여 상기 1차 테스트부에서 일차적으로 테스트된 모듈램을 상기 마더보드에 실장한 후 테스트를 수행하는 2차 테스트부(7)와, 상기 2차 테스트부(7)에서 테스트완료된 모듈램 중 양품으로 판정된 모듈램이 장착되게 되는 트레이(4a)들이 적재되는 언로딩부(4)와, 테스트 결과 불량품 또는 재검사품 등으로 판정된 모듈램을 분류 수납하는 트레이(8a)들이 적재되어 있는 리젝트부(8) 및, 모듈램을 상기 로딩부(3)에서 1차 테스트부와, 2차 테스트부(7), 언로딩부(4) 등의 각 구성부들로 이송하기 위한 피커로봇(10)을 구비한다.
그리고, 상기 언로딩부(4)의 바로 측면부에는 상기 로딩부(3)의 트레이(3a) 내의 모듈램을 모두 2차 테스트부(7)로 이송한 후 비게 되는 공트레이를 적재하게 되는 공트레이적재부(6)가 설치되고, 상기 공트레이적재부(6)의 바로 상부에는 상기 언로딩부(4)로 테스트 완료된 양품 모듈램들을 수납하기 위한 빈 트레이들을 적재하여 공급하는 공트레이공급부(5)가 설치된다.
한편, 전술한 바와 같이 상기 리젝트부(8)에서는 2차 테스트부(7)에서 테스트 완료된 후 불량 또는 재검사품 등으로 분류된 모듈램들이 불량 등급에 따라 트레이들에 분류 장착되는데, 종래에는 이러한 트레이들이 핸들러의 베이스(2) 상에 수평하게 설치되며 리젝트부(8)를 구성하게 되는바, 한정된 베이스(2)의 면적에 의해 트레이(8a)의 수가 제한되어 사실상 분류할 수 있는 등급의 수는 3~4개로 한정될 수 밖에 없는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 상기 리젝트부(8)에서 테스트 완료된 모듈램들을 그 등급에 따라 분류 장착하게 되는 트레이들을 상하로 적층구조로 적재하고, 이를 상하로 승강가능하게 구성함으로써, 리젝트부가 차지하는 면적은 축소시키면서 분류 수납할 수 있는 트레이의 수는 증가시켜 모듈램들을 더욱 많은 등급별로 분류 적재할 수 있도록 한 핸들러용 트레이 다중 적재장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 일면이 개방된 박스형태로 형성되어 핸들러에 상하로 승강가능하도록 설치되고, 그 내부가 상하로 다수의 칸으로 구획되어 각 칸마다 트레이가 적재되도록 된 하우징과; 상기 하우징을 핸들러에서 상하로 승강시키기 위한 승강수단과; 상기 하우징 내부를 상하로 다수의 칸으로 구획하며 그 위에 트레이가 안착되고, 하우징의 개방된 면을 통해 인출 및 인입 가능하도록 된 다수의 구획판과; 상기 구획판을 하우징의 개방된 면을 통해 인출 및 인입시키기 위한 인출/인입수단을 포함하여 구성된 핸들러용 트레이 다중 적재장치를 제공한다.
그리고, 상기와 같은 본 발명의 트레이 다중 적재장치에 있어서, 상기 승강수단은 상기 하우징의 바로 상부 위치에서 핸들러에 고정되게 설치된 전동모터와; 상기 하우징의 일측 외부에 상하로 설치된 한 쌍의 스프로켓(sprocket)을 매개로 상기 전동모터에 연결되어 전동모터의 작동에 의해 상하로 구동하며, 일편이 상기 하우징의 일측면부에 고정되게 결합되도록 된 제 1체인과; 상기 제 1체인의 반대쪽 일측 외부에서 상하로 설치된 다른 한 쌍의 스프로켓을 매개로 상기 전동모터에 연결되어 전동모터의 작동에 의해 상기 제 1체인과 동기적으로 상하 구동하며, 일편이 상기 하우징의 반대쪽 측면부 외측에 고정되게 결합되도록 된 제 2체인을 포함하여 구성된다.
