DE19956982C2 - Trägerhandhabungsvorrichtung für eine IC-Baustein-Handhabungseinrichtung - Google Patents
Trägerhandhabungsvorrichtung für eine IC-Baustein-HandhabungseinrichtungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine IC-(Integrier
te Schaltung-)Baustein-Handhabungseinrichtung für das Prüfen
von IC-Bausteinen, während ein die IC-Bausteine enthaltender
Träger zwischen Lade-, Prüf-, und Entladeprozessen überführt
wird.
Ein IC-Baustein besteht normalerweise aus einem Substrat, auf
dem auf wenigstens einer Seite mehrere ICs (Integrierte Schal
tungen) und elektronische Bauteile beispielsweise durch Löten
befestigt sind.
Aus dem Stand der Technik ist keine Vorrichtung bekannt, mit
der IC-Bausteine automatisch als Endprodukte in einen Prüf
sockel beladen werden, um sie zu prüfen und abhängig von den
Prüfergebnissen in entsprechende Kategorien, woraufhin die der
klassifizierten Bausteine in Kundenbehälter geladen werden.
Um die IC-Bausteine als Endprodukt zu prüfen, muß deshalb eine
Bedienungsperson von Hand einen Baustein aus einem Prüfbehäl
ter nehmen, in dem die IC-Bausteine enthalten sind, diesen in
einen Prüfsockel laden, die Prüfungen über einen vorgegebenen
Zeitraum durchführen und schließlich abhängig von dem Prüfer
gebnis den IC-Baustein klassifizieren und ihn in den Kundenbe
hälter ablegen. Wegen dieser manuellen, langweiligen Tätigkei
ten ist die Produktivität gering.
Eine IC-Baustein-Handhabungseinrichtung wird eingesetzt, um in
einem Behälter enthaltene IC-Bausteine zu halten, wobei eine
Aufnahmeeinrichtung verwendet wird, die die gehaltenen IC-Bau
steine ohne Verwendung eines Trägers direkt in einen an einer
Prüfstelle befindlichen Prüfsockel lädt und daraus entlädt.
Deshalb ist bei diesen Prozessen an der Belade- und der Entla
destelle keine Einheit zum Bestimmen der Position des Trägers
erforderlich.
Aus der DE 197 45 646 A1 ist ein Trägertransportmechanismus
bekannt, der einen eingangsseitigen Trägertransportmechanismus
aufweist, der einen Träger mit darauf angeordneten Paletten zu
einer Prüfstation transportiert, die in einem Konstanttempera
turraum angeordnet ist, und einen ausgangsseitigen Träger
transportmechanismus aufweist, der den Träger nach dem Prüfen
aus dem Konstanttemperaturraum heraustransportiert.
Auf einem Magazin sind mehrere Paletten übereinander gesta
pelt, die jeweils mehrere Halbleiter enthalten. Ein Ver
teilungslagerermechanismus platziert mehrere der Paletten in
dem Magazin auf einem Träger. Ein Trägertransportmechanismus
transportiert den Träger in die Prüfstation, die sich in dem
Konstanttemperaturraum befindet. Die Paletten auf dem Träger
werden nach dem Prüfen in einem Wiederbeladungsstaplermecha
nismus aufgenommen.
Die DE 42 30 175 A1 beschreibt eine Vorrichtung zur automati
schen Entladung von Test- und Sortieranlagen, die leere Bau
elementbehälter mit getesteten Hauelementen (wie z. B. IC-
Chips) füllt. Die Bauelemente werden von einem in einer Lade-
und Entladevorrichtung integrierten Prüfgerät für einen nach
folgenden Test der integrierten Schaltkreise sortiert.
