DE19958873A1 - Verfahren und Vorrichtung für einen Palettenumlauf in einer Hubeinheit einer IC-Baustein-Handhabungseinrichtung - Google Patents

Abstract

Eine IC-Baustein-Handhabungseinrichtung, die zum Prüfen der IC-Bausteine verwendet wird, hat eine Vorrichtung zum Ausführen von Belade- und Entladevorgängen für die IC-Bausteine, ohne daß eine Palette über eine Installierungsplatte angehoben zu werden braucht, wobei die Palette mit einem Prüfbehälter oder einem Verkaufsbehälter darauf sequentiell überführt wird. Nachdem alle IC-Bausteine 1 aus dem Prüfbehälter 6, der an der Beladestelle 19 oder Entladestelle 26 offenliegt, durch die Belade- und Entladehubeinheit 18a, 18b geladen sind oder die IC-Bausteine, deren Prüfung abgeschlossen ist, in den Verkaufsbehälter 17 gefüllt sind, wird die Palette 5 zu einer Schwenkstelle 30 durch eine Überführungseinrichtung 31 bewegt und kann dann zu einer Oberseite der Belade- oder Entladehubplatte 36 durch eine Senkeinrichtung 32 umlaufen.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine IC-Baustein-Handhabungs­ einrichtung für die automatische Handhabung von IC-Bausteinen während Prüfprozessen für die IC-Bausteine. Die Erfindung be­ trifft insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Umlaufenlassen von Paletten in einer Hubeinheit der IC-Bau­ stein-Handhabungseinrichtung, wobei nacheinander Prüf- oder Verkaufsbehälter enthaltende Paletten zu einer Beladestelle oder einer Entladestelle überführt werden.

Ein IC-Baustein besteht aus einem Substrat, auf dessen einer Seite oder auf dessen beiden Seiten eine Vielzahl von inte­ grierten Schaltungen und elektrische Bauelemente, beispielwei­ se durch Löten, festgelegt sind. Der Baustein dient für eine Kapazitätserweiterung, wenn er mit einem Muttersubstrat ver­ bunden wird. Ein solcher IC-Baustein hat bei einem Verkauf einen höheren Zugewinn im Vergleich zu dem Einzelverkauf einer jeden integrierten Schaltung als Endprodukt.

Der auf dem Markt erhältliche IC-Baustein ist jedoch relativ teuer und muß deshalb eine höhere Betriebssicherheit haben. Dies erfordert eine intensive Qualitätskontrolle, damit nur als ordnungsgemäß befundene Produkte passieren und alle Defek­ te aufweisende Bausteine ausgemustert werden.

Bisher gibt es keine Vorrichtung zum automatischen Einladen der IC-Bausteine als Endprodukte in einen Prüfsockel für seine Prüfung, für seine Klassifizierung in entsprechende Kategorien abhängig von den Prüfergebnissen und für die anschließende Abgabe von als ordnungsgemäß erkannten Bausteinen in Verkaufs­ behälter.

Zum Prüfen des Endprodukts muß eine Bedienungsperson jeweils einen IC-Baustein aus einem Behälter entnehmen, ihn in einen Prüfsockel einsetzen, während einer vorgegebenen Zeit die Überprüfungen durchführen und schließlich den IC-Baustein ab­ hängig von dem Prüfergebnis klassifizieren und in den Ver­ kaufsbehälter legen oder auszumustern. Aufgrund der Handarbeit hat dieses Vorgehen einen schlechten Wirkungsgrad und redu­ ziert die Produktivität. Innerhalb der Prüfbehälter und der Verkaufsbehälter ist eine Vielzahl von Einführschlitzen vor­ gesehen, in denen die IC-Bausteine vertikal eingesetzt werden.

Der Stand der Technik, wie er sich aus dem koreanischen Ge­ brauchsmuster 96-8320, 1996, ergibt, wird nachstehend anhand von Zeichnungen näher erläutert, in denen

Fig. 1 perspektivisch einen bekannten IC-Baustein zeigt,

Fig. 2 eine Seitenansicht der bekannten Vorrichtung ist,

Fig. 3 eine Seitenansicht der Vorrichtung von Fig. 2 ist, wo­ bei einige Abschnitte weggelassen sind, und

Fig. 4 eine Draufsicht auf die Vorrichtung von Fig. 2 ist.

Der in Fig. 1 gezeigte IC-Baustein 1 trägt auf einem Substrat eine Vielzahl von IC-Schaltungen und ist an einer Längsseite mit Kontakten versehen. Solche IC-Bausteine liefert die Anmel­ derin unter der Typenbezeichnung MR 7100 und MR 7200.

Die in Fig. 2 bis 4 gezeigte Vorrichtung hat eine Hubeinrich­ tung 4 für eine Aufwärts- und eine Abwärtsbewegung. Die Hubeinrichtung 4 ist mit einer Führungsstange 3 gekoppelt, die an einer Tragplatte 2 festgelegt ist, und trägt schubladenför­ mig bedienbare Paletten 5. Die Paletten 5, die beladeseitig angeordnet sind, dienen zum Tragen von Prüfbehältern 6, welche zu prüfende IC-Bausteine enthalten, während die an einer Ent­ ladeseite vorgesehenen Paletten 5 dazu verwendet werden, Ver­ kaufsbehälter 7 zu transportieren, die die IC-Bausteine ent­ halten, deren Prüfung erfolgreich beendet ist.

Zwischen den Tragstangen 3 ist eine Leitspindel 9 angeordnet, die von einem Motorantrieb 8 in Drehung versetzt wird und mit der ein Führungsblock 10 in Gewindeeingriff steht, an dem die Hubeinrichtung 4 befestigt ist.

Über einer Positionierplatte 11, die sich auf der Beladeseite bzw. Entladeseite befindet, ist ein zurückziehbarer Schlitten 13 angeordnet, der längs einer Führungsschiene 12 bewegt wird. Der Schlitten 13 ist mit einem Paar von Fingern 15 versehen, die in der Lage sind, durch Aktivierung eines Zylinders 14 sich weiter voneinander weg oder näher aufeinander zu zu bewe­ gen. Die Palette 5 hat eine Fläche, die dem Schlitten 13 ge­ genüberliegt und an der eine Aufhängenase 5a ausgebildet ist.

Die so gebaute Vorrichtung beginnt zu arbeiten, wenn die Prüf­ behälter 6 jeweils vollständig mit zu prüfenden IC-Bausteinen gefüllt und auf den Paletten 5 in der beladeseitigen Hubein­ richtung 4 angeordnet sind, sowie auch, wenn leere Verkaufs­ behälter 7, die mit IC-Bausteinen zu füllen sind, deren Prü­ fung abgeschlossen ist, auf den Paletten der entladeseitigen Hubeinrichtung 4 angeordnet sind.

Durch Einschalten eines Motors 8 wird die Hubeinrichtung 4 angehoben, wobei das Paar von Fingern 15 aufgrund eines AUS- Zustandes des in dem Schlitten 13 installierten Zylinders 14 geöffnet sind. Wenn eine in der Hubeinrichtung aufgenommene Palette die horizontale Ebene des Schlittens 13 erreicht, be­ wegt sich der Schlitten 13 zur Palette 5 hin, wie es links in Fig. 4 zu ersehen ist, wobei der aktivierte Zylinder 14 die Finger 15 so annähert, daß sie die Palette 5 am Schlitten 13 halten. Dabei wird der Schlitten 13 zu seiner Rückführung in den Ausgangszustand zur Belade- oder Entladestelle gezogen, wie es rechts in Fig. 4 zu sehen ist. Eine beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 16 nimmt nacheinander die in dem Prüfbe­ hälter 6 enthaltenen IC-Bausteine auf und setzt sie in einen Prüfsockel oder in einen Träger ein. Wenn alle IC-Bausteine in dem Prüfbehälter 6 aufgenommen sind, schiebt der Schlitten 13 die Palette zu ihrer zugeordneten Hubeinrichtung 4.

