JP2020051939A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents
電子部品搬送装置および電子部品検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020051939A JP2020051939A JP2018182646A JP2018182646A JP2020051939A JP 2020051939 A JP2020051939 A JP 2020051939A JP 2018182646 A JP2018182646 A JP 2018182646A JP 2018182646 A JP2018182646 A JP 2018182646A JP 2020051939 A JP2020051939 A JP 2020051939A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- unit
- inspection
- points
- socket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R13/00—Arrangements for displaying electric variables or waveforms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
Abstract
Description
前記ソケット部材が配置される基準面を有する基準ベースと、
前記ソケット部材の複数の点について、前記基準面の法線方向における位置を測定する測定部と、
表示部と、
前記複数の点の前記位置に基づく位置情報を表示部に表示させる制御部と、
を備える。
以下、図1〜図14を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸(第2軸)、Y軸(第1軸)およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X軸方向」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば±5°未満程度)傾いた状態も含む。また、Z軸方向正側を「上」または「上方」、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を備える電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査(test)」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では、一例として、平板状をなし、その平面視で長方形または正方形のものとなっている。なお、ICデバイス90の平面視での形状は、長方形または正方形に限定されず、例えば、円形や楕円形等のような丸みを帯びた形状であってもよい。
まず、マザーデーターである画像IM0と、画像IM1との間で、距離X1−1同士の大小関係と、距離X1−2同士の大小関係と、距離X1−3同士の大小関係と、距離X2−1同士の大小関係と、距離X2−2同士の大小関係と、距離X2−3同士の大小関係とを検出する。
まず、マザーデーターである画像IM0と、画像IM2との間で、距離X1−1と距離X1−1’との大小関係と、距離X1−2と距離X1−2’との大小関係と、距離X1−3と距離X1−3’との大小関係と、距離X2−1と距離X2−1’との大小関係と、距離X2−2と距離X2−1’との大小関係と、距離X2−3と距離X2−3’との大小関係とを検出する。
まず、マザーデーターである画像IM0と、画像IM3との間で、距離X1−1と距離X1−1”との大小関係と、距離X1−2と距離X1−2”との大小関係と、距離X1−3と距離X1−3”との大小関係と、距離X2−1と距離X2−1”との大小関係と、距離X2−2と距離X2−1”との大小関係と、距離X2−3と距離X2−3”との大小関係とを検出する。
以下、図15を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
また、ソケット3の凹部31の底部311に設定される点も、3つ以上であればよい。
以下、図16を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
なお、制御部800は、ネットワーク95と直接接続されていてもよい。
以下、図17を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第4実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
Claims (22)
- 電子部品の電気的特性を検査し、前記電子部品が載置される凹部が設けられたソケット部材を有する検査部に、前記電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
前記ソケット部材が配置される基準面を有する基準ベースと、
前記ソケット部材の複数の点について、前記基準面の法線方向における位置を測定する測定部と、
表示部と、
前記複数の点の前記位置に基づく位置情報を表示部に表示させる制御部と、
を備える電子部品搬送装置。 - 前記ソケット部材は、前記凹部を有するソケットと、前記ソケットを支持するソケットベースとを有し、
前記基準ベースは、前記ソケットベースが固定される前記基準面と、前記凹部に前記電子部品が載置される際に前記電子部品が通る開口部と、を有する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 - 前記測定部は、前記基準ベースに対する相対的な位置が固定され、前記開口部に光を照射する光照射部と、
前記基準ベースに対する相対的な位置が固定され、前記光が照射された状態の前記開口部の画像を撮像する撮像部と、を有する請求項2に記載の電子部品搬送装置。 - 前記制御部は、前記位置に基づいて、前記ソケット部材の固定状態の良否を判断する請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記測定部は、前記位置を、前記画像における前記複数の点同士の画素数の差に基づいて求める請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記基準面に沿って延びる第1直線に沿った軸を第1軸としたときに、前記測定部は、前記複数の点を前記第1軸に沿って測定する請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記基準面に沿って延びるとともに、前記第1軸と交差する第2直線に沿った軸を第2軸としたときに、前記測定部は、前記複数の点を前記第2軸に沿って測定する請求項6に記載の電子部品搬送装置。
- 前記測定部は、前記基準面の法線方向から平面視した際に、前記開口部の内にある前記複数の点について、前記基準面の法線方向における位置を測定し、
前記開口部に照射された前記光が、前記複数の点を通る請求項2に記載の電子部品搬送装置。 - 前記光照射部は、前記光としてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、前記レーザー光を反射させる反射部と、を有する請求項3に記載の電子部品搬送装置。
- 前記光照射部は、前記反射部が回動するよう前記反射部を支持する回動支持部を有する請求項9に記載の電子部品搬送装置。
- 前記撮像部は、前記反射部の回動が停止してから前記画像を撮像する請求項10に記載の電子部品搬送装置。
- 搬送される電子部品を検査する電子部品検査装置であって、
前記電子部品の電気的特性を検査し、前記電子部品が載置される凹部が設けられたソケット部材を有する検査部と、
前記ソケット部材が配置される基準面を有する基準ベースと、
