JP2007506081A - ウェハの検査方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハの検査方法であって、以下の工程:ウェハ(6)の表面の少なくとも1つの部分(35)の照明;画像撮影装置(4)による、前記ウェハ(6)の前記表面(32)の前記照明された部分(35)の画像の撮影;前記撮影された画像中の少なくとも1つの画像領域(17)の選定;及び前記少なくとも1つの画像領域(17)に基づく、前記画像撮影装置(4)の画像野(8)のサイズの変更を有することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
2 落射光照明装置
3 対物レンズ
4 カメラ
5 対物レンズ
6 ウェハ
7 ウェハ収容装置
8 カメラ4の画像野
9 照明軸
10 結像軸
11 光源
12 光導体束
13 データ伝送路
14 データ読み取り装置
15 モニタ
16 ステッパショット
17 ダイ
18 分離領域
19 接続伝送路
20 接続伝送路
21 画像野変更を受けていない画像野
32 ウェハ6の表面
35 照明領域
37 照明光ビーム
x1、x2、y1、y2 距離
Nx、Ny x/y方向におけるピクセル数
Claims (22)
- ウェハの検査方法であって、以下の工程:
ウェハ(6)の表面の少なくとも1つの部分(35)の照明;
画像撮影装置(4)による、前記ウェハ(6)の前記表面(32)の前記照明された部分(35)の画像の撮影;
前記撮影された画像中の少なくとも1つの画像領域(17)の選定;及び
前記少なくとも1つの選定された画像領域(17)に基づく、前記画像撮影装置(4)の画像野(8)のサイズの変更
を有することを特徴とする方法。 - 前記画像野の前記サイズの前記変更は、対物レンズ(5)の焦点距離の調整によって達成されること
を特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記対物レンズの前記焦点距離の前記調整は、他の対物レンズの旋回挿入によって達成されること
を特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記焦点距離は、ズーム対物レンズ(5)の調整によって変更されること
を特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記画像野(8)の前記サイズの前記変更は、前記少なくとも1つの選定された画像領域(17)から導出された値が所定値を取るか又は該導出された値が適正化されるように、実行されること
を特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。 - 前記所定値は、1又は複数の以下の値:
前記少なくとも1つの選定された画像領域(17)と前記撮影された画像野(8)の縁部(複数)との距離(x1,x2,y1,y2);
前記画像撮影装置(4)のピクセル解像度(RES_Pixel);
撮影された画像野(8)当りのダイの数;
撮影された画像野(8)の縦方向及び/又は横方向におけるダイの数;
単位時間当りのウェハ検査装置(1)のスループット
を含むこと
を特徴とする請求項5に記載の方法。 - 前記画像野(8)の前記サイズの前記変更は、前記少なくとも1つの選定された画像領域(17)から導出された値が所定値を取るか又は適正化されるまで、反復的に実行されること
を特徴とする請求項5又は6に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの選定された画像領域は、1又は複数のダイ(17)を含むか又は該1又は複数のダイに相応すること
を特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの画像領域の前記選定は、更に、以下の工程:
前記ウェハ(6)の前記表面(32)上の縁部(複数)及び/又は角領域(複数)及び/又は所定構造(複数)及び/又はマーキング(複数)を選定するためのパターン認識(S2)の実行
を含むこと
を特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの画像領域の選定は、更に、以下の工程:
前記ウェハ(6)の前記表面(32)上の縁部(複数)及び/又は角領域(複数)及び/又は所定構造(複数)及び/又はマーキング(複数)の入力
を含むこと
を特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の方法。 - 前記画像撮影装置(4)によって撮影された前記画像のピクセル解像度が自動的に求められる工程を更に含むこと
を特徴とする請求項1〜10の何れか一項に記載の方法。 - ウェハ(6)の表面(32)を照明するための落射光照明装置(2);及び
前記ウェハ(6)の前記表面(32)の画像を撮影するための、少なくとも1つの対物レンズ(5)を有する画像撮影装置(4);
を含むと共に、
前記少なくとも1つの対物レンズは、前記画像撮影装置(4)の画像野(8)のサイズが変更可能であるように、その焦点距離が調整可能に構成されていること
を特徴とするウェハ検査装置。 - 互いに異なる焦点距離を有する複数の対物レンズを含むと共に、適切な対物レンズが旋回挿入可能に構成されていること
を特徴とする請求項12に記載の装置。 - 前記対物レンズ(5)は、ズーム対物レンズであること
を特徴とする請求項13に記載の装置。 - 前記画像撮影装置(4)によって撮影された前記画像の画像データを読み取りかつ該撮影された画像中に少なくとも1つの画像領域(17)を選定するように構成されたデータ読み取り装置(14);及び
前記データ読み取り装置(14)によって選定された前記少なくとも1つの画像領域(17)に基づいて前記画像撮影装置(4)の前記画像野(8)の前記サイズを変更するように構成された制御装置(14)
を含むこと
を特徴とする請求項12〜14の何れか一項に記載の装置。 - 前記制御装置(14)は、前記少なくとも1つの選定された画像領域(17)から導出された値が所定値を取るか又は該導出された値が適正化されるように、前記画像野(8)の前記サイズを変更すること
を特徴とする請求項15に記載の装置。 - 前記制御装置(14)は、前記所定値が、1又は複数の以下の値:
前記少なくとも1つの特定された画像領域(17)と前記撮影された画像野(8)の縁部(複数)との距離(x1,x2,y1,y2);
前記画像撮影装置(4)のピクセル解像度(RES_Pixel);
撮影された画像野(8)当りのダイの数;
撮影された画像野(8)の縦方向及び/又は横方向におけるダイの数;
単位時間当りのウェハ検査装置(1)のスループット
を含むように構成されること
を特徴とする請求項16に記載の装置。 - 前記制御装置(14)は、前記少なくとも1つの選定された画像領域(17)から導出された前記値が所定値を取るか又は適正化されるまで、前記画像野(8)の前記サイズを反復的に変更するように構成されること
を特徴とする請求項16又は17に記載の装置。 - 前記データ読み取り装置(14)は、前記少なくとも1つの選定された画像領域が1又は複数のダイ(17)を含むか又は該1又は複数のダイに相応するように構成されること
を特徴とする請求項12〜18の何れか一項に記載の装置。 - 前記データ読み取り装置(14)は、前記ウェハ(6)の前記表面(32)上の縁部(複数)及び/又は角領域(複数)及び/又は所定構造(複数)及び/又はマーキング(複数)を選定するためのパターン認識を実行するように構成されること
を特徴とする請求項12〜19の何れか一項に記載の装置。 - 前記データ読み取り装置(14)には、前記ウェハ(6)の前記表面(32)上の縁部(複数)及び/又は角領域(複数)及び/又は所定構造(複数)及び/又はマーキング(複数)が入力可能に構成されること
を特徴とする請求項12〜19の何れか一項に記載の装置。 - 前記データ読み取り装置(14)は、前記画像撮影装置(4)によって撮影された前記画像のピクセル解像度を自動的に求めるように構成されること
を特徴とする請求項12〜21の何れか一項に記載の装置。
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