JP7362507B2 - 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 - Google Patents
電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7362507B2 JP7362507B2 JP2020029124A JP2020029124A JP7362507B2 JP 7362507 B2 JP7362507 B2 JP 7362507B2 JP 2020029124 A JP2020029124 A JP 2020029124A JP 2020029124 A JP2020029124 A JP 2020029124A JP 7362507 B2 JP7362507 B2 JP 7362507B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- electronic component
- light
- tray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸及びZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直方向となっている。また、X軸に平行な方向をX方向とする。Y軸に平行な方向をY方向とする。Z軸に平行な方向をZ方向とする。各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」とする。
本実施形態が第1実施形態と異なるところは、マーカー部87の形態にある。図13に示すように、ポケット53の外周に沿ってマーカー部としての第1マーカー部104が配置される。第1マーカー部104は四角形の枠状のマーク105とマーク105と隣接する上面24aの一部で構成される。第1マーカー部104は反射率や色の異なる部位で構成される組み合わせを有する。第1マーカー部104はポケット53を囲む。第1マーカー部104は一定の幅でポケット53の周囲に配置されるので、ポケット53の平面形状と第1マーカー部104の平面形状は相似形になる。平面形状が四角形であるポケット53の中心と第1マーカー部104の中心は同一点になる。
第1実施形態では集光点67bが上面24aから斜面88を通ってポケット53の底面53aに向かって移動した。集光点67bがポケット53の底面53aから斜面88を通って上面24aに向かって移動しても良い。この手順では第1時点の反射光量はポケット53の底面53aの位置における反射光量であり、第2時点の反射光量はポケット53の外側の上面24aにおける反射光量である。
第1実施形態では第1ケース63から集光部55aを交換することによりスポット径67aを調整する構造であった。他にも、絞り部69は絞り径を変更可能な構造にしても良い。他にも、発光部66と集光レンズ71との距離を調整可能な構造にしても良い。この構造でもスポット径67aを調整できる。
第1実施形態ではセンサーコントローラー55dの中にLED55e及びフォトトランジスター55fが収納されていた。LED55e及びフォトトランジスター55fは第1ケース63の中に収納されても良い。
第1実施形態ではマーカー部87は四角形であった。マーカー部87の形状は丸、楕円、多角形でも良い。マーカー部87の形状が上下左右対称でないとき、マーカー部87の重心をポケット53の位置としても良い。
第1実施形態ではトレイ24のポケット53の位置を第1センサー55が検出した。他にも、温度調整部21のポケット53を第1センサー55が検出しても良い。デバイス供給部22がポケット53を備えるときには、第1センサー55がデバイス供給部22のポケット53を検出しても良い。
Claims (10)
- 電子部品が載置されるポケットを有する電子部品載置部と、
前記電子部品を保持して前記ポケットに搬送する搬送部と、を備え、
前記搬送部は、
前記ポケットに光を発する発光部と、
前記発光部が発した光のスポット径を調整する集光部と、
前記ポケットで反射した光を受ける受光部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 請求項1に記載の電子部品搬送装置であって、
前記集光部は、前記発光部と前記ポケットとの間に設けられ、前記ポケット側の端が集光部支持部に支持されることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 請求項1または2に記載の電子部品搬送装置であって、
前記発光部、前記集光部及び前記受光部が1つのケースに収納されることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 請求項1~3のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
前記搬送部は、前記電子部品を着脱可能に保持する第1保持部及び第2保持部を備え、
前記集光部は前記第1保持部と前記第2保持部との間に配置されることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 請求項1~4のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
前記電子部品載置部は前記ポケットの周りにマーカー部を有し、
前記マーカー部は、前記集光部から射出される光の光軸に直交する第1面と、前記第1面に対して傾斜する第2面との組み合わせ、または、反射率の異なる部位の組み合わせを有することを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を検査する検査部と、
請求項1~5のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。 - 電子部品が載置されるポケットを有する電子部品載置部を備えた電子部品搬送装置におけるポケット位置検出方法であって、
集光された光が当たる場所を前記ポケットの位置へ向かって移動し、
前記電子部品載置部で反射する光の光量である反射光量を検出し、前記反射光量が、所定値以上変化したときの位置を第1位置とし、
前記第1位置に基づいて、前記ポケットの位置を検出することを特徴とするポケット位置検出方法。 - 請求項7に記載のポケット位置検出方法であって、
前記所定値以上変化したときの位置は、
第1時点での前記反射光量と、前記第1時点より後である第2時点での前記反射光量との差分の絶対値が所定値以上変化したときの位置であることを特徴とするポケット位置検出方法。 - 請求項7または8に記載のポケット位置検出方法であって、
前記反射光量が所定値以上変化したときの位置で、前記第1位置とは異なる位置を第2位置とし、
前記第1位置と前記第2位置とに基づいて前記ポケットの位置を検出することを特徴とするポケット位置検出方法。 - 請求項9に記載のポケット位置検出方法であって、
前記ポケットの平面形状は四角形であり、
第1方向における前記第1位置と前記第2位置との中間位置である第1中間位置を検出し、
前記第1中間位置を通り前記第1方向と直交する第2方向における前記第1位置と前記第2位置との中間位置である第2中間位置を検出し、
前記第2中間位置をポケットの位置として検出することを特徴とするポケット位置検出方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020029124A JP7362507B2 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 |
TW110106083A TWI781533B (zh) | 2020-02-25 | 2021-02-22 | 電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及凹部位置檢測方法 |
CN202110201990.5A CN113375548B (zh) | 2020-02-25 | 2021-02-23 | 电子部件输送装置和检查装置以及容纳部位置检测方法 |
US17/182,259 US11815549B2 (en) | 2020-02-25 | 2021-02-23 | Electronic component handler, electronic component tester, and method of detecting position of pocket |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020029124A JP7362507B2 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021135075A JP2021135075A (ja) | 2021-09-13 |
JP7362507B2 true JP7362507B2 (ja) | 2023-10-17 |
Family
ID=77462871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020029124A Active JP7362507B2 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11815549B2 (ja) |
JP (1) | JP7362507B2 (ja) |
CN (1) | CN113375548B (ja) |
TW (1) | TWI781533B (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003185703A (ja) | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Seiko Epson Corp | 部品検出方法、部品検出装置、icハンドラ及びic検査装置 |
JP2008153572A (ja) | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検査装置 |
JP2011106852A (ja) | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 電子部品検査装置 |
JP2015190885A (ja) | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三菱電機株式会社 | エッジ検出装置 |
WO2017037844A1 (ja) | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 株式会社ハッピージャパン | Ic試験システム |
