DE19523969C2 - Bausteintransportvorrichtung und Verfahren zum wiederholten Testen von Bausteinen für IC-Handhabungseinrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine IC-Transport­ vorrichtung zur Verwendung mit einem tablettartigen Behälter und einem stabförmigen Behälter (Magazin), die als IC- Speicherbehälter einer IC-Handhabungseinrichtung verwendet werden.

Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum wie­ derholten Testen oder Prüfen von Bausteinen, das in einer IC-Handhabungseinrichtung verwendet wird, durch die Bau­ steine von einem Magazin zugeführt, als defekt beurteilte Bausteine erneut geprüft und die erneut geprüften Bausteine im Magazin oder einem Benutzertablett sortiert und gespei­ chert werden.

Typischerweise werden zwei Arten von IC-Speichermagazi­ nen für eine IC-Prüfungshandhabungseinrichtung verwendet, d. h. ein tablettartiges Magazin und ein stabförmiges Ma­ gazin. IC-Handhabungssysteme wurden speziell für eine dieser beiden Arten von Speichermagazinen konstruiert.

Beispiele herkömmlicher IC-Transportvorrichtungen, bei denen tablettartige oder stabförmige Magazine verwendet wer­ den, werden nachstehend unter Bezug auf die Fig. 3 und 4 beschrieben.

Der Transportabschnitt eines IC-Transportsystems, bei dem ein tablettartiges Magazin verwendet wird, weist auf: ein Benutzertablett 170, einen Tablettzufuhrabschnitt 172, ein Zufuhrtablett 172, einen Zufuhrtablettransportmechanis­ mus 174, einen Tablettwechselabschnitt 173, einen Ta­ blettwechseltransportmechanismus 175, ein Prüftablett 180, einen Prüfabschnitt 182, ein Sortierpuffergestell 184, einen Speichertablettransportmechanismus 186 und einen Ta­ blettspeicherabschnitt 189. Die vorstehend erwähnten Kompo­ nenten des Transportabschnitts werden nachstehend kurz be­ schrieben.

Das Benutzertablett 170 ist ein scheibenförmiger Behälter und weist eine Reihe mehrerer vertiefter Fächer zum Aufnehmen von Bausteinen in Quer- und Längsrichtung auf. Die Bausteine werden in diesen Fächern aufgenommen. Mehrere Be­ nutzertabletts 170 sind in mehreren Lagen im Ta­ blettzufuhrabschnitt 172 gespeichert.

Der Zufuhrtablettransportmechanismus 174 hebt das Be­ nutzertablett 170 von der obersten Lage der in mehreren La­ gen angeordneten Benutzertabletts 170 unter Verwendung eines Transportarms an. Der Transportmechanismus transportiert daraufhin das Tablett 170 und ordnet das Benutzertablett 170 im Tablettwechselabschnitt 173 an.

Der Tablettwechseltransportmechanismus 175 trans­ portiert den Baustein vom im Tablettwechselabschnitt 173 an­ geordneten Benutzertablett 170 zum Prüftablett 180. Ty­ pischerweise hebt der Transportmechanismus 175 einen oder mehrere IC-Bausteine durch eine Saugwirkung an und transpor­ tiert den oder die IC-Bausteine unter Verwendung des Saugab­ schnitts 175a zum Prüftablett 180. Anschließend wird jeder IC-Baustein an einer vorgegebenen Testposition auf dem Prüftablett 180 angeordnet. Indem dieser Prozeß mehrmals ausgeführt wird, wird der Transport aller IC-Bausteine abgeschlossen.

Das Prüftablett 180, auf dem die Bausteine angeordnet sind, wird zum Prüfabschnitt 182 transportiert, wo die Bau­ steine auf die vorgegebenen Temperaturen erwärmt bzw. abge­ kühlt werden, woraufhin elektrische Tests durchgeführt wer­ den und die im Prüftablett 180 angeordneten Bausteine zum Sortierpuffergestell 184 ausgegeben werden.

Der Speichertablettransportmechanismus 186 hebt den Baustein auf dem Prüftablett 180 (das im Sortierpufferge­ stell 184 angeordnet ist) durch einen Saugabschnitt 186a an und transportiert den Baustein zur Position des Be­ nutzertabletts 170. Im Benutzertablett 170 werden die IC- Bausteine in durch die Testergebnisse bestimmte Gruppen ein­ geteilt bzw. einsortiert. Dadurch wird der Baustein im Ta­ blett 170 gespeichert.

Der Tablettspeicherabschnitt 189 ordnet mehrere Be­ nutzertabletts 170 gemäß der dem Testergebnis entsprechenden Klassifizierung ein und speichert die durch den Spei­ chertablettransportmechanismus 186 abgelegten IC-Bausteine. Durch Wiederholen des vorstehend erwähnten Prozesses werden alle IC-Bausteine zugeführt und im Benutzertablett 170 sor­ tiert bzw. gespeichert.

Fig. 4 zeigt den Transportabschnitt einer IC-Transport­ vorrichtung mit einem stabförmigen Magazin. Wie in Fig. 4 dargestellt, weist die IC-Transportvorrichtung auf: ein Ma­ gazin 150, einen Magazinzufuhrabschnitt 152, einen Zufuhrma­ gazintransportmechanismus 154, einen Prüfabschnitt 156, einen Speichermagazintransportmechanismus 158 und einen Ma­ gazinspeicherabschnitt 160. Die in Fig. 4 dargestellte IC- Handhabungseinrichtung ist ein Eigengewicht-Gefällesystem, das auf die Schwerkraft angewiesen ist, um zu veranlassen daß die IC-Bausteine in den Transportschritten gleiten und herabfallen. Die nachfolgende Beschreibung ist eine Zusammenfassung des Transportprozesses.

Das Magazin 150 ist ein stabförmiger Behälter, in dem die IC-Bausteine in einer Reihe gespeichert sind, wobei das Magazin in Abhängigkeit von der Größe und der Form (DIP, ZIP, SOP) der ICs verschiedenartig aufgebaut sein kann. Im Magazinzufuhrabschnitt 152 sind mehrere Magazine 150 gespei­ chert.

Der Zufuhrmagazintransportmechanismus 154 neigt ein Ma­ gazin 150a, indem ein Ende eines Magazins 150 vom Magazinzu­ fuhrabschnitt 152 gehalten wird und das andere Ende des Ma­ gazins 150 angehoben wird, um das Magazin 150 zu drehen. Die IC-Bausteine werden durch ihr Eigengewicht aufgrund des ge­ neigten Winkels von einem I-Schienenabschnitt 155a voneinan­ der getrennt und in einer ER-Schiene 155b gespeichert.

Die ER-Schiene 155b ist in Querrichtung ausgerichtet, um mehrere IC-Bausteine aufzunehmen, wobei die ER-Schiene 155b die IC-Bausteine einzeln von der vorstehend erwähnten I-Schiene 155a aufnimmt, indem die ER-Schiene in Querrich­ tung bewegt wird. Daraufhin wird die ER-Schiene 155b in Querrichtung bewegt und so angeordnet, daß sie mit einer S- Schiene 155c in mehreren Reihen übereinstimmt. Die IC-Bau­ steine gleiten in die S-Schiene 155c.

Die IC-Bausteine gleiten einzeln auf der S-Schiene 155c und werden dem Prüfabschnitt 156 zugeführt. Außerdem wirkt die S-Schiene 155c als Puffer, um die Bausteine gegebenen­ falls auf eine konstante Temperatur zu erwärmen bzw. abzu­ kühlen.

Der Prüfabschnitt 156 nimmt die Bausteine von der S- Schiene 155c auf und führt elektrische Tests bzw. Prüfvor­ gänge durch, wie beispielsweise Tests zum Feststellen eines Defekts oder Kennlinien- bzw. Kenngrößenmessungen usw., in­ dem im Prüfabschnitt ein elektrischer Kontakt mit den Bau­ steinen hergestellt wird. Daraufhin werden die IC-Bausteine zum Speichermagazintransportmechanismus 158 ausgegeben.

Der Speichermagazintransportmechanismus 158 nimmt die Bausteine vom Prüfabschnitt 156 auf und sortiert diese be­ züglich den Ergebnissen der Tests zum Feststellen eines De­ fekts bzw. der Kennlinien- bzw. Kenngrößenmessungen. Dadurch werden die IC-Bausteine basierend auf den sich durch die Te­ stergebnisse ergebenden Klassifikationen in den entsprechen­ den in mehreren Reihen angeordneten Speichermagazinen 150n gespeichert. Für diesen Prozeß nimmt ein Sortierer 159 die Bausteine auf und bewegt sich in Querrichtung zu den ent­ sprechenden in einer Reihe angeordneten Magazinen 150n. Die IC-Bausteine werden im geeigneten Magazin gelagert, indem diese in die geneigten Speichermagazine 150b gleiten.

Im Magazinspeicherabschnitt 160 sind die in mehreren Reihen angeordneten Magazine 150n gespeichert und werden die IC-Bausteine gespeichert, indem diese gemäß den vorstehend erwähnten Testergebnissen sortiert werden. Durch Wiederholen des vorstehend erwähnten Prozesses werden alle IC-Bausteine zugeführt und im Magazin 150 sortiert bzw. gespeichert.

Wie beschrieben wurde, ist die Struktur der Transport­ vorrichtungen im Fall des tablettartigen Magazins derart, daß die ICs durch Halten und Freigeben der ICs durch eine Saugwirkung horizontal transportiert werden. Im Fall des stabförmigen Magazins ist die Transportvorrichtung dagegen so aufgebaut, daß die IC-Bausteine durch ihr Eigengewicht durch Neigen des Magazins herabgleiten. Dadurch unter­ scheiden sich die beiden IC-Transportmechanismen wesentlich. Dadurch ist es für eine IC-Handhabungseinrichtung schwierig, die geeigneten Transportschritte in Verbindung mit beiden Arten von Magazinkonstruktionen durchzuführen.

Seit kurzem hat sich die Anzahl der durch die IC-Hand­ habungseinrichtung zu prüfenden Bausteinarten und -konfigu­ rationen erhöht. Beispielsweise gibt es Bausteine mit iden­ tischer Logik aber verschiedenen Konfigurationen; oder es kann erforderlich sein, daß eine IC-Handhabungseinrichtung für verschiedene Behälterkonfigurationen an der Zufuhrseite und an der Speicherseite flexibel anpaßbar sein muß; außer­ dem kann es wünschenswert sein, die ICs durch das stab­ förmige oder das tablettartige Magazin zu transportieren.

Es ist jedoch, wie vorstehend beschrieben, nicht wün­ schenswert, eine IC-Handhabungseinrichtung mit einer festge­ legten Magazinkonstruktion zu verwenden, weil dadurch die in Verbindung mit der IC-Handhabungseinrichtung verwendbaren Arten von IC-Zufuhr- und -Speicherbehältern begrenzt würde. Außerdem ist eine derartige IC-Handhabungseinrichtung mit einer festgelegten Magazinkonstruktion unpraktisch, weil sich durch deren Aufbau praktische Einschränkungen bei der Verwendung der IC-Handhabungseinrichtung ergeben.

Außerdem transportiert und handhabt eine Handhabungs­ einrichtung in Verbindung mit dem IC-Prüfgerät beim Testen von Halbleiter-ICs ein Tablett, auf dem ein zu prüfender IC- Baustein (zu prüfender Baustein oder "DUT") angeordnet ist. Die Handhabungseinrichtung führt außerdem die Zufuhr und den Prüfvorgang aus und sortiert die ICs basierend auf den Klas­ sifikationen ein und gibt die ICs aus.

Nachstehend wird ein Beispiel der Transportwege eines Magazinladeabschnitts 242, des Prüftabletts 180 und eines zu prüfenden Bausteins 215 sowie das Prüfverfahren in einer Handhabungseinrichtung 221 mit einer Temperaturkammer 235 kurz beschrieben. Wie in Fig. 6 dargestellt, wird der im Ma­ gazin im Magazinladeabschnitt 242 in der Handhabungs­ einrichtung 221 gespeicherte zu prüfende Baustein 215 durch einen Präzisionsträger 240 auf ein anderes Prüftablett 180, das hohen bzw. niedrigen Temperaturen widerstehen kann, übertragen und dort angeordnet. Nachdem das Prüftablett transportiert und entlang einer vorgegebenen Bahn bewegt wurde, wird der zu prüfende Baustein 215 in einem Prüfbe­ reich 237 geprüft. D. h., die elektrischen Kennlinien bzw. -größen des zu prüfenden Bausteins 215 werden bei einer kon­ stanten Temperatur im Prüfbereich 237 gemessen, nachdem der Baustein in der Konstanttemperaturkammer 235 angeordnet wurde, in einer Durchwärmungskammer 236 erwärmt bzw. abge­ kühlt wurde und eine konstante Temperatur erreicht hat. Dar­ aufhin wird die Temperatur des Bausteins in einer Ausgangs­ kammer 238 wieder an die Außentemperatur angeglichen.

Der bei den niedrigen bzw. hohen Temperaturen geprüfte und in der Ausgangskammer 238 wieder auf die Außentemperatur angeglichene Baustein wird zu einem Entladeabschnitt 223 transportiert, während er auf dem Prüftablett angeordnet bleibt. Der Baustein 215 wird daraufhin durch einen Sortier­ träger vom Prüftablett 180 zu einem Benutzertablett 216 oder vom Prüftablett 180 zu einem Magazinentladeabschnitt 243 be­ wegt und basierend auf den durch die Testergebnisse erhalte­ nen Klassifikationen sortiert und transportiert bzw. gespei­ chert. Eine Saugtransporteinrichtung, bei der eine Unter­ druckpumpe verwendet wird, ist vorgesehen, um den Baustein 215 zwischen dem Prüftablett 180 und dem Benutzertablett 216 zu transportieren, wobei ein oder mehrere Bausteine 215 an­ gesaugt, gehalten und zu einem anderen Tablett transportiert werden, wobei der Transport von einer zu einer anderen Posi­ tion durch Freigeben des Bausteins bzw. der Bausteine 215 abgeschlossen wird.

Nachstehend wird ein weiteres Beispiel des Transports des Benutzertabletts 216 von einem Tablettspeicherabschnitt 225 zu einem anderen Tablettspeicherabschnitt 225 unter Be­ zug auf Fig. 7 erläutert. Der Ladeabschnitt 222, der Entladeabschnitt 223 und ein Speicherabschnitt 224 für leere Tabletts weisen mehrere Bahnen, beispielsweise 10 Bahnen, auf, die aus dem Tablettspeicherabschnitt 225 und einer Hebevorrichtung 226 gebildet werden, die das im Tablettspeicherabschnitt 225 gespeicherte Benutzertablett 216 auf die Höhe einer Position C anhebt, wie durch das Be­ zugszeichen 1 dargestellt. Im Tablettspeicherabschnitt 225 des Ladeabschnitts 222 sind die Benutzertabletts 216, auf denen die zu prüfenden Bausteine 215 angeordnet sind, auf­ einander gestapelt angeordnet. Alle Bahnen sind identisch, so daß sich die Ladebahnen, die Entladebahnen und die Bahnen der Speicher für leere Tabletts nicht unterscheiden. Daher sind die mehreren Bahnen (z. B. 10 Bahnen) in einer einfachen Struktur angeordnet. Diese Bahnen werden je nach Erfordernis als Ladebahnen, Entladebahnen oder Bahnen der Speicher für leere Tabletts bezeichnet.