Ein fest auf einer Montageplatte montiertes Mehrkanalsystem
enthält mehrere Führungskanäle für die Beförderung von Bauele
menten. In jedem Führungskanal ist jeweils ein Steuerstift so
angeordnet, daß durch Heben und Senken des Stiftes der
Durchgang der Bauelemente gesteuert, d. h. blockiert oder frei
gegeben, werden kann. Jeder Steuerstift ist an der Unterseite
eines ihm zugeordneten Nachfolgegliedes fixiert, das mit sei
ner Oberseite an einem Gleitstift befestigt ist. Der Gleit
stift ist in einem Gehäuse beweglich gelagert und zwischen
Gehäuse und Folgeglied von einer Druckfeder umgeben. Zwischen
dem Mehrkanalsystem und dem Folgeglied ist ein Steuernocken
eingefügt, der mit Hilfe eines an ihm montierten Hebels betä
tigt werden kann. Durch Schwenken des Hebels rotiert der mit
ihm verbundene Steuernocken um die eigene Achse. Gleichzeitig
damit werden alle aufliegenden Nockenfolgeglieder und die dar
an fixierten Steuerstifte so angehoben, daß alle im Mehrkanal
system verbliebenen Bauelemente entladen werden können.
Getestete Bauelemente werden nacheinander - je nach Testergeb
nis - in unterschiedliche Kanäle des Mehrkanalsystems über
führt und vom jeweiligen in abgesenkter Position befindlichen
Steuerstift blockiert. Ein Sensor registriert die Bauelemente
in einem bestimmten Kanal und veranlaßt, daß ein Schlitten zu
diesem Kanal bewegt wird. Anschließend wird ein auf dem
Schlitten befindlicher leerer Bauelementbehälter durch Anheben
der Steuerstifte mit Bauelementen gefüllt. Schließlich wird
der Schlitten dann zu einem dem Testergebnis der Bauelemente
entsprechenden Aufbewahrungsbehälter gefahren, in welchem die
Bauelementbehälter deponiert werden.
Die DE 35 10 933 A1 beschreibt eine Handhabungsvorrichtung für
IC-Plättchen, die eine Transportvorrichtung aufweist, die an
der Seite einer Probenkammer befestigt ist und eine abdicht
bare obere Tür umfaßt. Die Transportvorrichtung umfaßt einen
Antriebsmotor, an dessen Welle ein Zahnrad befestigt ist, das
in Eingriff mit einem Umlaufsteuerriemen steht, der von Spann
rädern und getragen wird, die am Gehäuse drehbar gelagert
sind. An dem Steuerring ist ein Arm befestigt, der einen Ma
gnet trägt, der bewirkt, daß ein Plättchenhalter längs einer
Führung in die Probenkammer bewegt wird.
Der Magnet befindet sich in geringem Abstand zu einem inneren
Magnet, wobei zwischen den beiden Magneten ein dünner Boden
abschnitt verläuft. Der innere Magnet ist in einem Schlitten
gelagert, der linear verschoben werden kann. Der Schlitten 46
wird aufgrund der magnetischen Kopplung zwischen dem von dem
Motor angetriebenen äußeren Magneten und dem inneren Magneten
linear längs seiner Schienen verschoben, um der geradlinigen
Bewegung des vom Motor angetriebenen äußeren Magneten zu fol
gen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine IC-Baustein-
Handhabungseinrichtung bereitzustellen, die in der Lage ist,
einen Träger zwischen den verschiedenen Prozessen in einem
minimalen Raum automatisch zu überführen.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Trägerhand
habungsvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1
gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen
Trägerhandhabungsvorrichtung sind Gegenstand der Patentansprü
che 2 bis 6.
Die erfindungsgemäße Trägerhandhabungsvorrichtung ermöglicht
es, einen Träger mit wenig Platzbedarf automatisch zwischen
den verschiedenen Prozessen zu überführen. Durch die Verwen
dung des Trägers kann die Arbeitsleistung der kostenintensiven
Vorrichtung gesteigert werden. Außerdem können die IC-Baustei
ne, die in einem Behälter enthalten sind, genau in einen Trä
ger geladen oder daraus entladen werden, indem die Position
des Trägers an der Belade- und Entladestelle genau bestimmt
wird.
Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht einer IC-Baustein-
Handhabungseinrichtung, bei der die vorliegende Erfindung ver
wendet wird.
Fig. 2 ist eine perspektivische Rückansicht der in Fig. 1 ge
zeigten Handhabungseinrichtung.