Nach Aufhebung des Haltezustands wird die Leitspindel 9 durch einen Motor in Drehung versetzt, wodurch die mit der Leitspin­ del in Gewindeeingriff stehenden Führungsblöcke 10 bewegt wer­ den, so daß die an ihnen beidseitig festgelegte Hubeinrichtung 4 um einen Schritt gehoben wird.

Die zweite Palette unter der oberen Palette, die von den Fin­ gern 15 in dem Schlitten 13 gehalten wird, wird nach außen gezogen. Deshalb ist es möglich, die erwähnten Vorgänge zu wiederholen.

Mit der bekannten Vorrichtung ist es zwar möglich, die Prüf- oder Verkaufsbehälter 5 oder 6 in der Palette 5 in der Hubein­ richtung 4 zu lagern und dadurch ein automatisches Beladen oder Entladen der IC-Bausteine zu ermöglichen. Dabei müssen jedoch die folgenden Nachteile in Kauf genommen werden.

Zunächst muß für das Herausziehen der Palette 5 in der Hubein­ richtung diese jeweils um einen Schritt über die Installie­ rungsplatte 11 angehoben werden, was eine große Bauhöhe der Vorrichtung bedingt.

Zum Beladen der IC-Bausteine oder zum Entladen der IC-Baustei­ ne mit abgeschlossener Prüfung in den Verkaufsbehälter muß der Schlitten 13 bewegt werden, um die Palette 5 in der Hubein­ richtung 4 durch die Finger 15 zu halten, wobei dann die ge­ haltene Palette zur Beladestelle bewegt werden muß. Dadurch wird die von der Vorrichtung eingenommene Gesamtfläche sehr weit, was eine große Installierungsfläche erfordert.

Wenn alle IC-Bausteine im Prüfbehälter 6, die auf jeder Palet­ te 5 angeordnet worden sind, beladen sind, oder wenn alle IC- Bausteine mit abgeschlossener Prüfung in den Verkaufsbehälter 7 entladen sind, senkt die Bedienungsperson die Hubeinrichtung 4 bis zum unteren Totpunkt ab, zieht den Behälter aus der Pa­ lette und setzt dann jeweils einzeln neue Prüf- oder Verkaufsbehälter in jede Palette 5. Dadurch wird ein Bereistellungsintervall erforderlich, während dem die Hubein­ richtung zurückkehrt, was dazu führt, daß die Einsatzzeit der aufwendigen Vorrichtung verringert wird.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht deshalb darin, das Beladen und Entladen der IC-Bausteine ohne ein wei­ teres Paletten-Anheben über eine Installierungsplatte sowie sequentielle Überführungsvorgänge für die Paletten zu ermögli­ chen, auf denen ein Prüf- oder Verkaufsbehälter, also ein Be­ hälter mit fertig geprüften IC-Bausteinen, angeordnet ist. Dabei soll der Bereitstellungszeitraum aufgrund der Belade- und Entladevorgänge für die Prüf- und Verkaufsbehälter auf ein Minimum reduziert werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß für eine IC-Baustein-Hand­ habungsvorrichtung mit einer Hubeinheit durch ein Verfahren zum Umlaufenlassen von Paletten in der Hubeinheit gelöst, wel­ ches folgende Schritte aufweist: Transportieren einer Überfüh­ rungseinrichtung mit Halteeinrichtungen zu einer Position über einer Palette, die an einer Lade- oder Entladestelle angeord­ net ist, und gleichzeitiges Nach-oben-Bewegen einer an einem unteren Totpunkt befindlichen Senkeinrichtung zu einem oberen Totpunkt, Abwärtsbewegen der Halteeinrichtung zum Halten der Palette und danach Aufwärtsbewegen der die Palette tragenden Halteeinrichtung, Abwärtsbewegen der Halteeinrichtung, nachdem die Überführungseinrichtung zu einer Schwenkstelle transpor­ tiert ist, Anordnen der Palette auf der Oberseite einer Senk­ einrichtung und Rückführen der Halteeinrichtung in einen Aus­ gangszustand, Freigeben einer Arretiereinrichtung, an der die Paletten an der Belade- oder Entladestelle arretiert sind, darauffolgendes Öffnen eines Anschlags, um das Herabfallen der Paletten zu verhindern, wenn gleichzeitig eine Aufwärtsbewe­ gung der Vielzahl von Paletten erfolgt, die auf einer Belade- oder Entladehubplatte angeordnet sind, Freigeben der oberen Palette für die Lade- oder Entladestelle, Arretieren der frei­ liegenden oberen Palette durch Arretiereinrichtungen, Rückfüh­ ren des geöffneten Anschlags in eine Ausgangsstellung, Ab­ wärtsbewegen der Hubplatte mit der unteren Platte, die durch den Anschlag aufgehängt ist, zum unteren Totpunkt, Ausrichten des oberen Niveaus der auf der nach unten gehenden Senkein­ richtung angeordneten Palette zu dem oberen Niveau der belade­ seitigen oder entladeseitigen Hubplatte und Überführen der auf der Senkeinrichtung angeordneten Palette zur Oberseite der ladeseitigen oder entladeseitigen Hubplatte.

Erfindungsgemäß wird weiterhin für eine IC-Baustein-Handha­ bungseinrichtung mit einer Hubeinheit eine Vorrichtung zum Umlaufenlassen von Paletten in der Hubeinrichtung bereitge­ stellt, die beladeseitige und entladeseitige Hubeinheiten mit jeweils einer nach oben und nach unten bewegbaren Hubplatte, die zwischen parallelen Seitenplatten angeordnet ist, eine erste Antriebseinrichtung für eine Aufwärtsbewegung jeder Hub­ platte, eine Vielzahl von Paletten, von denen jede eine Ober­ seite hat, auf der ein Prüfbehälter oder ein Verkaufsbehälter angeordnet ist und die vertikal auf jeder Hubplatte angeordnet ist, eine gegenüber jeder Seitenplatte angeordnete Anschlag­ einrichtung zum Steuern der Absinkbewegung der Palette, eine jeweils an der Beladestelle und Entladestelle installierte Arretiereinrichtung, die sich beide in einer Oberseite der Seitenplatte befinden, um die obere Palette, die zur Belade- oder Entladestelle frei ist, zu arretieren, eine Schwenkstelle zwischen den Hubeinheiten in den jeweiligen Belade- und Entla­ deseiten für ein Abwärtsbewegen der Palette, eine Über­ führungseinrichtung zum Halten der Palette an der Belade- oder Entladestelle und für ihr Überführen zu der Schwenkstelle, eine aufwärts und abwärts bewegbare Senkeinrichtung, die an der Schwenkstelle installiert ist, zum Überführen der Palette, die von der Überführeinrichtung zum unteren Totpunkt bewegt wird, eine zweite Antriebseinrichtung für eine Aufwärtsbewe­ gung der Senkeinrichtung und eine Verteileinrichtung aufweist, die am unteren Totpunkt der Schwenkstelle angeordnet ist, um die von der Senkeinrichtung nach unten bewegte Palette zu der Hubeinheit auf der Belade- oder Entladeseite zu überführen.

Anhand von Zeichnungen werden Ausgestaltungen der Erfindung weiter erläutert.

