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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Halbleiterbauelement-Testgerät, das zum
Testen von einem oder mehreren Halbleiterbauelementen, insbesondere
von einem oder mehreren, typische Beispiele für Halbleiterbauelemente darstellenden, integrierten
Halbleiterschaltungselementen (im folgenden auch als IC oder ICs
bezeichnet) geeignet ist. Insbesondere bezieht sich die vorliegende
Erfindung auf ein Halbleiterbauelement-Testgerät, das mit einer Halbleiterbauelement-Transport-
und Bearbeitungs- oder Handhabungseinrichtung einer Ausführungsform
versehen ist, die dazu ausgelegt ist, zu testende Halbleiterbauelemente
für den
Test zu einem Testabschnitt zu transportieren, in dem sie mit einem
Testkopf (eine zum Anlegen und Aufnehmen von verschiedenen elektrischen,
für den
Test erzeugten Signalen dienende Komponente des Testgeräts) in elektrischen
Kontakt gebracht werden, um hierdurch den elektrischen Test der
Halbleiterbauelemente durchzuführen,
wonach sie die getesteten Halbleiterbauelemente aus dem Testabschnitt
heraustransportiert und die getesteten Halbleiterbauelemente dann
in auslegungskonforme oder akzeptable bzw. fehlerfreie Bauteile
und nicht-auslegungskonforme oder fehlerhafte Bauteile in Abhängigkeit
von den Testergebnissen sortiert.
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Viele
der (üblicherweise
als Testabschnitt bezeichneten) elektrischen Abschnitte eines Halbleiterbauelement-Testgeräts, die
zum Anlegen eines Testsignals mit einem vorbestimmten Muster an
ein zu testendes Halbleiterbauelement, das heißt eine im Test befindliche
Einrichtung (üblicherweise
auch als DUT bezeichnet), und zum Messen der elektrischen Eigenschaften
der Bauelemente dienen, weisen eine mit ihnen verbundene Halbleiterbauelement-Transport-
und Handhabungs- oder Bearbeitungseinrichtung (üblicherweise auch als Handhabungseinrichtung
bezeichnet) auf, die die Halbleiterbauelemente zu einem Testabschnitt
transportiert, die Bauelemente mit einem Testkopf in dem Testabschnitt
in elektrischen Kontakt bringt, die getesteten Halbleiterbauelemente
nach dem Abschluß des
Testvorgangs aus dem Testabschnitt herausfördert, und die Bauelemente
in Abhängigkeit
von den Testergebnissen in akzeptable Bauteile und fehlerhafte Bauteile
sortiert. In der nachfolgenden Offenbarung wird die vorliegende
Erfindung unter Bezugnahme auf ICs, die typische Beispiele für Halbleiterbauelemente
darstellen, zum Zwecke der Erläuterung
beschrieben.
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Im
folgenden wird zunächst
unter Bezugnahme auf die
9 und
10 der allgemeine Aufbau
eines herkömmlichen
IC-Testgeräts
beschrieben, das mit einer an ihm angebrachten Handhabungseinrichtung versehen
ist, die als "horizontales
Transportsystem" bzw. "Horizontal-Transportsystem" bezeichnet wird (
US 5,307,01 1 ). Das dargestellte
IC-Testgerät
weist einen Kammerabschnitt
100 zum Testen von ICs wie etwa
von Halbleiterspeichern, die auf einem Test-Tablett TST aufgebracht sind und auf
dem Test-Tablett TST transportiert werden, einen IC-Speicherabschnitt
oder IC-Lagerabschnitt
200, in dem ICs, die einem Test
zu unterziehen sind (das heißt
zu testende ICs) aussortiert werden und die getesteten ICs aussortiert
und an bestimmter Stelle gelagert werden, einen Belade- bzw. Beschickungsabschnitt
300, bei
dem die zu testenden ICs, die ein Benutzer zuvor auf ein für allgemeinen
Einsatz dienendes Tablett (Kunden-Tablett) KST aufgebracht hat,
zu einem Test-Tablett TST, das hohen und/oder niedrigen Temperaturen
widerstehen kann, übertragen
und auf dieses umgesetzt werden, und einen Entladeabschnitt
400 auf,
bei dem die getesteten ICs, die auf dem Test-Tablett TST aus dem
Kammerabschnitt
100 heraustransportiert wurden, nachdem
sie einem Test in der Testkammer bzw. dem Kammerabschnitt
100 unterzogen
wurden, von dem Test-Tablett TST auf ein oder mehrere für allgemeinen
Einsatz ausgelegte Tabletts KST für eine Umsetzung auf diese
Tabletts KST transportiert werden. Der Entladeabschnitt
400 ist
allgemein derart aufgebaut, daß die
getesteten ICs auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse in
entsprechende Kategorien sortiert bzw. klassifiziert werden und
sie dann auf die entsprechenden, für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tabletts aufgebracht werden.
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Der
Kammerabschnitt 100 weist eine Konstanttemperaturkammer
oder thermostatische Kammer (Thermostatkammer) 101, die
zum Aufnehmen der zu testenden und auf dem Test-Tablett TST aufgebrachten
ICs und zum Ausüben
einer gezielten Temperaturbelastung auf die ICs bei hoher oder niedriger
Temperatur dient, eine Testkammer 102 zum Bewirken eines
elektrischen Tests bezüglich
der ICs, die der Temperaturbelastung in der Konstanttemperaturkammer 101 unterzogen
wurden, und eine Kammer 103 zum Beseitigen der Temperaturbelastung auf,
die zum Entfernen der auf die ICs in der Testkammer 102 ausgeübten Temperaturbeanspruchung dient.
Die Testkammer 102 enthält
einen in ihr befindlichen Testkopf 104 des Testgeräts, führt unterschiedliche
elektrische, zum Testen dienende Signale über den Testkopf 104 zu
den zu testenden und in elektrischen Kontakt mit dem Testkopf befindlichen ICs
zu, nimmt als Antwort bzw. Reaktion erhaltene Signale von den ICs
ab und leitet diese zu dem Testgerät.
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Jedes
der Test-Tabletts TST wird in einer umlaufenden Weise von dem Beschickungsabschnitt über die
Konstanttemperaturkammer 101 des Kammerabschnitts 100,
die Testkammer 102 des Kammerabschnitts 100, die
im Kammerabschnitt 100 enthaltene Kammer 103 zur
Beseitigung der Temperaturbelastung und den Entladeabschnitt 400 in
dieser Reihenfolge zu dem Beschickungsabschnitt 300 bewegt.
Die Konstanttemperaturkammer 100 und die Kammer 103 zu
Beseitigung der Temperaturbelastung sind größer als die Testkammer 102 und
weisen nach oben gerichtete Abschnitte auf, die jeweils über die
Oberseite der Testkammer 102 hinausragen. Wie in 10 gezeigt ist, erstreckt
sich zwischen den nach oben vorstehenden Abschnitten der Konstanttemperaturkammer 101 und
der Kammer 103 zur Beseitigung der Temperaturbelastung
eine Basis-Platte 105, auf der eine Test-Tablett-Transporteinrichtung 108 angebracht
ist, die zum Transportieren des Test-Tabletts TST aus der Kammer 103 zur
Beseitigung der Temperaturbelastung zu der Konstanttemperaturkammer 101 dient.
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Wenn
auf die zu testenden ICs in der Konstanttemperaturkammer 101 eine
durch eine hohe Temperatur verursachte Temperaturbelastung (eine thermische
Stressbeanspruchung) ausgeübt
wurde, kühlt
die Kammer 103 zur Beseitigung der Temperaturbelastung
die getesteten ICs auf Raumtemperatur mittels eines Blasvorgangs
ab, wonach die ICs zu dem Entladeabschnitt 400 transportiert
werden. Wenn auf der anderen Seite eine durch eine niedrige Temperatur
von beispielsweise –30°C ausgeübte Temperaturbelastung
(eine Tieftemperaturbeanspruchung) auf die zu testenden ICs in der
Konstanttemperaturkammer 101 ausgeübt wurde, erwärmt die Kammer 103 zur
Beseitigung der Temperaturbelastung die getesteten ICs mittels warmer
Luft oder einer Heizeinrichtung bis zu einer Temperatur, bei der
sich kein Tauniederschlag auf den ICs bildet, wonach die ICs dann
aus der Kammer 103 zur Beseitigung der Temperaturbelastung
heraus und zu dem Entladeabschnitt 400 transportiert werden.
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Das
Test-Tablett TST mit den darauf in dem Beschickungsabschnitt aufgebrachten
ICs wird von dem Beschickungsabschnitt zu der Konstanttemperaturkammer 101 in
dem Kammerabschnitt 100 gefördert. Die Konstanttemperaturkammer 101 weist eine
vertikale Transporteinrichtung bzw. Vertikaltransporteinrichtung
auf, die in ihr montiert ist und die dazu ausgelegt ist, eine Mehrzahl
von Test-Tabletts TST (zum Beispiel neun Test-Tabletts) in der Form
eines Stapels zu halten. Bei dem dargestellten Beispiel stapelt
die vertikale Transporteinrichtung die transportierten Test-Tabletts
derart, daß ein
Test-Tablett, das neu von dem Beschickungsabschnitt 300 aufgenommen
wird, an der obersten Position des Stapels gehalten wird, wohingegen
das an der Bodenseite befindliche Test-Tablett zu der Testkammer 102 gefördert wird.
Die auf dem obersten Test-Tablett TST befindlichen, zu testenden
ICs werden einer vorbestimmten Temperaturbelastung bei hoher oder
niedriger Temperatur ausgesetzt, während das zugehörige Test-Tablett
TST aufeinanderfolgend von der Oberseite zu der Bodenseite des Stapels
durch eine vertikal nach unten gerichtete Bewegung der vertikalen Transporteinrichtung
bewegt wird und/oder solange wartet, bis das unmittelbar vorhergehende
Test-Tablett aus der Testkammer 102 herausgebracht worden ist.
Der Testkopf 104 ist in der Testkammer 102 in
deren mittleren Bereich angeordnet, und es wird jedes der Test-Tabletts
TST, die jeweils einzeln aus der Konstanttemperaturkammer 101 heraustransportiert werden,
auf den Testkopf 104 gefördert, wobei sie bei der konstanten
Temperatur gehalten werden. Eine vorbestimmte Anzahl der ICs aus
den auf dem zugeordneten Test-Tablett TST befindlichen ICs wird
elektrisch mit IC-Buchsen bzw. IC-Sockeln (nicht gezeigt) verbunden,
die an dem Testkopf 104 angebracht sind. Dies wird im weiteren
Text noch näher
beschrieben. Nach Abschluß des
mit Hilfe des Testkopfs bewirkten Tests bezüglich aller ICs, die auf einem Test-Tablett
TST angeordnet sind, wird das Test-Tablett TST in die Kammer 103 zur
Beseitigung der Temperaturbelastung transportiert, bei der die auf
die getesteten ICs auf dem zugehörigen
Test-Tablett einwirkende Temperaturbelastung beseitigt wird und
die getesteten ICs auf die Umgebungstemperatur oder Raumtemperatur
zurückgebracht
werden. Anschließend
wird das Test-Tablett TST zu dem Entladeabschnitt 400 ausgegeben.
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Ähnlich wie
die vorstehend näher
beschriebene Konstanttemperaturkammer 101 ist auch die Kammer 103 zur
Beseitigung der Temperaturbelastung mit einer vertikalen Transporteinrichtung
(Vertikaltransporteinrichtung) ausgestattet, die dazu ausgelegt
ist, eine Mehrzahl von Test-Tabletts
TST (zum Beispiel neun Test-Tabletts) in aufeinandergestapelter
Form zu halten. Bei dem dargestellten Beispiel wird das Test-Tablett
TST, das neu von der Testkammer 102 aufgenommen wird, an
der Bodenseite des Stapels gehalten, wohingegen das an der obersten Stelle
befindliche Test-Tablett zu dem Entladeabschnitt 400 ausgegeben
wird. Die auf die getesteten ICs auf dem zugehörigen Test-Tablett einwirkende Temperaturbeanspruchung
wird für
eine Rückführung der
ICs zu der außerhalb
herrschenden Temperatur (Raumtemperatur) abgebaut, während das
zugehörige
Test-Tablett TST von der Bodenseite zu der Oberseite des Stapels
aufgrund der vertikal nach oben gerichteten, von der vertikalen
Transporteinrichtung hervorgerufenen Bewegung gefördert wird.