US20170285102A1 (en) | 2016-03-29 | 2017-10-05 | Delta Design, Inc. | Ic test site vision alignment system |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3255703B2 (ja) * | 1992-05-15 | 2002-02-12 | オリンパス光学工業株式会社 | 焦点検出装置 |
JP2004111797A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 供給位置検出機能を有する電子回路部品供給装置および電子回路部品供給・取出装置 |
JP3939743B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2007-07-04 | ジャスティン株式会社 | 位置検出機構および位置検出センサ |
JP2006244363A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Seiko Epson Corp | 画像処理装置、画像処理装置を有する搬送装置、画像処理装置の制御方法 |
JP2007108089A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Ricoh Co Ltd | 相対位置検出装置、回転体走行検出装置及び画像形成装置 |
US20070153249A1 (en) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method using multiple exposures and multiple exposure types |
JP5116754B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2013-01-09 | シャープ株式会社 | 光学式検出装置および電子機器 |
JP6331809B2 (ja) * | 2014-07-17 | 2018-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
TW201712325A (zh) * | 2015-06-30 | 2017-04-01 | Seiko Epson Corp | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 |
JP6903268B2 (ja) * | 2016-12-27 | 2021-07-14 | 株式会社Nsテクノロジーズ | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP2019086320A (ja) * | 2017-11-02 | 2019-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP2019164099A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP2019203760A (ja) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 変位計測装置及び変位計測方法 |
JP2020012748A (ja) * | 2018-07-19 | 2020-01-23 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
CN109904105B (zh) * | 2019-01-29 | 2021-03-30 | 长江存储科技有限责任公司 | 晶圆键合装置以及晶圆对准方法 |
-
2020
- 2020-02-25 JP JP2020029124A patent/JP7362507B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-22 TW TW110106083A patent/TWI781533B/zh active
- 2021-02-23 CN CN202110201990.5A patent/CN113375548B/zh active Active
- 2021-02-23 US US17/182,259 patent/US11815549B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003185703A (ja) | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Seiko Epson Corp | 部品検出方法、部品検出装置、icハンドラ及びic検査装置 |
JP2008153572A (ja) | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検査装置 |
JP2011106852A (ja) | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 電子部品検査装置 |
JP2015190885A (ja) | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三菱電機株式会社 | エッジ検出装置 |
WO2017037844A1 (ja) | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 株式会社ハッピージャパン | Ic試験システム |
US20170285102A1 (en) | 2016-03-29 | 2017-10-05 | Delta Design, Inc. | Ic test site vision alignment system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021135075A (ja) | 2021-09-13 |
US20210270890A1 (en) | 2021-09-02 |
CN113375548B (zh) | 2024-01-05 |
US11815549B2 (en) | 2023-11-14 |
TWI781533B (zh) | 2022-10-21 |
CN113375548A (zh) | 2021-09-10 |
TW202201022A (zh) | 2022-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200379039A1 (en) | Electronic component handler and electronic component tester | |
US20200300782A1 (en) | Electronic component handler and electronic component tester | |
JP2018105730A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
TWI638175B (zh) | Electronic component conveying device, electronic component inspection device, positioning device for electronic components, and positioning method of electronic component conveying device | |
TW201712325A (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
JP2019027922A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
US20200103439A1 (en) | Electronic component handler and electronic component tester | |
JP7362507B2 (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 | |
JP2017015483A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP7386725B2 (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置および電子部品搬送装置の状態確認方法 | |
JP2019045231A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
US11009541B2 (en) | Electronic component handler and electronic component tester | |
JP2019164099A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2020118632A (ja) | 電子部品搬送装置の教示方法、電子部品搬送装置の教示プログラム、電子部品搬送装置、および電子部品検査装置 | |
JP2019128285A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2021148434A (ja) | 電子部品検査装置 | |
JP2017015482A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2017015481A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2021131349A (ja) | 電子部品搬送装置の異常判断方法 | |
JP6668816B2 (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2019144104A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2020092220A (ja) | 導電性ボール検査リペア装置 | |
JP2017015478A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2018169187A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2017015480A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20200827 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20210430 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7362507 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |