KR101880950B1 - 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치, 이를 위한 방법 및 이 방법을 수행하는 응용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체 - Google Patents

트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치, 이를 위한 방법 및 이 방법을 수행하는 응용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치, 이를 위한 방법 및 이 방법을 수행하는 응용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 바닥면에 관통홀이 형성된 복수의 포켓을 가지는 트레이가 세트플레이트에 안착되면 상기 세트플레이트를 촬영하는 카메라부와, 상기 카메라부의 촬영 시 상기 세트플레이트를 조명하는 조명부와, 상기 세트플레이트를 촬영한 영상에서 트레이 영역 영상을 추출한 후, 상기 트레이 영역 영상으로부터 상기 관통홀 영역의 조도를 통해 상기 복수의 포켓 각각에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치와, 이를 위한 방법 및 이 방법을 수행하는 응용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체를 제공한다.

Description

트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치, 이를 위한 방법 및 이 방법을 수행하는 응용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체{Apparatus for checking semiconductor chip in tray, method thereof and a computer recordable medium storing application program performing the method}
본 발명은 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 기술에 관한 것으로, 반도체 검사 장비에서 사용되는 트레이 내의 반도체 칩의 잔존 여부를 점검하기 위한 장치 및 이를 위한 방법에 관한 것이다.
반도체 장비 산업은 반도체 칩 제조 산업에 있어 중요한 부분을 차지하고 있는데, 반도체 칩 제조업체들은 매출액의 약 20% 정도를 반도체 장비 구입에 쓰고 있다. 예전의 반도체 장비 산업은 반도체 칩 산업에 있어서 별로 중요하지 않은 부문으로 인식되었지만 반도체 산업이 발전함에 따라 장비 산업의 중요성이 점점 높아지고 있으며, 예전에는 칩 제조업체가 주도하였던 많은 기술 개발들이 장비 업체가 주도하게 되는 일이 점차로 늘어나고 있다. 반도체 장비 중에서도 반도체가 제품에 장착되기 전에 본래의 기능을 제대로 수행할 것인지에 대한 사전 평가를 하는 장비는 매우 중요한 부분이다. 메모리 반도체 제조공정에서 FAB 공정이 완료된 후 웨이퍼와 패키지 상태에서 반도체 칩이 제 기능을 올바로 수행할 수 있는지를 확인하고 불량유무를 결정하는 장비를 일반적으로 검사장비 또는 테스트 장비라고 하며, 조기에 반도체의 기능과 신뢰성을 평가하여 불량 발생으로 인한 손실을 최소화하는 역할을 한다.
본 발명의 목적은 반도체 검사 장비에서 복수의 반도체 칩을 이송하기 위해 사용되는 트레이 상에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 점검하기 위한 장치, 이를 위한 방법 및 이 방법을 수행하는 응용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체를 제공함에 있다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치는 바닥면에 관통홀이 형성된 복수의 포켓을 가지는 트레이가 세트플레이트에 안착되면 상기 세트플레이트를 촬영하는 카메라부와, 상기 카메라부의 촬영 시 상기 세트플레이트를 조명하는 조명부와, 상기 세트플레이트를 촬영한 영상에서 트레이 영역 영상을 추출한 후, 상기 트레이 영역 영상으로부터 상기 관통홀 영역의 조도를 통해 상기 복수의 포켓 각각에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하는 제어부를 포함한다.
상기 제어부는 상기 트레이 영역 영상에서 상기 복수의 포켓의 수평 및 수직 길이가 기 설정된 범위 내에 있도록 상기 트레이 영역 영상을 보정하는 영상보정모듈을 포함한다.
상기 제어부는 상기 트레이 영역 영상을 하나의 셀에 하나의 포켓이 포함되는 복수의 셀로 구분하고, 상기 구분된 복수의 셀의 연속된 배열에 따라 상기 복수의 포켓의 수를 확인하는 포켓구분모듈을 더 포함한다.
상기 제어부는 상기 구분된 셀 각각의 상기 관통홀 영역의 조도가 기 설정된 수치 이상이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하지 않는 것으로 판단하고, 상기 관통홀 영역의 조도가 기 설정된 수치 미만이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하는 것으로 판단하는 잔여칩판별모듈을 더 포함한다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법은 바닥면에 관통홀이 형성된 복수의 포켓을 가지는 트레이가 세트플레이트에 안착되면 상기 세트플레이트를 조명하는 단계와, 상기 세트플레이트를 촬영하는 단계와, 상기 세트플레이트를 촬영한 영상에서 트레이 영역 영상을 추출하는 단계와, 상기 세트프레이트를 촬영한 영상에서 트레이 영역 영상을 추출한 후, 상기 트레이 영역 영상으로부터 상기 관통홀 영역의 조도를 통해 상기 복수의 포켓 각각에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하는 단계를 포함한다.
상기 판별하는 단계는 상기 트레이 영역 영상에서 상기 복수의 포켓의 수평 및 수직 길이가 기 설정된 범위 내에 있도록 상기 트레이 영역 영상을 보정하는 단계를 포함한다.
상기 판별하는 단계는 상기 보정하는 단계 후, 상기 트레이 영역 영상을 하나의 셀에 하나의 포켓이 포함되는 복수의 셀로 구분하고, 상기 구분된 복수의 셀의 연속된 배열에 따라 상기 복수의 포켓의 수를 확인하는 단계를 더 포함한다.
상기 판별하는 단계는 상기 구분하는 단계 후, 상기 구분된 셀 각각의 상기 관통홀 영역의 조도가 기 설정된 수치 이상이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하지 않는 것으로 판단하고, 상기 관통홀 영역의 조도가 기 설정된 수치 미만이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하는 것으로 판단하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 다른 견지에 따르면 전술한 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법을 수행하도록 하는 응용프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체를 제공할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 세트플레이트에 트레이가 안착된 후, 트레이를 조명하면서 이를 촬영하면, 트레이에 형성되는 포켓 바닥면에 형성되는 관통홀을 통해 투과되는 빛이 세트플레이트에 반사되는지 여부에 따라 그 조도가 차이가 나기 때문에 개별 포켓 내에 반도체 칩이 관통홀을 가리는지 여부에 따라 개별 포켓 내에 반도체 칩의 존재 여부를 명확하게 판별할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제어부의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 트레이를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 영역을 설명하기 위한 화면 예이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 영역 영상을 보정하는 방법을 설명하기 위한 화면 예이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 영역 영상을 복수의 셀로 구분하기 위한 방법을 설명하기 위한 화면 예이다.
도 9 및 도 10은 포켓에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하기 위한 방법을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 상세한 설명에 앞서, 이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음을 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다.
먼저, 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치에 대해서 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제어부의 구성을 설명하기 위한 블록도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 트레이를 설명하기 위한 사시도이다.
먼저, 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 트레이(300)는 복수의 포켓(310)이 형성된다. 복수의 포켓(310) 각각에는 반도체 칩(미도시)이 수납될 수 있다. 반도체 검사 장치는 각 검사 공정 단계 별로 트레이(300)를 이송하여 트레이(300)에 수납된 복수의 반도체 칩을 검사하기 위한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치(이하, '점검 장치'로 축약함)(100)는 이러한 트레이(300)의 복수의 포켓(310) 내에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하기 위한 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 점검 장치(100)는 기본적으로, 반도체 검사 장치에 설치되는 것으로, 컴퓨팅 연산을 수행할 수 있는 모듈과 이와 연결된 그 주변 기기들로 이루어진다. 이러한 점검 장치(100)는 카메라부(110), 조명부(120), 입력부(130), 표시부(140), 저장부(150) 및 제어부(160)를 포함한다. 여기서, 도면부호 101은 보드(Board)를 나타내며, 보드(101)에는 제어부(160)가 실장된다. 보드(101)의 데이터 혹은 제어 명령 전달을 위한 유선 혹은 무선 인터페이스를 통해 제어부(160)와 카메라부(110), 조명부(120), 입력부(130), 표시부(140) 및 저장부(150)가 상호 연결될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 트레이(300)는 세트플레이트(200)에 안착된 상태이다. 점검 장치(100) 중 카메라부(110) 및 조명부(120)는 세트플레이트(200)와 소정 거리 이격되어 세트플레이트(200)의 상부에 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 나머지 구성 요소들(130, 140, 150 및 160)은 카메라부(110) 및 조명부(120)가 설치된 로컬에 설치되거나, 원격 연결을 통해 원격지에 설치될 수도 있다.
카메라부(110)는 렌즈, 이미지센서 및 A/D 컨버터를 포함한다. 그 밖에, 카메라부(110)는 소정의 필터 등이 카메라부(110)의 구성으로 더 포함될 수 있으며, 기구적으로, 렌즈, 이미지센서 및 A/D 컨버터는 액추에이터(actuator)를 포함하는 하우징 내에 장착되고, 이러한 액추에이터를 구동시키는 드라이버 등이 카메라부(110)에 포함될 수 있다. 렌즈는 입사되는 가시광선이 이미지센서 상에 초점이 맺히도록 한다. 이미지센서는 반도체소자의 제조기술을 이용하여 집적회로화된 광전변환소자이다. 이미지센서는 예컨대, CCD(charge-coupled device) 이미지 센서 혹은 CMOS(complementary metal-oxide semiconductor) 이미지 센서가 될 수 있다. 이러한 이미지센서는 각 화소별로 가시광선을 감지하여 감지된 가시광선의 크기를 전기 신호로 출력한다. 그러면, 이미지센서가 출력하는 전기 신호는 아날로그 신호이며, A/D 컨버터는 이러한 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여 제어부(160)로 출력한다. 그러면, 제어부(160)은 가시광선의 크기에 따라 각 화소의 컬러값을 결정하고, 이를 통해 영상을 구성한다.
조명부(120)는 트레이(300)를 조명하기 위한 것으로, 제어부(160)의 제어에 따라 카메라부(110)의 촬영 시, 혹은 트레이(300)가 세트플레이트(200)에 안착될 때, 트레이(300)를 조명한다. 이러한 조명부(120)는 다양한 규격의 조명 기기가 사용될 수 있다.
입력부(130)는 점검 장치(100)의 각 종 기능, 동작 등을 제어하기 위한 사용자의 키 조작을 입력받고 입력 신호를 생성하여 제어부(160)에 전달한다. 입력부(130)는 키보드, 마우스 등을 예시할 수 있다. 입력부(130)는 전원 on/off를 위한 전원 키, 문자 키, 숫자 키, 방향키 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 입력부(130)의 기능은 표시부(140)가 터치스크린으로 구현된 경우, 표시부(140)에서 이루어질 수 있으며, 표시부(140)만으로 모든 기능을 수행할 수 있는 경우, 입력부(130)는 생략될 수도 있다.
표시부(140)는 제어부(160)로부터 화면 표시를 위한 데이터를 수신하여 수신된 데이터를 화면으로 표시할 수 있다. 특히, 본 발명의 실시예에 따른 트레이(300)의 복수의 포켓 각각에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 이미지를 통해 표시하거나, 텍스트 등을 통해 표시할 수 있다. 또한, 표시부(140)은 점검 장치(100)의 메뉴, 데이터, 기능 설정 정보 및 기타 다양한 정보를 사용자에게 시각적으로 제공할 수 있다. 표시부(140)이 터치스크린으로 형성되는 경우, 입력부(130)의 기능의 일부 또는 전부를 대신 수행할 수 있다. 표시부(140)은 액정표시장치(LCD, Liquid Crystal Display), 유기 발광 다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes), 능동형 유기 발광 다이오드(AMOLED, Active Matrix Organic Light Emitting Diodes) 등으로 형성될 수 있다.
저장부(150)은 점검 장치(100)의 동작에 필요한 각 종 데이터, 애플리케이션, 점검 장치(100)의 동작에 따라 구성되는 각 종 데이터를 저장하는 역할을 수행한다. 이러한 저장부(150)은 크게 프로그램 영역과 데이터 영역을 포함할 수 있다. 프로그램 영역은 점검 장치(100)의 부팅(booting) 및 운영(operation)을 위한 운영체제(OS, Operating System), 본 발명의 실시예에 따른 트레이에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하기 위한 방법을 실행하는 애플리케이션 프로그램 등을 저장할 수 있다. 데이터 영역은 본 발명의 실시예에 따른 트레이에 형성되는 포켓의 배치, 즉, 포켓이 배치되는 열과 행의 수 등을 저장할 수 있다. 저장부(150)에 저장되는 각 종 데이터는 사용자의 조작에 따라, 삭제, 변경, 추가될 수 있다.
제어부(160)은 점검 장치(100)의 전반적인 동작 및 점검 장치(100)의 내부 블록들 간 신호 흐름을 제어하고, 데이터를 처리하는 데이터 처리 기능을 수행할 수 있다. 이러한 제어부(160)은 중앙 처리 장치(Central Processing Unit : CPU), 애플리케이션 프로세서(Application Processor), GPU(Graphic Processing Unit) 등이 될 수 있다.
제어부(160)는 영상보정모듈(161), 포켓구분모듈(163) 및 잔여칩판별모듈(165)을 포함한다. 영상보정모듈(161)은 카메라부(110)가 촬영한 트레이(300)를 포함하는 영상에서 복수의 포켓(310)의 수평 및 수직 길이가 기 설정된 범위 내에 있도록 영상을 보정한다. 포켓구분모듈(163)은 카메라부(110)가 촬영한 트레이(300)를 포함하는 영상에서 트레이(300) 상의 복수의 포켓(310)의 배치에 따라 복수의 포켓(310) 각각을 구분한다. 잔여칩판별모듈(165)은 카메라부(110)가 촬영한 트레이(300)를 포함하는 영상에서 복수의 포켓(310) 각각에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별한다. 영상보정모듈(161), 포켓구분모듈(163) 및 잔여칩판별모듈(165)은 하드웨어로 구현된 것과 같이 설명될 것이나, 이에 한정되는 것은 아니며, 영상보정모듈(161), 포켓구분모듈(163) 및 잔여칩판별모듈(165)은 저장부(150)에 저장되었다가, 제어부(160)에서 실행되는 애플리케이션으로 구현될 수도 있다. 전술한 영상보정모듈(161), 포켓구분모듈(163) 및 잔여칩판별모듈(165)을 포함하는 제어부(160)의 동작은 아래에서 보다 상세하게 설명될 것이다.
그러면, 먼저, 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법에 대해서 설명하기로 한다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 영역을 설명하기 위한 화면 예이다. 도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 영역 영상을 보정하는 방법을 설명하기 위한 화면 예이다. 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 트레이 영역 영상을 복수의 셀로 구분하기 위한 방법을 설명하기 위한 화면 예이다. 도 9 및 도 10은 포켓에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하기 위한 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 제어부(160)는 S110 단계에서 세트플레이트(200)에 트레이(300)가 배치되는 것을 감지한다. 반도체 검사 장치는 그 검사 공정에 따라 세트플레이트(200) 상에 트레이(300)를 배치할 수 있다. 이때, 제어부(160)는 반도체 검사 장치로부터 제어 신호를 수신하여 세트플레이트(200)에 트레이(300)가 안착된 것을 감지할 수 있다. 혹은, 제어부(160)는 카메라부(110)를 통해 세트플레이트(200)를 지속적으로 촬영하다가 이미지 인식을 통해 세트플레이트(200) 상에 트레이(300)가 배치되는 것을 감지할 수도 있다.