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Die
getesteten, auf dem Test-Tablett TST getragenen ICs werden zu dem
Entladeabschnitt 400 geleitet, bei dem sie in Abhängigkeit
von den Testergebnissen in entsprechende Kategorien aussortiert und
von dem Test-Tablett TST auf die entsprechenden, für allgemeinen
Einsatz ausgelegten und den jeweiligen Kategorien zugeordneten Tabletts
aufgebracht und in diesen gelagert werden. Das Test-Tablett TST,
das in dieser Weise in dem Entladeabschnitt 400 geleert
wird, wird zu dem Beschickungsabschnitt 300 transportiert,
bei dem es erneut mit zu testenden ICs bestückt wird, die von einem für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tablett KST auf das Test-Tablett TST aufgebracht werden. Im Anschluß hieran
werden die gleichen Schritte gemäß dem vorstehenden erläuterten
Ablauf wiederholt.
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Wie
in 10 gezeigt ist, kann
eine IC-Transporteinrichtung zum Transportieren von ICs von einem
für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tablett KST zu einem Test-Tablett TST in dem
Beschickungsabschnitt 300 die Form einer für einen
Transport in den Richtungen X und Y ausgelegten Transporteinrichtung 304 aufweisen,
die ein Paar von beabstandeten, parallelen Schienen 301,
die an der Basis-Platte 105 angebracht sind und sich über den
Beschickungsabschnitt 300 in der von vorne nach hinten
weisenden Richtung bzw. der Vorwärts-
und Rückwärtsrichtung
des Testgeräts
(diese Richtung wird hier als die Richtung Y bezeichnet) erstrecken, einen
beweglichen Arm 302, der sich zwischen den beiden Schienen 301 erstreckt
und dessen entgegengesetzten Enden an diesen in einer solchen Weise
befestigt sind, daß er
in der Richtung Y beweglich ist, und einen beweglichen Kopf 303 aufweisen,
der durch den beweglichen Arm 302 in einer solchen Weise
gehalten wird, daß er
in derjenigen Richtung beweglich ist, in der sich der bewegliche
Arm 302 erstreckt, das heißt in der von links nach rechts
weisenden Richtung des Testgeräts
(diese Richtung wird hier als die Richtung X bezeichnet). Bei dieser
Ausgestaltung kann sich der bewegliche Kopf 303 zwischen
dem Test-Tablett TST und dem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett KST in der Richtung Y hin-
und herbewegen und kann sich weiterhin entlang des beweglichen Arms 302 in
der Richtung X bewegen.
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An
der Unterseite des beweglichen Kopfs 303 sind IC-Saugflächen bzw.
IC-Saugnäpfe
in vertikaler Richtung beweglich angebracht. Mit Hilfe einer Kombination
aus der Bewegung des beweglichen Kopfes 303 in den Richtungen
X und Y und der nach unten gerichteten Bewegung der Saugnäpfe lassen sich
die Saugnäpfe
in Anlage mit den ICs, die auf dem für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tablett KST angeordnet sind, bringen und diese ICs herausheben und
an den Saugnäpfen
durch Unterdruckansaugung halten, so daß die ICs zu dem Test-Tablett TST übertragbar
sind. Die Anzahl von Saugnäpfen, die
an dem beweglichen Kopf 303 abgebracht sind, kann zum Beispiel
acht betragen, so daß insgesamt acht
ICs zu einem jeweiligen Zeitpunkt gemeinsam von dem für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tablett KST zu dem Test-Tablett TST transportiert
werden können.
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Es
ist hierbei anzumerken, daß zwischen den
Anhaltepositionen für
das für
allgemeinen Einsatz ausgelegte Tablett KST und das Test-Tablett TST
eine Einrichtung 305 zum Korrigieren der Position eines
ICs angeordnet ist, die als "Präzisionsausrichteinrichtung" bezeichnet wird.
Die Positionskorrektureinrichtung 305 enthält relativ
tiefe Ausnehmungen, in die man die ICs, die an die Saugnäpfe angezogen
sind, nach einmaligem Freigeben hineinfallen läßt, bevor sie zu dem Test-Tablett
TST gefördert werden.
Die Ausnehmungen sind jeweils durch vertikal schräg verlaufende
Seitenwände
definiert, die aufgrund ihres schrägen Verlaufs die Positionen
vorgeben, an denen die ICs in die Ausnehmungen hineinfallen. Nachdem
acht ICs relativ zueinander mit Hilfe der Positionskorrektureinrichtung 305 präzise positioniert
worden sind, werden diese acht exakt positionierten ICs erneut an
die Saugnäpfe
angezogen und zu dem Test-Tablett TST transportiert. Der Grund für die Bereitstellung
der Positionskorrektureinrichtung 305 wird im folgenden
erläutert.
Die Ausnehmungen des für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tabletts TST zum Halten der ICs
sind größenmäßig derart
bemessen, daß sie
größer sind
als die Größe der ICs,
was zu großräumigen Änderungen
der Positionen der ICs führen
kann, die auf dem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett KST angeordnet sind. Falls
demgemäß die ICs
als solche mittels Unterdruck durch die Saugnäpfe herausgegriffen und direkt
zu dem Test-Tablett TST transportiert würden, könnte es manche ICs geben, die
nicht erfolgreich in die IC-Lagerausnehmungen bzw. IC-Halteausnehmungen
eingebracht werden, die in dem Test-Tablett TST ausgebildet sind.
Aus diesem Grunde ist die Positionskorrektureinrichtung 305 erforderlich,
die vorstehend beschrieben ist und die bewirkt, daß die ICs matrixförmig exakt
so angeordnet werden, wie es der matrixförmigen Anordnung der IC-Halteausnehmungen
entspricht, die in dem Test-Tablett TST ausgebildet sind.
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Der
Entladeabschnitt 400 ist mit zwei Sätzen von Transporteinrichtungen 404 für den Transport
in den Richtungen X und Y ausgestattet, die hinsichtlich ihres Aufbaus
mit der Transporteinrichtung 304 für den Transport in den Richtungen
X und Y identisch sind, die an dem Beschickungsabschnitt 300 vorgesehen
ist. Die Transporteinrichtungen 404 für den Transport in den Richtungen
X und Y führen
die Umsetzung der getesteten ICs von dem Test-Tablett TST, das zu
dem Entladeabschnitt 400 ausgegeben worden ist, auf das
für allgemeinen
Einsatz ausgelegte Tablett KST durch. Jeder Satz der Transporteinrichtungen 404 für den Transport
in den Richtungen X und Y weist ein Paar von beabstandeten, parallelen Schienen 401,
die derart angebracht sind, daß sie
in der Vorwärts-
und Rückwärtsrichtung
des Testgeräts (Richtung
Y) verlaufen, einen beweglichen Arm 402, der sich zwischen
dem Schienenpaar 401 erstreckt und der an den entgegengesetzten
bzw. äußeren Enden
an dem Schienenpaar 401 derart angebracht ist, daß er in
der Richtung Y beweglich ist, und einen beweglichen Kopf 403 auf,
der an dem beweglichen Arm 402 für eine Bewegung entlang des
Arms in dessen Längsrichtung,
das heißt
in der von rechts nach links weisenden Richtung des Testgeräts (Richtung X),
angebracht ist.
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11 zeigt den Aufbau eines
Ausführungsbeispiels
des Test-Tabletts TST. Das dargestellte Test-Tablett TST weist einen
rechtwinkligen Rahmen 12 aus, der eine Mehrzahl von in
gleichen gegenseitigen Abständen
angeordneten, parallelen Leisten 13 enthält, die
zwischen den einander gegenüberliegenden,
seitlichen Rahmenelementen 12a und 12b des Rahmens
angeordnet sind. Jede der Leisten 13 enthält eine
Mehrzahl von mit gleichen gegenseitigen Abständen angeordneten Montagenasen
bzw. Haltevorsprüngen 14,
die von den Leisten an deren beiden Seiten vorstehen. Hierbei sind
an jedem seitlichen Rahmenelement 12a, 12b, die
den benachbarten Leisten gegenüberliegen,
gleichartige, von ihnen vorstehende Haltevorsprünge 14 angebracht.
Die Haltevorsprünge 14,
die von entgegengesetzt liegenden Seiten jeder der Leisten 13 vorstehen,
sind derart angeordnet, daß jeder
der Haltevorsprünge 14,
der von einer Seite der Leiste 13 vorsteht, zwischen zwei
benachbarten Haltevorsprüngen 14 positioniert
ist, die von der entgegengesetzten Seite der Leiste vorstehen. In
gleichartiger Weise ist jeder der Haltevorsprünge 14, die von jedem
der seitlichen Rahmenelemente 12a und 12b vorstehen,
zwischen zwei benachbarten Haltevorsprüngen 14 positioniert,
die von der gegenüberliegenden
Leiste vorstehen. Zwischen jedem Paar von einander gegenüberliegenden
Leisten 13 und zwischen jedem der seitlichen Rahmenelemente 12a und 12b und
den gegenüberliegenden Leisten
sind Räume
für die
Aufnahme einer Mehrzahl von IC-Trägern 16 derart, daß sich diese
gegenüberliegen,
ausgebildet. Genauer gesagt wird jeder IC-Träger 16 in einer aus
einer Anordnung von rechteckigen Trägerabteilen 15 aufgenommen,
die in jedem der Räume
definiert bzw. vorgesehen sind, wobei jedes Abteil 15 zwei
versetzte, sich schräg
gegenüberliegende
Haltevorsprünge 14 enthält, die
an den diagonal gegenüberliegenden
Ecken des Abteils abgeordnet sind. Bei dem dargestellten Beispiel,
bei dem jede Leiste 13 sechzehn Haltevorsprünge 14 an ihren
beiden Seiten aufweist, sind in jedem der Räume sechzehn Trägerabteile 15 gebildet,
in denen sechzehn IC-Träger 16 angebracht
sind. Da vier solcher Räume
vorhanden sind, können
insgesamt 16 × 4,
das heißt
64, IC-Träger
in einem Test-Tablett TST montiert werden. Jeder IC-Träger 16 ist
auf zwei entsprechenden Haltevorsprüngen 14 angeordnet
und an diesen mit Hilfe von Befestigungsmitteln 17 befestigt.
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Jeder
der IC-Träger 16 besitzt
identische Form und Größe hinsichtlich
seiner äußeren Kontur und
trägt in
der Mitte eine IC-Tasche 19, die zum Aufnehmen eines IC-Elements
in dem Träger
dient. Die Form und die Größe der IC-Tasche 19 ist
in Abhängigkeit
von derjenigen des in der Tasche aufzunehmenden IC-Elements 18 festgelegt.
Bei dem dargestellten Beispiel weist die IC-Tasche 19 die Form einer im
wesentlichen quadratischen Ausnehmung auf. Die äußeren Abmessungen der IC-Tasche 19 sind derart
bemessen, daß die
IC-Tasche lose in dem Raum, der zwischen den einander gegenüberliegenden
Haltevorsprüngen 14 in
dem Trägerabteil 15 ausgebildet
ist, eingepaßt
ist. Der IC-Träger 16 weist
an seinen gegenüberliegenden
Enden Flansche auf, die dazu ausgelegt sind, auf den entsprechenden
Haltevorsprüngen 14 aufzuliegen,
wobei diese Flansche Montagelöcher 21 und
durch diese hindurchgehende Löcher 22 aufweisen.
Die Montagelöcher 21 sind dazu
ausgelegt, durch sie hindurchgeführte
Befestigungsmittel 17 aufzunehmen, während die Löcher 22 für den Durchtritt
von durch sie hindurchgehenden Positionierstiften ausgelegt sind.
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Damit
die IC-Elemente daran gehindert werden, aus ihrer Position in dem
IC-Träger 16 herauszugleiten
oder sich vollständig
aus dem IC-Träger 16 ruckartig
herauszubewegen, ist ein Paar von Sperren bzw. Riegeln 23 an
dem IC-Träger 16 angebracht, wie
es in 12 gezeigt ist.
Diese Sperren 23 sind einstückig bzw. integral mit dem
Körper
des IC-Trägers
derart ausgebil det, daß sie
sich von der Basis der IC-Tasche 19 nach oben erstrecken
und sind normalerweise federnd derart vorgespannt, daß die am oberen
Ende befindlichen Klauen aufgrund der Nachgiebigkeit des Harzmaterials,
aus dem der IC-Träger hergestellt
ist, jeweils in eine auf die gegenüberliegende Klaue gerichtete
Richtung vorgespannt sind. Wenn das IC-Element in die IC-Tasche 19 einzubringen
ist oder aus der IC-Tasche 19 herauszunehmen ist, werden
die oberseitigen Enden der beiden Riegel 23 mit Hilfe eines
Riegelfreigabemechanismus 25 expandiert bzw. auseinanderbewegt,
der an den entgegengesetzten Seiten eines IC-Saugnapfes 24 für das Herausgreifen
eines IC-Elements angeordnet ist. Diese Auseinanderbewegung bzw.
