DE19817123C2 - Vorrichtung zum Herausnehmen und zum Lagern von Halbleiterbauelement-Tabletts - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiter­ bauelement-Tabletts, die dazu ausgelegt ist, in einem Tablettspeicherbehälter bzw. Tablettauf­ nahmebehälter gelagerte Tabletts automatisch herauszunehmen, damit Halbleiterbauelemente, die auf die Tabletts aufgebracht sind, automatisch zu einem Halbleiterbauelement-Testgerät transportiert werden können. Weiterhin bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Vorrich­ tung zum Lagern oder Unterbringen von Halbleiterbauelement-Tabletts, die dazu ausgelegt ist, mit getesteten Halbleiterbauelementen bestückte Tabletts automatisch in dem Tablettspeicher­ behälter bzw. Tablettaufnahmebehälter unterzubringen.

Halbleiterbauelement-Testgeräte, die zum Messen der elektrischen Eigenschaften von zu testenden Halbleiterbauelementen, d. h. im Test befindlichen Bauelementen ausgelegt sind und hierzu mit einem vorbestimmten Muster versehene Testsignale an die Bauelemente anlegen, sind häufig mit einer direkt mit ihnen verbundenen Halbleiterbauelementhandhabungseinrichtung (Transport- und Bearbeitungseinrichtung) versehen, die üblicherweise einfach als Handhabungs­ einrichtung bezeichnet wird und dazu dient, Halbleiterbauelemente zu einer Testeinrichtung oder Teststation zu transportieren, bei der sie mit Sockeln eines Testkopfes des Testgeräts in elektrischen Kontakt gebracht werden, woran sich der Transport der getesteten Halbleiterbau­ elemente aus der Teststation heraus sowie das Sortieren der getesteten Halbleiterbauelemente in akzeptable (bestandene) und nicht akzeptable (fehlerhafte oder mangelhafte) Bauelemente auf der Grundlage der Testergebnisse anschließt.

Bei der nachfolgenden Erläuterung der vorliegenden Erfindung wird auf integrierte Halbleiter­ schaltungen (diese werden im folgenden auch verkürzt als ICs bezeichnet) zur Vereinfachung der Erläuterung Bezug genommen, da solche integrierten Halbleiterschaltungen typische Beispiele für Halbleiterbauelemente darstellen. Mit dem Ausdruck "Halbleiterbauelement-Testgerät" oder "IC- Testgerät" ist in der hier verwendeten Bedeutung sowohl ein Halbleiterbauelement-Testgerät bzw. IC-Testgerät, mit dem keine Handhabungseinrichtung verbunden ist, als auch ein Halblei­ terbauelement-Testgerät bzw. IC-Testgerät gemeint, mit dem eine Handhabungseinrichtung verbunden ist.

Aufgrund des erhöhten Integrationspegels von ICs ergibt sich allgemein eine Erhöhung der Anzahl von Anschlußstiften der Halbleiterbauelemente. Bei einem Halbleiterbauelement-Testge­ rät, das im folgenden auch verkürzt als IC-Testgerät bezeichnet wird und das mit einer Handha­ bungseinrichtung ausgestattet ist, die unter Ausnutzung der Schwerkraft arbeitet und bei der die ICs entlang eines schrägen Transportpfads aufgrund ihres Eigengewichts herabgleiten können, damit sie einem Test unterzogen werden können, stellen sich Schwierigkeiten bei dem Test von ICs mit einer vergrößerten Anzahl von Anschlüssen. Dies liegt an den Schwierigkeiten, die es bereitet, solche mit einer Vielzahl von Anschlüssen versehenen ICs auf natürliche Weise herabgleiten zu lassen. Aus diesem Grund sind in den letzten Jahren IC-Testgeräte auch mit einer Handhabungseinrichtung versehen worden, die als "Transportsystem mit zwangsweisem horizontalen Transport" bezeichnet wird und imstande ist, ICs mit Hilfe eines mittels Unterdruck­ ansaugung arbeitenden Aufnahmekopfes aufzunehmen und die aufgenommenen ICs zu jeder gewünschten Position mit Hilfe einer in den Richtungen X und Y wirksamen Transporteinrichtung zu transportieren.

Im wesentlichen sind bislang die beiden nachstehend beschriebenen Arten von IC-Testgeräten mit an ihnen angebrachter Handhabungseinrichtung in der Praxis im Einsatz:

• 1. Es existiert eine Ausführungsform, bei der ein Tablett, auf das eine Anzahl von in einer Ebene angeordneten ICs aufgebracht ist, an einer vorbestimmten Position in dem IC-Testgerät angeord­ net wird, wonach eine vorbestimmte Anzahl von ICs aus dem Tablett mit Hilfe eines mit Unterdruck arbeitenden Aufnehmerkopfs herausgegriffen wird und diese herausgegriffenen ICs dann mit Hilfe einer in den Richtungen X und Y wirksamen Transporteinrichtung aufeinanderfol­ gend zu einem Vorheizabschnitt und anschließend zu einem Testabschnitt transportiert werden, in dem die ICs einem Test unterzogen werden. Im Anschluß hieran werden die getesteten ICs in akzeptable bzw. auslegungskonforme und in nicht akzeptable Bauelemente klassifiziert, bevor sie unter Einsatz der in den Richtungen X und Y wirksamen Transporteinrichtung zu Tabletts zurückgeführt werden.
• 2. Weiterhin gibt es eine Ausführungsform, bei der eine Anzahl von ICs in einer ebenen Anordnung auf einem Universaltablett (Kundentablett), das dazu ausgelegt ist, von einem Benutzer für den Transport und die Lagerung von ICs in einem gewünschten Bereich außerhalb des IC-Testgeräts benutzt zu werden, aufgebracht wird und anschließend dieses mit den ICs bestückte Universaltablett in dem Beschickungsabschnitt des IC-Testgeräts angeordnet wird. Die ICs werden dann von dem Universaltablett auf ein Testtablett umgesetzt, das hohen und niedrigen Temperaturen widerstehen kann. Im Anschluß hieran wird das Testtablett durch eine Konstanttemperaturkammer zu einem Testabschnitt transportiert, in dem die ICs, die auf dem Testtablett aufgebracht sind, in elektrischen Kontakt mit den IC-Sockeln eines Testkopfes gebracht werden, wodurch sie einem Test unterzogen werden. Nach dem Abschluß des Tests wird das Testtablett durch eine zur Beseitigung der Temperaturbeanspruchung vorgesehene Kammer heraustransportiert und zu einem Entladeabschnitt gebracht, in dem die getesteten ICs in auslegungskonforme und nicht auslegungskonforme Bauelemente sortiert werden, bevor sie erneut zu Universaltabletts transportiert werden.

Die IC-Testgeräte, die mit der vorstehend erläuterten Ausführungsform (1) der Handhabungsein­ richtungen ausgestattet sind, besitzen eine relativ geringe Arbeitsgeschwindigkeit, so daß eine relativ lange Zeitdauer für den Testvorgang erforderlich ist. Dies liegt daran, daß die Anzahl von ICs, die jeweils gleichzeitig getestet werden können, auf zwei bis vier beschränkt ist. Anders ausgedrückt bedeutet dies, daß die Ausführungsform (1) von IC-Testgeräten für hohe Arbeitsge­ schwindigkeiten nicht geeignet ist. Im Unterschied hierzu bietet ein IC-Testgerät, das die vorstehend erläuterte Ausführungsform (2) besitzt und mit der beschriebenen Handhabungsein­ richtung ausgestattet ist, die Möglichkeit, ICs, die auf dem Testtablett aufgebracht sind, mit den IC-Sockeln des Testkopfes in dem Testabschnitt in elektrischen Kontakt zu bringen. Es ist dabei möglich, gleichzeitig z. B. bis zu 16, 32 oder 64 ICs zu testen. Der generelle Trend besteht daher zur Zeit im Einsatz von IC-Testgeräten, die die Ausführungsform (2) aufweisen und mit der entsprechenden Handhabungseinrichtung ausgestattet sind.

Im folgenden wird der allgemeine Aufbau eines aus der WO 97/05495 bekannten IC-Testgeräts, das die Ausführungsform (2) aufweist und mit einer integrierten Handhabungseinrichtung versehen ist, unter Bezugnahme auf die Fig. 6 und 7 beschrieben. Das in diesen Figuren gezeigte IC-Testgerät weist einen Kammerabschnitt 100, der zum Testen von ICs wie etwa von Halbleiterspeichern, die in den Kammerabschnitt 100 auf einem Testtablett TST eingebracht worden sind, dient, einen IC-Speicher oder Lagerabschnitt 200 zum Unterbringen oder Lagern von noch zu testenden ICs (im Test befindlichen ICs) und von bereits getesteten und sortierten ICs, einen Bestückungsabschnitt 300, in dem zu testende ICs, die ein Benutzer bereits zuvor auf Universaltabletts (Kundentabletts) KST aufgebracht hat, auf ein Testtablett TST übertragen und auf dieses umgesetzt werden (das Testtablett TST kann hohen und/oder niedrigen Temperaturen widerstehen), und einen Entladeabschnitt 400 auf, in dem die getesteten ICs, die auf dem Testtablett TST aus dem Kammerabschnitt 100 im Anschluß an den in diesem Kammerabschnitt 100 erfolgten Test heraustransportiert worden sind, von dem Testtablett TST zu den Universaltabletts KST übertragen und auf diese Universaltabletts umgesetzt werden. Der Entladeabschnitt 400 ist im allgemeinen so aufgebaut, daß getestete ICs auf der Grundlage der erhaltenen Testergebnisdaten sortiert und die getesteten ICs auf die entsprechenden Universaltabletts aufgebracht werden.

Der Kammerabschnitt 100 weist eine Konstanttemperaturkammer oder thermostatische Kammer (Thermostatkammer) 101, die zum Ausüben einer entweder durch eine planmäßige hohe oder niedrige Temperatur hervorgerufene Temperaturbelastung auf die im Test befindlichen und auf ein Testtablett TST aufgebrachten ICs dient, eine Testkammer 102, die zum Ausführen von elektrischen Tests bezüglich der ICs, die in der Konstanttemperaturkammer 101 der Temperatur­ belastung ausgesetzt wurden, ausgelegt ist, und eine zur Beseitigung der Temperaturbelastung dienende Kammer 103 auf, die dazu ausgelegt ist, die in der Konstanttemperaturkammer 101 ausgeübte Temperaturbelastung von den ICs zu beseitigen, die den Tests in der Testkammer 102 unterzogen worden sind. Die Testkammer 102 enthält in ihr einen Tester oder Testkopf 104, der einen Bestandteil des IC-Testgeräts darstellt und dazu dient, verschiedene elektrische Testsignale an die ICs, die mit den IC-Sockeln des Testkopfs 104 in elektrischem Kontakt stehen, anzulegen und die von den ICs erhaltenen Antwortsignale aufzunehmen und diese zu dem IC-Testgerät zu übertragen.

Das Testtablett TST wird in umlaufender Weise von dem Beschickungsabschnitt 300 und zurück zu diesem bewegt, wobei es aufeinanderfolgend durch die Konstanttemperaturkammer 101, die Testkammer 102 und die zur Beseitigung der Temperaturbeanspruchung dienende Kammer 103 des Kammerabschnitts 100 und den Entladeabschnitt 400 bewegt wird. Die Konstanttempera­ turkammer 101 und die zur Beseitigung der Temperaturbeanspruchung dienende Kammer 103 sind höher als die Testkammer 102 und weisen obere Bereiche auf, die sich über die Oberseite der Testkammer 102 nach oben erstrecken, wie dies aus Fig. 7 ersichtlich ist. Zwischen diesen vorstehenden oberen Abschnitten der Konstanttemperaturkammer 101 und der zur Beseitigung der Temperaturbeanspruchung dienenden Kammer 103 ist eine Basisplatte 105 in überspannen­ der Weise angeordnet, wie dies aus Fig. 7 ersichtlich ist. Auf der Basisplatte 105 ist eine Testtablett-Transporteinrichtung 108 angebracht, durch die die Testtabletts TST aus der zur Beseitigung der Temperaturbeanspruchung dienenden Kammer 103 in Richtung zu der Konstant­ temperaturkammer 101 transportiert werden.

Wenn auf die ICs in der Konstanttemperaturkammer 101 eine hohe Temperatur ausgeübt wurde, werden die ICs in der zur Beseitigung der Temperaturbeanspruchung dienenden Kammer 103 zwangsweise durch Luft bzw. durch zwangsweise bewegte Luft auf Raumtemperatur herabge­ kühlt, bevor die ICs zu dem Entladeabschnitt 400 heraustransportiert werden. Falls demgegen­ über in der Konstanttemperaturkammer 101 die ICs einer niedrigen Temperatur von beispiels­ weise ungefähr -30°C ausgesetzt worden sind, werden die ICs durch erwärmte Luft oder mittels einer Heizeinrichtung auf eine Temperatur erwärmt, bei der keine Kondensation auftritt, bevor die ICs zu dem Entladeabschnitt 400 heraustransportiert werden.

Ein Testtablett TST, das in dem Beschickungsabschnitt 300 mit zu testenden ICs bestückt worden ist, wird von dem Beschickungsabschnitt 300 zu der Konstanttemperaturkammer 101 des Kammerabschnitts 100 transportiert, wobei die Konstanttemperaturkammer 101 mit einer vertikalen Transporteinrichtung ausgestattet ist, die dazu ausgelegt ist, eine Mehrzahl von Testtabletts TST (z. B. neun Testtabletts TST) in der Form eines Stapels zu halten. Bei dem dargestellten Beispiel wird ein Testtablett, das neu von dem Beschickungsabschnitt 300 zugeführt wird, auf die Oberseite des Stapels aufgebracht, wohingegen das unterste Testtablett heraustransportiert und zu der Testkammer 102 bewegt wird.

Die im Test befindlichen ICs werden entweder einer vorbestimmten hohen oder vorbestimmten niedrigen Temperaturbelastung unterzogen, während das zugehörige Testtablett TST aufeinan­ derfolgend von der Oberseite bis zu dem Boden des Stapels bewegt wird, was durch die vertikale, nach unten gerichtete Bewegung der vertikalen Transporteinrichtung bewirkt wird, wobei die Temperaturbelastung weiterhin auch während der Wartezeitdauer bis zu der Leerung der Testkammer 102 einwirkt. In der Mitte der Testkammer 102 ist der Testkopf 104 angeord­ net. Das Testtablett TST, das jeweils eines nach dem anderen aus der Konstanttemperaturkam­ mer 101 heraustransportiert worden ist, wird auf dem Testkopf 104 angeordnet, bei dem eine vorbestimmte Anzahl von ICs aus den insgesamt auf dem Testtablett aufgebrachten und im Test befindlichen ICs jeweils mit nicht dargestellten, in dem Testkopf 104 angeordneten IC-Sockeln in elektrischen Kontakt gebracht werden. Dies wird im folgenden noch näher dargelegt. Nach dem Abschluß des durch den Testkopf 104 ausgeführten Tests bezüglich aller ICs, die auf einem Testtablett angeordnet sind, wird dieses Testtablett TST zu der zur Beseitigung der Temperatur­ belastung dienenden Kammer 103 transportiert, in der den getesteten ICs die Wärme wieder entzogen wird, so daß die ICs wieder auf die Raumtemperatur zurückgebracht werden, bevor die ICs zu dem Entladeabschnitt 400 transportiert werden.

In gleicher Weise wie die vorstehend näher beschriebene Konstanttemperaturkammer 101 ist auch die zur Beseitigung der Temperaturbelastung dienende Kammer 103 mit einer vertikalen Transporteinrichtung (Vertikaltransporteinrichtung) ausgestattet, die dazu ausgelegt ist, eine Mehrzahl von Testtabletts TST (z. B. neun Testtabletts TST) aufeinander gestapelt zu halten. Bei dem dargestellten Beispiel wird ein Testtablett, das neu von der Testkammer 102 zugeführt wird, an dem Boden des Stapels angeordnet, wohingegen das oberste Testtablett zu dem Entladeabschnitt 400 ausgegeben wird. Den getesteten ICs wird die Wärme entzogen (und somit die ICs auf die außenseitige Temperatur, d. h. auf die Raumtemperatur zurückgebracht), während das zugehörige Testtablett TST aufeinanderfolgend von der Unterseite bis zu der Oberseite des Stapels aufgrund der vertikal nach oben gerichteten Bewegung der vertikalen Transporteinrich­ tung transportiert wird.

Die getesteten und noch auf dem Testtablett TST befindlichen ICs werden zu dem Entladeab­ schnitt 400 geleitet, in dem sie auf der Grundlage der Testergebnisse bzw. Testergebnisdaten in Kategorien klassifiziert und zu den entsprechenden, zugehörigen Universaltabletts KST transpor­ tiert und auf diesen gelagert werden. Das Testtablett TST wird nach seiner Leerung in dem Entladeabschnitt 400 zu dem Beschickungsabschnitt 300 zurücktransportiert, in dem es erneut mit zu testenden ICs, die von einem Universaltablett KST zugeführt werden, bestückt wird, so daß sich die gleichen Arbeitsschritte wiederholen.

Wie in Fig. 7 gezeigt ist, kann die IC-Transporteinrichtung, die zum Transportieren der ICs in dem Beschickungsabschnitt 300 von dem Universaltablett KST zu dem Testtablett TST dient, in der Form einer für einen Transport in den Richtungen X und Y bzw. in der horizontalen Ebene ausgelegten Transporteinrichtung 304 ausgestaltet sein, die zwei sich gegenüberliegende, parallele Schienen 301 aufweist, die an der Basisplatte 105 in dem Beschickungsabschnitt 300 montiert sind und sich in der nach vorne und hinten weisenden Richtung des IC-Testgeräts erstrecken (diese Richtung wird im folgenden als die Richtung Y bezeichnet). Die Transportein­ richtung 304 umfaßt weiterhin einen beweglichen Arm 302, der die beiden Schienen 301 überspannt und an seinen beiden Enden beweglich an den beiden Schienen 301 angebracht ist, und einen Schlitten 303, der an dem beweglichen Arm 302 derart angebracht ist, daß er entlang des Arms in dessen Längsrichtung, d. h. in der nach rechts und links weisenden Richtung des Testgeräts beweglich ist (diese Richtung wird im folgenden als die Richtung X bezeichnet). Aufgrund dieses Aufbaus ist der Schlitten 303 sowohl in der Richtung Y zwischen dem Univer­ saltablett KST und dem Testtablett TST als auch in der Richtung X entlang des beweglichen Arms 302 bewegbar.

Der Schlitten 303 trägt einen mit Unterdruck arbeitenden Aufnehmerkopf, der an seiner bodenseitigen Fläche, d. h. Unterseite in Vertikalrichtung beweglich angebracht ist. Durch die Bewegung des Schlittens 303 in den Richtungen X und Y und durch die nach unten gerichtete Bewegung des mit Unterdruck arbeitenden Aufnehmerkopfs wird dieser Aufnehmerkopf mit den ICs, die auf dem Universaltablett KST angeordnet sind, in Anlage gebracht und greift diese durch Unterdruckansaugung für einen Transport von dem Universaltablett KST zu dem Testtablett TST heraus. Der Schlitten 303 kann mit einer Mehrzahl von mit Unterdruck arbeitenden Aufnehmer­ köpfen, beispielsweise acht Aufnehmerköpfen, ausgestattet sein, so daß gleichzeitig jeweils acht ICs von dem Universaltablett KST zu dem Testtablett TST transportiert werden können.

Hierbei ist anzumerken, daß eine Einrichtung 305 zwischen den Anhaltepositionen des Universal­ tabletts KST und des Testtabletts TST angeordnet ist. Diese Einrichtung 305 dient zur Korrektur der Ausrichtung (Orientierung) oder der Position eines ICs und wird als "Ausrichteinrichtung" bezeichnet. Diese zur Korrektur der Position der ICs dienende Einrichtung, d. h. die Ausrichtein­ richtung 305, enthält relativ tiefe Ausnehmungen, in die die ICs, die an die Aufnehmerköpfe angezogen worden sind, hineinfallen können, nachdem sie freigegeben worden sind und bevor sie zu dem Testtablett TST transportiert werden. Die Ausnehmungen sind jeweils durch vertikale, schräg verlaufende Seitenwände begrenzt, durch die aufgrund ihres schrägen Verlaufs die Positionen vorgegeben werden, an denen die ICs in die Ausnehmungen hineinfallen. Sobald acht ICs jeweils relativ zueinander durch die Ausrichteinrichtung 305 positioniert worden sind, werden diese exakt positionierten ICs erneut an die mit Unterdruck arbeitenden Aufnehmerköpfe angesaugt und zu dem Testtablett TST transportiert. Das Universaltablett KST ist mit Ausneh­ mungen versehen, die zum Halten der ICs dienen und deren Größen größer sind als die Größen der ICs. Dies führt dazu, daß die Positionen der ICs, die in dem Universaltablett KST gelagert sind, breiten Schwankungen unterliegen. Wenn die ICs durch die mit Unterdruck arbeitenden Aufnehmerköpfe so, wie sie sind, angesaugt und direkt zu dem Testtablett TST transportiert würden, könnte sich als Folge dieser breiten Positionsschwankungen der Fall einstellen, daß einige ICs nicht erfolgreich in die IC-Aufnahmeausnehmungen, die in dem Testtablett TST ausgebildet sind, eingebracht werden könnten. Aus diesem Grund ist die Ausrichteinrichtung 305 erforderlich, die bereits vorstehend erläutert ist und die bewirkt, daß die ICs matrixförmig exakt so positioniert werden, wie es der matrixförmigen Anordnung der IC-Aufnahmeausneh­ mungen in dem Testtablett TST entspricht.

Der Entladeabschnitt 400 ist mit zwei Sätzen von in den Richtungen X und Y wirksamen Transporteinrichtungen 404 ausgestattet, die hinsichtlich ihres Aufbaus identisch sind wie die in den Richtungen X und Y wirksame Transporteinrichtung 304, die für den Beschickungsabschnitt 300 vorgesehen ist. Die in den Richtungen X und Y, d. h. in der horizontalen Richtung wirksamen Transporteinrichtungen 404 bewirken einen Transport der getesteten ICs von dem zu dem Entladeabschnitt 400 geförderten Testtablett TST zu dem und auf das Universaltablett KST. Jeder Satz der in den Richtungen X und Y wirksamen Transporteinrichtungen 404 weist zwei (ein Paar) von sich gegenüberliegenden, parallelen Schienen 401 auf, die sich in der nach vorne und hinten weisenden Richtung des Testgeräts (Richtung Y) erstrecken. Weiterhin umfaßt jede Transporteinrichtung 404 einen beweglichen Arm 402, der die beiden Schienen 401 überspannt und mit seinen beiden sich gegenüberliegenden Enden beweglich an den beiden Schienen 401 montiert ist, und einen Schlitten 403, der an dem beweglichen Arm 402 so angebracht ist, daß er sich in Längsrichtung entlang des Arms 402, d. h. in der nach rechts und links weisenden Richtung des Testgeräts (Richtung X) bewegen kann.

In Fig. 8 ist der Aufbau einer Ausführungsform eines Testtabletts TST dargestellt. Das gezeigte Testtablett TST weist einen rechteckförmigen Rahmen 112 auf, der eine Mehrzahl von in gleichen gegenseitigen Abständen angeordneten, parallelen Leisten 113 aufweist, die zwischen den sich gegenüberliegenden, seitlichen Rahmenelementen 112a und 112b des Rahmens angeordnet sind. Jede der Leisten 113 weist eine Mehrzahl von mit gleichen gegenseitigen. Abständen angeordneten Montagelaschen 114 auf, die von den beiden Seiten der Leisten 113 vorstehen. Weiterhin sind auch an den seitlichen Rahmenelementen 112a, 112b, die den benachbarten Leisten gegenüberliegen, jeweils gleichartige Montagelaschen (Haltenasen) 114 angeordnet, die von den seitlichen Rahmenelementen 112a, 112b vorstehen. Die Montagela­ schen 114, die von den entgegengesetzten Seiten jeder der Leisten 113 vorstehen, sind derart angeordnet, daß jede der Haltelaschen 114, die von einer Seite einer Leiste 113 vorstehen, in der Mitte zwischen zwei benachbarten Montagelaschen 114 angeordnet ist, die von der gegenüber­ liegenden Seite der Leiste vorstehen. In gleichartiger Weise ist jede der Haltelaschen 114, die von jedem der seitlichen Rahmenelemente 112a und 112b vorsteht, so positioniert, daß sie zwischen zwei benachbarten Montagelaschen 114 liegt, die von der gegenüberliegenden Leiste vorstehen. Zwischen jeweils zwei sich gegenüberliegenden Leisten 113 und zwischen jedem der seitlichen Rahmenelemente 112a und 112b und der jeweils gegenüberliegenden Leiste sind Räume gebildet, die zum Aufnehmen einer Vielzahl von nebeneinander anzuordnenden IC-Trägern 116 dienen. Genauer gesagt, ist jeder IC-Träger 116 in einem rechteckförmigen Trägerabteil 115 untergebracht, wobei die Trägerabteile 115 matrixförmig angeordnet sind und in jedem der vorstehend erwähnten Räume gebildet sind. Jedes Trägerabteil 115 umfaßt zwei versetzte, sich schräg gegenüberliegende Montagelaschen 114, die an den sich diagonal gegenüberliegenden Ecken des Trägerabteils 115 angeordnet sind. Bei dem dargestellten Beispiel, bei dem jede Leiste 113 16 Montagelaschen 114 an jeder ihrer beiden Seiten aufweist, sind in jedem der vorstehend genannten Räume jeweils 16 Trägerabteile 115 ausgebildet, in denen 16 IC-Träger 116 ange­ bracht sind. Da bei dem dargestellten Beispiel insgesamt vier solcher Räume vorhanden sind, können insgesamt 16 × 4, d. h. 64 IC-Träger, in einem Testtablett TST montiert werden. Jeder der IC-Träger 116 ist an jeweils zwei Montagelaschen 114 durch Befestigungsmittel 117 befestigt.

Jeder der IC-Träger 116 weist hinsichtlich seiner äußeren Kontur (Gestalt) identische Form und Größe auf. In der Mitte jedes IC-Trägers 116 ist eine IC-Tasche 119 ausgebildet, die zur Aufnahme eines ICs bzw. Halbleiterbauelements dient. Die Form der IC-Tasche 119 jedes IC- Trägers 116 ist in Abhängigkeit von der Form des jeweils in ihr aufzunehmenden IC-Bauelements festgelegt. Bei dem dargestellten Beispiel besitzt die IC-Tasche 119 die Form einer im wesentli­ chen quadratischen Ausnehmung. Die äußeren Abmessungen des IC-Trägers sind derart festgelegt, daß dieser lose in den Raum, der zwischen den sich gegenüberliegenden Montagela­ schen 114 in dem Trägerabteil 115 definiert ist, einpaßbar ist. Der IC-Träger 116 weist an seinen sich gegenüberliegenden Enden Flansche auf, die dazu ausgelegt sind, auf den entspre­ chenden Montagelaschen 114 aufzuliegen. Diese Flansche sind mit durch sie hindurchgehenden Montagelöchern 121, die zum Aufnehmen von durch sie hindurchgeführten Befestigungsmitteln 117 dienen, und mit Löchern 122 versehen, die zum Durchführen von Positionierungsstiften dienen.

Damit verhindert wird, daß IC-Bauelemente aus ihrer Sollposition heraus in dem IC-Träger 116 verrutschen können oder gar vollständig aus dem IC-Träger 116 herauswandern, sind an dem IC- Träger 115 zwei Haken (Hakenpaar) 123 angebracht, wie dies in Fig. 9 gezeigt ist. Diese Haken 123 sind integral bzw. einstückig mit dem Körper des IC-Trägers so ausgebildet, daß sie sich von der Basis der IC-Tasche 119 nach oben erstrecken. Die Haken 123 sind elastisch so vorge­ spannt, daß ihre oberseitigen Endklauen normalerweise aufeinanderzu vorgespannt sind, was durch die elastischen Eigenschaften des Harzmaterials bedingt ist, aus dem der Körper des IC- Trägers hergestellt ist. Wenn ein IC in die IC-Tasche 119 einzubringen oder aus der IC-Tasche herauszunehmen ist, werden die oberen Enden der beiden (Riegel bzw. Sperrklinken oder) Haken 123 auseinander bewegt, was durch einen Hakenfreigabemechanismus 125 bewirkt wird, der an den sich gegenüberliegenden Seiten eines IC-Saugnapfes 124 angeordnet ist, der zum Aufneh­ men bzw. Halten eines IC-Bauelements dient. Die Bewegung der oberen Enden der beiden Haken 123 nach außen wird bewerkstelligt, bevor ein IC in die IC-Tasche 119 eingebracht oder aus der IC-Tasche herausgenommen wird. Wenn der Hakenfreigabemechanismus bzw. Entriegelungsme­ chanismus 125 außer Eingriff mit den Haken 123 gebracht ist, schnappen diese Haken in ihre normalen Positionen zurück, in denen sie den eingebrachten IC über die an den oberen Enden angeordneten Klauen der Haken 123 an Ort und Stelle halten und gegenüber einer Verlagerung sichern.

Der IC-Träger 116 hält ein IC-Bauelement in der jeweils gewünschten Position derart, daß die Leitungen oder Stifte (Anschlüsse) 118 des ICs nach unten freiliegen, wie dies in Fig. 10 gezeigt ist. Der Testkopf 104 ist mit einem nicht gezeigten IC-Sockel versehen, der Kontakte 104A aufweist, die von der oberseitigen Fläche des IC-Sockels ausgehen. Die freiliegenden Stifte 118 des IC-Bauelements werden gegen die Kontakte 104A des IC-Sockels gedrückt, so daß eine elektrische Verbindung zwischen dem IC-Bauelement und dem IC-Sockel hergestellt wird. Zu diesem Zweck ist oberhalb des Testkopfs 104 ein Drücker (Andrückeinrichtung) 120 angebracht, der zum Drücken und Niederhalten eines IC-Bauelements dient und so ausgelegt ist, daß er das IC-Bauelement, das in einem IC-Träger 116 untergebracht ist, von der Oberseite her in Kontakt mit dem IC-Sockel des Testkopfes 104 drückt.

Die Anzahl von IC-Bauelementen, die jeweils gleichzeitig mit dem Testkopf 104 kontaktiert werden können, hängt von der Anzahl von IC-Sockeln ab, die an dem Testkopf 104 montiert sind. Wenn beispielsweise 64 IC-Bauelemente in einer matrixförmigen Anordnung mit 4 Zeilen (horizontale Linien) × 16 Spalten (vertikale Linien) auf einem Testtablett TST getragen sind, wie dies in Fig. 11 gezeigt ist, sind z. B. 4 × 4, d. h. 16 IC-Sockel an dem Testkopf 104 angebracht und derart angeordnet, daß die IC-Bauelemente (mit Schraffur hervorgehoben), die in jeder vierten Spalte und in allen Zeilen dieser Spalten angeordnet sind, jeweils gleichzeitig getestet werden können. Genauer gesagt, wird bei dem ersten Testlauf die Untersuchung hinsichtlich derjenigen 16 IC-Bauelemente ausgeführt, die in der ersten, fünften, neunten und dreizehnten Spalte und in jeder Zeile dieser Spalten angeordnet sind. Der zweite Testlauf wird hinsichtlich weiterer 16 IC-Bauelemente ausgeführt, die in der zweiten, sechsten, zehnten und vierzehnten Spalte und in jeder Zeile dieser Spalten angeordnet sind, wobei hierzu das Testtablett TST um eine Strecke verschoben wird, die einer Spalte der IC-Bauelemente entspricht. Der dritte und der vierte Testlauf werden in gleichartiger Weise ausgeführt, so daß dann alle IC-Bauelemente getestet sind. Die Testergebnisse werden in einem Speicher gespeichert, wobei die Adressen durch die Seriennummern (Seriennummern in einer Charge), die den ICs zugeordnet sind, die Identifikationsnummer, die dem Testtablett TST fest zugeordnet ist, und die Nummern, die den IC-Taschen in dem Testtablett zugeordnet sind, bestimmt sind. Es ist anzumerken, daß dann, wenn 32 IC-Sockel an dem Testkopf 104 angebracht werden können, lediglich zwei Testläufe erforderlich sind, damit alle 64 ICs untersucht werden können, die in einer matrixförmigen Anordnung mit vier Zeilen und 16 Spalten angeordnet sind.

Es gibt bekanntlich auch noch eine weitere Ausführungsform einer IC-Handhabungseinrichtung, bei der die zu testenden ICs von dem Testtablett in oder zu einem Sockel des Testkopfs für die Durchführung des Tests transportiert werden und die ICs nach dem Abschluß des Tests dann von dem Sockel zurück zu dem Testtablett für den weiteren Transport gebracht werden. Diese Transportvorgänge finden in der Testkammer 102 statt.

Der IC-Lagerabschnitt 200 weist ein Lagergestell (oder einen Lagerungsabschnitt) 201 für die noch zu testenden ICs, in dem Universaltabletts KST, die mit den im Test befindlichen ICs bestückt sind, untergebracht werden, und ein Lagergestell (oder einen Lagerungsabschnitt) 202 für bereits getestete ICs auf, in dem Universaltabletts KST unterzubringen sind, die mit den getesteten und auf der Grundlage der Testergebnisse in Kategorien sortierten ICs bestückt sind. Das Lagergestell 201 für die zu testenden ICs und das Lagergestell 202 für die bereits geteste­ ten ICs sind so aufgebaut, daß die Universaltabletts in der Form eines Stapels aufgenommen sind. Die Universaltabletts KST, auf denen sich die zu testenden ICs befinden und die in der Form eines Stapels in dem Lagergestell 201 untergebracht sind, werden aufeinanderfolgend von der Oberseite des Stapels zu dem Beschickungsabschnitt 300 transportiert, wobei die zu testenden ICs in diesem Beschickungsabschnitt 300 von den Universaltabletts KST auf ein Testtablett TST umgesetzt werden, das sich in dem Beschickungsabschnitt 300 in Bereit­ schaftsposition befindet.

Das Lagergestell 201 für die zu testenden ICs und das Lagergestell 202 für die bereits geteste­ ten ICs können identischen Aufbau aufweisen, wie es in Fig. 12 für eines der Lagergestelle dargestellt ist. Die Lagergestelle können einen Tabletthalterahmen 203, der an der Oberseite offen ist und in seinem Boden eine Öffnung aufweist, und eine Anhebeeinrichtung bzw. Lifteinrichtung 204 umfassen, die unterhalb des Tabletthalterahmens 203 derart angeordnet ist, daß sie in der vertikalen Richtung beweglich und durch die bodenseitige Öffnung hindurchführbar ist. In dem Tabletthalterahmen 203 ist eine Vielzahl von Universaltabletts KST untergebracht und gehalten, die jeweils aufeinandergestapelt sind und durch die Lifteinrichtung 204, die durch die bodenseitige Öffnung des Tabletthalterahmens 203 hindurch wirkt, in vertikaler Richtung bewegt werden.

Bei dem in den Fig. 6 und 7 gezeigten Beispiel sind acht Gestelle STK-1, STK-2, . . ., STK-8 als Lagergestelle 202 für die bereits getesteten ICs vorgesehen. Folglich können in diesen Lagergestellen getestete ICs gelagert werden, die in Abhängigkeit von den Testergebnissen in maximal acht Kategorien klassifiziert sind. Der Grund für diese Anzahl besteht darin, daß die getesteten ICs bei manchen Anwendungen nicht nur in die Kategorien "akzeptables Bauteil" und "fehlerhaftes Bauteil" einzuordnen sind, sondern noch feiner klassifiziert werden sollen, nämlich bezüglich der "akzeptablen" Bauteile in Bauteile, die hohe, mittlere und niedrige Arbeitsge­ schwindigkeit besitzen, und bezüglich der "fehlerhaften" Bauelemente in solche, die nochmals erneut getestet werden sollen, wobei noch zusätzliche andere Kategorien existieren. Selbst wenn die Anzahl von klassifizierbaren Kategorien bis zu acht beträgt, ist der Entladeabschnitt 400 bei dem dargestellten Beispiel lediglich imstande, vier Universaltabletts KST unterzubringen. Wenn der Fall auftreten sollte, daß einige der getesteten ICs in eine Kategorie einsortiert werden sollten, die sich von den Kategorien unterscheidet, die den vier in dem Entladeabschnitt 400 vorhandenen Universaltabletts KST zugeordnet sind, muß aus diesem Grund der folgende Ablauf vorgesehen werden: Eines der Universaltabletts KST wird von dem Entladeabschnitt 400 zu dem Lagerabschnitt 200 für die getesteten ICs zurückgeführt und als Ersatz hierfür ein Universal­ tablett KST, das zum Aufnehmen der zu der neuen, zusätzlichen Kategorie gehörenden ICs dient, von dem Lagerabschnitt 200 für die getesteten ICs zu dem Entladeabschnitt 400 transportiert werden, in dem diese ICs auf das neue Universaltablett aufgebracht werden.

Nachfolgend wird auf Fig. 7 Bezug genommen. Eine Tablettransporteinrichtung 205 ist oberhalb des Lagergestells 201 für die noch zu testenden ICs und des Lagergestells 202 für die bereits getesteten ICs angeordnet und so ausgelegt, daß es über dem gesamten Erstreckungsbereich der Lagergestelle 201 und 202 relativ zu der Basisplatte 105 in derjenigen Richtung bewegbar ist, die der Anordnungsrichtung der Lagergestelle entspricht (d. h. der nach links und rechts weisen­ den Richtung des Testgeräts).

In Fig. 13 ist ein Beispiel für die positionsmäßige Beziehung zwischen dem Tabletthalterahmen 203 des für die noch zu testenden ICs vorgesehenen Lagergestells 201, der Lifteinrichtung 204 und der Tablettransporteinrichtung 205 vorgesehen. Die Tablettransporteinrichtung 205 ist an ihrer Bodenseite mit einer Greifeinrichtung in der Form von schwenkbaren Klauen 205A verse­ hen, die zum Ergreifen eines Universaltabletts KST dienen. Die Tablettransporteinrichtung 205 wird zu einer Position oberhalb des Lagergestells 201 für die noch zu testenden ICs bewegt, woraufhin die Lifteinrichtung 204 so betätigt wird, daß die in dem Lagergestell 201 gestapelten Universaltabletts KST angehoben werden. Daher kann das oberste Universaltablett KST mit den schwenkbaren Klauen 205A der Tablettransporteinrichtung 205 in Eingriff gebracht und durch diese ergriffen werden. (Jedes Universaltablett KST ist hierbei an seinen Seiten mit Ausnehmun­ gen versehen, die zum Aufnehmen der schwenkbaren Klauen 205A dienen.)

Sobald das oberste Universaltablett KST, das mit den im Test befindlichen ICs bestückt ist, zu der Tablettransporteinrichtung 205 übertragen worden ist, wird die Lifteinrichtung 204 wieder in ihre ursprüngliche Position abgesenkt. Die Tablettransporteinrichtung 205 wird dann in horizontaler Richtung entlang einer Führungsrichtung 210 zu einer vorbestimmten Position in dem Beschickungsabschnitt 300 bewegt und dort angehalten, wobei dies mit Hilfe einer Kraftübertragungseinrichtung wie etwa mittels Ketten oder Drähten erfolgt. An der vorbestimm­ ten Position geben die schwenkbaren Klauen 205A der Tablettransporteinrichtung 205 das Universaltablett KST frei, so daß dieses in einen unmittelbar darunter angeordneten Tablettauf­ nehmer 207 hineinfallen kann. Die Tablettransporteinrichtung 205, von der das Universaltablett KST somit abgenommen ist, wird dann wieder aus dem Beschickungsabschnitt 300 mit Hilfe der Kraftübertragungseinrichtung heraus bewegt.

Die Lifteinrichtung 204 wird dann von ihrer Position unterhalb des Tablettaufnehmers 27, auf dem das Universaltablett KST angeordnet ist, nach oben bewegt, so daß das mit den zu testenden ICs bestückte Universaltablett KST angehoben wird, wobei das Universaltablett KST so gehalten wird, daß seine obere Fläche einem Fenster 106, das in der Basisplatte 105 ausgebildet ist, zugewandt ist (hierbei ist die obere Fläche, d. h. die Oberseite des Universal­ tabletts KST durch das Fenster hindurch freigelegt). Hierbei sind die schwenkbaren Klauen 208A, die zum Ergreifen eines Universaltabletts KST dienen, an der Unterseite der Basisplatte 105 um das Fenster 106 herum angeordnet, so daß das Universaltablett KST in dem vorstehend erläuterten Zustand durch die schwenkbaren Klauen 208A gehalten wird, die in die Ausnehmun­ gen der Universaltabletts KST, die mit den zu testenden ICs bestückt sind, eingreifen. In diesem Zustand werden die zu testenden ICs von dem Universaltablett KST durch das Fenster 106 hindurch auf das Testtablett TST aufgebracht.

Die Basisplatte 105 ist ferner in dem Bereich, der oberhalb des Entladeabschnitts 400 liegt, mit zwei weiteren, gleichartigen Fenstern 106 versehen. Bei diesem Beispiel ist jedes der Fenster 106 größenmäßig derart festgelegt, daß die Oberseiten von zwei benachbart nebeneinander angeordneten Universaltabletts dem Fenster zugewandt sind. Folglich ist die Ausgestaltung derart getroffen, daß die getesteten ICs durch die beiden Fenster 106 des Entladeabschnitts 400 hindurch in vier leere Universaltabletts eingebracht werden können.

Wie in Fig. 13 gezeigt ist, sind an der unteren Fläche der Basisplatte 105 um die Fenster 106 des Entladeabschnitts 400 herum zusätzliche schwenkbare Klauen 208A angeordnet, die zum Ergreifen eines Universaltabletts KST dienen. Die Universaltabletts KST können daher durch die schwenkbaren Klauen 208A ergriffen werden. Die getesteten ICs werden in diese leeren Universaltabletts KST in Abhängigkeit von den Kategorien, die den jeweiligen Tabletts zugeord­ net sind, einsortiert und in diesen gelagert.

Auch wenn dies in Fig. 13 nicht gezeigt ist, ist auch der Entladeabschnitt 400, ebenso wie der Beschickungsabschnitt 300, mit Tablettaufnehmern und zugehörigen Anhebeeinrichtungen bzw. Lifteinrichtungen 204 versehen, die zum zeitweiligen Halten und Abstützen von Universaltabletts KST dienen. Sobald ein Universaltablett KST vollständig gefüllt worden ist, wird die Lifteinrich­ tung 204 nach oben bewegt und stützt das Tablett ab, woraufhin der Eingriff der schwenkbaren Klauen 208 mit diesem Tablett freigegeben wird. Während die Lifteinrichtung 204 dann nach unten bewegt wird, wird das Universaltablett KST von dem Niveau unterhalb des Fensters 116 abgesenkt und somit zeitweilig auf dem Tablettaufnehmer angeordnet, und wird nachfolgend in der Tablettspeicherungsposition, die diesem bestimmten Tablett zugeordnet ist, mit Hilfe der Tablettransporteinrichtung 205 gelagert, d. h. in diese Position eingebracht.

In den Fig. 6 und 7 ist mit dem Bezugszeichen 206 ein für leere Tabletts vorgesehenes Lagergestell (oder Lagerungsabschnitt) bezeichnet, das zum Aufnehmen von leeren Universal­ tabletts KST dient. Aus diesem für die leeren Tabletts vorgesehenen Lagergestell 206 werden die leeren Universaltabletts KST zu den jeweiligen Fenstern 106 durch die Tablettransporteinrichtung 205 transportiert und an dieser Position durch die zugehörigen Lifteinrichtungen 204 gehalten, so daß sie zur Aufnahme von getesteten ICs bereit sind.

Wie vorstehend bereits unter Bezugnahme auf Fig. 12 erläutert wurde, ist es bislang die übliche Praxis, die Universaltabletts KST von dem Bereich oberhalb des Tabletthalterahmens 203 nach unten in das Lagergestell 201 manuell einzubringen und die Universaltabletts KST automatisch aus dem Lagergestell 201 von einem Bereich oberhalb des Tabletthalterahmens 203 herauszu­ nehmen und die Tabletts zu dem Beschickungsabschnitt 300 unter Einsatz der Transporteinrich­ tung der Handhabungeinrichtung zu transportieren.

Im Unterschied hierzu ist seit kurzem die Tendenz zu beobachten, daß ein Tablettaufnahmebe­ hälter oder Tablettspeicherungsbehälter KAS eingesetzt wird, wie er in Fig. 14 dargestellt ist. Der Tablettaufnahmebehälter KAS ist lediglich an seinem unteren Ende (Boden) offen und ist mit beweglichen Haken FK versehen, die die Form eines L aufweisen und an zwei sich gegenüberlie­ genden Endrändern des Behälters angeordnet sind. Im einzelnen sind hierbei die vertikalen Schenkel der beweglichen, L-förmigen Haken FK schwenkbar an den sich gegenüberliegenden Endrändern des Behälters KAS derart montiert, daß die horizontalen Schenkel der jeweiligen Haken in das offene Ende des Tablettaufnahmebehälters KAS hinein ragen können.

Bei diesem Aufbau können die beweglichen Haken FK nach außen geschwenkt und geöffnet werden, so daß das offene Ende des Tablettaufnahmebehälters KAS vollständig geöffnet wird. Dies ermöglicht es, eine vorbestimmte Anzahl von Universaltabletts KST in dem Tablettaufnah­ mebehälter KAS zu speichern bzw. anzuordnen, woraufhin die beweglichen Haken FK wieder in ihre ursprünglichen Positionen zurückgeführt werden. Diese Universaltabletts KST werden in dem Tablettaufnahmebehälter KAS in Form eines vertikalen Stapels gelagert, wobei das unterste Universaltablett KST des Stapels an seiner bodenseitigen Fläche in der Nähe der sich gegenüber­ liegenden Endränder des Universaltabletts durch die beweglichen Haken FK abgestützt wird. An der Oberseite des Tablettaufnahmebehälter KAS ist ein Handgriff HD befestigt, der dazu benutzt werden kann, den Tablettaufnahmebehälter KAS zu tragen.

Durch den Einsatz eines in der vorstehend beschriebenen Weise aufgebauten Tablettaufnahme­ behälters KAS ist es möglich, eine vorbestimmte Anzahl von Universaltabletts KST in dem Tablettaufnahmebehälter KAS jeweils zu einem Zeitpunkt zu lagern bzw. bereitzustellen, ohne daß ein Rückgriff auf eine manuelle Betätigung notwendig ist, indem der Tablettaufnahmebehäl­ ter KAS mit seinen nach außen in Öffnungsstellung verschwenkten beweglichen Haken FK von oben her derart abgesenkt wird, daß er einen vertikalen Stapel von Universaltabletts KST, die jeweils mit ICs bestückt sind, umschließt, wonach sich die Rückführung der beweglichen Haken FK in ihre ursprünglichen Positionen anschließt, so daß diese mit der bodenseitigen Fläche des unterseitigen Universaltabletts KST des Stapels in Eingriff gebracht werden.

Falls der Tablettaufnahmebehälter KAS in diesem Zustand angehoben wird, können die Univer­ saltabletts KST transportiert werden, wobei sie an Ort und Stelle in der Form eines Stapels in dem Tablettaufnahmebehälter KAS gehalten werden. Wenn die Tabletts herausgenommen werden sollen, kann der Tablettaufnahmebehälter KAS nach unten in eine Position, bei der die Tabletts herausgenommen werden sollen, abgesenkt werden, und es werden die beweglichen Haken FK in dieser Position nach außen in Öffnungsstellung verschwenkt, so daß das offene Ende des Tablettaufnahmebehälters KAS vollständig geöffnet wird. Der Tablettaufnahmebehälter kann dann weggenommen (d. h. angehoben) werden, so daß die vertikal gestapelten Tabletts in dieser Position zurückbleiben. Die Universaltabletts KST können auf diese Weise an einer gewünschten Position durch einen Vorgang entladen bzw. bereitgestellt werden, ohne daß ein Rückgriff auf eine manuelle Betätigung notwendig ist. Es ist somit ersichtlich, daß der Einsatz eines in der vorstehend beschriebenen Weise aufgebauten Tablettaufnahmebehälters KAS nicht nur die Vorteile des sicheren und zuverlässigen Transports von Tabletts, seien diese leer oder mit ICs bestückt, bietet, sondern auch noch den weiteren Vorteil der Aufnahme und des Ausgebens von Tabletts zu einem jeweiligen Zeitpunkt ohne Notwendigkeit eines manuellen Eingriffs bietet, wodurch die Vorgänge bei dem Aufnehmen und dem Ausgeben von Tabletts stark erleichtert werden.

Jedoch weist der Tablettaufnahmebehälter KAS mit dem in Fig. 14 dargestellten Aufbau den Nachteil auf, daß er nicht direkt in dem herkömmlichen IC-Testgerät (insbesondere in der Handhabungseinrichtung), das den vorstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 6 bis 12 beschriebenen Aufbau aufweist, eingesetzt werden kann. Dies liegt daran, daß der Tablettauf­ nahmebehälter so ausgestaltet ist, daß die Tabletts durch die Bodenfläche hindurch eingebracht und herausgenommen werden.

Aus der DE 197 45 646 A1 (Stand der Technik i. S. v. § 3(2) PatG) ist eine Vorrichtung zum Herausnehmen und zum Lagern von Halbleiterbauelement-Tabletts bekannt bei der Tabletts in einem Tablettaufnahmebehälter (Magazin) untergebracht sind, welcher sowohl an seiner Oberseite als auch an seiner Unterseite offen ist. Mit Hilfe einer durch die untere Öffnung des Tablettaufnahmebehälters eindringenden Lifteinrichtung werden die Tabletts durch die obere Öffnung des Tablettaufnahmebehälters heraus in einen Verteilungsstapler gedrückt und dann das unterste Tablett in dem Verteilungsstapler durch seitlich in diesen einfahrende Haltelemente gehalten. Die Halteelemente greifen in Aussparungen am Boden des untersten Tabletts an. Weitere ähnliche Halteelemente sind dazu vorgesehen, in entsprechende Aussparungen in dem zweituntersten Tablett einzugreifen. Auf diese Weise können die Tabletts aus dem Verteilungsstapler einzeln nach unten ausgegeben werden.

Aus der DE 37 40 855 A1 sind eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Eingabe und Entnahme von Halbleiterscheiben bekannt, die es erlauben, in einem Zwischenlager aufbewahrte Halbleiterscheiben aus dem Zwischenlager zu entnehmen und einer Bearbeitungsvorrichtung für die Halbleiterscheiben zuzuführen. Die Halbleiterscheiben sind senkrecht übereinander in Aufnahmebehältern gestapelt, aus denen sie einzeln mit Hilfe eines Greifarms entnommen werden können, der durch ein Hebezeug vertikal verfahrbar ist.

Die DE 37 16 549 A1 beschreibt einen Handhabungsautomaten für plattenförmige Objekte mit einem höhenverstellbaren Magazin mit waagrecht übereinander liegenden Gefachen und einem linear verfahrbaren und schwenkbaren Manipulator. Eine Steuervorrichtung ist dazu vorgesehen, den Manipulator in Abhängigkeit von der Codierung eines zu handhabenden plattenförmigen Objekts zu steuern.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts zu schaffen, die imstande ist, Tabletts, die mit zu testenden Halbleiterbauelementen bestückt sind, aus einem Tablettaufnahmebehälter, der lediglich an seinem Boden offen ist, herauszunehmen und die Tabletts zu einem Halbleiterbauelement- Testgerät zu transportieren.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zum Einbringen von Halbleiterbauelement-Tabletts zu schaffen, die imstande ist, Tabletts, die mit getesteten Halbleiterbauelementen bestückt sind, aufeinanderfolgend jeweils eines nach dem anderen in einen Tablettaufnahmebehälter einzubringen, der lediglich an seinem Boden offen ist.

Die erstgenannte Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 genannten Merkmalen gelöst.

Die zweitgenannte Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 4 angeführten Merkmalen gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Gemäß einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung weist die Vorrichtung zum Herausnehmen der Halbleiterbauelement-Tabletts einen zum Abstützen eines Tablettaufnahme­ behälters dienenden Stützabschnitt auf, der dazu dient, einen auf ihn aufgebrachten Tablettauf­ nahmebehälter abzustützen. Der Tablettaufnahmebehälter weist einen offenen Boden auf und ist an den endseitigen Rändern des offenen Bodens mit beweglichen Haken versehen. Der Tablett­ aufnahmebehälter kann eine vorbestimmte Anzahl von Tabletts, die in der Form eines Stapels aufeinander angeordnet sind, durch die beweglichen Haken halten, wenn diese in ihre Eingriffs­ position gebracht sind. Hierbei ist jedes Tablett mit zu testenden Halbleiterbauelementen bestückt. Die Vorrichtung enthält weiterhin eine Lifteinrichtung, die unterhalb des Stützab­ schnitts angeordnet ist und dazu ausgelegt ist, die gestapelten Tabletts, die aus dem Tablettauf­ nahmebehälter in einem Zustand, bei dem die beweglichen Haken in ihre eingriffsfreie Position gebracht sind, ausgegeben werden, aufzunehmen und die gestapelten Tabletts oder eines oder mehrere auf ihr angeordnete Tabletts in vertikaler Richtung zu bewegen. Weiterhin ist eine erste Eingriffshakeneinrichtung vorgesehen, die zwischen einer Eingriffsposition, in der sich die erste Eingriffshakeneinrichtung mit einem oder mehreren Tabletts in Eingriff befindet, während die auf der Lifteinrichtung angeordneten Tabletts in der vertikalen Richtung bewegt werden, und einer eingriffsfreien Position bewegbar ist, bei der sich die erste Eingriffshakeneinrichtung nicht in Eingriff mit einem oder mehreren Tabletts befindet. Ferner ist eine zweite Eingriffshakeneinrich­ tung vorhanden, die in einer Höhenlage angeordnet ist, die um eine Strecke niedriger liegt als die Höhenlage der ersten Eingriffshakeneinrichtung, wobei diese Strecke der Dicke eines Tabletts entspricht. Die zweite Eingriffshakeneinrichtung ist zwischen einer Eingriffsposition, bei der die zweite Eingriffshakeneinrichtung mit einem oder mehreren Tabletts in Eingriff steht, während die auf der Lifteinrichtung angeordneten Tabletts in der vertikalen Richtung bewegt werden, und einer eingriffslosen Position bewegbar, bei der sich die zweite Eingriffshakeneinrichtung nicht in Eingriff mit einem oder mehreren Tabletts befindet. Darüber hinaus ist eine Steuereinrichtung vorhanden, die in einer vorbestimmten Abfolge die folgenden Steuervorgänge ausführt: Einen Steuervorgang, bei dem die erste Eingriffshakeneinrichtung in die Eingriffsposition bewegt wird, die Lifteinrichtung abgesenkt wird, so daß das unterste der gestapelten Tabletts, die auf der Lifteinrichtung ruhen, mit der ersten Eingriffshakeneinrichtung in Eingriff gebracht wird, so daß die gestapelten Tabletts somit durch die erste Eingriffshakeneinrichtung gehalten werden; einen Steuervorgang, bei dem die Lifteinrichtung in Anlage an der bodenseitigen Fläche des untersten Tabletts der gestapelten Tabletts gebracht wird, wobei die erste Eingriffshakeneinrichtung in diesem Zustand in die eingriffslose Position gebracht wird und die zweite Eingriffshakeneinrich­ tung in die Eingriffsposition bewegt wird; einen Steuervorgang, bei dem die Lifteinrichtung derart abgesenkt wird, daß das unterste Tablett der gestapelten Tabletts mit der zweiten Eingriffs­ hakeneinrichtung in Eingriff gebracht wird, so daß die gestapelten Tabletts folglich durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung gehalten werden; einen Steuervorgang, bei dem die erste Eingriffshakeneinrichtung bei dem vorstehend gerade erläuterten Zustand in die Eingriffsposition bewegt wird, um hierdurch mit dem zweituntersten Tablett der gestapelten Tabletts in Eingriff zu treten, während die zweite Eingriffshakeneinrichtung in die eingriffslose Position bewegt wird; und einen Steuervorgang, bei dem die Lifteinrichtung bei dem vorstehend gerade erläuterten Zustand abgesenkt wird, so daß lediglich das unterste Tablett der gestapelten Tabletts abge­ senkt wird. Ferner ist eine Übertragungs- bzw. Transporteinrichtung vorhanden, die dazu ausgelegt ist, das besagte, in eine vorbestimmte Position durch die Lifteinrichtung abgesenkte Tablett aufzunehmen und dieses eine Tablett zu einem Halbleiterbauelement-Testgerät zu transportieren.

Die erste und die zweite Eingriffshakeneinrichtung sind vorzugsweise in solchen Höhenlagen angeordnet, daß ihr gegenseitiger Abstand der Dicke eines Tabletts entspricht. Weiterhin weisen die erste und die zweite Eingriffshakeneinrichtung vorzugsweise ein Paar integral bzw. einstückig miteinander verbundener, schwenkbarer Klauen auf, die in unterschiedlichen Richtungen orientiert und derart angeordnet sind, daß sich eine der Klauen in der Eingriffsposition befindet, wenn die andere Klaue in die eingriffsfreie Position gebracht ist. Die Klauen sind um eine Achse schwenkbar, die sich mit der Ebene des Tabletts rechtwinklig schneidet. Jedes Tablett ist im wesentlichen rechteckförmig und an den sich gegenüberliegenden Seitenflächen mit Ausneh­ mungen 10 versehen, die für den Eingriff mit der ersten und der zweiten Eingriffshakeneinrich­ tung ausgelegt sind, wobei jede der Ausnehmungen nach unten offen ist.

Die Steuereinrichtung bewirkt vorzugsweise eine solche Steuerung, daß dann, wenn der Tablettaufnahmebehälter auf dem Stützabschnitt ruht, die erste Eingriffshakeneinrichtung in die Eingriffsposition bewegt wird und die Lifteinrichtung nach oben so bewegt wird, daß sie in Anlage mit der bodenseitigen Fläche des untersten Tabletts des Tablettstapels gelangt. Wenn die Lifteinrichtung die gestapelten Tabletts aufnimmt, während diese aus dem Tablettaufnahmebe­ hälter ausgegeben werden, wobei die Lifteinrichtung sich hierbei noch in Anlage an der boden­ seitigen Fläche des untersten Tabletts des Tablettstapels befindet, wird die Lifteinrichtung abgesenkt, so daß das unterste Tablett des Tablettstapels mit der ersten Eingriffshakeneinrich­ tung in Eingriff gebracht wird, so daß die gestapelten Tabletts durch die erste Eingriffshakenein­ richtung gehalten werden. Anschließend bewirkt die Steuereinrichtung, daß die Lifteinrichtung in Anlage an der unteren Fläche des untersten Tabletts des Tablettstapels gebracht wird, wobei die erste Eingriffshakeneinrichtung dann in die eingriffslose Position bewegt wird und zur gleichen Zeit die zweite Eingriffshakeneinrichtung in die Eingriffsposition bewegt wird, wobei hierbei die Lifteinrichtung in Anlage an der Bodenfläche des untersten Tabletts gehalten wird. Die Steuer­ einrichtung steuert dann die Absenkung der Lifteinrichtung um eine Strecke, die der Dicke eines Tabletts entspricht, so daß das unterste Tablett des Tablettstapels mit der zweiten Eingriffs­ hakeneinrichtung in Eingriff gebracht wird und folglich die gestapelten Tabletts durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung gehalten werden, wobei die Lifteinrichtung in Anlage an der bodensei­ tigen Fläche des untersten Tabletts des Tablettstapels gehalten wird. Anschließend steuert die Steuereinrichtung die Bewegung der ersten Eingriffshakeneinrichtung in die Eingriffsposition, um hierdurch das zweitunterste Tablett des Tablettstapels mit der ersten Eingriffshakeneinrichtung in Eingriff zu bringen, und steuert weiterhin die Bewegung der zweiten Eingriffshakeneinrichtung in die eingriffsfreie Position, so daß hierdurch das unterste Tablett durch die Lifteinrichtung abgestützt wird. Anschließend steuert die Steuereinrichtung die Absenkung der Lifteinrichtung, so daß lediglich das unterste Tablett des Tablettstapels in eine vorbestimmte Position abgesenkt wird.

Gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zum Einbringen oder Unterbringen von Halbleiterbauelement-Tabletts bereitgestellt, die einen zur Halterung eines Tablettaufnahmebehälters vorgesehenen Stützabschnitt aufweist, auf dem ein Tablettaufnahmebehälter aufgebracht werden kann, der einen offenen Boden aufweist und der an den Endrändern bzw. Seitenkanten des offenen Bodens mit beweglichen Haken versehen ist. Der Tablettaufnahmebehälter ist imstande, eine vorbestimmte Anzahl von Tabletts, die jeweils aufeinander in der Form eines Stapels gestapelt sind, zu halten, wenn die beweglichen Haken in ihre Eingriffsposition eingebracht sind. Hierbei ist jedes Tablett mit getesteten Halbleiterbauele­ menten bestückt. Ferner ist eine Lifteinrichtung vorgesehen, die unterhalb des zur Abstützung des Tablettaufnahmebehälters vorgesehenen Stützabschnitts angeordnet und dazu ausgelegt ist, ein Tablett aufzunehmen, das von einer Transporteinrichtung eines Halbleiterbauelement- Testgeräts zugeführt wird und das mit getesteten Halbleiterbauelementen bestückt ist. Die Lifteinrichtung ist dazu ausgelegt, die Tabletts aufeinanderfolgend anzuheben. Ferner ist eine erste Eingriffshakeneinrichtung vorgesehen, die zwischen einer Eingriffsposition, in der sich die erste Eingriffshakeneinrichtung mit einem Tablett in Eingriff befindet, während dieses Tablett, das auf der Lifteinrichtung angeordnet ist, nach oben bewegt wird, und einer eingriffsfreien Position bewegbar ist, bei der die erste Eingriffshakeneinrichtung nicht in Eingriff mit dem Tablett steht. Des weiteren ist eine zweite Eingriffshakeneinrichtung vorgesehen, die in einer Höhenlage angeordnet ist, die um einen der Dicke eines Tabletts entsprechenden Abstand höher liegt als die Höhenlage der ersten Eingriffshakeneinrichtung. Die zweite Eingriffshakeneinrichtung ist zwischen einer Eingriffsposition, in der sich die zweite Eingriffshakeneinrichtung in Eingriff mit einem Tablett befindet, während dieses Tablett, das auf der Lifteinrichtung angeordnet ist, nach oben bewegt wird, und einer eingriffsfreien Position bewegbar, bei der sich die zweite Eingriffs­ hakeneinrichtung nicht in Eingriff mit diesem Tablett befindet. Ferner führt eine Steuereinrich­ tung in einer vorbestimmten Abfolge einen ersten Steuervorgang, bei dem die erste Eingriffs­ hakeneinrichtung in die eingriffsfreie Position bewegt wird, die Lifteinrichtung angehoben wird, um hierdurch das Tablett, das auf der Lifteinrichtung angeordnet ist, in die der zweiten Eingriffs­ hakeneinrichtung entsprechende Höhenlage anzuheben, und dann die zweite Eingriffshakenein­ richtung in die Eingriffsposition bewegt wird, um hierdurch mit dem auf der Lifteinrichtung angeordneten Tablett in Eingriff zu treten, so daß das Tablett dann durch die zweite Eingriffs­ hakeneinrichtung abgestützt wird; einen zweiten Steuervorgang, bei dem die Lifteinrichtung, die das nächste, nachfolgende Tablett trägt, in Anlage an der bodenseitigen Fläche des vorherge­ henden Tabletts, das durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung abgestützt wird, gebracht wird, wobei die erste Eingriffshakeneinrichtung in diesem Zustand in die Eingriffsposition bewegt wird und somit mit dem unteren, nachfolgenden Tablett in Eingriff tritt, wobei die zweite Eingriffs­ hakeneinrichtung in die eingriffsfreie Position bewegt wird; einen dritten Steuervorgang, bei dem die Lifteinrichtung bei dem soeben beschriebenen Zustand um eine Strecke angehoben wird, die der Dicke eines Tabletts entspricht, und die zweite Eingriffshakeneinrichtung in die Eingriffsposi­ tion bewegt wird, um hierbei mit dem unteren Tablett in Eingriff zu treten und somit die gestapelten Tabletts durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung zu halten; und einen vierten Steuervorgang durch, bei dem nach der Wiederholung des zweiten und des dritten Steuervor­ gangs so lange, bis eine vorbestimmte Anzahl von Tabletts aufeinander und auf der Lifteinrich­ tung gestapelt sind, die Lifteinrichtung so bewegt wird, daß die gestapelten Tabletts in den Tablettaufnahmebehälter eingebracht werden.

Bei einem Ausführungsbeispiel kann der erste, durch die Steuereinrichtung bewirkte Steuervor­ gang vorzugsweise die Bewegung der ersten Eingriffshakeneinrichtung in die eingriffsfreie Position, das Anheben der Lifteinrichtung zum Anheben des auf der Lifteinrichtung angeordneten Tabletts in die der ersten Eingriffshakeneinrichtung entsprechende Höhenlage und das anschlie­ ßende Bewegen der ersten Eingriffshakeneinrichtung in die Eingriffsposition enthalten, um hierdurch mit dem auf der Lifteinrichtung angeordneten Tablett in Eingriff zu treten und somit dieses Tablett durch die erste Eingriffshakeneinrichtung zu halten. In diesem Zustand kann die Lifteinrichtung weiterhin um die der Dicke eines Tabletts entsprechende Strecke angehoben und dann die zweite Eingriffshakeneinrichtung in die Eingriffsposition bewegt werden, um mit dem auf der Lifteinrichtung angeordneten Tablett in Eingriff zu treten und somit das Tablett durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung zu halten.

Die erste und die zweite Eingriffshakeneinrichtung sind in Höhenlagen angeordnet, die voneinan­ der einen der Dicke eines Tabletts entsprechenden Abstand aufweisen, und umfassen vorzugs­ weise ein Paar integral bzw. einstückig miteinander verbundener, schwenkbarer Klauen, die in unterschiedlichen Richtungen orientiert und derart angeordnet sind, daß sich eine der Klauen in der Eingriffsposition befindet, wenn die andere Klaue in der eingriffsfreien Position angeordnet ist. Die Klauen sind um eine Achse schwenkbar angeordnet, die rechtwinklig zu der Ebene der Tabletts verläuft. Jedes der Tabletts ist im wesentlichen rechteckförmig ausgebildet und ist an seinen sich gegenüberliegenden Seitenflächen mit Ausnehmungen versehen, die dazu ausgelegt sind, mit der ersten und der zweiten Eingriffshakeneinrichtung in Eingriff zu treten, wobei die Ausnehmungen jeweils nach unten offen sind.

Bei der erfindungsgemäßen und in Übereinstimmung mit dem ersten Gesichtspunkt aufgebauten Vorrichtung können Universaltabletts, die mit zu testenden Halbleiterbauelementen bestückt sind und in einem Tablettaufnahmebehälter untergebracht sind, der lediglich an seinem Boden offen ist, automatisch aus diesem Tablettaufnahmebehälter herausgenommen werden, so daß diese Universaltabletts zu dem Beschickungsabschnitt des Halbleiterbauelement-Testgeräts transpor­ tiert werden können.

Bei der erfindungsgemäßen und in Übereinstimmung mit dem zweiten, vorstehend beschriebenen Gesichtspunkt aufgebauten Vorrichtung können Universaltabletts, die mit bereits getesteten Halbleiterbauelementen bestückt sind, aufeinanderfolgend jeweils eines nach dem anderen aufeinander gestapelt werden, wonach die gestapelten Tabletts dann in den Tablettaufnahmebe­ hälter eingebracht werden können, der lediglich über seinen Boden zur Einbringung und Heraus­ nahme von Tabletts zugänglich ist.

Die vorliegende Erfindung bietet somit den Vorteil, daß selbst dann, wenn ein Tablettaufnahme­ behälter, der lediglich über seinen Boden zur Einbringung und Herausnahme von Tabletts zugänglich ist, eingesetzt wird, alle Arbeitsvorgänge einschließlich des Vorgangs der Zuführung von zu testenden Halbleiterbauelementen zu dem Halbleiterbauelement-Testgerät als auch der Vorgang der Unterbringung der getesteten Halbleiterbauelemente automatisch ausgeführt werden können.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben.

Fig. 1 zeigt eine schematische Seitenansicht, in der der Aufbau eines in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung zur Herausnahme von Halbleiterbauelement-Tabletts dargestellt ist,

Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht, in der der Aufbau von wesentlichen Teilen der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts dargestellt ist,

Fig. 3 zeigt eine Draufsicht, die die Arbeitsweise der hauptsächlichen Teile der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts ver­ anschaulicht,

Fig. 4 zeigt einen schematischen Querschnitt, in dem ein Beispiel eines praktischen Einsatzes des in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiels der Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts dargestellt ist,

Fig. 5 zeigt eine schematische Querschnittsansicht, die von der linken Seite der in Fig. 4 dargestellten Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts gese­ hen ist und die Vorrichtung in einem Zustand zeigt, bei der der Tablettaufnahmebehäl­ ter von ihr abgenommen ist,

Fig. 6 zeigt eine schematische Draufsicht auf eine Ausführungsform eines herkömmlichen IC- Testgeräts, wobei dessen Kammerabschnitt in einer perspektivartigen Ansicht darge­ stellt ist,

Fig. 7 zeigt eine schematische perspektivische Ansicht des in Fig. 6 gezeigten IC-Testgeräts,

Fig. 8 zeigt eine auseinandergezogene, perspektivische Ansicht, die ein Beispiel eines Testtabletts veranschaulicht, das für den Einsatz bei dem in den Fig. 6 und 7 ge­ zeigten IC-Testgerät geeignet ist,

Fig. 9 zeigt eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung der Art und Weise der Lagerung eines ICs in dem Testtablett, das in Fig. 8 gezeigt ist,

Fig. 10 zeigt eine vergrößerte Querschnittsansicht, in der die Art und Weise veranschaulicht ist, in der ein im Test befindlicher IC, der in dem in Fig. 8 dargestellten Testtablett angeordnet ist, in elektrischen Kontakt mit dem Testkopf gebracht wird,

Fig. 11 zeigt eine Draufsicht auf ein Testtablett zur Veranschaulichung der Abfolge, mit der die in dem Testtablett untergebrachten ICs einem Testvorgang unterzogen werden,

Fig. 12 zeigt eine auseinandergezogene, perspektivische Ansicht, in der der Aufbau eines zur Lagerung von zu testenden ICs vorgesehenen Lagergestells oder eines zur Lagerung von bereits getesteten ICs vorgesehenen Lagergestells dargestellt ist, die für den Ein­ satz bei dem IC-Testgerät ausgelegt sind,

Fig. 13 zeigt eine schematische Draufsicht, die ein Beispiel für den Aufbau einer Tablettrans­ porteinrichtung veranschaulicht, die bei dem IC-Testgerät gemäß dem Stand der Technik eingesetzt wird, und

Fig. 14 zeigt eine Querschnittsansicht, in der ein Beispiel für den Aufbau des Tablettaufnah­ mebehälters dargestellt ist.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 5 wird nachfolgend ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung in größeren Einzelheiten beschrieben.

Fig. 1 zeigt eine seitliche Darstellung, die die positionsmäßige Beziehung zwischen dem her­ kömmlichen IC-Testgerät, das bereits vorstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 6 und 7 beschrieben worden ist, und einem Ausführungsbeispiel der in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement- Tabletts veranschaulicht (bei diesem Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine Vorrichtung zum Herausnehmen von IC-Tabletts). Hierbei ist in Fig. 1 lediglich die Handhabungseinrichtung HNDR des IC-Testgeräts dargestellt.

Das Ausführungsbeispiel der Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts (IC-Tabletts) ist angrenzend an die Handhabungseinrichtung HNDR des IC-Testgeräts derart angeordnet, daß es der Handhabungseinrichtung gegenüberliegt und den Vorgang der Zuführung der Universaltabletts KST, die aus einem Tablettaufnahmebehälter KAS herausgenommen werden, aufeinanderfolgend jeweils einzeln zu der Handhabungseinrichtung HNDR ausführen kann. Hierbei ist anzumerken, daß, auch wenn dies nicht gezeigt ist, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehende Vorrichtung zum Einbringen bzw. Unterbringen von Halbleiterbauelement-Tabletts dazu ausgelegt ist, Tabletts KST, die mit getesteten ICs bestückt sind und von der in Fig. 1 gezeigten Handhabungseinrichtung HNDR des IC-Testgeräts zugeführt werden, aufzunehmen und diese Tabletts aufeinanderfolgend Tablett für Tablett in einen Tablettaufnahmebehälter KAS einzubringen. (Wenn diese Vorrichtung in Verbindung mit einem IC-Testgerät zum Einsatz kommt, handelt es sich somit um eine Vorrichtung zum Einbringen von IC-Tabletts.)

Zunächst wird unter Bezugnahme auf Fig. 1 der allgemeine Aufbau und die Arbeitsweise des in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Ausführungsbeispiels der Vorrich­ tung 10 zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts (IC-Tabletts) erläutert. Die dargestellte Vorrichtung 10 zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts weist ein Gehäuse auf, auf dessen Oberseite ein zum Halten eines Tablettaufnahmebehälters (IC-Tablett­ aufnahmebehälter) KAS vorgesehener Stützabschnitt 11 ausgebildet ist, der dazu ausgelegt ist, einen Tablettaufnahmebehälter KAS zu halten, der eine vorbestimmte Anzahl von Universal­ tabletts KST enthält, die jeweils aufeinandergestapelt sind. Jedes Universaltablett KST ist hierbei mit zu testenden ICs bestückt. Wenn der Tablettaufnahmebehälter KAS auf den Stützabschnitt 11 aufgebracht worden ist und dort ruht, wird eine Anhebeeinrichtung bzw. Lifteinrichtung 14, die unterhalb dieses Stützabschnitts 11 angeordnet ist, soweit nach oben bewegt, bis der Stützfuß oder die Tragfläche, der bzw. die an dem oberen Ende der Lifteinrichtung 14 ange­ bracht ist, durch den Raum zwischen den beweglichen Haken FK (siehe Fig. 14), die an den sich gegenüberliegenden Endkanten des Tablettaufnahmebehälters KAS montiert sind, hindurchtritt und mit der Bodenfläche bzw. Unterseite des untersten Universaltabletts KST des Stapels in Anlage gelangt. In diesem Zustand werden die beweglichen Haken FK an den Endkanten des Tablettaufnahmebehälter KAS nach außen in die Öffnungsstellung verschwenkt, so daß das offene Ende des Tablettaufnahmebehälters KAS vollständig geöffnet wird und somit die Universaltabletts KST, die in der Form eines Stapels im Tablettaufnahmebehälter KAS enthalten sind, auf den Stützfuß der Lifteinrichtung 14 übertragen bzw. aufgebracht werden können.

Die gestapelten Universaltabletts KST werden durch eine nach unten gerichtete Bewegung der Lifteinrichtung 14 bis in eine vorbestimmte Position abgesenkt, an der das unterste Universal­ tablett KST des Stapels mit den ersten Eingriffshaken 12A in Eingriff tritt, die in dem bei der vertikalen Bewegung durchlaufenen Pfad der Lifteinrichtung 14 angeordnet sind. Es versteht sich somit, daß selbst dann, wenn die Lifteinrichtung 14 weiter nach unten bewegt wird, die Universaltabletts KST durch die Eingriffshaken 12A an Ort und Stelle gehalten werden, wobei sie aufeinandergestapelt bleiben.

Die gestapelten Universaltabletts KST werden jeweils aufeinanderfolgend eines nach dem anderen von den verbleibenden Universaltabletts getrennt, wobei mit dem untersten Tablett begonnen wird, und dann aus dem Tablettaufnahmebehälter herausgenommen, wobei diese Vorgänge durch den kooperierenden Betrieb der ersten Eingriffshaken 12A, die den aus den Universaltabletts bestehenden Stapel halten, und den zweiten Eingriffshaken 12B, die nachfol­ gend unter Bezugnahme auf Fig. 2 näher erläutert werden, durchgeführt werden. Ein Universal­ tablett KST, das auf diese Weise herausgenommen worden ist, wird durch die Lifteinrichtung 14 in eine vorbestimmte Position abgesenkt, in der es auf einem Tabletträger 18 aufgebracht ist, der nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 4 noch näher beschrieben wird. Der Tabletträger 18 transportiert das auf ihm angeordnete Universaltablett KST zu der Handhabungseinrichtung HNDR des IC-Testgeräts. Das zu der Handhabungseinrichtung HNDR transportierte Universal­ tablett KST wird dann auf dem Stützfuß an dem oberen Ende der Lifteinrichtung 204 angeordnet und durch die nach oben gerichtete Bewegung der Lifteinrichtung 204 angehoben, so daß es auf die Tablettransporteinrichtung 205 übertragen wird, die bereits vorstehend unter Bezugnahme auf Fig. 13 erläutert worden ist. Die Tablettransporteinrichtung 205 hält das zugeführte Universaltablett KST mit Hilfe der schwenkbaren Klauen 205A, die an ihrer Bodenfläche angebracht sind, und transportiert das Universaltablett KST zu dem Beschickungsabschnitt 300 in der vorstehend bereits unter Bezugnahme auf Fig. 13 erläuterten Weise.

Der Aufbau und die Arbeitsweise der unterschiedlichen Teile der in Fig. 1 dargestellten Vorrich­ tung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts werden nachfolgend in größeren Einzelheiten unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 5 erläutert.

In Fig. 2 ist in Form einer schematischen, perspektivischen Ansicht gezeigt, wie die gestapelten Universaltabletts KST jeweils aufeinanderfolgend eines nach dem anderen von den verbleibenden Universaltabletts durch den zusammenwirkenden Betrieb der ersten Eingriffshaken 12A und der zweiten Eingriffshaken 12B, die in dem vertikalen Bewegungspfad der Lifteinrichtung angeordnet sind, getrennt werden, wobei mit dem untersten Tablett begonnen wird.

Die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B weisen bei diesem Beispiel Klauen bzw. Nocken auf, die in vertikaler Richtung mit einem Abstand voneinander beabstandet sind, der der Dicke eines Tabletts KST entspricht. Die Klauen verlaufen in unterschiedlichen Richtungen (bei dem dargestellten Beispiel unterscheiden sich die Richtungen um 90° voneinan­ der) und sind integral bzw. einstückig oder fest miteinander verbunden. Die beiden Eingriffshaken 12A und 12B werden folglich gemeinsam als Einheit verschwenkt. Bei dem dargestellten Beispiel sind die ersten Eingriffshaken 12A höher als die zweiten Eingriffshaken 12B angeordnet, und zwar um einen der Dicke eines Tabletts entsprechenden Abstand höher, wobei die zweiten Eingriffshaken 12B um 90° vor den ersten Eingriffshaken 12A, gesehen in der Uhrzeigerrichtung, angeordnet sind. Jedes der Universaltabletts KST ist an seinen beiden sich gegenüberliegenden Hauptseitenflächen bzw. Längsseiten mit zwei Ausnehmungen bzw. Kerben 13 versehen, die voneinander mit einem vorbestimmten Abstand beabstandet sind. Die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B sind schwenkbar angebracht und so ausgelegt, daß sie mit Hilfe eines Hebels 15, der integral bzw. fest mit den beiden Haken 12A und 12B verbunden ist, um 90° in dem Uhrzeigersinn und in der Gegenuhrzeigerrichtung gedreht werden können. Für den Fachmann ist ersichtlich, daß die zweiten Eingriffshaken 12B auch um 90° in der Uhrzeiger­ richtung hinter den ersten Eingriffshaken 12A angeordnet sein können.

Bei dem dargestellten Beispiel besitzt jede der Kerben 13 der Universaltabletts KST die Form einer nach unten offenen Ausnehmung, so daß dann, wenn die jeweils aufeinander gestapelten Universaltabletts KST abgesenkt werden, das unterste Universaltablett KST des Stapels automatisch mit den ersten Eingriffshaken 12A in Eingriff tritt, wie dies bereits vorstehend erläutert ist. (Im folgenden werden die Universaltabletts KST gelegentlich auch verkürzt als "Tabletts" bezeichnet.) Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Ausgestaltung derart getroffen, daß die Universaltabletts KST durch vier Haken, nämlich durch vier erste Eingriffs­ haken 12A abgestützt werden, wobei sie in der Form eines Stapels gehalten werden. Genauer gesagt, sind die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B bei dem vorlie­ genden Ausführungsbeispiel anfänglich in die in Fig. 2 dargestellte Position gebracht. Bei diesem Ausführungsbeispiel ergibt sich somit, daß jeder der ersten Eingriffshaken 12A mit den Kerben 13 des untersten Universaltabletts KST des Stapels in Eingriff steht. Für den Fachmann ist jedoch offensichtlich, daß bei dem anfänglichen Zustand sowohl die ersten Eingriffshaken 12A als auch die zweiten Eingriffshaken 12B außer Eingriff mit irgendeinem der Universaltabletts stehen, so daß durch eine Drehung der Haken (z. B. eine Drehung um 90° in der Uhrzeigerrich­ tung) die ersten Eingriffshaken 12A in Eingriff mit dem Universaltablett gebracht werden können.

Fig. 3 zeigt ein Beispiel für die Anordnung, durch die die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B um 90° hin- und hergedreht werden können bzw. in einer schwin­ genden bzw. abwechselnden Weise in Uhrzeigerrichtung und Gegenuhrzeigerrichtung gedreht werden können. Wie bereits vorstehend erläutert, sind die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B jeweils integral miteinander ausgebildet bzw. fest miteinander verbunden, und es ist der Hebel 15 integral bzw. fest mit diesen Haken verbunden und erstreckt sich von diesen Haken ausgehend nach außen. Da zwei dieser Hebel 15 jeweils an jeder der beiden sich gegenüberliegenden Hauptseiten bzw. Längsseiten des Universaltabletts ausgebildet sind, sind zwei als Paar ausgebildete Betätigungsstangen 16, die im wesentlichen die Form eines L besitzen, spiegelbildlich zueinander jeweils so angeordnet, daß sich die längeren Schenkel der Betätigungsstangen 16 entlang der jeweiligen Hauptseiten bzw. Längsseiten des Universal­ tabletts erstrecken. Die beiden jeweiligen Hebel 15 sind durch die zugehörige Betätigungsstange 16 (eine aus dem Paar von Betätigungsstangen 16) miteinander verbunden, so daß die vier Hebel 15 gleichzeitig betätigt werden können, wenn die beiden Betätigungsstangen 16 entlang der Hauptseiten bzw. Längsseiten des Universaltabletts in Längsrichtung bewegt werden. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Ausgestaltung derart gewählt, daß die beiden Betäti­ gungsstangen 16 durch eine lineare Antriebseinrichtung (Linearantriebseinrichtung) 17 so betätigt werden, daß die längeren Schenkel der beiden Betätigungsstangen 16 entlang der jeweiligen Längsseiten des Tabletts bewegt werden, so daß hierdurch sowohl die ersten als auch die zweiten Eingriffshaken 12A, 12B (insgesamt vier Eingriffshaken) um 90° gedreht werden.

Bei einem Zustand, bei dem die ersten Eingriffshaken 12A, die um die Dicke eines Tabletts höher liegen als die zweiten Eingriffshaken 12B, mit den Kerben 13 des untersten Tabletts des Stapels in Eingriff stehen, wird eine nicht gezeigte Steuereinrichtung betätigt bzw. derart aktiviert, daß die Lifteinrichtung 14 nach oben bewegt und hierdurch der gesamte Tablettstapel um eine Strecke angehoben wird, die der Dicke eines Universaltabletts entspricht. Hierdurch wird das gesamte Gewicht der gestapelten Tabletts von der Lifteinrichtung 14 getragen, bevor die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B um 90° in der Gegenuhrzeigerrichtung gedreht werden, wodurch die zweiten Eingriffshaken 12B in Eingriff mit dem untersten Tablett gedreht werden. Alternativ können in einem Zustand, bei dem der Stützfuß der Lifteinrichtung 14 in Anlage an der unterseitigen Fläche, d. h. der Bodenfläche des untersten Tabletts steht, die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B um 90° in der Uhrzeigerrichtung gedreht werden, um hierdurch die zweiten Eingriffshaken 12B in Eingriff mit dem untersten Tablett zu bringen. Auf jeden Fall wird bei einem Zustand, bei dem die Tabletts durch die oberen, ersten Eingriffshaken 12A gehalten werden, der Stützfuß der Lifteinrichtung 14 nach oben in Anlage an die bodenseitige Fläche des untersten Tabletts bewegt, um hierdurch die gestapelten Tabletts geringfügig anzuheben. Als Folge hiervon ist die Belastung, die die Universaltabletts auf die ersten Eingriffshaken 12A ausüben, beseitigt oder zumindest stark verringert, wodurch der Vorteil erreichbar ist, daß die Drehbewegungen der ersten und der zweiten Eingriffshaken 12A und 12B leichter ausgeführt werden können.

In diesem Zustand wird die Steuereinrichtung so betätigt, daß die Lifteinrichtung 14 nach unten um die gleiche Strecke, um die sie gerade zuvor nach oben bewegt worden ist, bewegt wird (d. h. um eine Strecke, die der Dicke eines Tabletts entspricht), so daß das unterste Tablett des Stapels in Eingriff mit den zweiten Eingriffshaken 12B gebracht wird. Der Tablettstapel wird demzufolge nun durch die zweiten Eingriffshaken 12B gehalten. Hierbei ist einsichtig, daß in einem Fall, bei dem die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B im Uhrzeigersinn um 90° gedreht worden sind, während sich der Stützfuß der Lifteinrichtung 14 in Anlage an der bodenseitigen Fläche des untersten Tabletts befand, die Steuerung vorteilhafter­ weise vereinfacht werden kann, da die Notwendigkeit, die Lifteinrichtung 14 nach unten zu bewegen, beseitigt ist.

Nachfolgend wird die Steuereinrichtung so betätigt bzw. bewirkt eine solche Steuerung, daß die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B um 90° im Uhrzeigersinn gedreht werden, so daß die ersten Eingriffshaken 12A mit dem zweituntersten Tablett (dem zweiten Tablett, gerechnet von dem Boden des Stapels aus) in Eingriff gebracht werden. Dieser Zustand ist in Fig. 2 dargestellt.

