DE10393783T5

DE10393783T5 - Positionserfassungsvorrichtung, Positionserfassungsverfahren und Tragvorrichtung für elektronische Komponenten

Info

Publication number: DE10393783T5
Application number: DE10393783T
Authority: DE
Inventors: Masayoshi Ichikawa; Aritomo Kikuchi
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2002-11-28
Filing date: 2003-11-25
Publication date: 2005-10-27
Also published as: JP4511942B2; JPWO2004055531A1; CN100405006C; US20050249397A1; US7471819B2; WO2004055531A1; TW200416935A; TWI232533B; CN1711478A

Abstract

Positionserfassungsvorrichtung zum Erfassen einer Position einer elektronischen Komponente, die einen Anschluss besitzt, welche aufweist:
eine Bilderfassungseinheit zum Erfassen eines Bildes des Anschlusses;
eine Anschlussbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Bereichs des Anschlusses anhand des von der Bilderfassungseinheit erfassten Bildes; und
eine Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente zum Erfassen einer Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses von vorbestimmten Anschlussinformationen über die elektronische Komponente.

Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Positionserfassungsvorrichtung, ein Positionserfassungsverfahren und eine Tragvorrichtung für elektronische Komponenten. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Positionserfassungsvorrichtung, ein Positionserfassungsverfahren und eine Tragvorrichtung für elektronische Komponenten, die das Bild eines Anschlusses einer elektronischen Komponente erwerben und die Position der elektronischen Komponente durch Bildverarbeitung erfassen. Diese Patentanmeldung bezieht sich auf eine Japanische Patentanmeldung, auf die nachfolgend Bezug genommen wird und deren Inhalt hier einbezogen wird, wenn dies anwendbar ist.
Japanische Patentanmeldung Nr. 2002-346558, die am 28. November 2002 eingereicht wurde.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1 zeigt die Ausbildung eines herkömmlichen Prüfsystems 100. Das Prüfsystem 100 enthält eine Prüfvorrichtung 102 zum Beurteilen der Qualität einer elektronischen Komponente 101 durch Anlegen von Prüfsignalen an die elektronische Komponente 101, eine Buchse 103 zum Befestigen der elektronischen Komponente 101, einen Prüfkopf 104 zum elektrischen Verbinden der an der Buchse 103 befestigten elektronischen Komponente 101 und der Prüfvorrichtung 102 sowie eine Tragvorrichtung 106 für elektronische Komponenten zum Tragen der elektronischen Komponente 101. Die Tragvorrichtung 106 für elektronische Komponenten enthält eine Schale 108 zum Halten der zu prüfenden elektronischen Komponente 101 und eine Trageinheit 110 zum Tragen der elektronischen Komponente 101 zwischen der Schale 108 und der Buchse 103. Die Tragvorrichtung 106 für elektronische Komponente nimmt die elektronische Komponente 101 aus der Schale 108 heraus, in der die elektronische Komponente 101 angeordnet ist, trägt sie zu der Buchse 103 und befestigt sie auf der Buchse 103. Zusätzlich entfernt die Tragvorrichtung 106 für elektronische Komponenten die geprüfte elektronische Komponente 101 von der Buchse 103 und trägt sie zu der Schale 108, wobei sie entsprechend den Prüfergebnissen klassifiziert ist.
Die 2A und 2B zeigen einen Zustand, in welchem ein Anschluss 112 der elektronischen Komponente 101 und ein Stift 114 der Buchse 103 in Kontakt miteinander sind. Um die elektronische Komponente mit einer Vielzahl von Anschlüssen genau zu prüfen, ist es erforderlich, die elektronische Komponente 101 genau auf der Buchse 103 zu befestigen. D. h., es ist bevorzugt, wie in 2A gezeigt ist, dass der Stift 114 der Buchse 103 in vertikalem Kontakt mit einer Mitte des Anschlusses 112 der elektronischen Komponente 101 ist. Wie in 2B gezeigt ist, wird, wenn der Stift 114 der Buchse 103 in Kontakt mit dem Anschluss der elektronischen Komponente 101 ist, wobei dieser von der Mitte des Anschlusses 112 abweicht, oder in schrägem Kontakt mit dem Anschluss 112 der elektronischen Komponente 101 ist, der elektrische Widerstand an dem Kontaktpunkt erhöht, und Probleme wie die Verschlechterung von Wellenformen von Prüfsignalen, die Erhöhung des Zeitfehlers und dergleichen treten auf. Zusätzlich kann, wenn die elektronische Komponente 101 an der Buchse 103 in einem Zustand, in welchem der Stift 114 der Buchse 103 von dem Anschluss 112 der elektronischen Komponente 101 abweicht, befestigt ist, die elektronische Komponente 101 auch zerbrechen.
3 zeigt die Konfiguration des Trägers 116. In der Tragvorrichtung 106 für elektronische Komponenten ist die elektronischen Komponente 101 gegenüber der Buchse 103 durch Verwendung des Trägers 116 positioniert. Der Träger 116, der ein Gehäuse zur Aufnahme der elektronischen Komponente 101 ist, wird durch. Formen von beispielsweise Kunststoff gebildet. In dem Träger 116 ist ein konkaver Teil 118 mit rechteckiger Form gebildet, so dass die elektronische Komponente 101 in dem konkaven Teil 118 aufgenommen und fixiert ist. Zusätzlich ist ein Loch 120 in einer unteren Oberfläche des Trägers 116 vorgesehen, und somit wird der Anschluss 112 der elektronischen Komponente 101 mit dem Stift 114 der Buchse 103 über das Loch 120 elektrisch gekoppelt. Der konkave Teil 118 hat dieselbe Gestalt wie die elektronische Komponente 101, so dass die elektronische Komponente 101 ohne einen Spalt in dem konkaven Teil 118 aufgenommen werden kann. Wenn demgemäß die elektronische Komponente 101 durch Verwendung des Trägers 116 positioniert wird, wird ein Träger 116, der jeder Gestalt der elektronischen Komponente 101 angepasst ist, benötigt.
Jedoch variiert in diesen Tagen die Art der elektronischen Komponente 101 und die Form und die Größe hiervon werden unterschiedlich. Daher ist es entsprechend den Formen der elektronischen Komponente unausweichlich, verschiedene Arten des Trägers 116 herzustellen und zu vertreiben, und somit werden die Kosten der Herstellung erhöht. Zusätzlich benötigen der Entwurf und die Herstellung des Trägers 118, der der Form der elektronischen Komponente 101 angepasst ist, Zeit, so dass der Vertrieb der Produktion verschoben werden muss.
Zusätzlich sind in jüngster Zeit die elektronischen Komponenten, die für mobile Kommunikationsvorrichtungen wie ein Mobiltelefon verwendet werden, klein in der Größe und dünn in der Dicke geworden, und die Anzahl der Anschlüsse hat extrem zugenommen, da die elektronischen Komponenten hoch integriert und multifunktionell geworden sind. Demgemäß ist der Anschluss der elektronischen Komponente miniaturisiert und der Abstand wurde verkürzt mit Bezug auf das Anordnungsintervall. Wenn beispielsweise der Anschluss der elektronischen Komponente eine Lotkugel ist, wird der Durchmesser der Lotkugel klein bis zu 0,3 mm und das Anordnungsintervall wird bis zu 0,4 mm. Auf diese Weise besteht das Problem, wenn der Anschluss der elektronischen Komponente miniaturisiert wird und der Abstand mit Bezug auf das Anordnungsintervall kürzer wird, dass es unmöglich ist, den Anschluss 112 der elektronischen Komponente 101 und den Stift 114 der Buchse 103 mit hoher Genauigkeit bei einem Verfahren zur Positionierung der elektronischen Komponente 101 durch Verwendung des in 3 gezeigten Trägers 116 mit hoher Genauigkeit zu positionieren.
Um das Problem zu lösen, wird eine Tragvorrichtung für elektronische Komponenten (siehe Japanische Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 1993-275518) zum Positionieren der elektronischen Komponente 101 gegenüber der Buchse 103 vorgeschlagen, bei der das Bild des Anschlusses 112 der elektronischen Komponente 101 durch eine CCD-Kamera aufgenommen und die Position des Anschlusses 112 der elektronischen Komponente 101 durch Verwendung eines Bildverarbeitungsverfahrens gemessen wird.
