JPH0815373A

JPH0815373A - Ｉｃハンドラ用デバイス搬送装置

Info

Publication number: JPH0815373A
Application number: JP6171911A
Authority: JP
Inventors: Hiroto Nakamura; 浩人中村; Yoshihito Kobayashi; 義仁小林
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1994-06-30
Filing date: 1994-06-30
Publication date: 1996-01-19

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、棒状型容器あるいはトレイ型容器
の両方の容器形態に適用可能なＩＣ搬送装置を実現し、
かつ、供給側容器とは無関係に、収納側容器を任意の容
器形態が使用できる自由度のあるＩＣハンドラ搬送装置
を実現することを目的とする。【構成】第１のデバイスの供給側として、ユーザート
レイ７０をテストトレイ８０に搬送して乗せ変えるトレ
イ供給部７２と供給トレイ搬送機構７４とトレイ変換搬
送機構７５を設け、第２のデバイスの供給側として、棒
状型容器５０をテストトレイ８０に搬送して乗せ変える
マガジン供給部５２と供給マガジン搬送機構５４とピッ
クキャリア部１２とテストトレイ搬送部１４を設ける構
成手段。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ試験用のハンド
ラの搬送装置において、２種類のＩＣ収納容器である、
トレイ型容器と棒状型容器（マガジン）の両方に対応し
たＩＣ搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ試験用のハンドラに使用するＩＣ収
納容器は、トレイ型容器と棒状型容器の２種類があっ
て、何れかの形態に対応したＩＣハンドラ装置が使用さ
れている。従来技術のトレイ型容器と棒状型容器のＩＣ
搬送装置の例について、図３と図４を参照して説明す
る。

【０００３】第１にトレイ型容器形態によるＩＣ搬送装
置の搬送構成は、図３に示すように、ユーザートレイ７
０と、トレイ供給部７２と、供給トレイ搬送機構７４
と、トレイ変換部７３と、トレイ変換搬送機構７５と、
テストトレイ８０と、テスト部８２と、分類バッファ台
８４と、収納トレイ搬送機構８６と、トレイ収納部８９
とで構成している。これについて搬送概要を説明する。

【０００４】ユーザートレイ７０は、皿形状の容器で、
多数のデバイス収納用のくぼみ状のポケットが縦横に配
列形成されていて、デバイスは、このポケットに収納さ
れた状態にある。このユーザートレイ７０は、複数個が
多段積層された状態でトレイ供給部７２に収納されてい
る。供給トレイ搬送機構７４は、前記多段積層されてい
るユーザートレイ７０の最上段から搬送アームによりユ
ーザートレイ７０を支持し持ち上げた後、搬送してトレ
イ変換部７３に置く。

【０００５】トレイ変換搬送機構７５は、トレイ変換部
７３に置かれたユーザートレイ７０からデバイスをテス
トトレイ８０側に移し変えを行う。即ち、トレイ変換部
７３にあるユーザートレイ７０から、１個あるいは複数
個単位でデバイスを吸着部７５ａで吸着して持ち上げ、
テストトレイ８０側に移動した後、テストトレイ８０上
の指定の位置にデバイスを置く。これを複数実施して、
デバイスの移し変え作業を終了する。デバイスを収容し
たテストトレイ８０は、テスト部８２に搬送されて、こ
こで所望によりデバイスの温度を一定に加温／冷却した
後、電気試験を実施した後、テストトレイ８０に収容さ
れて分類バッファ台８４側に排出されてくる。

【０００６】収納トレイ搬送機構８６は、分類バッファ
台８４にあるテストトレイ８０上のデバイスを、吸着部
８６ａで吸着して持ち上げ搬送し、デバイスの良否や特
性別の検査結果に応じた分類先の、収納用のユーザート
レイ７０ｎ位置迄搬送移動した後、デバイスをトレイに
格納するものである。トレイ収納部８９は、前記分類に
対応して複数のユーザートレイ７０を配置しておき、上
記収納トレイ搬送機構８６からのデバイスを収納する。
上記動作の繰り返しにより、ユーザートレイ７０による
デバイスの供給と、分類収納を実施している。

【０００７】第２に、マガジン（Magazine）容器形態に
よるＩＣ搬送装置の搬送構成は、図４に示すように、マ
ガジン５０と、マガジン供給部５２と、供給マガジン搬
送機構５４と、テスト部５６と、収納マガジン搬送機構
５８と、マガジン収容部６０とで構成している。このタ
イプのＩＣハンドラは、自重落下方式のハンドラであ
り、主にデバイスの面で滑走落下させる搬送形態であ
る。これについて搬送概要を説明する。マガジン５０
は、ＩＣを１列に収容する棒状の容器であり、デバイス
の大きさや形状（ＤＩＰ、ＺＩＰ、ＳＯＰ）毎に異なる
容器となっている。このマガジン５０は、多数本がマガ
ジン供給部５２に収容されている。