그리고, 상기 인출/인입수단은, 상기 하우징의 양측면부에 설치되어 상기 각 구획판의 양측부를 슬라이딩 이동가능하게 지지하는 다수의 슬라이드팩과; 핸들러의 베이스에서 상기 하우징의 개방된 면 전방에 설치되어 구획판의 인출작동을 수행하게 되는 인출작동용 실린더와; 상기 실린더에 이를 따라 왕복 이동가능하도록 결합되고, 상기 하우징 내의 어느 한 구획판이 베이스 상에 위치될 때 이 구획판과 탈착가능하게 결합하여, 실린더의 작동에 의해 실린더를 따라 전후진 이동하며 결합된 구획판을 하우징으로부터 인출 및 인입시키도록 된 결합부를 포함하여 구성된다.
그리고, 상기 하우징의 각 구획판 위치에는 상기 구획판들이 베이스 상에 위치될 때 이를 감지하는 위치감지센서가 설치된다.
본 발명의 다른 형태에 따르면, 상기 승강수단은 상기 하우징의 바로 상부 위치에서 핸들러에 고정되게 설치된 전동모터와; 상기 전동모터 및 상기 하우징에 결합되어, 전동모터의 작동에 의해 구동되며 상기 하우징을 상하로 승강시키는 1개 이상의 볼스크류를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 트레이 다중 적재장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 트레이 다중 적재장치의 구성을 나타낸 것으로, 전방면이 개방된 박스형태의 하우징(810)이 핸들러의 베이스(2)를 관통하며 상하로 승강가능하도록 설치되고, 상기 하우징(810)의 내부는 그 위에 트레이(8a)가 놓여지는 다수의 구획판(811)에 의해 상하로 다수의 칸으로 구획되어 있다.
그리고, 상기 각 구획판(811)들은 그의 양측부가 상기 하우징(810)의 양측면 내측부에 설치되는 슬라이드팩(812; slide pack)에 슬라이딩 가능하게 지지되어 있는 바, 상기 구획판(811)들은 슬라이드팩(812)을 따라 슬라이딩 이동하며 상기 하우징(810)의 개방된 전면을 통해 인출 및 인입할 수 있도록 되어 있다.
또한, 핸들러의 상부에는 상기 하우징(810)을 상하로 승강시키기 위한 승강수단으로서 동력을 발생시키는 전동모터(821)가 설치되고, 이 전동모터(821)의 양측편에는 전동모터(821)에 연결되어 동기적으로 회동하게 되는 한 쌍의 상부스프로켓(822, 823; sprocket)이 설치되어 있으며, 핸들러의 하부에도 제 1체인(826)과 제 2체인(827)을 매개로 상기 각 상부스프로켓(822, 823)과 연결되어 연동하게 되는 한 쌍의 하부스프로켓(824, 825)이 설치되어 있다.
그리고, 상기 제 1,2체인(826, 827)은 각각 일편이 상기 하우징(810)의 양측 외측면에 설치된 브라켓(815)에 고정되게 결합되고, 다른 일편은 자유로운 상태로 된다.
따라서, 상기 전동모터(821)의 작동에 의해 상부스프로켓(822, 823)이 회동하면서 제 1,2체인(826, 827)이 상하로 구동하게 되고, 이에 따라 제 1,2체인(826, 827)의 일편과 고정된 하우징(810)이 상하로 승강하게 된다.
한편, 핸들러의 베이스(2)에는 상기 하우징(810)의 개방된 전면의 전방 위치에 하우징(810)이 상하로 승강하다가 어느 한 트레이(8a)가 베이스(2) 상에 위치될 때 이 트레이(8a)가 안착되는 구획판(811)을 인출 및 인입하기 위한 수단으로서 인출방향을 따라 설치된 실린더(831)와, 상기 실린더(831)에 결합되어 이 실린더(831)를 따라 이동가능하도록 된 결합부(835)가 구비된다.
여기서, 상기 결합부(835)는 상기 구획판(811)과 탈착가능하게 결합함으로써 상기 구획판(811)을 견인하여 하우징(810)의 개방된 면을 통해 인출할 수 있도록 되어 있는데, 이를 위해 상기 구획판(811)의 전방 모서리부에는 갈고리형의 후크(814)가 형성되고, 상기 결합부(835)에는 상기 구획판(811)의 후크(814)와 상응하여 결합하는 착탈후크(837) 및, 이 착탈후크(837)를 측방이동시킴으로써 후크(814)와 착탈후크(837) 간의 결합 및 해제작동을 수행하게 되는 작동실린더(836)가 구비된다.