Wenn jedoch Licht auf die elektronische Komponente 101 in einer vertikalen Richtung geworfen wird, neigt ein Substrat, auf dem der Anschluss 112 gebildet ist, dazu, das Licht zu reflektieren, so dass das Problem besteht, dass die Differenz der Helligkeit zwischen dem Anschlussteil und dem Substratteil klein wird und ein klares Bild des Anschlusses 112 nicht erhalten werden kann, und demgemäß ist es unmöglich, die Position des Anschlusses 112 genau zu erfassen.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Positionserfassungsvorrichtung, ein Positionserfassungsverfahren und eine Trägervorrichtung für elektronische Komponenten vorzusehen, die in der Lage sind, die vorgenannten, den Stand der Technik begleitenden Nachteile zu überwinden. Die obige und andere Aufgaben können durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält eine Positionserfassungsvorrichtung zum Erfassen einer Position einer elektronischen Komponente, die einen Anschluss enthält, eine Bilderfassungseinheit zum Erfassen eines Bildes des Anschlusses, eine Anschlussbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Bereichs des Anschlusses anhand des von der Bilderfassungseinheit erfassten Bildes und eine Positionserfassungseinheit für die elektronische Komponente zum Erfassen einer Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses und von vorbestimmten Anschlussinformationen der elektronischen Komponente.
Die Positionserfassungseinheit für die elektronische Komponente kann eine Position des Anschlusses auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses erfassen und berechnet die Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage der erfassten Position des Anschlusses und einer Position, die die Anschlussinformation ist, und der Anschluss wird gebildet in Bezug auf die elektronische Komponente.
Die Positionserfassungsvorrichtung kann weiterhin eine Kantenextraktionseinheit enthalten zum Herausziehen eines Kantenbereichs, der ein Bereich einer Kante des Anschlusses ist, anhand eines mehrwertigen Bil des, das das von der Bilderfassungseinheit erfasste Bild ist, sowie eine erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit zum Bestimmen eines ersten Schwellenwertes als ein Pixelwert, bei dem eine Anzahl von Pixeln unter Pixeln des Kantenbereichs am größten ist, wobei die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit den Bereich des Anschlusses anhand des mehrwertigen Bildes auf der Grundlage des ersten Schwellenwertes erfassen kann.
Die Positionserfassungsvorrichtung kann weiterhin eine Lichtquelle zum Emittieren von Licht auf den Anschluss in einer Schrägrichtung zu der elektronischen Komponente enthalten, wobei die Bilderfassungseinheit das mehrwertige Bild des Anschlusses, auf den Licht von der Lichtquelle emittiert wird, erfassen.
Die Bilderfassungseinheit kann das mehrwertige Bild von mehreren der Anschlüsse der elektronischen Komponente erfassen, die Kantenextraktionseinheit kann mehrere der Kantenbereiche der mehreren Anschlüsse aus dem mehrwertigen Bild herausziehen, die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit kann den ersten Schwellenwert als einen Pixelwert bestimmen, bei dem eine Anzahl von Pixeln unter Pixeln der mehreren Kantenbereiche am größten ist, die Anschlussbereichs-Bestimmungseinheit kann Bereiche der mehreren Anschlüsse anhand des mehrwertigen Bildes erfassen auf der Grundlage des ersten Schwellenwertes, und die Positionserfassungseinheit für die elektronische Komponente kann die Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage der Bereiche der mehreren Anschlüsse erfassen.
Die elektronische Komponente kann den Anschluss mit einer im Wesentlichen kugelförmigen Oberfläche ent halten, und die Bilderfassungseinheit kann das mehrwertige Bild des Anschlusses mit der im Wesentlichen kugelförmigen Oberfläche, auf die Licht von der Lichtquelle emittiert wird, erfassen.
Die Positionserfassungsvorrichtung kann weiterhin eine Anschlussbild-Binärwert-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Binärwertbildes anhand des mehrwertigen Bildes auf der Grundlage des ersten Schwellenwertes enthalten, wobei die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit den Bereich des Anschlusses anhand des mehrwertigen Bildes auf der Grundlage des von der Anschlussbild-Binärwert-Erzeugungseinheit erzeugten Binärwertbildes erfassen kann.
Die Kantenextraktionseinheit kann weiterhin enthalten: eine Speichereinheit für einen erwarteten Kantenwert zum Speichern eines erwarteten Kantenwertes, der ein erwarteter Wert einer Anzahl von Pixeln des Kantenbereichs ist, eine Erzeugungseinheit für ein differenziertes Bild zum Erzeugen eines differenzierten Bildes, das sich aus dem Differenzieren des mehrwertigen Bildes ergibt, eine Bestimmungseinheit für einen zweiten Schwellenwert zum Addieren einer Anzahl von Pixeln in einer Reihenfolge, in der ein Pixelwert größer in Bezug auf das differenzierte Bild wird, und zum Bestimmen eines zweiten Schwellenwertes als ein Pixelwert, wenn die Anzahl von addierten Pixeln den erwarteten Kantenwert erreicht, und eine Kantenbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen des Kantenbereichs anhand des mehrwertigen Bildes auf der Grundlage des zweiten Schwellenwertes.
Die Kantenextraktionseinheit kann weiterhin eine Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Binärwertbildes anhand des differenzierten Bildes auf der Grundlage des zweiten Schwellenwertes enthalten, und die Kantenbereichs-Erfassungseinheit kann den Kantenbereich anhand des mehrwertigen Bildes erfassen durch Multiplizieren eines Pixelwertes eines Pixels, wobei das von der Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit erzeugte Binärwertbild und das Mehrwertbild einander entsprechen.
Die Positionserfassungsvorrichtung kann weiterhin eine Speichereinheit für einen erwarteten Anschlusswert enthalten zum Speichern eines erwarteten Anschlusswertes, der ein erwarteter Wert einer Anzahl von Pixeln des Bereichs des Anschlusses ist, wobei die Bestimmungseinheit für den ersten Schwellenwert den ersten Schwellenwert in dem Fall ändern kann, dass die Anzahl von Pixeln des durch die Anschlussbereichserfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses sich von dem erwarteten Anschlusswert um mehr als einen vorbestimmten Wert unterscheidet.
Die Positionserfassungsvorrichtung kann weiterhin enthalten: eine Anzeigevorrichtung für die Anzeige einer Anordnung von mehreren Anschlüssen der elektronischen Komponente, eine Eingabevorrichtung, die einem Benutzer ermöglicht, zumindest einen der von der Anzeigevorrichtung angezeigten mehreren Anschlüsse auszuwählen, und eine Gewichtsbestimmungseinheit zum Setzen eines Gewichts einer Position von dem zumindest einen der mehreren Anschlüsse, der von dem Benutzer mittels der Eingabevorrichtung ausgewählt ist, derart, dass es größer als ein Gewicht einer Position des Anschlusses, der von dem Benutzer nicht ausgewählt wurde, ist, wobei die Positionserfassungseinheit für die elektronische Komponente die Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des von der Gewichtsbestimmungseinheit bestimmten Ge wichts jeder Position des Anschlusses erfassen kann.
Die Eingabevorrichtung kann dem Benutzer ermöglichen, zumindest einen der mehreren durch die Anzeigevorrichtung angezeigten Anschlüsse für jede Größe des Gewichts der Position des Anschlusses auszuwählen, und die Erfassungseinheit für die elektronische Komponente kann die Position der elektronische Komponente auf der Grundlage des Gewichts jeder Position des Anschlusses, der ausgewählt ist für jedes Gewicht der Position des Anschlusses, erfassen.
Die Anzeigevorrichtung kann jeden für jedes Gewicht der Position des Anschlusses ausgewählten Anschluss zusammen mit einem Bild, das das Gewicht der Position des Anschlusses anzeigt, darstellen.
Die Gewichtsbestimmungseinheit kann ein Gewicht einer Position eines Anschlusses, der eine Eingabe oder Ausgabe eines ersten analogen Signals durchführt, aus mehreren Anschlüssen so setzen, dass es größer als ein Gewicht einer Position eines Anschlusses ist, der eine Eingabe oder Ausgabe eines zweiten analogen Signals durchführt.
Die Gewichtsbestimmungseinheit kann Gewichte von Positionen der mehreren Anschlüsse auf der Grundlage einer Frequenz eines Signals bestimmen, von dem angenommen wird, dass es über die mehreren Anschlüsse einzugeben oder auszugeben ist.
Die Gewichtungsbestimmungseinheit kann ein Gewicht einer Position eines Anschlusses, der eine Eingabe oder Ausgabe eines Signals mit einer ersten Frequenz, die größer als ein vorbestimmte Frequenz ist, durchführt, unter den mehreren Anschlüssen so setzen, dass es größer als ein Gewicht einer Position eines Anschlusses ist, der eine Eingabe oder Ausgabe eines Signals mit einer zweiten Frequenz, die kleiner als eine vorbestimmte Frequenz ist, durchführt.