Beispielsweise ist, wie in Fig. 7 dargestellt, Bahn 1 dem Ladeabschnitt 222 zugeordnet, in dem die zu prüfenden Bausteine 215 geladen werden, die Bahnen 2 bis 9 sind dem Entladeabschnitt 223 zugeordnet, in denen die Bausteine 215 (d. h., die bereits geprüften Bausteine) basierend auf den sich durch die Testergebnisse ergebenden Klassifikationen sortiert und gespeichert werden. Bahn 10 ist dem Speicherab­ schnitt 224 für leere Tabletts zugeordnet, in dem die Benut­ zertabletts 216 nach Abschluß des Ladevorgangs gespeichert werden. Die jeder Funktion zugeordnete Anzahl von Bahnen än­ dert sich gemäß den besonderen Systemanforderungen. Ein Ta­ blettransportsystem 227 transportiert das Benutzertablett 216, indem dieses unter Verwendung von Haken 228 ergriffen wird. Entsprechende Öffnungen 229 auf dem Benutzertablett 216 sind vorgesehen, die mit den Haken 228 des Tablettrans­ portsystems 227 in Eingriff kommen können.

Fig. 8 zeigt den Prozeß, durch den das Tablettrans­ portsystem 227 das oberste Tablett von den mehreren gesta­ pelt angeordneten Benutzertabletts 216 im Tablettspeicherab­ schnitt 225 trennt und transportiert. Das Tablettransportsy­ stem 227 wird durch einen Antriebsmechanismus auf das Niveau bzw. die Höhe einer Position C oder B bewegt, wie in Fig. 7 dargestellt. Das Transportsystem 227 wird über die horizon­ tal angeordneten Bahnen 1 bis 10 in der Höhe der Position B horizontal bewegt, wie durch das Bezugszeichen 3 dargestellt. Durch einen Satz 230 von Tabletts werden die zwischen dem Benutzertablett 216 und dem Prüftablett 180 transportierten Bausteine 215 aufgenommen und gehandhabt. Der Satz 230 von Tabletts wird durch das Antriebssystem auf die Höhe der Position C oder A bewegt, wie durch das Bezugs­ zeichen 4 bezeichnet.

Nachstehend wird der Prozeß, durch den die zu prüfenden Bausteine 215 transportiert und auf dem Prüftablett 180 angeordnet werden, unter Bezug auf Fig. 7 beschrieben.

• 1. Anheben des obersten Benutzertabletts 216 auf eine Position C durch Drücken der gestapelt angeordneten Benutzertabletts 216 im Tablettspeicherabschnitt 225 unter Verwendung der Hebevorrichtung 226 in der Bahn 1.
• 2. Anordnen des Tablettransportsystems 227 direkt über der Bahn 1 durch horizontales Bewegen auf der Höhe der Position B.
• 3. Bewegen des Tablettransportsystems 227 nach unten auf die Höhe der Position C.
• 4. Einhaken des obersten Benutzertabletts 216 in der Bahn 1 durch Steuern des Hakens 226 des Tablettransportsy­ stems 227.
• 5. Anheben des Tablettransportsystems 227, in dem das oberste Benutzertablett 216 eingehakt ist, von der Position C zur Position B.
• 6. Bewegen des Tablettransportsystems 227, in dem das auf die Höhe der Position B angehobene Benutzertablett eingehakt ist, in der Höhe der Position B zur Bahn 3.
• 7. Feststellen des Satzes 230 von Tabletts in der Höhe der Position C im Ladeabschnitt 222.
• 8. Bewegen des an der Position B angeordneten Ta­ blettransportsystems 227 in der Bahn 3 zum obersten Ab­ schnitt des Ladeabschnitts 222.
• 9. Freigeben und Übergeben des eingehakten Benutzer­ tabletts 216 an den Tablettsatz 230 des Ladeabschnitts 222 durch Steuern der Haken 228 des Tablettransportsystems 227.
• 10. Bewegen des Tablettransportsystems 227, das das eingehakte Benutzertablett 216 freigegeben hat, in horizontaler Richtung zu Bahn 3.
• 11. Anheben des Tablettsatzes 230 des Ladeabschnitts 222, der das Benutzertablett 216 aufgenommen hat, von der Höhe der Position C zur Höhe der Position A und Abschließen der Positionierung des Benutzertabletts 216 auf dem Tablett­ satz 230 im Ladeabschnitt 222.

Anschließend wird der auf dem Benutzertablett 216 ange­ ordnete zu prüfende Baustein 215 durch eine Saugtransport­ vorrichtung, in der eine Unterdruckpumpe verwendet wird, zum Prüftablett 180 (das hohen bzw. niedrigen Temperaturen wi­ derstehen kann) in der Handhabungseinrichtung 221 transpor­ tiert und darauf angeordnet. Das Prüftablett 180, auf dem der zu prüfende Baustein 215 angeordnet ist, wird in die Temperaturkammer 235 bewegt, und die Tests werden durchge­ führt.

Das Prüftablett 180, auf dem der zu prüfende Baustein angeordnet ist, wird aus der Temperaturkammer 235 heraus zum Entladeabschnitt 223 bewegt. Im Entladeabschnitt wird das Prüftablett 180 entsprechend dem vorstehend erwähnten Ver­ fahren des Transports des Bausteins vom Benutzertablett 216 zum Prüftablett 180 zum Benutzertablett 216 transportiert und darauf angeordnet. An dieser Stelle wird der zu prüfende Baustein 215 basierend auf den Testergebnissen des Bausteins 215 in 2 bis 8 Kategorien eingestuft. Diese Einstufungen oder Klassifikationen können basierend auf den Testzielen jedes IC-Herstellers beliebig festgelegt werden.

Wenn ein IC-Hersteller lediglich einen Test zum Fest­ stellen eines Defekts durchführen möchte, sind nur zwei Klassifikationen erforderlich. Die meisten IC-Hersteller möchten jedoch ICs bezüglich mehrerer Eigenschaften prüfen, so daß die ICs typischerweise in mehr als 2 Kategorien ein­ gestuft werden. Beispielsweise werden für die Leistungsspe­ zifikation des zu prüfenden Bausteins 215 Produkte mit den besten Testdaten in Kategorie 0, Produkte mit guten Tester­ gebnissen in Kategorie 1, Produkte, die die Spezifikation gerade noch erfüllen, in Kategorie 2 und defekte Produkte in Kategorie 3 eingestuft. Die Kategorien 0 und 1 bezeichnen uneingeschränkt gute Produkte, wohingegen die Kategorien 2 und 3 entweder ein defektes Produkt oder einen Baustein bezeichnen, der erneut geprüft werden muß. Wenn 8 Kategorien oder Einstufungen verwendet werden, wird die Leistungsspezifikation in 8 Kategorien unterteilt. Dadurch ist für den Sortierprozeß eine längere Zeitdauer erforder­ lich.

Nachstehend wird der Transport der zu prüfenden Bau­ steine 215 vom Magazin des Magazinladeabschnitts 242 zum Prüftablett 180 unter Bezug auf Fig. 6 erläutert. Die zu prüfenden Bausteine 215 werden nacheinander im Magazin ge­ speichert, und es werden gleichzeitig einige in den Präzisi­ onsträger 240 geladen, indem das Magazin geneigt wird, so daß die Bausteine durch ihr Eigengewicht nach unten gleiten. Der Präzisionsträger 240 kann horizontal und in die unmit­ telbare Nähe des Prüftabletts 180 bewegt werden. Die in den Präzisionsträger 240 geladenen zu prüfenden Bausteine 215 werden durch eine Saugtransportvorrichtung, in der eine Un­ terdruckpumpe verwendet wird, zum Prüftablett 180 bewegt.

