JP2019086320A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】例えばカメラ等のような撮像部を用いて、載置部上の電子部品の有無を正確に判断することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品を搬送する搬送部と、前記電子部品が載置可能な載置部と、前記載置部を撮像する撮像部と、前記載置部に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する判断部を有し、前記判断部で判断するのに際し、前記撮像部および前記レーザー光照射部の作動を制御する制御部と、を備え、前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部に基づいて、前記電子部品の有無を判断することを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図6
Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
従来から、例えばICデバイス等のような電子部品(被試験電子部品)に対して、電気的な試験をする電子部品試験装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1に記載の電子部品試験装置では、電子部品に対して試験を行なう際、電子部品をソケットに載置して、その試験を行なうよう構成されている。また、特許文献1に記載の電子部品試験装置では、電子部品に対する試験を行なうのに先立って、ソケットに電子部品が残留しているか否か、すなわち、電子部品の有無を判定している。この判定の必要性としては、例えば仮にソケットに電子部品が残留していた場合、この残留電子部品に、これらから試験される電子部品が重なってしまい、正確な試験結果が得られないおそれがあるからである。そして、特許文献1に記載の電子部品試験装置では、電子部品の有無の判定は、ソケットの画像を得て、その画像と、判定基準画像とを比較して、その比較結果に基づいて行われる。
しかしながら、特許文献1に記載の電子部品試験装置では、例えば撮像環境(ソケットが設置されている空間内)が暗い場合、電子部品の有無の判定に用いられる画像が全体的に黒くなってしまい、電子部品が画像内に全くまたはほとんど映らない。この場合、判定基準画像と比較することができず、結果、電子部品の有無の判定も正確に行なうことができないという問題があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置可能な載置部と、
前記載置部を撮像する撮像部と、
前記載置部に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、
前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する判断部を有し、前記判断部で判断するのに際し、前記撮像部および前記レーザー光照射部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部に基づいて、前記電子部品の有無を判断することを特徴とする。
前記電子部品が載置可能な載置部と、
前記載置部を撮像する撮像部と、
前記載置部に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、
前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する判断部を有し、前記判断部で判断するのに際し、前記撮像部および前記レーザー光照射部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部に基づいて、前記電子部品の有無を判断することを特徴とする。
これにより、例えばカメラ等のような撮像部を用いて、電子部品の有無の判断対象となる実際の濃淡画像を撮像して、この実際の実濃淡画像の濃淡の境界部を判断部により抽出することができる。そして、例えばテンプレートマッチング法により、前記抽出された濃淡の境界部に基づいて、載置部上での電子部品の有無を正確に判断することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部を抽出し、前記境界部の抽出結果に基づいて、前記電子部品の有無を判断するのが好ましい。
これにより、例えばカメラ等のような撮像部を用いて、電子部品の有無の判断対象となる実際の濃淡画像を撮像して、この実際の実濃淡画像の濃淡の境界部を判断部により抽出することができる。そして、例えばテンプレートマッチング法により、前記抽出された濃淡の境界部に基づいて、載置部上での電子部品の有無を正確に判断することができる。その後、電子部品搬送装置では、次の動作(例えば、未だ電子部品が載置されていない状態の載置部への電子部品の載置動作)を安全に行なうことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する基準となる基準濃淡画像を予め記憶する記憶部を備え、
前記判断部は、前記基準濃淡画像と前記濃淡画像とを比較して、前記電子部品の有無を判断するのが好ましい。
これにより、載置部での電子部品の有無を正確に判断することができる。
前記判断部は、前記基準濃淡画像と前記濃淡画像とを比較して、前記電子部品の有無を判断するのが好ましい。
これにより、載置部での電子部品の有無を正確に判断することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記基準濃淡画像には、前記載置部上に前記電子部品が有る状態で、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射して、前記撮像部で撮像して得られた第1基準濃淡画像と、前記載置部上に前記電子部品が無い状態で、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射して、前記撮像部で撮像して得られた第2基準濃淡画像とが含まれているのが好ましい。
これにより、載置部での電子部品の有無を正確に判断することができる。
これにより、載置部での電子部品の有無を正確に判断することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1基準濃淡画像には、前記レーザー光の照射条件が異なるものが複数含まれているのが好ましい。
これにより、載置部での電子部品の有無を正確に判断することができる。
これにより、載置部での電子部品の有無を正確に判断することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記レーザー光照射部は、前記レーザー光の前記載置部上での照射形状が線状をなすよう構成されているのが好ましい。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部は、前記電子部品が収納される凹部を有し、
前記照射形状が線状をなす前記レーザー光は、前記凹部を跨ぐように照射されるのが好ましい。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
前記照射形状が線状をなす前記レーザー光は、前記凹部を跨ぐように照射されるのが好ましい。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記レーザー光照射部は、前記レーザー光の前記載置部上での照射形状が点状をなすよう構成されているのが好ましい。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部は、前記電子部品が収納される凹部を有し、
前記照射形状が点状をなす前記レーザー光は、前記凹部の底部に向かって照射されるのが好ましい。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
前記照射形状が点状をなす前記レーザー光は、前記凹部の底部に向かって照射されるのが好ましい。
これにより、レーザー光を撮像時の照明として好適に用いることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記撮像部で前記載置部を撮像する際に、前記載置部に向けて、前記レーザー光よりも照度が低い光を照射する補助光照射部を備えるのが好ましい。
これにより、例えば、載置部の撮像時にその周辺の環境が暗くなり過ぎるのを防止することができ、よって、電子部品の有無を判断する際の各部の動作が行なわれている状態となっていることを視認することができる。
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置可能な載置部を有し、前記載置部に載置された前記電子部品を検査可能な検査部と、
前記載置部を撮像する撮像部と、
前記載置部に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、
前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する判断部を有し、前記判断部で判断するのに際し、前記撮像部および前記レーザー光照射部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部に基づいて、前記電子部品の有無を判断することを特徴とする。
前記電子部品が載置可能な載置部を有し、前記載置部に載置された前記電子部品を検査可能な検査部と、
前記載置部を撮像する撮像部と、
前記載置部に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、
前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する判断部を有し、前記判断部で判断するのに際し、前記撮像部および前記レーザー光照射部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部に基づいて、前記電子部品の有無を判断することを特徴とする。
これにより、例えばカメラ等のような撮像部を用いて、電子部品の有無の判断対象となる実際の濃淡画像を撮像して、この実際の実濃淡画像の濃淡の境界部を判断部により抽出することができる。そして、例えばテンプレートマッチング法により、前記抽出された濃淡の境界部に基づいて、載置部上での電子部品の有無を正確に判断することができる。
また、検査部まで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部から搬送することができる。
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
以下、図1〜図15を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば±5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1、図4および図5中の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
以下、図1〜図15を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば±5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1、図4および図5中の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
本発明の電子部品搬送装置10は、図1に示す外観を有するものである。この本発明の電子部品搬送装置10は、電子部品であるICデバイス90を搬送する搬送部25と、ICデバイス90(電子部品)が載置可能な載置部29と、載置部29を撮像する撮像部26と、載置部29に向けてレーザー光LB27を照射するレーザー光照射部27と、載置部29上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断する判断部803を有し、判断部803で判断するのに際し、撮像部26およびレーザー光照射部27の作動を制御する制御部800と、を備えている。判断部803は、載置部29上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断する際、レーザー光照射部27からレーザー光LB27を撮像時の照明光として載置部29に照射した状態で、撮像部26で載置部29を撮像して、載置部29における実濃淡画像5(濃淡画像)を得る。濃淡画像とは、載置部29を撮像した画像である。特に、ある画素の輝度と、別の画素の輝度とが異なっている画像(すなわち、明暗のある画像)をいうが、他に、全ての画素の輝度が等しい画像(例えば、黒色)であってもよく、載置部29を撮像した画像であればよい。そして、判断部803は、実濃淡画像5(濃淡画像)中の濃淡の境界部(例えば実濃淡画像51A中の境界部511等)に基づいて、ICデバイス90(電子部品)の有無を判断することができる。
なお、本実施形態では、ICデバイス90の有無判断の対象となる「載置部29」としては、検査部16を適用例にして説明するが、これに限定されない。「載置部29」としては、検査部16の他に、例えば、トレイ200、温度調整部12、デバイス供給部14、デバイス回収部18、回収用トレイ19等も適用可能である。
このような本発明によれば、後述するように、例えばカメラ等のような撮像部26を用いて、実濃淡画像51Aを撮像して、この実濃淡画像51Aと、基準濃淡画像4(第1基準濃淡画像41A、第1基準濃淡画像41B、第1基準濃淡画像41Cおよび第2基準濃淡画像42)とを比較することができる。そして、例えばテンプレートマッチング法により、基準濃淡画像4の中から、境界部511に一致する境界部を有する基準濃淡画像4(第1基準濃淡画像41A)を検索することができる。検索結果が第1基準濃淡画像41Aの場合、実濃淡画像5Aは、第1基準濃淡画像41Aに近似しているとみなし、検査部16にはICデバイス90が有ると判断される。このように、判断部803は、境界部511の抽出結果に基づいて、検査部16上でのICデバイス90の有無を正確に判断することができる。
また、図2に示すように、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品搬送装置10を有し、さらに、電子部品を検査する検査部16を有する。すなわち、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品であるICデバイス90を搬送する搬送部25と、ICデバイス90(電子部品)が載置可能な載置部29を有し、載置部29に載置されたICデバイス90(電子部品)を検査可能な検査部16と、載置部29を撮像する撮像部26と、載置部29に向けてレーザー光LB27を照射するレーザー光照射部27と、載置部29上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断する判断部803を有し、判断部803で判断するのに際し、撮像部26およびレーザー光照射部27の作動を制御する制御部800と、を備えている。判断部803は、載置部29上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断する際、レーザー光照射部27からレーザー光LB27を撮像時の照明光として載置部29に照射した状態で、撮像部26で載置部29を撮像して、載置部29における実濃淡画像5(濃淡画像)を得る。そして、判断部803は、実濃淡画像5(濃淡画像)中の濃淡の境界部(例えば実濃淡画像51A中の境界部511等)に基づいて、ICデバイス90(電子部品)の有無を判断することができる。
これにより、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られる。また、検査部16にまでICデバイス90(電子部品)を搬送することができ、よって、当該ICデバイス90に対する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後のICデバイス90を検査部16から搬送することができる。
以下、各部の構成について詳細に説明する。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。
なお、ICデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「LSI(Large Scale Integration)」「CMOS(Complementary MOS)」「CCD(Charge Coupled Device)」や、ICデバイスを複数モジュールとしてパッケージ化した「モジュールIC」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー(加速度センサー)」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域A2と、検査領域A3と、デバイス回収領域A4と、トレイ除去領域A5とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで前記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。このように電子部品検査装置1は、各領域を経由するようにICデバイス90を搬送する搬送部25を有する電子部品搬送装置10と、検査領域A3内で検査を行なう検査部16と、制御部800とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置1は、モニター300と、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
なお、電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1、トレイ除去領域A5が配された方、すなわち、図2中の下側が正面側となり、検査領域A3が配された方、すなわち、図2中の上側が背面側として使用される。
また、電子部品検査装置1は、ICデバイス90の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、ICデバイス90(電子部品)が載置される載置部(電子部品載置部)がある。本実施形態の電子部品検査装置1では、この載置部は、複数の箇所に設置されており、例えば、後述する温度調整部12と、デバイス供給部14と、デバイス回収部18とがある。また、ICデバイス90(電子部品)が載置される載置部(電子部品載置部)には、前記のようなチェンジキットとは別に、ユーザーが用意するトレイ200と、回収用トレイ19と、その他、検査部16もある。
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される給材部である。トレイ供給領域A1は、トレイ200を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ200には、複数の凹部(ポケット)が行列状に配置されている。各凹部には、ICデバイス90を1つずつ収納、載置することができる。
デバイス供給領域A2は、トレイ供給領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構11A、11Bが設けられている。トレイ搬送機構11Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200を、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向の正側、すなわち、図2中の矢印α11A方向に移動させることができる。これにより、ICデバイス90を安定してデバイス供給領域A2に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構11Bは、空のトレイ200をY方向の負側、すなわち、図2中の矢印α11B方向に移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ200をデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に移動させることができる。
デバイス供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート(英語表記:soak plate、中国語表記(一例):均温板))12と、デバイス搬送ヘッド13と、トレイ搬送機構15とが設けられている。また、デバイス供給領域A2と検査領域A3とを跨ぐように移動するデバイス供給部14も設けられている。
温度調整部12は、複数のICデバイス90が載置される載置部を有しており、当該載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス90を予め加熱または冷却して、当該検査に適した温度に調整することができる。
このような載置部としての温度調整部12は、固定されている。これにより、当該温度調整部12上でのICデバイス90に対して安定して温度調整することができる。
また、温度調整部12は、グランドされて(接地されて)いる。
図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
デバイス搬送ヘッド13は、ICデバイス90を把持して搬送する把持部であり、デバイス供給領域A2内で移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド13は、搬送部25の一部でもあり、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担うことができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド13のX方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Yで示している。
デバイス供給部14は、温度調整されたICデバイス90が載置される載置部を構成し、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部14も、搬送部25の一部となり得る。このデバイス供給部14は、ICデバイス90が収納、載置される凹部を有している(デバイス回収部18についても同様)。なお、凹部の設置数は、特に限定されない。また、凹部の設置数が複数の場合、X方向に沿った凹部の設置数と、Y方向に沿った凹部の設置数とについても、特に限定されない。
また、載置部としてのデバイス供給部14は、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間をX方向、すなわち、矢印α14方向に沿って往復移動可能(移動可能)に支持されている。これにより、デバイス供給部14は、ICデバイス90をデバイス供給領域A2から検査領域A3の検査部16近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域A3でICデバイス90がデバイス搬送ヘッド17によって取り去られた後は再度デバイス供給領域A2に戻ることができる。
図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14A」と言い、Y方向正側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14B」と言うことがある。そして、温度調整部12上のICデバイス90は、デバイス供給領域A2内でデバイス供給部14Aまたはデバイス供給部14Bまで搬送される。また、デバイス供給部14は、温度調整部12と同様に、当該デバイス供給部14に載置されたICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域A3の検査部16近傍まで搬送することができる。また、デバイス供給部14も、温度調整部12と同様に、グランドされている。
トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200をデバイス供給領域A2内でX方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによってデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、ICデバイス90に対して検査を行なう検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けられている。
デバイス搬送ヘッド17は、搬送部25の一部であり、温度調整部12と同様に、把持したICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、前記温度調整状態が維持されたICデバイス90を把持して、前記温度調整状態を維持したまま、ICデバイス90を検査領域A3内で搬送することができる。
このようなデバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド17は、デバイス供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14から、ICデバイス90を持ち上げて、検査部16上に搬送し、載置することができる。
なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド17のY方向の往復移動を矢印α17Yで示している。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。また、図2に示す構成では、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17A」と言い、Y方向正側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17B」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Aから検査部16への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド17Bは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Bから検査部16への搬送を担うことができる。
検査部16(ソケット)は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の電気的特性を検査する載置部29を有している。この検査部16は、ICデバイス90が収納、載置される凹部(ポケット)161を有し(図4、図5参照)、その凹部161の底部162に、複数のプローブピン(図示せず)が設けられている。そして、ICデバイス90の端子とプローブピンとが導電可能に接続される、すなわち、接触することにより、ICデバイス90の検査を行なうことができる。ICデバイス90の検査は、検査部16に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
このような検査部16は、温度調整部12と同様に、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
なお、凹部161の設置数は、特に限定されない。また、凹部161の設置数が複数の場合、X方向に沿った凹部161の設置数と、Y方向に沿った凹部161の設置数とについても、特に限定されない。
デバイス回収領域A4は、検査領域A3で検査され、その検査が終了した複数のICデバイス90が回収される領域である。このデバイス回収領域A4には、回収用トレイ19と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21とが設けられている。また、検査領域A3とデバイス回収領域A4とを跨ぐように移動するデバイス回収部18も設けられている。また、デバイス回収領域A4には、空のトレイ200も用意されている。
デバイス回収部18は、検査部16で検査が終了したICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90をデバイス回収領域A4まで搬送することができる載置部であり、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部18も、搬送部25の一部となり得る。
また、デバイス回収部18は、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間をX方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18A」と言い、Y方向正側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18B」と言うことがある。そして、検査部16上のICデバイス90は、デバイス回収部18Aまたはデバイス回収部18Bに搬送され、載置される。なお、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Aへの搬送は、デバイス搬送ヘッド17Aが担い、検査部16からデバイス回収部18Bへの搬送は、デバイス搬送ヘッド17Bが担う。また、デバイス回収部18も、温度調整部12やデバイス供給部14と同様に、グランドされている。
回収用トレイ19は、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部であり、デバイス回収領域A4内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド20等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域A4であっても、回収用トレイ19上では、検査済みのICデバイス90が安定して載置されることとなる。なお、図2に示す構成では、回収用トレイ19は、X方向に沿って3つ配置されている。
また、空のトレイ200も、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ200も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部となる。そして、デバイス回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
デバイス搬送ヘッド20は、デバイス回収領域A4内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド20は、搬送部25の一部であり、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド20のY方向の移動を矢印α20Yで示している。
トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200をデバイス回収領域A4内でX方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
また、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつY方向に搬送するトレイ搬送機構22A、トレイ搬送機構22Bが設けられている。トレイ搬送機構22Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのICデバイス90をデバイス回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送することができる。また、トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をY方向の正側、すなわち、矢印α22B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をトレイ除去領域A5からデバイス回収領域A4に移動させることができる。
制御部800は、例えば、トレイ搬送機構11Aと、トレイ搬送機構11Bと、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、デバイス供給部14と、トレイ搬送機構15と、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、デバイス回収部18と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21と、トレイ搬送機構22Aと、トレイ搬送機構22Bの作動と、後述する撮像部26と、レーザー光照射部27と、補助光照射部28の作動等を制御することができる。図3に示すように、制御部800は、少なくとも1つのプロセッサー、すなわち、CPU(Central Processing Unit)801と、記憶部802とを有している。CPU801は、例えば、各種の判断や各種の命令等を行なうことができる。記憶部802は、例えば、ICデバイス90をトレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで搬送するプログラム等の各種プログラムが記憶されている。また、この制御部800は、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)に内蔵されていてもよいし、外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよい。また、外部機器は、例えば、電子部品検査装置1とケーブル等を介して通信される場合、無線通信される場合、電子部品検査装置1とネットワーク(例えばインターネット)を介して接続されている場合等がある。また、CPU801と記憶部802とは、例えば、一体化されて、1つのユニットとして構成されていてもよいし、CPU801が電子部品検査装置1に内蔵され、記憶部802が外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよいし、記憶部802が電子部品検査装置1に内蔵され、CPU801が外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよい。
オペレーターは、モニター300を介して、電子部品検査装置1の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成された表示画面301を有し、電子部品検査装置1の正面側上部に配置されている。図1に示すように、トレイ除去領域A5の図中の右側には、マウスを載置するマウス台600が設けられている。このマウスは、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられる。
また、モニター300に対して図1の右下方には、操作パネル700が配置されている。操作パネル700は、モニター300とは別に、電子部品検査装置1に所望の動作を命令するものである。
また、シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置1の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、電子部品検査装置1の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置1には、スピーカー500が内蔵されており、このスピーカー500によっても電子部品検査装置1の作動状態等を報知することもできる。
電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2との間が第1隔壁231によって区切られており、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁232によって区切られており、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間が第3隔壁233によって区切られており、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5との間が第4隔壁234によって区切られている。また、デバイス供給領域A2とデバイス回収領域A4との間も、第5隔壁235によって区切られている。
電子部品検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー241、サイドカバー242、サイドカバー243、リアカバー244、トップカバー245がある。
前述したように、検査領域A3内でICデバイス90を載置可能な載置部29は、検査部16である。電子部品検査装置1では、検査部16でICデバイス90の検査を行なう際、その検査に先立って、検査部16の凹部161におけるICデバイス90の有無、すなわち、ICデバイス90の残留を検出する。残留検出を行なう理由としては、例えば、次のような理由が挙げられる。
検査部16の凹部161にICデバイス90が残留していた場合(以下このICデバイス90を「残留デバイス」という)、この凹部161で検査が行われる次のICデバイス90(以下このICデバイス90を「未検査デバイス」という)が残留デバイスに重なって載置されてしまう。このような状態では、未検査デバイスに対する検査を正確に行なうことが困難となるおそれがある。そのため、検査部16では、ICデバイス90の残留検出を行なうのが好ましい。
そこで、電子部品検査装置1は、検査部16でのICデバイス90の残留を検出する残留検出ユニット3を備えている。図4、図5に示すように、残留検出ユニット3は、検査部16(載置部29)を撮像する撮像部26と、レーザー光LB27(単色光)を検査部16(載置部29)に向けて照射するレーザー光照射部27と、レーザー光LB27よりも照度が低い光(以下「補助照明光LB28」と言う)を検査部16(載置部29)に向けて照射する補助光照射部28とを有している。
また、制御部800も残留検出ユニット3の一部として機能する。前述したように、制御部800は、CPU801と、記憶部802とを有している。CPU801は、例えば撮像部26、レーザー光照射部27、補助光照射部28等への作動の命令を行なう。また、記憶部802は、検査部16(載置部29)上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断する基準となる基準濃淡画像4を予め記憶することができる。そして、CPU801と記憶部802とにより判断部803が構成され、この判断部803が、検査部16(載置部29)上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断することができる。
図4、図5に示すように、撮像部26は、検査部16の上側、すなわち、検査部16に対してZ方向正側に配置、固定されている。撮像部26は、少なくとも1つのカメラ261で構成されている。このカメラ261は、下方(Z方向負側)を向いており、検査部16を撮像することができる。なお、カメラ261は、下方を向いているが、これに限定されず、例えば、側方(X方向やY方向)を向いていてもよい。カメラ261が側方を向いている場合、その方向にプリズムを配置して、該プリズムを介して、検査部16を撮像してもよい。
なお、カメラ261としては、濃淡画像を取得することができるものであれば特に限定されず、例えば、CCD(charge-coupled device)カメラや3次元カメラ等を用いることができる。
また、カメラ261の配置数については、1つ以上であれば、特に限定されない。例えば、カメラ261がX方向に複数、Y方向に複数ずつ配置されている場合、各カメラ261で撮像された画像同士を合成して、検査部16全体の画像を取得してもよい。
また、カメラ261は、本実施形態では固定されているが、これに限定されず、例えば、回動可能に支持されていてもよい。これにより、例えば、カメラ261の撮像範囲を変更することができたり、カメラ261の総配置数をできる限り抑えることができる。
図4、図5に示すように、撮像部26に対してY方向正側には、レーザー光照射部27が配置されている。レーザー光照射部27は、レーザー光LB27を照射することができる。レーザー光LB27は、指向性に優れており、正確に目標位置に当てることができる。図示の構成では、レーザー光照射部27は、検査部16に対して傾斜してレーザー光LB27を照射することができる。なお、レーザー光照射部27の配置数や配置箇所については、検査部16に対してレーザー光LB27を照射することができるものであれば、特に限定されない。
また、レーザー光照射部27は、固定されていてもよいが、例えば、X軸回りやY軸回りに回動可能に支持されているのが好ましい。これにより、例えば、検査部16における凹部161の配置数や配置箇所等に応じて、検査部16に対する入射角を調整して、凹部161にレーザー光LB27を照射することができる。
また、レーザー光照射部27は、レーザー光LB27を2つの状態に切り換えて照射することができるのが好ましい。第1の状態では、レーザー光LB27をY方向に沿ったスリット光として照射することができ、第2の状態では、レーザー光LB27をスポット光として照射することができる。これにより、例えば、検査部16における凹部161の配置数や配置箇所、その他、大きさ、また、ICデバイス90の種類等に応じて、それに適したレーザー光LB27を適宜選択して照射することができる。レーザー光LB27を切り換える方法としては、特に限定されず、例えば、レンズ等を変更する方法等が挙げられる。
レーザー光照射部27は、第1の状態では、レーザー光LB27の、検査部16(載置部29)上での照射形状(投影形状)が線状をなすよう構成されている(図6、図7、図9〜図11および図13参照)。前述したように、検査部16(載置部29)は、ICデバイス90(電子部品)が収納される凹部161を有している。そして、図6、図7、図9〜図11および図13に示すように、照射形状が線状をなすレーザー光LB27は、凹部161を跨ぐように照射される。これにより、レーザー光LB27を撮像時の照明として用いることができ、よって、ICデバイス90の有無を判断する手掛かりとなる特徴点としての濃淡の境界部を浮かび上がらせることができる。なお、「濃淡の境界部」としては、例えば、図6中では、境界部411であり、図7中では、境界部412であり、図10中では、境界部511であり、図11中では、境界部512である。
また、レーザー光照射部27は、第2の状態では、レーザー光LB27の検査部16(載置部29)上での照射形状(投影形状)が点状をなすよう構成されている(図8および図12参照)。前述したように、検査部16(載置部29)は、ICデバイス90(電子部品)が収納される凹部161を有している。そして、図8および図12に示すように、照射形状が点状をなすレーザー光LB27は、凹部161の底部162に向かって照射される。この場合も、レーザー光LB27を撮像時の照明として用いることができ、よって、ICデバイス90の有無を判断する手掛かりとなる特徴点としての濃淡の境界部を浮かび上がらせることができる。なお、「濃淡の境界部」としては、例えば、図8中では、境界部414であり、図12中では、境界部514である。
なお、レーザー光LB27の波長としては、特に限定されず、例えば、可視光領域、すなわち、380nm以上750nm以下であるのが好ましく、620nm以上750nm以下であるのがより好ましく、620nm以上680nm以下であるのがさらに好ましい。
また、レーザー光照射部27の出力値は、検査領域A3内の明暗の程度にもよるが、例えば、1mW以上90mW以下であるのが好ましく、10mW以上90mWであるのがより好ましく、75mW以上85mW以下であるのがさらに好ましい。
電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、撮像部26で検査部16(載置部29)を撮像する際に、検査部16(載置部29)に向けて、レーザー光LB27よりも照度が低い光(補助照明光LB28)を照射する補助光照射部28を備えている。この補助照明光LB28により、例えば、検査部16の撮像時にレーザー光LB27に対する影響を抑えつつ、検査領域A3内が暗くなり過ぎるのを防止することができ、よって、ICデバイス90の残留検出動作が行なわれている状態となっていることを視認することができる。また、検査部16の撮像時以外にも、例えば、オペレーターが検査領域A3内に対して手を入れて作業をしたい場合、その手元を照らすことができる。これにより、検査領域A3内での作業を安全に正確に行なうことができる。
図4、図5に示すように、補助光照射部28は、撮像部26を介して、レーザー光照射部27と反対側に配置されているが、補助光照射部28の配置箇所については、図示の構成に限定されない。
なお、補助照明光LB28としては、特に限定されず、例えば、白色LEDを内蔵したもの等を用いることができる。
また、残留検出ユニット3は、補助光照射部28を省略した構成としてもよい。
また、残留検出ユニット3は、補助光照射部28を省略した構成としてもよい。
そして、検査部16の凹部161におけるICデバイス90の残留検出処理、すなわち、ICデバイス90の有無の判断処理(以下単に「判断処理」と言う)は、制御部800で行なわれる。この判断処理では、撮像部26によって撮像された検査部16の濃淡画像が用いられる。
ところで、検査部16が設置される検査領域A3には、検査部16の他に、例えば、デバイス搬送ヘッド17、撮像部26、レーザー光照射部27、補助光照射部28等の構造体がさらに収納、配置されている。そのため、検査領域A3は、たとえリアカバー244等に窓があり、その窓から光が差し込んだとしても、光は、検査領域A3の奥にある検査部16に十分に到達するのが困難となる。このような状態で、レーザー光照射部27からのレーザー光LB27や補助光照射部28からの補助照明光LB28を省略して、検査部16を撮像した場合、得られる濃淡画像は、例えば、図14、図15に示すような濃淡画像となる。
図14に示す濃淡画像61は、検査部16の凹部161にICデバイス90が収納された状態のものであるが、全体的にコントラストが無く、黒くなってしまい、ICデバイス90が全くまたはほとんど映っていない。また、図15に示す濃淡画像62は、検査部16の凹部161にICデバイス90が収納されていない状態のものであるが、全体的にコントラストが無く、黒くなってしまい、凹部161が全くまたはほとんど映っていない。このような濃淡画像61、濃淡画像62は、いずれも、判断処理に用いるのは実際には不可能である。
そこで、レーザー光照射部27からのレーザー光LB27を撮像時の照明光として用いて、ICデバイス90の有無を判断するのに十分な程度のコントラストが生じた濃淡画像を得る。
また、レーザー光照射部27からレーザー光LB27を照射するのに伴って、補助光照射部28からも補助照明光LB28を照射するのが好ましいが、補助照明光LB28を省略してもよい。なお、レーザー光照射部27からのレーザー光LB27を省略して、補助光照射部28からの補助照明光LB28だけでは、撮像時の照明光としては、不十分である。
前述したように、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、検査部16(載置部29)上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断する基準となる基準濃淡画像4を予め記憶する記憶部802を備えている。判断部803は、基準濃淡画像4と、実際の検査部16でICデバイス90の有無の判断がなされる実濃淡画像5(濃淡画像)とを比較して、ICデバイス90(電子部品)の有無を判断することができる。
また、基準濃淡画像4には、検査部16(載置部29)上にICデバイス90(電子部品)が有る状態で、レーザー光照射部27からレーザー光LB27を検査部16(載置部29)に照射して、撮像部26で撮像して得られた第1基準濃淡画像41A(図6参照)、第1基準濃淡画像41B(図7参照)および第1基準濃淡画像41C(図8参照)と、検査部16(載置部29)上にICデバイス90(電子部品)が無い状態で、レーザー光照射部27からレーザー光LB27を検査部16(載置部29)に照射して、撮像部26で撮像して得られた第2基準濃淡画像42(図9参照)とが含まれている。
第1基準濃淡画像41A、第1基準濃淡画像41Bおよび第1基準濃淡画像41Cは、それぞれ、レーザー光LB27の照射条件が異なる状態で撮像されたものである。すなわち、第1基準濃淡画像には、レーザー光LB27の照射条件が異なるものが複数含まれている。レーザー光LB27の照射条件としては、特に限定されず、例えば、レーザー光LB27の凹部161に対する入射角度(レーザー光LB27の照射位置)、レーザー光LB27の照度等が挙げられる。なお、第1基準濃淡画像は、本実施形態では3つであるが、これに限定されず、例えば、2つまたは4つ以上であってもよい。また、第1基準濃淡画像としては、図6〜図8に示すものに限定されず、例えば、図6〜図8に示すものを適宜重ね合わせたものを用いることもできる。
このような第1基準濃淡画像41A、第1基準濃淡画像41B、第1基準濃淡画像41C、第2基準濃淡画像42を判断処理で用いることにより、後述するように、検査部16でのICデバイス90の有無を正確に判断することができる。
図6に示す第1基準濃淡画像41Aでは、ICデバイス90の上面の一部がレーザー光LB27で明るく照らされており、二値化処理により、その照らされた部分と、それ以外の部分との境界部、すなわち、濃淡の境界部411が少なくとも1箇所浮かび上がっている。第1基準濃淡画像41Aでは、この境界部411をICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる。
図7に示す第1基準濃淡画像41Bでは、ICデバイス90の上面は、第1基準濃淡画像41Aほどレーザー光LB27で照らされてはいないが、その周辺がレーザー光LB27で明るく照らされている。二値化処理により、レーザー光LB27で明るく照らされた部分と、それ以外の部分との境界部、すなわち、濃淡の境界部412が少なくとも1箇所浮かび上がっている。第1基準濃淡画像41Bでは、この境界部412をICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる。また、第1基準濃淡画像41Bでは、ICデバイス90の上面の薄く照らされた部分413を、ICデバイス90の上面を示すマーカーとして扱うこともできる。
図8に示す第1基準濃淡画像41Cでは、ICデバイス90の上面の一部がレーザー光LB27で明るく照らされており、二値化処理により、その照らされた部分と、それ以外の部分との境界部、すなわち、濃淡の境界部414が少なくとも1箇所浮かび上がっている。第1基準濃淡画像41Cでは、この境界部414をICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる。
図9に示す第2基準濃淡画像42では、ICデバイス90が凹部161に載置されていないため、レーザー光LB27は、凹部161の底部162まで到達している。この第2基準濃淡画像42では、ICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる、濃淡の境界部は映らない。
また、実濃淡画像5の一例として、図10〜図13に示すような実濃淡画像が得られたとする。
図10に示す実濃淡画像51Aでは、ICデバイス90の上面の一部がレーザー光LB27で明るく照らされており、二値化処理により、その照らされた部分と、それ以外の部分との境界部、すなわち、濃淡の境界部511が少なくとも1箇所浮かび上がっている。実濃淡画像51Aでは、この境界部511をICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる。
図11に示す実濃淡画像51Bでは、ICデバイス90の上面は、実濃淡画像51Aほどレーザー光LB27で照らされてはいないが、その周辺がレーザー光LB27で明るく照らされている。二値化処理により、レーザー光LB27で明るく照らされた部分と、それ以外の部分との境界部、すなわち、濃淡の境界部512が少なくとも1箇所浮かび上がっている。実濃淡画像51Bでは、この境界部512をICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる。また、実濃淡画像51Bでは、ICデバイス90の上面の薄く照らされた部分513を、ICデバイス90の上面を示すマーカーとして扱うこともできる。
図12に示す実濃淡画像51Cでは、ICデバイス90の上面の一部がレーザー光LB27で明るく照らされており、二値化処理により、その照らされた部分と、それ以外の部分との境界部、すなわち、濃淡の境界部514が少なくとも1箇所浮かび上がっている。実濃淡画像51Cでは、この境界部514をICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる。
図13に示す実濃淡画像52では、ICデバイス90が凹部161に載置されていないため、レーザー光LB27は、凹部161の底部162まで到達している。この実濃淡画像52では、ICデバイス90の輪郭線(縁部)とみなすことができる、濃淡の境界部は映らない。
以下では、実濃淡画像51A、実濃淡画像51B、実濃淡画像51C、実濃淡画像52がそれぞれ得らえた場合の判断処理について説明する。
まず、判断部803は、検査部16(載置部29)上でのICデバイス90(電子部品)の有無を判断する際、レーザー光照射部27からレーザー光LB27を検査部16(載置部29)に照射した状態で、撮像部26で検査部16(載置部29)を撮像して、検査部16(載置部29)における実濃淡画像51A(濃淡画像)を得る。そして、判断部803は、二値化処理により、実濃淡画像51A(濃淡画像)中の濃淡の境界部511を抽出する。次いで、判断部803は、実濃淡画像51Aと、基準濃淡画像4(第1基準濃淡画像41A、第1基準濃淡画像41B、第1基準濃淡画像41Cおよび第2基準濃淡画像42)とを比較して、例えばテンプレートマッチング法により、基準濃淡画像4の中から、境界部511に一致する境界部を有する基準濃淡画像4(第1基準濃淡画像41A)を検索する。検索結果が第1基準濃淡画像41Aの場合、図10に示す実濃淡画像51Aは、図6に示す第1基準濃淡画像41Aに近似しているとみなし、検査部16にはICデバイス90が有ると判断される。このように、判断部803は、境界部511の抽出結果に基づいて、ICデバイス90(電子部品)の有無を正確に判断する、すなわち、判断処理を正確に行なうことができる。これにより、検査領域A3内では、次の動作に安全に移行することができる。
実濃淡画像51Aの場合と同様に、実濃淡画像51Bが得られた場合でも、実濃淡画像51B中の濃淡の境界部512を抽出することができる。次いで、例えばテンプレートマッチング法により、基準濃淡画像4の中から、境界部512に一致する境界部を有する第1基準濃淡画像41Bを検索することができる。検索結果が第1基準濃淡画像41Bの場合、図11に示す実濃淡画像51Bは、図7に示す第1基準濃淡画像41Bに近似しているとみなし、検査部16にはICデバイス90が有ると判断される。このように、判断部803は、境界部512の抽出結果に基づいて、ICデバイス90の有無を正確に判断することができる。また、実濃淡画像51B中の部分513を抽出し、その抽出結果に基づいても、ICデバイス90の有無を正確に判断することができる。
また、実濃淡画像51Cが得られた場合でも、実濃淡画像51C中の濃淡の境界部514を抽出することができる。次いで、例えばテンプレートマッチング法により、基準濃淡画像4の中から、境界部514に一致する境界部を有する第1基準濃淡画像41Cを検索することができる。検索結果が第1基準濃淡画像41Cの場合、図12に示す実濃淡画像51Cは、図8に示す第1基準濃淡画像41Cに近似しているとみなし、検査部16にはICデバイス90が有ると判断される。このように、判断部803は、境界部514の抽出結果に基づいて、ICデバイス90の有無を正確に判断することができる。
また、実濃淡画像52が得られた場合、この実濃淡画像52には、ICデバイス90の輪郭線とみなすことができる、濃淡の境界部は映らない。そして、例えばテンプレートマッチング法により、基準濃淡画像4の中から、実濃淡画像52と一致する第2基準濃淡画像42を検索することができる。検索結果が第2基準濃淡画像42の場合、図13に示す実濃淡画像52は、図9に示す第2基準濃淡画像42に近似しているとみなし、検査部16にはICデバイス90が無いと判断される。このように、判断部803は、境界部の抽出結果(濃淡の境界部の有無)に基づいて、ICデバイス90の有無を正確に判断することができる。また、判断部803は、実濃淡画像52と第2基準濃淡画像42との検査部16上でのレーザー光LB27の照射形状(投影形状)の近似の程度によっても、ICデバイス90の有無を正確に判断することができる。
なお、基準濃淡画像4および実濃淡画像5は、それぞれ、凹部161全体が撮像されたものであるが、これに限定されず、凹部の一部が撮像されたものであってもよい。この場合でも、凹部161にICデバイス90が載置された状態では、ICデバイス90の輪郭線とみなすことができる、濃淡の境界部が映るのが好ましい。
また、例えば、凹部161がX方向に沿って複数配置されている場合、各凹部161に対するレーザー光LB27の入射角は、異なる。また、各凹部161に対する基準濃淡画像4が記憶部802に記憶されている。そして、各凹部161でのICデバイス90の有無を判断する際には、各凹部161を撮像して実濃淡画像5を得て、この実濃淡画像5と、当該実濃淡画像5に映った凹部161に対応する基準濃淡画像4とを比較して、その判断を行なうことができる。
また、上記第1実施形態では、二値化処理により実濃淡画像5中の濃淡の境界部511を抽出し、基準濃淡画像4の中から、当該境界部511に一致する境界部を有する基準濃淡画像4を検索しているが、例えば、実濃淡画像5と基準濃淡画像4との少なくともいずれか一方に、二値化処理の代わりにグレースケール変換を施して上記抽出または上記検索をしてもよく、二値化処理を施さず撮像した画像そのものを用いて上記抽出または上記検索をしてもよい。いずれにしても、実濃淡画像5中の濃淡の境界部511を抽出し、基準濃淡画像4の中から、当該境界部511に一致する境界部を有する基準濃淡画像4を検索するものであればよい。
また、上記第1実施形態では濃淡画像の中の濃淡の境界部を抽出しているが、当該境界部を抽出するものでなくとも、両画像の違いとなる部分を直接、検出対象としてもよい。
例えば、ICデバイス90上表面に凹凸が無く、凹部161にピン等の凹凸が有る場合には、ICデバイス90が有る状態では、ICデバイス90上表面にレーザー光LB27が照射形状である線状や点状、その他マーク状のまま撮像される。これに対し、ICデバイス90が無い状態では、上記ピン等の凹凸により、レーザー光LB27が照射形状ではなく、別の形状、例えば破線状として撮像される場合や、形状とならず周辺を明るく照らすように撮像される場合がある。そのため、両画像の違いとなる、上述のレーザー光LB27が照射形状である線状や点状、その他マーク状、破線状などを、直接、検出対象としてもよい。他にも、ICデバイス90のない状態で凹部161(ポケット)の底部162と壁との境界部形状を検出対象として、ICデバイス90がないと判断してもよい。
例えば、ICデバイス90上表面に凹凸が無く、凹部161にピン等の凹凸が有る場合には、ICデバイス90が有る状態では、ICデバイス90上表面にレーザー光LB27が照射形状である線状や点状、その他マーク状のまま撮像される。これに対し、ICデバイス90が無い状態では、上記ピン等の凹凸により、レーザー光LB27が照射形状ではなく、別の形状、例えば破線状として撮像される場合や、形状とならず周辺を明るく照らすように撮像される場合がある。そのため、両画像の違いとなる、上述のレーザー光LB27が照射形状である線状や点状、その他マーク状、破線状などを、直接、検出対象としてもよい。他にも、ICデバイス90のない状態で凹部161(ポケット)の底部162と壁との境界部形状を検出対象として、ICデバイス90がないと判断してもよい。
また、上記の他に、実濃淡画像5と、ICデバイス90が有る状態の基準濃淡画像4及びICデバイス90が無い状態の基準濃淡画像4とを比較するものであればよく、ICデバイス90が有る状態での画像とICデバイス90が無い状態での画像との違いを利用して有無判断するものであればよい。
例えば、第1基準濃淡画像41A(第1基準濃淡画像41B、第1基準濃淡画像41C)を、上述のレーザー光LB27が照射形状である線状や点状、その他マーク状のまま撮像された画像とし、第2基準濃淡画像42を、上述のレーザー光LB27が照射形状ではなく、別の形状、例えば破線状となる場合や、形状とならず周辺を明るく照らすように撮像された画像としてもよい。
また、他の条件が同一であっても、載置部に当たるレーザー光LB27の角度により図10の実濃淡画像51Aとなる場合も図11の実濃淡画像51Bとなる場合がある。例えば載置部29がレーザー光LB27の光源(レーザー光照射部27)に近く、起きた角度(すなわち、垂直により近くなる角度)である場合には、図10のような実濃淡画像51Aとなり、載置部29がレーザー光LB27の光源(レーザー光照射部27)から遠く、上記の角度より寝た角度(すなわち、水平により近くなる角度)である場合には、図11のような実濃淡画像51Bとなる。この場合には、載置部29の位置によって、異なる第1基準濃淡画像41A(第1基準濃淡画像41B、第1基準濃淡画像41C)を用いてもよく、レーザー光LB27の光源(レーザー光照射部27)に近い載置部29の実濃淡画像5に対しては、図6のように第1基準濃淡画像41Aに基づいて判断し、レーザー光LB27の光源(レーザー光照射部27)から遠い載置部29の実濃淡画像5に対しては、図7のように第1基準濃淡画像41Bに基づいて判断するようにしてもよく、予め異なる第1基準濃淡画像のみに基づいて、判断するようにしてもよい。
<第2実施形態>
以下、図16を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図16を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、ICデバイスの有無判断のパターンがさらに追加されていること以外は前記第1実施形態と同様である。
本実施形態の電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、判断処理を3つのパターンで行なうことができる。
第1パターンは、検査部16にICデバイス90が有る状態と、ICデバイス90が無い状態との、検査部16上でのレーザー光LB27の照射形状の変化を抽出して、その抽出結果に基づいて、ICデバイス90の有無の判断を行なう。
第2パターンは、レーザー光LB27の照射を省略して、検査部16にICデバイス90が有る状態と、ICデバイス90が無い状態との、検査部16の画像を撮像する。そして、この画像と、予め記憶部802に記憶されている基準画像とを比較して、ICデバイス90の有無の判断を行なう。
第3パターンは、前記第1実施形態で述べた判断処理である。
第1パターン〜第3パターンのいずれかを選択するのかの制御プログラムについて、図16のフローチャートに基づいて説明する。この制御プログラムは、記憶部802に予め記憶されているのが好ましい。
第1パターン〜第3パターンのいずれかを選択するのかの制御プログラムについて、図16のフローチャートに基づいて説明する。この制御プログラムは、記憶部802に予め記憶されているのが好ましい。
第1パターンを選択するか否かのメニュー(表示)が例えばモニター300に表示される(ステップS101)。ステップS101において、オペレーターが第1パターンを選択した場合には、第1パターンが実行される(ステップS102)。
また、ステップS101において、オペレーターが第1パターンを選択しない場合には、第2パターンを選択するか否かのメニュー(表示)が例えばモニター300に表示される(ステップS103)。ステップS103において、オペレーターが第2パターンを選択した場合には、第2パターンが実行される(ステップS104)。
また、ステップS103において、オペレーターが第2パターンを選択しない場合には、第3パターンを選択するか否かのメニュー(表示)が例えばモニター300に表示される(ステップS105)。ステップS105において、オペレーターが第3パターンを選択した場合には、第3パターンが実行される(ステップS106)。
また、ステップS105において、オペレーターが第3パターンを選択しない場合には、「第1パターン〜第3パターンのいずれも選択されていない」と言う旨の報知が、例えばモニター300上でなされる(ステップS107)。
なお、ステップS101に代えて、第1パターンをN回試行されたか否かの判断を行なう処理と、その処理におけるICデバイス90の有無の判断率を算出する処理とが挿入されていてもよい。そして、この判断率が第1閾値以上の場合、ステップS102を実行し、判断率が第1閾値未満の場合、ステップS103に移行するのが好ましい。
また、ステップS103に代えて、第2パターンをN回試行されたか否かの判断を行なう処理と、その処理におけるICデバイス90の有無の判断率を算出する処理とが挿入されていてもよい。そして、この判断率が第2閾値以上の場合、ステップS104を実行し、判断率が第2閾値未満の場合、ステップS105に移行するのが好ましい。
また、ステップS105に代えて、第3パターンをN回試行されたか否かの判断を行なう処理と、その処理におけるICデバイス90の有無の判断率を算出する処理とが挿入されていてもよい。そして、この判断率が第3閾値以上の場合、ステップS106を実行し、判断率が第3閾値未満の場合、ステップS107に移行するのが好ましい。
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
1…電子部品検査装置、10…電子部品搬送装置、11A…トレイ搬送機構、11B…トレイ搬送機構、12…温度調整部、13…デバイス搬送ヘッド、14…デバイス供給部、14A…デバイス供給部、14B…デバイス供給部、15…トレイ搬送機構、16…検査部、161…凹部(ポケット)、162…底部、17…デバイス搬送ヘッド、17A…デバイス搬送ヘッド、17B…デバイス搬送ヘッド、18…デバイス回収部、18A…デバイス回収部、18B…デバイス回収部、19…回収用トレイ、20…デバイス搬送ヘッド、21…トレイ搬送機構、22A…トレイ搬送機構、22B…トレイ搬送機構、231…第1隔壁、232…第2隔壁、233…第3隔壁、234…第4隔壁、235…第5隔壁、241…フロントカバー、242…サイドカバー、243…サイドカバー、244…リアカバー、245…トップカバー、25…搬送部、26…撮像部、261…カメラ、27…レーザー光照射部、28…補助光照射部、29…載置部、3…残留検出ユニット、4…基準濃淡画像、41A…第1基準濃淡画像、41B…第1基準濃淡画像、41C…第1基準濃淡画像、411…境界部、412…境界部、413…部分、414…境界部、42…第2基準濃淡画像、5…実濃淡画像、51A…実濃淡画像、51B…実濃淡画像、51C…実濃淡画像、511…境界部、512…境界部、513…部分、514…境界部、52…実濃淡画像、61…濃淡画像、62…濃淡画像、90…ICデバイス、200…トレイ、300…モニター、301…表示画面、400…シグナルランプ、500…スピーカー、600…マウス台、700…操作パネル、800…制御部、801…CPU(Central Processing Unit)、802…記憶部、803…判断部、A1…トレイ供給領域、A2…デバイス供給領域、A3…検査領域、A4…デバイス回収領域、A5…トレイ除去領域、LB27…レーザー光、LB28…補助照明光、S101〜S107…ステップ、α11A…矢印、α11B…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α15…矢印、α17Y…矢印、α18…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α21…矢印、α22A…矢印、α22B…矢印、α90…矢印
Claims (11)
- 電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置可能な載置部と、
前記載置部を撮像する撮像部と、
前記載置部に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、
前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する判断部を有し、前記判断部で判断するのに際し、前記撮像部および前記レーザー光照射部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部に基づいて、前記電子部品の有無を判断することを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部を抽出し、前記境界部の抽出結果に基づいて、前記電子部品の有無を判断する請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する基準となる基準濃淡画像を予め記憶する記憶部を備え、
前記判断部は、前記基準濃淡画像と前記濃淡画像とを比較して、前記電子部品の有無を判断する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 - 前記基準濃淡画像には、前記載置部上に前記電子部品が有る状態で、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射して、前記撮像部で撮像して得られた第1基準濃淡画像と、前記載置部上に前記電子部品が無い状態で、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射して、前記撮像部で撮像して得られた第2基準濃淡画像とが含まれている請求項3に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1基準濃淡画像には、前記レーザー光の照射条件が異なるものが複数含まれている請求項4に記載の電子部品搬送装置。
- 前記レーザー光照射部は、前記レーザー光の前記載置部上での照射形状が線状をなすよう構成されている請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記載置部は、前記電子部品が収納される凹部を有し、
前記照射形状が線状をなす前記レーザー光は、前記凹部を跨ぐように照射される請求項6に記載の電子部品搬送装置。 - 前記レーザー光照射部は、前記レーザー光の前記載置部上での照射形状が点状をなすよう構成されている請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記載置部は、前記電子部品が収納される凹部を有し、
前記照射形状が点状をなす前記レーザー光は、前記凹部の底部に向かって照射される請求項8に記載の電子部品搬送装置。 - 前記撮像部で前記載置部を撮像する際に、前記載置部に向けて、前記レーザー光よりも照度が低い光を照射する補助光照射部を備える請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品が載置可能な載置部を有し、前記載置部に載置された前記電子部品を検査可能な検査部と、
前記載置部を撮像する撮像部と、
前記載置部に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、
前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する判断部を有し、前記判断部で判断するのに際し、前記撮像部および前記レーザー光照射部の作動を制御する制御部と、を備え、
前記判断部は、前記載置部上での前記電子部品の有無を判断する際、前記レーザー光照射部から前記レーザー光を前記載置部に照射した状態で、前記撮像部で前記載置部を撮像して、前記載置部における濃淡画像を得、前記濃淡画像中の濃淡の境界部に基づいて、前記電子部品の有無を判断することを特徴とする電子部品検査装置。
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