DE10004193C2 - Trägerhandhabungsvorrichtung für ein IC-Modulhandhabungsgerät sowie Verfahren dafür - Google Patents

Description

Hintergrund der Erfindung 1. Bereich der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Trägerhandha­ bungsvorrichtung für ein Handhabungsgerät für IC-Module (Mo­ dule für integrierte Schaltungen) sowie auf ein Verfahren zum Handhaben eines Trägers einer Trägerhandhabungsvorrichtung, wobei die Trägerhandhabungsvorrichtung zum Prüfen der Leistungsfähigkeit der hergestellten IC-Module verwendet wird.

2. Beschreibung des Standes der Technik

Ein IC-Modul ist gewöhnlich ein Aufbau mit einem Substrat, auf dessen einer Seite oder auf dessen beiden Seiten eine Vielzahl von IC- oder elektronischen Komponenten beispielsweise durch Löten festgelegt sind, und er hat die Funktion einer Kapazi­ tätserweiterung, wenn er an einem Muttersubstrat angeordnet wird.

Ein solcher IC-Modul ist preislich günstiger als einzeln ver­ kaufte integrierte Schaltungen. Aus diesem Grund hat sich der IC-Modul bei den IC-Herstellern als Hauptprodukt entwickelt.

Der IC-Modul ist am Markt jedoch relativ teuer, weshalb eine hohe Betriebssicherheit erforderlich ist. Deshalb ist eine strenge Qualitätsprüfung notwendig, die nur ein als gut bewer­ tetes Produkt durchläßt und bei der alle nicht als gut bewer­ teten IC-Module modifiziert oder weggeworfen werden.

Zum Prüfen fertiggestellter IC-Module muß bislang eine Bedie­ nungsperson den IC-Modul aus einem Prüfbehälter entnehmen, in welchem die IC-Module enthalten sind, ihn dann in einen Prüfsockel einsetzen, die Prüfung während eines vorgegebenen Zeitraums durchführen und schließlich den IC-Modul abhängig vom Prüfergebnis für die Ablage in einen Kundenbehälter klas­ sifizieren. Diese langweilige, sich stets wiederholende Hand­ arbeit führt zu einer niedrigen Produktivität.

Zur Lösung dieses Problems entwickelten die Erfinder ein auto­ matisches IC-Modulhandhabungsgerät zum Prüfen der IC-Module, welches in koreanischen Patent- und Gebrauchsmusteranmeldungen offenbart ist.

Fig. 1 ist eine schematische Draufsicht auf das bekannte IC- Modulhandhabungsgerät. Im folgenden wird das bekannte Verfah­ ren zur Handhabung der in einem Behälter enthalten IC-Module erläutert.

Es ist eine beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 6 gezeigt, die entlang von X- und Y-Achsen 4, 5 bewegbar ist. Die Aufnahme­ einrichtung 6 bewegt sich zu einem Behälter 3, der an einer Beladeseite angeordnet ist, und fährt dann nach unten. Die Aufnahmeeinrichtung 6 nimmt aus dem Behälter 3 mehrere IC- Module auf und hält sie dann.

Nachdem sich die die IC-Module haltende Aufnahmeeinrichtung 6 nach oben zu ihrem oberen Totpunkt bewegt hat, bewegt sich die Aufnahmeeinrichtung 6 zu einer Prüfstelle 7 entlang der X- und Y-Achse 4, 5. Nach der Ankunft an der Prüfstelle 7 und nachdem sie nach unten bewegt worden ist, plaziert die Aufnahmeein­ richtung 6 die Vielzahl von IC-Modulen auf den Oberseiten von Prüfsockeln, die an der Prüfstelle 7 angeordnet sind.

Diese aufeinanderfolgenden Maßnahmen ermöglichen die Anordnung einer Vielzahl von IC-Modulen auf dem Prüfsockel. Dies wird wiederholt ausgeführt, bis sich in jedem Prüfsockel an der Prüfstelle 7 ein IC-Modul befindet.

Nachdem die Vielzahl von IC-Modulen auf den Prüfsockeln ange­ ordnet worden sind, werden alle IC-Module gleichzeitig nach unten gedrückt, so daß auf beiden Seiten des IC-Moduls ausge­ bildete Muster in Kontakt mit Klemmen des Prüfsockels gebracht werden können.

Die IC-Module werden über einen vorgegebenen Zeitraum von ei­ nem Prüfer geprüft. Die Ergebnisse der Leistungsprüfung werden an eine zentrale Verarbeitungseinheit berichtet.

Wenn die Prüfung der IC-Module beendet ist, wird ein gesonder­ ter Schieber betätigt, um die IC-Module aus den Prüfsockeln zu entfernen. Zu diesem Zeitpunkt hält eine auf der Y-Achse an­ geordnete entladeseitige Aufnahmeeinrichtung 8 eine Vielzahl von IC-Modulen aus den Prüfsockeln, klassifiziert sie abhängig von den Prüfergebnissen und plaziert die sortierten IC-Module in einem Kundenbehälter 9.

Die Einzelheiten der oben erwähnten Vorgänge werden nachste­ hend erläutert. Die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 6 wird zu dem Behälter 3 bewegt, wobei ihre Finger zum Halten der beiden Ränder des IC-Moduls voll geöffnet sind, um so IC-Modu­ le zu halten, die sich in dem Behälter 3 befinden.

Wenn die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 6 in einem solchen Zustand zu dem Behälter 3 längs der X- und Y-Achse 4, 5 bewegt worden ist, befindet sie sich über dem IC-Modul und senkt dann in dieser Position ab, wobei die Finger nach innen aufeinander zu zum Halten des IC-Moduls bewegt werden.

Die Aufnahmeeinrichtung 6, die aufgrund dieser Maßnahmen den IC-Modul hält, wird zur Prüfstelle bewegt und dann abgesenkt. Die Finger werden nach außen gespreizt, um den IC-Modul auf dem Prüfsockel zu plazieren. Wenn die Vielzahl von IC-Modulen auf den Prüfsockeln durch die beladeseitige Aufnahmeeinrich­ tung 6 plaziert worden sind, wird die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 6 zur Behälterseite bewegt, damit sie neue IC-Module aufnimmt.

Durch die Wiederholung solcher sequentieller Schritte können die zu prüfenden IC-Module in die Vielzahl von Prüfsockeln geladen werden, die sich an der Prüfstelle befinden. Danach werden ein Hauptzylinder und ein Schubzylinder aktiviert, um den Schieber so anzutreiben, daß er nach unten bewegt wird. Die Abwärtsbewegung des Schiebers drückt gegen die Oberseiten der auf den Prüfsockeln angeordneten IC-Module. Dadurch können die auf beiden Seiten des IC-Moduls ausgebildeten Muster in Kontakt mit den Klemmen des Prüfsockels kommen. Dadurch wird erreicht, daß die Leistungsprüfungen für die IC-Module ausge­ führt werden können.

Nach dem Abschluß der Prüfungen für die IC-Module wird ein Entfernungszylinder angetrieben, um einen Abnahmehebel zum Herausziehen der IC-Module zu schwenken, die in die Prüfsockel eingesetzt sind. Anschließend wird eine weitere Aufnahmeein­ richtung auf der Entladeseite zur Prüfstellenseite längs der X- und Y-Achse 4, 5 bewegt, welche die IC-Module hält, deren Prüfung beendet worden ist. Die nach den Prüfergebnissen klas­ sifizierten IC-Module werden in dem Kundenbehälter abgelegt.

Da das bekannte Handhabungsgerät so betätigt wird, daß die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung zum Halten der IC-Module und zum direkten Überführen der gehaltenen IC-Module in den an der Prüfstelle befindlichen Prüfsockel verwendet wird, werden die nachstehenden Probleme verursacht.

Erstens kann die Aufnahmeeinrichtung zur Handhabung der IC- Module nicht in einer abgedichteten Kammer eingesetzt werden, wenn sie die IC-Module zum Laden des Prüfsockels mit dem IC- Modul oder bei seinem Entladen aus dem Prüfsockel hält, so daß die Prüfungen nur bei Raumtemperatur möglich sind.

Deshalb stehen am Markt nur IC-Module zur Verfügung, die zwar die Prüfungen durchlaufen haben, jedoch nur bei Normaltempera­ tur geprüft wurden. Da die IC-Module jedoch in der Praxis bei höheren Temperaturen arbeiten, wenn sie an den Einsatzgeräten montiert sind, ergibt sich eine Differenz zwischen den Zustän­ den an der Prüfstelle und im tatsächlichen Einsatz des Moduls, wodurch die Betriebssicherheit des gelieferten Produkts gerin­ ger wird.

Außerdem kann die Überführung des IC-Moduls nicht während der Prüfungen erfolgen, da die IC-Module in dem Behälter und in dem Prüfsockel von der Aufnahmeeinrichtung gehalten und über­ führt werden. Deshalb ergibt sich eine verlängerte Zykluszeit, so daß viele IC-Module nicht während eines vorgegebenen Zeit­ raums geprüft werden können.

Schließlich ist nur eine horizontale Installierung des Prüf­ sockels an der Prüfstelle möglich, weil die IC-Module direkt von der Aufnahmeeinrichtung gehandhabt werden. Wenn ein ande­ rer Bautyp eines IC-Moduls zu prüfen ist, ergeben sich Schwie­ rigkeiten hinsichtlich des Austausches der Sockelanordnung.

Zur Lösung dieser Probleme hat man die Verwendung eines Trä­ gers für die Aufnahme der IC-Module und zum Transportieren des Trägers zwischen den Prüfmaßnahmen vorgeschlagen, um die Pro­ duktbetriebssicherheit weiter zu steigern.

Wenn ein Träger für die Aufnahme der IC-Module und für seine Überführung verwendet wird, hält zunächst die ladeseitige Auf­ nahmeeinrichtung die IC-Module in dem Behälter und lädt sie nacheinander in den an der Beladestelle horizontal angeordne­ ten Träger. Der Träger mit den darin angeordneten IC-Modulen wird horizontal zu einer beladeseitigen Schwenkeinrichtung bewegt und dort arretiert. Dann wird der Verschluß einer Heiz­ kammer geöffnet, wobei der Träger rechtwinklig aufgestellt ist, und der Träger zur Freigabe seines Arretierungszustands abgesenkt. Während der Träger um einen Schritt in der Heizkam­ mer bewegt wird, wird der IC-Modul auf einen Prüfzustand er­ hitzt.

Durch den geöffneten Verschluß zwischen der Heizkammer und der Prüfstelle wird der Träger aus der Heizkammer horizontal zur Prüfstellenseite überführt. Der Träger wird dann in eine Rich­ tung senkrecht zur Trägerbewegungsrichtung gedrückt, so daß die Muster der IC-Module mit den Klemmen des Prüfsockels in Kontakt kommen können. Dann wird während eines vorgegebenen Zeitraums die Prüfung durchgeführt. Anschließend wird nach dem Öffnen eines Verschlusses zwischen der Prüfstelle und der Ent­ ladekammer der Träger horizontal bewegt und an einer entlade­ seitigen Schwenkeinrichtung arretiert. Die entladeseitige Schwenkeinrichtung wird in ihre horizontale Ausrichtung zu­ rückgeführt und der Träger aus der entladeseitigen Schwenkein­ richtung herausgeführt und zur Entladestelle bewegt. Die ent­ ladeseitige Aufnahmeeinrichtung entnimmt die IC-Module an dem an der Entladeposition befindlichen, horizontal angeordneten Träger, hält sie und entlädt die sortierten IC-Module entspre­ chend den Prüfergebnissen in den Kundenbehälter. Der Träger, aus dem die IC-Module vollständig entladen worden sind, wird horizontal zur Beladestelle bewegt. Dadurch kann der Träger wieder in der gleichen Folge bewegt werden.

Solche aufeinanderfolgende Bewegungen des Trägers sind jedoch nur für einen einzelnen Träger in dem System möglich. Der Ab­ schluß einer einzelnen Trägerbewegung erfordert die Bereit­ stellung eines weiteren darauffolgenden Trägers. Dies führt zu keinem merklichen Problem, wenn nur eine kleinere Menge von IC-Modulen geprüft wird. Für die Prüfungen einer größeren An­ zahl von IC-Modulen eignet sich dieses Verfahren wegen der langen Zeit nicht, die zur Bereitstellung des Trägers erfor­ derlich ist, was eine Arbeitsverzögerung und eine verringerte Produktivität ergibt.

Wenn darüber hinaus unterschiedliche Abstände zwischen den Abstützbasen der Träger abhängig von der Art der IC-Module verwendet werden, müssen entsprechend der jeweiligen Art der IC-Module gesonderte Träger hergestellt werden. Dadurch ergibt sich das Problem der Kosten für die Herstellung der erforder­ lichen Träger.

Aus der DE 198 26 314 A1 ist ein Halbleiterbauelement-Testge­ rät zum testen von integrierten Halbleiterschaltungen bekannt, mit einem Testkopf, der für einen Speichertest ausgelegt ist, und einem Testkopf, der für einen logischen Test ausgelegt ist. Dabei wird ein Testtablett in umlaufender Weise entlang eines vorbestimmten Bewegungspfades bewegt, wobei die zu te­ stenden IC-Module getestet werden, während sie in dem Testta­ blett angeordnet sind. Es ist eine Konstanttemparaturkammer, eine Testkammer und eine Kammer zur Beseitigung von Tempera­ turspannungen vorgesehen. Die Testköpfe testen die IC-Module, die z. B. in der 1., 5., 9. und 13. Reihe einer matrixförmigen Anordnung mit vier Reihen und 16 Spalten vorhanden sind. Die Tests werden viermal durchgeführt. Nach Durchführung des Tests wird das Testtablett zur Position des Testkopfes gesandt. Der Testkopf ist beispielsweise mit zwei Testsockeln versehen und wird mit zwei auf dem Testtablett geladenen IC-Modulen in Kon­ takt gebracht, um den logischen Teil zu testen.

Die DE 198 05 718 A1 offenbart ein Halbleiterbauelement-Test­ gerät, mit dem verschiedene Arten von Halbleitern, einschließ­ lich IC-Modulen, getestet werden können. Eine Handhabungsvor­ richtung weist eine erste und eine zweite Pufferstufe auf, die in X-Richtung zwischen einer vorherbestimmten Position in ei­ nem Bereich und einer vorherbestimmten Position in einem ande­ ren Bereich hin und her bewegbar sind. Außerdem ist eine Hei­ zerplatte mit mehreren IC-Aufnahmeausnehmungen versehen, die die IC-Module während des Tests aufnehmen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Trägerhandha­ bungsvorrichtung für ein Handhabungsgerät für IC-Module mit wenig Platzbedarf sowie ein Verfahren zum Handhaben eines Trä­ gers einer Trägerhandhabungsvorrichtung bereitzustellen, die ein gleichzeitiges Beladen, Entladen und Prüfen unter­ schiedlicher IC-Module ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch eine Trägerhandhabungsvorrichtung für ein Handhabungsgerät für IC-Module mit den Merkmalen des Pa­ tentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der er­ findungsgemäßen Trägerhandhabungsvorrichtung sind Gegenstand der Patentansprüche 2 bis 10.

Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Trägerhandhabungsvor­ richtung ermöglicht es, mit wenig Platzbedarf unterschiedliche IC-Module gleichzeitig zu beladen, zu entladen und zu prüfen.

Die der Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe wird außerdem durch das Verfahren nach Patentanspruch 11 gelöst.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 ist eine schematische Draufsicht auf ein IC-Modulhand­ habungsgerät nach dem Stand der Technik.

Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Trägerhand­ habungsvorrichtung des IC-Modulhandhabungsgeräts zeigt.

Fig. 3 ist eine perspektivische Ansicht, die die erfindungs­ gemäße Drückeinheit zeigt, die zum Prüfen der IC-Module ver­ wendet wird.

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Ausführungs­ form eines erfindungsgemäßen Trägers zeigt, der für die Auf­ nahme der IC-Module verwendet wird.

Fig. 5 ist eine perspektivische Ansicht, die eine weitere Aus­ führungsform eines Trägers gemäß der Erfindung zeigt, der für die Aufnahme der IC-Module verwendet wird.

Fig. 6 ist eine Draufsicht auf den Träger von Fig. 5.

Fig. 7 ist eine vergrößerte Schnittansicht längs der Linie A- A, welche einen Verbindungszustand eines Befestigungsbolzens zeigt.

Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht, die eine weitere Aus­ führungsform des Trägers der vorliegenden Erfindung zeigt, der IC-Module enthält.

Fig. 9 ist eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Träger­ handhabungsvorrichtung.

Fig. 10 bis 16 zeigen aufeinanderfolgende Schritte des Handha­ bungsverfahrens unter Verwendung der erfindungsgemäßen Träger­ handhabungsvorrichtung, wobei

Fig. 10 zeigt in einer schematischen Darstellung ein Gesamt­ system der Trägerhandhabungsvorrichtung,

Fig. 11 zeigt in einem Ablaufdiagramm einen Schritt des Indi­ zierens/Prüfens des Trägers bei Verwendung der Trägerhandha­ bungsvorrichtung,

Fig. 12 zeigt in einem Ablaufdiagramm den Schritt des Entla­ dens des Trägers,

Fig. 13 zeigt in einem Ablaufdiagramm den Schritt des Ladens des Trägers aus einer Behälterhubvorrichtung,

Fig. 14 zeigt in einem Ablaufdiagramm den Schritt des Indizie­ rens/Prüfens des beladenen Trägers,

Fig. 15 zeigt in einem Ablaufdiagramm den Schritt des Entla­ dens des Trägers nach Beendigung der Prüfung, und

Fig. 16 zeigt in einem Ablaufdiagramm den Schritt des Ladens des Trägers aus der Behälterhubvorrichtung zeigen.

Ins einzelne gehende Beschreibung der Erfindung

Unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen wird nun ein Aufbau der vorliegenden Erfindung im einzelnen erläutert.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist einen Basisrahmen 12, einen vertikalen Rahmen 10, eine Trägereinheit 106, eine Drückeinheit 104 und einen Antriebsmotor 16 auf.

Der vertikale Rahmen 10 ist senkrecht auf einer Seite des Ba­ sisrahmens 12 angeordnet.

Die Trägereinheit 106 ist an der Oberseite eines Trägerhalters 22 festgelegt, der so vorgesehen ist, daß er längs Führungs­ schienen 14 für eine Linearbewegung gleitend verschiebbar ist, die parallel an den oberen Abschnittsflächen des Basisrahmens 12 angeordnet sind.

Die Drückeinheit 104 ist entsprechend den jeweiligen Träger­ einheiten 106 auf einer Seite des vertikalen Rahmens 10 vor­ gesehen und wirkt so, daß die IC-Module, die in der Trägerein­ heit 106 enthalten sind, angeschlossen sind.

Der Antriebsmotor 16 wird zum Antrieb einer Scheibe 18 verwen­ det, die auf einer Seite des vertikalen Rahmens 12 so vorgese­ hen ist, daß die mit ihr über einen Steuerriemen 26 verbundene Trägereinheit 106 gleitend verschiebbar nach rechts und links bewegbar ist.

Die Trägereinheit 106 hat einen Träger 24, einen Block 32, eine Feder 28, einen Fühler 30 und einen Greifhalter 52.

Der am oberen Abschnitt des Trägerhalters 22 festgelegte Trä­ ger 24 nimmt eine Vielzahl von IC-Modulen auf und hat die Form eines Kastens. Der Block 32 ist an beiden Seitenabschnitten des Trägers 24 festgelegt. Die Feder 28 ist zwischen dem Block 32 und dem Trägerhalter 22 angeordnet und wirkt so, daß sie die Positionierung des Trägers elastisch zurückstellt. Der Fühler 30 wird dazu verwendet, festzustellen, ob der IC-Modul in Position plaziert ist oder nicht. Die Greifhalter 52 sind sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite des Trä­ gers 24 vorgesehen und mit einem Aufnehmer 38 der Drückeinheit 104 verbunden mit der Funktion, den Träger aus dem Prüfsockel herauszuziehen.

Es können verschiedene Ausgestaltungen des Trägers verwendet werden, wie sie in Fig. 4 bis 8 gezeigt sind. Der Träger gemäß weiterer Ausgestaltungen wird unter Bezugnahme auf die beilie­ genden Zeichnungen im folgenden beschrieben.

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Ausgestal­ tung des die IC-Module enthaltenden Trägers der vorliegenden Erfindung ist. Fig. 5 ist eine perspektivische Ansicht, die eine weitere Ausgestaltung des die IC-Module enthaltenden Trä­ gers der vorliegenden Erfindung zeigt. Fig. 6 ist eine Drauf­ sicht auf Fig. 5. Fig. 7 ist eine vergrößerte Schnittansicht längs der Linie A-A, die einen Verbindungszustand eines Befe­ stigungsbolzens zeigt, und Fig. 8 ist eine perspektivische An­ sicht, die eine weitere Ausgestaltung des die IC-Module ent­ haltenden Trägers der vorliegenden Erfindung zeigt.

Wie in den Zeichnungen gezeigt ist, besteht der Träger aus Führungen 201, einer sich bewegenden Abstützbasis 203 und aus Betätigungseinrichtungen. Einander an den Innenseiten eines Kastens 200 gegenüberliegend sind Führungen 201 horizontal angeordnet. Die Führungen 201 tragen die bewegbaren Abstützba­ sen 203 für eine gleitende Verschiebung, wobei jede mit Ein­ führelementen 202 zum Einführen einer Vielzahl von IC-Modulen versehen ist. Betätigungseinrichtungen dienen zur Einstellung eines Abstands zwischen den bewegbaren Abstützbasen 203.

Das heißt, mit anderen Worten, daß die Betätigungseinrichtun­ gen so betätigt werden, daß der Abstand zwischen den bewegba­ ren Abstützbasen 203 so eingestellt wird, daß ein konstanter Abstand dazwischen in Übereinstimmung mit einer Größe von IC- Modulen beibehalten wird, so daß die IC-Module aufgenommen und überführt werden können.

Die Betätigungseinrichtungen bestehen aus einem Loch 204, ei­ ner Führungsstange 205, einer Schraube 208 mit zwei Gewinde­ abschnitten und einer Antriebseinrichtung. Die bewegbaren Ab­ stützbasen 203 sind mit dem Loch 204 versehen. Die Führungs­ stange 205 geht gleitend verschiebbar durch das Loch 204 und ist mit ihren beiden Enden an dem Kasten 200 befestigt. Die Schraube 208 mit dem doppelten Gewindeabschnitt hat einen rechtsgängigen Gewindeabschnitt und einen linksgängigen Ge­ windeabschnitt, die jeweils in eine bewegbare Abstützbasis 203 geschraubt sind. Wenn die Schraube 204 gedreht wird, wird jede der in die beiden Gewindeabschnitte der Schraube 204 ge­ schraubten, bewegbaren Abstützbasen 203 nach innen aufeinander zu- oder nach außen voneinander wegbewegt. Für die Drehbewe­ gung der Schraube 208 mit zwei Gewindeabschnitten ist eine Antriebseinrichtung damit verbunden.

Die Antriebseinrichtung besteht aus einem Paar von ersten Scheiben 209, einer zweiten Scheibe 210, einem Riemen 211, einem Motor 212 und einer Steuereinheit 214.

Die ersten Scheiben 209 sind an der Schraube 208 mit doppeltem Gewindeabschnitt festgelegt. Die zweite Scheibe 210 ist an dem Kasten 200 befestigt. Der Riemen 211 verbindet die ersten Scheiben 209 und die zweite Scheibe 210 wirkungsmäßig. Der Motor 212 ist mit einer Drehachse gekoppelt und dreht die zweite Scheibe 210 mit einer vorgegebenen Drehzahl. Die Steu­ ereinheit 214 wird so betätigt, daß sie den Motor 212 im Uhr­ zeigersinn oder im Gegenuhrzeigersinn dreht oder die Drehzahl des Motors 212 durch Einsatz eines Schalters 213 reduziert oder erhöht.

Die Verringerung oder Erhöhung der Drehzahl des Motors 212 kann leicht durch Verwendung eines drehzahlreduzierenden Mo­ tors usw. erreicht werden, der eine eingebaute Drehzahlredu­ ziervorrichtung aufweist, und durch Verwendung eines Gleich­ strommotors.

Die zweite Scheibe 210 ist mit einer Spannungseinstelleinrich­ tung versehen, um den Kraftübertragungswirkungsgrad aufrecht­ zuerhalten, indem die Spannung des Riemens 211 eingestellt wird. Die Spannungseinstelleinrichtung besteht aus einem Bügel 215, einem Langloch 216 und einem Bolzen 217. Der Bügel 215 ist so vorgesehen, daß die Drehbewegung der zweiten Scheibe 210 möglich ist, und mit dem Motor 212 gekoppelt. Das Langloch 216 ist in dem Bügel 215 ausgebildet, und der Bolzen 216 dient dazu, den Bügel 215 an dem Kasten 200 durch das Langloch 216 hindurch festzulegen.

Die nach oben bzw. nach unten gehende Bewegung des Bügels 215 wird in dem Langloch 216 möglich, so daß die Spannung des Rie­ mens 211 tatsächlich justiert werden kann.

Zwischen den bewegbaren Abschnittsbasen 203 und der Führungs­ stange 205 ist eine Positionsbegrenzungseinrichtung zum Kon­ stanthalten der Position nach dem Bewegen vorgesehen, die, wie in Fig. 7 gezeigt ist, aus einem Fixierloch 218, das in der bewegbaren Abstützbasis 203 ausgebildet ist und bis zum Loch 204 durchgeht, und aus einem Fixierbolzen 219 besteht, der für ein Einschrauben in das Fixierloch 218 angeordnet ist.

Das heißt, mit anderen Worten, daß durch die Positionsbegren­ zung der Führungsstange 205, wenn der Fixierbolzen festgezogen ist, die strenge Beibehaltung des eingestellten Zustands der bewegbaren Abstützbasen 203 gewährleistet ist.

Der gleiche Effekt kann auch ohne Verwendung einer solchen Antriebseinrichtung erreicht werden, wenn eine Bedienungsper­ son von Hand eine Feineinstellung durch Verwendung eines Dreh­ knopfs 220 vornimmt, der einfach mit der zweiten Scheibe 210 gekoppelt ist, wie es in Fig. 8 gezeigt ist.

Es werden nun die Arbeitsweise und Vorteile der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Bedienungsperson betätigt den Schalter 213, um beispielsweise ein IC-Modul mit 72 Stiften in den Träger zu laden.

Mit der Betätigung des Schalters fängt der Motor 212 zu laufen an, wodurch die zweite mit dem Motor 212 gekoppelte Scheibe 210 mit einer vorgegebenen Drehzahl und in eine vorgegebene Drehrichtung (Uhrzeigersinn oder Gegenuhrzeigersinn) gedreht wird.

Die Drehung der zweiten Scheibe 210 führt zur Drehung der er­ sten Scheibe 209, die mit der zweiten Scheibe 210 über den Riemen 211 gekoppelt ist. Durch die Drehung der ersten Scheibe 209 wird die Schraube 208 mit den zwei Gewindeabschnitten ebenfalls gedreht, wodurch der Abstand der bewegbaren Abstütz­ basen 203 eingestellt wird.

Wenn beispielsweise die Schraube 208 mit den zwei Gewindeab­ schnitten im Uhrzeigersinn gedreht wird, wird der Abstand zwi­ schen den bewegbaren Abstützbasen 203 schmal, bei einer Dre­ hung im Gegenuhrzeigersinn breiter.

Wenn der Abstand passend eingestellt ist, wird der Fixierbol­ zen 219 festgezogen, wodurch die Unterseite des Fixierbolzens 219 gegen die Führungsstange 205 drückt und die Bewegung der Führungsstange 205 begrenzt, so daß folglich die bewegbaren Abstützbasen 203 fest in ihrer Position gehalten werden.

Unter der Bedingung, daß der Abstand zwischen den bewegbaren Abstützbasen 203 eingestellt ist, werden die IC-Module mit 72 Stiften eingeladen und überführt. Wenn beispielsweise die IC- Module als zu bewegender Gegenstand ausgewechselt werden, bei­ spielsweise durch einen IC-Modul mit 128 Stiften, wird der Fixierbolzen 219 gelöst und der Schalter 213 betätigt.

Im Falle des IC-Moduls mit 128 Stiften, der verglichen mit dem IC-Modul mit 72 Stiften eine größere Länge hat, wird der Schalter betätigt, so daß der Motor 212, die erste und die zweiten Scheiben 209, 210 so gedreht werden, daß der Abstand zwischen den bewegbaren Abstützbasen 203 breiter wird.

Wenn der Abstand zwischen den bewegbaren Abstützbasen 203 breiter wird und für die Länge des IC-Moduls mit 128 Stiften paßt, wird der Motor 212 abgeschaltet und dann, wie oben be­ schrieben, der Fixierungsbolzen 219 festgelegt, um die Lage der Führungsstange 205 fest beizubehalten. Es können dann IC- Module mit 128 Stiften geladen und überführt werden.

Erfindungsgemäß kann auch, wie anhand einer weiteren Ausfüh­ rungsform der Erfindung in Fig. 9 gezeigt ist, ein Drehknopf 220 verwendet werden, den die Bedienungsperson betätigt, so daß durch die Drehung des Knopfs von Hand der Abstand zwischen den bewegbaren Abstützbasen 203 eingestellt werden kann.

Die Drückeinheit 104 besteht aus einer Konsole 36 für die Ein­ heit, aus Führungen 44, aus einer Kugelspindel 42, aus einer Führungsplatte 40, aus Aufnehmerfixierblöcken 46, aus einem Modulandrückbauteil 104, aus einem Aufnehmer 48 und aus einem Preßeinheitmotor 34.

Die Konsole 36 für die Einheit ist auf einer Seite des verti­ kalen Rahmens 10 vorgesehen und hat einen Motorhalter 38, der an einem oberen Abschnitt der Konsole 36 für die Einheit aus­ gebildet ist. Das Paar von Führungen 44 ist vertikal auf bei­ den Seiten der Konsole 36 für eine vertikale Gleitbewegung angeordnet. Zwischen dem Paar von Führungen 44 ist die Kugel­ spindel 42 vertikal angeordnet. Die Führungsplatte 40 verbin­ det die Führungen 44 und den oberen Abschnitt der Kugelspindel 42 fest. Die Aufnehmerfixierblöcke 46 sind jeweils an den un­ teren Abschnitten des Paars von Führungen 44 festgelegt. Das am unteren Abschnitt der Aufnehmerfixierblöcke 46 installierte Moduldrückbauteil wirkt so, daß es die IC-Module in den Prüf­ sockel für die Prüfungen einführt. Die Vielzahl der jeweils auf beiden Seiten des Aufnehmerfixierblocks 46 vorgesehenen Aufnehmer 48 wirken so, daß sie den Träger herausziehen. Der auf einer Seite des Motorhalters 38 angeordnete Drückeinheit­ motor 34 ist mit dem oberen Abschnitt der Kugelspindel 42 ge­ koppelt, die über die Führungsplatte 40 vorsteht, und wird so betätigt, daß sich die Aufnehmerfixierblöcke 46 vertikal bewe­ gen.

Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Trägerhand­ habungsvorrichtung des IC-Modulhandhabungsgeräts zeigt, Fig. 3 ist eine perspektivische Ansicht, welche die erfindungsgemäße Drückeinheit zeigt, die zum Prüfen der IC-Module verwendet wird, Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die einen er­ findungsgemäßen Träger zeigt, der für die Aufnahme der IC-Mo­ dule verwendet wird, und Fig. 9 ist eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Trägerhandhabungsvorrichtung.

Der Basisrahmen 12 hat auf einer Seite seines oberen Ab­ schnitts einen vertikalen Rahmen 10, und der gesamte Abschnitt davon ist jeweils mit Prüfstellen 102 versehen.

Die Prüfstelle 102 besteht aus der Drückeinheit 104 und der Trägereinheit 106.

Die Führungsschienen 14 für eine Linearbewegung sind parallel an der oberen Abschnittsfläche des Basisrahmens 12 angeordnet. Die Trägereinheit 106 ist an dem oberen Abschnitt der Füh­ rungsschienen 14 für die lineare Bewegung so vorgesehen, daß die Trägereinheit 106 nach rechts und links verschiebbar ist, wobei ein Antriebsmotor 16 montiert ist, der mit der Scheibe 18 versehen ist. Mit der Scheibe 18 ist der Steuerriemen 20 verbunden, der die an ihm befestigte Trägereinheit 106 trägt.

Die Drückeinheit 104 ist mit der Konsole 36 versehen, an wel­ cher der Motorhalter 38 auf einer Seite des vertikalen Rahmens 10 ausgebildet ist. Das Paar von Führungen 44, die die Drück­ einheit 106 vertikal führen können, sind vertikal an dem ge­ samten Abschnitt der Konsole 36 vorgesehen, wobei sich die Kugelspindel 42 vertikal zwischen dem Paar von Führungen 44 erstreckt.

An den unteren Abschnitten der Kugelspindel 42 und der Führun­ gen 44 sind Aufnehmerfixierblöcke 46 vorgesehen, an deren bei­ den Seitenabschnitten Aufnehmer 48 vorgesehen sind, welche die Träger und den unteren Abschnitt davon, an welchem das Modul­ drückbauteil 50 befestigt ist, halten können.

Die Kugelspindel 42 und die Führungen 44 sind an ihren oberen Abschnitten mit der Führungsplatte 40 versehen. An dem oberen Abschnitt der Kugelspindel 42 ist der Drückeinheitmotor 34 so vorgesehen, daß die Kugelspindel 42 gedreht wird und dadurch das Moduldrückbauteil 50 absenken kann. Deshalb können die IC- Module in dem Träger mit dem Prüfsockel verbunden werden.

Die Trägereinheit 106, in der die zu prüfenden IC-Module auf­ genommen sind, hat einen kastenförmigen Träger 24, der an dem oberen Abschnitt des Trägerhalters 22 festgelegt ist und eine Vielzahl von IC-Modulen enthält.

Der Träger 24 hat an einen rechten und linken Seitenabschnitt, die jeweils mit festgelegten Blöcken 34 versehen sind. Zwi­ schen den Blöcken 34 und dem Trägerhalter 22 sind die Federn 28 so angeordnet, daß die Blöcke 34, die nach dem Drücken durch die Drückeinheit 104 getrennt sind, in ihre Ausgangs­ stellungen zurückgeführt werden. Die Fühler 30 dienen zum Feststellen, ob die IC-Module auf dem rechten und linken Sei­ tenabschnitt des Trägers 24 genau plaziert sind oder nicht.

Gemäß Fig. 9, die eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Trägerhandhabungsvorrichtung zeigt, wird die Trägereinheit 106, die mit den Scheiben 18 verbunden ist, die für eine Dre­ hung durch die Antriebsmotoren 16 angetrieben werden, gleitend verschiebbar bewegt. Die Trägereinheit 106 kann mittels des Steuerriemens bewegt werden, bis sie an der Position ankommt, an der die Trägereinheit 106 in Kontakt mit dem Prüfsockel gebracht werden kann.

Die Trägereinheit 106 ist aufeinanderfolgend mit einer Preß- /Prüfposition 108, die sich am oberen Abschnitt des Basisrah­ mens 12 befindet, und dann mit einer Belade-/Entladeposition 110 versehen, die sich angrenzend daran befindet. Auf der rechten Seite der oben erwähnten Position 108, 110 kann auch eine weitere Drück-/Prüfposition 108 und Belade-/Entladeposi­ tion 110 mit dem gleichen Aufbau wie die vorherigen Stellen vorgesehen werden, wodurch die ihn zu prüfenden IC-Module kon­ tinuierlich zugeführt werden können.

Es wird nun ein Handhabungsverfahren einer so gebauten Träger­ handhabungsvorrichtung des IC-Modulhandhabungsgeräts beschrie­ ben.

Fig. 10 bis 16 zeigen aufeinanderfolgende Schritte des Handha­ bungsverfahrens unter Verwendung der erfindungsgemäßen Träger­ handhabungsvorrichtung. Fig. 10 ist eine schematische Darstel­ lung des Gesamtsystems der Trägerhandhabungsvorrichtung, Fig. 11 ist ein Ablaufdiagramm, das den Schritt des Indizie­ rens/Prüfens des Trägers durch Verwendung der Trägerhandha­ bungsvorrichtung zeigt, Fig. 12 ist ein Ablaufdiagramm, wel­ ches den Schritt des Entladens des Trägers zeigt, Fig. 13 ist ein Ablaufdiagramm, welches den Schritt des Ladens des Trägers aus einer Behälterhubeinrichtung aus zeigt, Fig. 14 ist ein Ablaufdiagramm, welches den Schritt des Indizierens/Prüfens des beladenen Trägers zeigt, Fig. 15 ist ein Ablaufdiagramm, welches den Schritt des Entladens des Trägers nach dem Ende des Prüfens zeigt, und Fig. 16 ist ein Ablaufdiagramm, welches den Schritt des Ladens des Trägers aus der Behälterhubvorrich­ tung zeigt.

Für das Verfahren zur Handhabung des erfindungsgemäßen Trägers zum Prüfen von IC-Modulen werden jeweils Träger, von denen jeder die IC-Module enthält und die an ihren Ausgangspositio­ nen vorgesehen sind, zu der Drück-/Prüfposition 108 und der Belade-/Entladeposition 110 bewegt.

Während die IC-Module, die in dem Träger enthalten sind, der zu der Drück-/Prüfposition 108 bewegt worden ist, geprüft wer­ den, wird der an der Belade-/Entladeposition 110 positionierte Träger zu der Entladebehälter-Hubvorrichtung bewegt.

Nachdem der Träger zu der Entladehubvorrichtung bewegt worden ist, wird ein weiterer Träger in der Beladebehälter-Hubvor­ richtung zu der Belade-/Entladeposition 110 bewegt.

Der Träger an der Drück-/Prüfposition 108 wird nach Beendigung der Prüfung in seine Ausgangsstellung bewegt, und der zur Be­ lade-/Entladeposition 110 bewegte Träger wird zur Drück-/Prüf­ position 108 bewegt.

Während die jeweils von der Belade-/Entladeposition 110 zur Drück-/Prüfposition 108 bewegten Träger geprüft werden, werden weitere entsprechende Träger, die geprüft und zu ihren jewei­ ligen Ausgangspositionen zurückgeführt worden sind, zu der Entladebehälter-Hubvorrichtung bewegt.

Nachdem die Träger nach beendeter Prüfung zu der Entladebehäl­ ter-Hubvorrichtung bewegt worden sind, werden diese Träger aus der Beladebehälter-Hubvorrichtung zu ihren Ausgangspositionen bewegt.

Die Einzelheiten des Verfahrens zum Handhaben des Trägers ge­ mäß der Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert.

In Fig. 10 ist die Hubvorrichtung 118 gezeigt, welche die Vielzahl von IC-Modulen zuführt. Über dem oberen Abschnitt der Hubeinrichtung 118 sind die jeweiligen Beladebehälter- und Entladebehälter-Hubvorrichtungen vorgesehen, die von der Hubeinrichtung 118 versorgt werden. Weiterhin sind über den Behälterhubvorrichtungen ein Aussonderungsbehälter, ein Behäl­ ter für eine nochmalige Prüfung und ein Ausschußbehälter vor­ gesehen, wobei der Aussonderungsbehälter für die Aufnahme der ausgegebenen IC-Module, nachdem ihre Prüfung abgeschlossen worden ist, der Behälter für die erneute Prüfung für die Auf­ nahme von nochmals zu prüfenden IC-Modulen und der Ausschußbe­ hälter für die Aufnahme von IC-Modulen verwendet wird, deren Eigenschaften als fehlerhaft ermittelt wurden.

Über dem jeweiligen Behälter befinden sich die Drück-/Prüfpo­ sition 114 und die Belade-/Entladeposition 116. Die Drück- /Prüfposition 114 ist mit einem Prüfkopf 112 zum Prüfen des dort bewegten Trägers versehen. Der Träger 24 wird für die Prüfung und das Beladen/Entladen nach rechts und links bewegt.

Für fortgesetzte Prüfungen und eine fortlaufende Trägerzufüh­ rung sind daran angrenzend eine weitere Drück-/Prüfposition 140 und Belade-/Entladeposition 116 mit gleicher Bauweise wie die vorstehend erwähnten Positionen 114, 116 angeordnet.

Im folgenden wird das Verfahren zur Handhabung des Trägers gemäß der Erfindung unter Bezugnahme auf Fig. 11 bis 13 erläu­ tert. Die jeweiligen Träger 24 werden von ihren Ausgangsstel­ lungen zu der Drück-/Prüfposition 114 und der Belade-/Entlade­ position 116 bewegt. Die zu der Drück-/Prüfposition 114 beweg­ ten Träger 24 befinden sich auf einem Indizier-/Prüfschritt, bei welchem sich die zu prüfenden Träger 24 in Kontakt mit dem Prüfkopf 112 mittels der Drückeinheit 104 befinden.

Während die Prüfung für die Träger 24 ausgeführt wird, werden weitere zu der Belade-/Entladeposition 116 bewegte Träger 24 zu der Entladebehälter-Hubeinrichtung bewegt, wie es in Fig. 11 gezeigt ist. Wie in Fig. 12 gezeigt ist, werden die neuen Träger 24 aus der Beladebehälter-Hubeinrichtung zur Be­ lade-/Entlädeposition 116 geladen.

Fig. 14 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Schritt des Indizie­ rens/Prüfens des beladenen Trägers zeigt, Fig. 15 ist ein Ab­ laufdiagramm, das einen Schritt des Entladens des Trägers nach Abschluß der Prüfung zeigt, und Fig. 16 ist ein Ablaufdia­ gramm, das einen Schritt des Beladens des Trägers von der Be­ hälterhubeinrichtung aus zeigt.

Wie in Fig. 12 gezeigt ist, erfolgt das Laden des Trägers 24 zu der Belade-/Entladeposition 116, während die Prüfung an der Drück-/Prüfposition 114 abgeschlossen wird. Dann werden die jeweiligen Träger 24 nach links bewegt, d. h. die Träger 24, die an der Drück-/Prüfposition 114 geprüft worden sind, werden zur Belade-/Entladeposition 116 bewegt. Der in die Belade- /Entladeposition 116 geladene Träger 24 wird zu der Drück- /Prüfposition 114 bewegt.

Während die zu der Drück-/Prüfposition 114 bewegten Träger 24 geprüft werden, werden die an der Belade-/Entladeposition 116 befindlichen Träger 24 wieder zu der Entladebehälter-Hubvor­ richtung bewegt. Wenn die Träger 24 zu der Entladebehälter- Hubvorrichtung bewegt werden, werden neue Träger 24 aus der Beladebehälter-Hubvorrichtung geladen, wie es in Fig. 16 ge­ zeigt ist, wodurch ein Zyklus abgeschlossen ist. Die vorste­ hend erwähnten Zyklen werden fortlaufend wiederholt, so daß aufeinanderfolgende Prüfungen und Zuführmaßnahmen ausgeführt werden.

Nach den vorstehenden Ausführungen ergeben sich Vorteile da­ durch, daß die Wartezeit für den zu prüfenden und zuzuführen­ den Träger verkürzt wird und somit schneller gearbeitet werden kann, was die Produktivität aufgrund der kontinuierlichen Prü­ fungen und Zuführung von Trägern erhöht.

Da der Abstand bzw. die Abstände der bewegbaren Abstützbasen, welche die IC-Module tragen, auf einfache Weise durch Drehen der Kugelspindel eingestellt werden kann bzw. können, wird der Einsatz von nur einem Träger für das Überführen und Laden ver­ schiedener Arten von IC-Modulen möglich.

Wie oben beschrieben, wird aufgrund der einfachen Bauweise und durch das vereinfachte Verfahren der Trägerhandhabungsvorrich­ tung des IC-Modulhandhabungsgeräts nach der vorliegenden Er­ findung die Prüfzeit verkürzt, der Wirkungsgrad durch schnel­ leres Arbeiten erhöht und so die Produktivität durch Bereit­ stellung des folgenden Trägers verbessert, während ein Träger geprüft wird.

Da der Abstand bzw. die Abstände der bewegbaren Abstützbasen, welche die IC-Module halten, durch Drehen der Kugelspindel leicht eingestellt werden kann/können, wird die Verwendung von nur einem Träger beim Überführen und Beladen verschiedener Arten von IC-Modulen möglich. Deshalb ist die Herstellung von entsprechenden Trägers für jedes der IC-Module nicht erforder­ lich, so daß alle damit verbundenen Kosten entfallen.

Darüber hinaus genügt die Speicherung von nur einem Träger, woraus sich eine Verringerung der Teile, die für die Überfüh­ rung und das Laden der IC-Module erforderlich sind, und des für die Lagerung des Trägers erforderlichen Raums ergibt.

Claims (11)

1. Trägerhandhabungsvorrichtung für ein Handhabungsgerät für IC-Module,
mit einem Basisrahmen (12),
mit einem vertikalen Rahmen (10), der an einer Seite des Basisrahmens (12) senkrecht zu diesem angebracht ist,
mit Trägereinheiten (106), die jeweils an der Ober­ seite eines Trägerhalters (22) festgelegt sind, der an Flächen im oberen Abschnitt des Basisrahmens (12) angeordnet und entlang von Führungsschienen (14) für eine lineare Bewegung verschiebbar ist,
mit Drückeinheiten (104), die den Trägereinheiten (106) entsprechend auf einer Seite des vertikalen Rahmens (10) und zum Verbinden der IC-Module vor­ gesehen ist, die in den Trägereinheiten (106) ent­ halten sind, und
mit einem Antriebsmotor (16) mit einer Riemenschei­ be (18), der an einer Seite des vertikalen Rahmens (10) vorgesehen ist, um die mit dem Steuerriemen (20) verbundenen Trägereinheiten (106) nach rechts und links gleitend zu verschieben.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die Träger­ einheit (106) einen Träger (24), einen Block (32), eine Feder (28), einen Fühler (30) und einen Greif­ halter (52) aufweist,
wobei der Träger (24) an einem oberen Abschnitt des eines Trägerhalters (22) für die Aufnahme einer Vielzahl von IC-Modulen festgelegt und kastenförmig ausgebildet ist,
wobei der Block (32) auf beiden Seitenabschnitten des Trägers (24) festgelegt ist,
wobei die Feder (28) zwischen dem Block (32) und dem Trägerhalter (22) angeordnet ist und so wirkt, daß sie die Positionierung des Trägers (24) ela­ stisch zurückstellt,
wobei der Fühler (30) zur Feststellung verwendet wird, ob der IC-Modul in Position plaziert ist oder nicht, und
wobei die sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite des Trägers (24) vorgesehenen Greif­ halter (52) mit einem Aufnehmer (38) der Drückein­ heit (104) verbunden werden, um den Träger (24) aus einem Prüfsockel herauszuziehen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die Träger­ einheit
einen Kasten (200) für die Aufnahme einer Vielzahl von IC-Modulen,
Führungen (201), die an den Innenseiten des Kastens (200) einander gegenüberliegend horizontal angeord­ net sind,
bewegbare Abstützbasen (203), von denen jede mit Einführelementen (202) jeweils zum Einführen der Vielzahl von IC-Modulen versehen ist, und
Betätigungseinrichtungen zum Einstellen und Steuern eines Abstands zwischen den bewegbaren Abstützbasen (203) aufweist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei welcher die Betäti­ gungseinrichtung
ein in der bewegbaren Abstützbasis (203) ausgebil­ detes Loch (204),
eine Führungsstange (205), die für eine gleitende Verschiebung durch das Loch (204) durchgeht und mit ihren beiden Enden an dem Kasten (200) befestigt ist,
eine Schraube (208) mit zwei Gewindeabschnitten, von denen einer rechtsgängig und einer linsgängig ist und jeweils in eine bewegbare Abstützbasis (203) geschraubt ist, so daß, wenn die Schraube (208) mit den zwei Gewindeabschnitten gedreht wird, die beiden auf sie geschraubten bewegbaren Abstütz­ basen (203) nach innen aufeinander zu- oder nach außen voneinander wegbewegt werden, und
Antriebseinrichtungen aufweist, die für eine Dre­ hung der Schraube (208) mit den zwei Gewindeab­ schnitten gekoppelt sind, wobei die Antriebsein­ richtungen zwei erste Riemenscheiben (209), die an der Schraube (208) festgelegt sind, eine zweite Riemenscheibe (210), die an dem Kasten angebracht ist, einen Riemen (211) der mit den ersten Riemen­ scheiben (209) und der zweiten Riemenscheibe (210) wirksam verbunden ist, einen Motor (212), der mit einer Drehachse gekoppelt ist, um die zweite Rie­ menscheibe (210) mit einer vorher bestimmten Dreh­ zahl zu drehen, und eine Steuereinheit (214) um­ fasst, bei die bei Betätigung eines Schalters den Motor (212) in Uhrzeigerrichtung oder gegen die Uhrzeigerrichtung dreht oder die Drehzahl des Mo­ tors (212) verringert bzw. erhöht.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei welcher die zweite Scheibe (210) mit einer Spannungseinstelleinrichtung versehen ist, um den Kraftübertragungswirkungsgrad durch Einstellung der Spannung des Riemens (211) aufrechtzuerhalten.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, bei welcher die Span­ nungseinstelleinrichtung
einen Bügel (215), der so vorgesehen ist, daß die Drehbewegung der zweiten Scheibe (210) möglich ist, und der mit dem Motor verbunden ist,
ein in dem Bügel (215) ausgebildetes Langloch (216) und
einen Bolzen (217) aufweist, der den Bügel (215) an dem Kasten (200) durch (216)das Langloch hindurch festlegt.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei welcher zwischen den bewegbaren Abstützbasen (203) und der Führungsstange (205) eine Lagebegrenzungsein­ richtung zum Konstanthalten der Position nach der Bewegung vorgesehen ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei welcher die Lagebe­ grenzungseinrichtung
ein Fixierungsloch (208), das in der bewegbaren Abstützbasis (203) ausgebildet ist und sich durch bis zum Loch (204) erstreckt, und
einen Fixierbolzen (219) aufweist, der für das Schrauben in das Fixierloch (208) angeordnet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei welcher die Antriebseinrichtung einen Drehknopf (220) aufweist, der mit der zweiten Scheibe (210) gekoppelt ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die Drück­ einheit
eine Konsole (36), die an der einen Seite des ver­ tikalen Rahmens (10) angebracht und mit einem Mo­ torhalter (38) versehen ist, der an dem oberen Abschnitt der Konsole (36) ausgebildet ist,
ein Paar von Führungen (44), die vertikal auf bei­ den Seiten der Konsole (36) für eine vertikale Gleitbewegung angebracht sind,
eine Kugelspindel (42), die vertikal zwischen dem Paar von Führungen (44) vorgesehen ist,
eine Führungsplatte (40), welche die Führungen (44) und den oberen Abschnitt der Kugelspindel (42) fest verbindet,
Aufnehmerfixierblöcke (46), die jeweils an unteren Abschnitten des Paars von Führungen (44) festgelegt sind,
ein Moduldrückbauteil, das am unteren Abschnitt der Aufnehmerfixierungsblöcke (46) angebracht ist und so wirkt, daß die IC-Module in den Prüfsockel für die Prüfungen eingeführt werden,
eine Vielzahl von Aufnehmern (48), die jeweils auf beiden Seiten des Aufnehmerfixierblocks (46) vor­ gesehen sind und so wirken, daß der Träger (24) herausgezogen wird, und
einen Drückeinheitmotor (34) aufweist, der auf einer Seite des Motorhalters (38) angebracht und mit dem oberen Abschnitt der über die Führungsplat­ te (40) vorstehenden Kugelspindel (42) verbunden Ist und so betätigt wird, daß er die Aufnehmerfi­ xierblöcke (46) vertikal bewegt.

11. Verfahren zum Handhaben eines Trägers einer Träger­ handhabungsvorrichtung mit folgenden Schritten

• - Bewegen zu prüfender IC-Module enthaltender Träger von ihren Ausgangspositionen zu einer Drück-/Prüf­ position und einer Belade-/Entladeposition,
• - Prüfen der IC-Module, die in dem Träger enthalten sind, der bei dem vorhergehenden Schritt zu der Drück-/Prüfposition bewegt worden ist, und Bewegen des in der Belade-/Entladeposition befindlichen Trägers zu einer Entladebehälter-Hubeinrichtung,
• - Bewegen eines weiteren Trägers aus einer Beladebe­ hälter-Hubeinrichtung zu der Belade-/Entladeposi­ tion, nachdem der jeweilige Träger zu der Entlade­ hubeinrichtung bewegt worden ist,
• - Bewegen des jeweiligen Trägers nach Beendigung der Prüfung in der Drück-/Prüfposition zu seiner Aus­ gangsposition und Bewegen des zu der Belade-/Entla­ deposition bewegten Trägers zu der Prüf-/Drückposi­ tion,
• - Prüfen des Trägers, der von der Belade-/Entladepo­ sition zur Drück-/Prüfposition bewegt worden ist, und Bewegen der Träger, deren Prüfung abgeschlossen ist und die zu ihren Ausgangspositionen zurückge­ führt worden sind, zu der Entladebehälter-Hubein­ richtung, und
• - Laden der geprüften Träger in ihre Ausgangsposi­ tionen in der Beladebehälter-Hubeinrichtung, nach­ dem die Träger nach Beendigung der Prüfung zu der Entladebehälter-Hubeinrichtung bewegt worden sind.