JP2006244363A - 画像処理装置、画像処理装置を有する搬送装置、画像処理装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】操作者が表示装置を見ることなくフォーカス調整を行うことができる画像処理装置等を提供すること。
【解決手段】対象物６を撮影する撮像手段１０と、撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段１２と、撮像手段により撮影された対象物の画像を電子データとして格納する画像データ格納手段３０と、画像データ格納手段に格納されている画像データ３１に基づいてフォーカス合致度を判定するフォーカス判定手段４１と、対象物を照明する照明手段４と、フォーカス合致度に基づいて照明手段の点滅間隔を変化させ、かつ、フォーカスが一致した時には照明手段を点灯状態とする照明制御手段２３と、を有する画像処理装置１。
【選択図】図２

Description

本発明は、操作者が表示装置を見ることなくフォーカス調整を行うことができる画像処理装置、画像処理装置を有する搬送装置、画像処理装置の制御方法に関するものである。

対象物の画像をデジタルカメラ等により取得し、種々の処理を行う画像処理装置においては、正確な処理を行うために画像のフォーカスを精密に合わせる必要がある。取得した画像をたとえばＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）ディスプレイに表示し、装置の操作者がそれを目視してフォーカスの合致具合を判断して精密なフォーカス調整を行うことは、人間の目の限界や個人の熟練度の違いがあるため、困難である。
そのため、フォーカス調整を支援するために、たとえばコンピュータプログラムにより判断したフォーカス合致度を客観的な数値や図形として提示し、操作者はその提示された情報に基づいてフォーカスの調整を行うことが行われている。

特許文献１では、３次元画像計測器において、フォーカス合致度の目安となる画像のコントラストをコンピュータディスプレイに表示する構成が提案されている。計測器の操作者は、画面に表示されたコントラスト値を見ながらカメラのフォーカスリングを回してフォーカス調整を行うことができる。
特開平１１−２８３０３５号公報（図３等）

しかし、ＣＲＴディスプレイ等の表示装置を、フォーカス調整の対象となるカメラの近傍に配置することができない場合があるという問題があった。たとえば、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）ハンドラでは、装置本体には低温チャンバなどがあるため、表示装置はハンドラから離れた場所に設置せざるを得ない。
このような場合、操作者が装置本体と表示装置との間を何度も行き来しながらフォーカス調整を行ったり、装置本体と表示装置の設置場所にそれぞれ１人の操作者を配置するといった、非効率的な作業を強いられることとなる。

そこで、本発明は、操作者が表示装置を見ることなくフォーカス調整を行うことができる画像処理装置、画像処理装置を有する搬送装置、画像処理装置の制御方法を提供することを目的とする。

前記目的は、第１の発明によれば、対象物を撮影する撮像手段と、前記撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、前記撮像手段により撮影された前記対象物の画像を電子データとして格納する画像データ格納手段と、前記画像データ格納手段に格納されている画像データに基づいてフォーカス合致度を判定するフォーカス判定手段と、前記対象物を照明する照明手段と、前記フォーカス合致度に基づいて前記照明手段の点滅間隔を変化させ、かつ、フォーカスが一致した時には前記照明手段を点灯状態とする照明制御手段と、を有する画像処理装置により達成される。

第１の発明の構成によれば、たとえばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラで構成される撮像手段は、対象物を撮影し対象物の画像を取得する。取得した画像は、画像データ格納手段に電子的なデータとして格納される。
フォーカス調整手段は、たとえば、撮像手段のレンズと対象物との間の距離を調整することにより、フォーカスを調整し鮮明な画像を取得できるようにする。
照明制御手段は、画像データ格納手段に格納されている画像のフォーカス合致度に基づいて照明手段の点滅間隔を変化させる。
このような構成により、画像処理装置の操作者は、照明装置の点滅間隔により、フォーカス調整を正しい方向に行っているか否かを目視で知ることができる。また、照明手段が点滅をやめて継続して点灯している状態になることにより、フォーカスが合致したことを目視で確実に知ることができる。
撮像手段を備えた画像処理装置は、通常、照明手段を備えているので、モニタ等のフォーカス調整作業を支援するための装置を追加することなく、フォーカス調整を容易に、また、操作者の熟練度に関係なく行うことができる。また、照明手段は、撮像手段と対象物の近くに配置されるから、操作者は、照明装置を見ながらフォーカス調整を行うことができる。

好ましくは、第２の発明によれば、第１の発明の構成において、前記照明制御手段は、前記フォーカス調整手段による調整後のフォーカス合致度が、前記フォーカス調整手段による調整前のフォーカス合致度より向上している場合は前記照明手段の点滅間隔を短く、前記フォーカス調整手段による調整後のフォーカス合致度が、前記フォーカス調整手段による調整前のフォーカス合致度より低下している場合は前記照明手段の点滅間隔を長くすることを特徴とする。

第２の発明の構成によれば、照明制御手段は、フォーカス調整手段による調整後のフォーカス合致度が、調整前のフォーカス合致度より向上している場合は照明手段を点滅間隔を短く、すなわち、連続した点灯状態に近づける方向に制御する。照明制御手段は、フォーカス調整手段による調整後のフォーカス合致度が、調整前のフォーカス合致度より低下している場合は照明手段を点滅間隔を長く、すなわち、連続した点灯状態から遠ざかる方向に制御する。
このような点滅間隔変化の方向は、「目標の状態である連続点灯状態に近づいているのだから正しい方向に調整を行っている」という、操作者が通常抱くであろう感覚に一致している。
そのため、第２の発明の画像処理装置によれば、操作者はより容易にフォーカス調整を行うことができる。

好ましくは、第３の発明によれば、第２の発明の構成において、前記フォーカス合致度が高いほど、前記照明手段の前記点滅間隔の変動を小さくすることを特徴とする。

第３の発明の構成によれば、フォーカスの調整作業が進みフォーカスが一致に近づくと、点滅間隔の変動は小さくなる。
そのため、操作者は、調整の初期段階では、手早く荒い操作で調整を行い、フォーカス一致に近づいた段階では、微妙な調整を行うことができる。

前記目的は、第４の発明によれば、対象物を撮影する撮像手段と、前記撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、前記撮像手段により撮影された前記対象物の画像を電子データとして格納する画像データ格納手段と、前記画像データ格納手段に格納されている画像データに基づいてフォーカス合致度を判定するフォーカス判定手段と、前記対象物を照明する照明手段と、前記フォーカス合致度に基づいて前記照明手段の点滅間隔を変化させ、かつ、フォーカスが一致した時には前記照明手段を点灯状態とする照明制御手段と、を有する画像処理装置と、前記対象物を一定温度下で試験するための恒温チャンバとを有し、前記撮像手段は、前記恒温チャンバの中に設置されていることを特徴とする搬送装置により達成される。

第４の発明の構成によれば、操作者が、フォーカス調整を行うために目視する照明手段は、対象物の検査を行う恒温チャンバの中に設置されている。
そのため、第１の発明と同様に、モニタ等のフォーカス調整作業を支援するための装置を追加することなく、フォーカス調整を容易に、また、操作者の熟練度に関係なく行うことができる。また、照明手段は、撮像手段と対象物の近くに配置されるから、操作者は、照明装置を見ながらフォーカス調整を行うことができる。
また、搬送装置の制御装置が、恒温チャンバから離れた場所に設置されている場合でも、操作者は、恒温チャンバと制御装置の設置場所を行き来する必要がなく、効率的にフォーカス調整作業を行うことができる。

前記目的は、第５の発明によれば、撮像手段が、対象物を撮影する撮像ステップと、フォーカス調整手段により、前記撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整ステップと、前記撮像手段により撮影された前記対象物の画像を画像データ格納手段に電子データとして格納する画像データ格納ステップと、フォーカス判定手段が、前記画像データ格納手段に格納されている画像データに基づいてフォーカス合致度を判定するフォーカス判定ステップと、照明制御手段が、前記フォーカス合致度に基づいて前記照明手段の点滅間隔を制御する照明制御ステップと、を有する画像処理装置の制御方法により達成される。
第５の発明の構成によれば、第１の発明と同様に、前記目的を達成することができる。

以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。

図１は、本発明の搬送装置の好ましい一実施形態であるＩＣハンドラ１００を示す概略図である。
ＩＣハンドラ１００は、検査対象となるＩＣを運搬するための本体１１０、ＩＣを一定の温度下で試験するための恒温チャンバ１２０、ＩＣハンドラ１００の全体を制御する制御装置２０を有している。
ＩＣハンドラ１００の本体１１０には、ロボットアーム１１２が取り付けられている。ロボットアーム１１２は、図１のＸ軸方向、Ｚ軸方向およびＸＺ平面に垂直なＹ軸方向の３方向に移動することができる。さらに、ロボットアーム１１２はＺ軸を中心にして回転運動もすることができる。
ロボットアーム１１２の下端部には、吸着ノズル１１４が取り付けられている。吸着ノズル１１４は、負圧を利用してＩＣ６等の対象物を着脱可能に吸着することができる。
恒温チャンバ１２０の内部には、ＩＣ６を接続して試験を行う試験用ソケット１０６、試験用ソケット１０６にはめ込まれたＩＣ６を撮影するためのカメラ１０、カメラによる撮影に必要な照度を確保するための照明装置４が設置されている。照明装置４、カメラ１０および制御装置２０により、画像処理装置１が構成されている。

検査の対象となるＩＣ６が、ベルトコンベア１０２によりロボットアーム１１２の下に運ばれてくると、ロボットアーム１１２は下降してＩＣ６を吸着して保持し取り上げる。ロボットアーム１１２は元の位置まで上昇した後、図１の矢印Ｔの方向に検査用ソケット１０６の上まで移動して下がり、ＩＣ６を検査用ソケット１０６に取り付ける。

照明手段の一例である照明装置４は、たとえば白熱電球で構成されており、カメラ１０が撮影を行う際に点灯され、撮影のために必要な照度を確保する。また、本実施形態では、後述するように、フォーカス調整作業を行う操作者に、フォーカス合致度を通知するためにも使用される。
撮像手段の一例であるカメラ１０は、検査用ソケット１０６の上に置かれた対象物の一例であるＩＣ６を撮影する。そして制御装置１００が、たとえば、あらかじめ用意されている画像とのパターンマッチングによりＩＣ６が正規の位置におかれているか否かを判断する。ＩＣ６の置かれた位置がずれていた場合には、制御装置２０はロボットアーム１１２を制御して、ＩＣ６を正規の位置に置きなおす。
このような微妙な位置調整を行うためには、カメラ１０が撮影するＩＣ６の画像は、フォーカスが正確に合っていて、ＩＣ６の輪郭がはっきりと読み取れるものである必要がある。そのため、カメラ１０はフォーカス調整手段の一例であるフォーカスリング１２を有していて、操作者がフォーカスリング１２をまわすことによりフォーカス調整をできる構成となっている。

図２は、画像処理装置１の概略機能ブロック図である。
カメラ１０、照明装置４および照明装置４に電力を供給する照明用電源２は、制御装置２０により制御される。ただし、カメラ１０のフォーカス調整は、前述のように、操作者がフォーカスリング１２を手動で操作することにより行われる。

制御装置２０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）２１、カメラ制御手段２２、照明制御手段２３、タイマ２４、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）３０およびＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）４０を有している。なお、制御装置２０はＩＣハンドラ１００全体の制御を行うが、図２には画像処理装置１の制御に必要な機能だけを抜き出して図示している。
ＣＰＵ２１は、たとえばマイクロプロセッサにより構成されていて、制御機能および演算機能を有し、画像処理装置１全体の制御を行う。ＣＰＵ２１は、ＲＯＭ４０に格納されているＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）やアプリケーションプログラムを順次読み込んで実行する。

画像データ格納手段の一例であるＲＡＭ３０には、カメラ１０が撮影したＩＣ６の画像が電子データ、たとえばビットマップ形式のデータとして格納されている。
また、ＲＡＭ３０には、フォーカス合致度３２とインターバル３３も格納されている。フォーカス合致度３２は、カメラ１０のフォーカス合致の程度を数値で表したデータである。本実施形態では、フォーカスが完全に合致している場合を１００、まったく合致していない場合を０とし、０から１００の整数で表現されるデータである。数値が大きいほどフォーカスがよく合致していることを示している。
インターバル３３は、フォーカスの合致度を操作者に通知するために、照明装置４を点灯させる時間間隔を示すデータである。本実施形態では、単位をミリ秒とし符号なしの整数で表現されている。
また、ＲＡＭ３０は、ＣＰＵ２１が各種プログラムを実行する際のワークエリアとしても使用される。