Gemäß dem zweiten Aspekte der vorliegenden Erfindung enthält ein Positionserfassungsverfahren zum Erfassen einer Position einer elektronischen Komponente, die einen Anschluss enthält, die Schritte des Erfassens eines Bildes des Anschlusses, des Erfassens eines Bereichs des Anschlusses anhand des erfassten Bildes und des Erfassens der Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des erfassten Bereichs des Anschlusses.
Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält eine Tragvorrichtung für eine elektronische Komponente zum Tragen einer elektronischen Komponente, die einen Anschluss enthält, zu einer gewünschten Position eine Trageinheit zum Halten und Tragen der elektronischen Komponente, eine Bilderfassungseinheit zum Erfassen eines Bildes des Anschlusses der von der Trageinheit gehaltenen elektronischen Komponente, eine Anschlussbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Bereichs des Anschlusses anhand des von der Bilderfassungseinheit erfassten Bildes und eine Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente zum Erfassen einer Position der elektronischen Komponente entsprechend der Trageinheit auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses.
Die Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein. Die obigen und anderen Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden augenscheinlicher anhand der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gegeben wird.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt die Ausbildung eines herkömmlichen Prüfsystems 100.
2 zeigt einen Zustand, in welchem ein Anschluss 112 und ein Stift 114 in Kontakt miteinander sind.
3 zeigt die Konfiguration eines Trägers 116.
4 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente.
5 zeigt die Ausbildung einer Lichtquelle 206.
6 zeigt die Stärkeverteilung des von einem Anschluss 202 reflektierten Lichts.
7 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Schlittensteuereinheit 210.
8 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Schwellenwert-Bestimmungseinheit 212.
9 zeigt ein Beispiel für ein Positionserfassungsverfahren für eine elektronische Komponente 204.
10 zeigt ein Beispiel für ein durch eine Abbildungseinheit 208 erfasstes Mehrwertbild.
11 zeigt ein Beispiel für die Pixelwertverteilung nahe des Anschlusses 202 mit Bezug auf ein Mehrwertbild.
12 zeigt ein Beispiel eines differenzierten Bildes.
13 zeigt ein Beispiel für ein Kantenbereiche anzeigendes Binärwertbild.
14 zeigt ein Beispiel für das Histogramm von Pixelwerten von Pixeln von Kantenbereichen.
15 zeigt ein Beispiel für ein Binärwertbild, das Bereiche von Anschlüssen 202 anzeigt.
16 zeigt die Stärkeverteilung des von einem Anschluss 202 reflektierten Lichts.
17 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente.
18 zeigt ein Beispiel für einen Anzeigeschirm einer Anzeigevorrichtung 242.
19 zeigt ein Beispiel für Anordnungsdaten eines zu erfassenden Anschlusses.
20 zeigt einen Vorgang des Ordnens von Erfassungskoordinatendaten und idealen Koordinatendaten.
21 zeigt ein Beispiel für einen Anzeigeschirm einer Anzeigevorrichtung 242.
22 zeigt ein Beispiel für Bezugsanschluss-Anordnungsdaten.
23 zeigt ein anderes Beispiel für die Ausbildung einer Tragvorrichtung 200 für elektronische Komponenten.
24 zeigt ein Beispiel für einen Anzeigeschirm einer Anzeigevorrichtung 300.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und Kombinationen hiervon, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
4 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente gemäß einem beispielhaften Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente enthält eine Trageinheit 205 zum Halten und Tragen einer elektronischen Komponente 204 mit einer Vielzahl von Anschlüssen 202 zu einer Buchse 203, eine Lichtquelle 206 zum Ausgeben von Licht auf eine Oberfläche, auf der die Anschlüsse 202 der elektronischen Komponente 204 vorgesehen sind, eine Abbildungseinheit 208 zum Erfassen eines Mehrwertbildes der Vielzahl von von der Trageinheit 205 gehaltenen Anschlüsse 202 sowie eine Schlittensteuereinheit 210 zum Erfassen der Position der elektronischen Komponente 204 zu der Trageinheit 205 auf der Grundlage des von der Abbildungseinheit 208 erfassten Mehrbildes und zum Steuern der Trageinheit 205 auf der Grundlage der Position der elektronischen Komponente 204.
Die Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente ist ein Beispiel für die Positionserfassungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. Zusätzlich wir die Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente nicht nur zum Tragen der elektronischen Komponente im Hinblick auf das Prüfsystem zum Prüfen der elektronischen Komponente verwendet, sondern kann auch verwendet werden zum Tragen der elektronischen Komponente im Hinblick auf eine Befestigungsvorrichtung für eine elektronische Komponente zum Befestigen der elektronischen Komponente auf einem Substrat oder eine Vorrichtung zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung wie Drahtverbinden. Zusätzlich nimmt die Abbildungseinheit 208, die ein Beispiel für die Bilderfassungseinheit nach der vorliegenden Erfindung ist, das Bild eines Objekts auf, während eine Vielzahl von Abbildungselementen wie eine CCD(ladungsgekoppelte Vorrichtung)-Kamera, eine MOS(Metalloxid-Halbleiter)-Sensoranordnung angeordnet werden.
Die Abbildungseinheit 208 erfasst das Mehrwertbild der Vielzahl von Anschlüssen 202, die dem von der Lichtquelle 206 ausgegebenen Licht ausgesetzt sind. Zusätzlich kann die elektronische Komponente 204 die Anschlüsse 202 mit im Wesentlichen kugelförmigen Oberflächen wie einer Lotkugel enthalten. Die Abbildungseinheit 208 kann das Mehrwertbild der Anschlüsse 202 mit im Wesentlichen kugelförmigen Oberflächen, die dem von der Lichtquelle 206 ausgegebenen Licht ausgesetzt sind, erfassen.
5 zeigt die Ausbildung einer Lichtquelle 206. Die Lichtquelle 206, die Licht auf den Anschluss 202 der elektronischen Komponente 204 in einer schrägen Richtung emittiert, hat eine rechteckige Gestalt mit beispielsweise kreisförmigen oder rechteckigen LED-Lichtquellen jeweils an ihren vier Ecken. Wenn die Anschlüsse 202 der elektronischen Komponente 204 dem Licht in einer schrägen Richtung ausgesetzt sind, wird der größte Teil des auf das Substrat der elektronischen Komponente 204 auftreffenden Lichts aus dem Gesichtsfeld der Abbildungseinheit 208 heraus reflektiert. Zusätzlich wird der größte Teil des auf die Seitenflächen der Anschlüsse 202 wie einer Lotkugel auftreffenden Lichts in das Gesichtsfeld der Abbildungseinheit 208 reflektiert. Daher wird durch Verwendung der Lichtquelle für schräg emittiertes Licht die Differenz der Helligkeit zwischen dem Substratteil und dem Anschlussteil der elektronischen Komponente 204 größer, so dass es möglich ist, die Position des Anschlusses 202 genau zu erfassen.
Wenn jedoch die Position der elektronischen Komponente 204 durch Verwendung der Licht schräg emittierenden Lichtquelle erfasst wird, gibt es das nachstehende Problem. Aufgrund der Position der Anschlüsse 202 in Bezug auf die elektronische Komponente 204 ist der Abstand von den Anschlüssen 202 zu der linken Seite der Lichtquelle 206 unterschiedlich gegenüber dem Abstand von den Anschlüssen 202 zu der rechten Seite der Lichtquelle 206. Folglich stimmt die Mitte der Stärkenverteilung des von der vorderen Oberfläche der Anschlüsse 202 reflektierten Lichts nicht mit der Mitte des Anschlusses 202 überein, so dass es unmög 1ich ist, die Position des Anschlusses 202 genau zu erfassen.
Die 6A und 6B zeigen die Stärkeverteilung des von dem Anschluss 202, das näher zu der Lichtquelle 206 der linken Seite als der Lichtquelle 206 der rechten Seite positioniert ist, reflektierten Lichts. 6C zeigt einen Bereich 130 des Anschlusses 202, der durch Verwendung eines Schwellenwertvorgangs erfasst ist, und Mittenkoordinaten 132, die im Fall des Setzens des ersten Schwellenwerts auf V₀, wie in 6B gezeigt ist, berechnet sind. Zusätzlich zeigen die 6D und 6E die Stärkeverteilung des von dem Anschluss 202, der näher an der Lichtquelle 206 der rechten Seite als an der Lichtquelle 206 der linken Seite positioniert ist, reflektierten Lichts. 6F zeigt einen Bereich 130 des Anschlusses 202, der durch Verwendung des Schwellenwertvorgangs erfasst ist, und Mittenkoordinaten 132, die in dem Fall des Setzens des ersten Schwellenwertes auf V₀, wie in 6E gezeigt ist, berechnet sind. Wenn der Schwellenwert nicht ordnungsgemäß gesetzt ist, hat die durch den Schwellenwertvorgang erfasste Position des Anschlusses 202 einen Fehler im Vergleich mit der praktischen Position des Anschlusses 202. Daher besteht, da es unmöglich ist, die Mittenkoordinaten des Anschlusses 202 genau zu berechnen aufgrund der Position des Anschlusses 202 mit Bezug auf die elektronische Komponente 204, das Problem, dass die Position der elektronischen Komponente 204 nicht genau erfasst werden kann.
Darüber hinaus werden bei den kürzlich entwickelten elektronischen Komponenten 204 Signale mit extrem hoher Geschwindigkeit an spezifische Anschlüsse 202 angelegt, und es ist auch erforderlich, bei der Prüfung Signale mit extrem hoher Geschwindigkeit an die spezifischen Anschlüsse 202 anzulegen. Da die spezifische Anschlüsse 202 das Leistungsvermögen der elektronischen Komponente 204 beträchtlich beeinflussen, ist es erforderlich, sie mit hoher Genauigkeit im Vergleich zu anderen Anschlüssen 202 zu positionieren. Jedoch werden bei dem herkömmlichen Verfahren der Positionierung der elektronischen Komponente 204, da die Position der elektronischen Komponente 204 durch den Abbildungsvorgang für alle der Vielzahl von Anschlüssen 202 gleichförmig erfasst wird, der Befestigungsfehler des Anschlusses 202 in Bezug auf die elektronische Komponente 204, der Erfassungsfehler in Bezug auf den Abbildungsvorgang und dergleichen ausgeglichen, so dass es schwierig ist, die Genauigkeit bei der Positionierung der spezifischen Anschlüsse 202 zu verbessern.
7 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Schlittensteuereinheit 210. Die Schlittensteuereinheit 210 enthält eine Schwellenwert-Bestimmungseinheit 212 zum Bestimmen eines ersten Schwellenwertes zum Herausziehen von Bereichen der Anschlüsse 202 aus dem von der Abbildungseinheit 208 aufgenommenen Mehrwertbild, eine Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 zum Erfassen der Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen 202 aus dem von der Abbildungseinheit 208 erfassten Mehrwertbild auf der Grundlage des von der Schwellenwert-Bestimmungseinheit 212 bestimmten ersten Schwellenwertes und eine Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente zum Erfassen der Position der elektronischen Komponente 204 auf der Grundlage der von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 erfassten Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen 202 und der vorbestimmten Anschlussinformationen über die elektronische Komponente 204.
Die Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente berechnet Erfassungskoordinaten-Datenstücke, die die Mittenkoordinaten der Vielzahl von Anschlüssen 202 jeweils auf der Grundlage der von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 erfassten Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen 202. Die Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente führt eine Ordnung der Erfassungskoordinatendaten und der idealen Koordinatendaten der Anschlüsse 202 durch um die Position zu erfassen, an der sich die elektronische Komponente 204 befindet. Die Trageinheit 205 trägt die elektronische Komponente 204 auf der Grundlage der von der Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente erfassten Position der elektronischen Komponente 204. Es ist eine Aufgabe der Schlittensteuereinheit 210 nach der vorliegenden Erfindung, die elektronische Komponente 204 zu der gewünschten Position in Bezug auf die Buchse 203 in der Trageinheit 205 zu tragen, indem ein ordnungsgemäßer Schwellenwert von der Schwellenwert-Bestimmungseinheit 212 bestimmt wird, die Bereiche der Anschlüsse 202 der elektronischen Komponente 204 mit hoher Genauigkeit erfasst werden und die Position der elektronischen Komponente 204 mit hoher Genauigkeit berechnet wird.
8 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Schwellenwert-Bestimmungseinheit 212. Die Schwellenwert-Bestimmungseinheit 212 enthält eine Kantenextraktionseinheit 220 zum Herausziehen von Kantenbereichen der Vielzahl von Anschlüssen 202 aus dem von der Abbildungseinheit 208 erfassten Mehrwertbild, eine erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 zum Bestimmen des ersten Schwellenwertes als der Pixelwert, bei dem die Anzahl von Pixeln am größten ist unter der Vielzahl von durch die Kantenextraktionseinheit 220 ausgezogenen Kantenbereichen und eine Anschlussbild-Binärwert-Erzeugungseinheit 224 zum Erzeugen eines Binärwertbildes aus dem von der Abbildungseinheit 208 erfassten Mehrwertbild auf der Grundlage des von der ersten Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 bestimmten ersten Schwellenwertes. Die Anschlussbereich-Erfassungseinheit 214 erfasst die Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen 202 aus dem Mehrwertbild auf der Grundlage des Binärwertbildes, das von der Anschlussbild-Binärwert-Erzeugungseinheit 224 erzeugt wurde.
Die Schwellenwert-Bestimmungseinheit 212 enthält weiterhin eine Speichereinheit 226 für einen erwarteten Anschlusswert zu Speichern eines erwarteten Anschlusswertes, der ein erwarteter Wert der Anzahl von Pixeln der Bereiche der Anschlüsse 202 ist. Die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 ändert den ersten Schwellenwert in dem Fall, dass die Anzahl von Pixeln mehr von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 erfassten Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen 202 gegenüber dem in der Speichereinheit 226 für den erwarteten Anschlusswert gespeicherten erwarteten Anschlusswert um mehr als einen vorbestimmten Wert unterschiedlich ist.
Die Kantenextraktionseinheit 220 enthält eine Speichereinheit 228 für einen erwarteten Kantenwert zum Speichern eines erwarteten Kantenwerts, der einen erwarteten Wert für die Anzahl von Pixeln des Kantenbereichs anzeigt, eine Erzeugungseinheit 230 für ein differenziertes Bild zum Erzeugen eines differenzierten Bildes durch Differenzieren des von der Bildeinheit 208 erfassten Mehrwertbildes, eine zweite Schwellenwert-Bestimmungseinheit 232 zum Addieren der Anzahl von Pixeln in einer Reihenfolge, bei der der Pixelwert groß wird mit Bezug auf das von der Erzeugungseinheit 230 für ein differenziertes Bild erzeugte differenzierte Bild und zum Bestimmen eines zweiten Schwellenwertes als ein Pixelwert, wenn die Anzahl von addierten Pixeln den in der Speichereinheit 228 für einen erwarteten Kantenwert gespeicherten erwarteten Kantenwert erreicht, und eine Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit 234 zum Erzeugen eines Binärwertbildes aus dem differenzierten Bild auf der Grundlage des von der zweiten Schwellenwert-Bestimmungseinheit 232 bestimmten zweiten Schwellenwertes und eine Kantenbereichs-Erfassungseinheit 236 zum Erfassen eines Kantenbereichs aus dem Mehrwertbild durch Multiplizieren der Pixelwerte der Pixel, worin das von der Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit 234 erzeugte Binärwertbild und das von der Abbildungseinheit 208 erfasste Mehrwertbild einander entsprechen. Die Kantenbereichs-Erfassungseinheit 236 kann die Kantenbereiche anhand des von der Abbildungseinheit 208 erfassten Mehrwertbildes erfassen auf der Grundlage des von der zweiten Schwellenwert-Bestimmungseinheit 232 bestimmten zweiten Schwellenwertes mittels eines Verfahrens mit Ausnahme der Multiplikation der Pixelwerte der Pixel, worin das von der Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit 234 erzeugte Binärwertbild und das von der Abbildungseinheit 208 erfasste Mehrwertbild einander entsprechen.
9 ist ein Flussdiagramm, das ein Beispiel für ein Verfahren zum Erfassen der Position der elektronischen Komponente 204 durch die Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente zeigt. 10 zeigt ein Beispiel für das von der Abbildungseinheit 208 erfasste Mehrwertbild. Die 11A und 11B zeigen ein Beispiel für die Pixelwertverteilung nahe dem Anschluss 202 mit Bezug auf das Mehrwertbild. 12 zeigt ein Beispiel für das differenzierte Bild. 13 zeigt ein Beispiel für das die Kantenbereiche anzeigende Binärwertbild. 14 zeigt ein Beispiel für das Histogramm von Pixelwerten von Pixeln der Kantenbereiche. 15 zeigt ein Beispiel des die Bereiche der Anschlüsse 202 anzeigenden Binärwertbildes. Nachfolgend wird das Verfahren zum Erfassen der Position der elektronischen Komponente 204 mit Bezug auf die 9 bis 15 beschrieben.
Zuerst erfasste die Abbildungseinheit 208 das in 10 gezeigte Mehrwertbild der Vielzahl von Anschlüssen 202 der von der Trageinheit 205 gehaltenen elektronischen Komponente 204 (S100). Wie in 11A gezeigt ist, ist der Pixelwert des Umrissteils des Anschlusses 202 klein, und wie in 11B gezeigt ist, ändert sich der Pixelwert in Bezug auf den Umrissteil des Anschlusses 202 stark.
Als Nächstes erzeugt die Erzeugungseinheit 230 für das differenzierte Bild das in 12 gezeigte differenzierte Bild anhand des in 11 gezeigten Mehrwertbildes durch ein Filter vom Differenzierungstyp wie ein Sobel-Filter (S102). Die zweite Schwellenwert-Bestimmungseinheit 232 addiert die Anzahl von Pixeln in einer Reihenfolge, in der der Pixelwert groß wird in Bezug auf das differenzierte Bild und bestimmt den zweiten Schwellenwert als den Pixelwert, wenn die Anzahl von addierten Pixeln den in der Speichereinheit 28 für den erwarteten Kantenwert gespeicherten erwarteten Kantenwert erreicht (S104). Die Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit 234 erzeugt das die Kantenbereiche der in 13 gezeigten Anschlüsse 202 anzeigende Binärwertbild anhand des in 12 gezeigten differenzierten Bildes auf der Grundlage des von der zweiten Schwellenwert-Bestimmungseinheit 232 bestimmten zweiten Schwellenwertes (S106).
Dann zieht die Kantenbereichs-Erfassungseinheit 236 die Kantenbereiche aus dem in 10 gezeigten Mehrwertbild heraus durch Multiplizieren der Pixelwerte der Pixel, worin das in 10 gezeigte Mehrwertbild und das in 13 gezeigte Binärwertbild einander entsprechen (S108). Die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 erhält das in 14 gezeigte Histogramm auf der Grundlage der Pixelwerte der Pixel des aus dem in 10 gezeigten Mehrwertbild herausgezogenen Kantenbereichs (S110). Die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 bestimmt den ersten Schwellenwert als den Pixelwert, bei dem die Anzahl von Pixeln am größten ist unter den Pixeln des Kantenbereichs (S112). Die Anschlussbild-Binärwert-Erzeugungseinheit 224 erzeugt das Binärwertbild, das die Bereiche der in 15 gezeigten Anschlüsse 202 anzeigt, anhand des in 10 gezeigten Mehrwertbildes auf der Grundlage des von der ersten Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 bestimmten ersten Schwellenwertes (S114).
Als Nächstes erfasst die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 die Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen 202 auf der Grundlage des in 15 gezeigten Binärwertbildes (S116). Die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 berechnet die Abmessung des Bereichs des Anschlusses 202, d. h. die Anzahl von Pixeln des Bereichs des Anschlusses 202 (S118). Zu dieser Zeit kann die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 den Durchschnitt der Anzahl von Pixeln der Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen 202 berechnen. Die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 ver gleicht die Anzahl von Pixeln des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 erfassten Bereichs des Anschlusses 202 mit dem in der Speichereinheit 228 für den erwarteten Anschlusswert gespeicherten erwarteten Anschlusswert und stellt fest, ob die Differenz zwischen diesen größer als ein vorbestimmter Wert ist (S120).
Die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 macht den ersten Schwellenwert kleiner (S122) in dem Fall der Feststellung, dass die Anzahl von Pixeln des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 erfassten Bereichs des Anschlusses 202 im Schritt S120 um mehr als einen vorbestimmten Wert kleiner als der erwartete Anschlusswert ist, und dann werden die den Schritt S114 folgenden Vorgänge wiederholt. Die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 macht den ersten Schwellenwert größer (S124) in dem Fall der Feststellung, dass die Anzahl von Pixeln des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 in dem Schritt 5120 erfassten Bereichs des Anschlusses 202 um mehr als einen vorbestimmten Wert kleiner als der erwartete Anschlusswert ist, und dann werden die dem Schritt S114 folgenden Vorgänge wiederholt.
Wenn die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit 222 feststellt, dass die Anzahl von Pixeln des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 in dem Schritt S120 erfassten Bereichs des Anschlusses 202 innerhalb eines Bereichs eines vorbestimmten Wertes von dem erwarteten Anschlusswert ist, dann erfasst die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 den Bereich des Anschlusses 202 auf der Grundlage des ersten Schwellenwertes (S126), die Positionserfassungseinheit 218 für die elektronische Komponente erfasst die Position des Anschlusses 202 der elektronischen Komponente 204 auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 erfassten Bereichs des Anschlusses 202 und berechnet die Position der elektronischen Komponente 204 auf der Grundlage der erfassten Position des Anschlusses 202 und der Position, an der der Anschluss 202 auf der elektronischen Komponente 204 gebildet ist, d. h. der Anschlußinformationen über die elektronische Komponente 204 (S128).
Die 16A und 16B zeigen die Stärkeverteilung des von dem Anschluss 202 reflektierten Lichts, der näher an der Lichtquelle 206 auf der linken Seite als an der Lichtquelle 206 auf der rechten Seite positioniert ist. 16C zeigt einen Bereich 238 des erfassten Anschlusses 202 und Mittenkoordinaten 240, die im Fall des Setzens des ersten Schwellenwertes auf den in 16B gezeigten Wert V₁ berechnet sind. Zusätzlich zeigen die 16D und 16E die Stärkeverteilung des von dem Anschluss 202 reflektierten Lichts, der näher an der Lichtquelle 206 auf der rechten Seite als an der Lichtquelle 206 auf der linken Seite positioniert ist. 16F zeigt einen Bereich 238 des erfassten Anschlusses 202 durch Verwendung des Schwellenwertprozesses und Mittenkoordinaten 240, die im Fall des Setzens des ersten Schwellenwertes auf dem in 16E gezeigten Wert V₁ berechnet sind.
Wie in den 16A und 16D gezeigt ist, ist es möglich, obgleich die Mitte der Stärkeverteilung des von der vorderen Oberfläche des Anschlusses 202 reflektierten Lichts nicht mit der Mitte des Anschlusses 202 übereinstimmt, den Bereich des Anschlusses 202 genau zu erfassen, wie in den 16C und 16F gezeigt ist, indem der erste Schwellenwert auf V₁ ge setzt wird.
Mit der Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist es möglich, den ersten Schwellenwert zum Herausziehen der Bereiche der Anschlüsse 202 aus dem durch die Abbildungseinheit 208 erfassten Mehrwertbild schnell und ordnungsgemäß zu bestimmen. Zusätzlich ist es durch Wiederholen der Einstellung des ersten Schwellenwertes durch Vergleichen der Pixelwerte mit dem erwarteten Anschlusswert des Bereichs des erfassten Anschlusses 202 möglich, den ersten Schwellenwert geeigneter zu bestimmen. Zusätzlich ist es möglich, obgleich die Helligkeit abnimmt oder die Helligkeitsverteilung ungleichmäßig wird, da die Lichtquelle 206 während einer langen Zeit verwendet wurde, den ersten Schwellenwert sofort zu korrigieren. Daher ist es möglich, da die Mittenkoordinaten des Anschlusses 202 genau berechnet werden können, die Position der elektronischen Komponente 204 genau zu erfassen.
17 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung der Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente. 18A zeigt ein Beispiel für einen Anzeigeschirm einer Anzeigevorrichtung 242. 19 zeigt ein Beispiel für Anordnungsdaten eines zu erfassenden Anschlusses. Die 20A bis 20C zeigen einen Vorgang des Ordnens von Erfassungskoordinatendaten und idealen Koordinatendaten. Die 21A und 21B zeigen ein Beispiel für einen Anzeigeschirm der Anzeigevorrichtung 242. 22 zeigt ein Beispiel von Bezugsanschluss-Anordnungsdaten.