Fig. 5 zeigt perspektivisch eine IC-Baustein-Handhabungsein­ richtung mit einer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vor­ richtung.

Fig. 6 ist eine vertikale Schnittansicht einer Hubeinheit der Vorrichtung von Fig. 5.

Fig. 7 ist der Schnitt A-A von Fig. 6.

Fig. 8a ist eine vertikale Schnittansicht, die den offenen Zustand der Finger an der oberen Palette zeigt.

Fig. 8b ist eine vertikale Schnittansicht, die die durch Akti­ vierung eines Zylinders zusammengeführten Finger zum Halten der Palette zeigt.

Fig. 9a zeigt schematisch den Anfangszustand des Palettenum­ laufwegs, wobei sich jede Palette an der Belade- bzw. Entlade­ stelle befindet.

Fig. 9b zeigt den Zustand, in welchem die Überführungseinrich­ tung in eine Position über der Beladestelle bewegt ist, um die Palette zu halten, die sich an der Beladestelle befunden hat.

Fig. 9c zeigt den Zustand, in welchem die Finger der Überfüh­ rungseinrichtung nach unten zum unteren Totpunkt bewegt sind.

Fig. 9d zeigt den Zustand, in welchem eine Senkeinrichtung zum oberen Totpunkt angehoben und die die Palette haltende Über­ führungseinrichtung zu einer Position über der Senkeinrichtung bewegt ist.

Fig. 9e zeigt den Zustand, in welchem die Finger an der Bela­ destelle geöffnet sind und eine Vielzahl von Paletten zum obe­ ren Totpunkt durch eine Hubplatte angehoben werden.

Fig. 9f zeigt den Zustand, in welchem ein Fingerpaar sich zum Halten der oberen Palette verengt und die Hubpalette abwärts bis zum unteren Totpunkt bewegt wird.

Fig. 9g zeigt den Zustand, in welchem eine leere Palette auf der Oberseite einer Schiene angeordnet wird.

Fig. 9h zeigt den Zustand, in welchem die auf der Schiene an­ geordnete leere Palette in eine Position über der beladeseiti­ gen Hubplatte überführt ist.

Fig. 10 zeigt perspektivisch eine Verteileinrichtung.

Fig. 11 ist eine perspektivische Ansicht der Senkeinrichtung und der Paletten, wobei die Bauteile demontiert sind.

Unter Bezugnahme auf Fig. 5 wird die IC-Baustein-Handhabungs­ vorrichtung kurz erläutert, der die Vorrichtung nach der Er­ findung zugeordnet ist.

Die Handhabungseinrichtung hat eine Hubeinheit 18 zum Heben einer Palette 7 mit einem darauf angeordneten Prüfbehälter 6 sequentiell um einen Schritt, wenn ein IC-Baustein 1 aus dem Prüfbehälter 6 in einen Träger 17 geladen wird, oder zum Ab­ senken der Palette, wenn der IC-Baustein nach Beendigung sei­ ner Prüfung klassifiziert und in einen entsprechenden Ver­ kaufsbehälter 7 entladen wird, eine Aufnahmeeinrichtung 16 auf einer Beladungsseite zum sequentiellen Halten des IC-Bausteins 1 in dem Prüfbehälter, um den IC-Baustein in den an der Bela­ destelle 19 angeordneten Träger 17 zu laden, eine erste Über­ führungseinrichtung 21 zum horizontalen Überführen des Trägers 17 mit dem zu prüfenden IC-Baustein zu einer beladeseitigen Schwenkeinrichtung 20, die beladeseitige Schwenkeinrichtung 20 zum Schwenken des Trägers um 90°, wenn der Träger von der er­ sten Überführungseinrichtung überführt ist, eine Heizkammer 23, die unmittelbar unter der beladeseitigen Schwenkeinrich­ tung 20 angeordnet ist und zum Erhitzen der in den Träger ge­ ladenen IC-Bausteine auf eine für die Prüfungen geeignet ge­ wählte Temperatur dient, wenn der Träger sequentiell überführt ist, eine Überführungseinrichtung (nicht gezeigt) zum sequen­ tiellen Überführen des Trägers in der Heizkammer auf einer Basis Schritt für Schritt, eine Prüfstelle 24, die auf einer Seite der Heizkammer angeordnet ist, wo zu einem vorgegebenen Zeitraum Prüfungen durchgeführt werden, wenn der entsprechend den Prüfbedingungen geeignet erwärmte IC-Baustein dort ankommt und dann gegen den Prüfsockel gedrückt wird, eine entladesei­ tige Schwenkeinrichtung 25, die sich auf einer Seite der Prüf­ stelle befindet, zum Drehen des Trägers um 90° derart, daß der Träger einen horizontalen Zustand hat, wenn er mit den IC-Bau­ steinen ankommt, deren Prüfung abgeschlossen ist, eine zweite Überführungseinrichtung 27 zum horizontalen Überführen des Trägers von der entladeseitigen Schwenkeinrichtung zu der Ent­ ladestelle 26, eine entladeseitige Aufnahmeeinrichtung 28 zum Aufnehmen des IC-Bausteins aus dem Träger, der von der zweiten Überführungseinrichtung überführt worden ist, zum Klassifizie­ ren des IC-Bausteins abhängig von den Prüfergebnissen und zum Abgeben des Bausteins in den Verkaufsbehälter 7 sowie eine dritte Überführungseinrichtung 29 zum horizontalen Überführen eines leeren Trägers zu der Beladestelle 19, wobei der Träger dadurch leer wird, daß alle IC-Bausteine aus dem Träger ent­ laden sind.

Die in der vorstehend beschriebenen Weise aufgebaute IC-Bau­ stein-Handhabungseinrichtung muß mit der Hubeinheit 18 verse­ hen werden, die nacheinander die Paletten 5 anhebt und umlau­ fen läßt, wobei auf den Paletten 5 die Prüfbehälter 6 oder die Verkaufsbehälter 7 für die fortgesetzten Prüfprozesse angeord­ net sind.

Erfindungsgemäß werden alle IC-Bausteine aus der oberen Palet­ te geladen, die sich an der Ladestelle 19 oder Entladestelle 26 befindet, wenn die Vielzahl der Paletten 5 in der ladesei­ tigen Hubeinheit 18a bzw. der entladeseitigen Hubeinheit 18b gespeichert sind, oder die Palette wird zu einer unteren Seite jeder Hubeinheit zirkulieren gelassen, und zwar immer dann, wenn der IC-Baustein nach Abschluß der Prüfung entladen ist. Der Umlaufweg für die Palette 5 wird nun anhand der Fig. 9a bis 9h näher erläutert.

Der Betrieb der Vorrichtung beginnt gemäß Fig. 9a dann, wenn die Paletten sich an der Beladestelle 19 bzw. Entladestelle 26 befinden. Die Paletten 5 an der Beladestelle 19 tragen den Prüfbehälter 6, in den die zu prüfenden IC-Bausteine 1 gefüllt sind, während die Paletten 5 an der Entladestelle 26 die Ver­ kaufsbehälter 7 aufweisen, in welchen die IC-Bausteine nach ihrer Prüfung aufgenommen sind.

Die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 16 (Fig. 5) nimmt den IC-Baustein 1 von dem Prüfbehälter 6, der sich an der Belade­ stelle 19 befindet, auf, hält ihn und lädt ihn, einen nach dem anderen, in den Träger 17. Wenn sich in dem Prüfbehälter kein IC-Baustein mehr befindet, wird die Palette 5 an der Belade­ stelle zu einer Schwenkstelle 30 überführt. Zu diesem Zeit­ punkt muß die obere Palette 5a der ladeseitigen Hubeinheit 19a gegenüber der Beladestelle 19 freiliegen.