ＲＯＭ４０には、フォーカス判定プログラム４１およびインターバル判定プログラム４２が格納されている。
フォーカス判定手段の一例であるフォーカス判定プログラム４１は、ＲＡＭ３０に格納されている画像データ３１に基づいて、カメラ１０のフォーカス合致度を判定するプログラムである。画像データに基づいて、フォーカスを判定する方法は、コントラストにより判定する方法等種々の方法があるが、公知のものであるから、ここでは説明を省略する。フォーカス判定プログラム４１は、判定結果をフォーカス合致度３２としてＲＡＭ３０に格納する。フォーカスの判定は、フォーカスリング１２が操作され画像データ３１が取得されるたびに行われるが、フォーカス合致度３２は最新の２個だけが保存されている。

インターバル判定プログラム４２は、前回のフォーカス合致度と今回のフォーカス合致度に基づいて、照明装置の点灯間隔であるインターバル３３を算出する。
インターバル３３は、撮影の開始時に、初期値としてたとえば１０００ｍｓが設定されＲＡＭ３０に格納される。インターバル判定プログラム４２は、新たな画像データ３１が取得されるたびに起動する。そして、今回のフォーカス合致度３２が前回のそれよりも大きくなっている場合には、インターバル３３を減少させ、そうでない場合には、インターバル３３を増加させる。

カメラ制御手段２２および照明制御手段２３は、たとえばカメラまたは電源装置の制御に特化して設計されたＩＣで構成される。また、デバイスドライバとして実装しＲＯＭ４０に格納する構成としてもよい。
カメラ制御手段２２は、カメラ１０に対してシャッターの開閉や画像データの転送等の指示コマンドを発行して制御する。
照明制御手段２３は、照明用電源２を制御することにより、照明装置４への電力の供給を制御し、結果として照明装置４の点灯・消灯の切り替えを制御する。
照明制御手段２３は、インターバル３３に示される時間間隔で、照明装置４を短時間点灯させるように制御を行う。前述のように、フォーカス合致度３２の数値が大きくなるほどインターバル３３は減少する。そのため、画像処理装置１の操作者は、フォーカスリングを回した際に、照明装置４の点灯周期が短くなった場合には、フォーカスリングを正しい方向に回していると知ることができる。逆に、照明装置４の点灯周期が長くなった場合には、フォーカスリングを誤った方向に回していると知ることができる。
照明制御手段２３は、フォーカスが一致した場合には、照明装置４を点灯状態とする。

タイマ２４は、たとえばＲＴＣ（Ｒｅａｌ Ｔｉｍｅ Ｃｌｏｃｋ）により構成されていて、インターバル３３で示される時間の経過を、照明制御手段２３に割り込みによって通知する。ＣＰＵ３３は、インターバル３３をＲＡＭ３０から取得して、タイマ２４にセットする。

画像処理装置１は以上のように構成されるが、以下、その動作例等について説明する。
図３は、画像処理装置１の主な動作例を示す概略フローチャートである。
画像処理が開始されると、インターバル決定プログラムがインターバル３３（図２参照）を初期値に設定し、ＲＡＭ３０に格納する（ＳＴ１０）。初期値は、たとえば１０００ｍｓとする。ループの初回は、ここで照明装置４を短時間点灯させる（ＳＴ１１）。点灯時間は、人間が「一瞬」と感じる程度の時間、たとえば１００ｍｓとする。このように、初期段階では照明装置４は１０００ｍｓ間隔で１００ｍｓ間点灯するように制御されている。
変数の初期設定と最初の照明点灯が終わると、ＣＰＵ２１が、カメラ制御手段２２を介してカメラ１０に画像の取り込みを指示する。カメラ１０は、撮影対象物であるＩＣ６を撮影し、画像を電子データとしてＲＡＭ３０に格納する（ＳＴ１２、撮像ステップおよび画像データ格納ステップの一例）。
画像が取得されると、フォーカス判定プログラム４２（図２参照）が起動してフォーカスが合致しているか否かを判定する（ＳＴ１３、フォーカス判定ステップの一例）。この判定は、たとえば、画像データ３１のコントラスト値を算出し、その値が所定のしきい値以上である場合に、フォーカスが合致していると判定する。フォーカスが合致している場合には、照明装置４を点灯して撮影を行い、撮影動作を完了する（ＳＴ１３の判定がＹｅｓ、ＳＴ２０）。

フォーカスが合致していない場合は、フォーカス判定プログラム４１が、前回よりもフォーカスが向上しているか否かを判定する（ＳＴ１３の判定がＮｏ、ＳＴ１５）。この判定は、たとえばＳＴ１３において算出した画像データ３１のコントラスト値が前回よりも大きくなっている場合に、フォーカスが向上したと判定する。
フォーカスが向上している場合は、インターバル時間を減少させ、ＲＡＭ３０に格納されているインターバル３３を上書きする（ＳＴ１５の判定がＹｅｓ、ＳＴ１６）。フォーカスが向上していない場合は、インターバル時間を増加させ、ＲＡＭ３０に格納されているインターバル３３を上書きする（ＳＴ１５の判定がＮｏ、ＳＴ１７）。インターバル３３の増減値は、一定値、たとえば５０ｍｓとしてもよいし、フォーカス合致に近づくほど小さくし微妙なフォーカス調整をできるようにしてもよい。

ここまでの動作により、次のインターバル３３が確定したので、ＣＰＵ２１は、ＲＡＭ３０に格納されているインターバル３３をタイマ２４にセットし、タイマ２４は、カウントを開始する（ＳＴ１８）。インターバル３３に示される時間が経過するまでの間、画像処理装置１は待機状態となる（ＳＴ１９の判定がＮｏ、ＳＴ１９に戻る）。インターバルが経過すると、タイマ２４から照明制御手段２３に割り込みが発行され、照明制御手段２３は、照明装置４を点灯させる（ＳＴ１９の判定がＹｅｓ、ＳＴ１１、照明制御ステップの一例）。
画像処理装置１は、以上のＳＴ１１からＳＴ１９までの動作を、ＳＴ１３においてフォーカスが合致したと判断されるまで繰り返す。また、ＩＣハンドラ１００の操作者は、上記の動作の任意の時点で、フォーカスリング１２を回して調整を行う（フォーカス調整ステップの一例）。

図４は、点滅間隔の変動値を一定とした場合の照明装置４の動作例を示す概略図である。
図４（ａ）は、撮影開始時の照明装置４の点灯・消滅の周期を示している。照明装置４は、１００ｍｓ点灯し９００ｍｓ消灯するという動作を繰り返している。点灯の開始から次の点灯の開始までの時間（１０００ｍｓ）が、ＲＡＭ３０に格納されているインターバル３３である。
図４（ｂ）は、フォーカスリング１２が正しい方向（フォーカスが向上する方向）に回された後の、照明装置４の動作を示している。インターバル３３は、５０ｍｓ減少して９５０ｍｓとなっている。１回の点灯時間１００ｍｓは変化しない。つまり、照明装置４は、１００ｍｓ点灯し８５０ｍｓ消灯するという動作を繰り返している。
図４（ｃ）は、フォーカスリングがさらに正しい方向に回された後の、照明装置４の動作を示している。インターバルは、さらに５０ｍｓ減少し、照明装置４は、１００ｍｓ点灯し８００ｍｓ消灯するという動作を繰り返している。
このように、フォーカスが一致に近づくほど全時間に対する照明装置４が点灯している時間の割合は、増加していく。すなわち、照明装置４の動作は、フォーカスが一致に近づくほど、操作者が目標とする連続した点灯状態に近づくことになる。

図５は、インターバルの変化量をフォーカス合致度により変動させた場合の照明装置４の動作を示す概略図である。
図５（ａ）はフォーカス合致度３３（Ｆ）とインターバルの変化量（ΔＩ）の関係例を表した表である。Ｆに応じて、ΔＩは、４個の異なった数値を取る。
図５（ｂ）は、図５（ａ）に基づいて変動したインターバル３３の例を示す表である。フォーカス調整の初期段階では、ΔＦは２００ｍｓと大きな値になっている。操作者から見ると、フォーカスリング１２を少し回しただけで照明装置４の点滅間隔が大きく変動する。そのため、操作者は、まだフォーカスは一致と程遠いと知ることができ、フォーカスリングを大きく回してすばやく調整を進めることができる。フォーカス一致に近づくと、ΔＩは、小さな値となる。そのため、操作者はフォーカス一致に近づいたと知ることができ、フォーカスリング１２を慎重に操作してフォーカスをさらに合致させることができる。

本発明は、搬送装置としての上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。また、本発明は、搬送装置に限らず、撮像した対象物の画像に基づいて対象物の寸法を測定する画像測定装置、顕微鏡等にも適用できる。

本発明の実施の形態にかかる画像処理装置を示す概略図である。 図１の画像処理装置の概略機能ブロック図である。 図１の画像処理装置の主な動作例を示す概略フローチャートである。 図１の照明装置の動作を示す概略図である。 図１の照明装置の動作を示す概略図である。

符号の説明

１・・・画像処理装置、４・・・照明装置、６・・・ＩＣ、１０・・・カメラ、１２・・・フォーカスリング、２０・・・制御装置、２１・・・ＣＰＵ、２２・・・カメラ制御手段、２３・・・照明制御手段、２４・・・タイマ、３０・・・ＲＡＭ、３１・・・画像データ、３２・・・フォーカス合致度、３３・・・インターバル、４０・・・ＲＯＭ、４１・・・フォーカス判定プログラム、４２・・・インターバル決定プログラム

Claims (5)

1. 対象物を撮影する撮像手段と、
   前記撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、
   前記撮像手段により撮影された前記対象物の画像を電子データとして格納する画像データ格納手段と、
   前記画像データ格納手段に格納されている画像データに基づいてフォーカス合致度を判定するフォーカス判定手段と、
   前記対象物を照明する照明手段と、
   前記フォーカス合致度に基づいて前記照明手段の点滅間隔を変化させ、かつ、フォーカスが一致した時には前記照明手段を点灯状態とする照明制御手段と、
   を有する画像処理装置。
2. 前記照明制御手段は、前記フォーカス調整手段による調整後のフォーカス合致度が、前記フォーカス調整手段による調整前のフォーカス合致度より向上している場合は前記照明手段の点滅間隔を短く、前記フォーカス調整手段による調整後のフォーカス合致度が、前記フォーカス調整手段による調整前のフォーカス合致度より低下している場合は前記照明手段の点滅間隔を長くすることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
3. 前記フォーカス合致度が高いほど、前記照明手段の前記点滅間隔の変動を小さくすることを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
4. 対象物を撮影する撮像手段と、
   前記撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整手段と、
   前記撮像手段により撮影された前記対象物の画像を電子データとして格納する画像データ格納手段と、
   前記画像データ格納手段に格納されている画像データに基づいてフォーカス合致度を判定するフォーカス判定手段と、
   前記対象物を照明する照明手段と、
   前記フォーカス合致度に基づいて前記照明手段の点滅間隔を変化させ、かつ、フォーカスが一致した時には前記照明手段を点灯状態とする照明制御手段と、を有する画像処理装置と、
   前記対象物を一定温度下で試験するための恒温チャンバと
   を有し、前記撮像手段は、前記恒温チャンバの中に設置されていることを特徴とする搬送装置。
5. 撮像手段が、対象物を撮影する撮像ステップと、
   フォーカス調整手段により、前記撮像手段のフォーカスを調整するフォーカス調整ステップと、
   前記撮像手段により撮影された前記対象物の画像を画像データ格納手段に電子データとして格納する画像データ格納ステップと、
   フォーカス判定手段が、前記画像データ格納手段に格納されている画像データに基づいてフォーカス合致度を判定するフォーカス判定ステップと、
   照明制御手段が、前記フォーカス合致度に基づいて前記照明手段の点滅間隔を制御する照明制御ステップと、
   を有する画像処理装置の制御方法。

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