前記ソケット部材の複数の点について、前記基準面の法線方向における位置を測定する測定部と、
表示部と、
前記複数の点の前記位置に基づく位置情報を表示部に表示させる制御部と、
を備える電子部品検査装置。 - 前記ソケット部材は、前記凹部を有するソケットと、前記ソケットを支持するソケットベースとを有し、
前記基準ベースは、前記ソケットベースが固定される前記基準面と、前記凹部に前記電子部品が載置される際に前記電子部品が通る開口部と、を有する請求項12に記載の電子部品検査装置。 - 前記測定部は、前記基準ベースに対する相対的な位置が固定され、前記開口部に光を照射する光照射部と、
前記基準ベースに対する相対的な位置が固定され、前記光が照射された状態の前記開口部の画像を撮像する撮像部と、を有する請求13に記載の電子部品検査装置。 - 前記制御部は、前記位置に基づいて、前記ソケット部材の固定状態の良否を判断する請求項12に記載の電子部品検査装置。
- 前記測定部は、前記位置を、前記画像における前記複数の点同士の画素数の差に基づいて求める請求項12に記載の電子部品検査装置。
- 前記基準面に沿って延びる第1直線に沿った軸を第1軸としたときに、前記測定部は、前記複数の点を前記第1軸に沿って測定する請求項12に記載の電子部品検査装置。
- 前記基準面に沿って延びるとともに、前記第1軸と交差する第2直線に沿った軸を第2軸としたときに、前記測定部は、前記複数の点を前記第2軸に沿って測定する請求項17に記載の電子部品検査装置。
- 前記測定部は、前記基準面の法線方向から平面視した際に、前記開口部の内にある前記複数の点について、前記基準面の法線方向における位置を測定し、
前記開口部に照射された前記光が、前記複数の点を通る請求項13に記載の電子部品検査装置。 - 前記光照射部は、前記光としてレーザー光を照射するレーザー光照射部と、前記レーザー光を反射させる反射部と、を有する請求項14に記載の電子部品検査装置。
- 前記光照射部は、前記反射部が回動するよう前記反射部を支持する回動支持部を有する請求項20に記載の電子部品検査装置。
- 前記撮像部は、前記反射部の回動が停止してから前記画像を撮像する請求項21に記載の電子部品検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018182646A JP2020051939A (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
TW108134334A TWI728477B (zh) | 2018-09-27 | 2019-09-24 | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 |
CN201910909251.4A CN110954807A (zh) | 2018-09-27 | 2019-09-25 | 电子元件输送装置及电子元件检查装置 |
US16/583,402 US20200103439A1 (en) | 2018-09-27 | 2019-09-26 | Electronic component handler and electronic component tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018182646A JP2020051939A (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020051939A true JP2020051939A (ja) | 2020-04-02 |
Family
ID=69947438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018182646A Pending JP2020051939A (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200103439A1 (ja) |
JP (1) | JP2020051939A (ja) |
CN (1) | CN110954807A (ja) |
TW (1) | TWI728477B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI808357B (zh) * | 2020-11-19 | 2023-07-11 | 鏵友益科技股份有限公司 | 半導體元件的檢測方法 |
WO2022216128A1 (ko) * | 2021-04-09 | 2022-10-13 | 주식회사 아이에스시 | 미세피치 반도체 검사장치 및 미세피치 반도체 검사방법 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206050A (ja) * | 2000-11-17 | 2007-08-16 | Ebara Corp | 基板検査方法、基板検査装置及び電子線装置 |
JP2011095169A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 電子部品検査装置 |
US20110279136A1 (en) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | Seiko Epson Corporation | Electronic component testing device and electronic component transport method |
JP2014196908A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | ハンドラーおよび検査装置 |
US20140313317A1 (en) * | 2013-04-17 | 2014-10-23 | Techwing Co., Ltd. | Handler for testing semiconductor device and method for checking whether semiconductor device remains using the same |
JP2018109550A (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10142290A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
DE10393783T5 (de) * | 2002-11-28 | 2005-10-27 | Advantest Corp. | Positionserfassungsvorrichtung, Positionserfassungsverfahren und Tragvorrichtung für elektronische Komponenten |
JP2005055416A (ja) * | 2003-08-04 | 2005-03-03 | Shuichi Kaneko | Icチップ等の電子部品を試験するテストハンドラ装置に組み込まれる搬送装置用のラインセンサーccdカメラを用いた画像処理システム |
CN201725308U (zh) * | 2010-02-10 | 2011-01-26 | 北京汇冠新技术股份有限公司 | 一种触摸屏 |
US9265186B2 (en) * | 2011-11-10 | 2016-02-16 | Delaware Capital Formation, Inc. | Camera system for aligning components of a PCB |
TWI494576B (zh) * | 2013-12-03 | 2015-08-01 | Tohoku Seiki Ind Co Ltd | IC processor |
TWI613600B (zh) * | 2015-11-30 | 2018-02-01 | Seiko Epson Corp | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 |
CN109997049A (zh) * | 2016-11-29 | 2019-07-09 | 精工爱普生株式会社 | 电子元件输送装置以及电子元件检查装置 |
JP6903268B2 (ja) * | 2016-12-27 | 2021-07-14 | 株式会社Nsテクノロジーズ | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
CN108169655A (zh) * | 2018-02-02 | 2018-06-15 | 深圳市世坤科技实业有限公司 | 一种图像芯片自动对光心测试插座 |
-
2018
- 2018-09-27 JP JP2018182646A patent/JP2020051939A/ja active Pending
-
2019
- 2019-09-24 TW TW108134334A patent/TWI728477B/zh not_active IP Right Cessation
- 2019-09-25 CN CN201910909251.4A patent/CN110954807A/zh active Pending
- 2019-09-26 US US16/583,402 patent/US20200103439A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206050A (ja) * | 2000-11-17 | 2007-08-16 | Ebara Corp | 基板検査方法、基板検査装置及び電子線装置 |
JP2011095169A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 電子部品検査装置 |
US20110279136A1 (en) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | Seiko Epson Corporation | Electronic component testing device and electronic component transport method |
JP2011242149A (ja) * | 2010-05-14 | 2011-12-01 | Seiko Epson Corp | 電子部品検査装置及び電子部品搬送方法 |
JP2014196908A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | ハンドラーおよび検査装置 |
US20140313317A1 (en) * | 2013-04-17 | 2014-10-23 | Techwing Co., Ltd. | Handler for testing semiconductor device and method for checking whether semiconductor device remains using the same |
JP2018109550A (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI728477B (zh) | 2021-05-21 |
TW202012947A (zh) | 2020-04-01 |
US20200103439A1 (en) | 2020-04-02 |
CN110954807A (zh) | 2020-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107078072B (zh) | 位置精度检查方法、位置精度检查装置以及位置检查单元 | |
JP6903268B2 (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
TWI728477B (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
TW201712325A (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
TWI673502B (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
JP2017015483A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2015219085A (ja) | 基板検査装置 | |
TWI595247B (zh) | Electronic parts conveying apparatus and electronic parts inspection apparatus | |
CN103487448B (zh) | X射线检查装置 | |
TWI696234B (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
JP2020118632A (ja) | 電子部品搬送装置の教示方法、電子部品搬送装置の教示プログラム、電子部品搬送装置、および電子部品検査装置 | |
JP2019011961A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2019128285A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP7362507B2 (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 | |
JP2021135074A (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置および電子部品搬送装置の状態確認方法 | |
JP2016128781A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2021148434A (ja) | 電子部品検査装置 | |
JP2017015482A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2006177760A (ja) | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム | |
JP2018096964A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2019027924A (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置、位置決め装置、部品搬送装置および位置決め方法 | |
JP2018109550A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2018018304A (ja) | 電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 | |
JP2017015478A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2019144104A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20210414 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20210430 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220322 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220927 |