JP2016128781A - 外観検査装置 - Google Patents
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
Abstract
Description
特許文献1には、電子部品(半導体素子)の上部及び2つの側部を1台のカメラで撮像する外観検査装置の具体例が記載されている。電子部品の上部及び2つの側部の撮像を1台のカメラで行うことにより、カメラの台数を抑制することができる。
しかしながら、画素数の多いカメラを用いると、撮像した画像のデータが大きくなって、データ転送や、画像の分析処理に長い時間を要し、結果として、一つあたりの電子部品の外観検査に要する時間が長くなるという課題が生じる。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、直方体状の電子部品の検査対象領域を、処理時間が長くなるのを抑制した上で、外観検査する外観検査装置を提供することを目的とする。
なお、光路調整手段を備えるため、第1、第2の撮像手段の配置が限定されるのを抑制可能である。
図1、図2に示すように、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置10は、直方体状(立方体状を含む)の電子部品11の検査対象領域の異なる部分をそれぞれ外観撮像する撮像手段12(第1の撮像手段)及び撮像手段13(第2の撮像手段)と、光の進行方向を変える光路調整手段14とを備えて、電子部品11の対向する(幅方向両側にそれぞれ設けられた)側部15(側部A)及び側部16(側部B)を外観検査する装置である。本実施の形態では、検査対象領域が、側部15の一側及び他側と、側部16の一側及び他側にそれぞれ存在している。以下、詳細に説明する。
外観検査装置10は、電子部品11の上側を吸着する複数のノズル(ワーク保持部の一例)17を有し、筒状の各ノズル17は、吸着保持して水平に保った電子部品11を、順次、側部15、16が撮像される一の位置(以下、「検査位置P」ともいう)へ搬送する。
側面視してのビームスプリッタ18、19は、電子部品11と同じ高さ位置に設けられ、ビームスプリッタ18、19と同形状のビームスプリッタ20、21は、それぞれ、ビームスプリッタ18、19に密着した状態で、側部15、16に対向して配置されている。
なお、ビームスプリッタ18〜26は、図示しない支持部材によって、固定されている。ビームスプリッタ18〜26以外の形状のビームスプリッタによって、光路調整手段を形成してもよい。
電子部品11は、側部15、16の長手方向がX方向に沿っており、側部16は、側部15のY方向正側に配されている。図2に示すように、Y方向正の向きに側部15を見て(側部15を正面視して)、側部15の右側をX方向正側、側部15の左側をX方向負側とする。
撮像手段13は、撮像手段12よりX方向正側かつY方向正側で、撮像手段12より低い位置に配置されている。
なお、撮像手段12、13を移動させる機構は、ねじ軸とナットブロックを備えるものに限定されない。更に、撮像手段12を移動させる機構と、撮像手段13を移動させる機構とは、それぞれ独立していてもよい。
まず、照明27から照射された光は、図1に示すように、ビームスプリッタ18、20を順に透過して、電子部品11の側部15で反射し、Y方向負の向きに進みながらビームスプリッタ20内に進入した後、ビームスプリッタ18、20の境界で下向きに反射して、ビームスプリッタ22内に進入する。ビームスプリッタ22内で2回反射した光は、下向きに進みながら、ビームスプリッタ22から出て、ビームスプリッタ24内に進入した後、ビームスプリッタ24、25の境界で反射する光と、ビームスプリッタ25内に進入する光とに分岐する。、ビームスプリッタ24、25の境界は、Y方向負側に向かって下がる方向に傾斜している。
一方、ビームスプリッタ25内に進入した光は、下向きに進んでビームスプリッタ26内に進入し、Y方向負の向きに進行し、撮像手段13が撮像している図2に示す画像13a(第2の画像)内に収められる。
一方、ビームスプリッタ25内に進入した光は、下向きに進んでビームスプリッタ26内に進入し、Y方向負の向きに進行し、撮像手段13が撮像している図2に示す画像13a(第2の画像)内に収められる。
従って、画像12aと画像13aを合わせて、電子部品11の側部16全体の像が得られることになる。本実施の形態では、画像12aにとらえられている電子部品11の側部15、16それぞれの像の一部が、画像13aにとらえられている電子部品11の側部15、16それぞれの像の一部と重複している。