Nachstehend wird der Transport der zu prüfenden Bau­ steine 215 vom Prüftablett 180 zum Magazinentladeabschnitt 243 erläutert. Hierbei kann der Sortierträger 241 horizon­ tal und in die Nähe des Prüftabletts 180 bewegt werden. Der auf dem Prüftablett angeordnete zu prüfende Baustein 215 wird durch die Saugtransportvorrichtung, in der eine Unter­ druckpumpe verwendet wird, zum Sortierträger 241 transpor­ tiert. Der Sortierträger 241 bewegt sich zum Magazin­ ladeabschnitt 242, und der zu prüfende Baustein gleitet durch die Schwerkraft im im Magazinladeabschnitt angeordne­ ten geneigten Magazin herab und wird in einer Reihe im Ma­ gazin gespeichert.

Wie vorstehend beschrieben, können die IC-Tests unter Verwendung der IC-Prüfungshandhabungseinrichtung bei den ho­ hen bzw. niedrigen Temperaturen automatisch durchgeführt werden, indem das Magazin, in dem mehrere ICs angeordnet sind, im Magazinladeabschnitt 242 eingestellt wird, wobei die ICs beim Abschluß der Tests basierend auf der vorgegebe­ nen Einstellung einsortiert werden. Daher ist die IC- Prüfungshandhabungseinrichtung sehr praktisch. Weil IC- Prüfungshandhabungseinrichtungen jedoch sehr teuer sind, ist es wesentlich, daß durch die IC-Prüfungshandhabungseinrich­ tungen die Testzeit verkürzt wird und der Wirkungsgrad ver­ bessert wird, indem erreicht wird, daß während des Betriebs kein Eingreifen durch eine Bedienungsperson erforderlich ist.

Die DE 40 15 315 A1 betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Einbringen von Bauelementen in Ver­ tiefungen eines Gurtes. Dabei werden die Bauelemente von einem um eine Maschinenachse umlaufenden Übertragungs­ element aufgenommen, in einer teilweisen Kreisbewegung zu einer Prüfstelle transportiert und dann nach einer Drehbewegung von 180° an einer Ausgabestelle wieder ab­ gegeben.

Aus der DE 44 18 142 A1 ist eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Umsetzungen von Teilen in eine Test­ einrichtung bekannt. Dabei werden Teile von einem För­ derband aufgenommen, die Teile zum Testen in eine Test­ einrichtung befördert und dann die getesteten Teile zu­ rück auf das Band befördert. Das wird durch eine vor und zurück zwischen einer ersten und zweiten Position dreh­ bare Achse bewirkt, wobei die Achse einen ersten und zweiten Aufnahmekopf an ihrem freien Ende trägt.

Die DE 42 30 175 A1 offenbart eine Vorrichtung zur automatischen Entladung von Test- und Sortieranlagen. Die Vorrichtung weist auf: ein Mehrkanalsystem mit zahlreichen Führungskanälen, das oberhalb einer Führungsschiene an­ gebracht eine Vielzahl vor. Nockenfolgegliedern, die Steuerstifte zur Blockierung oder Freigabe des Durch­ gangs von Bauelementen auf den Führungskanälen besitzen und einzeln auf jedem der Kanäle angebracht sind; einen Arm, der auf einem entlang der Führungsschiene bewegli­ chen Schlitten montiert ist und wahlweise mit einem der Nachfolgeglieder in Kontakt kommt und eine Steuerplatte, die mit Hilfe eines Zylinderantriebs den Arm und gleich­ zeitig damit eines der Nockenfolgeglieder anhebt und ab­ senkt. Ein Behälter für die Bauelemente wird auf der Führungsschine an die Führungskanäle herangefahren und beladen.

Aus der DE 39 12 590 A1 ist ein Gerät zum Beladen und/oder Entladen von elektronischen Bauelementen auf oder von Trägern bekannt. Es ist eine Greifvorrichtung vorgesehen, die im Beladebetrieb zur Aufnahme eines Bau­ elements an einer Aufnahmestelle und zur Förderung sowie Bereithaltung des Bauelements an einer Übergabestelle dient, und es ist eine zweite Greifvorrichtung vorgese­ hen, die im Beladebetrieb zur Übernahme des Bauelements an der Übergabestelle sowie zur Förderung und Abgabe des Bauelements an ein an der Abgabestelle bereitgestellten Träger dient.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein IC- Transportsystem, das in Verbindung mit tablettartigen Maga­ zinen oder stabförmigen Magazinen verwendet werden kann, eine IC-Handhabungseinrichtung, bei der unabhängig vom Zu­ fuhrbehälter beliebige Konstruktionen von Speicherbehältern verwendet werden können sowie ein verbessertes Verfahren zum wiederholten Testen von Bausteinen zur Verwendung in ei­ ner IC-Prüfungshandhabungseinrichtung bereitzustellen.

Diese Aufgabe wird durch eine Bausteintransportvorrich­ tung und ein Verfahren zum wiederholten Testen von Bau­ steinen gemäß den Merkmalen der Patentansprüche gelöst.

Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform eines erfin­ dungsgemäßen Systems, durch das diese Aufgaben gelöst wer­ den. Um die bei herkömmlichen Vorrichtungen vorhandenen, vorstehend erwähnten Einschränkungen zu eliminieren, werden ein Zufuhrtablettransportmechanismus 174 und ein Tablett­ wechseltransportmechanismus 175 bereitgestellt, durch die das Benutzertablett 170 zum Tablettwechselabschnitt 173 transportiert und die IC-Bausteine zum Prüftablett 180 über­ tragen werden. Als zweite Zufuhrseite transportiert ein Auf­ nahmeträgerabschnitt 112 die Bausteine von einem Zu­ fuhrmagazintransportmechanismus 154 für stabförmige Magazine zum Bausteintransportabschnitt 114. Der Bausteintrans­ portabschnitt 114 transportiert die IC-Bausteine vom Aufnah­ meträgerabschnitt 112 zum Tablettwechselabschnitt 173 und daraufhin zum Prüftablett 180.

Im Aufnahmeträgerabschnitt 112 wird die geneigte Posi­ tion der Bausteine für einen weiteren Bausteintransport in eine horizontale Position umgewandelt, indem eine Einrich­ tung zum Anheben der Bausteine durch den Saugabschnitt 112a von der geneigten E-Schiene 155b vorgesehen ist, so daß die horizontal angeordneten Bausteine auf dem P-Träger 112b an­ geordnet werden.

Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform eines erfin­ dungsgemäßen Systems. Um die vorstehend erwähnten Einschränkungen zu eliminieren, wird ein Speicherta­ blettransportmechanismus 186 bereitgestellt, der die Bau­ steine vom Prüftablett 180 zum Benutzertablett 170 transpor­ tiert. Als zweite Speicherseite für die IC-Bausteine trans­ portiert ein Zufuhrmagazinspeichertransportabschnitt 120 die Bausteine vom Prüftablett 180 zum stabförmigen Magazin 150.

Durch den S-Trägerabschnitt 122 des Magazinspeicher­ transportabschnitts 120 wird veranlaßt, daß die Bausteine von einer horizontalen Position zu einer geneigten Position bewegt werden, so daß die Bausteine durch Neigen des S-Trä­ gerabschnitts 122 aufgrund der Schwerkraft von selbst glei­ ten.

Fig. 1 und Fig. 2 zeigen zusammen die dritte Ausfüh­ rungsform zum Eliminieren der vorstehend erwähnten Einschränkungen.