Abstandsvergrößerung der
beiden Laschen wird durchgeführt,
bevor das Einbringen des IC-Elements in die IC-Tasche 19 oder
das Herausnehmen des IC-Elements aus der Tasche bewirkt wird. Wenn
der Riegelfreigabemechanismus 25 außer Eingriff mit den Riegeln
bzw. Laschen 23 gebracht wird, schnappen die Riegel 23 aufgrund
ihrer Federkräfte
wieder in ihre normale Position zurück, in der sie den eingebrachten
IC mit Hilfe der am oberen Ende angebrachten Klauen der Riegel 23 in
seiner Position halten und eine Verlagerung verhindern.
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Der
IC-Träger 16 hält ein IC-Element
in einer solchen Position, daß dessen
Leitungen oder Stifte 18 nach unten freiliegen, wie es
in 13 gezeigt ist. Der
Testkopf 104 weist einen an ihm angebrachten IC-Sockel
(IC-Buchse) auf, wobei sich Kontakte 104A des IC-Sockels
von der oberseitigen Fläche des
Testkopfes 104 nach oben erstrecken. Die freiliegenden
Leitungen oder Stifte 18 des IC-Elements werden gegen die
Kontakte 104A des IC-Sockels gedrückt, um hierdurch eine elektrische
Verbindung zwischen dem IC-Element und dem Sockel herzustellen.
Zu diesem Zweck ist oberhalb des Testkopfes 104 eine Drückeinrichtung
(Drücker) 20 angebracht, die
zum Drücken
und Halten eines IC-Elements in der unteren Position dient und derart
ausgelegt ist, daß er
das IC-Element, das in einem IC-Träger 16 aufgenommen
ist, von der Oberseite her in Kontakt mit dem Testkopf 104 drückt.
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Hierbei
ist anzumerken, daß es
noch eine andere Ausführungsform
einer IC-Handhabungseinrichtung gibt, bei der die zu testenden ICs
von dem Test-Tablett in einen Sockel transportiert werden, der an
dem Testkopf 104 montiert ist, und bei der die getesteten
ICs nach dem Abschluß des
Tests von dem Sockel zurück
zu dem Test-Tablett für
den Transport der ICs bewegt werden, wobei dieser Bewegungsablauf
in der Testkammer 102 stattfindet.
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Der
IC-Speicherabschnitt bzw. IC-Lagerabschnitt 200 weist ein
IC-Speichergestell bzw. IC-Lagergestell
(oder Lager) 201, zum Aufnehmen von für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tabletts KST, die mit zu testenden ICs bestückt sind, dient, und ein Lagergestell
für getestete
ICs (oder Lager) 202 auf, das zum Aufnehmen von für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts KST dient, die mit getesteten und auf der
Basis der Testergebnisse in Kategorien gruppierten ICs bestückt sind.
Das IC-Lagergestell 201 und das Lagergestell 202 für die getesteten
ICs sind derart ausgestaltet, daß sie für allgemeinen Einsatz ausgelegte
Tabletts in der Form eines Stapels aufnehmen können. Die für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tabletts KST, auf denen sich die zu testenden ICs befinden und die
in der Form eines Stapels in dem IC-Lagergestell 201 gehalten
sind, werden aufeinanderfolgend von der Oberseite des Stapels zu
dem Beschickungsabschnitt 300 transportiert, bei dem die zu
testenden ICs von dem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett KST auf ein Test-Tablett
TST umgesetzt werden, das sich in dem Be schickungsabschnitt 300 in
Bereitschaftsstellung befindet. Das IC-Lagergestell 201 und
das Lagergestell für
die getesteten ICs können
jeweils identische Form, identische Gestaltung und identischen Aufbau
besitzen.
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Bei
dem in den 9 und 10 dargestellten Beispiel
sind acht Gestelle STK-1, STK-2,..., STK-8 als Lagergestelle 202 für die getesteten
ICs vorgesehen, so daß getestete
ICs aufgenommen werden können,
die in bis zu maximal acht Kategorien in Abhängigkeit von den jeweiligen
Testergebnissen aussortiert bzw. gruppiert werden können. Dies
hat seinen Grund darin, daß bei
manchen Anwendungen getestete ICs nicht nur in Kategorien wie "auslegungskonforme
oder akzeptable Bauteile" und "nicht-auslegungskonforme
oder fehlerhafte Bauteile" klassifiziert
werden sollen, sondern auch noch weiter fein klassifiziert werden
sollen, nämlich
bezüglich
der "fehlerfreien" Bauteile in Klassen,
die hohe, mittlere und geringe Arbeitsgeschwindigkeit angeben, und
bezüglich
der "fehlerhaften" Bauteile in solche
feingruppiert werden sollen, bei denen entweder ein weiterer Testvorgang
durchgeführt
werden soll oder bezüglich
anderer Parameter klassifiziert werden soll. Selbst wenn die Anzahl
von klassifizierbaren Kategorien bis zu acht beträgt, ist
der Entladeabschnitt 400 bei dem dargestellten Beispiel
dazu imstande, lediglich vier für
allgemeinen Einsatz ausgelegte Tabletts KST aufzunehmen. Falls unter
den getesteten ICs einige ICs vorhanden sein sollten, die in eine
Kategorie einsortiert werden sollten, die nicht zu denjenigen Kategorien
gehört,
die den in dem Entladeabschnitt 400 angeordneten, für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts KST zugeordnet sind, werden daher die
Arbeitsschritte vorgenommen, eines der für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tabletts KST von dem Entladeabschnitt 400 zu dem IC-Lagerabschnitt 200 zurückzuführen und
als Ersatz hierfür ein
für allgemeinen
Einsatz ausgelegtes Tablett KST, das zum Speichern der zu der neuen,
zusätzlichen Kategorie
gehörenden
ICs gedacht ist, von dem IC-Lagerabschnitt 200 zu dem Entladeabschnitt 400 zu
transportieren, bei dem diese ICs in dem neuen Tablett gespeichert
werden.
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Es
wird nun auf 10 Bezug
genommen. Eine Tablett-Transporteinrichtung 205 ist oberhalb des
IC-Lagergestells 201 und der IC-Lagergestelle 202 für getestete
ICs angeordnet und derart ausgelegt, daß sie eine Bewegung über den
gesamten Ausdehnungsbereich der Lagergestelle 201 und 202 in
der Richtung der Aufeinanderfolgung der Gestelle (in der von rechts
nach links weisenden Richtung des Testgeräts) relativ zu der Basis-Platte 105 ausführen kann.
Die Tablett-Transporteinrichtung 205 ist
an ihrem Boden mit einer Greifeinrichtung zum Ergreifen eines für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts KST versehen. Die Tablett-Transporteinrichtung 205 wird
zu einer Position oberhalb des IC-Lagergestells 201 bewegt,
woraufhin der Lift 204 betätigt wird, um hierdurch die
für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts KST, die in dem IC-Lagergestell 201 gestapelt
sind, in einer solchen Weise anzuheben, daß das oberste der für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts KST durch die Greifeinrichtung der
Tablett-Transporteinrichtung 205 ergriffen und aufgenommen
werden kann. Sobald das an oberster Stelle befindliche, für allgemeinen
Einsatz ausgelegte Tablett KST, das mit zu testenden ICs bestückt ist,
zu der Tablett-Transporteinrichtung 205 transportiert worden
ist, wird der Lift 204 in seine ursprüngliche Position abgesenkt.
Die Tablett-Transporteinrichtung 205 wird dann in Horizontalrichtung
zu einer vorbestimmten Position in dem Beschickungsabschnitt 300 bewegt
und dort angehalten, wobei an dieser vorbestimmten Position die
Greifeinrichtung der Tablett-Transporteinrichtung 205 freigegeben
wird, und hierdurch das Einfallen des für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tabletts KST in einen unmittelbar darunter liegenden Tablettaufnehmer
(nicht gezeigt) ermöglicht.
Die Tablett-Transporteinrichtung 205, von der das für allgemeinen
Einsatz ausgelegte Tablett KST abgenommen worden ist, wird aus dem
Beschickungsabschnitt 300 herausbewegt. Danach wird der Lift 204 von
einem Bereich unterhalb des Tablettaufnehmers, auf dem das für allgemeinen
Einsatz ausgelegte Tablett KST aufgebracht ist, nach oben bewegt,
um hierdurch den Tablettaufnehmer und folglich das für allgemeinen
Einsatz ausgelegte, mit den zu testenden ICs bestückte Tablett
KST derart anzuheben, daß das
für allgemeinen
Einsatz ausgelegte Tablett KST durch ein Fenster 106 hindurch,
das in der Basis-Platte 105 ausgebildet ist, freigelegt
ist.
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Die
Basis-Platte 105 ist in einem Bereich ausgebildet, der
oberhalb des Entladeabschnitt 400 liegt, wobei sich dazwischen
zwei weitere, gleichartige Fenster 106 befinden, durch
die hindurch die leeren, für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tabletts freigelegt sind. Bei diesem
Beispiel ist jedes der Fenster 106 größenmäßig derart bemessen, daß zwei für allgemeinen
Einsatz ausgelegte Tabletts durch diese hindurch freigelegt sind.
Folglich sind vier für
allgemeinen Einsatz ausgelegte, leere Tabletts durch die beiden
Fenster 106 hindurch in freigelegtem Zustand gehalten.
Getestete ICs werden aussortiert bzw. klassifiziert und in diesen
leeren, für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tabletts KST in Abhängigkeit
von den Kategorien, die den jeweiligen Tabletts zugeordnet sind,
abgelegt. Wie auch bei dem Beschickungsabschnitt 300 sind
die vier leeren, für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts KST auf den jeweiligen Tablettaufnehmern
angeordnet, die durch die zugeordneten Lifte 204 nach oben
und unter bewegt werden. Sobald ein für allgemeinen Einsatz ausgelegtes
Tablett KST vollständig
gefüllt
worden ist, wird das Tablett durch den Lift 204 aus der Ebene
des Fensters 106 gesenkt und durch die Tablett-Transporteinrichtung 205 zu
der Tablett-Lagerposition gebracht, die diesem Tablett zugeordnet
ist. Mit dem Bezugszeichen 206 ist in den 9 und 10 ein Tablett-Lagergestell
für leere
Tabletts bezeichnet, das zum Aufnehmen von leeren, für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts KST dient. Aus diesem Tablett-Lagergestell 206 für leere
Tabletts werden die leeren, für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tabletts durch die Tablett-Transporteinrichtung 205 und
die Lifte 204 zu den jeweiligen Fenster 106 transportiert und
an diesen durch die zugeordneten Lifte 204 gehalten, so
daß sie
zum Aufnehmen von getesteten ICs bereit sind.
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Wie
vorstehend beschrieben, speichert bei einem IC-Testgerät, das mit
einer an ihm angebrachten Handhabungseinrichtung in Form des vorstehend erläuterten
horizontalen Transportsystems versehen ist, bei dem zu testende
ICs auf ein Test-Tablett gebracht und zu dem Testabschnitt (Kammerabschnitt) für die Durchführung eines
Tests transportiert werden, die für den Transport in den Richtungen
X und Y ausgelegte Transporteinrichtung 404 in einer Speichereinrichtung
während
des Transports der getesteten ICs von einem Test-Tablett TST auf
ein für
allgemeinen Einsatz ausgelegtes Tablett KST in dem Entladeabschnitt 400 die
Informationen, daß die
getesteten ICs auf dem Test-Tablett zu den für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tabletts transportiert worden sind, indem sie die Adressen speichert,
die den jeweiligen IC-Trägern 16 auf
dem zugehörigen
Test-Tablett TST zugeordnet sind, und führt den Transport der getesteten
ICs auf die für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tabletts auf der Grundlage der gespeicherten
Adressen durch, so daß kein
einziger getesteter IC oder gar mehrere ICs übrigbleiben, die fehlerhaft
nicht auf das Test-Tablett TST oder das Tablett KST transportiert
worden sind. Jedoch kann dennoch in seltenen Fällen der Fall auftreten, daß ein oder mehrere
getestete ICs auf dem Test-Tablett verbleiben, ohne von diesem abtransportiert
zu werden.
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Falls
ein oder mehrere getestete ICs nicht umgesetzt worden ist und auf
dem Test-Tablett TST in dem Entladeabschnitt 400 verblieben
ist, wird das Test-Tablett TST, das noch den oder die nicht umgesetzten
ICs trägt,
zu dem Beschickungsabschnitt 300 transportiert, und es
werden folglich ein oder mehrere zu testende ICs auf dem oder den
verbliebenen getesteten ICs in der Form eines Stapels aufgebracht. In
diesem Fall steht der zu testende IC, der auf der Oberseite des
Stapels angeordnet ist, von der Oberfläche des Test-Tabletts nach
oben vor. Hierbei tritt der Nachteil auf, daß der zu testende IC, der an
der Oberseite des Stapels angeordnet ist und nach oben vorsteht,
dann, wenn das Test-Tablett, das mit dem Stapel oder den Stapeln
aus jeweils zwei ICs bestückt
ist, zu der Konstanttemperaturkammer 101 transportiert
wird und anschließend
das nachfolgende Test-Tablett auf dem Test-Tablett mit dem Stapel oder
den Stapeln aus zwei ICs, in der Konstanttemperaturkammer 101 gestapelt
wird, aus dem zugehörigen
Test-Tablett aufgrund der Einführung
des nachfolgenden Test-Tabletts herausgedrückt wird und nach unten fällt. Es
kann hierbei auch ein Unglücksfall
wie etwa ein Zerbrechen des zu testenden ICs auftreten.
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Falls
der unerwünschte
Fall auftritt, daß ein IC
aus dem zugehörigen
Test-Tablett TST in der Konstanttemperaturkammer 101 herausfällt und
nach unten fällt,
kann es sein, daß der
IC auf einen Fördermechanismus
oder ähnliches
auffällt,
der an der unteren Seite der Konstanttemperaturkammer 101 vorgesehen
ist, und der IC bei diesem Mechanismus Störungen hervorruft, so daß der Transportmechanismus
eventuell ausfallen und nicht mehr fördern kann. Falls der zu testende
IC, der auf dem verbleibenden, bereits getesteten IC gestapelt ist,
ferner getestet werden sollte und zu dem. Entladeabschnitt 400 transportiert
werden sollte, ohne aus dem Testtablett herauszufallen, wird der
obere IC in dem Stapel auf der Basis der Testergebnisse bezüglich des unteren,
verbleibenden, getesteten ICs in dem Stapel sortiert, und es tritt
folglich der Nachteil auf, daß eine fehlerhafte
Klassifizierung erfolgt.
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Die
vorstehend erwähnten
Probleme treten in gleicher Weise auch bei einem IC-Testgerät auf, bei
dem eine Handhabungseinrichtung in einer Ausführungsform eingesetzt wird,
die gemeinsam für
den Transport von ICs, die in einem quadratförmigen, röhrenartigen IC-Behälter aufgenommen
sind, der im Querschnitt im wesentlichen rechteckförmige Gestalt besitzt
und als "stabförmiges Magazin" bezeichnet wird,
sowie zum Transport von auf einem für allgemeinen Einsatz ausgelegten
Tablett aufgebrachten ICs zu einem Test-Tablett, und für den Transport
des die auf ihm aufgebrachten ICs tragenden Test-Tabletts zu dem
Testabschnitt für
einen Test eingesetzt werden kann, wobei sich nach dem Test unterschiedliche
Bearbeitungen der getesteten ICs auf der Grundlage der Daten der
Testergebnisse anschließen
(siehe z.B, die japanische Patentschrift JP-A-08015373).
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Kurzfassung der Erfindung
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Es
ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein IC-Testgerät und IC-Erfassungsverfahren zu
schaffen bei dem der unerwünschte
Fall verhindert werden kann, daß ein
oder mehrere getestete ICs auf einem Test-Tablett ohne Abtransport von diesem
zurückgelassen
werden, bzw. das ermitteln kann, ob ein oder mehrere ICs aus dem
zugehörigen, mit
ICs bestückten
Test-Tablett herausgefallen sind.
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Diese
Aufgabe wird mit einem Halbleiterbauelement-Testgerät nach Anspruch 1, 2 oder 3
bzw. einem Verfahren nach Anspruch 21 gelöst. Die Unteransprüche geben
vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung an.
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Gemäß einer
ersten Ausführungsform
der Erfindung, ist ein IC-Testgerät derart ausgelegt, daß zu testende
ICs von einem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett zu einem Test-Tablett für ein Umsetzen
auf dieses in einem Beschickungsabschnitt transportiert werden,
und daß das
Test-Tablett mit den darauf aufgebrachten ICs in einen Testabschnitt transportiert
wird, bei dem die ICs einem Test unterzogen werden, wobei das Test-Tablett
mit den darauf befindlichen, getesteten ICs nach dem Abschluß des Tests
von dem Testabschnitt zu einem Entladeabschnitt transportiert werden,
bei dem die getesteten ICs auf dem Test-Tablett von dem zugeordneten Test-Tablett
zu einem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett gefördert werden, und das Test-Tablett, das
von getesteten ICs entleert ist, von dem Entladeabschnitt zu dem
Beschickungsabschnitt transportiert wird, bei dem neue zu testende
ICs auf das geleerte Test-Tablett für den nachfolgenden Test von ICs
aufgebracht werden, wobei das IC-Testgerät einen IC-Erfassungssensor
aufweist, der ermittelt, ob ein IC auf dem transportierten Test-Tablett
vorhanden oder nicht vorhanden ist, und der zwischen dem Entladeabschnitt
und dem Beschickungsabschnitt vorgesehen ist, so daß das Vorhandensein
irgendeines ICs, der auf dem Test-Tablett zurückgeblieben ist, ermittelt
werden kann.
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Gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der Erfindung ist ein IC-Testgerät derart
ausgelegt, daß zu
testende ICs in einem Beschickungsabschnitt von einem für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tablett zu einem Test-Tablett für ein Umsetzen auf dieses transportiert
werden, und das mit dem ICs bestückte Test-Tablett in einen
Testabschnitt transportiert wird, in dem die ICs einem Test unterzogen
werden, wobei das Test-Tablett mit den darauf aufgebrachten, getesteten
ICs nach dem Abschluß des
Tests von dem Testabschnitt zu einem Entladeabschnitt transportiert werden,
bei dem die getesteten ICs auf dem Test-Tablett von dem zugehörigen Test-Tablett
auf ein für
allgemeinen Einsatz ausgelegtes Tablett gefördert werden, und das Test-Tablett,
das von getesteten ICs entleert worden ist, von dem Entladeabschnitt
zu dem Beschickungsabschnitt transportiert wird, bei dem neue, zu
testende ICs auf das geleerte Test-Tablett für einen anschließenden Test
von ICs aufgebracht werden, wobei das IC-Testgerät einen IC-Erfassungssensor
aufweist, der dazu dient, zu ermitteln, ob in dem Test-Tablett ein
geleerter IC-Aufnahmeabschnitt, in dem keine ICs vorhanden sind,
vorhanden oder nicht vorhanden ist, wobei der IC-Erfassungssensor
an dem Weg des Transportpfads des Test-Tabletts, das von dem Testabschnitt
in Richtung zu dem Entladeabschnitt transportiert wird, vorgesehen
ist.
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Gemäß einer
dritten Ausführungsform
der Erfindung ist ein IC-Testgerät derart
ausgelegt, daß zu
testende ICs von einem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett zu einem Test-Tablett für ein Umsetzen
auf dieses in einem Beschickungsabschnitt transportiert werden,
und das Test-Tablett, das mit den ICs bestückt ist, in einen Testabschnitt
transportiert wird, bei dem die ICs einem Test unterzogen werden,
und daß das
Test-Tablett mit den darauf befindlichen, getesteten ICs nach dem
Abschluß des Tests
von dem Testabschnitt zu einem Entladeabschnitt transportiert wird,
bei dem die auf dem Test-Tablett befindlichen, getesteten ICs von
dem zugehörigen
Test-Tablett auf ein für
allgemeinen Einsatz ausgelegtes Tablett umgesetzt werden, und das Test-Tablett,
das von getesteten ICs entleert ist, von dem Entladeabschnitt zu
dem Beschickungsabschnitt transportiert wird, bei dem neue, zu testende ICs
auf das geleerte Test-Tablett für
einen nachfolgenden Test von ICs aufgebracht werden, wobei das IC-Testgerät einen
IC-Erfassungssensor aufweist, der dazu dient, zu erfassen, ob in
dem Test-Tablett ein geleerter IC-Aufnahmeabschnitt, in dem keine ICs
vorhanden sind, enthalten ist oder nicht, wobei der IC-Erfassungssensor
an dem Weg des Transportpfads des Test-Tabletts, das von dem Beschickungsabschnitt
in Richtung zu dem Testabschnitt transportiert wird, vorgesehen
ist.
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In
dem IC-Testgerät
gemäß der ersten
Ausführungsform
der Erfindung läßt sich
selbst dann, wenn ein IC auf dem Test-Tablett, das von dem Entladeabschnitt
in Richtung zu dem Beschickungsabschnitt transportiert wird, verblieben
sein sollte, das Vorhandensein dieses auf dem Test-Tablett verbliebenen
ICs erfassen, und es kann folglich der auf dem Test-Tablett verbliebene
IC von dem Test-Tablett abgenommen werden, wenn das Test-Tablett
an dem Beschickungsabschnitt angekommen ist. Als Ergebnis kann der
unerwünschte
Fall nicht auftreten, daß zwei
ICs aufeinandergestapelt werden und der an der oberen Position befindliche
IC des Stapels auf den Boden der Konstanttemperaturkammer fällt. Demgemäß kann ein
IC-Testgerät geschaffen
werden, das hohe Sicherheit bietet.
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In
dem IC-Testgerät
gemäß der zweiten
Ausführungsform
der Erfindung kann selbst dann, wenn irgendein getesteter IC aus
dem Test-Tablett in dem Testabschnitt herausfallen sollte, die Position
des IC-Aufnahmeabschnitts des Test-Tabletts, von dem der IC herabgefallen
ist, während
der Zeitdauer des Transports des Test-Tabletts von dem Testabschnitt zu
dem Entladeabschnitt erfaßt
werden. Es ist daher möglich,
in dem Entladeabschnitt einen Sortiervorgang bezüglich des IC-Aufnahmeabschnitts,
in dem kein IC vorhanden ist, anzuhalten, und es läßt sich somit
der vorstehend beschriebene Nachteil, daß eine fehlerhafte Klassifizierung
erfolgt, vermeiden.
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In
dem IC-Testgerät
gemäß der dritten
Ausführungsform
der Erfindung kann selbst dann, wenn irgendein IC von dem Test-Tablett
während
der Zeit des Transports des Test-Tabletts von dem Beschickungsabschnitt
zu dem Testabschnitt herabfallen sollte, der geleerte IC-Aufnahmeabschnitt
des Test-Tabletts, aus der IC herausgefallen ist, ermittelt werden,
und zwar bis zur Ankunft des Test-Tabletts an dem Testabschnitt.
Es ist daher möglich,
in dem Testabschnitt einen Testvorgang bezüglich des IC-Aufnahmeabschnitts,
in dem kein IC vorhanden ist, zu verhindern, und läßt sich
folglich die Zeitdauer, die für
den Testvorgang erforderlich ist, verkürzen, da keine Zeitvergeudung
auftritt.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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1 zeigt
eine perspektivische Darstellung, in der der Aufbau des hauptsächlichen
Abschnitts eines Ausführungsbeispiels
des Halbleiterbauelement-Testgeräts
der vorliegenden Erfindung veranschaulicht ist,
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2 zeigt
eine im wesentlichen im Querschnitt gesehene Ansicht des Geräts gemäß 1,
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3 zeigt
eine vergrößerte perspektivische Ansicht,
in der ein Abschnitt des in 1 gezeigten Halbleiterbauelement-Testgeräts dargestellt
ist,
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4 zeigt
ein Blockschaltbild, in dem ein Beispiel einer IC-Erfassungsschaltung
für den
Einsatz bei einem IC-Erfassungsverfahren dargestellt ist, das bei
dem Halbleiterbauelement-Testgerät
gemäß der vorliegenden
Erfindung eingesetzt wird,
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5 zeigt
Signalverläufe
zur Erläuterung der
Arbeitsweise der in 4 dargestellten IC-Erfassungsschaltung,
-
6 zeigt
eine Draufsicht zur Erläuterung einer
weiteren Ausführungsform
des IC-Erfassungsverfahrens, das bei dem Halbleiterbauelement-Testgerät gemäß der vorliegenden
Erfindung eingesetzt wird,
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7 zeigt
ein Blockschaltbild, in dem ein Beispiel einer IC-Erfassungsschaltung
dargestellt ist, die für
den Einsatz bei dem in 6 gezeigten IC-Erfassungsverfahren
geeignet ist,
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8 zeigt
Signalverläufe
zur Erläuterung der
Arbeitsweise der in 7 gezeigten IC-Erfassungsschaltung,
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9 zeigt
eine Draufsicht, in der schematisch ein herkömmliches IC-Testgerät dargestellt
ist, wobei der Kammerabschnitt in perspektivischer Ansicht gezeigt
ist,
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10 zeigt
eine perspektivische Ansicht des herkömmlichen, in 9 dargestellten
IC-Testgeräts,
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11 zeigt
eine auseinandergezogene, perspektivische Ansicht, die zur Erläuterung
des Aufbaus eines Ausführungsbeispiels
eines Test-Tabletts für
die Verwendung in dem IC-Testgerät
dient,
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12 zeigt
eine perspektivische Ansicht, die zur Erläuterung der Aufbringung von
ICs auf dem Test-Tablett, das in 11 dargestellt
ist, dient, und
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13 zeigt
eine vergrößerte Schnittansicht,
in der die elektrische Verbindung zwischen einem IC, der auf dem
in 11 gezeigten Test-Tablett aufgebracht ist, und
einem Testkopf veranschaulicht ist.
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Beste Ausführungsform
der Erfindung
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1 zeigt
ein Ausführungsbeispiel
des IC-Testgeräts
gemäß der vorliegenden
Erfindung. Dieses IC-Testgerät
ist mit einer an ihm angebrachten Handhabungseinrichtung in Form
des vorstehend unter Bezugnahme auf die 9 bis 12 erläuterten
horizontalen Transportsystems versehen und weist einen Testabschnitt
(im wesentlichen der untere Basisabschnitt in 10),
der einen elektrischen Abschnitt des IC-Testgeräts bildet und zum Messen der
elektrischen Eigenschaften von im Test befindlichen ICs durch Anlegen
von ein vorbestimmtes Muster aufweisenden Testsignalen an die ICs
dient, und einen Handhabungsabschnitt (im wesentlichen der obere
mechanische Abschnitt in 10) auf.
In Übereinstimmung
mit dem herkömmlichen
IC-Testgerät,
das vorstehend beschrieben ist, weist der Handhabungsabschnitt einen
Kammerabschnitt, der zum Testen von ICs dient, die auf einem Test-Tablett gefördert werden,
einen IC-Speicherabschnitt
bzw. IC-Lagerabschnitt zum Speichern von zu testenden ICs und von
bereits getesteten und sortierten ICs, einen Beschickungsabschnitt,
in dem zu testende ICs, die ein Benutzer bereits zuvor auf für allgemeinen Einsatz
ausgelegte Tabletts aufgebracht hat, zu einem Test-Tablett, das
hohen und/oder niedrigen Temperaturen widerstehen kann, gebracht
und auf dieses umgesetzt werden, und einen Entladeabschnitt auf,
in dem die getesteten ICs, die auf dem Test-Tablett aus dem Kammerabschnitt
heraustransportiert wurden, nachdem sie in dem Kammerabschnitt einem
Test unterzogen wurden, von dem Test-Tablett zu den für allgemeinen
Einsatz ausgelegten Tabletts gebracht werden, um auf die letztgenannten
Tabletts umgesetzt zu werden. Der Kammerabschnitt weist eine Konstanttemperaturkammer zum
Ausüben
einer Temperaturbelastung, die entweder durch eine auslegungsgemäß hohe oder
auslegungsgemäß niedrige
Temperatur hervorgerufen wird, bezüglich der zu testenden und
auf einem Test-Tablett aufgebrachten ICs, eine Testkammer zur Durchführung von
elektrischen Tests bezüglich
der ICs, die unter der Temperaturbelastung stehen, die in der Konstanttemperaturkammer
hervorgerufen wurde, wobei die ICs zum Testen in elektrischen Kontakt mit
einem Testkopf des Testabschnitts gebracht werden, und eine Kammer
zur Beseitigung der Temperaturbelastung auf, die zum Beseitigen
der in der Konstanttemperaturkammer hervorgerufenen Temperaturbeanspruchung
in den ICs, die den Tests in der Testkammer unterzogen worden sind,
dient.
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1 zeigt
eine Darstellung zur Erläuterung des
Aufbaus eines wesentlichen Abschnitts bei diesem Ausführungsbeispiel,
bei dem ein Test-Tablett TST1, das an einem
Entladeabschnitt 400 des Handhabungsabschnitts angehalten
ist, ein Test-Tablett TST2, das an einem
Beschickungsabschnitt 300 angehalten ist, und ein IC-Erfassungssensor 500 gezeigt
sind, der zwischen dem Entladeabschnitt 400 und dem Beschickungsabschnitt 300 vorgesehen
ist. Dieser IC-Erfassungsabschnitt 500 dient dazu, zu ermitteln,
ob ein IC auf jedem bzw. einen der IC-Träger 16 (siehe 11),
die an dem Test-Tablett TST angebracht sind, zurückgelassen worden ist oder
nicht.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist ein Fall gezeigt, bei dem eine Mehrzahl von IC-Erfassungssensoren 500 des
mit Lichtdurchleitung bzw. Lichtschranken arbeitenden Typs, die
jeweils eine Lichtquelle 501 und einen Fotodetektor 502 enthalten, zwischen
dem Entladeabschnitt 400 und dem Beschickungsabschnitt 300 derart
angeordnet sind, daß die
Lichtquelle 501 und der Fotodetektor 502 jedes Sensors 500 einander
bezüglich
einer Ebene gegenüberliegen,
durch die bzw. entlang derer ein Test-Tablett TST transportiert
wird, das zwischen die Lichtquellen und Fotodetektoren eingebracht
wird. Die Lichtquelle 501 und der Fotodetektor 502 jedes
Sensors 500 sind in derjenigen Richtung miteinander ausgerichtet,
die rechtwinklig zu der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts
TST verläuft,
so daß hierdurch
erfaßbar
ist, ob ein IC auf dem Test-Tablett TST, das durch die bzw. entlang
der Ebene verläuft, zurückgeblieben
ist oder nicht.
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Der
IC-Erfassungssensor 500 ist entsprechend der Anzahl von
Zeilen (der Anzahl von in Querrichtung verlaufenden Reihen entlang
der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts) der IC-Träger 16 vorgesehen,
die an dem Test-Tablett TST angebracht sind. Wenn die Anzahl der
Träger 16,
die an dem Test-Tablett TST angebracht sind und die in derjenigen
Richtung ausgerichtet bzw. angeordnet sind, die rechtwinklig zu
der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts TST verläuft (in
der Richtung einer in Längsrichtung
verlaufenden Zeile) gemäß der Darstellung
gleich 4 ist (die Anzahl von Zeilen beträgt vier),
können
vier IC-Erfassungssensoren 500 mit einem gegenseitigen
Abstand angeordnet werden, der dem Abstand entspricht, der zwischen
den vier IC-Trägern 16 vorhanden
ist, die in der Richtung der in Längsrichtung verlaufenden Reihe
ausgerichtet sind. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Lichtquellen 501 oberhalb
der Ebene vorgesehen, entlang derer das Test-Tablett transportiert
wird, während
die Fotodetektoren 502 unterhalb der Ebene, entlang derer
das Test-Tablett transportiert wird, vorgesehen sind. Die Lichtquellen 501 und
die Fotodetektoren 502 können selbstverständlich auch
in der umgekehrten Weise angeordnet sein.
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Eine
Apertur bzw. Öffnung
(Durchgangsloch) 16A ist in einer Basis-Platte jedes IC-Trägers 16 ausgebildet,
wie es in den 2 und 3 gezeigt
ist. Der Fotodetektor 502 erfaßt Licht, das durch die Öffnung 16A hindurchgeht.
Da in der Basis-Platte jedes IC-Trägers 16 eine Öffnung vorhanden
ist, durch die von der Lichtquelle 501 ausgesandtes Licht
hindurchtritt (eine Öffnung, über die
Stifte eines ICs, der auf dem IC-Träger 16 aufgebracht
ist, freigelegt sind, oder dergleichen), muß durch den Fotodetektor 502 lediglich
bzw. ausschließlich
das Licht erfaßt
werden, das durch die Öffnung 16A hindurchtritt.
Aus diesem Grund ist, wie in 3 in vergrößerter Darstellung gezeigt
ist, dieses Ausführungsbeispiel
derart ausgelegt, daß Zeitgabe-
bzw. Taktmarkierungen 503 in vorbestimmten Intervallen
bzw. Abständen,
bezogen auf die Bewegungsrichtung des Test-Tabletts TST, an einer
derjenigen Seiten des rechteckförmigen
Rahmens 12 des Test-Tabletts TST fest angebracht sind, die
parallel zu der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts TST verlaufen,
und daß ein
Zeitgabe-Erfassungssensor 504 Licht erfaßt, das
von jeder der Zeitgabe-Markierungen 503 reflektiert wird.
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Die
Zeitgabe-Markierungen 503 weisen bei dem dargestellten
Ausführungsbeispiel
reflektierende Markierungen 503A und nicht-reflektierende,
zwischen den reflektierenden Markierungen 503A varhandene
Markierungen 503B auf, wobei die reflektierenden Markierungen 503A an
solchen Positionen an der einen Seite des rechteckförmigen Rahmens 12 angebracht
sind, die den Positionen der Öffnungen 16A in
den Basis-Platten eines Satzes aus den IC-Trägern 16 entsprechen,
die in der Bewegungsrichtung des Test-Tabletts angeordnet sind.
Bei diesem Ausführungsbeispiel
ist der rechteckförmige Rahmen 12 jedes
Test-Tabletts aus einem nicht-reflektierenden Material hergestellt,
so daß Abschnitte des
rechteckförmigen
Rahmens 12, an dem keine reflektierende Markierungen 503A angebracht
sind, kein Licht reflektieren. Folglich ist es bei diesem Ausführungsbeispiel
nicht notwendig, separate nicht-reflektierende Markierungen 503B an
derjenigen Seite des rechteckförmigen
Rahmens 12 des Test-Tabletts anzubringen, die parallel
zu der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts verläuft. Falls
der rechteckförmige
Rahmen 12 jedes Test-Tabletts aus einem reflektierenden
Material hergestellt ist, können
nichtreflektierende Markierungen 503B an derjenigen Seite des
rechteckförmigen
Rahmens 12 des Test-Tabletts angebracht werden, die parallel
zu der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts verläuft.
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Jede
der reflektierenden Markierungen 503A weist in der Bewegungsrichtung
eine Größe oder Länge auf,
die derart ausgewählt
ist, daß sie
gleich groß wie
oder geringfügig
größer als
der Durchmesser der entsprechenden Öffnung 16A in den
Basis-Platten eines Satzes aus den IC-Trägern 16 ist, die
in der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts angeordnet sind.
Demgemäß ist der
Zeitgabe-Erfassungssensor 504 oberhalb der Ebene, entlang
der das Test-Tablett bewegt wird, angeordnet, und erfaßt das Licht,
das von dem Zeitgabe-Erfassungssensor 504 ausgesandt wird
und an einer der reflektierenden Markierungen 503A reflektiert
wird. Bei dem vorstehend beschriebenen Aufbau läßt sich lediglich bzw. ausschließlich das
Licht detektieren, das durch die Öffnung 16A hindurchtritt,
so daß das
Vorhandensein eines ICs auf dem Test-Tablett in Abhängigkeit davon erfaßt wird,
ob der IC-Erfassungssensor 500 Licht erfaßt oder
nicht erfaßt,
während
der Zeitgabe-Erfassungssensor 504 Licht erfaßt, das
von einer der reflektierenden Markierungen 503A reflektiert
wird, so daß die
Erfassung eines ICs auf dem Test-Tablett
mit derjenigen Zeitgabe erfolgt, mit der der Zeitgabe-Erfassungssensor 504 Licht
erfaßt,
das von einer der reflektierenden Markierungen 503A reflektiert
wird.