本実施の形態では、主として、ビームスプリッタ18、19、20、21、22、23によって、光路調節ブロックが構成されている。
そして、撮像手段12が、電子部品11の側部15、16それぞれのX方向負側を撮像し、撮像手段13が、電子部品11の側部15、16それぞれのX方向正側を撮像しているのは、撮像手段12、13が、仮想枠34のX方向負側(一側)及びX方向正側(他側)をそれぞれとらえるように配置されていることを意味している。
なお、光路調節ブロックは、光の屈折のみを利用して、あるいは、光の反射と屈折を利用して、電子部品11の側部15全体の像及び電子部品11の側部16全体の像を仮想枠34内に収めるように設計されていてもよい。
これに対し、本実施の形態のように、2台の撮像手段12、13を用いて、2つの画像12a、13aを得る場合、撮像手段12、13より画素数が多い撮像手段を1台用いるのに比べ、画像全体のデータが大きくなるのを抑制でき、撮像した画像の転送や、画像処理手段40による外観検査の処理時間が短縮され、1つの電子部品の側部A全体及び側部B全体の外観検査に要する時間を短縮できる。更に、2つの画像データに対しては、画像データの転送や画像処理手段による2つの画像の外観検査の処理を並列して行うことができるので、本実施の形態では、その点においても、外観検査の時間短縮が可能である。
しかも、複数の撮像手段を用いる本実施の形態では、撮像された画像において、電子部品の側部A全体及び側部B全体に対応する画素の数が少なくなるのを抑制でき、検査精度の低下も回避可能である。
外観検査装置10においては、モータ33の作動により、撮像手段12のY方向(即ち、撮像手段12の撮像方向)に沿った位置、及び、撮像手段13のY方向(即ち、撮像手段13の撮像方向)に沿った位置を変えることにより、撮像手段12、13の光学距離を調整する。
なお、本実施の形態では、位置決め機構が、主として、ねじ軸31、ナットブロック32及びモータ33によって構成されている。
このため、側部Aの全体及び側部Bの全体が、撮像手段12が撮像する画像内に収まる大きさの電子部品の場合、光路シフト機構35を用いることで、撮像手段12は、電子部品の側部A及び側部Bの全体を、1つの画像に収めることが可能となる。
ビームスプリッタ55に対して、ビームスプリッタ53、56が密着し、ビームスプリッタ57に対して、ビームスプリッタ54、58が密着し、ビームスプリッタ59は、ビームスプリッタ60に接触している。
照明62から照射され、拡散板61を透過した光は、ビームスプリッタ56、55、53を順に、通過した後、電子部品11の側部15で反射し、ビームスプリッタ53、55、59を順に通過し、ビームスプリッタ24に進入する。ビームスプリッタ24に進入した光は、ビームスプリッタ24、25の境界面で分岐し、一方は、Y方向負の向きに進行して、撮像手段12に向かい、他方は、ビームスプリッタ25、26を通過し、撮像手段13に向かって、Y方向負の向きに進む。
画像12b、13bを合わせて、電子部品11の側部15全体の像、及び、電子部品11の側部16全体の像が得られる。
本実施の形態では、ビームスプリッタと空気の屈折率の差異を利用して、電子部品11の側部15、16と撮像手段12の光学上の距離、及び、電子部品11の底部51と撮像手段12の光学上の距離を揃え、撮像手段12に対して、電子部品11の側部15、16及び底部51の焦点が合うようにしている。この点、撮像手段13に対しても同じである。
更に、本実施の形態では、撮像手段12、13に、画像12b、13bを合わせて、電子部品11の底部51のY方向負側のX方向全体及び電子部品11の底部51のY方向正側のX方向全体が収められる。
これは、側部A、B間の距離又は厚みが、電子部品11とは異なる電子部品に対し、撮像手段12、13が、側部A、B、底部の側部A側、及び、底部の側部B側をそれぞれ鮮明に撮像すべく光学距離を調整するものである。
ビームスプリッタ53、55、56、拡散板61及び照明62の群と、ビームスプリッタ54、57、58、拡散板63及び照明64の群とは、Y方向に加え、鉛直に移動可能に設計されていてもよい。
以下、外観検査装置10と同様の構成については、同じ符号を付して詳細な説明を省略し、外見検査装置70について説明する。
撮像手段13は、撮像手段12よりY方向正側、かつ、撮像手段12より低い位置に配されている。