【０００８】供給マガジン搬送機構５４は、マガジン供
給部５２から１本のマガジン５０の一端を支持し他端を
持ち上げて回転させることにより、マガジン５０ａを傾
斜させる。デバイスは、この傾斜角による自重によって
マガジン５０ａ内からＩレール５５ａ部で１個づつ分離
されて、ＥＲレール５５ｂに収容される。ＥＲレール５
５ｂは、複数個を収容するレールが配列形成されてい
て、ＥＲレール５５ｂを単位ピッチ横移動させて前記Ｉ
レール５５ａから１個づつ収容する。収容後のＥＲレー
ル５５ｂは、横移動させて、複数列のＳレール５５ｃに
位置合わせした後、このＳレール５５ｃに滑走排出す
る。Ｓレール５５ｃは、このＳレール５５ｃ上に溜った
デバイスを、順次滑走移動させていき、テスト部５６側
に供給する。また、このＳレール５５ｃ上では、所望に
よりデバイスの温度を一定に加温／冷却する為のバッフ
ァとしても機能する。

【０００９】テスト部５６は、Ｓレール５５ｃからのデ
バイスを受けて、デバイスを電気接触（コンタクト）さ
せて良否検査、特性測定等の電気試験を実施し、その
後、収納マガジン搬送機構５８側に排出する。

【００１０】収納マガジン搬送機構５８は、テスト部５
６からのデバイスを受け取り、検査結果に応じた良否や
特性別に分類して、複数列有する収納用のマガジン５０
ｎの分類に対応したマガジン５０ｂに収容するものであ
る。この為にソータ５９は、デバイスを受け取り、横移
動して対応する列のマガジン５０ｎ迄搬送し、傾斜状態
にある収納用マガジン５０ｂに、滑走収容する。マガジ
ン収容部６０は、複数列を有するデバイス収納用のマガ
ジン５０ｎがあり、前記検査結果に対応したデバイスに
分類して収容する。上記動作の繰り返しにより、マガジ
ン５０によるデバイスの供給と、分類収納を実施してい
る。

【００１１】上記説明のように、トレイ型容器の場合で
は、デバイスを吸着／開放して水平搬送する搬送装置構
造であり、他方、棒状型容器の場合では、容器を傾斜さ
せて行う自重落下による搬送装置構造である。この為、
両者のＩＣ搬送構造が大きく異なり、２種類の形態の容
器を同一のＩＣハンドラで搬送機構を共通化することが
難しい構造となっている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】近年、ＩＣハンドラで
試験するデバイスの種類／形状及び輸送形態は多様化し
ており、同一論理ＩＣでありながら外形のみが異なるデ
バイスがあったり、あるいは、供給側の容器と収容側の
容器の形態を、必要により柔軟に対応したいという必要
性があったり、あるいは、流通形態によっては、棒状型
容器あるいはトレイ型容器の何れにも対応して輸送した
い場合等がある。しかし、上記説明のように、固定的な
一方のみの容器形態のＩＣハンドラでは、ＩＣ供給／収
納容器の制限を招き好ましくない。また、ＩＣハンドラ
の利用上の制限となってしまう場合が発生していて実用
上の不便であった。

【００１３】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、棒状型容器あるいはトレイ型容器の両方の容器形態
に適用可能なＩＣ搬送装置を実現し、かつ、供給側容器
とは無関係に、収納側容器を任意の容器形態が使用でき
る自由度のあるＩＣハンドラ搬送装置を実現することを
目的とする。

【００１４】

【課題を解決する為の手段】第１図は、本発明による第
１の解決手段を示している。上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、第１のデバイスの供給側とし
て、ユーザートレイ７０をトレイ変換部７３に搬送し
て、デバイスをテストトレイ８０に乗せ変える供給トレ
イ搬送機構７４とトレイ変換搬送機構７５を設け、第２
のデバイスの供給側として、棒状型容器５０を搬送する
供給マガジン搬送機構５４からテストトレイ搬送部１４
にデバイスを搬送するピックキャリア部１２を設け、ピ
ックキャリア部１２からトレイ変換部７３にデバイスを
搬送してテストトレイ８０に搬送するテストトレイ搬送
部１４を設ける構成手段にする。ピックキャリア部１２
は、Ｅレール５５ｂ上にある傾斜したデバイスを吸着部
１２ａで吸着して角度変換して水平状態にした後、Ｐキ
ャリア１２ｂに置く手段にすることで、以後のデバイス
搬送を水平搬送手段に変換している。