Für diesen Zweck wird die Überführungseinrichtung 31, die sich an der Schwenkstelle 30 befand, die in Fig. 9b gezeigt ist, in eine Stelle über der Palette 5 bewegt, die sich an der Belade­ stelle 19 befindet. Die Absenkeinrichtung 32, die sich am un­ teren Totpunkt der Schwenkstelle befindet, steigt zum oberen Totpunkt der Schwenkstelle. Die Bewegungen der Überführungs­ einrichtung und der Senkeinrichtung werden durch gesonderte Überführungseinrichtungen erreicht, auf die später zurückge­ kommen wird.

Wenn die Überführungseinrichtung 31 zur Beladestelle 19 bewegt worden ist, bleiben als Halteeinrichtungen dienende Finger 33 noch geöffnet.

Wenn nun, wie in Fig. 9c gezeigt ist, die Finger sich nach unten zu ihrem zugehörigen unteren Totpunkt bewegen und da­ durch die Bodenfläche der Palette 5 erreichen, treibt ein Fin­ gerzylinder 34 das Paar von Fingern 33 so an, daß die Finger nach innen aufeinander zu bewegt wird. Dadurch kann die Über­ führungseinrichtung 31 ihre Halteoperation für die an der Be­ ladestelle 19 befindliche Palette 5 erreichen.

Die aufgrund dieser Operationen durch die Überführungseinrich­ tungen 31 erhaltene Palette 5 wird zum oberen Totpunkt angeho­ ben, der den Fingern 33 zugeordnet ist. Dann wird die Überfüh­ rungseinrichtung 31 in eine Position über der Senkeinrichtung 32 bewegt, die sich am oberen Totpunkt der Schwenkstelle 30 befindet, wie es in Fig. 9d gezeigt ist.

Wenn die Palette 5, die sich an der Beladestelle 19 befunden hat, zur Schwenkstelle 30 bewegt wird, werden Finger 35 einer Arretiereinrichtung, die sich an der Beladestelle 19 befindet (Fig. 8a) geöffnet. Eine Hubplatte 36 der beladeseitigen Hu­ beinheit 18a wird nach oben zum oberen Totpunkt bewegt.

Da eine Vielzahl von Paletten 5 an der beladeseitigen Hubein­ heit 18a zusammen nach oben bewegt wird, liegt die obere Pa­ lette 5 zur Beladestelle 19 hin frei.

Bei der Aufwärtsbewegung der Hubplatte 36 werden Anschläge 37 geöffnet, wenn eine von den Anschlägen 37 gehaltene untere Palette 5 davon freigesetzt wird. Wenn die obere Palette 5 der Beladestelle 19 gegenüber freiliegt, nähern sich die geöffne­ ten Finger 35, wie in Fig. 8b gezeigt, einander wieder an, wodurch die obere Palette 5 daran arretiert wird.

Danach bewegt sich die Hubplatte 36 vom oberen Totpunkt nach unten zum unteren Totpunkt, wie in Fig. 9f gezeigt ist, und kehrt somit in ihren Ausgangszustand zurück. Vor dieser Opera­ tion werden die Anschläge 37, die gegenüberliegend an einer Seitenplatte vorgesehen und offen geblieben sind, zurückgezo­ gen, so daß die sich nach unten bewegende untere Palette 5 während der Abwärtsbewegung der Hubplatte 36 gesteuert werden kann. Die Absenkoperation der Palette hört deshalb auf, und nur die Hubplatte 36 senkt sich zum unteren Totpunkt.

Da sich die zu prüfenden IC-Bausteine 1 in dem Prüfbehälter 6 der Palette 5 befinden, die zur Beladestelle 19 hin offen ist, was sich aus dem Hochsteigen der Hubplatte 36 ergibt, kann die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 16 die IC-Bausteine in den Träger 17 laden.

Wenn die Überführungseinrichtung in eine Position über der Senkeinrichtung 32 an dem oberen Totpunkt bewegt ist und wenn die Halteeinrichtung nach unten zum unteren Totpunkt fährt, um den Fingerhaltezustand freizugeben, wird, wie in Fig. 9d ge­ zeigt ist, die Palette 5 an der Oberseite der Senkeinrichtung 32 plaziert. Dabei wird die Senkeinrichtung 32 zum unteren Totpunkt mittels einer Antriebseinrichtung nach unten bewegt, was in Fig. 9g gezeigt ist.

Zu diesem Zeitpunkt werden die Finger 33 nach oben zum oberen Totpunkt bewegt, um ihren Ursprungszustand beizubehalten.

Nachdem die von der Überführungseinrichtung 31 bewegte Palette 5 zum unteren Totpunkt durch die Senkeinrichtung 32 bewegt worden ist, wird die Palette 5 auf der Oberseite einer Füh­ rungsschiene 39 angeordnet. Die Bewegung der auf der Führungs­ schiene 39 angeordneten Palette in die Hubplatte 36 der bela­ dungsseitigen Hubeinheit 18a erfordert einen Schieber 61, der an einem Schlitten 38 auf der rechten Seite der Führungsschie­ ne 39 befestigt ist.

Dabei bestimmt eine Steuerung die Positionierung des Schlit­ tens 38, indem sie erkennt, welche Palette 5 sich an der Bela­ deseite nach unten bewegt, und welche Palette 5 sich an der Entladeseite nach unten bewegt.

Wenn der Schlitten 38 in der Zeichnung nach links bewgt wird, wird die auf der Führungsschiene 39 angeordnete Palette 5 ent­ sprechend nach links bewegt. Die Palette 5 kann deshalb auf der Oberseite der beladeseitigen Hubplatte 36 angeordnet sein, was in Fig. 9h gezeigt ist.

Die auf der Hubplatte 36 angeordnete Palette 5 wird zusammen mit der unteren Palette 5 in engem Eingriff damit während ei­ nes Aufwärtsarbeitsgangs der Hubplatte 36 hochgehoben, um die obere Palette 5 zur Ladestelle 19 zu bringen.

In gleicher Weise, wie die Überführungseinrichtung 31 zur Be­ ladestelle 19 zum Halten der Palette 5 bewegt wird und die so gehaltene Palette 5 an der Oberseite der Senkeinrichtung 32 angeordnet und dann zur Oberseite der beladeseitigen Hubplatte 36 zirkulieren gelassen wird, erfolgen auch die Arbeitsabläufe auf der Entladeseite, die deshalb nicht näher erläutert zu werden brauchen.

Wenn die Palette 5 in der beschriebenen Weise umläuft, können auch die folgenden Schritte durchgeführt werden, zu denen das Positionieren der Palette 5 auf der Senkeinrichtung 32 durch Abwärtsbewegen der Halteeinrichtung der Überführungseinrich­ tung 31 und gleichzeitig das Aufwärtsbewegen der Hubplatte 36 gehören, die sich an der Belade- oder Entladeseite befindet.

Ferner kann gleichzeitig ein Arbeitsgang ausgeführt werden, bei welchem sowohl die Senkeinrichtung 32 als auch die Hub­ platte 36 zum unteren Totpunkt bewegt werden.

Die Ausführung dieser Arbeitsgänge hat den Vorteil, daß die für den Austausch der Palette 5 erforderliche Zeit durch ande­ re Paletten wesentlich reduziert ist.