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Bei
dem vorstehend erläuterten
Ausführungsbeispiel
ist der Fall geschildert, daß erfaßt wird, ob
ein IC auf einem Test-Tablett verblieben ist, das von dem Entladeabschnitt 400 zu
dem Beschickungsabschnitt 300 transportiert wird. Es ist
jedoch auch eine alternative Ausgestaltung möglich, bei der die IC-Erfassungssensoren 500 zum
Beispiel in der Mitte bzw. entlang des Pfads angeordnet sind, der von
dem Beschickungsabschnitt 300 zu dem Testkopf 104 führt, und/oder
halbwegs bzw. an dem Pfad angeordnet sind, der von dem Testkopf 104 zu
dem Entladeabschnitt 400 führt. Bei einer solchen Ausgestaltung
ist es möglich,
eine leere IC-Tasche in einem Test-Tablett zu erfassen, die daher
rührt,
daß ein
IC aus dem Test-Tablett herausgefallen ist, während das Test-Tablett von
dem Beschickungsabschnitt 300 zu dem Testkopf 104 transportiert
wird. Weiterhin ist es möglich,
eine leere IC-Tasche in dem Test-Tablett zu erfassen, die daher
rührt,
daß ein
IC von dem Test-Tablett während
des Tests an dem Testkopf 104 herabgefallen ist.
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Es
ist möglich,
die Zuverlässigkeit
des IC-Testgeräts
dadurch zu verbessern, daß die
IC-Erfassungssensoren 500 an einer beliebigen oder allen vorstehend
erwähnten
Positionen angeordnet werden. Wenn jedoch die IC-Erfassungssensoren 500 sowohl
an Positionen zwischen dem Entladeabschnitt 400 und dem
Beschickungsabschnitt 300 als auch zwischen dem Testkopf 104 und
dem Entladeabschnitt 400 angeordnet sind, oder an Positionen sowohl
zwischen dem Entladeabschnitt 400 und dem Beschickungsabschnitt 300 als
auch zwischen dem Beschickungsabschnitt 300 und dem Testkopf 104 positioniert
sind, läßt sich
die Zuverlässigkeit
des IC-Testgeräts
noch weiter verbessern. Es erübrigt sich,
festzustellen, daß die
Zuverlässigkeit
des IC-Testgeräts
am besten erhöht
werden kann, wenn die IC-Erfassungssensoren 500 an allen
vorstehend genannten Positionen vorgesehen sind.
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Weiterhin
kann die Beziehung zwischen der Anordnung der reflektierenden Markierungen 503 und
der Anordnung der nicht-reflektierenden Markierungen 503B auch
umgekehrt sein, bezogen auf den Zustand, wie er in 3 gezeigt
ist, so daß lediglich das
Licht, das durch die Öffnung 16A hindurchtritt,
erfaßt
werden kann, wodurch das Vorhandensein eines ICs auf dem Test-Tablett in Abhängigkeit
davon, ob der IC-Erfassungssensor 500 Licht erfaßt oder
nicht erfaßt,
zu denjenigen Zeitpunkten detektiert wird, an denen der Zeitgabe-Erfassungssensor 504 keinerlei reflektiertes
Licht erfaßt.
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Anstelle
eines IC-Erfassungssensors des mit Lichtdurchleitung bzw. Lichtschranke
arbeitenden Typs kann auch ein Annäherungsschalter zur Erfassung
eines Metalls (eines Metalls in einem IC) oder eine Kamera, die
eine Mustererkennungsfunktion aufweist, oder dergleichen, als IC-Erfassungssensor 500 verwendet
werden.
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Die
vorliegende Erfindung kann auch bei einem IC-Testgerät eingesetzt
werden, bei dem eine Handhabungseinrichtung für Magazine/Tabletts verwendet
wird, die gemeinsam für
den Transport von in einem "stangenförmigen Magazin" untergebrachten ICs
und von auf einem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett aufgebrachten ICs zu einem Test-Tablett
benutzt werden kann. In einem stangenförmigen bzw. stabförmigen Magazin
untergebrachte ICs rutschen aufgrund ihres Eigengewichts aufeinanderfolgend
nach unten, das heißt
es werden die ICs aus dem Magazin aufgrund der durch das Eigengewicht
der ICs hervorgerufenen, ein Herabfallen jedes ICs bewirkenden Naturkraft
ausgegeben, wobei das stabförmige
Magazin in einem gegenüber
der horizontalen Ausrichtung geneigten Zustand gehalten wird. Wenn
somit wie bei dem vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiel
eine Station, an der aus dem Magazin ausgegebene ICs auf ein Test-Tablett übertragen
werden, als ein Beschickungsabschnitt definiert wird, ist es möglich, die
Zuverlässigkeit
des IC-Testgeräts,
das mit einer solchen, an ihm angebrachten Handhabungseinrichtung
für Magazine/Tabletts
versehen ist, dadurch zu verbessern, daß die IC-Erfassungssensoren 500 an
einer beliebigen der nachfolgenden Positionen oder an zwei von diesen Positionen
vorgesehen werden, nämlich
an einer Position entlang des Verlaufs des Transportpfads des Test-Tabletts
zwischen dem Entladeabschnitt 400 und diesem Beschickungsabschnitt,
an einer Position entlang des Verlaufs des Transportpfads des Test-Tabletts zwischen
diesem Beschickungsabschnitt und dem Testkopf 104, und/oder
an einer Position entlang des Verlaufs des Transportpfads des Test-Tabletts
zwischen dem Testkopf 104 und dem Entladeabschnitt 400.
Es erübrigt
sich, festzustellen, daß die
Zuverlässigkeit
des IC-Testgeräts im stärksten Maße verbessert
werden kann, wenn die IC-Erfassungssensoren 500 an allen
vorstehend genannten Positionen angeordnet sind.
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4 zeigt
ein Beispiel der Anordnung oder des Aufbaus des IC-Erfassungssensors 500 und
der zugeordneten Schaltung, die ermittelt, ob ein IC vorhanden ist
oder nicht. Wie in 1 gezeigt ist, sind bei diesem
Ausführungsbeispiel
vier IC-Erfassungssensoren 500 vorgesehen. Diese vier IC-Erfassungssensoren
sind in 4 mit 500A bis 500D bezeichnet.
Die nachfolgende Beschreibung erfolgt unter der Annahme, daß die IC-Erfassungssensoren 500A bis 500D ein
logisches Signal mit dem niedrigen Pegel L (Signal mit niedrigem
logischen Pegel) abgeben, wenn Licht durch die entsprechende Öffnung hindurchfällt (wenn
der Fotodetektor 501 Licht von der Lichtquelle 501 empfängt), und
daß der
Zeitgabe-Erfassungssensor 504, der die Position eines auf
einem Test-Tablett vorhandenen ICs erfaßt, ein Signal mit dem niedrigen
logischen Pegel L abgibt, wenn er reflektiertes Licht empfängt.
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Wie
in 5 gezeigt ist, gibt der Zeitgabe-Erfassungssensor 504 ein
logisches Signal mit hohem Pegel H ab (Signal mit hohem logischen
Pegel), wenn er die an dem rechteckförmigen Rahmen 12 angebrachte
reflektierende Markierung 503A nicht erfaßt, während er
ein Signal mit dem logischen Pegel L abgibt, wenn er die reflektierende
Markierung 503A ermittelt. Als Ergebnis gibt der Sensor 504 logische
Signale S1-1, S1-2,... mit niedrigem logischen Pegel L ( 5A) jedesmal dann ab, wenn der die reflektierende
Markierung 503A erfaßt.
S1-1 bezeichnet ein Signal, das von dem Sensor 504 beim
Ermitteln der ersten reflektierenden Markierung abgegeben wird,
während
S1-2 ein Signal bezeichnet, das von dem Sensor 504 beim
Erfassen der zweiten reflektierenden Markierung abgegeben wird.
Jeder der IC-Erfassungssensoren 500A bis 500D empfängt Licht,
das durch die Öffnung 16A hindurchtritt,
die in dem IC-Träger 16 an
einer Position ausgebildet ist, die ungefähr der mittleren Position der
reflektierenden Markierung 503A entspricht, und gibt hierbei
ein Signal S2-1, S2-2,... (5B) ab,
das auf den niedrigen logischen Pegel L abfällt und während des Vorhandenseins der Öffnung 16A auf
dem niedrigen logischen Pegel L verbleibt. Bei dem in 5B dargestellten Signalverlauf bezeichnet
S2-1 ein Signal niedrigen logischen Pegels, das folglich das Signal darstellt,
das von dem IC-Erfassungssensor detektiert wird, wenn kein IC vorhanden
ist. S2-2 ist ein Signal mit hohem logischen Pegel H und stellt
folglich das Signal dar, das durch den IC-Erfassungssensor detektiert
wird, wenn ein IC vorhanden ist. Ferner stellen, wie aus den 2 und 3 ersichtlich
ist, logische Signale N1, N2, N3, N4 und N5, die niedrigen Pegel
L besitzen und sich von den detektierten Signal S2-1 und S2-2 unterscheiden,
die detektierten Signale des IC-Erfassungssensors dar, die durch Licht
erzeugt werden, das jeweils durch in dem IC-Träger 16 gebildete Schlitze 16B bzw.
durch einen zwischen zwei benachbarten IC-Trägern 16 gebildeten
Spalt 16C hindurchtritt.
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Die
detektierten Signale S1-1, S1-2,... des Zeitgabe-Erfassungssensors 504 werden
an eine Unterbrechungs- bzw. Interruptsignal-Erzeugungsschaltung 505 angelegt,
die Unterbrechungs- bzw. Interruptsignale
INT-1 und INT-2 (5C) zu Zeitpunkten
erzeugt, die jeweils dem Abfallen bzw. Anstieg jedes der detektierten
Signale S1-1, S1-2,... entsprechen. Diese Interruptsignale INT-1
und INT-2 werden an eine Steuereinrichtung 507 angelegt,
die einen Interruptvorgang aufgrund des Interruptsignals INT-1 beginnt,
das zum Zeitpunkt des Abfallens des detektierten Signals erzeugt
wird, und den Interruptvorgang aufgrund des Interruptsignals INT-2
beendet, das zum Zeitpunkt des Anstiegs des detektierten Signals
erzeugt wird.
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Die
Steuereinrichtung 507 kann zum Beispiel durch einen Mikrocomputer
gebildet sein. Der Mikrocomputer weist in bekannter Weise eine zentrale
Verarbeitungseinheit bzw. Zentraleinheit 507A, die allgemein
als CPU bezeichnet wird, einen ROM (Festwertspeicher) 507B,
in dem Programme oder dergleichen gespeichert sind, einen RAM (Direktzugriffsspeicher) 507C zum
zeitweiligen Speichern von in der Steuereinrichtung gelesenen Daten
oder dergleichen, einen Eingangsanschluß 507D, einen Ausgangsanschluß 507E,
einen Interrupteingangsanschluß 507E usw. auf.
Die Interruptsignale INT-1 und INT-2 werden in der zentralen Verarbeitungseinheit 507A über den
Interrupteingangsanschluß 507E gelesen,
wodurch die zentrale Verarbeitungseinheit 507A dazu veranlaßt wird,
einen Interruptvorgang auszuführen.
Die zentrale Verarbeitungseinheit 507A gibt ein in 5D gezeigtes Löschsignal CLR über den
Ausgangsanschluß 507E jedesmal
dann ab, wenn sie einen Interruptvorgang beginnt. Das Löschsignal
CLR wird an Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D angelegt,
die jeweils die detektierten Signale der vier IC-Erfassungssensoren 500A bis 500D zwischenspeichern,
um hierdurch den Zustand bzw. Inhalt der Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D zu
löschen
(zurückzusetzen).
Die von den Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D abgegebenen
Ausgangssignale werden durch das Löschen der Zwischenspeicherschaltungen
auf hohen logischen Pegel H invertiert, wie es in 5E dargestellt
ist. In die Zwischenspeicherschaltung 506A werden die Signale
S2-1, S2-2, ..., die aufgrund der durch den IC-Erfassungssensor 500A erfaßten Öffnung 16A erzeugt werden,
und die Signale N1, N2, N3, N4 und N5 eingespeist, die aufgrund
der Schlitze 16B usw. erzeugt werden. In gleicher Weise
wie bei der Zwischenspeicherschaltung 506A werden in die
anderen Zwischenspeicherschaltungen 506B bis 506D jeweils die
Signale, die aufgrund der durch die IC-Erfassungssensoren 500B bis 500D erfaßten Öffnungen 16A erzeugt
werden, und die Signale eingespeist, die aufgrund der Schlitze 16B usw.
erzeugt werden.