Um die vorstehend erwähnten Aufgaben zu lösen, werden ein Zufuhrtablettransportmechanismus 174 und ein Tablett­ wechselmechanismus 175 verwendet, um das Benutzertablett 170 zum Tablettwechselabschnitt 173 zu transportieren und die Bausteine auf das Prüftablett 180 zu übertragen. Als zweite Zufuhrseite der Bausteine transportiert der Aufnahme­ trägerabschnitt 112 die Bausteine vom Zufuhrmagazin­ transportmechanismus 154 für die stabförmigen Magazine zum Bausteintransportabschnitt 114. Als erste Speicherseite der Bausteine transportiert ein Speichertablettransport­ mechanismus 186 die Bausteine vom Prüftablett 180 zum Benut­ zertablett 170. Als zweite Speicherseite der Bausteine transportiert der Zufuhrmagazinspeichertransportabschnitt 120 die Bausteine vom Prüftablett 180 zum stabförmigen Maga­ zin 150.

Durch die vorliegende Erfindung ergeben sich die fol­ genden Vorteile.

Durch den Aufnahmeträgerabschnitt 112 wird durch Neigen des Magazins aus der horizontalen Position eine durch die Schwerkraft hervorgerufene Gleitbewegung der Bausteine er­ reicht.

Durch den Bausteintransportabschnitt 114 an der Maga­ zinseite und den Tablettwechseltransportmechanismus 175 an der Benutzertablettseite werden beide Transportmechanismen für einen weiteren Transport vereinigt, indem die Bausteine zum Prüftablett 180 transportiert und auf das Prüftablett übertragen werden.

Durch den B-Träger 122 an der Magazinseite wird durch Neigen des Magazins aus der horizontalen Position eine Gleitbewegung der Bausteine durch ihr Eigengewicht erreicht.

Durch den Magazinspeichertransportabschnitt 120 an der Magazinseite und den Speichertablettransportmechanismus 186 an der Benutzertablettseite werden die Bausteine getrennt und von den gemeinsam angeordneten Prüftabletts 180 zu je­ weils einer der Behälterspeicherseiten transportiert.

Insgesamt wird durch die vorliegende Erfindung ein IC- Transportsystem bereitgestellt, bei dem der zufuhrseitige bzw. speicherseitige Transport mit beiden Behälterkonstruk­ tionen des stabförmigen Magazins bzw. des tablettartigen Ma­ gazins flexibel durchgeführt werden kann.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist das folgende.

Beim herkömmlichen Meßverfahren werden die als gut be­ urteilten Bausteine unverändert ausgeliefert, wohingegen die beim ersten Prüfvorgang als defekt beurteilten Bausteine alle erneut geprüft werden (d. h. Tests werden allgemein ein zweites Mal durchgeführt). Dies dient dazu, letzte Defekte bei verschiedenen Prüfgegenständen festzustellen oder andere Kategorien für identische Testbedingungen festzulegen. Daher werden alle beim ersten Prüfvorgang als defekt eingestufte Bausteine gleichzeitig erneut geprüft.

Die im Magazin gespeicherten zu prüfenden Bausteine müssen mehrmals geprüft werden, wobei es wünschenswert ist, die Bausteine basierend auf den letzten Prüfergebnissen im Magazin oder auf dem Prüftablett einzusortieren und zu spei­ chern. Außerdem ist es für die Prüfvorgänge wünschenswert, kein unzulängliches Verfahren anzuwenden, durch das das Ma­ gazin beispielsweise durch das Eingreifen einer Bedie­ nungsperson vom Magazinentladeabschnitt zum Magazinladeab­ schnitt transportiert wird.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein in einer IC-Handha­ bungseinrichtung verwendbares Verfahren bereitzustellen, durch das im Magazin gespeicherte zu prüfende Bausteine ohne Eingreifen durch eine Bedienungsperson wiederholt geprüft, die Bausteine gemäß den Testergebnissen sortiert und im Ma­ gazin und im Benutzertablett gespeichert werden.

Um diese Aufgabe zu lösen, wird das erfindungsgemäße Verfahren zum wiederholten Testen der Bausteine folgen­ dermaßen ausgeführt.

Beim Prüfen der Bausteine 215 unter Verwendung der IC- Prüfungshandhabungseinrichtung und des IC-Prüfgeräts wird eine Testeinstellung (durch die beipielsweise die Anzahl der Wiederholungstests, die Klassifikation der Testergebnisse und das Speichertablett bzw. das Magazin festgelegt werden) festgelegt. Der Arbeitsablauf der Handhabungseinrichtung 221 beginnt, und die zu prüfenden Bausteine 215 werden vom Maga­ zin auf das Prüftablett 180 geladen und geprüft (204). Nachdem der Prüfvorgang 204 abgeschlossen ist, wird festgestellt, ob der IC-Baustein erneut geprüft werden muß. Wenn der IC-Bau­ stein nicht erneut geprüft werden muß, wird der IC-Baustein gemäß der entsprechende Kategorie einsortiert und gespei­ chert, wodurch der Prüfvorgang abgeschlossen ist (213). Wenn die ICs erneut geprüft werden müssen, werden alle erneut zu prüfenden Bausteine 215 im Benutzertablett 216 des Entlade­ abschnitts 223 der Wiederholungstestkategorie gespeichert (205) und unter Verwendung des Tablettransportsystems 227 zum Ladeabschnitt 222 transportiert (207). Der Arbeitsablauf der vorstehend erwähnten Handhabungseinrichtung 221 beginnt erneut (202), und der zu prüfende Baustein wird vom Benut­ zertablett 216 des Ladeabschnitts 222 zum Prüftablett 180 transportiert (203) und zum zweiten mal geprüft (204). Wenn der Wiederholungstest des zu prüfenden Bausteins abgeschlos­ sen ist, wird der Baustein 215 entsprechend der Kategorie sortiert und gespeichert, wodurch der Prüfvorgang abge­ schlossen ist (213).

Zu diesem Zeitpunkt wird das Sortieren und das Spei­ chern (212) gemäß den Kategorien für drei Fälle durchge­ führt, d. h. nur für das Magazin des Magazinentladeabschnitts 243, für das Magazin des Magazinentladeabschnitts 243 und das Benutzertablett 216 des Entladeabschnitts 223 und nur für das Benutzertablett 216 des Entladeabschnitts 223.

Beim vorstehend erwähnten Wiederholungstestverfahren kann der bereits geprüfte Baustein ohne das Eingreifen durch eine Bedienungsperson so oft wiederholt geprüft werden wie erforderlich und gemäß den Testergebnissen nur im Magazin, nur im Benutzertablett oder sowohl im Magazin als auch im Benutzertablett einsortiert und gespeichert werden.

Fig. 1 zeigt ein schematisches Diagramm des Transports des bei der ersten Ausführungsform der Erfindung verwendeten Bausteinzufuhrabschnitts;

Fig. 2 zeigt ein schematisches Diagramm des Transports des bei der ersten Ausführungsform der Erfindung verwendeten Bausteinspeicherabschnitts;

Fig. 3 zeigt ein schematisches Diagramm zum Darstellen des Aufbaus eines herkömmlichen IC-Transportsystems mit ei­ nem tablettartigen Magazin;

Fig. 4 zeigt ein schematisches Diagramm zum Darstellen des Aufbaus eines herkömmlichen IC-Transportsystems mit ei­ nem stabförmigen Magazin;

Fig. 5 zeigt ein Ablaufdiagramm zum Darstellen eines erfindungsgemäßen Verfahrens;

Fig. 6 zeigt eine Draufsicht der Handhabungseinrich­ tung, durch die das erfindungsgemäße Verfahren ausgeführt wird;

Fig. 7 zeigt eine Darstellung zum Erläutern der Ar­ beitsweise der Handhabungseinrichtung, durch die das erfin­ dungsgemäße Verfahren ausgeführt wird; und

Fig. 8 zeigt eine Darstellung zum Erläutern der Tren­ nung und des Transports nur des obersten Tabletts unter Ver­ wendung des Tablettransportsystems.