密着したビームスプリッタ18、20は、電子部品11の側部71に対向配置され、密着したビームスプリッタ19、21は、電子部品11の側部72に対向配置されている。
ビームスプリッタ18〜23それぞれの他のビームスプリッタ18〜23それぞれに対する位置関係は、光路調整手段14と同じである。
ビームスプリッタ76は、ビームスプリッタ74、75より低い位置で、撮像手段13と同じ高さに配されている。
なお、図8、図9では記載を省略しているが、ビームスプリッタ18、20と同じ高さ位置には、電子部品11とは反対側に、ビームスプリッタ18、20を照らす照明が設けられ、ビームスプリッタ19、21と同じ高さ位置には、電子部品11とは反対側に、ビームスプリッタ19、21を照らす照明が設けられている。
ビームスプリッタ19、21を照らす照明から照射され、電子部品11の側部72のY方向負側(一側)で反射した光も、ビームスプリッタ21、23、74を順に同様に進んで、撮像手段12に向かう。
ビームスプリッタ19、21を照らす照明から照射され、電子部品11の側部72のY方向正側(他側)で反射した光も、ビームスプリッタ21、23、74、75、76を同様に進んで、撮像手段13に向かう。
画像77、78を合わせて、電子部品11の側部71の全体の像及び電子部品11の側部72の全体の像を得ることができる。
ノズル17は、検査位置Pに電子部品11を搬送する際、及び、検査位置Pから別位置に電子部品11を搬送する際、上昇位置にあってもよいし、降下位置にあってもよい。これに対し、検査位置Qに電子部品11を搬送する際、及び、検査位置Qから別位置に電子部品11を搬送する際は、ノズル17を上昇位置に配することとなる。これは、検査位置Qにおいて、ノズル17を降下させた状態で、電子部品を搬送した場合、電子部品11がビームスプリッタ18、19、20、21等に接触するが、検査位置Pでは、接触しないためである。
外観検査装置90は、図9、図10に示すように、外観検査装置10と比較して、ビームスプリッタ18、20、22及び照明27を有しておらず、光路調整手段91は、ビームスプリッタ19、21、23、24、25、26を備えている。従って、撮像手段12が撮像する画像92(第1の画像)には、電子部品11の側部16の一側から中央までがとらえられ、撮像手段13が撮像する画像93(第2の画像)には、電子部品11の側部16の他側から中央までがとらえられる。
例えば、外観検査がなされる電子部品は、側部に金属線からなる複数の端子を備えたものであってもよい。
また、光路調整手段を、電子部品と第1の撮像手段の光学経路の間、及び、電子部品と第2の撮像手段の光学経路の間の少なくとも一方に配置して、第1、第2の撮像手段の一方が他方の撮像範囲に入るのを抑制した上で、底部を第1、第2の画像に分割して撮像することも可能である。
更に、光路調整手段は、ビームスプリッタに加えて、光を反射するミラーを備えていてもよく、また、仮想枠内に、電子部品の側部A全体の像と電子部品の側部B全体の像を並列に収めるように設計されている必要はない。
特許文献1には、電子部品(半導体素子)の上部及び2つの側部を1台のカメラで撮像する外観検査装置の具体例が記載されている。電子部品の上部及び2つの側部の撮像を1台のカメラで行うことにより、カメラの台数を抑制することができる。
しかしながら、画素数の多いカメラを用いると、撮像した画像のデータが大きくなって、データ転送や、画像の分析処理に長い時間を要し、結果として、一つあたりの電子部品の外観検査に要する時間が長くなるという課題が生じる。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、直方体状の電子部品の検査対象領域を、処理時間が長くなるのを抑制した上で、外観検査する外観検査装置を提供することを目的とする。
なお、光路調整手段を備えるため、第1、第2の撮像手段の配置が限定されるのを抑制可能である。
図1、図2に示すように、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置10は、直方体状(立方体状を含む)の電子部品11の検査対象領域の異なる部分をそれぞれ外観撮像する撮像手段12(第1の撮像手段)及び撮像手段13(第2の撮像手段)と、光の進行方向を変える光路調整手段14とを備えて、電子部品11の対向する(幅方向両側にそれぞれ設けられた)側部15(側部A)及び側部16(側部B)を外観検査する装置である。本実施の形態では、検査対象領域が、側部15の一側及び他側と、側部16の一側及び他側にそれぞれ存在している。以下、詳細に説明する。