【００１５】第２図は、本発明による第２の解決手段を
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、第１のデバイスの収納側として、テストトレイ８
０からユーザートレイ７０にデバイスを搬送する収納ト
レイ搬送機構８６を設け、第２のデバイスの収納側とし
て、テストトレイ８０から棒状型容器５０にデバイスを
搬送するマガジン収納搬送部２０を設ける構成手段にす
る。マガジン収納搬送部２０のＳキャリア２２は、水平
搬送状態から、このＳキャリア２２の一端を持ち上げ傾
斜させることで、デバイスを自重滑走搬送に変換してい
る。

【００１６】第１図と第２図は、本発明による第３の解
決手段を示している。上記課題を解決するために、本発
明の構成では、第１のデバイスの供給側として、ユーザ
ートレイ７０をトレイ変換部７３に搬送して、デバイス
をテストトレイ８０に乗せ変える供給トレイ搬送機構７
４とトレイ変換搬送機構７５を設け、第２のデバイスの
供給側として、棒状型容器５０を搬送する供給マガジン
搬送機構５４からテストトレイ搬送部１４にデバイスを
搬送するピックキャリア部１２を設ける。そして、第１
のデバイスの収納側として、テストトレイ８０からユー
ザートレイ７０にデバイスを搬送する収納トレイ搬送機
構８６を設け、第２のデバイスの収納側として、テスト
トレイ８０から棒状型容器５０にデバイスを搬送するマ
ガジン収納搬送部２０を設ける構成手段にする。

【００１７】

【作用】ピックキャリア部１２は、傾斜による自重落下
による滑走搬送から、水平搬送に手段に変換する作用が
ある。マガジン側のテストトレイ搬送部１４と、ユーザ
ートレイ側のトレイ変換搬送機構７５は、両方からのデ
バイスをテストトレイ８０に搬送し乗せ変えることによ
り、以後のデバイス搬送を、共通の搬送機構化する作用
がある。マガジン側のＳキャリア２２は、水平搬送から
デバイス傾斜による自重落下による滑走搬送に変換する
作用がある。マガジン側のマガジン収納搬送部２０と、
ユーザートレイ側の収納トレイ搬送機構８６は、共通の
テストトレイ８０から両方の容器収納側に分離搬送する
作用がある。全体では、棒状型容器あるいはトレイ型容
器の両方の容器形態の供給／収納搬送に柔軟に対応可能
なＩＣ搬送装置を実現できる役割がある。

【００１８】

【実施例】本発明の実施例は、トレイ型容器と棒状型容
器の両用の供給と収納構造を実現したＩＣ搬送装置であ
る。これについて、図１と図２を参照して説明する。

【００１９】まず、デバイス供給側の搬送装置について
説明する。デバイス供給側の搬送構成は、図１に示すよ
うに、トレイ型容器に対応した供給部であるトレイ供給
部７２と、供給トレイ搬送機構７４と、トレイ変換部７
３と、トレイ変換搬送機構７５と、テストトレイ８０
と、テスト部８２と、棒状型容器に対応した供給部であ
るマガジン供給部５２と、供給マガジン搬送機構５４
と、ピックキャリア部１２と、テストトレイ搬送部１４
とで構成している。

【００２０】トレイ型容器側のＩＣ搬送構造は、従来説
明と同様である。棒状型容器側のＩＣ搬送構造におい
て、マガジン供給部５２から供給マガジン搬送機構５４
迄の搬送構造も、従来説明と同様である。ピックキャリ
ア部１２は、Ｅレール５５ｂ上にあるデバイスを吸着部
１２ａで吸着して角度変換して水平状態にした後、Ｐキ
ャリア１２ｂに置く。以後デバイスの搬送は、自重落下
による滑走搬送から、水平搬送手段になる。テストトレ
イ搬送部１４は、デバイスを収容しているＰキャリア１
２ｂを横移動して吸着部１４ａ直下に移動する。吸着部
１４ａは、このＰキャリア１２ｂからデバイスを吸着し
て持ち上げトレイ変換部７３まで搬送し、テストトレイ
８０にデバイスを置いて戻る。トレイ変換部７３は、従
来のトレイ供給部７２側からのデバイスも、従来と同様
にして搬送してテストトレイ８０に置かれる。この結
果、マガジン５０、あるいはユーザートレイ７０から任
意にテストトレイ８０に置くことができることとなる。
トレイ変換部７３以後のテスト部８２への搬送は、従来
の搬送機構と同様である。

【００２１】次に、デバイス収納側の搬送装置について
説明する。デバイス収納側の搬送構成は、図２に示すよ
うに、トレイ型容器に対応した収納部側である分類バッ
ファ台８４と、収納トレイ搬送機構８６と、トレイ収納
部８９と、棒状型容器に対応した収納部側であるマガジ
ン収納搬送部２０と、マガジン収容部６０とで構成して
いる。

【００２２】トレイ型容器側のデバイス収納側の構成
は、従来説明と同様である。棒状型容器側のデバイス搬
送を説明する。マガジン収納搬送部２０は、吸着部２０
ａと、Ｓキャリア２２と、Ｓバッファ２４と、ソータ５
９とで構成している。吸着部２０ａは、分類バッファ台
８４にあるテストトレイ８０上のデバイスを吸着して持
ち上げＳキャリア２２まで搬送し、Ｓキャリア２２上に
置く。Ｓキャリア２２は、ここで、水平搬送からデバイ
スの自重落下による滑走搬送に変換するものである。Ｓ
キャリア２２上に置かれたデバイスは、Ｓキャリア２２
の一端を持ち上げて傾斜させてＳバッファ２４に滑走収
容させる。Ｓバッファ２４は、複数列レールが形成され
ていて、１つのレールには複数個のデバイスを収容す
る。ここではデバイスの一時的バッファとして機能す
る。Ｓバッファ２４の何れかの１列がデバイスで満たさ
れるとソータ５９側に滑走収容する。ソータ５９は、こ
のデバイスをマガジン収容部６０の分類別に対応したマ
ガジン５０ｎ迄横移動した後、滑走収納した後、Ｓバッ
ファ２４の位置に戻る。上記搬送動作の繰り返しによ
り、デバイスの分類収納を実施している。

【００２３】上記説明のように、デバイス供給側、及び
デバイス収納側の搬送装置を構成することで、ユーザー
トレイ７０、マガジン５０の何れの容器形態に対しても
柔軟に対応して供給／収納搬送することができる。

【００２４】上記実施例では、デバイス供給側とデバイ
ス収納側の両方の容器形態に対応する構造を設けた場合
で説明したが、必要によりデバイス供給側のみ、あるい
はデバイス収納側の一方のみを両方の容器形態に対応す
る構造とした搬送装置を構成しても良い。また、上記実
施例では、１種類のトレイ／マガジン容器に対して１系
統の搬送装置を設けた場合で説明したが、トレイやマガ
ジン容器の大きさ等の違いに対応して複数系統を設ける
供給／収納構成としても良く、同様にして実施できる。
また、マガジン収納搬送部２０にある吸着部２０ａは、
新たに設けた構成で説明したが、収納トレイ搬送機構８
６の吸着部８６ａと共用する様に構成しても良く、同様
にして実施できる。

【００２５】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。図
１に示すように、ピックキャリア部１２で、傾斜状態の
デバイスを吸着し、Ｐキャリア１２ｂに置くことによ
り、デバイスの自重落下による滑走搬送から、水平搬送
に変換する効果がある。図１に示すように、テストトレ
イ搬送部１４で、マガジン５０からのデバイスをテスト
トレイ８０に搬送し、他方トレイ変換搬送機構７５で、
ユーザートレイ７０からのデバイスをテストトレイ８０
に搬送することにより、以後のデバイス搬送は、共通し
た搬送機構で利用できる効果がある。

【００２６】図２に示すように、Ｓキャリア２２を傾斜
させて、水平搬送からデバイスの自重落下による滑走搬
送に変換することにより、Ｓキャリア２２上に置かれた
デバイスは、水平搬送から、デバイスの自重落下による
滑走搬送に変換する効果がある。図２に示すように、分
類バッファ台８４のデバイスを、マガジン収納搬送部２
０でマガジン収容部６０に収納し、他方、収納トレイ搬
送機構８６でユーザートレイ７０に収納することで、何
れの容器形態に対しても柔軟に対応してデバイスを収容
できる効果がある。この結果、棒状型容器あるいはトレ
イ型容器の両方の容器形態に適用可能なＩＣ搬送装置を
実現でき、また、供給側容器形態とは無関係に、収納側
容器を何れの容器形態にも収納可能な自由度のあるＩＣ
ハンドラ搬送装置を実現できる効果があり、デバイスの
輸送／流通形態に対応した汎用性のあるＩＣ搬送装置を
構成することができた。