Nachstehend wird die erste Ausführungsform der Erfin­ dung unter Bezug auf die Figuren beschrieben.

Die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein IC-Transportsystem, durch das die Zufuhr- und die Speicherstruktur bereitgestellt wird, die sowohl für das ta­ blettartige Magazin als auch für das stabförmige Magazin verwendet werden. Dies wird nachstehend unter Bezug auf die Fig. 1 und 2 ausführlich beschrieben.

Zunächst wird das Transportsystem der Bausteinzufuhr­ seite beschrieben. Die Transportstruktur der Bausteinzu­ fuhrseite weist, wie in Fig. 1 dargestellt, auf: einen Ta­ blettzufuhrabschnitt 172, der ein Zufuhrabschnitt für das tablettartige Magazin ist, den Zufuhrtablettransportmecha­ nismus 174, den Tablettwechselabschnitt 173, den Ta­ blettwechseltransportmechanismus 175, das Prüftablett 180, den Prüfabschnitt 182, den Magazinzufuhrabschnitt 152, der ein Zufuhrabschnitt für das stabförmige Magazin ist, den Zu­ fuhrmagazintransportmechanismus 154, den Aufnahmeträgerab­ schnitt 112 und den Bausteintransportabschnitt 114.

Der Aufbau des IC-Transportabschnitts der Tablettmaga­ zinseite ist mit demjenigen der vorstehenden Beschreibung identisch.

Bezüglich der Struktur des Transportabschnitts der Seite des stabförmigen Magazins ist die Struktur des Trans­ ports vom Magazinzufuhrabschnitt 152 zum Zufuhrmagazin­ transportmechanismus 154 mit derjenigen der vorstehenden Be­ schreibung identisch.

Durch den Aufnahmeträgerabschnitt 112 wird der Baustein auf dem P-Träger 112b angeordnet, nachdem der Baustein durch den Saugabschnitt 112a angehoben und auf eine horizontale Position eingestellt wurde. Daraufhin wird der IC-Baustein gleitend bewegt.

Der Bausteintransportabschnitt 114 bewegt den P-Trä­ ger 112b, auf dem der Baustein angeordnet ist, seitlich un­ ter den Saugabschnitt 114a. Durch den Saugabschnitt 114a wird der Baustein durch eine Saugwirkung vom P-Träger 112b angehoben und zum Tablettwechselabschnitt 173 transportiert, wo er auf dem Prüftablett 180 angeordnet wird, woraufhin der Saugabschnitt zu seiner ursprünglichen Position zurückkehrt.

Der Tablettwechselabschnitt 173 transportiert auch den IC-Baustein von der Seite des Tablettzufuhrabschnitts 172 zum Prüftablett und ordnet den IC-Baustein auf ähnliche Weise auf dem Prüftablett 180 an. Dadurch kann der IC-Bau­ stein entweder aus dem Magazin 150 oder dem Benutzertablett 170 auf dem Tablett 180 angeordnet werden. Der Transport zum Prüfabschnitt 182 über den Tablettwechselabschnitt 173 hin­ aus ist mit bekannten Transportmechanismen identisch.

Nachstehend wird das Transportsystem der Bausteinspei­ cherseite beschrieben.

Die Transportstruktur der Bausteinspeicherseite weist, wie in Fig. 2 dargestellt, auf: ein Sortierpuffergestell 184, das eine Speicherabschnittseite für das tablettartige Magazin ist, einen Speichertablettransportmechanismus 186, einen Tablettspeicherabschnitt 189, einen Magazinspeicher­ transportabschnitt 120, der ein Speicherabschnitt für das stabförmige Magazin ist, und einen Magazinspeicherabschnitt 160.

Die Struktur der Bausteinspeicherseite der Tablettmaga­ zinseite ist mit derjenigen der vorstehenden Beschreibung identisch.

Nachstehend wird der zum Transportieren der IC-Bau­ steine unter Verwendung der Seite für das stabförmige Ma­ gazin verwendete Transportmechanismus beschrieben.

Der Magazinspeichertransportabschnitt 120 weist den Saugabschnitt 120a, den S-Träger 122, den S-Puffer 124 und den Sortierer 159 auf. Der Saugabschnitt 120a hebt den Bau­ stein durch eine Saugwirkung auf das Prüftablett 180 (das auf dem Sortierpuffergestell 184 angeordnet ist), transpor­ tiert ihn zum S-Träger 122 und ordnet den IC-Baustein auf dem S-Träger 122 an.

Der S-Träger 122 neigt den IC-Baustein von der horizon­ talen Position auf eine geneigte Position, so daß der IC- Baustein nach unten gleitet. Der IC-Baustein wird im S-Puf­ fer 124 gespeichert.

Im S-Puffer 124 sind Schienen in mehreren Reihen ange­ ordnet und mehrere Bausteine in einer einzigen Schiene ge­ speichert, wobei die Schiene als Zwischenpuffer für die Bau­ steine wirkt.

Wenn eine der Reihen des S-Puffers mit Bausteinen ge­ füllt ist, gleiten diese nach unten zum Sortierer 159 und werden dort gespeichert.

Der Sortierer 159 transportiert die Bausteine in Quer­ richtung zu einem der Klassifikation entsprechenden Magazin 150n des Magazinspeicherabschnitts 160, so daß die IC-Bau­ steine daraufhin in einem geeigneten Schlitz herabgleiten, und kehrt anschließend zur Position des S-Puffers 124 zu­ rück.

Das Sortieren und Speichern der Bausteine wird durch Wiederholen der vorstehend beschriebenen Transportschritte ausgeführt.

Wie vorstehend beschrieben, kann die erfindungsgemäße IC-Handhabungseinrichtung durch das Transportsystem an der Bausteinzufuhrseite und der Bausteinspeicherseite die Ma­ gazinkonstruktionen entweder des Benutzertabletts 170 oder des Magazins 150 verwenden und transportieren, um Bausteine zuzuführen oder zu speichern.

Bei der vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsform wurde der Fall beschrieben, bei dem durch die Struktur beide Magazinkonstruktionen der Bausteinzufuhrseite und der Bau­ steinspeicherseite verwendet werden können. Für das Trans­ portsystem kann auch eine Struktur vorgesehen sein, durch die beide Magazinkonstruktionen nur für die Bausteinzufuhr­ seite oder nur für die Bausteinspeicherseite verwendet wer­ den.

Außerdem wurde bei der vorstehenden Ausführungsform ein System beschrieben, bei dem ein Transportsystem für eine Art von Tablett- bzw. Magazinbehältern verwendet wird. Bei der Struktur des Zufuhr- bzw. Speichertransports der Bausteine können jedoch auch mehrere Systeme vorgesehen sein, durch die Tablett- und Magazinbehälter verschiedener Größen verwendet werden können.

Außerdem wurde beschrieben, daß der am Magazinspeicher­ transportabschnitt 120 angeordnete Saugabschnitt 120a eine eigene Struktur aufweist. Der Saugabschnitt 120a kann jedoch derart aufgebaut sein, daß er gemeinsam mit dem Saugab­ schnitt 186a des Speichertablettransportmechanismus 186 ver­ wendet wird.

Aufgrund der Struktur der beschriebenen ersten Ausfüh­ rungsform der erfindungsgemäßen IC-Handhabungseinrichtung ergeben sich die folgenden Vorteile.

Wie in Fig. 1 dargestellt, kann die Position der IC- Bausteine von einer horizontalen auf eine geneigte Position verändert werden, so daß die IC-Bausteine sich gleitend be­ wegen. Die IC-Bausteine können durch Ansaugen im Aufnahme­ trägerabschnitt 112 angehoben und auf dem P-Träger 112b an­ geordnet werden.

Wie in Fig. 1 dargestellt, können durch den Transport der Bausteine vom Magazin 150 zum Prüftablett 180 im Prüftablettransportabschnitt 114, während die Bausteine un­ ter Verwendung des Tablettwechseltransportmechanismus 175 vom Benutzertablett 170 zum Prüftablett 180 transportiert werden, künftige Bausteintransporte unter Verwendung des gleichen Transportmechanismus durchgeführt werden.

Wie in Fig. 2 dargestellt, gleiten, indem die auf dem S-Träger 122 angeordneten Bausteine von der horizontalen auf eine Position für eine durch das Eigengewicht verursachte Gleitbewegung geneigt werden, die IC-Bausteine aufgrund der Schwerkraft nach unten.

Wie in Fig. 2 dargestellt, kann die IC-Handhabungsein­ richtung entweder für beide Magazinkonstruktionen angepaßt sein und die Bausteine speichern, indem diese auf dem Sor­ tierpuffergestell 184 im Magazinspeicherabschnitt 160 im Ma­ gazinspeichertransportabschnitt 120 oder im Benutzertablett 170 am Speichertablettransportmechanismus 186 gespeichert werden.

Dadurch kann das IC-Handhabungssystem in Verbindung mit beiden Behälterkonstruktionen des stabförmigen Magazins und des tablettartigen Magazins verwendet werden. Außerdem kön­ nen bei der IC-Handhabungseinrichtung unabhängig vom zu­ fuhrseitigen Behälter beliebige Behälterkonstruktionen für den Speicherbehälter verwendet werden. Daher wird durch die vorliegende Erfindung ein Allzweck-IC-Transportsystem be­ reitgestellt, bei dem verschiedene Konfigurationen für den Transport bzw. die Verteilung der Bausteine verwendet werden können.

Nachstehend wird das erfindungsgemäße Verfahren unter Bezug auf Fig. 5 beschrieben.

Fig. 5 zeigt ein Ablaufdiagramm des erfindungsgemäßen Verfahrens. In Fig. 5 wird die Testeinstellung 201 festge­ legt (d. h. die Anzahl der Wiederholungstests, die Klassifi­ kation der Testergebnisse und das Speichertablett bzw. Ma­ gazin werden festgelegt). Wenn die Testeinstellung abge­ schlossen ist, beginnt der Arbeitsablauf der Handhabungseinrichtung 221, wie durch Block 202 dargestellt ist. Der im Magazin gespeicherte zu prüfende Baustein 215 wird durch den Präzisionsträger 240 auf das Prüftablett 180 geladen (203) und im Prüfbereich 237 der Temperaturkammer 235 geprüft (wie in Block 204 dargestellt) und daraufhin zum Entladeabschnitt transportiert. An dieser Stelle wird in ei­ nem Entscheidungsblock 205 festgestellt, ob der IC-Baustein erneut geprüft werden muß. Wenn der Baustein für eine maxi­ male Anzahl von Tests wiederholt geprüft wurde, wird der IC- Baustein nicht erneut geprüft. Daher wird der IC-Baustein gemäß den einzelnen Kategorien sortiert und gespeichert, wo­ durch der Prozeß abgeschlossen ist (213).

Alle gegebenenfalls erneut zu prüfenden IC-Bausteine 215 werden im Benutzertablett 216 des Entladeabschnitts 223 für einen Wiederholungstest gespeichert (wie durch Block 206 dargestellt ist). Daraufhin werden diese Bausteine durch das Tablettransportsystem 227 für einen Wiederholungstest zum Ladeabschnitt 222 transportiert.

Wenn die Vorbereitung für den Wiederholungstest abge­ schlossen ist, beginnt der Arbeitsablauf der Handhabungsein­ richtung 221 erneut (wie durch den Aktivierungsblock 202 dargestellt), wobei die auf dem Benutzertablett 216 des La­ deabschnitts 222 angeordneten zu prüfenden Bausteine 215 auf dem Prüftablett 180 angeordnet (wie durch Block 203 darge­ stellt) und daraufhin zum zweiten mal geprüft werden (wie durch Block 204 dargestellt). Der vorstehend erwähnte Ar­ beitsablauf wird wiederholt, bis der Wiederholungstestmodus abgeschlossen ist.

Die Bausteine 215, die geprüft wurden, werden gemäß den vorgegebenen Kategorien sortiert und in den den Klassifika­ tionen entsprechenden Magazinen gespeichert. Das Benut­ zertablett 216 und das Magazin können gleichzeitig verwendet werden, um die Bausteine 215 zu sortieren und zu speichern. Daher können die im Magazin angeordneten Bausteine im Ta­ blett gespeichert werden. D. h., die zum ersten mal geprüften Bausteine können ohne einen Eingriff durch eine Bedienungs­ person so oft wiederholt geprüft werden wie erforderlich, indem die Bausteine zum Prüftablett 180 und zum Benut­ zertablett 216 transportiert werden, und die Bausteine kön­ nen gemäß den Testergebnissen sortiert und nur im Magazin, nur im Benutzertablett oder sowohl im Magazin als auch im Benutzertablett gespeichert werden.

Claims (7)

1. Bausteintransportvorrichtung für eine IC-Handhabungsein­ richtung zum Transportieren von zu prüfenden IC-Baustei­ nem von einem Bausteineingabebereich zu einem Prüfbe­ reich über ein Prüftablett (180), mit:

• a) einem Tablettzuführabschnitt (172) in dem Baustein­ aufnahmebereich zum Speichern von mehreren Benut­ zertabletts (170), wobei jedes der Benutzertabletts (170) zu prüfende IC-Bausteine in einer horizontalen Ebene trägt;
• b) einem Tablettwechselabschnitt (173), um die Benut­ zertabletts (170) mit Prüftabletts (180) auszutau­ schen, wobei die Prüftabletts (180) innerhalb der IC-Handhabungseinrichtung in horizontaler Richtung umlaufen;
• c) einem Zufuhrtabletttransportmechanismus (174) zum Transportieren der Tabletts von dem Tablettzufuhrab­ schnitt (172) zu dem Tablettwechselabschnitt (173), so daß die IC-Bausteine in den Benutzertabletts (170) daraus entnommen werden und auf den Prüftabletts (180) angeordnet werden;
• d) einem Zufuhrmagazintransportmechanismus (154), der eine Abwärtsbewegung der zu prüfenden IC-Bausteine, die in stabförmigen Magazinen (150) gespeichert sind, durch die Schwerkraft erlaubt;
• e) einem Aufnahmeträgerabschnitt (112), um die IC-Bau­ steine von dem Zufuhrmagazintransportmechanismus (154) während der Abwärtsbewegung aufzunehmen, den Winkel der Bewegung der IC-Bausteine von der Ab­ wärtsbewegung zu einer Horizontalbewegung zu ändern und die IC-Bausteine auf Trägern (112b), in einer horizontalen Richtung ausgerichtet, anzuordnen; und
• f) einem Bausteintransportabschnitt (114), um die IC- Bausteine auf dem Träger zu dem Tablettwechselab­ schnitt (173) zu transportieren und auf den Prüftabletts (180) anzuordnen.