Fig. 3 ist eine perspektivische Ansicht, die eine erfindungs
gemäße Trägerhandhabungsvorrichtung der IC-Baustein-Handha
bungseinrichtung zeigt.
Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht einer Trägerüberfüh
rungseinheit als eines der Hauptteile der Erfindung.
Fig. 5 ist eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht
eines in Fig. 4 gezeigten Abschnitts.
Fig. 6a zeigt den Zustand, in dem das Halten eines Träger
freigegeben wird.
Fig. 6b zeigt den Zustand, in welchem Finger den überführten
Träger halten.
Fig. 7 ist eine perspektivische Ansicht einer Trägerpositions
bestimmungseinheit als ein Hauptteil der Erfindung.
Fig. 8a zeigt einen Zustand, in welchem die Überführung des
Trägers möglich wird.
Fig. 8b zeigt einen Zustand, in welchem die Position des über
führten Trägers bestimmt wird.
Fig. 9a ist eine Schnittansicht längs der Linie A-A in
Fig. 8a.
Fig. 9b ist eine Schnittansicht längs der Linie B-B in
Fig. 8b.
Unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen wird nun
eine erfindungsgemäße Trägerhandhabungsvorrichtung der IC-Bau
stein-Handhabungseinrichtung beschrieben.
Wie in Fig. 1 und 2 gezeigt ist, hat erfindungsgemäß die Trä
gerhandhabungsvorrichtung einer IC-Baustein-Handhabungsein
richtung eine Hebeeinrichtung 5, eine beladeseitige Aufnahme
einrichtung 7, eine erste Überführungseinrichtung 9, eine beladeseitige
Schwenkeinrichtung 8, eine Heizkammer 10, eine
Prüfstelle 11, eine entladeseitige Schwenkeinrichtung 12, eine
zweite Überführungseinrichtung 14, eine entladeseitige Aufnah
meeinrichtung 15, eine dritte Überführungseinrichtung 16 usw..
Die Hebeeinheit 5 arbeitet so, daß sie eine Stapelplatte, die
für das Plazieren des Behälters 1 auf ihr verwendet wird, um
einen Schritt anhebt, wenn der in dem Behälter 1 enthaltene
IC-Baustein in einen Träger 3 geladen wird, oder daß die Sta
pelplatte um einen Schritt sequentiell abgesenkt wird, wenn
die geprüften und klassifizierten IC-Bausteine in Kundenbehäl
ter 4 entladen worden sind.
Die beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 7 wird verwendet, um
sequentiell die in dem Behälter 1 enthaltenen IC-Bausteine zu
halten und dann die IC-Bausteine in den Träger 3 zu laden, der
sich in der Beladestelle 6 befindet.
Die erste Überführungseinrichtung 9 wird zum Überführen des
Trägers zu der beladeseitigen Schwenkeinrichtung 8 verwendet,
wenn der Träger alle zu prüfenden IC-Bausteine aufgenommen
hat.
Die beladeseitige Schwenkeinrichtung 8 wirkt so, daß der Trä
ger 3 um 90° geschwenkt wird, wenn der Träger 3 dort durch die
erste Überführungseinrichtung 9 ankommt.
Die unter der beladeseitigen Schwenkeinrichtung 8 angeordnete
Heizkammer 10 wird zum Erhitzen der IC-Bausteine auf eine Tem
peratur verwendet, die für die Prüfungen geeignet ist, und die
Träger 3 werden sequentiell durch die beladeseitige Schwenk
einrichtung 8 überführt.
Die Prüfstelle 11 ist auf einer Seite der Heizkammer 10 ange
ordnet. Wenn der auf eine für die Prüfbedingungen geeignete
Temperatur erhitzte IC-Baustein an der Prüfstelle ankommt,
wird der angekommene Träger 3 in Richtung des Prüfsockels gedrückt
wird und die Prüfungen für die IC-Bausteine werden über
einen vorgegebenen Zeitraum durchgeführt.
Die entladeseitige Schwenkeinrichtung 12 wirkt so, daß der
Träger 3 um 90° geschwenkt wird, wenn der Träger 3 mit den ge
prüften IC-Bausteinen dort ankommt.
Die zweite Überführungseinrichtung 14 wird zum horizontalen
Überführen des Trägers 3 in der entladeseitigen Schwenkein
richtung 12 zu der Entladestelle 13 verwendet.
Die entladeseitige Aufnahmeeinrichtung 15 wird zum selektiven
Halten der von der zweiten Überführungseinrichtung 14 über
führten IC-Bausteine basierend auf den Versuchsergebnissen und
zum Entladen der IC-Bausteine in den Kundenbehälter 4 verwen
det.
Die dritte Überführungseinrichtung 16 dient zum horizontalen
Überführen eines leeren Behälters, aus dem die IC-Module ent
fernt sind, zur Beladestelle 6.
Da die so aufgebaute IC-Baustein-Handhabungseinrichtung den
Träger 3 benutzt, ist es erforderlich, daß die erste, zweite
und dritte Überführungseinrichtung 9, 14 bzw. 16 zum Überfüh
ren zwischen den Prozessen ohne Störung der anderen Teile wäh
rend der Überführung des Trägers vorhanden ist.
Wie in Fig. 3 gezeigt ist, besteht die erfindungsgemäße Trä
gerhandhabungsvorrichtung der IC-Modul-Handhabungseinrichtung
aus dem Träger 3, einer Trägerüberführungseinheit (siehe
Fig. 4) zum Überführen des Trägers 3 von der Beladestelle zu
der Entladestelle und aus einer Trägerpositionsbestimmungsein
heit (siehe Fig. 7), welche die Position des Trägers 3 in der
Belade- und Entladestelle genau neu bestimmt, so daß der IC-
Baustein in dem Behälter durch die Aufnahmeeinrichtung genau
in den Träger 3 geladen oder aus ihm entladen werden kann.
Wie in Fig. 3 bis 6a und 6b gezeigt ist, ist die Trägerüber
führungseinheit als eines der Hauptelemente der vorliegenden
Erfindung mit einer LM-Führung (Linearbewegungs-Führung) 17,
die in der gleichen Richtung wie die Laufrichtung des Trägers
3 angeordnet ist. Zwei Scheiben 19a, 19b sind quer zur LM-Füh
rung 17 angeordnet und werden von einem Motor 18 gedreht. Um
die Scheiben 19a, 19b ist ein Steuerriemem 20 herumgelegt.
Ein Ende eines in die LM-Führung 17 eingeführten Schlittens 21
ist mit dem Steuerriemen 20 fest verbunden, wodurch sich der
Schlitten 21 längs der LM-Führung 17 bewegt, wenn ein Antrieb
durch den Motor 18 erfolgt. Die beiden Enden des Schlittens 21
sind jeweils mit Fingern 22, 23 versehen, welche die beiden
Seitenflächen des Trägers 3 halten, wobei jeder Finger auf
einer Achse 24a bzw. 24b schwenkbar ist. Ein Ende des einen
Fingers 23 ist an einem Zylinderkörper 25b angelenkt, während
das andere Ende des anderen Fingers 22 an einer Stange 25a
angelenkt ist. Dadurch wird das Paar von Fingern 22, 23 durch
Aktivierung des Zylinders 25 geöffnet oder geschlossen.
Der Schlitten 21 ist an seiner einen Seitenfläche mit einem
Paar von Anschlägen 26a, 26b versehen, die zum Steuern der
Drehfunktion der Finger bezüglich der jeweiligen Achsen 24a,
24b verwendet werden. Die Überführung des Schlittens 21 kann
durch Steuern des Antriebs des Motors basierend auf dem Erfüh
len einer an dem Schlitten festgelegten Sensorplatte 27 durch
einen Sensor (nicht gezeigt) erfolgen, der in einem Hubbereich
des Schlittens angeordnet ist.
Unter Bezugnahme auf Fig. 4 bis 6b wird die Arbeitsweise der
Trägerüberführungseinheit als eines der Hauptteile der vorlie
genden Erfindung erläutert.
Das folgende Beispiel gilt für einen Zustand, in dem zu prü
fende IC-Bausteine in den Träger 3 geladen worden sind, der
sich in der Beladestelle 6 befindet, und bezieht sich auf die
erste Überführungseinrichtung 9 zum Überführen des Trägers 3
zu der beladeseitigen Schwenkeinrichtung 8.