Die Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente enthält eine Anzeigevorrichtung 242 zum Darstellen von Anordnungsinformationen über die An schlüsse 202 für einen Benutzer und eine Eingabevorrichtung 244, durch die Entwurfsdaten oder Spezifikationen der Anschlüsse 202, d. h., ein Beispiel für vorbestimmte Anschlussinformationen über die elektronische Komponente 204 eingegeben werden können, und die Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente enthält eine Erfassungsinformations-Setzeinheit 246 zum Setzen der Anordnungsinformationen des zu erfassenden Anschlusses, d. h., des Anschlusses 202, der eine Bezugsgröße zum Positionieren der elektronischen Komponente 204 ist, eine Berechnungseinheit 248 für ideale Koordinaten zum Berechnen der idealen Koordinatendaten des zu erfassenden Anschlusses auf der Grundlage der Anordnungsinformationen über den zu erfassenden Anschluss, eine Erfassungskoordinaten-Zusammenstellungseinheit 250 zum Erfassen der Position der elektronischen Komponente 204 durch Ordnen der von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 berechneten Erfassungskoordinatendaten und der von der Berechnungseinheit 248 für ideale Koordinaten berechneten idealen Koordinatendaten und eine Korrektureinheit 252 für eine erfasste Position zum Korrigieren der von der Erfassungskoordinaten-Zusammenstellungseinheit 250 erfassten Position einer elektronischen Komponente.
Die Erfassungsinformations-Einstelleinheit 246 erstellt die Anordnungsinformationen über die Anschlüsse 202 auf der Grundlage der Entwurfsdaten der Anschlüsse 202 der elektronischen Komponente 204. Die Entwurfsdaten enthalten die Anzahl der Anschlüsse, die Größe der Anschlüsse, den Abstand zwischen den Anschlüssen und dergleichen. Die Anzeigevorrichtung 242 stellt einen Auswahlschirm für einen zu erfassenden Anschluss dar enthaltend die von der Erfassungsinformations-Einstelleinheit 246 erstellten Anord nungsinformationen, wie in 18A gezeigt ist. Die Anzeigevorrichtung 242, z. B. eine GUI (Graphische Benutzerschnittstelle), ermöglicht einem Benutzer, den zu erfassenden Anschluss auszuwählen. Zusätzlich ist die Eingabevorrichtung 244 beispielsweise eine Tastatur, Maus oder dergleichen, und der zu erfassende Anschluss kann durch Verwendung der Eingabevorrichtung 244 ausgewählt werden. Zusätzlich stellt die Anzeigevorrichtung 242 die Anordnungsinformationen dar, die die zu erfassenden Anschlüsse anzeigen, die ausgewählt sind, wie in 18B gezeigt ist. Die Erfassungsinformations-Einstelleinheit 246 erzeugt die Anordnungsdaten für den zu erfassenden Anschluss, wie in 19 gezeigt ist, auf der Grundlage des Auswahlergebnisses des zu erfassenden Anschlusses. Die Anordnungsdaten des zu erfassenden Anschlusses können Bitkartendaten sein, die den zu erfassenden Anschluss durch "1" und den nicht zu erfassenden Anschluss durch "0" darstellen.
Die Berechnungseinheit 248 für ideale Koordinaten berechnet die idealen Koordinatendaten des zu erfassenden Anschlusses mit Bezug auf die elektronische Komponente 204 auf der Grundlage der Entwurfsdaten für den Anschluss 202 der elektronischen Komponente 204, Abbildungsbedingungsdaten der Abbildungseinheit 208 und die Anordnungsdaten für den zu erfassenden Anschluss. Die Abbildungsbedingungsdaten enthalten die Vergrößerung und Auflösung einer Linse. Weiterhin können die Anordnungsdaten über den zu erfassenden Anschluss, die idealen Koordinatendaten und dergleichen, die vorher benötigt werden, in einem Aufzeichnungsmedium wie einem Plattenlaufwerk gespeichert werden. Zusätzlich können in dem Fall der kontinuierlichen Erfassung der Position der elektronischen Komponente 204 die Anordnungsdaten über den zu erfassen den Anschluss, die idealen Koordinatendaten und dergleichen, die vorher erforderlich sind, in einem Aufzeichnungsmedium wie einem RAM gespeichert werden.
Die Erfassungskoordinaten-Zusammenstellungseinheit 250 ordnet, die von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 berechneten Erfassungskoordinatendaten, wie in 20A gezeigt ist, und die von der Berechnungseinheit 248 für ideale Koordinaten berechneten idealen Koordinatendaten, wie in 20B gezeigt ist. Die Erfassungskoordinaten-Zusammenstellungseinheit 250 ordnet die idealen Koordinatendaten und die Erfassungskoordinatendaten unter Verwendung der affinen Transformation und erfasst die Position (xc, yc), an der der Grad der Übereinstimmung zwischen den idealen Koordinatendaten und den Erfassungskoordinatendaten am größten ist, und dem Drehwinkel θc der idealen Koordinatendaten gegenüber den Erfassungskoordinatendaten als die Position der elektronischen Komponente 202. Bei der Auswertung des Grades der Übereinstimmung zwischen den idealen Koordinatendaten und den Erfassungskoordinatendaten können die Summe der Abstände zwischen Stücken der entsprechenden Koordinatendaten oder der statistische Gesamtfehler von diesen verwendet werden. Weiterhin kann, wenn der Grad der Übereinstimmung zwischen den idealen Koordinatendaten und den Erfassungskoordinatendaten kleiner als ein vorbestimmter Zielwert ist, die Abbildungseinheit 208 das Mehrwertbild erfassen und die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 kann die Erfassungskoordinatendaten noch einmal berechnen.
Weiterhin stellt die Anzeigevorrichtung 242 den Bezugsanschluss-Auswahlschirm enthaltend die von der Erfassungsinformations-Einstelleinheit 246 erstellten Anordnungsinformationen wie in 21A gezeigt dar.
Die Anzeigevorrichtung 242 oder die Eingabevorrichtung 244 ermöglichen einem Benutzer, den Bezugsanschluss auszuwählen. Die Anzeigevorrichtung 242 stellt die den ausgewählten Bezugsanschluss anzeigenden Anordnungsinformationen wie in 21B gezeigt dar. Die Erfassungsinformations-Einstelleinheit 246 erzeugt die Bezugsanschluss-Anordnungsdaten, wie in 22 gezeigt auf der Grundlage des Auswahlergebnisses für den Bezugsanschluss durch den Benutzer. Die Bezugsanschluss-Anordnungsdaten können Bitkartendaten sein, die den Bezugsanschluss durch "1" und den Nichtbezugsanschluss durch "0" darstellen.
Die Korrektureinheit 248 für die erfasste Position berechnet die idealen Koordinatendaten des Bezugsanschlusses mit Bezug auf die elektronische Komponente 204 auf der Grundlage der Entwurfsdaten des Anschlusses 202 der elektronischen Komponente 204, die Abbildungsbedingungsdaten der Abbildungseinheit 208 und die Bezugsanschluss-Anordnungsdaten. Die Trageinheit 208 korrigiert die Position der elektronischen Komponente 204 auf der Grundlage der Position (xc, yc) und den Drehwinkel θc der elektronischen Komponente 204, die von der Erfassungskoordinaten-Zusammenstellungseinheit 250 erfasst wurden. Die Abbildungseinheit 208 erfasst das Mehrwertbild der elektronischen Komponente 204, in welchem die Position korrigiert ist, und die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 berechnet die Erfassungskoordinatendaten auf der Grundlage des von der Abbildungseinheit 208 erfassten Mehrwertbildes.
Die Erfassungskoordinaten-Zusammenstellungseinheit 250 ordnet die von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit 214 berechneten Erfassungskoordinatendaten, nachdem die Position der elektronischen Komponente 104 korrigiert wurde und die von der Korrektureinheit 248 für die erfasste Position berechneten idealen Koordinatendaten und berechnet einen Fehler (δ_x, δ_y) der Positionen der idealen Koordinatendaten und der Erfassungskoordinatendaten im Hinblick auf den Bezugsanschluss und einen Fehler δ_e des Drehwinkels. Die Erfassungskoordinaten-Zusammenstellungseinheit 250 korrigiert die Position (xc, yc) und den Drehwinkel θc der elektronischen Komponente 204 in (xc-δ_x, yc-δy) und den Drehwinkel θc–δ_e und setzt den Fehler im Hinblick auf den Bezugsanschluss so, dass er minimal ist. Wenn mehrere Bezugsanschlüsse ausgewählt sind, kann der mittlere quadratische Fehler entsprechend jedem der mehreren Bezugsanschlüsse als (δ_x, δ_y) und δ_e korrigiert werden.
Bei der Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente nach der vorliegenden Erfindung ist es möglich, da eine kleine Anzahl der Anschlüsse 202 als der zu erfassende Anschluss ausgewählt werden kann, um den Zusammenstellungsvorgang durchzuführen, die Position der elektronischen Komponente 204 rasch zu erfassen ungeachtet dessen, dass die elektronische Komponente 204 eine große Anzahl von Anschlüssen 202 hat.
23 zeigt ein anderes Beispiel für die Ausbildung einer Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente. 24 zeigt ein Beispiel für einen Anzeigeschirm einer Anzeigevorrichtung 300. Die Tragvorrichtung 200 für eine elektronische Komponente enthält eine Anzeigevorrichtung 300 zum Darstellen der Anordnungsinformationen, die die Anordnung einer Vielzahl von Anschlüssen 202 der elektronischen Komponente 204 anzeigen, eine Eingabevorrichtung 302, die einem Benutzer ermöglicht, irgendwelche der Vielzahl von von der Anzeigevorrichtung 300 angezeigten Anschlüsse 202 auszuwählen, und eine Gewichtsbestimmungseinheit 304 zum Bestimmen des Gewichts der Position der Vielzahl von Anschlüssen 202 auf der Grundlage der Auswahl des Benutzers. Weiterhin hat die in 23 gezeigte Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente dieselbe Ausbildung und Funktion wie diejenigen der in den 7 bis 22 gezeigten Positionserfassungseinheit 218 für eine elektronische Komponente.
Die Anzeigevorrichtung 300, beispielsweise eine GUI (Grafische Benutzerschnittstelle) stellt einen Gewichtsbestimmungsschirm dar enthaltend die Anordnungsinformationen für den Anschluss 202, die auf der Grundlage der Entwurfsdaten für den Anschluss 202 der elektronischen Komponente 204 erstellt wurden, wie in 24A gezeigt ist. Zusätzlich ermöglicht die Eingabevorrichtung 302, z. B. eine Tastatur, Maus oder dergleichen, einem Benutzer, zumindest einen der von der Anzeigevorrichtung 300 dargestellten Anschlüsse 202 auszuwählen. Die Gewichtsbestimmungseinheit 304 bestimmt das Gewicht der Position von zumindest einem der Anschlüsse 202, die durch den Benutzer mittels der Eingabevorrichtung 302 ausgewählt sind, derart, dass es größer als das der anderen Anschlüsse 202 ist. Zusätzlich die Eingabevorrichtung 302 dem Benutzer ermöglichen, zumindest einen der von der Anzeigevorrichtung 300 dargestellten Anschlüsse 202 für jede Größe des Gewichts der Position des Anschlusses 202 auszuwählen. Die Gewichtsbestimmungseinheit 304 bestimmt das Gewicht der Position von zumindest einem der Anschlüsse 202, die von dem Benutzer mittels der Eingabevorrichtung 302 ausgewählt sind, für jede Größe des Gewichts der Position des Anschlusses 202 als das Gewicht von jedem der Anschlüsse 202.
Zusätzlich kann die Gewichtsbestimmungseinheit 304 das Gewicht der Position des Anschlusses 202, der eine Eingabe oder Ausgabe von analogen Signalen durchführt, aus der Vielzahl von Anschlüssen automatisch so setzen, dass es größer als das Gewicht der Position des Anschlusses 202 ist, der die Eingabe oder Ausgabe von anderen Signalen der analogen Signale durchführt, auf der Grundlage der Entwurfsdaten oder der Spezifikation der elektronischen Komponente 204. Daher kann der Anschluss 202, der die Eingabe oder Ausgabe von analogen Signalen durchführt, gegenüber der Buchse 203 mit hoher Genauigkeit positioniert werden, so dass das Rauschen im Hinblick auf die analogen Signale verringert werden kann, und somit ist es möglich, das Leistungsvermögen der elektronischen Komponente 204 in Beziehung zu der Eingabe oder Ausgabe der analogen Signale genau zu prüfen.
Zusätzlich kann die Gewichtsbestimmungseinheit 304 das Gewicht der Position der mehreren Anschlüsse 202 bestimmen auf der Grundlage der Frequenz der Signale, die die Vielzahl von Anschlüssen 202 einzugeben oder auszugeben haben, auf der Grundlage der Entwurfsdaten oder der Spezifikation der elektronischen Komponente 204. Beispielsweise gibt die Eingabevorrichtung 302 die von einem Benutzer als der Schwellenwert bestimmte Frequenz vorher ein. Die Gewichtsbestimmungseinheit 304 kann das Gewicht der Position des Anschlusses 202, der eine Eingabe oder Ausgabe von Signalen durchführt, deren Frequenz größer als eine vorbestimmte Frequenz ist, unter der Vielzahl von Anschlüssen 202 so setzen, dass es größer als das Gewicht der Position des Anschlusses 202 ist, der eine Eingabe oder Ausgabe von Signalen durchführt, deren Frequenz kleiner als die vorbestimmte Frequenz ist.
Zusätzlich kann die Gewichtsbestimmungseinheit 304 das Gewicht der Position des Anschlusses 202, der eine Eingabe oder Ausgabe von Signalen mit einer größeren Frequenz durchführt, so setzen, dass es größer als das Gewicht der Position des Anschlusses 202 ist, der eine Eingabe oder Ausgabe von Signalen mit einer kleineren Frequenz durchführt. Beispielsweise kann die Gewichtsbestimmungseinheit 304 das Gewicht der Position von jedem der Vielzahl von Anschlüssen 202 so setzen, dass es ein Wert im Verhältnis zu der Frequenz der Signale ist, die jeder der Vielzahl von Anschlüssen 202 eingibt oder ausgibt.
Zusätzlich kann als ein anderes Beispiel die Gewichtsbestimmungseinheit 304 das Gewicht der Position des Anschlusses 202, der eine Eingabe oder Ausgabe von Taktsignalen durchführt, unter der Vielzahl von Anschlüssen 202 so setzen, dass es größer als das Gewicht der Position des Anschlusses 202 ist, der ein Eingabe oder Ausgabe von anderen Signalen als den Taktsignalen durchführt.
Wenn die Gewichte der Positionen der Vielzahl von Anschlüssen 202 durch die Gewichtsbestimmungseinheit 304 bestimmt werden, stellt die Anzeigevorrichtung 300 jeden der von dem Benutzer ausgewählten Anschlüsse 202 für jede der Positionen der Anschlüsse 202 oder jeden der Anschlüsse 202, die automatisch bestimmt wurden, zusammen mit dem Bild, das das Gewicht der Position des Anschlusses 202 anzeigt, dar. Beispielsweise kann die Anzeigevorrichtung 300, wie in 24B gezeigt ist, die Anschlüsse 202 darstellen, deren Farben für jedes Gewicht der Position des Anschlusses 202 getrennt sind, und jeden der Anschlüsse 202 zusammen mit einem Wert des Gewichts darstellen.
Die Positionserfassungseinheit 214 für eine elektronische Komponente erfasst die Position der elektronischen Komponente 204 auf der Grundlage des Gewichts der Position von jedem der ausgewählten Anschlüsse 202 für jedes Gewicht der Position des Anschlusses 202, das von der Gewichtsbestimmungseinheit 304 bestimmt wurde, oder das Gewicht der Position jedes Anschlusses 202, das automatisch bestimmt wurde. Daher ist es möglich, da die Position der elektronischen Komponente 204 erfasst werden kann, während das wichtige Gewicht des Anschlusses 202, der das Leistungsvermögen der elektronischen Komponente 204 beträchtlich beeinflusst, durch die Auswahl eines Benutzers oder automatisch so gesetzt wird, dass es groß ist, den wichtigen Anschluss 202, der das Leistungsvermögen der elektronischen Komponente 204 erheblich beeinflusst, gegenüber der Buchse 203 mit hoher Genauigkeit zu positionieren. Daher ist es möglich, das Leistungsvermögen der elektronischen Komponente 204 genau zu prüfen.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Wie sich aus der vorstehenden Beschreibung ergibt, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, eine Positionserfassungsvorrichtung, ein Positionserfassungsverfahren und eine Tragvorrichtung für eine elektronische Komponente vorzusehen, die in der Lage sind, die Position einer elektronischen Komponente genau zu erfassen.
Zusammenfassung
Eine Positionserfassungsvorrichtung zum Erfassen einer Position einer einen Anschluss aufweisenden elektronischen Komponente enthält eine Bilderfassungseinheit zum Erfassen eines Bildes des Anschlusses, eine Anschlussbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Bereichs des Anschlusses aus dem von der Bilderfassungseinheit erfassten Bild und eine Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente zum Erfassen einer Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses und von vorbestimmten Anschlussinformationen über die elektronische Komponente.