外観検査装置10は、電子部品11の上側を吸着する複数のノズル(ワーク保持部の一例)17を有し、筒状の各ノズル17は、吸着保持して水平に保った電子部品11を、順次、側部15、16が撮像される一の位置(以下、「検査位置P」ともいう)へ搬送する。
側面視してのビームスプリッタ18、19は、電子部品11と同じ高さ位置に設けられ、ビームスプリッタ18、19と同形状のビームスプリッタ20、21は、それぞれ、ビームスプリッタ18、19に密着した状態で、側部15、16に対向して配置されている。
なお、ビームスプリッタ18〜26は、図示しない支持部材によって、固定されている。ビームスプリッタ18〜26以外の形状のビームスプリッタによって、光路調整手段を形成してもよい。
電子部品11は、側部15、16の長手方向がX方向に沿っており、側部16は、側部15のY方向正側に配されている。図2に示すように、Y方向正の向きに側部15を見て(側部15を正面視して)、側部15の右側をX方向正側、側部15の左側をX方向負側とする。
撮像手段13は、撮像手段12よりX方向正側かつY方向正側で、撮像手段12より低い位置に配置されている。
なお、撮像手段12、13を移動させる機構は、ねじ軸とナットブロックを備えるものに限定されない。更に、撮像手段12を移動させる機構と、撮像手段13を移動させる機構とは、それぞれ独立していてもよい。
まず、照明27から照射された光は、図1に示すように、ビームスプリッタ18、20を順に透過して、電子部品11の側部15で反射し、Y方向負の向きに進みながらビームスプリッタ20内に進入した後、ビームスプリッタ18、20の境界で下向きに反射して、ビームスプリッタ22内に進入する。ビームスプリッタ22内で2回反射した光は、下向きに進みながら、ビームスプリッタ22から出て、ビームスプリッタ24内に進入した後、ビームスプリッタ24、25の境界で反射する光と、ビームスプリッタ25内に進入する光とに分岐する。ビームスプリッタ24、25の境界は、Y方向負側に向かって下がる方向に傾斜している。
一方、ビームスプリッタ25内に進入した光は、下向きに進んでビームスプリッタ26内に進入し、Y方向負の向きに進行し、撮像手段13が撮像している図2に示す画像13a(第2の画像)内に収められる。
一方、ビームスプリッタ25内に進入した光は、下向きに進んでビームスプリッタ26内に進入し、Y方向負の向きに進行し、撮像手段13が撮像している図2に示す画像13a(第2の画像)内に収められる。
従って、画像12aと画像13aを合わせて、電子部品11の側部16全体の像が得られることになる。本実施の形態では、画像12aにとらえられている電子部品11の側部15、16それぞれの像の一部が、画像13aにとらえられている電子部品11の側部15、16それぞれの像の一部と重複している。
本実施の形態では、主として、ビームスプリッタ18、19、20、21、22、23によって、光路調節ブロックが構成されている。
そして、撮像手段12が、電子部品11の側部15、16それぞれのX方向負側を撮像し、撮像手段13が、電子部品11の側部15、16それぞれのX方向正側を撮像しているのは、撮像手段12、13が、仮想枠34のX方向負側(一側)及びX方向正側(他側)をそれぞれとらえるように配置されていることを意味している。
なお、光路調節ブロックは、光の屈折のみを利用して、あるいは、光の反射と屈折を利用して、電子部品11の側部15全体の像及び電子部品11の側部16全体の像を仮想枠34内に収めるように設計されていてもよい。
これに対し、本実施の形態のように、2台の撮像手段12、13を用いて、2つの画像12a、13aを得る場合、撮像手段12、13より画素数が多い撮像手段を1台用いるのに比べ、画像全体のデータが大きくなるのを抑制でき、撮像した画像の転送や、画像処理手段40による外観検査の処理時間が短縮され、1つの電子部品の側部A全体及び側部B全体の外観検査に要する時間を短縮できる。更に、2つの画像データに対しては、画像データの転送や画像処理手段による2つの画像の外観検査の処理を並列して行うことができるので、本実施の形態では、その点においても、外観検査の時間短縮が可能である。
しかも、複数の撮像手段を用いる本実施の形態では、撮像された画像において、電子部品の側部A全体及び側部B全体に対応する画素の数が少なくなるのを抑制でき、検査精度の低下も回避可能である。
外観検査装置10においては、モータ33の作動により、撮像手段12のY方向(即ち、撮像手段12の撮像方向)に沿った位置、及び、撮像手段13のY方向(即ち、撮像手段13の撮像方向)に沿った位置を変えることにより、撮像手段12、13の光学距離を調整する。
なお、本実施の形態では、位置決め機構が、主として、ねじ軸31、ナットブロック32及びモータ33によって構成されている。
このため、側部Aの全体及び側部Bの全体が、撮像手段12が撮像する画像内に収まる大きさの電子部品の場合、光路シフト機構35を用いることで、撮像手段12は、電子部品の側部A及び側部Bの全体を、1つの画像に収めることが可能となる。
ビームスプリッタ55に対して、ビームスプリッタ53、56が密着し、ビームスプリッタ57に対して、ビームスプリッタ54、58が密着し、ビームスプリッタ59は、ビームスプリッタ60に接触している。
照明62から照射され、拡散板61を透過した光は、ビームスプリッタ56、55、53を順に、通過した後、電子部品11の側部15で反射し、ビームスプリッタ53、55、59を順に通過し、ビームスプリッタ24に進入する。ビームスプリッタ24に進入した光は、ビームスプリッタ24、25の境界面で分岐し、一方は、Y方向負の向きに進行して、撮像手段12に向かい、他方は、ビームスプリッタ25、26を通過し、撮像手段13に向かって、Y方向負の向きに進む。
画像12b、13bを合わせて、電子部品11の側部15全体の像、及び、電子部品11の側部16全体の像が得られる。
本実施の形態では、ビームスプリッタと空気の屈折率の差異を利用して、電子部品11の側部15、16と撮像手段12の光学上の距離、及び、電子部品11の底部51と撮像手段12の光学上の距離を揃え、撮像手段12に対して、電子部品11の側部15、16及び底部51の焦点が合うようにしている。この点、撮像手段13に対しても同じである。
更に、本実施の形態では、撮像手段12、13に、画像12b、13bを合わせて、電子部品11の底部51のY方向負側のX方向全体及び電子部品11の底部51のY方向正側のX方向全体が収められる。
これは、側部A、B間の距離又は厚みが、電子部品11とは異なる電子部品に対し、撮像手段12、13が、側部A、B、底部の側部A側、及び、底部の側部B側をそれぞれ鮮明に撮像すべく光学距離を調整するものである。
ビームスプリッタ53、55、56、拡散板61及び照明62の群と、ビームスプリッタ54、57、58、拡散板63及び照明64の群とは、Y方向に加え、鉛直に移動可能に設計されていてもよい。
以下、外観検査装置10と同様の構成については、同じ符号を付して詳細な説明を省略し、外見検査装置70について説明する。
撮像手段13は、撮像手段12よりY方向正側、かつ、撮像手段12より低い位置に配されている。
密着したビームスプリッタ18、20は、電子部品11の側部71に対向配置され、密着したビームスプリッタ19、21は、電子部品11の側部72に対向配置されている。
ビームスプリッタ18〜23それぞれの他のビームスプリッタ18〜23それぞれに対する位置関係は、光路調整手段14と同じである。
ビームスプリッタ76は、ビームスプリッタ74、75より低い位置で、撮像手段13と同じ高さに配されている。
なお、図8、図9では記載を省略しているが、ビームスプリッタ18、20と同じ高さ位置には、電子部品11とは反対側に、ビームスプリッタ18、20を照らす照明が設けられ、ビームスプリッタ19、21と同じ高さ位置には、電子部品11とは反対側に、ビームスプリッタ19、21を照らす照明が設けられている。
ビームスプリッタ19、21を照らす照明から照射され、電子部品11の側部72のY方向負側(一側)で反射した光も、ビームスプリッタ21、23、74を順に同様に進んで、撮像手段12に向かう。
ビームスプリッタ19、21を照らす照明から照射され、電子部品11の側部72のY方向正側(他側)で反射した光も、ビームスプリッタ21、23、74、75、76を同様に進んで、撮像手段13に向かう。
画像77、78を合わせて、電子部品11の側部71の全体の像及び電子部品11の側部72の全体の像を得ることができる。
ノズル17は、検査位置Pに電子部品11を搬送する際、及び、検査位置Pから別位置に電子部品11を搬送する際、上昇位置にあってもよいし、降下位置にあってもよい。これに対し、検査位置Qに電子部品11を搬送する際、及び、検査位置Qから別位置に電子部品11を搬送する際は、ノズル17を上昇位置に配することとなる。これは、検査位置Qにおいて、ノズル17を降下させた状態で、電子部品を搬送した場合、電子部品11がビームスプリッタ18、19、20、21等に接触するが、検査位置Pでは、接触しないためである。
外観検査装置90は、図9、図10に示すように、外観検査装置10と比較して、ビームスプリッタ18、20、22及び照明27を有しておらず、光路調整手段91は、ビームスプリッタ19、21、23、24、25、26を備えている。従って、撮像手段12が撮像する画像92(第1の画像)には、電子部品11の側部16の一側から中央までがとらえられ、撮像手段13が撮像する画像93(第2の画像)には、電子部品11の側部16の他側から中央までがとらえられる。
例えば、外観検査がなされる電子部品は、側部に金属線からなる複数の端子を備えたものであってもよい。
また、光路調整手段を、電子部品と第1の撮像手段の光学経路の間、及び、電子部品と第2の撮像手段の光学経路の間の少なくとも一方に配置して、第1、第2の撮像手段の一方が他方の撮像範囲に入るのを抑制した上で、底部を第1、第2の画像に分割して撮像することも可能である。
更に、光路調整手段は、ビームスプリッタに加えて、光を反射するミラーを備えていてもよく、また、仮想枠内に、電子部品の側部A全体の像と電子部品の側部B全体の像を並列に収めるように設計されている必要はない。
Claims (9)
- 直方体状の電子部品の検査対象領域を外観検査する外観検査装置において、
前記検査対象領域の異なる部分をそれぞれ撮像する第1、第2の撮像手段と、
光の進行方向を変えて、前記第1の撮像手段が撮像している第1の画像、及び、前記第2の撮像手段が撮像している第2の画像の少なくとも一方に、前記検査対象領域を収めさせる光路調整手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、前記検査対象領域の異なる部分をそれぞれ撮像するN個の撮像手段を更に備え、前記光路調整手段は、前記N個の撮像手段がそれぞれ撮像する画像の少なくとも一つに、前記検査対象領域を収めさせることを特徴とする外観検査装置。但し、Nは、自然数である。
- 請求項1記載の外観検査装置において、前記電子部品は対向する側部A、Bを備え、前記検査対象領域は、前記側部Aの一側及び他側と、前記側部Bの一側及び他側とに存在し、前記光路調整手段は、前記第1の画像に、前記側部Aの一側及び前記側部Bの一側を収めさせると共に、前記第2の画像に、前記側部Aの他側及び前記側部Bの他側を収めさせることを備えることを特徴とする外観検査装置。
- 請求項3記載の外観検査装置において、前記第1、第2の画像を合わせて、前記側部A全体の像及び前記側部B全体の像を得ることを特徴とする外観検査装置。
- 請求項3記載の外観検査装置において、前記電子部品の側部A、Bを撮像するN個の撮像手段を更に備え、前記光路調整手段は、前記N個の撮像手段がそれぞれ撮像する画像に、前記側部Aの一部及び前記側部Bの一部をそれぞれ収めさせ、前記第1、第2の画像及び前記N個の撮像手段が撮像する画像を合わせて、前記側部A全体の像及び前記側部B全体の像を得させることを特徴とする外観検査装置。但し、Nは、自然数である。
- 請求項3〜5のいずれか1に記載の外観検査装置において、前記光路調整手段は、光を屈折又は反射させて、前記側部A全体の像及び前記側部B全体の像を仮想枠内に並列に収めさせる光路調節ブロックを備え、前記第1、第2の撮像手段は、前記仮想枠の一側及び他側をそれぞれとらえることを特徴とする外観検査装置。
- 請求項6記載の外観検査装置において、光を屈折又は反射させて、前記仮想枠の一側をとらえていた前記第1の撮像手段に、前記仮想枠の中心側をとらえさせる光路シフト機構を、更に備えることを特徴とする外観検査装置。
- 請求項6又は7記載の外観検査装置において、前記第1の撮像手段の、該第1の撮像手段の撮像方向に沿った位置、及び、前記第2の撮像手段の、該第2の撮像手段の撮像方向に沿った位置を調整する位置決め機構を、更に備えることを特徴とする外観検査装置。
- 請求項3〜8のいずれか1に記載の外観検査装置において、前記光路調整手段は、前記第1の画像に、前記電子部品の底部の前記側部A側及び前記側部B側それぞれの一側を、更に収めさせ、前記第2の画像に、前記底部の前記側部A側及び前記側部B側それぞれの他側を、更に収めさせることを特徴とする外観検査装置。
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