Wie erwähnt, ist erfindungsgemäß eine aufwärts oder abwärts bewegliche Hubplatte 36 zwischen einem Paar von Seitenplatten 40 vorgesehen, welche die beladeseitigen und entladeseitigen Hubeinheiten 18a, 18b bilden. Eine Aufwärts-/Abwärtsbewegung jeder Hubplatte 36 erfolgt innerhalb eines Bereichs, der von einer ersten Antriebseinrichtung vorgegeben ist, währenddessen die obere Palette 5 der Beladestelle 19 oder der Entladestelle 26 ausgesetzt ist.

Gemäß Fig. 6 hat die erste Antriebseinrichtung zum Anheben-/Ab­ senken der Hubplatte 36, die in der jeweiligen Hubeinheit 18a bzw. 18b installiert ist, eine Leitspindel 41, die an der Unterseite der Hubplatte 36 befestigt ist und zu einem unteren Teil einer jeden Hubeinheit hin offen ist, eine angetriebene Scheibe 42, die auf die Leitspindel geschraubt ist, einen Mo­ tor 43 zur Erzeugung einer Drehkraft an der angetriebenen Scheibe und einen synchronisierenden Riemen 45 zur Übertragung der Drehkraft von dem Motor auf die angetriebene Scheibe über die treibende Scheibe 44.

Über der Hubplatte 36 ist eine Vielzahl von Paletten 5 posi­ tioniert, von denen jede zur Anordnung eines Prüfbehälters 6 oder eines Verkaufsbehälters 7 in ihr verwendet wird. Jede Seitenplatte 40 hat eine Anschlageinrichtung, die einander gegenüberliegend installiert sind und die bewirken, daß die Abwärtsbewegung der unteren Palette 5 angehalten wird, obwohl die Hubplatte 36 weiter nach unten bis zum unteren Totpunkt bewegt wird. Deshalb erfolgt die Steuerung der Abwärtsbewegung der Paletten 5 durch die Anschlageinrichtung.

Diese Ausgestaltung hat den Vorteil, daß ein Raum vorhanden ist, der die Aufnahme einer einzelnen Palette zwischen der durch die Anschlageinrichtung aufgehängten Palette 5 und der Hubplatte 36 ermöglicht. Dadurch kann die Palette, die von der Senkeinrichtung 32 zu der Stelle auf der Hubplatte nach unten bewegt wurde, in eine Position über der Hubplatte vor dem Ab­ senken der Hubplatte 36 überführt werden.

Die Anschlageinrichtung kann aus einem Anschlag 37, der je­ weils gegenüberliegend an jeder Seitenplatte 40 installiert ist, und aus einem an der Seitenplatte angebrachten Zylinder 46 bestehen, wobei der horizontal bewegliche Anschlag 37 dazu verwendet wird, die Unterseite der unteren Palette 5 zu halten oder den Arretierzustand freizugeben. Der Zylinder 46 dient dazu, dem Anschlag die horizontale Bewegungskraft zu erteilen.

An Stellen, die die beiden Seiten der Palette 5 gemeinsam tei­ len, welche auf jeder Hubplatte 36 und auf beiden Seiten der Hubplatte 36 angeordnet ist, sind jeweils Nuten 5b, 36a einge­ schnitten und so ausgebildet, daß sie durch den zurückziehba­ ren Anschlag 37 bezüglich der Seitenplatte 40 hindurchgehen.

Dies ermöglicht eine weiche Abwärtsbewegung der Hubplatte 36, die daraus resultiert, daß der geöffnete Anschlag die Bewegung der Hubplatte und der darauf angeordneten Palette nicht beein­ trächtigt. Außerdem erlaubt diese Ausgestaltung es nur der Hubplatte 36, den Anschlag 37 zu passieren und die unteren Palette 5 durch den Anschlag hängend zu halten, wenn die Hub­ platte abwärts bewegt wird. Dadurch kann die Abwärtsbewegung der Paletten gesteuert werden.

Gemäß Fig. 11 hat jede Palette eine ausgesparte Nut 5c, die an ihrer Unterseite ausgebildet ist, sowie einen Vorsprung 5d, der an ihrer Oberseite entsprechend der ausgesparten Nut aus­ gebildet ist.

Diese Ausgestaltung sorgt für eine genaue vertikale Positions­ fluchtung einer Vielzahl von Paletten 5, wenn diese Paletten vertikal eine nach der anderen angeordnet werden, und gewähr­ leistet außerdem, daß die positionierten Paletten 5 ihre fluchtende Ausrichtung während ihrer Aufwärts- oder Abwärts­ bewegung beibehalten.

An den vier Ecken der oberen Ebene der Senkeinrichtung 32 sind Positionierblöcke 47 fest installiert, die zur Wiederpositio­ nierung der auf der oberen Ebene der Senkeinrichtung 32 ange­ ordneten Palette dienen.

Für die Arretierung der oberen Palette, die sich offen in der Belade- bzw. Entladestelle befindet, ist an der Beladestelle 19 bzw. Entladestelle 26 an der Seitenplatte 40 eine Arretier­ einrichtung vorgesehen. Zwischen den beladeseitigen und entla­ deseitigen Hubeinheiten 18a, 18b ist eine Schwenkstelle 30 vorgesehen, um die Palette, die sich an der Beladestelle 19 und der Entladestelle 26 befand, in eine Position über der beladeseitigen und entladeseitigen Hubplatte 36 zu überführen.

Wie in Fig. 8a gezeigt ist, ist die Arretiereinrichtung zum Arretieren der Palette 5, die sich offen an der Beladestelle 19 oder der Entladestelle 20 befindet, entsprechend der Bela­ de- oder Entladestelle installiert und besteht aus einem Paar von Fingern 35, die horizontal bewegbar sind, um die Untersei­ te der Palette zu arretieren, und aus einem Zylinder 48, der eine Stange aufweist, die mit einem Ende des Fingers verbunden ist und dazu dient, den Abstand zwischen den Fingern zu ver­ größern oder zu verkleinern.

Das Paar von Fingern 35 wird jeweils durch Aktivierung des Zylinders einwärts bewegt, um die Unterseite der Palette, wenn sie gehalten werden soll, abzustützen, und geöffnet, ohne die Abwärtsbewegung der Hubplatte 36 zu beeinträchtigen.

Die Überführungseinrichtung 31, die zum Überführen der sich an der Beladestelle 19 oder der Entladestelle 26 befindlichen Palette in die Schwenkstelle 30 dient, besteht aus einem Über­ führungsblock 50, der längs einer nicht gezeigten Führungs­ schiene bewegt wird, die parallel zur Beladestelle 19 oder Entladestelle 26 angeordnet ist, aus einer Hubplatte 52, die sich angetrieben von einem Zylinder 51 nach oben oder unten bewegt, der in dem Überführungsblock installiert ist, aus ei­ ner Führungsstange 53, die in den Überführungsblock eingeführt und daran festgelegt ist und die Bewegung der Hubplatte 52 führt, sowie aus Fingern 33, deren Abstand durch Aktivierung eines auf beiden Seiten der Hubplatte 52 installierten Finger­ zylinders 34 vergrößert oder verkleinert wird.

Die Finger 33 halten die Unterseiten von Stützelementen 5f über ein Loch 5e, das in beiden Seiten der Palette 5 ausgebil­ det ist.

An der Schwenkstelle 30 ist, wie in Fig. 6 gezeigt ist, die Senkeinrichtung 32, die zur Bewegung der von der Überführungs­ einrichtung 31 überführten Palette zum unteren Totpunkt ver­ wendet wird, in die Führungsschiene 54 kragarmartig einge­ führt, wodurch die Senkeinrichtung 32 innerhalb eines durch eine zweite Antriebseinrichtung vorgegebenen Bereichs aufwärts oder abwärts bewegt werden kann.