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Claims

Positionserfassungsvorrichtung zum Erfassen einer Position einer elektronischen Komponente, die einen Anschluss besitzt, welche aufweist: eine Bilderfassungseinheit zum Erfassen eines Bildes des Anschlusses; eine Anschlussbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Bereichs des Anschlusses anhand des von der Bilderfassungseinheit erfassten Bildes; und eine Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente zum Erfassen einer Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses von vorbestimmten Anschlussinformationen über die elektronische Komponente.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente eine Position des Anschlusses auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses erfasst und die Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage der Position des erfassten Anschlusses und einer Position, berechnet, die die Anschlussinformationen sind und der Anschluss gebildet ist im Hinblick auf die elektronische Komponente.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist: eine Kantenextraktionseinheit zum Herausziehen eines Kantenbereichs, der ein Bereich einer Kante des Anschlusses ist, aus einem Mehrwertbild, das das von der Bilderfassungseinheit erfasste Bild ist; und eine erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit zum Bestimmen eines ersten Schwellenwertes als ein Pixelwert, bei dem eine Anzahl von Pixeln unter den Pixeln des Kantenbereichs am größten ist, wobei die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit den Bereich des Anschlusses aus dem Mehrwertbild auf der Grundlage des ersten Schwellenwertes erfasst.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 3, welche weiterhin eine Lichtquelle zum Emittieren von Licht auf den Anschluss in einer schrägen Richtung zu der elektronischen Komponente aufweist, wobei die Bilderfassungseinheit das Mehrwertbild des Anschlusses erfasst, auf den Licht von der Lichtquelle emittiert wird.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Bilderfassungseinheit das Mehrwertbild einer Vielzahl der Anschlüsse der elektronischen Komponente erfasst, die Kantenextraktionseinheit eine Vielzahl der Kantenbereiche aus der Vielzahl von Anschlüssen aus dem Mehrwertbild herauszieht, die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit den ersten Schwellenwert als ein Pixelwert bestimmt, bei dem eine Anzahl von Pixeln unter den Pixeln der Vielzahl von Kantenbereichen am größten ist, die Anschlussbereichs-Bestimmungseinheit Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen aus dem Mehrwertbild auf der Grundlage des ersten Schwellen wertes erfasst, und die Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente die Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage der Bereiche der Vielzahl von Anschlüssen erfasst.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die elektronische Komponente den Anschluss mit einer im Wesentlichen kugelförmigen Oberfläche aufweist, und die Bilderfassungseinheit das Mehrwertbild des Anschlusses mit der im Wesentlichen kugelförmigen Oberfläche erfasst, auf die Licht von der Lichtquelle emittiert wird.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend eine Anschlussbild-Binärwert-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Binärwertbildes aus dem Mehrwertbild auf der Grundlage des ersten Schwellenwertes, wobei die Anschlussbereichs-Erfassungseinheit den Bereich des Anschlusses aus dem Mehrwertbild erfasst auf der Grundlage des von der Anschlussbild-Binärwert-Erzeugungseinheit erzeugten Binärwertbildes.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Kantenextraktionseinheit weiterhin aufweist: eine Speichereinheit für einen erwarteten Kantenwert zum Speichern eines erwarteten Kantenwertes, der ein erwarteter Wert einer Anzahl von Pixeln des Kantenbereichs ist; eine Erzeugungseinheit für ein differenziertes Bild zum Erzeugen eines differenzierten Bildes, das sich aus der Differenziation des Mehrwertbildes ergibt; eine zweite Schwellenwert-Bestimmungseinheit zum Addieren einer Anzahl von Pixeln in einer Reihenfolge, bei der ein Pixelwert im Hinblick auf das differenzierte Bild größer wird, und zum Bestimmen eines zweiten Schwellenwertes als ein Pixelwert, wenn die Anzahl von addierten Pixeln den erwarteten Kantenwert erreicht; und eine Kantenbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen des Kantenbereichs aus dem Mehrwertbild auf der Grundlage des zweiten Schwellenwertes.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Kantenextraktionseinheit weiterhin eine Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Binärwertbildes aus dem differenzierten Bild auf der Grundlage des zweiten Schwellenwertes aufweist, und die Kantenbereichs-Erfassungseinheit den Kantenbereich aus dem Mehrwertbild erfasst durch Multiplizieren eines Pixelwertes eines Pixels, wobei das von der Kantenbild-Binärwert-Erzeugungseinheit erzeugt Binärwertbild und das Mehrwertbild einander entsprechen.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend eine Speichereinheit für einen erwarteten Anschlusswert zum Speichern eins erwarteten Anschlusswertes, der ein erwarteter Wert einer Anzahl von Pixeln des Bereichs des Anschlusses ist, wobei die erste Schwellenwert-Bestimmungseinheit den ersten Schwellenwert ändert für den Fall, dass die Anzahl von Pixeln des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses um mehr als einen vorbestimmten Wert unterschiedlich gegenüber dem erwarteten Anschlusswert ist.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend: eine Anzeigevorrichtung für die Anzeige einer Anordnung einer Vielzahl der Anschlüsse der elektronischen Komponente; eine Eingabevorrichtung, um einem Benutzer zu ermöglichen, zumindest einen der von der Anzeigevorrichtung angezeigten Vielzahl von Anschlüssen auszuwählen; und eine Gewichtsbestimmungseinheit zum Setzen eines Gewichts einer Position von zumindest einem, der Vielzahl von Anschlüssen, der von dem Benutzer mittels der Eingabevorrichtung ausgewählt ist, derart, dass es größer als ein Gewicht einer Position des von dem Benutzer nicht ausgewählten Anschlusses ist, wobei die Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente die Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des von der Gewichtsbestimmungseinheit bestimmten Gewichts jeder Position des Anschlusses erfasst.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 11, bei der die Eingabevorrichtung dem Benutzer ermöglicht, zumindest einen der Vielzahl von von der Anzeigevorrichtung dargestellten Anschlüsse für jede Größe des Gewichts der Position des Anschlusses auszuwählen, und die Erfassungseinheit für eine elektronische Komponente die > Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des Gewichts jeder Position des für jedes Gewicht der Position des Anschlusses ausgewählten Anschlusses erfasst.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 12, bei der die Anzeigevorrichtung jeden für jedes Gewicht der Position des Anschlusses ausgewähl ten Anschluss zusammen mit einem das Gewicht der Position des Anschlusses anzeigenden Bild darstellt.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 11, bei der die Gewichtsbestimmungseinheit ein Gewicht einer Position eines Anschlusses, der eine Eingabe oder Ausgabe eines ersten analogen Signals aus der Vielzahl von Anschlüssen so setzt, dass es größer als ein Gewicht einer Position eines Anschlusses, der die Eingabe oder Ausgabe eines zweiten analogen Signals durchführt, setzt.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 11, bei der die Gewichtsbestimmungseinheit Gewichte von Positionen der Vielzahl von Anschlüssen auf der Grundlage einer Frequenz eines Signals setzt, von dem angenommen wird, dass es über die Vielzahl von Anschlüssen einzugeben oder auszugeben ist.
Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 11, bei der die Gewichtsbestimmungseinheit ein Gewicht einer Position eines Anschlusses, der eine Eingabe oder Ausgabe eines Signals mit einer ersten Frequenz durchführt, die größer als eine vorbestimmte Frequenz unter der Vielzahl von Anschlüssen ist, so setzt, dass es größer als ein Gewicht einer Position eines Anschlusses ist, der eine Eingabe oder Ausgabe eines Signals mit einer zweiten Frequenz, die kleiner als eine vorbestimmte Frequenz ist, ist.
Positionserfassungsverfahren zum Erfassen einer Position einer elektronischen Komponente, die einen Anschluss besitzt, aufweisend die Schrit te: Erfassen eines Bildes des Anschlusses; Erfassen eines Bereichs des Anschlusses aus dem erfassten Bild; und Erfassen der Position der elektronischen Komponente auf der Grundlage des erfassten Bereichs des Anschlusses.
Tragvorrichtung für eine elektronische Komponente zum Tragen einer elektronischen Komponente, die einen Anschluss besitzt, zu einer gewünschten Position, welche aufweist: eine Trageinheit zum Halten und Tragen der elektronischen Komponente; eine Bilderfassungseinheit zum Erfassen eines Bildes des Anschlusses der von der Trageinheit gehaltenen elektronischen Komponente; eine Anschlussbereichs-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Bereichs des Anschlusses aus dem von der Bilderfassungseinheit erfassten Bild; und eine Positionserfassungseinheit für eine elektronische Komponente zum Erfassen einer Position der elektrischen Komponente entsprechend der Trageinheit auf der Grundlage des von der Anschlussbereichs-Erfassungseinheit erfassten Bereichs des Anschlusses.