한편, 상기 하우징(810)의 개방된 전방부의 양측부에는 각 구획판 위치에 상기 구획판들이 베이스 상에 위치될 때 이를 감지하는 다수의 위치감지센서(813)들이 설치되어 있다.
상기와 같이 구성된 트레이 다중 적재장치는 다음과 같이 동작한다.
핸들러의 2차 테스트부(7; 도 1참조)에서 테스트완료된 모듈램들은 피커로봇(10)에 의해 파지된 후, 양품으로 판정된 모듈램들은 언로딩대기부(2b; 도 1참조)에 위치된 트레이(4a)에, 그리고 불량품 또는 재검사품 등으로 판정된 모듈램들은 리젝트부(8; 도 1참조)의 상기 하우징(810)에 적재된 트레이(8a)에 그 불량 등급에 따라 적재되게 되는데, 여기서 상기 불량 모듈램들이 리젝트부(8)의 트레이들에 장착되는 과정을 살펴보면, 피커로봇(10)이 불량 모듈램을 파지하게 되면 제어부가 이 모듈램의 불량 등급에 따라 상기 하우징(810)의 트레이들중 이 등급에 알맞은 트레이를 하우징(810)의 개방된 면을 통해 핸들러의 베이스(2) 상으로 인출하여 모듈램을 장착시킨 후, 다시 이 트레이를 하우징(810) 내로 인입시키게 된다.
구체적으로 설명하면, 피커로봇(10)이 불량 모듈램을 파지하게 되면 제어부가 이를 파악하여 리젝트부(8)의 전동모터(821)를 구동시켜 제 1,2체인(826, 827)을 상하로 구동시키고, 이에 따라 하우징(810)이 상하로 승강하게 된다.
상기 하우징(810)이 상하로 승강하다 원하는 트레이를 안착한 구획판(811)이 핸들러의 베이스(2) 상에 정확히 위치되면 위치감지센서(813)가 이를 감지하여 제어부에 신호를 보내 전동모터(821)의 작동을 중지시키고 하우징(810)의 위치를 고정시키게 된다.
이와 동시에 구획판(811)의 인출 동작이 일어나게 되는데, 먼저 작동실린더(836)의 작동에 의해 결합부(835)가 측방이동하면서 착탈후크(837)가 구획판(811)의 후크(814)와 결합하게 되고, 이어서 실린더(831)의 작동에 의해 결합부(835)가 실린더(831)를 따라 후진하면서 구획판(811)을 견인하여 하우징(810) 외부로 인출시키게 되는 것이다.
이와 같이 구획판(811)이 하우징(810) 외부로 인출되어 베이스(2) 상에 놓여지면 피커로봇(10)이 모듈램을 인출된 트레이(8a)에 장착시키게 되고, 그런 다음 다시 실린더(831)에 의해 결합부(835)가 하우징(810) 쪽으로 이동하여 구획판(811) 및 트레이(8a)를 하우징(810) 내에 인입시키고, 이어 작동실린더(836)의 작동에 의해 결합부(835)의 착탈후크(837)와 구획판(811)의 후크(814)와의 결합이 해제됨으로써 불량 모듈램의 언로딩이 완료된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 핸들러에서 테스트 완료된 모듈램들을 그 등급에 따라 분류 장착하게 되는 트레이들을 상하로 적층구조로 적재하고, 이를 상하로 승강가능하게 구성하여 선택적으로 인출 및 인입가능하게 구성함으로써, 리젝트부가 차지하는 면적은 축소시키면서 분류 수납할 수 있는 트레이의 수는 증가시켜 모듈램들을 더욱 많은 등급별로 분류 적재할 수 있게 된다.