Die zweite Antriebseinrichtung für die Aufwärts- oder Abwärts­ bewegung der Senkeinrichtung 32 kann aus einem Motor 55 zur Antriebskrafterzeugung, aus einem synchronisierenden Riemen 58, der um eine treibende Scheibe 56 des Motors und die ange­ triebene Scheibe 57 gelegt ist, und aus einem Fixierungsblock 59 bestehen, der an der Senkeinrichtung und somit an dem syn­ chronisierenden Riemen 58 festgelegt ist.

Die in Fig. 10 gezeigte Verteilungseinrichtung, die an dem unteren Totpunkt der Schwenkstelle 30 installiert ist, wird zur Überführung der Palette 5 von der am unteren Totpunkt po­ sitionierten Senkeinrichtung 32 zu der Beladehubeinheit 18a oder Entladehubeinheit 18b verwendet. Die Verteilungseinrich­ tung kann aus einer Führungsschiene 39, die das gleiche Niveau auf der Oberseite wie die am unteren Totpunkt angeordnete Hub­ platte 36 hat, aus einem Schlitten 38, der längs einer weite­ ren Führungsschiene 60 bewegt wird, die an einer Außenseite der Führungsschiene 39 befestigt ist, aus einem Schieber 61, der an einer Seitenfläche des Schlittens befestigt ist und zum Schieben der auf der Führungsschiene angeordneten Palette 5 zu der Beladehubeinheit 18a oder Entladehubeinheit 18b dient, und aus einer dritten Antriebseinrichtung für den Antrieb des Schlittens bestehen.

Die in Fig. 7 gezeigte dritte Antriebseinrichtung kann aus einem Motor 62 für die Krafterzeugung, einer treibenden Schei­ be 63, die von dem Motor in Drehung versetzt wird, und aus einem synchronisierenden Riemen 65 bestehen, der um die trei­ bende Scheibe und die angetriebene Scheibe gelegt ist und die Kraft von der treibenden Scheibe auf die angetriebene Scheibe überträgt, wobei für den Riemen 65 eine Stelle für die Koppe­ lung mit dem Schlitten 38 vorgesehen ist.

Von der Oberseite der Führungsschiene 39, auf der die von der Senkeinrichtung 32 nach unten bewegte Palette 5 angeordnet ist, steht eine Lagerstütze 66 nach oben vor. Wenn die Unter­ seite der Palette 5 damit gekoppelt ist, wird die Lagerstütze 66 horizontal bewegt.

Es wird nun die Arbeitsweise der vorstehend im Aufbau be­ schriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtung näher erläutert.

Wenn die Paletten 5 an der Beladestelle 19 und der Entlade­ stelle 26 angeordnet sind, beginnt der Arbeitsablauf der Vor­ richtung. Die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 16 nimmt den IC-Baustein 1 auf, der sich vorher in dem Prüfbehälter 6 be­ fand, und lädt ihn in den Träger 17. Danach wird der die zu prüfenden IC-Bausteine transportierende Träger 17 durch die Überführungseinrichtung sequentiell in eine Heizkammer 23 überführt.

Diese Arbeitsgänge werden so lange wiederholt, bis sich kein IC-Baustein mehr in dem Prüfbehälter befindet. Die leere Pa­ lette wird dadurch zur Schwenkstelle 30 überführt, daß der Überführungsblock 50 der Überführungseinrichtung 31 längs der Führungsschiene in Fig. 9b nach links bewegt wird. Dadurch wird die Hubplatte 52 im oberen Totpunkt plaziert, und die Finger 33 befinden sich in ihrem Öffnungszustand.

Zu diesem Zeitpunkt wird die Senkeinrichtung 32 an der unteren Totpunktlinie nach oben zur oberen Totpunktlinie längs der Führungsschiene 54 durch Aktivierung der Motors 55 bewegt und wartet dann, bis die Überführung der leeren Palette abge­ schlossen ist.

Wenn die Finger 33 die Unterseite der Palette 5 erreichen, wenn die Hubplatte 52, wie in Fig. 9c gezeigt ist, bis zum unteren Totpunkt durch Aktivierung des Zylinders 51 bewegt wird, wird der Abstand zwischen den Fingern 33 durch den Fin­ gerzylinder 34 so weit verengt, daß die Unterseite der Palette gehalten wird.

Wenn eine an der Beladestelle 19 plazierte leere Palette von den Fingern 33 gehalten wird, bewegt die Wiederaktivierung des Zylinders 51 die Hubplatte 52 nach oben zum oberen Totpunkt, und der Überführungsblock 50 wird, wie in Fig. 9d gezeigt ist, in die Position über der Senkeinrichtung 32 überführt, die sich an der Schwenkstelle 30 auf der rechten Seite in der Zeichnung befindet.

Nachdem eine leere Palette 5, die sich an der Beladestelle 19 befand, durch die Überführungseinrichtung 31 zur Schwenkstelle 30 überführt ist, erfolgt die Aufwärtsbewegung der Palette 5, die dann das Lösen der Arretiereinrichtung erfordert, welche die Palette 5 in der Beladestelle 19 arretiert hat.

Dies wird dadurch erreicht, daß die Aktivierung der einander gegenüberliegend angeordneten Zylinder 48 ein Paar von Fingern 35 öffnet, wie es in Fig. 8a gezeigt ist. Dadurch befinden sich die Finger außerhalb der Palette, so daß die sich auf­ wärts bewegenden Paletten nicht beeinträchtigt werden.

Während dieses Vorgangs kann eine leere Palette, die von der Überführungseinrichtung 31 gehalten worden ist, nach unten zum unteren Totpunkt durch Aktivierung des Zylinders 51 bewegt und aus dem Haltezustand dadurch freigegeben werden, daß der Ab­ stand des Paars von Finger 33 durch Aktivierung des Zylinders 34 vergrößert wird. Auf diese Weise kann die leere Palette auf der Oberseite der Senkeinrichtung 33 plaziert werden.

Danach wird die Hubplatte 52 durch Aktivierung des Zylinders wieder zum oberen Totpunkt nach oben bewegt.

Eine leere Palette, die an der Oberseite der Senkeinrichtung 32 angeordnet ist, wird unter der Wirkung der Positionier­ blöcke 47 neu positioniert, die jeweils an den vier Ecken der Senkeinrichtung 32 festgelegt sind.

Zu diesem Zeitpunkt dreht der Motor 43, der in der beladesei­ tigen Hubeinheit 18a die erste Antriebseinrichtung bildet, die angetriebene Scheibe 42, die auf die Leitspindel 41 geschraubt ist, wodurch die Drehbewegung in eine lineare Hin- und Herbe­ wegung umgesetzt wird, die dann auf die Hubplatte 36 an der Beladeseite übertragen wird. Dadurch wird die beladeseitige Hubplatte 36 nach oben bewegt, wodurch die Vielzahl der Palet­ ten 5 zum oberen Totpunkt bewegt wird, was in Fig. 9e gezeigt ist.

Die Aktivierung des Motors 32 kann dadurch gesteuert werden, daß mit Hilfe eines Paars nicht gezeigter Sensoren die obere Palette 5 abgetastet wird, die sich offen in der Ladestelle 19 befindet.

Nachdem alle Paletten 5, die sich in der beladeseitigen Hubeinheit 18a befinden, gleichzeitig nach oben zum oberen Totpunkt bewegt sind, arretieren die Finger 35, die ihren Ab­ stand durch Aktivieren des Zylinders 38 verkleinert haben, die Unterseite der Palette 5.