2. Bausteintransportvorrichtung für eine IC-Handhabungsein­ richtung zum Transportieren von zu prüfenden IC-Baustei­ nen von einem Prüfbereich zu einem Speicherbereich in der IC-Handhabungseinrichtung, mit:

• a) mehreren Prüftabletts (180), die von dem Prüfbereich transportiert werden, wobei jedes Prüftablett (180) zu prüfende IC-Bausteine in einer horizontalen Ebene aufweist;
• b) einem Speichertabletttransportmechanismus (186) zum Transportieren der IC-Bausteine auf dem Prüftablett (180) zu einem Benutzertablett (170) entsprechend den Prüfergebnissen;
• c) einem Magazinspeicherabschnitt (160) mit mehreren stabförmigen Magazinen (150), wobei die Magazine (150) mindestens teilweise in vertikaler Richtung ausgerichtet sind, um eine Abwärtsbewegung der IC- Bausteine in den Magazinen durch die Schwerkraft zu erlauben; und
• d) einem Magazinspeichertransportabschnitt (120) zum Transportieren der IC-Bausteine auf dem Prüftablett (180) zu den stabförmigen Magazinen (150) entspre­ chend den Prüfergebnissen, wobei der Magazinspei­ chertransportabschnitt (120) einen Träger (122) auf­ weist, zum Aufnehmen jedes der IC-Bausteine auf einem Platz in einer horizontalen Ebene und zum Dre­ hen dieses Platzes, so daß der IC-Baustein in das Magazin in einer Abwärtsbewegung, verursacht durch die Schwerkraft, gleitet.

3. Bausteintransportvorrichtung für eine IC-Handhabungsein­ richtung zum Transportieren von zu prüfenden IC-Baustei­ nen von einem Bausteinaufnahmebereich zu einem Prüfbe­ reich über ein Prüftablett (180) und von den Prüfbereich zu einem Speicherbereich, mit:

• a) einem Tablettzuführabschnitt (172) in dem Baustein­ aufnahmebereich zum Speichern von mehreren Benut­ zertabletts (170), wobei jedes der Benutzertabletts (170) zu prüfende IC-Bausteine in einer horizontalen Ebene trägt;
• b) einem Tablettwechselabschnitt (173), um die Benut­ zertabletts (170) mit den Prüftabletts (180) auszu­ tauschen, wobei die Prüftabletts (180) in der IC- Handhabungseinrichtung in einer horizontalen Rich­ tung umlaufen;
• c) einem Zufuhrtabletttransportmechanismus (174) zum Transportieren der Benutzertabletts (170) von dem Tablettzufuhrabschnitt (172) zu dem Tablettwechsel­ abschnitt (173), so daß die IC-Bausteine in den Be­ nutzertabletts (170) daraus entnommen werden und auf den Prüftabletts (180) angeordnet werden;
• d) einem Zufuhrmagazintransportmechanismus (154), um eine Abwärtsbewegung der zu prüfenden IC-Bausteine, die in stabförmigen Magazinen (150) gespeichert sind, durch die Schwerkraft zu erlauben;
• e) einem Aufnahmeträgerabschnitt (112) zum Aufnehmen der IC-Bausteine von dem Zufuhrmagazintransport­ mechanismus (154) während der Abwärtsbewegung und Ändern eines Winkels der Bewegung der IC-Bausteine von der Abwärtsbewegung zu einer Horizontalbewegung und zum Anordnen der IC-Bausteine auf Trägern (112b), die in einer horizontalen Richtung ausgerichtet sind;
• f) einem Bausteintransportabschnitt (114) zum Transpor­ tieren der IC-Bausteine auf dem Träger zu dem Ta­ blettwechselabschnitt (173) und Anordnen der IC-Bau­ steine auf den Prüftabletts (180), wobei die Prüftabletts (180) geprüfte IC-Bausteine zu dem Speicherbereich der IC-Handhabungseinrichtung füh­ ren;
• g) einem Speichertabletttransportmechanismus (186) zum Transportieren der IC-Bausteine auf dem Prüftablett (180) zu einem Benutzertablett (170) in dem Speicherbereich entsprechend den Prüfergebnissen;
• h) einem Magazinspeicherabschnitt (160) mit mehreren stabförmigen Magazinen (150), wobei die Magazine mindestens teilweise in einer vertikalen Richtung ausgerichtet sind, um eine Abwärtsbewegung der IC- Bausteine in ihnen durch die Schwerkraft zu erlau­ ben; und
• i) einem Magazinspeichertransportabschnitt (120) zum Transportieren der IC-Bausteine auf dem Prüftablett (180) zu dem stabförmigen Magazin (150) entsprechend den Prüfergebnissen, wobei der Magazinspeichertrans­ portabschnitt (120) einen Träger (122) aufweist, zum Aufnehmen von geprüften IC-Bausteinen auf einem Platz in einer horizontalen Ebene und zum Drehen dieses Platzes, so daß die IC-Bausteine in das Maga­ zin durch die Abwärtsbewegung, verursacht durch die Schwerkraft, gleiten.

4. Verfahren zum wiederholten Prüfen von Bausteinen in einer IC-Prüfungshandhabungseinrichtung (221), mit den Schritten:

• a) Einstellen von Testparametern (201) zum Festlegen der Anzahl von Wiederholungsprüfungen, einer Klassi­ fikation von Prüfungsergebnissen und eines Spei­ chertabletts/Magazins;
• b) Laden (203) von stabförmigen Magazinen (150), die zu prüfende IC-Bausteine enthalten, in einem Aufnahme­ abschnitt (222),
• c) Ändern der Abwärtsbewegung der IC-Bausteine in den stabförmigen Magazinen (150) in eine horizontale Be­ wegung und Anordnung der zu prüfenden IC-Bausteine auf ein Prüftablett (180);
• d) Durchführen von Prüfungen für die IC-Bausteine auf den Prüftabletts (180) in einem Prüfbereich der IC- Handhabungseinrichtung;
• e) Beurteilen, ob ein Wiederholungsprüfungsmodus ent­ sprechend den Ergebnissen der Prüfung durchgeführt werden muß oder nicht;
• f) Sortieren und Speichern (212) der IC-Bausteine be­ züglich jeder Kategorie und Vollenden (213) des Ar­ beitsablaufes, wenn der Wiederholungsprüfungsmodus durchgeführt wird;
• g) Transportieren (206) der IC-Bausteine (215), die wiederholt geprüft werden sollen, von den Prüftabletts zu den Benutzertabletts (216) in einen Entladeabschnitt (223) durch eine horizontale Bewe­ gung der IC-Bausteine, wenn der Wiederholungsprü­ fungsmodus nicht durchgeführt wird.
• h) Transportieren (207) der Benutzertabletts zu dem Aufnahmeabschnitt (222) mittels eines Tabletttrans­ portsystems (227),
• i) Laden (203) der IC-Bausteine (215), die wiederholt geprüft werden sollen von den Benutzertabletts (216) in dem Aufnahmeabschnitt (222) auf die Prüftabletts (180) durch eine horizontale Bewegung der IC-Bau­ steine; und
• j) Beenden (213) der Prüfung für die IC-Bausteine (215) durch Sortieren und Speichern nach der Kategorie entsprechend den Prüfungsergebnissen, wenn der Wie­ derholungsprüfungsmodus vollendet ist.

5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei das Sortieren und Spei­ chern (12) für die Kategorieschritte nur für stabförmige Magazine in einem Magazinentladeabschnitt (243) durchge­ führt wird, der die IC-Bausteine über eine Abwärtsbewe­ gung der IC-Bausteine empfängt.

6. Verfahren nach Anspruch 4, wobei das Sortieren und Spei­ chern (212) für die Kategorieschritte sowohl für stab­ förmige Magazine eines Magazinentladeabschnitts (243), der die IC-Bausteine über eine Abwärtsbewegung der IC- Bausteine empfängt, als auch für Benutzertabletts (216) eines Entladeabschnitts (223), der die IC-Bausteine über eine horizontale Bewegung der IC-Bausteine empfängt, ausgeführt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 4, wobei das Sortieren und Spei­ chern (212) für die Kategorieschritte nur für die Benut­ zertabletts (216) des Entladeabschnitts (223) ausgeführt wird, der die IC-Bausteine über eine horizontale Bewe­ gung der IC-Bausteine empfängt.