도 1은 일반적인 모듈램 실장 테스트 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 측면 요부도
도 2는 본 발명에 따른 트레이 다중 적재장치의 구성을 나타낸 정면도
도 3은 도 2의 트레이 다중 적재장치의 측면도
도 4는 도 2의 트레이 다중 적재장치에서 트레이 인출장치의 구성을 나타내기 위한 트레이 다중 적재장치의 평면에서 바라본 요부도
*도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명*
810 - 하우징 811 - 구획판
812 - 슬라이드팩 813 - 위치감지센서
814 - 후크 821 - 전동모터
822, 823 - 상부스프로켓 824, 825 - 하부스프로켓
826 - 제 1체인 827 - 제 2체인
831 - 실린더 835 - 결합부
836 - 작동실린더 837 - 착탈후크

Claims (5)

  1. 핸들러의 테스트 과정에서 테스트 완료된 디바이스를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 지정된 트레이에 수납하도록 된 것에 있어서,
    일면이 개방된 박스형태로 형성되어 핸들러에 상하로 승강가능하도록 설치되고, 그 내부가 상하로 다수의 칸으로 구획되어 각 칸마다 트레이가 적재되도록 된 하우징과;
    상기 하우징을 핸들러에서 상하로 승강시켜 하우징 내의 소정의 트레이를 핸들러 베이스에 위치시키는 승강수단과;
    상기 하우징 내부를 상하로 다수의 칸으로 구획하며 그 위에 트레이가 안착되고, 일단부에는 대응결합부가 형성되며, 하우징의 개방된 면을 통해 핸들러의 베이스 상으로 슬라이딩하며 인출 및 인입 가능하도록 된 다수의 구획판과;
    상기 하우징의 승강 동작시 각 구획판들이 베이스 상에 위치될 때 소정 트레이가 안착된 구획판의 위치를 감지하는 위치감지센서 및;
    상기 구획판들중 어느 한 구획판이 베이스 상에 위치되었을 때 해당 구획판을 하우징의 개방된 면을 통해 핸들러 베이스 상으로 인출 및 인입시키기 위한 인출/인입수단을 포함하여 구성되고;
    상기 인출/인입수단은,
    상기 하우징의 양측면부에 설치되어 상기 각 구획판의 양측부를 슬라이딩 이동가능하게 지지하는 다수의 슬라이드부재와, 핸들러의 베이스에서 상기 하우징의 개방된 면의 전방에 인입출 방향을 따라 왕복 이동가능하게 설치되어 구획판의 대응결합부와 착탈 결합되며 인출 및 인입 작동을 수행하는 착탈결합부와, 상기 착탈결합부를 왕복 이동시키는 인출작동수단과, 상기 착탈결합부와 구획판의 대응결합부가 착탈 결합되도록 착탈결합부를 작동시키는 작동유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 다중 적재장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 승강수단은,
    상기 하우징의 바로 상부 위치에서 핸들러에 고정되게 설치된 전동모터와;
    상기 하우징의 일측 외부에 상하로 설치된 한 쌍의 스프로켓(sprocket)을 매개로 상기 전동모터에 연결되어 전동모터의 작동에 의해 상하로 구동하며, 일편이 상기 하우징의 일측면부에 고정되게 결합되도록 된 제 1체인과;
    상기 제 1체인의 반대쪽 일측 외부에서 상하로 설치된 다른 한 쌍의 스프로켓을 매개로 상기 전동모터에 연결되어 전동모터의 작동에 의해 상기 제 1체인과 동기적으로 상하 구동하며, 일편이 상기 하우징의 반대쪽 측면부 외측에 고정되게 결합되도록 된 제 2체인을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 다중 적재장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 승강수단은,
    상기 하우징의 바로 상부 위치에서 핸들러에 고정되게 설치된 전동모터와;
    상기 전동모터 및 상기 하우징에 결합되어, 전동모터의 작동에 의해 구동되며 상기 하우징을 상하로 승강시키는 1개 이상의 볼스크류를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 다중 적재장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 대응결합부는 후크로 이루어지고, 상기 착탈결합부는 상기 후크와 대응하는 착탈후크로 이루어지며, 상기 작동유닛은 상기 착탈후크를 측방으로 왕복이동시키는 작동실린더로 이루어지고, 상기 인출작동수단은 상기 구획판의 인입출 방향을 따라 설치된 인출작동용 실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 다중 적재장치.
  5. 삭제
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KR100842929B1 (ko) * 2006-11-17 2008-07-02 에이엠티 주식회사 모듈 아이씨 테스트 핸들러
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