세트플레이트(200)에 트레이(300)가 배치되면, 제어부(160)는 S120 단계에서 조명부(120)를 통해 세트플레이트 영역을 조명하고, 카메라부(110)를 통해 세트플레이트 영역을 촬영하여 세트플레이트 영역 영상을 생성한다. 이어서, 제어부(160)의 영상보정모듈(161)은 S130 단계에서 세트플레이트 영역으로부터 트레이 영역을 추출하여 트레이 영역 영상을 생성한다. 이러한 화면 예를 도 5에 도시하였다. 도 5의 (A)는 카메라부(110)가 촬영한 세트플레이트 영역 영상이며, 도 5의 (B)는 세트플레이트 영역 영상으로부터 추출된 트레이 영역 영상을 보인다. 도 5의 (A)에 보인 바와 같이, 세트플레이트 영역은 세트플레이트(200)가 온전히 하나의 영상 내에 포함되도록 세트플레이트(200)와 그를 둘러싸는 마진 영역(201)을 포함한다. 세트플레이트 영역 영상은 이러한 세트플레이트(200)와 그를 둘러싸는 마진 영역(201)을 포함된 영상을 의미한다. 또한, 도 5의 (B)에 보인 바와 같이, 트레이 영역은 트레이(300)가 온전히 영상 내에 포함되도록 트레이(300)와 그를 둘러싸는 마진 영역(301)을 포함한다. 여기서, 마진 영역(310)은 세트플레이(200)의 일부가 될 수 있다. 트레이 영역 영상은 이러한 트레이(300)와 그를 둘러싸는 마진 영역(301)을 포함된 영상을 의미한다.
이어서, 제어부(160)의 영상보정모듈(161)은 S140 단계에서 복수의 포켓의 수평 및 수직 길이(x, y)가 기 설정된 범위 내에 있도록 트레이 영역 영상을 보정한다. 도 7에 보인 바와 같이, 영상보정모듈(161)은 트레이 영역 영상을 수평 혹은 수직 길이를 늘이거나 혹은 줄일 수 있다(x1, y1). 혹은 영상보정모듈(161)은 트레이 영역 영상을 x축을 회전축으로 하여 회전시키거나(x2), y축을 회전축으로 하여 회전시킬 수 있다(y2).
이어서, 제어부(160)의 포켓구분모듈(163)은 S150 단계에서 트레이 영역 영상을 하나의 셀에 하나의 포켓이 포함되는 복수의 셀로 구분한다. 도 8에 구분된 어느 하나의 셀(C)이 도시되었다. 그런 다음, 포켓구분모듈(163)은 S160 단계에서 앞서 구분된 복수의 셀의 연속된 배열에 따라 포켓의 수량을 확인한다.
다음으로, 제어부(160)의 잔여칩판별모듈(165)은 S170 단계에서 앞서 구분된 셀의 각각의 조도를 통해 포켓 내에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별한다. 도 9 및 도 10에 트레이 영역에서 구분된 어느 하나의 셀의 단면이 도시되었다. 도시된 바와 같이, 포켓(310)의 바닥면(311)에는 관통홀(311)이 존재한다. 도 9에 도시된 셀(C)의 포켓(310)에는 반도체 칩(10)이 존재하지 않는 상태이며, 도 10에 도시된 셀(C)의 포켓(310)에는 반도체 칩(10)이 존재하는 상태이다.
도 9와 같이 반도체 칩(10)이 존재하지 않을 때, 카메라부(110)의 촬영 시, 조명부(120)의 조명에 따른 빛은 관통홀(311)을 통과하여 세트플레이트(200)에 반사되어 카메라부(110)에 입사된다. 반면, 도 10과 같이 반도체 칩(10)이 존재하지 않을 때, 카메라부(110)의 촬영 시, 조명부(120)의 조명에 따른 빛은 반도체 칩(10)에 반사되어 카메라부(110)에 입사된다. 따라서 반도체 칩(10)이 존재할 때와 존재하지 않을 때 촬영된 영상에서 관통홀 부분의 조도는 차이가 있다. 이에 따라, 제어부(160)의 잔여칩판별모듈(165)은 앞서 구분된 셀의 관통홀(311) 영역의 조도가 기 설정된 수치 이상이면, 해당 셀의 포켓(310)에 반도체 칩(10)이 존재하지 않는 것으로 판별한다. 반면, 제어부(160)의 잔여칩판별모듈(165)은 앞서 구분된 셀의 관통홀(311) 영역의 조도가 기 설정된 수치 미만이면, 해당 셀의 포켓(310)에 반도체 칩(10)이 존재하는 것으로 판별한다.