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Die
von den Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D abgegebenen
Ausgangssignale ändern
sich von hohem logischen Pegel H auf niedrigen logischen Pegel L,
wenn die von den entsprechenden IC-Erfassungssensoren 500A bis 500D detektierten Signale
auf den niedrigen logischen Pegel L abfallen und sich die Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D in
einem Zustand befinden, bei dem sie den hohen logischen Pegel H
zwischengespeichert haben. Wenn daher der Zeitgabe-Erfassungssensor 504 die reflektierende
Markierung 503A erfaßt
und die Ausgangssignale der IC-Erfassungssensoren 500A bis 500D auf
den logischen Pegel L unmittelbar nach dem Löschen aller Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D zum
Beginn des Interruptvorgangs abfallen, invertiert jede der Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D ihr
zwischengespeichertes Ausgangssignal auf den niedrigen logischen
Pegel L. Der in 5E gezeigte Zeitpunkt
T1 zeigt diesen Vorgang an.
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Wenn
die reflektierende Markierung 503A durch diejenige Position
hindurchläuft,
an der der Zeitgabe-Erfassungssensor 504 angeordnet ist,
endet der Interruptvorgang. Zu diesem Zeitpunkt erzeugt die zentrale
Verarbeitungseinheit 507A ein Lesebefehlsignal RED, das
in 5F gezeigt ist, um hierdurch die
zwischengespeicherten Ausgangssignale der Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D über den
Eingangsanschluß 507D in
dem Direktzugriffsspeicher 507C zu speichern. Falls die
eingelesenen Ergebnisse den logischen Pegel L aufweisen, läßt sich
hieraus erkennen, daß in
dem IC-Träger 16 kein
IC vorhanden ist. Falls auf der anderen Seite ein IC in dem IC-Träger 16 vorhanden
ist, wird das zwischengespeicherte Ausgangssignal der Zwischen speicherschaltung 506A bei
hohem logischen Pegel H bei und nach dem Zeitpunkt T2 gehalten,
wie es in 5E gezeigt ist, so daß die Steuereinrichtung 507 bei
dem dargestellten Beispiel den hohen logischen Pegel H in den Direktzugriffsspeicher 507C bezüglich der
Zwischenspeicherschaltung 506A zum Beispiel nach dem Zeitpunkt
T2 einliest. Aufgrund des in dem Direktzugriffsspeicher 507C eingelesenen
hohen logischen Pegels H erkennt die zentrale Verarbeitungseinheit 507A das
Vorhandensein eines ICs und zeigt zum Beispiel auf einer Anzeige 508 einen
Hinweis an, daß ein
IC vorhanden ist. Die Anzeige 508 ist derart ausgelegt,
daß sie
die Ausgangssignale der Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D getrennt
anzeigen kann. Darüberhinaus
kann die Anzeige 508 die Position eines IC-Trägers 16 auf dem
Test-Tablett TST genau angeben, indem die Anzahl der reflektierenden
Markierungen 503A gezählt wird.
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Wie
vorstehend erläutert,
erfassen die IC-Erfassungssensoren 500A bis 500D Licht,
das jeweils durch andere Stellen in dem IC-Träger 16 als bei der in
dem IC-Träger 16 ausgebildeten Öffnung 16A hindurchtritt.
Zusätzlich
zu der Öffnung 16A sind
nämlich
in jedem IC-Träger 16 die
Schlitze 16B vorhanden und es existiert weiterhin der Spalt 16C zwischen jeweils
zwei benachbarten IC-Trägern 16.
Falls demzufolge durch diese Schlitze 16B und den Spalt 16C Störsignale
N1, N2, N3, N4 und N5 hervorgerufen werden, wie es in 5B gezeigt ist, ist ersichtlich, daß die Störsignale
N1 und N5 bei einem Zustand erzeugt werden, bei dem die Zwischenspeicherschaltung 506A den
hohen logischen Pegel H bei der in 5 dargestellten
Wellenform zwischenspeichert. In einem solchen Fall würde der
zwischengespeicherte Inhalt der Zwischenspeicherschaltung 506A durch
die Störsignale
N1 und N5 auf niedrigen logischen Pegel L umgeschrieben werden.
Die fehlerhaften Daten in der Zwischenspeicherschaltung 506A würden jedoch
beseitigt werden, da alle jeweiligen Zwischenspeicherschaltungen
durch ein Löschsignal CLR
gelöscht
werden, das erzeugt wird, wenn die nächste reflektierende Markierung 503A an
den IC-Erfassungssensoren ankommt. Selbst falls die Störsignale
N1 bis N5 erzeugt werden sollte, liest die Steuereinrichtung 507 diese
fehlerhaften Daten nicht ein.
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Bei
dem vorstehend erläuterten
Ausführungsbeispiel
ist die Arbeitsweise der Steuereinrichtung 507 unter der
Annahme beschrieben, daß der Zustand,
bei dem die Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D jeweils
niedrige logische Pegel L zwischenspeichern, der normale Zustand
ist. Dieser logische Zustand kann auf einen Fall angewendet werden,
bei dem erfaßt
wird, ob ein IC auf einem Test-Tablett vorhanden ist oder nicht,
das von dem Entladeabschnitt 400 zu dem Beschickungsabschnitt 300 transportiert
wird und an dem IC-Träger 16 montiert sind,
die eigentlich von ICs geleert sein sollten. Auf der anderen Seite
ist es auch möglich,
die Steuereinrichtung 507 eine solche Bestimmung vornehmen
zu lassen, daß der
Zustand, bei dem die Zwischenspeicherschaltungen 506A bis 506D jeweils
einen hohen logischen Pegel H zwischenspeichern, der normale Zustand
ist. Dieser logische Zustand kann in einem Fall angewendet werden,
bei dem erfaßt
wird, ob ein IC während
der Zeitspanne nach dem Aufbringen von ICs auf das Test-Tablett
in dem Beschickungsabschnitt 300 bis zu der Ausgabe des
Test-Tabletts zu dem Entladeabschnitt 400, aus einem Test-Tablett herausgefallen
ist oder nicht. Die unter Bezugnahme auf 4 beschriebene
IC-Erfassungsmethode läßt sich
daher sowohl bei der Ermittlung des Vorhandenseins eines ICs als
auch bei der Ermittlung des Fehlens eines ICs einsetzen.
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Weiterhin
ist das vorstehend beschriebene Ausführungsbeispiel anhand eines
Beispiels diskutiert, bei dem die Zeitgabe-Markierung 503,
die aus den reflektierenden Markierungen 503A und den nicht
reflektierenden Markierungen 503B zusammengesetzt ist,
als eine Zeitgabe-Markierung zur Erfassung der Position eines IC-Trägers 16 auf
dem Test-Tablett (der Position der in einem IC-Träger 16 ausgebildeten Öffnung 16A)
eingesetzt wird. Anstelle der reflektierenden Markierungen 503A und
der nicht reflektierenden Markierungen 503B ist es auch
möglich,
Schlitze (Durchgangslöcher
oder Öffnungen) einzusetzen,
die in dem rechteckförmigen
Rahmen 12 in vorbestimmten Abständen relativ zu der Richtung
der Bewegung des Test-Tabletts ausgebildet sind, und aufgrund der
Schlitze die Positionen der Öffnungen 16A zu
erkennen, die in einem Satz von IC-Trägern 16 ausgebildet
sind, die in der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts angeordnet sind. In einem solchen
Fall kann der Zeitgabe-Erfassungssensor derart ausgestaltet sein,
daß er
die Positionen der Schlitze dadurch ermittelt, daß er Licht
erfaßt, das
durch die Schlitze hindurchgeht, oder daß er kein reflektiertes Licht
von jedem Schlitz in einem Fall erhält, bei dem das Test-Tablett
derart ausgestaltet ist, daß Licht
von seinen Abschnitten mit Ausnahme der Schlitze reflektiert wird.
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6 zeigt
eine weitere Ausführungsform des
Verfahrens zur Erfassung von Zeitgabe-Markierungen. Bei dieser Ausführungsform
ist der Fall dargestellt, daß anstelle
der reflektierenden Markierungen 503A die Löcher 22,
die in jedem IC-Träger 16 ausgebildet
sind, als Zeitgabe-Markierung
eingesetzt werden. Die Löcher 22 sind
in jedem IC-Träger 16 für die Einführung von
Positionierungsstiften in diesen vorgesehen. Die Löcher 22 werden
im folgenden als "Positionierungslöcher" bezeichnet. Jedes
Positionierungsloch 22 ist im wesentlichen an den gleichen Positionen
wie die Öffnungen 16A ausgebildet,
bezogen auf die Richtung der Bewegung des Test-Tabletts, wie es
aus 3 ersichtlich ist. Es ist daher möglich, die
Positionen der in den IC-Trägern 16 ausgebildeten Öffnungen 16A unter
Verwendung der Positionierungslöcher 22 zu
erkennen, ohne daß Schlitze
(Öffnungen)
in dem rechteckförmigen
Rahmen 12 in vorbestimmten Abständen relativ zu der Richtung der
Bewegung des Test-Tabletts ausgebildet werden.
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Das
in 6 gezeigte Ausführungsbeispiel betrifft einen
Fall, bei dem als Zeitgabe-Markierung die Positionierungslöcher 22 eingesetzt
werden, die in der rechtwinklig zu der Richtung der Bewegung des
Test-Tabletts TST verlaufenden Richtung angeordnet und an den außenseitigen
Positionen auf den beiden Seiten der in der Längsrichtung (Bewegungsrichtung)
des Test-Tabletts
verlaufenden Mittellinie angeordnet sind. Da bei diesem Ausführungsbeispiel vier
Zeilen bzw. Reihen von IC-Trägern 16 an
dem Test-Tablett angebracht sind (hierbei ist auf die Anzahl von
IC-Träger-Anordnungen
Bezug genommen, die parallel zu der Richtung der Bewegung des Test-Tabletts
ausgerichtet sind), werden von den Positionierungslöchern 22 der
IC-Träger 16 diejenigen außenseitigen
Positionierungslöcher 22,
die in den beiden äußeren IC-Träger-Anordnungen,
das heißt
in der ersten und der vierten IC-Träger-Anordnung, vorhanden sind,
als Zeitgabe-Markierung eingesetzt. Zeitgabe-Erfassungssensoren 504A und 504B sind zum
Erfassen dieser außenseitigen
Positionierungslöcher 22 an
einer Position an der Oberseite oder an der Unterseite des Test-Tabletts
bzw. oberhalb oder unterhalb desselben vorgesehen. Die Zeitgabe-Sensoren 504A und 504B erfassen
die Positionen der Positionierungslöcher 22, indem sie
Licht detektieren, das durch jedes der Positionierungslöcher 22 hindurchtritt.
Die IC-Erfassungssensoren 500A bis 500D, die die Öffnungen 16A von
jeder der parallel zu der Richtung der Bewe gung des Test-Tabletts
angeordneten IC-Träger-Anordnungen
erfassen, können
in der gleichen Weise wie bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel
angeordnet sein.
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7 zeigt
die Ausgestaltung einer IC-Erfassungsschaltung, die in diesem Fall
eingesetzt wird. Der Schaltungsaufbau zur Erfassung der Öffnungen 16A aller
vier IC-Träger-Anordnungen
ist in 7 dargestellt, wobei der sich auf eine jeweilige IC-Träger-Anordnung
beziehende Schaltungsaufbau jeweils derselbe wie der Aufbau der
anderen Schaltungen ist. Es werden daher im folgenden der Schaltungsaufbau,
der mit der ersten IC-Träger-Anordnung
zusammenhängt,
und dessen Arbeitsweise beschrieben.
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Die
Erfassungsschaltung zur Erfassung der Öffnungen 16A der IC-Träger in der
ersten IC-Träger-Anordnung
weist Zeitgabe-Erfassungssensoren 504A und 504B,
ein NOR-Glied (Nicht-ODER-Glied) NOR
zum Herausgreifen oder Weiterleiten der von den Zeitgabe-Erfassungssensoren 504A und 504B abgegebenen,
erfaßten
Signale, ein UND-Glied AND zum Herausgreifen bzw. Aufnehmen des
von dem IC-Erfassungssensor 500A abgegebenen, detektierten
Signals, ein erstes Flipflop FF1 zum Speichern der Information,
in Form eines Signals mit niedrigem logischen Pegel L, daß der IC-Erfassungssensor 500A durch
die Öffnung 16A hindurchgetretenes Licht
in einem Zustand erfaßt
hat, bei dem die Zeitgabe-Erfassungssensoren 504A und 504B die
Positionierungslöcher 22 detektiert
haben, sowie zum Speichern der Information, in Form eines Signals
mit hohem logischen Pegel H, daß ein
IC in einem Zustand bzw. zu einem Zeitpunkt vorhanden ist (der IC-Erfassungssensor 500A hat
kein durch die Öffnung 16A hindurchgetretenes
Licht erfaßt),
zu dem die Zeitgabe-Erfassungssensoren 504A und 504B die
Positionierungslöcher 22 detektiert
haben, sowie zum Abgeben des gespeicherten Inhalts, sowie ein zweites Flipflop
FF2 auf, das dazu dient, dann, wenn das erste Flipflop FF1 ein Signal
mit hohem logischen Pegel H aufgrund der Erfassung des Vorhandenseins
eines ICs abgegeben hat, dieses Signal mit hohem logischen Pegel
H aufzunehmen und solange beizubehalten, bis das Test-Tablett vorbeigelaufen
ist.
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Das
NOR-Glied NOR gibt ein Zeitgabesignal QA ab, das jedesmal dann auf
den hohen logischen Pegel H wechselt, wenn beide Zeitgabe-Erfassungssensoren 504A und 504B die
Positionierungslöcher 22 erkennen,
wie es in 8A gezeigt ist. Da dieses Zeitgabesignal
QA an den Takteingang CK des ersten Flipflops FF1 angelegt wird,
liest das erste Flipflop FF1 das an seinen Datenanschluß D angelegte Signal
mit hohem logischen Pegel H zu einem Zeitpunkt ein, zu dem das Zeitgabesignal
QA ansteigt.
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Falls
kein IC in dem IC-Träger 16 vorhanden ist,
gibt der IC-Erfassungssensor 500A ein in 8B gezeigtes
Signal QB ab, das aufgrund der Erfassung von durch die Öffnung 16A hindurchtretendem
Licht mittels dieses Sensors 500A auf niedrigen logischen Pegel
L abfällt
und diesen niedrigen logischen Pegel L so lange beibehält, bis
die Öffnung 16A vorbeigelaufen
ist. Da dieses Signal QB an den Löschanschluß CL des ersten Flipflops FF1
angelegt wird, wird das erste Flipflop FF1 zum Zeitpunkt des Abfallens
des Zeitgabesignals QB gelöscht
(rückgesetzt) und
speichert in sich den niedrigen logischen Pegel L für dessen
Abgabe. Das Ausgangssignal Q1 des ersten Flipflops FF1 ist in 8C dargestellt. Das Ausgangssignal Q1
steigt zu einem Zeitpunkt T1, bei dem das Zeitgabesignal QA ansteigt,
auf hohen logischen Pegel H an und kehrt zu einem Zeitpunkt T2, zu
dem das Signal QB abfällt,
auf niedrigen logischen Pegel L zurück.
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Zum
Zeitpunkt des Abfalls des Zeitgabesignals QA liest das zweite Flipflop
FF2 den logischen Zustand des Ausgangssignals des ersten Flipflops FF1.
Falls sich das Ausgangssignal des ersten Flipflops FF1 in diesem
Fall beim logischen Pegel L befindet, behält das zweite Flipflop FF2
den Zustand des logischen Pegels L dauerhaft bei.
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Der
in 8 dargestellte Signalverlauf gibt an, daß ein IC
in dem zweiten IC-Träger 16 in
der ersten IC-Träger-Anordnung
vorhanden ist. Während der
Zeitdauer, während
der das zweite Zeitgabesignal QA auf den hohen logischen Pegel H
ansteigt, gibt das UND-Glied weiterhin ein Signal mit hohem logischen
Pegel H ab. Als Folge hiervon liest das zweite Flipflop FF2 das
von dem ersten Flipflop FF1 abgegebene Signal mit hohem logischen
Pegel H zu dem Zeitpunkt T3 des Abfallens des zweiten Zeitgabesignals
QA ein (8E).
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Da
das Ausgangssignal des zweiten Flipflops FF2 über ein ODER-Glied OR1 an den
Datenanschluß D
des zweiten Flipflops FF2 zurückgeleitet wird,
gibt das zweite Flipflop FF2, sobald es einen hohen logischen Pegel
H eingelesen hat, kontinuierlich ein Signal mit hohem logischen
Pegel H bis zu einem Zeitpunkt T4 ab, zu dem ein in 8D gezeigtes Rücksetzsignal
RET auf niedrigen logischen Pegel L abfällt, unabhängig davon, ob sich das Ausgangssignal
des ersten Flipflops FF1 ändert.
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Ein
in 8E gezeigtes Ausgangssignal OUT
wird an einem Ausgangsanschluß 70 abgegeben,
indem die Ausgangssignale jedes zweiten Flipflops FF2, die einen
Bestandteil der IC-Erfassungsschaltung bilden, an ein ODER-Glied
OR2 angelegt werden, das eine ODER-Verknüpfung durchführt, und
das Ergebnis dieser ODER-Verknüpfung
an dem Ausgangsanschluß 70 abgegeben
wird. Hierbei ist jedes zweite Flipflop in Übereinstimmung mit einer jeweiligen
IC-Träger-Anordnung
vorgesehen.
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Wenn
an dem Ausgangsanschluß 70 ein
Signal mit hohem logischen Pegel H abgegeben wird, wird hierdurch
signalisiert, daß ein
IC auf dem Test-Tablett TST zurückgeblieben
ist. Wenn daher zum Beispiel das Ausgangssignal OUT am Ausgangsanschluß 70 an
eine Steuereinrichtung (nicht gezeigt) eingangsseitig angelegt wird,
ist es möglich, die
Steuereinrichtung zur Ausführung
einer Steuerung wie etwa der Abgabe eines Alarms durch die Steuereinrichtung
zu veranlassen, oder den Betrieb der Handhabungseinrichtung anzuhalten,
oder eine andere Maßnahme
vorzunehmen.
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Bei
dem in 7 gezeigten Ausführungsbeispiel ist eine Auslegung
gezeigt, bei der das Ausführungsbeispiel
zur Erfassung eines ICs eingesetzt wird, der auf einem Test-Tablett
TST zurückgeblieben ist,
das eigentlich von ICs geleert sein sollte. Falls der Schaltungsaufbau
derart ausgestaltet ist, daß das erste
Flipflop FF1 ein Signal hohen logischen Pegels H speichert, wenn
kein IC in dem IC-Träger 16 vorhanden
ist, und ein Signal mit niedrigem logischen Pegel L speichert, wenn
ein IC in dem IC-Träger 16 vorhanden
ist, und daß ein
in dem ersten Flipflop FF1 gespeichertes Signal mit hohem logischen
Pegel H in dem zweiten Flipflop FF2 zum Zeitpunkt des Abfallens
des Zeitgabesignals QA gespeichert wird, läßt sich das Verfahren für den Fall
der Erfassung des Sachverhalts einsetzen, daß ein IC, der in dem Beschickungsabschnitt 300 auf
das Test-Tablett TST aufgebracht worden ist, von dem Test-Tablett
während
des Zeitintervalls bis zu der Ausgabe des Test-Tabletts an den Entladeabschnitt 400 herabgefallen
ist.
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Es
erübrigt
sich ferner, festzustellen, daß die vorliegende
Erfindung auch bei einem IC-Testgerät mit einer mit ihm verbundenen
Handhabungseinrichtung für
Magazine/Tabletts mit einer solchen Ausgestaltung eingesetzt werden
kann, daß sowohl
ICs, die in einem als "stabförmiges Magazin" bezeichneten IC-Behälter aufgenommen
sind, als auch auf einem für
allgemeinen Einsatz ausgelegten Tablett aufgebrachte ICs auf ein
Test-Tablett transportiert werden können und das mit den darauf
aufgebrachten ICs bestückte
Test-Tablett zu dem Testabschnitt für einen Testvorgang transportiert
wird, wonach sich verschiedenartige Bearbeitungen der getesteten
ICs auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse anschließen. Auch
in diesem Fall lassen sich die gleichen Funktionen und Effekte erzielen.
Wenn eine Handhabungseinrichtung dieser Ausführungsform eingesetzt wird,
rutschen ICs, die in einem stabförmigen
bzw. stangenförmigen
Magazin aufgenommen sind, aufgrund ihres Eigengewichts aufeinanderfolgend
nach unten, so daß die
ICs aus dem Magazin aufgrund der durch ihr Eigengewicht hervorgerufenen,
das Herabfallen jedes ICs bewirkenden Naturkraft ausgegeben werden,
wobei das stangenförmige
Magazin, bezogen auf den horizontalen Zustand, in einem geneigten
Zustand gehalten wird. Hierbei ist eine Station, an der aus dem
Magazin ausgegebene ICs auf ein Test-Tablett transportiert werden,
als ein Beschickungsabschnitt definiert.
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Wie
vorstehend erläutert,
ist bei der vorliegenden Erfindung das Merkmal zusätzlich vorgesehen,
daß erfaßt wird,
ob ein IC auf einem Test-Tablett TST verblieben ist, das eigentlich
von getesteten ICs entleert sein sollte. Es ist daher möglich, in
dem Beschickungsabschnitt 300 (einschließlich der
Station, bei der aus dem stangenförmigen Magazin ausgegebene
ICs auf ein Test-Tablett
umgesetzt werden) einen fehlerhaften Vorgang, bei dem ein IC auf
dem verbliebenen IC in der Form eines Stapels aufgebracht wird,
zu verhindern. Als Folge hiervon kann ein unerwünschter Vorgang, daß zum Beispiel
ein IC aus dem Test-Tablett in der Konstanttemperaturkammer 101 herausfällt und
hierbei die Gefahr mit sich bringt, daß eine darunter befindliche
Transporteinrichtung beschädigt
werden kann, verhindert werden. Ferner läßt sich eine fehlerhafte Klassifizierung,
bei der der obere IC in dem Stapel, der ohne ein Herausfallen aus
dem Test-Tablett transportiert wird, getestet wird und zu dem Entladeabschnitt 400 ausgegeben
wird, bei dem der obere IC auf der Basis der Testergebnisse bezüglich des
unteren ICs in dem Stapel sortiert wird, verhindern.
-
Darüberhinaus
kann bei der vorliegenden Erfindung das Herausfallen eines ICs erfaßt werden, selbst
wenn ein IC von dem Test-Tablett während des Tests in dem Testabschnitt
oder während
der Zeitdauer des Transports des Test-Tabletts von dem Testabschnitt
zu dem Entladeabschnitt 400 herausfällt. Folglich läßt sich
ein fehlerhafter Betrieb dahingehend, daß ein IC bezüglich einer
IC-Tasche an dem Test-Tablett, in der keinerlei IC vorhanden ist,
virtuell in Abhängigkeit
von den Testergebnissen klassifiziert wird, die in der Speichereinrichtung
gespeichert sind, verhindern. Somit kann ein Sortiervorgang im Hinblick
auf eine IC-Tasche auf dem Test-Tablett, in der kein IC vorhanden
ist, verhindert werden, und es kann die Zeitspanne, die zur Durchführung des
gesamten Klassifizierungsvorgangs erforderlich ist, verringert werden.
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Ferner
kann bei der vorliegenden Erfindung ein leere IC-Tasche erfaßt werden,
wenn eine solche leere IC-Tasche in einem Test-Tablett TST, das
zu dem Testabschnitt transportiert wird, vorhanden sein sollte,
was seinen Grund darin haben kann, daß ein IC von dem Test-Tablett
während
des Transports des Test-Tabletts von dem Beschickungsabschnitt 300 zu dem
Testabschnitt herausgefallen ist, oder daß das Test-Tablett zu dem Testabschnitt
mit einer IC-Tasche transportiert wird, die keinen IC enthält, wenn
in dem Beschickungsabschnitt 300 kein zu testender IC auf
das Test-Tablett aufgebracht werden konnte. Daher läßt sich
der Test bezüglich
der leeren IC-Tasche verhindern. Als Ergebnis wird kein vergeblicher
Test durchgeführt,
so daß die
Testdauer verringert werden kann und ein mit hoher Zuverlässigkeit
arbeitendes IC-Testgerät bereitgestellt
werden kann.
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Da
weiterhin gemäß der vorliegenden
Erfindung die Ausgestaltung derart getroffen ist, daß das Vorhandensein
oder Fehlen eines ICs in dem IC-Träger anhand einer Zeitgabemarkierung
erfaßt
wird, läßt sich
das Vorhandensein bzw. Fehlen eines ICs auf dem Test-Tablett zuverlässig ermitteln.
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Auch
wenn die vorliegende Erfindung gemäß der vorstehenden Beschreibung
bei ihrem Einsatz bei einem IC-Testgerät beschrieben ist, das zum
Testen von ICs als Halbleiterbauelemente dient, versteht es sich,
daß die
vorliegende Erfindung auch bei Testgeräten einsetzbar ist, die zum
Testen von anderen Halbleiterbauelementen als ICs dienen, wobei
sich die gleichen Effekte erzielen lassen, wie sie vorstehend erläutert sind.