Da die zweiten Eingriffshaken 12B in diesem Zustand so gedreht sind, daß sie nicht länger in Eingriff mit dem untersten Tablett stehen, kann dieses unterste Tablett auf den Stützfuß der Lifteinrichtung 14 herabfallen bzw. auf dem Stützfuß liegenbleiben. Die Steuereinrichtung wird dann erneut so betätigt, daß die Lifteinrichtung 14 nach unten bewegt wird, so daß lediglich das unterste Tablett zusammen mit der Lifteinrichtung 14 nach unten bis zu einer vorbestimmten Position transportiert wird. Die vorstehend beschriebenen Abläufe können wiederholt werden, so d 15210 00070 552 001000280000000200012000285911509900040 0002019817123 00004 15091aß die Tabletts jeweils eines nach dem anderen von dem Tablettstapel getrennt und abgenom­ men werden können.

In den Fig. 4 und 5 sind allgemeine Querschnittsansichten dargestellt, die ein Beispiel für den praktischen Einsatz der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiter­ bauelement-Tabletts veranschaulichen. In Fig. 5 ist die Vorrichtung in einem Zustand gezeigt, bei der der Tablettaufnahmebehälter KAS von der Vorrichtung abgenommen ist. Hierbei ist darauf hinzuweisen, daß der Tablettaufnahmebehälter KAS von der Vorrichtung zum Herausnehmen der Halbleiterbauelement-Tabletts abgenommen werden kann, während die in dem Tablettaufnahme­ behälter enthaltenen Tabletts durch die ersten Eingriffshaken 12A gehalten werden, oder auch zu einem nachfolgenden Zeitpunkt weggenommen werden kann. Es ist aber auch möglich, den Tablettaufnahmebehälter so, wie er ist, stehen zu lassen.

Das Universaltablett KST, das auf dem Stützfuß der Lifteinrichtung 204 angeordnet ist, wird durch die nach unten gerichtete Bewegung der Lifteinrichtung 204 zu dem Tabletträger 18 transportiert, der unterhalb der Eingriffshaken 12A und 12B angeordnet ist, wie dies in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist. Von der oberen Fläche des Tabletträgers 18 erstrecken sich vier Führungs­ stifte 18A nach oben, wobei zwei dieser Führungsstifte 18A voneinander mit einem Abstand beabstandet sind, der im wesentlichen der Länge der kleineren Seite des Universaltabletts KST entspricht, wobei die beiden Führungsstifte einander gegenüberliegend ungefähr in der Mitte der kleineren Seite des Universaltabletts KST angeordnet sind. Die beiden anderen Führungsstifte 18A sind voneinander um einen Abstand beabstandet, der im wesentlichen der Länge der Hauptseiten bzw. Längsseiten des Universaltabletts KST entspricht, und sind einander gegenüberliegend im wesentlichen in bzw. an der Mitte der Hauptseiten angeordnet. Es ist somit ersichtlich, daß diese Führungsstifte 18A eine exakte Festlegung der Orientierung des Universaltabletts KST relativ zu dem Tablettträger 18, auf den das Universaltablett KST aufgebracht werden soll, bewirken.

Der Tablettträger 18 ist mechanisch mit einer Spindelschraube bzw. Spindelbuchse 19 verbun­ den, die in ihrer inneren Umfangsoberfläche schraubenlinienförmige Gewindegänge enthält und die ihrerseits mit einer Antriebsschraube bzw. Antriebsspindel 21 in Gewindeeingriff steht, die als Führungsschraube dient und an ihrer äußeren Umfangsoberfläche mit einem schraubenlinien­ förmigen (helixförmigen) Gewinde versehen ist. Bei einer Drehung der Antriebsspindel 21 wird somit die Spindelmutter 19 angetrieben, die ihrerseits den Tabletträger 18 bewegt. Genauer gesagt, wird die Antriebsspindel 21 durch einen Motor 20, der in Fig. 5 dargestellt ist, drehend angetrieben, so daß die Spindelmutter 19 in einer Richtung angetrieben wird, die rechtwinklig zu der Zeichnungsebene der Fig. 4 verläuft (bzw. bei der Darstellung in Fig. 5 in horizontaler Richtung von rechts nach links und umgekehrt). Hierdurch wird der Tabletträger 18 ausgehend von derjenigen Position, die in Fig. 5 gezeigt ist, in der Richtung X bis zu einer Position oberhalb der Lifteinrichtung 204, die in der Handhabungseinrichtung HNDR des IC-Testgeräts angeordnet ist, bewegt und an dieser Position angehalten.

Weiter oberhalb dieser Anhalteposition des Tabletträgers 18 befindet sich oberhalb der Liftein­ richtung 204 die vorstehend bereits unter Bezugnahme auf Fig. 13 näher erläuterte Tablettrans­ porteinrichtung 205 in Bereitschaftsstellung, wobei die Lifteinrichtung 204 nach oben bewegt wird, um hierdurch das auf dem Tabletträger 18 angeordnete Universaltablett KST bis zu einer vorbestimmten Position unterhalb der Tablettransporteinrichtung 205 anzuheben. Wie bereits vorstehend erläutert, ist die Tablettransporteinrichtung 205 an ihrer Unterseite mit schwenkba­ ren Klauen 205A versehen, wobei diese schwenkbaren Klauen 205A dann, wenn das Universal­ tablett KST nach oben bis zu der vorbestimmten Position unterhalb der Tablettransporteinrich­ tung 205 bewegt worden ist, in Eingriff mit dem Universaltablett KST gedreht werden und somit dieses Universaltablett ergreifen. Die Tablettransporteinrichtung 205, die das Universaltablett KST ergriffen hat, transportiert dieses Universaltablett dann zu der Position des Fensters 106 in dem Beschickungsabschnitt 300, der in Fig. 13 dargestellt ist, oder zu dem Lagergestell 201, das in Fig. 6 dargestellt ist.

Vorstehend ist ein Ausführungsbeispiel der in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Vorrichtung zum Herausnehmen von Tabletts beschrieben, das zum Separieren und Abnehmen von Tabletts, jeweils eines nach dem anderen, von einem Tablettstapel auslegt ist, der in dem Tablettaufnahmebehälter KAS gespeichert ist, wobei dieser Tablettaufnahmebehälter KAS lediglich an seiner Unterseite offen ist, wie dies in Fig. 14 gezeigt ist.

Es ist ersichtlich, daß durch den Einsatz der integral bzw. fest miteinander verbundenen, ersten und zweiten Eingriffshaken 12A und 12B, die in Fig. 2 dargestellt sind, zugleich auch eine zum Einbringen von Tabletts geeignete Vorrichtung geschaffen wird, die zum Speichern bzw. Einbringen von Universaltabletts KST in der Form eines Stapels in den Tablettaufnahmebehälter KAS ausgelegt ist, wobei auch dieser Tablettaufnahmebehälter KAS lediglich an seiner Unter­ seite offen ist, wie dies in Fig. 14 gezeigt ist. Hierbei werden die Universaltabletts KST jeweils eines auf dem anderen von der Unterseite her gestapelt, während sie aufeinanderfolgend jeweils eines nach dem anderen durch die Lifteinrichtung 14 von dem Bereich unterhalb der Eingriffs­ haken 12A und 12B sukzessive angehoben werden.

Jedesmal dann, wenn ein Tablett KST durch die Lifteinrichtung 14 angehoben wird, werden hierbei die unteren ersten Eingriffshaken 12B in Eingriff mit diesem Tablett verschwenkt, um hierdurch dieses Tablett zu stützen und zu halten (hierbei ist anzumerken, daß die ersten Eingriffshaken 12A und die zweiten Eingriffshaken 12B, wie sie vorstehend mit Bezug zu der Vorrichtung zum Herausnehmen von Tabletts bezeichnet worden sind, bei der vorliegenden Vorrichtung zum Einbringen von Tabletts jeweils umgekehrt als zweite Eingriffshaken bzw. erste Eingriffshaken bezeichnet werden).

Genauer gesagt, werden die ersten Eingriffshaken 12B anfänglich in eine solche Position weggedreht, daß sie mit einem sich nach oben bewegenden Tablett KST nicht in störende Wechselwirkung gelangen, und es wird das eine erste Tablett KST durch die Lifteinrichtung 14 bis zu der Höhenlage der unteren, ersten Eingriffshaken 12B angehoben, woraufhin die ersten Eingriffshaken 12B und die zweiten Eingriffshaken 12A so gedreht werden, daß die unteren, ersten Eingriffshaken 12B mit dem ersten Tablett in Eingriff treten und somit dieses erste Tablett durch die ersten Eingriffshaken 12B abgestützt und gehalten wird. Bei dem nächsten Schritt wird die Lifteinrichtung 14 weiter nach oben um eine Strecke bewegt, die der Dicke eines Tabletts entspricht (hierbei ist darauf hinzuweisen, daß, wie bereits zuvor erläutert, das Tablett selbst dann angehoben werden kann, wenn es hierbei außer Eingriff von den ersten Eingriffshaken 12B gebracht wird; dies ist möglich, weil die Kerben bzw. Ausnehmungen 13 nach unten offen sind), und es werden die ersten Eingriffshaken 12B und die zweiten Eingriffshaken 12A so ver­ schwenkt, daß die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A mit dem ersten Tablett in Eingriff gelangen. Hierdurch wird das erste Tablett nun durch die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A gehalten.

Alternativ können die ersten Eingriffshaken 12B und die zweiten Eingriffshaken 12A auch anfänglich in eine solche Position weggedreht werden, daß sie mit einem sich nach oben bewegenden Tablett KST nicht in störende Wechselwirkungen treten, und es kann das erste Tablett KST durch die Lifteinrichtung 14 bis zu der Höhenlage der oberen, zweiten Eingriffshaken 12A angehoben werden. Daraufhin werden die ersten Eingriffshaken 12B und die zweiten Eingriffshaken 12A so gedreht, daß die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A mit dem ersten Tablett in Eingriff gelangen und folglich dieses Tablett durch die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A gehalten wird.

Das nächste Tablett wird durch die Lifteinrichtung 14 so lange angehoben, bis es in Anlage an der bodenseitigen Fläche des ersten Tabletts gelangt, woraufhin die ersten Eingriffshaken 12B und die zweiten Eingriffshaken 12A so gedreht werden, daß die ersten Eingriffshaken 12B mit dem zweiten Tablett in Eingriff gelangen, während zur gleichen Zeit die zweiten Eingriffshaken 12A außer Eingriff von dem ersten Tablett gebracht werden. Es ist somit ersichtlich, daß das zweite Tablett, das soeben angehoben worden ist, unter dem ersten Tablett stapelförmig angeordnet ist. In diesen Zustand wird die Lifteinrichtung 14 um eine Strecke, die der Dicke eines Tabletts entspricht, weiter nach oben bewegt, so daß die beiden gestapelten Tabletts um diese der Dicke eines Tabletts entsprechende Strecke angehoben werden. Daraufhin werden die ersten Eingriffshaken 12B und die zweiten Eingriffshaken 12A so verschwenkt, daß die oberen zweiten Eingriffshaken 12A mit dem zweiten Tablett in Eingriff gebracht werden. Die beiden stapelförmig aufeinander angeordneten Tabletts werden somit nun durch die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A gehalten.

Die vorstehend geschilderten Abläufe können wiederholt werden, so daß jedes beliebige zusätzliche Tablett, das von unten her angehoben wird, zu dem untersten Tablett der aufeinan­ dergestapelten Tabletts hinzugefügt werden kann. Das neu hinzugefügte, unterste Tablett wird durch die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A gehalten, und es wird folglich der gesamte Tablettstapel durch die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A abgestützt. Hierbei ist anzumerken, daß in einem Fall, bei dem ein zusätzliches Tablett von unten her zugeführt wird, während es auf der Lifteinrichtung 14 getragen wird und ein Zustand vorliegt, bei dem die zuvor gestapelten Tabletts durch die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A abgestützt werden, diese zuvor gestapel­ ten Tabletts geringfügig durch die Lifteinrichtung 14 angehoben werden, die an der bodenseiti­ gen Fläche des untersten Tabletts der oberen gestapelten Tabletts anliegt. Als Folge hiervon wird die Belastung, die durch die Tabletts auf die zweiten Eingriffshaken 12A ausgeübt wird, beseitigt oder zumindest stark verringert, so daß der Vorteil erzielt wird, daß die Drehbewegung der ersten und der zweiten Eingriffshaken 12B und 12A leichter ausgeführt werden kann.

Die gestapelten Tabletts, die durch die oberen, zweiten Eingriffshaken 12A gehalten werden, können in den Tablettaufnahmebehälter KAS, der auf dem Stützabschnitt 11 aufgebracht ist, dadurch eingebracht werden, daß die Lifteinrichtung 14 weiter nach oben bewegt wird. In diesem Zustand werden die beweglichen Haken FK an den Endkanten des Tablettaufnahmebe­ hälters KAS in ihre geschlossenen Positionen verschwenkt, so daß das unterste Tablett dann durch die Haken FK gehalten wird. Die Tabletts KST können somit auf diese Weise in der Form eines Stapels in den Tablettaufnahmebehälter KAS eingebracht und dort gelagert werden.

Es ist somit ersichtlich, daß bei dem in den Fig. 6 und 7 gezeigten IC-Testgerät die Universal­ tabletts KST, die mit den bereits getesteten ICs bestückt sind, sukzessive in den Tablettaufnah­ mebehälter KAS eingebracht werden können, wenn die in der vorstehend beschriebenen Weise aufgebaute Vorrichtung zum Einbringen der Tabletts in dem Entladeabschnitt zum Einsatz gebracht wird.

Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel ist erläutert und gezeigt, daß die ersten und die zweiten Eingriffshaken winkelmäßig voneinander um 90° beabstandet sind. Dieser winkelmäßige Abstand zwischen den ersten und den zweiten Eingriffshaken ist aber nicht auf 90° beschränkt, da es lediglich erforderlich ist, daß die ersten oder die zweiten Eingriffshaken in einer Position stehen, bei der sie sich außer Eingriff mit dem oder den Tabletts befinden, wenn sich die anderen Eingriffshaken mit einem Tablett in Eingriff befinden. In der vorstehenden Beschreibung ist die vorliegende Erfindung anhand eines Falls geschildert, bei dem die Erfindung bei einem IC-Testgerät zum Testen von ICs zum Einsatz kommt. Zwar stellen ICs typische Beispiele für Halbleiterbauelemente dar, jedoch ist es selbstverständlich, daß die vorliegende Erfindung auch bei einem Testgerät, das zum Testen von anderen Halbleiterbauelementen als ICs ausgelegt ist, unter Erzielung gleichwertiger funktioneller Effekte zum Einsatz kommen kann.

Wie vorstehend erläutert, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, Tabletts, die mit zu testenden Halbleiterbauelementen bestückt und in einem Tablettaufnahmebehälter gehalten sind, der lediglich an seinem Boden offen ist, automatisch aus dem Tablettaufnahmebehälter heraus­ zunehmen und die Halbleiterbauelemente zu einem Halbleiterbauelement-Testgerät zu transpor­ tieren. Hierbei ist es auch möglich, Tabletts, die mit bereits einem Test unterzogenen Halbleiter­ bauelementen bestückt sind, zu einem Tablettaufnahmebehälter zurückzuführen, der lediglich in seinem Bodenbereich offen ist. Es ist somit ersichtlich, daß es mit der vorliegenden Erfindung möglich ist, den erheblichen Vorteil zu erzielen, eine völlige Automatisierung der Vorgänge bezüglich der Zuführung von zu testenden Halbleiterbauelementen zu einem Halbleiterbauele­ ment-Testgerät und des Abtransports von getesteten Halbleiterbauelementen aus dem Halblei­ terbauelement-Testgerät selbst dann zu erreichen, wenn ein Tablettaufnahmebehälter eingesetzt wird, der lediglich in seinem Bodenbereich offen ist.

Claims (6)

1. Vorrichtung zum Herausnehmen von Halbleiterbauelement-Tabletts mit
einem zum Abstützen eines Tablettaufnahmebehälters (KAS) dienenden Stützabschnitt (11), auf dem ein Tablettaufnahmebehälter (KAS) aufbringbar ist, der einen offenen Boden aufweist und an den Rändern des offenen Bodens mit beweglichen Haken (FK) versehen ist und der dann, wenn die beweglichen Haken (FK) in ihre Eingriffsposition gebracht sind, eine vorbe­ stimmte Anzahl von Tabletts (KST), die in der Form eines Stapels aufeinandergestapelt sind, halten kann, wobei jedes Tablett (KST) mit zu testenden Halbleiterbauelementen bestückt ist,
einer Lifteinrichtung (14), die unterhalb des Stützabschnitts (11) angeordnet ist und dazu ausgelegt ist, die gestapelten Tabletts (KST), die aus dem Tablettaufnahmebehälter (KAS) ausgegeben werden, wenn die beweglichen Haken (FK) in ihre eingriffsfreie Position gebracht sind, aufzunehmen und die gestapelten Tabletts oder eines oder mehrere der auf ihr angeordne­ ten Tabletts in vertikaler Richtung zu bewegen,
einer ersten Eingriffshakeneinrichtung (12A), die zwischen einer Eingriffsposition, in der sich die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) mit einem oder mehreren Tabletts in Eingriff befindet, wenn sich die auf der Lifteinrichtung (14) angeordneten Tabletts in der vertikalen Richtung bewegen, und einer eingriffsfreien Position bewegbar ist, bei der sich die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) nicht in Eingriff mit einem oder mehreren Tabletts (KST) befindet,
einer zweiten Eingriffshakeneinrichtung (12B), die in einer solchen Höhenlage angeord­ net ist, daß sie um den der Dicke eines Tabletts entsprechenden Abstand tiefer liegt als die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A), und die zwischen einer Eingriffsposition, in der sich die zweite Eingriffshakeneinrichtung (128) in Eingriff mit einem oder mehreren Tabletts (KST) befindet, wenn sich die auf der Lifteinrichtung (14) angeordneten Tabletts in der vertikalen Richtung bewegen, und einer eingriffsfreien Position bewegbar ist, bei der sich die zweite Eingriffs­ hakeneinrichtung (12B) nicht in Eingriff mit irgendeinem der Tabletts (KST) befindet,
einer Steuereinrichtung, die in einer vorbestimmten Folge einen Steuerablauf, bei dem die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) in die Eingriffsposition bewegt wird und die Lifteinrich­ tung (14) abgesenkt wird, um hierdurch das unterste der gestapelten und auf der Lifteinrichtung (14) angeordneten Tabletts mit der ersten Eingriffshakeneinrichtung (12A) in Eingriff zu bringen und dadurch die gestapelten Tabletts durch die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) zu halten; einen Steuerablauf, bei dem die Lifteinrichtung (14) in Anlage an der Bodenfläche des untersten Tabletts (KST) des Tablettstapels gebracht wird, wobei die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) in diesem Zustand in die eingriffsfreie Position bewegt wird und die zweite Eingriffshakeneinrich­ tung (12B) in die Eingriffsposition bewegt wird; einen Steuerablauf, bei dem die Lifteinrichtung (14) abgesenkt wird, um hierdurch das unterste Tablett des Tablettstapels mit der zweiten Eingriffshakeneinrichtung (12B) in Eingriff zu bringen und hierdurch die gestapelten Tabletts durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12B) zu halten; einen Steuerablauf, bei dem in dem gerade zuvor beschriebenen Zustand die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) in die Eingriffspo­ sition bewegt wird, um hierdurch das zweitunterste Tablett des Tablettstapels mit der ersten Eingriffshakeneinrichtung in Eingriff zu bringen, während die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12B) in die eingriffsfreie Position bewegt wird; und einen Steuerablauf ausführt, bei dem die Lifteinrichtung (14) bei dem gerade zuvor beschriebenen Zustand abgesenkt wird, um hierdurch lediglich das unterste Tablett des Tablettstapels abzusenken, und
einer Transporteinrichtung (18 bis 21, 205) zum Aufnehmen des einen, in eine vorbe­ stimmte Position durch die Lifteinrichtung (14) abgesenkten Tabletts (KST) und zum Transportie­ ren dieses einen Tabletts zu einem Halbleiterbauelement-Testgerät.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A, 12B) ein Paar miteinander verbundener, schwenkbarer Klauen aufweisen, die sich in unterschiedlichen Richtungen derart erstrecken, daß sich eine der Klauen in der Eingriffsposition befindet, wenn die andere Klaue in die eingriffsfreie Position gebracht ist, wobei die Klauen um eine Achse schwenkbar sind, die rechtwinklig zu der Ebene der Tabletts (KST) verläuft, und daß jedes Tablett (KST) im wesentlichen rechteckförmig ausgebildet und an seinen sich gegenüberliegenden Seitenflächen mit Ausnehmungen (13) versehen ist, die mit der ersten und der zweiten Eingriffshakeneinrichtung (12A, 12B) in Eingriff bringbar sind und die jeweils nach unten offen sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerein­ richtung die folgende Steuerung ausführt:
wenn der Tablettaufnahmebehälter (KAS) auf dem Stützabschnitt (11) ruht, wird die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) in die Eingriffsposition bewegt, und es wird die Lifteinrich­ tung (14) nach oben in Anlage an die Bodenfläche des untersten Tabletts des Tablettstapels bewegt,
wenn die Lifteinrichtung (14) die gestapelten Tabletts, die aus dem Tablettaufnahme­ behälter (KAS) ausgegeben werden aufgenommen hat, während sich die Lifteinrichtung (14) noch in Anlage an der Bodenfläche des untersten Tabletts des Tablettstapels befindet, wird die Lifteinrichtung (14) abgesenkt, um hierdurch das unterste Tablett des Tablettstapels mit der ersten Eingriffshakeneinrichtung (12A) in Eingriff zu bringen, so daß die gestapelten Tabletts durch die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) gehalten werden,
die Lifteinrichtung (14) wird dann zur Anlage an der Bodenfläche des untersten Tabletts des Tablettstapels gebracht, und es wird die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) in die eingriffsfreie Position bewegt und gleichzeitig auch die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12B) in die Eingriffsposition bewegt, während die Lifteinrichtung (14) in Anlage an der Bodenfläche gehalten wird,
die Lifteinrichtung (14) wird dann um eine Strecke abgesenkt, die der Dicke eines Tabletts (KST) entspricht, um hierdurch das unterste Tablett des Tablettstapels mit der zweiten Eingriffshakeneinrichtung (12B) in Eingriff zu bringen und hierdurch die gestapelten Tabletts durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12B) zu halten, wobei die Lifteinrichtung (14) hierbei in Anlage an der Bodenfläche des untersten Tabletts des Tablettstapels gehalten wird,
die erste Eingriffshakeneinrichtung (12A) wird dann in die Eingriffsposition bewegt, so daß sie mit dem zweituntersten Tablett des Tablettstapels in Eingriff gebracht wird, und es wird die zweite Eingriffshakeneinrichtung (128) in die eingriffsfreie Position bewegt, so daß das unterste Tablett durch die Lifteinrichtung (14) abgestützt wird, und
die Lifteinrichtung (14) wird dann abgesenkt, so daß lediglich das unterste Tablett des Tablettstapels in eine vorbestimmte Position abgesenkt wird.

4. Vorrichtung zum Einbringen von Halbleiterbauelement-Tabletts in einen Tablettauf­ nahmebehälter (KAS), mit
einem zum Abstützen des Tablettaufnahmebehälters (KAS) dienenden Stützabschnitt (11), auf dem der Tablettaufnahmebehälter (KAS) aufbringbar ist, der einen offenen Boden besitzt und an den Rändern des offenen Bodens mit beweglichen Haken (FK) versehen ist sowie imstande ist, eine vorbestimmte Anzahl von aufeinandergestapelten Tabletts (KST) in der Form eines Stapels zu halten, wenn die beweglichen Haken (FK) in ihre Eingriffsposition gebracht sind, wobei jedes Tablett mit getesteten Halbleiterbauelementen bestückt ist,
einer Lifteinrichtung (14), die unterhalb des Stützabschnitts (11) angeordnet und dazu ausgelegt ist, ein Tablett (KST), das von einer Transporteinrichtung (205) eines Halbleiterbau­ element-Testgeräts zugeführt wird und mit getesteten Halbleiterbauelementen bestückt ist, aufzunehmen und dann die Tabletts sukzessive jeweils Tablett für Tablett anzuheben,
einer ersten Eingriffshakeneinrichtung (12B), die zwischen einer Eingriffsposition, in der sich die erste Eingriffshakenposition in Eingriff mit einem Tablett (KST) befinden, während dieses auf der Lifteinrichtung (14) angeordnete Tablett (KST) nach oben bewegt wird, und einer eingriffsfreien Position bewegbar ist, bei der sich die erste Eingriffshakeneinrichtung (12B) nicht in Eingriff mit dem Tablett (KST) befindet,
einer zweiten Eingriffshakeneinrichtung (12A), die in einer Höhenlage, die um den der Dicke eines Tabletts (KST) entsprechenden Abstand höher liegt als die Höhenlage der ersten Eingriffshakeneinrichtung (12B), angeordnet ist und zwischen einer Eingriffsposition, in der sich die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A) in Eingriff mit einem Tablett (KST) befindet, während sich dieses auf der Lifteinrichtung (14) angeordnete Tablett nach oben bewegt, und einer eingriffsfreien Position bewegbar ist, bei der sich die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A) nicht in Eingriff mit dem Tablett (KST) befindet, und
einer Steuereinrichtung, die in einer vorbestimmten Abfolge einen ersten Steuerablauf, bei dem die erste Eingriffshakeneinrichtung (12B) in die eingriffsfreie Position bewegt wird, die Lifteinrichtung (14) angehoben wird, um hierdurch das auf der Lifteinrichtung (14) angeordnete Tablett (KST) bis zu der Höhenlage der zweiten Eingriffshakeneinrichtung (12A) anzuheben, und dann die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A) in die Eingriffsposition bewegt wird, um hierdurch mit dem auf der Lifteinrichtung (14) angeordneten Tablett in Eingriff gebracht zu werden und als Folge hiervon das Tablett durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A) zu halten; einen zweiten Steuerablauf, bei dem die Lifteinrichtung (14), die das nächste, nachfol­ gende Tablett trägt, so weit angehoben wird, daß dieses zur Anlage an der Bodenfläche des vorhergehenden, durch die, zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A) gehaltenen Tabletts gelangt, wobei die erste Eingriffshakeneinrichtung (12B) in diesem Zustand dann in die Eingriffsposition bewegt wird, um mit dem unteren, nachfolgenden Tablett in Eingriff zu treten, und die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A) in die eingriffsfreie Position bewegt wird; einen dritten Steuerab­ lauf, bei dem in dem gerade zuvor beschriebenen Zustand die Lifteinrichtung (14) um eine Strecke angehoben wird, die der Dicke eines Tabletts entspricht, und die zweite Eingriffshaken­ einrichtung (12A) in die Eingriffsposition bewegt wird, damit die zweite Eingriffshakeneinrichtung mit dem unteren Tablett in Eingriff gelangt und folglich die gestapelten Tabletts durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung getragen werden; und einen vierten Steuerablauf ausführt, bei dem nach der Wiederholung des zweiten und des dritten Steuerablaufs solange, bis eine vorbe­ stimmte Anzahl von Tabletts jeweils aufeinander und auf der Lifteinrichtung (14) gestapelt sind, die Lifteinrichtung (14) so bewegt wird, daß die gestapelten Tabletts (KST) in den Tablettauf­ nahmebehälter (KAS) eingebracht werden.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der erste, durch die Steuereinrichtung ausgeführte Steuerablauf die Schritte umfaßt: die erste Eingriffshakeneinrich­ tung (12B) wird in die eingriffsfreie Position bewegt; die Lifteinrichtung (14) wird angehoben, damit das auf der Lifteinrichtung (14) angeordnete Tablett (KST) bis zu der Höhenlage der ersten Eingriffshakeneinrichtung (12B) angehoben wird; anschließend wird die erste Eingriffshakenein­ richtung (12B) in die Eingriffsposition bewegt, damit sie mit dem auf der Lifteinrichtung (14) angeordneten Tablett (KST) in Eingriff tritt und folglich das Tablett durch die erste Eingriffs­ hakeneinrichtung gehalten wird; und es wird die Lifteinrichtung (14) in diesem Zustand um eine der Dicke eines Tabletts entsprechende Strecke weiter angehoben und dann die zweite Eingriffs­ hakeneinrichtung (12A) in die Eingriffsposition bewegt, damit sie mit dem auf der Lifteinrichtung (14) angeordneten Tablett (KST) in Eingriff tritt und folglich das Tablett durch die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12A) gehalten wird.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Eingriffshakeneinrichtung (12B, 12A) ein Paar miteinander verbundener, schwenkbarer Klauen enthalten, die in unterschiedlichen Richtungen derart verlaufen, daß sich dann, wenn sich die eine Klaue in der Eingriffsposition befindet, die andere Klaue in die eingriffsfreie Position gebracht ist, wobei die Klauen um eine Achse schwenkbar sind, die rechtwinklig zu der Ebene der Tabletts verläuft, und daß jedes Tablett (KST) im wesentlichen rechteckförmig ausgebildet und an seinen sich gegenüberliegenden Seitenflächen mit Ausnehmungen (13) versehen ist, die dazu ausgelegt sind, mit der ersten und der zweiten Eingriffshakeneinrichtung (12B, 12A) in Eingriff treten zu können, und die nach unten offen ausgebildet sind.