각 셀의 포켓(310)에 반도체 칩(10)의 존재여부를 판별한 후, 제어부(160)의 잔여칩판별모듈(165)은 S180 단계에서 이미지 혹은 텍스트 등을 이용하여 각 포켓(310) 별로 반도체 칩이 존재 여부 및 그 수를 표시부(140)를 통해 표시한다.
한편, 전술한 본 발명의 실시예에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법은 다양한 컴퓨터수단을 통하여 판독 가능한 프로그램 형태로 구현되어 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체에 기록될 수 있다. 여기서, 기록매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 기록매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 예컨대 기록매체는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광 기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치를 포함한다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 와이어뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 와이어를 포함할 수 있다. 이러한 하드웨어 장치는 본 발명의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
이상 본 발명을 몇 가지 바람직한 실시예를 사용하여 설명하였으나, 이들 실시예는 예시적인 것이며 한정적인 것이 아니다. 이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자라면 본 발명의 사상과 첨부된 특허청구범위에 제시된 권리범위에서 벗어나지 않으면서 균등론에 따라 다양한 변화와 수정을 가할 수 있음을 이해할 것이다.
100: 점검 장치
110: 카메라부
120: 조명부
130: 입력부
140: 표시부
150: 저장부
160: 제어부
200: 트레이
300: 세트플레이트
310: 포켓
311: 관통홀

Claims (9)

  1. 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치에 있어서,
    바닥면에 관통홀이 형성된 복수의 포켓을 가지는 트레이가 세트플레이트에 안착되면 상기 세트플레이트를 촬영하는 카메라부와,
    상기 카메라부의 촬영 시 상기 세트플레이트를 조명하는 조명부와,
    상기 카메라부가 상기 세트플레이트를 촬영하여 생성한 세트플레이트 영역 영상으로부터 상기 트레이를 포함하는 상기 트레이 영역 영상을 추출하고, 추출된 상기 트레이 영역 영상에서 상기 복수의 포켓의 수평 및 수직 길이가 기 설정된 범위 내에 있도록 상기 트레이 영역 영상을 보정하는 영상보정모듈; 보정된 상기 트레이 영역 영상을 하나의 셀에 하나의 포켓이 포함되는 복수의 셀로 구분하고, 구분된 상기 복수의 셀의 연속된 배열에 따라 상기 복수의 포켓의 수를 확인하는 포켓구분모듈; 및 상기 구분된 복수의 셀 각각의 관통홀 영역의 조도가, 기 설정된 수치 이상이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하지 않는 것으로 판단하고, 기 설정된 수치 미만이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하는 것으로 판단하는 잔여칩판별모듈;을 포함하여, 상기 복수의 포켓 각각에 반도체 칩이 존재하는지 여부를 판별하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법에 있어서,
    바닥면에 관통홀이 형성된 복수의 포켓을 가지는 트레이가 세트플레이트에 안착되면 상기 세트플레이트를 조명하는 단계;
    상기 세트플레이트를 촬영하는 단계;
    상기 세트플레이트를 촬영하여 생성한 세트플레이트 영역 영상으로부터 상기 트레이를 포함하는 트레이 영역 영상을 추출하는 단계;
    추출된 상기 트레이 영역 영상에서 상기 복수의 포켓의 수평 및 수직 길이가 기 설정된 범위 내에 있도록 상기 트레이 영역 영상을 보정하는 단계;
    보정된 상기 트레이 영역 영상을 하나의 셀에 하나의 포켓이 포함되는 복수의 셀로 구분하고, 구분된 상기 복수의 셀의 연속된 배열에 따라 상기 복수의 포켓의 수를 확인하는 단계; 및
    상기 구분된 복수의 셀 각각의 관통홀 영역의 조도가, 기 설정된 수치 이상이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하지 않는 것으로 판단하고, 기 설정된 수치 미만이면 해당 셀의 포켓에 상기 반도체 칩이 존재하는 것으로 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제5항에 따른 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 방법을 수행하도록 하는 응용프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
KR1020160112920A 2016-09-02 2016-09-02 트레이 내 반도체 칩을 점검하기 위한 장치, 이를 위한 방법 및 이 방법을 수행하는 응용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체 KR101880950B1 (ko)

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