【００２７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の、トレイ型容器に対応したデバイス供
給部と、棒状型容器の両方に対応したデバイス供給部の
搬送構成図である。

【図２】本発明の、トレイ型容器に対応したデバイス収
納部と、棒状型容器の両方に対応したデバイス収納部の
搬送構成図である。

【図３】従来のトレイ型容器によるＩＣ搬送装置の搬送
概念図を説明する構成図である。

【図４】従来の棒状型容器によるＩＣ搬送装置の搬送概
念図を説明する構成図である。

【符号の説明】

１２ピックキャリア部１２ａ、７５ａ、８６ａ、１４ａ、２０ａ吸着
部１２ｂＰキャリア１４テストトレイ搬送部２０マガジン収納搬送部２２Ｓキャリア２４Ｓバッファ５０、５０ａ、５０ｎ、５０ｂ（棒状型容器）
マガジン５２マガジン供給部５４供給マガジン搬送機構５５ａＩレール５５ｂＥレール（ＥＲレール）５５ｃＳレール５６、８２テスト部５８収納マガジン搬送機構５９ソータ６０マガジン収容部７０、７０ｎユーザートレイ７２トレイ供給部７３トレイ変換部７４供給トレイ搬送機構７５トレイ変換搬送機構８０テストトレイ８４分類バッファ台８６収納トレイ搬送機構８９トレイ収納部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ユーザー側のデバイス収納用容器から被
搬送デバイスをＩＣハンドラ内部搬送用のテストトレイ
（８０）に供給するＩＣハンドラ用デバイス搬送装置に
おいて、第１のデバイスの供給側として、ユーザートレイ（７
０）をトレイ変換部（７３）に搬送して、デバイスをテ
ストトレイ（８０）に乗せ変える供給トレイ搬送機構
（７４）とトレイ変換搬送機構（７５）を設け、第２のデバイスの供給側として、棒状型容器（５０）を
搬送する供給マガジン搬送機構（５４）からテストトレ
イ搬送部１４にデバイスを搬送するピックキャリア部
（１２）を設け、当該ピックキャリア部（１２）からトレイ変換部（７
３）にデバイスを搬送してテストトレイ（８０）に搬送
するテストトレイ搬送部（１４）を設け、以上を具備していることを特徴としたＩＣハンドラ用デ
バイス搬送装置。
【請求項２】ＩＣハンドラ内部搬送用のテストトレイ
（８０）から被搬送デバイスを搬送してユーザー側のデ
バイス収納用容器に収納するＩＣハンドラ用デバイス搬
送装置において、第１のデバイスの収納側として、テストトレイ（８０）
からユーザートレイ（７０）にデバイスを搬送する収納
トレイ搬送機構（８６）を設け、第２のデバイスの収納側として、テストトレイ（８０）
から棒状型容器（５０）にデバイスを搬送するマガジン
収納搬送部（２０）を設け、以上を具備していることを特徴としたＩＣハンドラ用デ
バイス搬送装置。
【請求項３】ユーザー側のデバイス収納用容器から被
搬送デバイスをＩＣハンドラ内部搬送用のテストトレイ
（８０）に供給し、また、ＩＣハンドラ内部搬送用のテ
ストトレイ（８０）から被搬送デバイスを搬送してユー
ザー側のデバイス収納用容器に収納するＩＣハンドラ用
デバイス搬送装置において、第１のデバイスの供給側として、ユーザートレイ（７
０）をトレイ変換部（７３）に搬送して、デバイスをテ
ストトレイ（８０）に乗せ変える供給トレイ搬送機構
（７４）とトレイ変換搬送機構（７５）を設け、第２のデバイスの供給側として、棒状型容器（５０）を
搬送する供給マガジン搬送機構（５４）からテストトレ
イ搬送部１４にデバイスを搬送するピックキャリア部
（１２）を設け、第１のデバイスの収納側として、テストトレイ（８０）
からユーザートレイ（７０）にデバイスを搬送する収納
トレイ搬送機構（８６）を設け、第２のデバイスの収納側として、テストトレイ（８０）
から棒状型容器（５０）にデバイスを搬送するマガジン
収納搬送部（２０）を設け、以上を具備していることを特徴としたＩＣハンドラ用デ
バイス搬送装置。