CN102759334A - 一种测量晶体管尺寸的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种测量晶体管尺寸的装置，属于测量技术领域，包括晶圆，处理系统I，处理系统II，度量系统I，度量系统II和控制器，控制器通过对产品处理利用回馈机制及演算法控制图案关键尺寸的系统，可以设计控制器以小体积、高品质晶体管装置，关键尺寸控制器可以包含软体程序；有益效果是提高了工作效率，减少了误差。
Description
技术领域
本发明公开了一种测量晶体管尺寸的装置，属于测量技术领域。
背景技术
随着晶体管制造业的进步，目前的晶体管代工设计规则能够让超大规模积体电路处理微米以下的特微，更快的电晶体及电路速度、以及更高的可信度。为了要确保装置符合期望中的大小，就要确保装置彼此间没有不当重叠或互动，然而尺寸上的错误表示在晶体管关键部分上有某些不稳定。
发明内容
本发明公开了一种测量晶体管尺寸的装置，用以解决上述技术中的不足。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：一种测量晶体管尺寸的装置，包括晶圆，处理系统I，处理系统II，度量系统I，度量系统II和控制器，控制器通过对产品处理利用回馈机制及演算法控制图案关键尺寸的系统，可以设计控制器以小体积、高品质晶体管装置，关键尺寸控制器可以包含软体程序。
本发明的有益效果是：提高了工作效率，减少了误差。
附图说明
图1是本发明的结构示意图
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图1所示，一种测量晶体管尺寸的装置，包括晶圆，处理系统I，处理系统II，度量系统I，度量系统II和控制器，控制器通过对产品处理利用回馈机制及演算法控制图案关键尺寸的系统，可以设计控制器以小体积、高品质晶体管装置，关键尺寸控制器可以包含软体程序。
Claims (1)
1.一种测量晶体管尺寸的装置，其特征在于包括晶圆，处理系统I，处理系统II，度量系统I，度量系统II和控制器，控制器通过对产品处理利用回馈机制及演算法控制图案关键尺寸的系统，可以设计控制器以小体积、高品质晶体管装置，关键尺寸控制器可以包含软体程序。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011101034567A CN102759334A (zh) | 2011-04-25 | 2011-04-25 | 一种测量晶体管尺寸的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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|---|---|
| CN102759334A true CN102759334A (zh) | 2012-10-31 |
Family
ID=47053880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011101034567A Pending CN102759334A (zh) | 2011-04-25 | 2011-04-25 | 一种测量晶体管尺寸的装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN102759334A (zh) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1839308A (zh) * | 2003-09-18 | 2006-09-27 | 莱卡显微系统半导体股份有限公司 | 晶圆检测用的方法和装置 |
| US20080204748A1 (en) * | 2007-02-27 | 2008-08-28 | Disco Corporation | Measuring device for workpiece held on chuck table |
| CN201476766U (zh) * | 2009-07-30 | 2010-05-19 | 如皋市大昌电子有限公司 | 轴向二极管管体直径监测器 |
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2011
- 2011-04-25 CN CN2011101034567A patent/CN102759334A/zh active Pending
Patent Citations (3)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20121031 |