Wie in Fig. 6a gezeigt ist, treibt der Motor 18 bei geöffneten
Fingern 22, 23 die Scheibe 19a an. Dadurch wird der Schlitten
21, dessen eines Ende an dem Steuerriemen 20 befestigt ist,
entlang der LM-Führung 17 geführt und schnell zur Beladestelle
6 bewegt. Die Steuerung des Antriebs des Motors 18 ist durch
Erfassen einer an dem Schlitten 21 befestigten Sensorplatte 27
durch einen Sensor (nicht gezeigt) möglich, der sich innerhalb
eines Hubbereichs des Schlittens 21 befindet.
Nachdem der Träger 3 durch die dritte Überführungseinrichtung
16 zu der Entladestelle 6 bewegt worden ist und die beladesei
tige Aufnahmeeinrichtung 7 die zu prüfenden IC-Bausteine in
den Träger 3 geladen hat, wird der Zylinder 25 aktiviert, um
die Finger 22, 23 nach innen zueinander zu drehen und beide
Seitenflächen des Trägers 3 zu halten, was im einzelnen im
folgenden beschrieben wird.
Sobald der Schlitten 21 zur Beladestelle 6 bewegt worden ist,
wird der Zylinder 25 so aktiviert, daß die eingezogene Stange
25a ausgefahren wird, wodurch der an der Stange 25a angelenkte
Finger 22 auf einer Achse 24a verschwenkt wird und dadurch
eine Seite des Trägers 3 hält.
Wenn der an der Stange 25a angelenkte Finger 22 in Kontakt mit
einer Seite des Trägers 3 gebracht ist, wird durch die fort
gesetzte Aktivierung des Zylinders 25 die Stange 25a weiter
ausgefahren, wobei der Finger als Abstützpunkt dient. Als Fol
ge wird der andere an der Achse 24b und an dem Körper 25b an
gelenkte Finger 23 gedreht, so daß er die andere Seite des
Trägers 3 hält.
Wie erwähnt, wird das Ausmaß der Drehung der Finger 22, 23
durch die Anschläge 26a, 26b gesteuert, die jeweils auf einer
Seitenfläche des Schlittens 21 festgelegt sind.
Wenn die beiden Finger 22, 23 nach innen zueinander zu gedreht
sind und die beiden Seitenflächen des Trägers 3 halten, wird
der Motor 18 wieder angetrieben, um die Scheibe 19a in eine zu
der oben erwähnten Richtung entgegensetzten Richtung zu dre
hen, so daß die Position des um die Scheiben 19a, 19b gelegten
Steuerriemens 20 verändert wird. Dadurch wird der Schlitten
21, der mit seinem einen Ende an dem Steuerriemen 20 befestigt
ist, horizontal längs der LM-Führung 17 bewegt, wodurch der
Träger 3, dessen beide Seitenflächen durch die Finger 22, 23
gehalten werden, in die beladeseitige Schwenkeinrichtung 8
eingeführt wird.
Nachdem die Überführung des Trägers 3 abgeschlossen ist, wird
die ausgefahrene Stange 25a zurückgezogen, was zu einer Sprei
zung der Finger 22, 23 nach außen führt. Dadurch wird der Hal
tezustand des Trägers 3 aufgehoben.
Danach wird der Schlitten 21 zu der Beladestelle 6 durch den
Motor 18 überführt. Deshalb ist es möglich, nachdem der Träger
3, der in die beladeseitige Schwenkeinrichtung 8 eingeführt
worden ist, um 90° geschwenkt wurde, den Träger 3 ins Innere
der Heizkammer 10 zu überführen.
Fig. 7 ist eine perspektivische Ansicht der Trägerpositions
bestimmungseinheit, die eines der Hauptteile der Erfindung
ist, während Fig. 8a und 8b Draufsichten auf einen Abschnitt
von Fig. 7 sind.
Die erfindungsgemäße Trägerpositionsbestimmungseinheit ist mit
einem Paar von Führungsstäben 38 zum Positionieren beider Sei
tenflächen des Trägers 3 auf einer Installierungsplatte 37 in
der Belade- und Entladestelle 6 bzw. 13 und für eine Funktion
als Bezugsfläche bei der Positionierung der Trägers 3 verse
hen. In Diagonalrichtung des Führungsstabs 38 ist ein einzieh
barer Drücker 39 vorgesehen, der so arbeitet, daß der Eckab
schnitt des Trägers 3 in einen engen Eingriff mit dem Füh
rungsstab 38 gebracht wird, wenn der Drücker 39 beispielsweise
von einem Zylinder oder dergleichen angetrieben wird.
An einer Stelle, an der der rechteckige Träger 3 positioniert
ist, ist ferner ein Paar von gegenüberliegenden Führungen 41,
42 vorgesehen, die auf der Installierungsplatte 37 angeordnet
sind, wobei die Führungen 41, 42 beide Seitenflächen des Trä
gers 3 so abstützen, daß er nicht aus seiner vorgegebenen Po
sition abweichen kann, wenn der Eckabschnitt des Trägers 3 zu
dem Führungsstab 38 gedrückt wird.
Die Führung 41 ist, wie in Fig. 9a und 9b gezeigt ist, für ein
Zurückziehen durch die Aktivierung einer Antriebseinrichtung
43 installiert. Die andere, auf der Laufrichtung des Trägers 3
installierte Führung 42 ist ebenfalls für eine Zurückziehung
durch eine weitere Antriebseinrichtung 44 angeordnet.
Der Grund zum Verschwenken der Führung 42, die auf der Lauf
richtung des Trägers 3 angeordnet ist, besteht darin, daß vor
der Überführung des Trägers 3 die Führung 42 so schwenkt, daß
sie unter der Installierungsplatte 37 positioniert ist, um so
den Träger 3 nicht zu stören, wenn er sich bewegt. Dafür ist
die Führung 42 schwenkbar mit einem Bügel 45 bezüglich einer
Achse 46 verbunden, wobei der Bügel 45 unter der Installie
rungsplatte 37 angeordnet ist. Ein unteres Ende der Führung 42
ist mit einer Stange 44a der Antriebseinrichtung 44 bezüglich
der Achse 47 verbunden.
Die Art und Weise der Positionierung des Trägers 3 in der Be
ladestelle 6 entspricht der in der Entladestelle 13, so daß
sich die folgende Beschreibung nur auf das Positionieren des
Trägers 3 bezieht, der zur Beladestelle 6 bewegt worden ist.
Bevor ein sich in der Entladestelle 13 befindlicher leerer
Behälter 3 zur Beladestelle 6 durch die dritte Überführungs
einrichtung 16 überführt wird, befindet sich die Führung 41 in
einem durch die Antriebseinrichtung 43 zurückgezogenen Zu
stand, während die andere gegenüberliegende Führung 42 sich
unter der Installierungsplatte 37 befindet, was aus ihrer
Schwenkbewegung durch die Antriebseinrichtung 44 resultiert.
In diesem Zustand bleibt der Träger 3, nachdem der leere Trä
ger 3 durch die dritte Überführungseinrichtung 16 zur Belade
stelle 6 überführt worden ist, mit dem anderen Führungsstab 38
verbunden.
Wenn danach die Antriebseinrichtungen 43, 44 die Führungen 41,
42 gleichzeitig antreiben, bewegt sich die eine Führung 41
vorwärts, wie es in Fig. 8b und 9b gezeigt ist, in eine Posi
tion auf der Oberseite des den Träger 3 bildenden Gehäuses 3a,
während die andere Führung 42 auf der Achse 46 verschwenkt und
auf der Oberseite des Gehäuses 3a positioniert wird, wobei die
andere Führung 42 zur Oberseite der Installierungsplatte 37
freiliegt. Als Folge davon weicht der Träger 3 nicht aus der
Beladestelle 6 ab.
Wenn der Träger 3 durch die Führungen 41, 42 so gehalten ist,
daß er nicht aus seiner Position in der Beladestelle 6 abwei
chen kann, bewegt sich der Drücker 39, der an dem Eckabschnitt
des Trägers 3 positioniert worden ist, durch die Antriebsein
richtung 40 vor, wodurch beide Seitenflächen des sich in der
Beladestelle 6 befindlichen Trägers 3 in engen Kontakt mit dem
Führungsstab 38 gebracht werden. Durch diesen Vorgang kann die
Positionierung des Trägers 3 abgeschlossen werden.
Wenn die Führungen 41, 42 an einer Oberseite des Gehäuses 3a
positioniert sind, kann sich der Träger 3, dessen Position
durch den Drücker 39 festgelegt ist, nicht aus der Beladeposi
tion entfernen. Dementsprechend ist es möglich, den in dem
Behälter 4 enthaltenen IC-Baustein 2 unter Verwendung der be
ladeseitigen Aufnahmeeinrichtung 7 zu halten und ihn genau in
den Träger 3 zu laden.
Wenn das Laden der zu prüfenden IC-Bausteine in den in der
Beladestelle 6 positionierten Träger 3 abgeschlossen ist, werden
der Drücker 39 und das Paar von Führungen 41, 42 in den in
Fig. 8a und 9a gezeigten Zustand zurückgeführt, so daß sich
der Träger 3 zu der beladeseitigen Schwenkeinrichtung 8 unter
Verwendung der ersten Überführungseinrichtung 9 bewegen kann.
Da die Rückführmaßnahmen des Drückers 39 und der Führungen 41,
42 entgegengesetzt zu dem vorstehend Beschriebenen erfolgen,
kann diese Beschreibung weggelassen werden.
Da, wie vorstehend beschrieben, der Schlitten 21 installiert
ist, um längs der Bewegungsbahn des Trägers 3 bewegt zu wer
den, und mit einem Paar von Fingern 22, 23 versehen ist, die
durch einen Zylinder 25 zurückgezogen oder gespreizt werden,
kann die Fläche, die zum Installieren der Trägerüberführungs
vorrichtung erforderlich ist, auf ein Minimum reduziert wer
den.
Da der Träger 3 genau positioniert ist, bevor die Aufnahmeein
richtung die IC-Bausteine in der Belade- und Entladestelle 6
bzw. 13 lädt und entlädt, können alle Schwierigkeiten auf
grund des Beladens und Entladens der IC-Bausteine im voraus
unterbunden werden, was zu einer Maximierung der Arbeitsge
schwindigkeit der Vorrichtung führt. Da die vorliegende Erfin
dung den Träger 3 verwendet, wird darüber hinaus eine Erhit
zung auf eine hohe Temperatur in der Heizkammer 10 möglich,
wodurch Wärmewiderstandsversuche an den IC-Bausteinen möglich
sind.
Claims (6)
1. Trägerhandhabungsvorrichtung für eine IC-Baustein-
Handhabungseinrichtung, mit
einem Träger (3) in dem mehrere IC-Bausteine ent halten sind,
einer Trägerüberführungseinheit zum Überführen des Trägers (3) zwischen einer Beladestelle (6) und einer Entladestelle (12), wobei die Trägerüberfüh rungseinheit
eine Linearbewegungs-Führung (17), die in der gleichen Richtung wie die Laufrichtung des Trägers (3) angeordnet ist,
einen Steuerriemen (20), der um ein Paar von Scheiben (19a, 19b) herumgelegt ist, die so angeordnet sind, daß sie die Linearbewegungs führung-Führung (17) kreuzen und von einem Motor (18) gedreht werden,
einen Schlitten (21), dessen eines Ende in der Linearbewegungs-Führung (17) geführt und dessen anders Ende an dem Steuerriemen (20) festgelegt ist, wodurch sich der Schlitten (21) längs der Linearbewegungs-Führung (17) bewegt, wenn der Steueriemen (20) durch den Motor (18) angetrie ben wird,
Finger (22, 23), die schwenkbar an beiden Enden des Schlittens (21) zum Halten beider Seiten flächen des Trägers (3) angeordnet sind, und
einen Zylinder (25) aufweist, der einen an einem Ende eines Fingers (23) angelenkten Zy linderkörper (25b) und eine an einem Ende des anderen Fingers (22) angelenkte Stange (25a) aufweist, wodurch das Paar der Finger (22, 23) durch Aktivieren des Zylinders (25) eingezogen oder gespreizt werden kann, und
Trägerpositionsbestimmungseinheiten zum Bestimmen der Position des Trägers (3) in der Beladestelle (6) bzw. der Entladestelle (12), wodurch IC-Bau steine durch Aufnahmeeinrichtungen (7, 15) genau in den Träger (3) geladen oder aus ihm entladen werden können.
einem Träger (3) in dem mehrere IC-Bausteine ent halten sind,
einer Trägerüberführungseinheit zum Überführen des Trägers (3) zwischen einer Beladestelle (6) und einer Entladestelle (12), wobei die Trägerüberfüh rungseinheit
eine Linearbewegungs-Führung (17), die in der gleichen Richtung wie die Laufrichtung des Trägers (3) angeordnet ist,
einen Steuerriemen (20), der um ein Paar von Scheiben (19a, 19b) herumgelegt ist, die so angeordnet sind, daß sie die Linearbewegungs führung-Führung (17) kreuzen und von einem Motor (18) gedreht werden,
einen Schlitten (21), dessen eines Ende in der Linearbewegungs-Führung (17) geführt und dessen anders Ende an dem Steuerriemen (20) festgelegt ist, wodurch sich der Schlitten (21) längs der Linearbewegungs-Führung (17) bewegt, wenn der Steueriemen (20) durch den Motor (18) angetrie ben wird,
Finger (22, 23), die schwenkbar an beiden Enden des Schlittens (21) zum Halten beider Seiten flächen des Trägers (3) angeordnet sind, und
einen Zylinder (25) aufweist, der einen an einem Ende eines Fingers (23) angelenkten Zy linderkörper (25b) und eine an einem Ende des anderen Fingers (22) angelenkte Stange (25a) aufweist, wodurch das Paar der Finger (22, 23) durch Aktivieren des Zylinders (25) eingezogen oder gespreizt werden kann, und
Trägerpositionsbestimmungseinheiten zum Bestimmen der Position des Trägers (3) in der Beladestelle (6) bzw. der Entladestelle (12), wodurch IC-Bau steine durch Aufnahmeeinrichtungen (7, 15) genau in den Träger (3) geladen oder aus ihm entladen werden können.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass ein Paar von Anschlägen (26a, 26b) an einer
Seite des Schlittens vorgesehen ist, um die Drehung
funktion der Finger (22, 23) zu steuern.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Trägerpositionsbestimmungseinheit
jeweils ein Paar an einer Installierungsplatte (37) festgelegter Führungsstäbe (38),
einen zurückziehbaren Drücker (39), der diagonal zu den Führungsstäben (38) angeordnet ist, und
ein Paar von gegenüberliegenden Führungen (41, 42) zum Abstützen zweier Seiten des Trägers (3) auf weist, so daß er nicht aus einer vorher bestimmten Position abweicht, wenn ein Eckabschnitt des Trä gers (3) gegen einen Führungsstab (38) gedrückt wird.
jeweils ein Paar an einer Installierungsplatte (37) festgelegter Führungsstäbe (38),
einen zurückziehbaren Drücker (39), der diagonal zu den Führungsstäben (38) angeordnet ist, und
ein Paar von gegenüberliegenden Führungen (41, 42) zum Abstützen zweier Seiten des Trägers (3) auf weist, so daß er nicht aus einer vorher bestimmten Position abweicht, wenn ein Eckabschnitt des Trä gers (3) gegen einen Führungsstab (38) gedrückt wird.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
dass die Führungen (41, 42) an der Installations
platte (37) angeordnet sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
dass die Führungen (41, 42) jeweils durch eine An
triebseinrichtung (43, 44) zurückziehbar sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
dass eine Führung (42) an einer unterhalb der Instal
lationsplatte (37) angeordneten Halterung (45) um
eine Achse (46) schwenkbar gelagert ist, wobei ein
bezüglich der Achse (46) unteres Ende der Führung
(42) mit einer Stange (44a) der zugeordneten An
triebseinrichtung (44) verbunden ist.
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