D. h., mit anderen Worten, daß nur eine obere Palette 6 von der Vielzahl der vertikal angeordneten Paletten 5 getrennt werden kann.

Danach bewegt der Motor die beladeseitige Hubplatte 36, die sich am oberen Totpunkt befindet, nach unten zum unteren Tot­ punkt, wie es in Fig. 9f gezeigt ist. Da vorher die Anschläge 37, die offen geblieben waren oder vorstanden, durch den Zy­ linder 46 zurückgezogen wurden, wird die Abwärtsbewegung der unteren Palette 5 durch den zurückgezogenen Anschlag 37 wäh­ rend der Abwärtsbewegung der Hubplatte 36 gesteuert, wodurch sich nur die beladeseitige Hubplatte 36 nach unten zum unteren Totpunkt bewegt.

Da die beladeseitige Hubplatte 36 mit den eingeschnittenen Nuten 36a für den Durchgang der Anschläge 37 versehen ist, erfolgt keine Beeinträchtigung durch die zurückgezogenen An­ schläge 37.

Während der Abwärtsbewegung der beladeseitigen Hubplatte 36 zum unteren Totpunkt bewegt sich die Senkeinrichtung am oberen Totpunkt der Schwenkstelle 30 ebenfalls zum unteren Totpunkt durch Aktivierung des Motors 55 nach unten. Da am unteren Tot­ punkt der Senkeinrichtung die Führungsschiene 39 vorgesehen ist, um darauf die Palette 5 zu plazieren, die sich auf der Senkeinrichtung befindet und abwärts bewegt wird, wird von der Senkeinrichtung eine leere Palette 5 für die Anordnung der Führungsschiene 39 abgetrennt, und es bewegt sich nur die Senkeinrichtung zum unteren Totpunkt nach unten.

Zu diesem Zeitpunkt steuert die nicht gezeigte Steuereinrich­ tung den Schlitten 38, der für eine horizontale Überführung der auf der Führungsschiene 39 angeordneten Palette 5 zu der Hubplatte 36 in der Belade- oder Entladeseite hin abhängig davon bewegt wird, ob die Palette von der Beladestelle 19 oder der Entladestelle 26 gekommen ist. Dadurch nimmt der Schlitten eine Position auf der rechten oder linken Seite der Senkein­ richtung über die dritte Antriebseinrichtung ein, bevor die Abwärtsbewegung der Senkeinrichtung 32 beginnt.

Der Schlitten 38 befindet sich in der Zeichnung auf der rech­ ten Seite, wenn die Senkeinrichtung 32 die Palette 5 an der Beladestelle 19 nach unten bewegt.

Der auf der rechten Seite in der Zeichnung befindliche Schlit­ ten 38 wird dann durch den die dritte Antriebseinrichtung bil­ denden Motor 62 in Fig. 9h nach links bewegt, nachdem die Pa­ lette 5 auf der Führungsschiene 39 angeordnet worden ist, was in Fig. 9g gezeigt ist. Die Palette auf der Führungsschiene wird dann auf der Oberseite der beladeseitigen Hubplatte 36 angeordnet.

Während dieses Vorgangs, bei welchem sich die Unterseite der leeren Palette in Eingriff mit der Lagerstütze befindet, die frei an der Oberseite der Führungsschiene 39 sitzt, drückt der Schieber 16 die Palette zu der beladeseitigen Hubplatte 36 entsprechend der Überführungsaktion der Schlittens 38, was einen sehr weichen Überführungsarbeitsgang ergibt.

Nach der Überführung der auf der Führungsschiene 39 angeord­ neten Palette in die Position über der beladeseitigen Hubplat­ te 36 durch den Schlitten 38 kann dieser in dieser Position oder einer anderen Position, die sich in der Zeichnung rechts davon befindet, abhängig davon warten, ob die von der Senkein­ richtung 32 nach unten bewegte Palette 5 von der Beladestelle 19 oder der Entladestelle 26 gekommen ist.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausgestaltung hält die Über­ führungseinrichtung 31 die Palette 5 an der Beladestelle 19 und überführt sie dann zur Schwenkstelle 30, während gleich­ zeitig dazu die Palette 5 an der beladeseitigen Hubeinheit 18a sich offen in der Ladestellung befindet und die Palette 5 an der Schwenkstelle 30 in die Position über der beladeseitigen Hubplatte 36 überführt wird. Natürlich kann auch in gleicher Weise ein Umlauf ausgeführt werden, bei welchem die Palette 5 mit darin enthaltenen IC-Bausteinen 1, deren Prüfung abge­ schlossen ist, von der Entladestelle 26 zu der Position über der entladeseitigen Hubplatte durch die Schwenkstelle umlaufen gelassen wird.

Im Vergleich zu der bekannten IC-Baustein-Handhabungseinrich­ tung hat die Erfindung die nachstehenden Vorteile.

Zunächst kann die Vorrichtung mit einer minimalen Höhe gebaut werden, da ein Umlauf ausgeführt wird, bei welchem die Palette 5 mit den darin enthaltenen IC-Bausteinen 1, deren Prüfung abgeschlossen ist, von der Entladestelle 26 zu der Position über der entladeseitigen Hubplatte durch die Schwenkstelle bewegt wird. Die von der Vorrichtung eingenommene Gesamtfläche kann auf ein Minimum reduziert werden, da die Offenstellung der Palette an der Beladestelle 19 oder der Entladestelle 26 auch möglich ist, wenn die obere Palette 5 in der beladeseiti­ gen Hubeinheit 18a oder der entladeseitigen Hubeinheit 18b sich nur bis zum oberen Totpunkt nach oben bewegt. Schließlich wird die Auslastung der teuren Vorrichtung maximiert, weil die in der beladeseitigen Hubeinheit 18a oder in der entladeseiti­ gen Hubeinheit 18b angeordnete Palette 5 nacheinander durch die Schwenkstelle 30 umlaufen gelassen wird, auch wenn alle IC-Bausteine in dem Prüfbehälter 6, der sich auf jeder Hub­ platte 36 befindet, geladen sind oder wenn die IC-Bausteine, deren Prüfung abgeschlossen ist, in den Verkaufsbehälter 7 gefüllt sind, wodurch der Wiedereinsatz der Vorrichtung mög­ lich wird, indem nur die Palette an jeder Hubeinheit 18a oder 18b ausgetauscht wird.

Claims (15)

1. Verfahren zum Umlaufenlassen von Paletten der Hubeinheit einer IC-Baustein-Handhabungseinrichtung, welches die Schritte aufweist:

• - Überführen einer Überführungseinrichtung mit einer Halteeinrichtung zu einer Stelle über einer Palette, die sich an einer Belade- oder Entladestelle befin­ det, und gleichzeitiges Nach-oben-Bewegen einer sich am unteren Totpunkt befindlichen Senkeinrichtung zu einem oberen Totpunkt,
• - Abwärtsbewegen der Halteeinrichtung für die Aufnahme der Palette und anschließende Aufwärtsbewegung der die Palette tragenden Halteeinrichtung,
• - Abwärtsbewegen der Halteeinrichtung, nachdem die Überführungseinrichtung zu einer Schwenkstelle überführt ist, Anordnen der Palette auf der Obersei­ te einer Senkeinrichtung und Führen der Halteein­ richtung in den Ausgangszustand,
• - Freigeben einer Arretiereinrichtung, an der die Pa­ letten an der Belade- oder Entladestelle arretiert sind, darauffolgendes Öffnen eines Anschlags, um zu verhindern, daß die Paletten nach unten fallen, wenn gleichzeitig eine Aufwärtsbewegung der Paletten er­ folgt, die auf einer Belade- oder Entladehubplatte angeordnet sind, und Offenstellen der obersten Pa­ lette an der Belade- oder Entladestelle,
• - Arretieren der obersten freiliegenden Palette durch eine Arretiereinrichtung,
• - Rückführen des geöffneten Anschlags in eine Aus­ gangsstellung und Abwärtsbewegung der Hubplatte zum unteren Totpunkt, wobei die untere Palette durch den Anschlag hängend gehalten wird,
• - fluchtendes Ausrichten des oberen Niveaus der auf der sich nach unten bewegenden Senkeinrichtung be­ findlichen Palette zu dem oberen Niveau der belade­ seitigen oder entladeseitigen Hubplatte, und
• - Überführen der auf der Senkeinrichtung angeordneten Palette zur Oberseite der beladeseitigen oder entla­ deseitigen Hubplatte.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Abwärtsbewegens der Palette, die von der Halteeinrichtung der Überführungseinrichtung gehalten ist, um die Palette dann auf der Senkeinrichtung zu positionieren, und der Schritt der Aufwärtsbewegens der beladeseitigen oder ent­ ladeseitigen Hubplatte gleichzeitig durchgeführt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem die Schrit­ te der Bewegung der Senkeinrichtung und der Hubplatte zum unteren Totpunkt jeweils gleichzeitig ausgeführt werden.

4. Vorrichtung zum Umlaufenlassen von Paletten in einer Hubeinheit einer IC-Baustein-Handhabungseinrichtung

• - mit beladeseitigen und entladeseitigen Hubeinheiten, von denen jede eine aufwärts und abwärts bewegbare Hubplatte aufweist, die zwischen parallelen Seiten­ platten angeordnet ist,
• - mit einer ersten Antriebseinrichtung für eine Auf­ wärtsbewegung jeder Hubplatte,
• - mit einer Vielzahl von Paletten, von denen jede eine Oberseite hat, auf der ein Prüfbehälter oder Ver­ kaufsbehälter angeordnet wird, und die vertikal auf einer Hubplatte angeordnet sind,
• - mit Anschlageinrichtungen, die gegenüberliegend an jeder Seitenplatte zum Steuern der Abwärtsbewegungs­ aktion der Palette installiert sind,
• - mit Arretiereinrichtungen, die jeweils an der Bela­ de- und Entladestelle und beide an einer Oberseite der Seitenplatte für ein Arretieren der obersten Palette angeordnet sind, die an der Belade- oder Entladestelle offen ist,
• - mit einer Schwenkstelle zwischen den Hubeinheiten bezüglich der Belade- und Entladeseite für ein Ab­ wärtsbewegen der Palette,
• - mit einer Überführungseinrichtung zum Halten der Palette an der Belade- oder Entladestelle und für ihre Überführung zur Schwenkstelle,
• - mit einer aufwärts und abwärts bewegbaren Senkein­ richtung, die an der Schwenkstelle für ein Überfüh­ ren der Palette angeordnet ist, die von der Überfüh­ rungseinrichtung zum unteren Totpunkt bewegt wird,
• - mit einer zweiten Antriebseinrichtung für ein Auf­ wärtsbewegen der Senkeinrichtung und
• - mit einer Verteilungseinrichtung, die am unteren Totpunkt der Schwenkstelle für ein Überführen der Palette, die von der Senkeinrichtung nach unten be­ wegt worden ist, zu der Hubeinrichtung der Belade- oder Entladeseite angeordnet ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei welcher die erste An­ triebseinrichtung eine an einer Unterseite der Hubplatte festgelegte und im unteren Teil jeder Hubeinheit offen liegende Leitspindel, eine auf die Leitspindel geschraub­ te angetriebene Scheibe, einen Motor zur Erzeugung einer Drehkraft für die angetriebene Scheibe und einen synchro­ nisierenden Riemen zum Übertragen der Drehkraft von dem Motor auf die angetriebene Scheibe durch die treibende Scheibe aufweist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, bei welcher die An­ schlageinrichtung einen Anschlag, der gegenüberliegend auf jeder Seitenplatte (40) angeordnet ist, wobei der ho­ rizontal bewegte Anschlag (37) zum Halten der Unterseite der unteren Palette (5) oder für die Freigabe des Arre­ tierzustands dient, und einen Zylinder aufweist, der an der Seitenplatte installiert ist und zum Übertragen der horizontalen Bewegungskraft auf den Anschlag dient.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei welcher jeweils an Stellen Nuten eingeschnitten sind, die die beiden Seiten der auf jeder Hubplatte angeordneten Palet­ te und beide Seiten der Hubplatte gemeinsam teilen, um den Anschlag durchzulassen.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, bei welcher jede Palette eine an ihrer Unterseite ausgesparte Nut und einen an ihrer Oberseite ausgebildeten Vorsprung hat, der der ausgesparten Nut entspricht.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, bei welcher die Arretiereinrichtung ein Paar von Fingern, die ent­ sprechend der Belade- oder Entladestelle angeordnet und horizontal zum Arretieren der Unterseite der Palette be­ wegbar sind, und einen Zylinder mit einer Stange auf­ weist, die scharnierartig an einem Ende des Fingers ange­ koppelt ist und zum Vergrößern oder Verkleinern des Ab­ stands zwischen den Fingern dient.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, bei welcher die Überführungseinrichtung einen Überführungsblock, der längs der Führungsschiene bewegbar ist, die parallel zur Belade- oder Entladestelle angeordnet ist, eine Hubplat­ te, die sich angetrieben von einem in dem Überführungs­ block angeordneten Zylinder nach oben oder unten bewegt, eine Führungsstange, die in den Überführungsblock einge­ führt und daran festgelegt ist und die Aufwärts- oder Abwärtsbewegung der Hubplatte führt, und Finger aufweist, deren Abstand durch Aktivierung von Fingerzylindern ver­ größert oder verkleinert wird, die auf beiden Seiten der Hubplatte angeordnet sind.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 10, bei wel­ cher die Senkeinrichtung zum Bewegen der Palette von ei­ ner oberen Position zu einer unteren Position bezüglich der Drehstelle in die Führungsschiene (54) kragarmartig eingekoppelt ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 11, bei wel­ cher die zweite Antriebseinrichtung einen Motor für die Krafterzeugung, einen um eine treibende Scheibe des Mo­ tors und eine angetriebene Scheibe gelegten synchronisie­ renden Riemen und einen Fixierungsblock aufweist, der an der Senkeinrichtung und somit an dem synchronisierenden Riemen festgelegt ist.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 12, bei wel­ cher die Verteilungseinrichtung eine Führungsschiene, die das gleiche Niveau an ihrer Oberseite wie die Hubplatte am unteren Totpunkt hat, einen Schlitten, der längs einer weiteren Führungsschiene bewegbar ist, die an einer Au­ ßenseite der Führungsschiene festgelegt ist, einen Schie­ ber, der an einer Seitenfläche des Schlittens festgelegt ist und die an der Führungsschiene angeordneten Palette zu der Belade- oder Entladehubeinheit drückt, sowie eine dritte Antriebseinrichtung für den Antrieb des Schlittens aufweist.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 13, bei wel­ cher an den vier Ecken einer oberen Ebene der Senkein­ richtung Blöcke fest installiert sind.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 14, welche weiterhin eine Lagerstütze aufweist, die nach oben von der Oberseite der Führungsschiene vorsteht und für eine Kupplung mit der Unterseite der Palette sorgt.